JP2008058212A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の角速度センサは、モニタ信号検出回路39からのモニタ信号が所定値のときの出力信号検出回路40からの出力信号を角速度の信号としてサンプリングするサンプリング制御手段45を設けた構成としたことにより、出力信号が温度変化により変化するのを抑制できるため、温度変化の多い環境下で使用しても出力特性が安定している角速度センサを提供することができる。
【選択図】図2
Description
35 駆動電極
36 モニタ電極
38 検出電極
39 モニタ信号検出回路
40 出力信号検出回路
43 周波数規定手段
45 サンプリング制御手段
46 振幅調整手段
Claims (3)
- 振動子と、この振動子に設けられるとともに駆動電圧が印加される駆動電極と、前記振動子に設けられるとともに前記振動子の駆動により発生する電荷を出力するモニタ電極と、このモニタ電極から出力される電荷をモニタ信号に変換するモニタ信号検出回路と、前記振動子に設けられるとともにこの振動子に角速度が負荷された状態で、振動子にコリオリ力により発生する電荷を出力する検出電極と、この検出電極から出力される電荷を出力信号に変換する出力信号検出回路と、前記モニタ信号検出回路からのモニタ信号が所定値のときの出力信号検出回路からの出力信号を角速度の信号としてサンプリングするサンプリング制御手段と、このサンプリング制御手段からの出力信号をデジタル信号として出力する出力回路とを備えた角速度センサ。
- 出力信号検出回路からの出力信号を角速度の信号としてサンプリングするためのモニタ信号の所定値を基準電圧とした請求項1記載の角速度センサ。
- 振動子と、この振動子に設けられるとともに駆動電圧が印加される駆動電極と、前記振動子に設けられるとともに前記振動子の駆動により発生する電荷を出力するモニタ電極と、このモニタ電極から出力される電荷をモニタ信号に変換するモニタ信号検出回路と、前記振動子に設けられるとともにこの振動子に角速度が負荷された状態で、振動子にコリオリ力により発生する電荷を出力する検出電極と、この検出電極から出力される電荷を出力信号に変換する出力信号検出回路と、前記モニタ電極からのモニタ信号が基準電圧のときのタイミングを検出することにより駆動信号の周波数を規定する周波数規定手段と、前記モニタ電極からのモニタ信号のピーク値を読み取るとともに、駆動信号のピーク値を調整する振幅調整手段とを備えた角速度センサ。
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