JP2008058308A - カーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法 - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 69
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 65
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000001241 arc-discharge method Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N19/00—Investigating materials by mechanical methods
- G01N19/04—Measuring adhesive force between materials, e.g. of sealing tape, of coating
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/026—Specifications of the specimen
- G01N2203/0286—Miniature specimen; Testing on microregions of a specimen
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
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Abstract
【課題】本発明はカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法は、プローブ及びアームを備えるミリニュートンスケーラーを提供する段階と、前記プローブの端部の表面に粘着剤を均一に塗布する段階と、前記プローブを徐々にカーボンナノチューブアレイに接近させ、前記粘着剤が塗布された前記プローブの表面を該カーボンナノチューブアレイに接触させる段階と、前記プローブを移動させて前記カーボンナノチューブアレイの一部を試料として抜き出す段階と、前記試料の重量及び前記試料中のカーボンナノチューブ含有量に基づいて、前記試料と前記基板との結合力を計算する段階とを含む。
【選択図】図１Ｅ
【解決手段】本発明に係るカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法は、プローブ及びアームを備えるミリニュートンスケーラーを提供する段階と、前記プローブの端部の表面に粘着剤を均一に塗布する段階と、前記プローブを徐々にカーボンナノチューブアレイに接近させ、前記粘着剤が塗布された前記プローブの表面を該カーボンナノチューブアレイに接触させる段階と、前記プローブを移動させて前記カーボンナノチューブアレイの一部を試料として抜き出す段階と、前記試料の重量及び前記試料中のカーボンナノチューブ含有量に基づいて、前記試料と前記基板との結合力を計算する段階とを含む。
【選択図】図１Ｅ
Description
本発明は、カーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法に関する。
カーボンナノチューブは、新型の炭素材料であり、日本の研究員飯島によって１９９１年に発見された。カーボンナノチューブは特有の電気特性を有するので、ナノ集積回路、単分子素子などの研究及び開発において重要な地位を占める。カーボンナノチューブアレイは、導電基板に良好に配列されて成長する特徴があるので、真空電気装置、電界放出表示装置、熱伝導材料などに広く応用されている。
現在、カーボンナノチューブアレイは広く電界放出装置に応用されてきているが、カーボンナノチューブアレイと基板との結合力が弱くなると、電界放出装置の短絡、放電などの問題が起こり、電界放出特性が損なわれる。従って、カーボンナノチューブアレイを電界放出装置に設置する前に、カーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定が必要となる。
従来技術として、カーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法は、原子間力顕微鏡による測定方法と、ミリニュートン（ｍＮ）スケーラーによる測定方法と、が挙げられる。
しかし、原子間力顕微鏡による測定方法を利用する場合、一回に一本のカーボンナノチューブ又は少量のカーボンナノチューブしか測定することができないので、測定の効率が低い。また、カーボンナノチューブ同士の分子間力によって、測定結果の誤差が大きくなり、測定の正確性が低くなる。ミリニュートンスケーラーによる測定方法を利用する場合、ミリニュートンスケーラーによる雑音及びカーボンナノチューブ同士の原子間力によって、ミリニュートンスケーラーから測定される信号対雑音比は低くなり、測定結果の正確性が低くなる。
前記課題を解決するために、本発明はカーボンナノチューブアレイと基板との結合力を正確に測定する方法を提供する。
本発明に係るカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法は、プローブ及びアームを備えるミリニュートンスケーラーを提供する段階と、前記プローブの端部の表面に粘着剤を均一に塗布する段階と、前記プローブを徐々にカーボンナノチューブアレイに接近させ、前記粘着剤が塗布された前記プローブの表面を該カーボンナノチューブアレイに接触させる段階と、前記プローブを移動させて前記カーボンナノチューブアレイの一部を試料として抜き出す段階と、前記試料の重量及び前記試料中のカーボンナノチューブ含有量に基づいて、前記試料と前記基板との結合力を計算する段階と、を含む。
前記プローブの断面の直径が２００μｍ以上であることが好ましい。
前記プローブの端部の表面は、研磨工程により平滑な平面にされている。
前記プローブは、細線状又はストライプ状に形成されている。
前記試料は、規則的なパターンに形成されている。
従来技術と比べると、本発明に係るカーボンナノチューブアレイと基板との結合力を測定する方法では、カーボンナノチューブアレイを複数の試料セルに分割して、試料セルを測定するので、試料セルの分子間力が小さく、測定結果の信号対雑音比が高まる。従って、カーボンナノチューブアレイ及び基板の結合力の測定の正確性は高くなる。また、本発明に係るミリニュートンスケーラーのプローブの端部は、断面積が大きく、表面が平滑であるように設置されるので、多数のカーボンナノチューブを抜き出すことが可能で、測定の正確性も高める。
以下、図面を参照して、本発明に係るカーボンナノチューブアレイと基板との結合力を測定する方法について説明する。
図１を参照すると、本発明に係る方法は次の段階を含む。
図１Ａに示すように、第一段階では、ミリニュートンスケーラーを提供する。該ミリニュートンスケーラーはアーム１０と、該アーム１０の末端に設置されるプローブ２０と、を備える。該プローブ２０の端部は断面積が大きく、表面が平滑に設けられる。前記プローブ２０は例えば粘着工程または機械工程で前記アーム１０に取り付けられる。
前記プローブ２０としては、直径が２００μｍ以上で、端部の表面が研磨された金属線が利用される。例えば、直径が５００μｍであるタングステンが利用可能である。さらに、より平滑な表面を形成するために、晶質材料の結晶面を前記プローブ２０の表面として設置することが好ましい。本実施例において、ストライプ状のシリコンウェハーを前記プローブ２０として、そして、該シリコンウェハーの結晶面を前記プローブ２０の表面として利用する。
図１Ｂに示すように、第二段階では前記プローブ２０の端部の表面に粘着剤３０を均一に塗布する。該粘着剤３０は膠質の粘着材料、または両面接着テープなどである。
図１Ｃ及び図１Ｄに示すように、第三段階では、前記プローブ２０を徐々にカーボンナノチューブアレイ４０に接近させ、前記粘着剤３０が塗布された前記プローブ２０の表面を該カーボンナノチューブアレイ４０に接触させる。前記カーボンナノチューブアレイ４０は、化学気相堆積法、レーザ蒸着法、アーク放電法で基板５０に成長される。所定のパターンのカーボンナノチューブアレイを成長させる場合、前記基板５０に所定のパターンで触媒を形成して、カーボンを含むガスを導入してカーボンナノチューブアレイ４０を成長させる。なお、前記プローブ２０の表面に前記カーボンナノチューブアレイ４０を均一に接着させるために、前記アーム１０に均一な外力を付加することが必要である。
図１Ｅに示すように、第四段階では、前記プローブ２０を移動させて前記カーボンナノチューブアレイ４０の一部を試料として抜き出す。前記試料は前記粘着剤３０で前記プローブ２０に十分に接着していて、簡単には離脱しない。図２及び図３を参照すると、前記カーボンナノチューブアレイ４０の試料は任意の規則的なパターンを有する複数のカーボンナノチューブアレイのセルであってもよいが、測定の正確性のために、複数の同じ形状を有するセルに形成されることが好ましい。本実施例において、前記プローブ２０の直径は３００μｍであり、前記カーボンナノチューブアレイ４０の試料は、断面積が５０μｍ×５０μｍの正方形であるように形成される。
第五段階では、前記試料の重量及び前記試料中のカーボンナノチューブ含有量に基づき、前記試料と前記基板５０との結合力を計算する。前記ミリニュートンスケーラーの測定素子を利用して、前記試料の重量を測定する。走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で前記試料のカーボンナノチューブの数量を測定する。前記操作を繰返して、複数の試料とその基板との結合力をそれぞれ測定することにより、カーボンナノチューブアレイと基板との結合力を導出することができる。これにより得られる結合力の値は、カーボンナノチューブ同士の分子間力による誤差が低くなり、測定の信号対雑音比が高くなる。
本発明は前記実施例に限らず、他の変形例がある。例えば、前記カーボンナノチューブアレイ４０は、化学気相堆積法、レーザ蒸着法、アーク放電法で成長されて、精製工程で加工されたカーボンナノチューブアレイであってもよい。
本発明に係るカーボンナノチューブアレイと基板との結合力を測定する方法においては、カーボンナノチューブアレイを複数の試料セルに分割して、試料セルを測定するので、試料セルの分子間力が小さく、測定結果の信号対雑音比が高まる。従って、カーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定の正確性が高くなる。また、本発明に係るミリニュートンスケーラーのプローブの端部は断面積が大きく、表面が平滑であるように設置されるので、多数のカーボンナノチューブを抜き出すことが可能で、測定の正確性も高まる。
１０ アーム
２０ プローブ
３０ 粘着剤
４０ カーボンナノチューブアレイ
５０ 基板
２０ プローブ
３０ 粘着剤
４０ カーボンナノチューブアレイ
５０ 基板
Claims (5)
- プローブ及びアームを備えるミリニュートンスケーラーを提供する段階と、
前記プローブの端部の表面に粘着剤を均一に塗布する段階と、
前記プローブを徐々にカーボンナノチューブアレイに接近させ、前記粘着剤が塗布された前記プローブの表面を該カーボンナノチューブアレイに接触させる段階と、
前記プローブを移動させて前記カーボンナノチューブアレイの一部を試料として抜き出す段階と、
前記試料の重量及び前記試料中のカーボンナノチューブ含有量に基づいて、前記試料と前記基板との結合力を計算する段階と、
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法。 - 前記プローブの断面の直径が２００μｍ以上であることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法。
- 前記プローブの端部の表面は、研磨工程により平滑な平面にされていることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法。
- 前記プローブは、細線状又はストライプ状に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法。
- 前記試料は、規則的なパターンに形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200610062428A CN101135625B (zh) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 碳纳米管阵列与基底结合力的测量方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008058308A true JP2008058308A (ja) | 2008-03-13 |
| JP4430696B2 JP4430696B2 (ja) | 2010-03-10 |
Family
ID=39159831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007215126A Active JP4430696B2 (ja) | 2006-09-01 | 2007-08-21 | カーボンナノチューブアレイと基板との結合力の測定方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7559253B2 (ja) |
| JP (1) | JP4430696B2 (ja) |
| CN (1) | CN101135625B (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101458846B1 (ko) | 2004-11-09 | 2014-11-07 | 더 보드 오브 리전츠 오브 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템 | 나노섬유 리본과 시트 및 트위스팅 및 논-트위스팅 나노섬유 방적사의 제조 및 애플리케이션 |
| CN101863462B (zh) * | 2009-04-20 | 2012-05-16 | 清华大学 | 制备碳纳米管膜的方法及制备该碳纳米管膜的拉伸装置 |
| CN102087101B (zh) * | 2009-12-04 | 2012-07-18 | 清华大学 | 应变测量装置及测量方法 |
| CN101880035A (zh) | 2010-06-29 | 2010-11-10 | 清华大学 | 碳纳米管结构 |
| US9103758B1 (en) * | 2010-10-20 | 2015-08-11 | The Boeing Company | Methods for fabricating test specimen assembly having weak adhesive bonds |
| CN104769834B (zh) | 2012-08-01 | 2020-02-07 | 德克萨斯州大学系统董事会 | 卷曲和非卷曲加捻纳米纤维纱线及聚合物纤维扭转和拉伸驱动器 |
| CN105712314B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-12-01 | 清华大学 | 碳纳米管阵列的制备方法和碳纳米管膜的制备方法 |
| EP3318863B1 (en) * | 2016-11-07 | 2021-03-03 | Airbus Operations S.L. | Systems and method for testing bonded joints |
| CN106932339A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-07 | 华侨大学 | 一种超细磨料与高分子基体材料的界面结合强度测量方法 |
| CN106970022A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-21 | 华侨大学 | 一种超细磨料与基体材料的界面结合强度测量装置 |
| CN109406390A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-01 | 航天科工防御技术研究试验中心 | 一种涂层界面结合强度的检测方法及其设备 |
| CN111900339B (zh) * | 2020-07-22 | 2023-06-13 | 东方醒狮储能电池有限公司 | 锂离子储能动力电池正极及其制备方法 |
| WO2022263002A1 (en) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | Ams-Osram International Gmbh | Method to perform a mechanical adhesion test for thin film interfaces |
| CN113776934A (zh) * | 2021-08-05 | 2021-12-10 | 长江存储科技有限责任公司 | 结合强度的测量方法和样品 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6813958B2 (en) * | 2001-06-21 | 2004-11-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Method for combinatorially measuring adhesion strength |
| US7244499B2 (en) * | 2003-01-10 | 2007-07-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Bonded structure including a carbon nanotube |
| FR2897432B1 (fr) * | 2006-02-15 | 2009-06-05 | Airbus France Sas | Procede pour la realisation de tests d'adherence d'un revetement sur un substrat |
| US7628066B2 (en) * | 2007-02-22 | 2009-12-08 | Ethicon, Inc. | Apparatus and method for evaluating peel adhesion |
| CA2679401A1 (en) * | 2007-02-27 | 2008-09-04 | Nanocomp Technologies, Inc. | Materials for thermal protection and methods of manufacturing same |
| US8974904B2 (en) * | 2007-07-05 | 2015-03-10 | University Of Dayton | Aligned carbon nanotubes for dry adhesives and methods for producing same |
-
2006
- 2006-09-01 CN CN200610062428A patent/CN101135625B/zh active Active
-
2007
- 2007-08-21 JP JP2007215126A patent/JP4430696B2/ja active Active
- 2007-08-30 US US11/848,186 patent/US7559253B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4430696B2 (ja) | 2010-03-10 |
| CN101135625A (zh) | 2008-03-05 |
| CN101135625B (zh) | 2010-05-12 |
| US20080173098A1 (en) | 2008-07-24 |
| US7559253B2 (en) | 2009-07-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090709 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090721 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091021 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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