JP2008057594A - Cam type valve - Google Patents
Cam type valve Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008057594A JP2008057594A JP2006232906A JP2006232906A JP2008057594A JP 2008057594 A JP2008057594 A JP 2008057594A JP 2006232906 A JP2006232906 A JP 2006232906A JP 2006232906 A JP2006232906 A JP 2006232906A JP 2008057594 A JP2008057594 A JP 2008057594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- stem
- cam
- actuator
- stepping motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
- F16K31/524—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam
- F16K31/52491—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam comprising a diaphragm cut-off apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
Description
本発明は、主に半導体製造設備等の流体供給ラインやチラーユニットの冷媒循環回路等に介設されてガスや冷媒等の流体の流量調整用に用いられるものであり、特に、ガスや冷媒等の流量を微少且つ精密に制御できるようにしたステッピングモータ駆動型のカム式バルブの改良に関するものである。 The present invention is mainly used for adjusting the flow rate of a fluid such as a gas or a refrigerant, which is interposed in a fluid supply line of a semiconductor manufacturing facility or the like, a refrigerant circulation circuit of a chiller unit, etc. The present invention relates to an improvement of a stepping motor drive type cam type valve that can control the flow rate of the gas flow minutely and precisely.
従来、ステッピングモータ駆動型のカム式バルブとしては、例えば実開昭61−117971号公報(参考文献1)や実開昭61−117972号公報(参考文献2)等に開示された構造のものが知られている。 Conventionally, as a stepping motor drive type cam type valve, for example, there is one having a structure disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-117971 (Reference 1), Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-117972 (Reference 2), or the like. Are known.
即ち、前記カム式バルブは、図示していないが、流体通路及び弁座を有する弁箱と、弁箱の弁座に当離座する弁体と、弁体を弁座から離座する方向へ附勢する弾性体と、弁体に連結されて弁箱の上蓋に昇降自在に支持された弁棒と、弁棒の上端部に設けたカムローラに当接して弁棒を押し下げるカム板と、カム板を回転駆動するパルスモータ(ステッピングモータ)等から構成されており、パルスモータによりカム板を回転させ、カム板を介して弁棒を下方へ押し下げることによって、弁棒の下端に設けた弁体を弁座へ当座させるようにしたものである。
このステッピングモータ駆動型のカム式バルブは、高精度な流量制御を行うことができ、優れた実用的効用を奏するものである。
That is, although not shown in the drawing, the cam type valve has a valve box having a fluid passage and a valve seat, a valve body that contacts and leaves the valve seat of the valve box, and a direction in which the valve body is separated from the valve seat. An elastic body to be energized, a valve rod connected to the valve body and supported by the upper lid of the valve box so as to be movable up and down, a cam plate that abuts against a cam roller provided at the upper end of the valve stem and pushes down the valve rod, and a cam It consists of a pulse motor (stepping motor) that rotates the plate, etc. The valve body is provided at the lower end of the valve stem by rotating the cam plate by the pulse motor and pushing down the valve stem through the cam plate Is made to sit on the valve seat.
This stepping motor drive type cam type valve can perform highly accurate flow rate control and has excellent practical utility.
ところで、ステッピングモータを用いたカム式バルブは、ステッピングモータに供給するパルス数に応じてカム板が所定の角度だけ回転し、カム板の回転により弁棒及び弁体が微少量変位して流体の流量制御を行わせるものであるから、バルブの全開時又は全開時に弁体及び弁棒等が零点位置(全開位置又は全閉位置)へ正確に位置するように零点調整されていなければならない。
即ち、バルブの全開時には、カム板の最小半径部分がカムローラに当接し且つ弁体と弁座が最も離間した状態となるように調整し、又、バルブの全閉時には、カム板の最大半径部分がカムローラに当接し且つ弁体が弁座に適切な力で当座するように調整しなければならない。
By the way, in the cam type valve using the stepping motor, the cam plate rotates by a predetermined angle according to the number of pulses supplied to the stepping motor, and the valve rod and the valve body are displaced by a small amount due to the rotation of the cam plate. Since the flow rate control is performed, the zero point must be adjusted so that the valve body, the valve rod, and the like are accurately positioned to the zero point position (fully opened position or fully closed position) when the valve is fully opened or fully opened.
That is, when the valve is fully opened, the cam plate is adjusted so that the minimum radius portion of the cam plate contacts the cam roller and the valve body and the valve seat are separated from each other. When the valve is fully closed, the maximum radius portion of the cam plate is adjusted. Must be adjusted so that it contacts the cam roller and the valve element abuts the valve seat with an appropriate force.
しかし、上述した従来のステッピングモータ駆動型のカム式バルブに於いては、弁体等を零点位置へ位置調整する調整機構を全く備えておらず、バルブの零点調整に極めて手間取ると云う問題があった。
又、カム式バルブの各構成部品の加工精度や組立精度等を高めておかないと、弁体が弁座へ過度に押し付けられたり、或いは弁体と弁座の接触が不十分になったりすることがあった。その結果、バルブの弁座等が損傷したり、流体が漏洩したりすると云う問題があった。
Also, if the processing accuracy and assembly accuracy of each component of the cam type valve are not increased, the valve body will be excessively pressed against the valve seat, or the contact between the valve body and the valve seat will be insufficient. There was a thing. As a result, there has been a problem that a valve seat or the like of the valve is damaged or a fluid leaks.
本発明は、このような問題点に鑑みて為されたものであり、その目的は、ステッピングモータ及びカム機構から成るアクチュエータを上下方向へ微調整できてバルブの零点調整を簡単且つ容易に行えるようにしたステッピングモータ駆動型のカム式バルブを提供することにある。 The present invention has been made in view of such problems, and its object is to make it possible to easily and easily adjust the zero point of the valve by finely adjusting the actuator composed of the stepping motor and the cam mechanism in the vertical direction. Another object of the present invention is to provide a stepping motor driven cam type valve.
上記目的を達成するために、本発明の請求項1の発明は、流入通路、流出通路、弁室及び弁座を有するボディ内にステムを昇降自在に配設し、前記ステムをステムの上方位置に配設したステッピングモータ及びステッピングモータの回転運動を直線運動に変えてステムに伝達するカム機構から成るアクチュエータにより下降させ、弁室内に配設したダイヤフラム又はステムの下端部に設けた弁体を弁座へ当座させるようにしたステッピングモータ駆動型のカム式バルブに於いて、前記ボディの弁室を覆うボンネットにアクチュエータを昇降自在に支持する昇降支持機構を設け、当該昇降支持機構にステムに対するアクチュエータの高さ位置を微調整する高さ微調整機構を設けたことに特徴がある。 In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, a stem is disposed in a body having an inflow passage, an outflow passage, a valve chamber and a valve seat so as to be movable up and down, and the stem is positioned above the stem. The stepping motor disposed in the valve and the actuator comprising a cam mechanism that changes the rotational motion of the stepping motor into a linear motion and transmits it to the stem is lowered by a valve disposed at the lower end of the diaphragm or stem disposed in the valve chamber. In the stepping motor drive type cam type valve that is made to come into contact with the seat, an elevating support mechanism is provided on the bonnet that covers the valve chamber of the body so that the actuator can be raised and lowered, and the elevating support mechanism is provided with an actuator for the stem. It is characterized in that a height fine adjustment mechanism for finely adjusting the height position is provided.
又、本発明の請求項2の発明は、請求項1の発明に於いて、昇降支持機構が、ボンネットに設けた取付け台と、取付け台にステムと平行に立設したガイド軸と、ガイド軸の上端部に昇降自在に支持され、ステッピングモータ及びカム機構から成るアクチュエータが取り付けられる昇降台と、ガイド軸の上端部に取り付けられ、アクチュエータ及び昇降台を囲繞する収納ケースとから成り、又、高さ微調整機構が、収納ケースの底部に上下方向へ移動調整自在に螺挿され、上端面が昇降台の下面に当接して昇降台を支持する調整ネジと、昇降台の上面と収納ケースの天井部との間に介設され、昇降台を下方へ押圧附勢して調整ネジの上端面へ当接させる弾性体とから成り、調整ネジの締め込み量を調整することによって、アクチュエータを取り付けた昇降台の高さを変え、ステムに対するアクチュエータの高さ位置を微調整するようにしたことに特徴がある。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the elevating support mechanism includes a mounting base provided on the bonnet, a guide shaft erected parallel to the stem on the mounting base, and a guide shaft. The upper and lower ends of the guide shaft are supported by an upper / lower portion of the guide shaft, and an actuator including a stepping motor and a cam mechanism is attached to the upper / lower portion of the guide shaft. The fine adjustment mechanism is screwed into the bottom of the storage case so as to be movable in the vertical direction, the upper end surface abuts the lower surface of the lifting platform and supports the lifting platform, the upper surface of the lifting platform and the storage case It consists of an elastic body that is interposed between the ceiling part and presses and lowers the lifting platform downward and makes contact with the upper end surface of the adjustment screw.The actuator can be removed by adjusting the tightening amount of the adjustment screw. Changing the digit lifting platform height, is characterized in that the height position of the actuator relative to the stem that has been adapted to fine adjustment.
本発明のカム式バルブは、バルブのボンネットにステッピングモータ及びカム機構から成るアクチュエータを昇降自在に支持する昇降支持機構を設け、当該昇降支持機構にステムに対するアクチュエータの高さ位置を微調整する高さ微調整機構を設ける構成としているため、高さ微調整機構を操作することによって、バルブの零点調整を簡単且つ容易に行うことができる。その結果、本発明のカム式バルブは、バルブのダイヤフラムや弁体が弁座へ過度に押し付けられたり、或いはダイヤフラムや弁体と弁座との接触が不十分になったりすると云うことがなく、ダイヤフラムや弁体、弁座等の損傷を防止することができると共に、バルブの全閉時に於ける流体の漏洩を防止することができ、高精度な流量制御を確実且つ良好に行える。然も、バルブの各構成部品の加工精度や組立精度等を高めなくても、バルブの全開時又は全開時にダイヤフラムや弁体、ステム等を零点位置(全開位置又は全閉位置)へ正確に位置調整することができる。
又、本発明のカム式バルブは、バルブのボンネットに設けた取付け台にガイド軸を立設し、当該ガイド軸の上端部にステッピングモータ及びカム機構から成るアクチュエータが取り付けられる昇降台を昇降自在に支持する構成としているため、アクチュエータがボディから離間した位置に配置されることになる。然も、本発明のカム式バルブは、アクチュエータ及び昇降台を収納ケースで囲繞する構成としている。その結果、本発明のカム式バルブを高温の流体や低温の流体を取り扱う流体供給ラインや冷媒循環回路に介設しても、アクチュエータが高温の流体や低温の流体の悪影響を受け難くなり、アクチュエータの延命化等を図れることになる。
更に、本発明のカム式バルブは、高さ微調整機構が、収納ケースの底部に上下方向へ移動調整自在に螺挿されて昇降台を下面側から支持する調整ネジと、昇降台の上面と収納ケースの天井部との間に介設されて昇降台を下方へ押圧附勢する弾性体とから構成されているため、高さ微調整機構自体の構造も極めて簡単になると共に、高さ微調整機構を昇降支持機構に設けても邪魔になると云うことがない。
The cam type valve of the present invention is provided with a lifting support mechanism that supports a stepping motor and an actuator composed of a cam mechanism on the bonnet of the valve so that the actuator can be moved up and down, and the height of the actuator with respect to the stem is finely adjusted in the lifting support mechanism. Since the fine adjustment mechanism is provided, the zero adjustment of the valve can be performed easily and easily by operating the height fine adjustment mechanism. As a result, the cam type valve of the present invention does not cause the diaphragm or the valve body of the valve to be excessively pressed against the valve seat, or contact between the diaphragm or the valve body and the valve seat becomes insufficient. Damage to the diaphragm, valve body, valve seat, etc. can be prevented, and fluid leakage when the valve is fully closed can be prevented, so that highly accurate flow rate control can be performed reliably and satisfactorily. However, the diaphragm, valve body, stem, etc. can be accurately positioned to the zero point position (fully open position or fully closed position) when the valve is fully open or fully open without increasing the processing accuracy and assembly accuracy of each component of the valve. Can be adjusted.
In the cam type valve of the present invention, a guide shaft is erected on a mounting base provided on the bonnet of the valve, and a lifting base on which an actuator comprising a stepping motor and a cam mechanism is attached to the upper end portion of the guide shaft can be raised and lowered. Since the supporting structure is adopted, the actuator is arranged at a position separated from the body. However, the cam type valve of the present invention has a configuration in which the actuator and the lifting platform are surrounded by the storage case. As a result, even if the cam type valve of the present invention is interposed in a fluid supply line or a refrigerant circulation circuit that handles a high-temperature fluid or a low-temperature fluid, the actuator is not easily affected by a high-temperature fluid or a low-temperature fluid. It will be possible to prolong life.
Furthermore, the cam type valve according to the present invention includes an adjustment screw in which the height fine adjustment mechanism is screwed into the bottom portion of the storage case so as to be movable in the vertical direction so as to support the lifting platform from the lower surface side, and the upper surface of the lifting platform. Since it is composed of an elastic body that is interposed between the ceiling part of the storage case and presses and urges the lifting platform downward, the structure of the height fine adjustment mechanism itself is extremely simple and the height is slightly reduced. Even if the adjustment mechanism is provided in the elevating support mechanism, there is no hindrance.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1及び図2は本発明の第1の実施形態に係るステッピングモータ駆動型のカム式バルブ1を示し、当該カム式バルブ1は、例えば半導体製造装置等の二つのチャンバー(ツインチャンバー)に夫々接続された分岐状の流体供給ラインに介設され、両チャンバーへTEOSやN2 等の流体を適宜の比率(例えば5対5〜4対6)で供給する分流制御用のバルブとして用いられるものであり、金属製のダイヤフラムを直接弁座2dへ当離座させて流体通路の開閉を行うようにしたノーマルオープン型のダイヤフラムバルブに構成されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 and 2 show a stepping motor-driven
即ち、前記カム式バルブ1は、図1及び図2に示す如く、流入通路2a、流出通路2b、弁室2c及び弁座2dを有するボディ2と、上方が開放された弁室2cの気密を保持すると共に、中央部が上下動して弁座2dへ直接当離座する金属製のダイヤフラム3と、ダイヤフラム3の外周縁部上面に配設した環状の押えアダプター4と、ダイヤフラム3の外周縁部を押えアダプター4を介してボディ2との間で気密状に挾持する筒状のボンネット5と、ボンネット5をボディ2に固定するボンネットナット6と、ボディ2内に配設され、ボンネット5に昇降自在に支持されたステム7と、ステム7の下端部に設けられ、ステム7の下降時にダイヤフラム3に当接してダイヤフラム3の中央部を押し下げるダイヤフラム押え8と、ステム7の上方位置に配設され、ステム7を下降させるステッピングモータ9及びカム機構10から成るアクチュエータと、ボンネット5に設けられ、アクチュエータを昇降自在に支持する昇降支持機構11と、昇降支持機構11に設けられ、ステム7に対するアクチュエータの高さ位置を微調整する高さ微調整機構12とから構成されており、ステム7を駆動するアクチュエータを高さ微調整機構12により上下に微調整してアクチュエータの高さ位置を変えることによって、バルブの零点調整を行えるようにしたものである。
尚、このカム式バルブ1の昇降支持機構11、アクチュエータ及び高さ微調整機構12以外の各構成は、従来公知のものと同様構造に構成されているため、ここではその詳細な説明を省略する。
That is, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
In addition, since each structure except the raising / lowering
前記昇降支持機構11は、ステム7を駆動するアクチュエータをステム7の上方位置で昇降自在に支持するものであり、ボンネット5の外周面に螺着されて止めネジ13によりボンネット5に固定された筒状の内側部材14′及び内側部材14′に嵌合固定された筒状の外側部材14″から成るフランジ14a付の取付け台14と、取付け台14の外側部材14″のフランジ14a上面にボルト15により立設され、上半分が下半分よりも小径に形成されてステム7と平行な段付きの左右のガイド軸16と、両ガイド軸16の小径部分に上下方向へ摺動自在に支持され、アクチュエータが取り付けられる前面が開放された箱状の昇降台17と、左右のガイド軸16の小径部分にボルト15により取り付けられ、両ガイド軸16の小径部分、アクチュエータ及び昇降台17を囲繞する収納ケース18と、両ガイド軸16の下端部に架設され、アクチュエータのカム機構10を構成するカム棒22の下端部を上下方向へ摺動自在に挿通支持する振れ止め板19等から構成されている。
又、昇降支持機構11の収納ケース18は、箱状に組み立てられたカバープレート18aと、カバープレート18aの底部内面に昇降台17の下面に対向すべくビス20により固定され、カム機構10のカム棒22の上端部を上下方向へ摺動自在に挿通支持する底板18bと、カバープレート18aの天井部内面に昇降台17の上面に対向すべく固定された天井板18cとから成る。
The
Further, the
前記アクチュエータは、ステッピングモータ9及びカム機構10から成り、ステッピングモータ9の回転運動をカム機構10により上下方向の直線運動に変えてステム7に伝達するものである。
The actuator comprises a
即ち、ステッピングモータ9は、収納ケース18内に水平姿勢で収納されており、その出力軸9aがステム7と直交する姿勢になるように昇降台17に固定されている。この実施形態に於いては、ステッピングモータ9には、基本ステップ角が0.9度で励磁方法が1−2相励磁のときにステップ角が0.45度になる2相型のステッピングモータ9が使用されている。
That is, the
一方、カム機構10は、ステッピングモータ9の出力軸9aに止めネジ13により固定され、外周面がカム面21aに形成された円盤状のカム板21と、収納ケース18の底板18b及び振れ止め板19に筒状のメタル37を介して上下方向へ摺動自在に挿通支持され、下端面がステム7の上端面に当接するカム棒22と、カム棒22の二股状に形成した上端部にピン23を介して回転自在に支持され、カム板21のカム面21aに当接するカムローラ24とから成り、カム板21がステッピングモータ9により回転駆動されると、カム板21のカム面21aがカムローラ24を押圧してカム棒22及びこれに当接するステム7を下降させるようになっている。
又、カム板21のカム面21aは、0度〜200度の範囲では最小半径からその半径が漸増して最大半径になり、200度〜360度の範囲では最大半径のままになっている。
更に、カム板21は、360度回転しないように230度の付近にストッパー(図示省略)が取り付けられており、原点(0度)〜200度の間で正逆回転するようになっている。
On the other hand, the
The
Further, the
尚、図1及び図2に於いて、25は昇降台17にブラケット26を介して取り付けた全開位置検出用のフォトセンサー、27はカム板21に取り付けられ、フォトセンサーにより位置検出されるセンサープレートである。
In FIG. 1 and FIG. 2,
前記高さ微調整機構12は、アクチュエータの高さ位置を微調整してバルブの零点調整を行うものであり、収納ケース18の底板18bに上下方向へ移動調整自在に螺挿され、上端面が昇降台17の下面に当接して昇降台17を支持する二本の調整ネジ12aと、昇降台17の上面と収納ケース18の天井板18cとの間に介設され、昇降台17を下方へ押圧附勢して調整ネジ12aの上端面へ常時当接させる弾性体12b(圧縮コイルスプリング)とから成る。
この高さ微調整機構12によれば、カム板21の最小半径部分がカムローラ24に当接している状態で二つの調整ネジ12aの締め込み量を調整してアクチュエータが取り付けられた昇降台17を上下方向に微調整し、アクチュエータの高さ位置を変えてカム機構10のカム棒22の下端面を最上位の位置にあるステム7の上端面へ当接させることによって、バルブの零点調整を行うことができる。即ち、バルブを全開位置へ調整することができる。
The height
According to this fine
而して、零点調整を行ったカム式バルブ1に於いては、カム板21の最小半径部分がカムローラ24に当接しているときには、ダイヤフラム3の弾性力やボディ2内の流体圧によりステム7等が最も上昇した状態となり、ダイヤフラム3の中央部と弁座2dとが最も離間した全開位置となっている。
この状態でステッピングモータ9へ所定数のパルス入力信号が加えられると、ステッピングモータ9が入力パルス数に応じたステッピング回転を行い、これによりカム板21が所定の角度だけ回転する。
カム板21が回転すると、カムローラ24が下方へ押圧され、これによりカム棒22及びステム7がダイヤフラム3の弾性力及びボディ2内の流体圧に抗して漸次下降すると共に、ダイヤフラム3の中央部がダイヤフラム押え8を介して下方へ徐々に押し下げられる。その結果、ダイヤフラム3と弁座2dとの間隔が狭くなり、流体の流量が制御されることになる。
Thus, in the
When a predetermined number of pulse input signals are applied to the stepping
When the
そして、ダイヤフラム3の中央部が完全に押し下げられてダイヤフラム3の中央部が弁座2dに当座したら、バルブが全閉状態になって流体の流通が完全に遮断される。
この状態でカム板21が反対方向に回転し、カム板21の最小半径部分がカムローラ24に対向すると、ダイヤフラム3がその弾性力やボディ2内の流体圧により元の形状に復元すると共に、ステム7及びカム棒22を上方へ押し上げる。その結果、カム式バルブ1は、ダイヤフラム3と弁座2dとが最も離間した全開位置となる。
And if the center part of the
In this state, when the
このカム式バルブ1に於いては、ステム7を駆動するアクチュエータを昇降支持機構11によりステム7に対して昇降自在に支持し、前記支持機構11に昇降台17を支持する調整ネジ12aと昇降台17を下方へ押圧附勢する弾性体12bとから成る高さ微調整機構12を設けているため、ダイヤフラム3が弁座2dへ当座した後は、アクチュエータを取り付けた昇降台17全体が上昇して弾性体12bを圧縮することになる。その結果、このカム式バルブ1に於いては、ダイヤフラム3が弁座2dへ過度に押し付けられると云うことがなく、ダイヤフラム3や弁座2d等の損傷を防止することができると共に、バルブの全閉時に於ける流体の漏洩を確実に防止することができる。然も、バルブの各構成部品の加工精度や組立精度を高めなくても、バルブの全開時(又は全閉時)にダイヤフラム3やステム7等を零点位置(全開位置又は全閉位置)へ正確に位置調整することができる。
又、このカム式バルブ1に於いては、バルブのボンネット5に設けた取付け台14にガイド軸16を立設し、このガイド軸16の上端部にアクチュエータが取り付けられる昇降台17を昇降自在に支持する構成としているため、アクチュエータがボディ2から離間した位置に配置されることになる。然も、このカム式バルブ1は、アクチュエータ及び昇降台17を収納ケース18で囲繞する構成としている。その結果、このカム式バルブ1を高温の流体を取り扱う流体供給ラインに介設しても、アクチュエータが高温の流体の悪影響を受け難くなり、アクチュエータの延命化等を図れることになる。
In this
Further, in this
図3及び図4は本発明の第2の実施形態に係るステッピングモータ駆動型のカム式バルブ1を示し、当該カム式バルブ1は、例えば半導体や液晶等の製造装置の冷却、加熱に使用するチラーユニットの冷媒循環回路の高い温度の流体(ハイドロフルオロエーテル等の冷媒)が流れる個所及び冷媒循環回路の低い温度の流体(冷媒)が流れる個所に夫々介設され、冷媒循環回路内を流れる流体を適宜に流量制御して流体の温度調整を行う冷媒制御用のバルブとして用いられるものであり、ステム7の下端部に設けた弁体を弁座2dへ当離座させて開閉を行うと共に、金属製のベローズ31により流体の漏洩を防止するようにしたノーマルオープン型のベローズバルブに構成されている。
3 and 4 show a stepping motor driven
即ち、前記カム式バルブ1は、図3及び図4に示す如く、流入通路2a、流出通路2b、弁室2c及び弁座2dを有するボディ2と、弁室2c内の上方位置にシール材28を介して配設されたベローズフランジ29と、ベローズフランジ29の外周縁部をボディ2との間で気密状に挾持する筒状のボンネット5と、ボンネット5をボディ2に固定するボンネットナット6と、ボディ2内に配設され、ベローズフランジ29の中央部に摺動自在に挿通されたステム7と、ステム7の下端部に設けられ、弁座2dに当離座する弁体30と、上端部がベローズフランジ29に溶接により気密状に固着されていると共に、下端部がステム7の下端部に溶接により気密状に固着された金属製のベローズ31と、ステム7の上端部にピン23′を介して取り付けられ、ボンネット5内に摺動自在に収納されてステム7の上端部をボンネット5内で保持するホルダー32と、ベローズフランジ29とホルダー32との間に介設され、ホルダー32を介してステム7を上方へ附勢保持する開弁用の圧縮コイルスプリング33と、ホルダー32の上端部に螺着され、カム機構10のカム棒22の下端部が当接する押えボルト34と、ステム7の上方位置に配設され、ステム7を下降させるステッピングモータ9及びカム機構10から成るアクチュエータと、ボンネット5に設けられ、アクチュエータを昇降自在に支持する昇降支持機構11と、昇降支持機構11に設けられ、ステム7に対するアクチュエータの高さ位置を微調整する高さ微調整機構12とから構成されており、ステム7を駆動するアクチュエータを高さ微調整機構12により上下に微調整してアクチュエータの高さ位置を変えることによって、バルブの零点調整を行えるようにしたものである。
尚、カム式バルブ1の昇降支持機構11、アクチュエータ及び高さ微調整機構12以外の構成は、従来公知のものと同様構造に構成されているため、ここではその詳細な説明を省略する。
That is, as shown in FIGS. 3 and 4, the
Since the configuration of the
前記昇降支持機構11は、ステム7を駆動するアクチュエータをステム7の上方位置で昇降自在に支持するものであり、ボンネット5の外周面に嵌合固定されたフランジ14a付きの筒状の取付け台14と、取付け台14のフランジ14a上面にボルト15により立設され、上半分が下半分よりも小径に形成されてステム7と平行な段付きの左右のガイド軸16と、両ガイド軸16の小径部分に上下方向へ摺動自在に支持され、アクチュエータが取り付けられる前面が開放された箱状の昇降台17と、左右のガイド軸16の小径部分にボルト15により取り付けられ、両ガイド軸16の小径部分、アクチュエータ及び昇降台17を囲繞する収納ケース18と、ガイド軸16の下端部に架設され、アクチュエータのカム機構10を構成するカム棒22の下端部を上下方向へ摺動自在に挿通支持する振れ止め板19等から構成されている。
又、昇降支持機構11の収納ケース18は、箱状に組み立てられたカバープレート18aと、カバープレート18aの底部内面に昇降台17の下面に対向すべくビス20により固定され、カム機構10のカム棒22の上端部を上下方向へ摺動自在に挿通支持する底板18bと、カバープレート18aの天井部内面に昇降台17の上面に対向すべく固定された天井板18cとから成る。
The elevating
Further, the
前記アクチュエータは、ステッピングモータ9及びカム機構10から成り、ステッピングモータ9の回転運動をカム機構10により上下方向の直線運動に変えてステム7に伝達するものである。
The actuator comprises a stepping
即ち、ステッピングモータ9は、収納ケース18内に水平姿勢で収納されており、その出力軸9aがステム7と直交する姿勢になるように昇降台17に固定されている。この実施形態に於いては、ステッピングモータ9には、基本ステップ角が0.25度で励磁方法が1−2相励磁のときにステップ角が0.125度になる2相型のステッピングモータ9が使用されている。
That is, the stepping
一方、カム機構10は、外周面がカム面21aに形成され、一側面に突設形成した支持軸21bが収納ケース18の底板18b上面に固定した軸受台35にベアリング35aを介して回転自在に支持されていると共に、他側面に突設形成した支持軸21bがカップリング36を介してステッピングモータ9の出力軸9aに連結された円盤状のカム板21と、収納ケース18の底板18b及び振れ止め板19に筒状のメタル37を介して上下方向へ摺動自在に挿通支持され、下端面が押えボルト34の頭部上面に当接するカム棒22と、カム棒22の二股状に形成した上端部にピン23を介して回転自在に支持され、カム板21のカム面21aに当接するカムローラ24とから成り、カム板21がステッピングモータ9により回転駆動されると、カム板21のカム面21aがカムローラ24を押圧してカム棒22、押えボルト34、ホルダー32及びステム7を下降させるようになっている。
又、カム板21のカム面21aは、0度〜200度の範囲では最小半径からその半径が漸増して最大半径になり、200度〜360度の範囲では最大半径のままになっている。
更に、カム板21は、360度回転しないように230度の付近にストッパー(図示省略)が取り付けられており、原点(0度)〜200度の間で正逆回転するようになっている。
On the other hand, the
The
Further, the
尚、図3及び図4に於いて、25は昇降台17にブラケット26を介して取り付けた全開位置検出用のフォトセンサー、27はカム板21に取り付けられ、フォトセンサーにより位置検出されるセンサープレートである。
3 and 4,
前記高さ微調整機構12は、アクチュエータの高さ位置を微調整してバルブの零点調整を行うものであり、収納ケース18の底板18bに上下方向へ移動調整自在に螺挿され、上端面が昇降台17の下面に当接して昇降台17を支持する二本の調整ネジ12aと、昇降台17の上面と収納ケース18の天井板18cとの間に介設され、昇降台17を下方へ押圧附勢して調整ネジ12aの上端面へ常時当接させる弾性体12b(圧縮コイルスプリング33)とから成る。
この高さ微調整機構12によれば、カム板21の最小半径部分がカムローラ24に当接している状態で二つの調整ネジ12aの締め込み量を調整してアクチュエータが取り付けられた昇降台17を上下方向に微調整し、アクチュエータの高さ位置を変えてカム機構10のカム棒22の下端面を最上位の位置にある押えボルト34の頭部上面へ当接させることによって、バルブの零点調整を行うことができる。即ち、バルブを全開位置へ調整することができる。
The height
According to this fine
而して、零点調整を行ったカム式バルブ1に於いては、カム板21の最小半径部分がカムローラ24に当接しているときには、開弁用の圧縮コイルスプリング33の弾性力によりステム7及びカム棒22等が最も上昇した状態となり、ステム7の下端部に設けた弁体30と弁座2dとが最も離間した全開位置となっている。
この状態でステッピングモータ9へ所定数のパルス入力信号が加えられると、ステッピングモータ9が入力パルス数に応じたステッピング回転を行い、これによりカム板21が所定の角度だけ回転する。
カム板21が回転すると、カムローラ24が下方へ押圧され、これによりカム棒22、押えボルト34、ホルダー32及びステム7が開弁用の圧縮コイルスプリング33の弾性力に抗して漸次下降する。その結果、ステム7の下端部に設けた弁体30と弁座2dとの間隔が狭くなり、流体の流量が制御されることになる。
Thus, in the
When a predetermined number of pulse input signals are applied to the stepping
When the
そして、ステム7が最下位の位置へ下降してステム7の下端部に設けた弁体30が弁座2dに当座したら、バルブが全閉状態になって流体の流通が完全に遮断される。
この状態でカム板21が反対方向に回転し、カム板21の最小半径部分がカムローラ24に対向すると、開弁用の圧縮コイルスプリング33の弾性力によりステム7及びカム棒22等を上方へ押し上げる。その結果、カム式バルブ1は、ステム7の下端部に設けた弁体30と弁座2dとが最も離間した全開位置となる。
When the
In this state, when the
このカム式バルブ1に於いては、ステム7を駆動するアクチュエータを昇降支持機構11によりステム7に対して昇降自在に支持し、前記支持機構11に昇降台17を支持する調整ネジ12aと昇降台17を下方へ押圧附勢する弾性体12bとから成る高さ微調整機構12を設けているため、ダイヤフラム3が弁座2dへ当座した後は、アクチュエータを取り付けた昇降台17全体が上昇して弾性体12bを圧縮することになる。その結果、このカム式バルブ1に於いては、ダイヤフラム3が弁座2dへ過度に押し付けられると云うことがなく、弁体30や弁座2d等の損傷を防止することができると共に、バルブの全閉時に於ける流体の漏洩を確実に防止することができる。然も、バルブの各構成部品の加工精度や組立精度を高めなくても、バルブの全開時(全閉時)に弁体30及びステム7等を零点位置(全開位置又は全閉位置)へ正確に位置調整することができる。
又、このカム式バルブ1に於いては、バルブのボンネット5に設けた取付け台14にガイド軸16を立設し、このガイド軸16の上端部にアクチュエータが取り付けられる昇降台17を昇降自在に支持する構成としているため、アクチュエータがボディ2から離間した位置に配置されることになる。然も、このカム式バルブ1は、アクチュエータ及び昇降台17を収納ケース18で囲繞する構成としている。その結果、このカム式バルブ1を冷媒を取り扱う冷媒循環回路に介設しても、アクチュエータが冷媒の悪影響を受け難くなり、アクチュエータの延命化等を図れることになる。
In this
Further, in this
本発明に係るカム式バルブ1は、主として半導体製造設備等の流体供給ラインやチラーユニットの冷媒循環回路に於いて利用されるが、その利用対象は上記半導体製造装置等に限定されるものではなく、化学産業や薬品産業、食品産業等の各種装置に於ける流体供給ライン等に於いても利用されるものである。
The
1はカム式バルブ、2はボディ、2aは流入通路、2bは流出通路、2cは弁室、2dは弁座、3はダイヤフラム、5はボンネット、7はステム、9はステッピングモータ、10はカム機構、11は昇降支持機構、12は高さ微調整機構、12aは調整ネジ、12bは弾性体、14は取付け台、16はガイド軸、17は昇降台、18は収納ケース、30は弁体。
1 is a cam type valve, 2 is a body, 2a is an inflow passage, 2b is an outflow passage, 2c is a valve chamber, 2d is a valve seat, 3 is a diaphragm, 5 is a bonnet, 7 is a stem, 9 is a stepping motor, and 10 is a
Claims (2)
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006232906A JP4619337B2 (en) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | Cam type valve |
TW096123095A TW200833988A (en) | 2006-08-30 | 2007-06-26 | Cam type valve |
CN2007800323608A CN101512202B (en) | 2006-08-30 | 2007-08-21 | Cam valve |
EP07790376A EP2058568A4 (en) | 2006-08-30 | 2007-08-21 | Cam valve |
KR1020087030781A KR101020142B1 (en) | 2006-08-30 | 2007-08-21 | Cam valve |
US12/439,572 US8561966B2 (en) | 2006-08-30 | 2007-08-21 | Cam valve |
PCT/JP2007/000891 WO2008026306A1 (en) | 2006-08-30 | 2007-08-21 | Cam valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006232906A JP4619337B2 (en) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | Cam type valve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008057594A true JP2008057594A (en) | 2008-03-13 |
JP4619337B2 JP4619337B2 (en) | 2011-01-26 |
Family
ID=39135597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006232906A Active JP4619337B2 (en) | 2006-08-30 | 2006-08-30 | Cam type valve |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8561966B2 (en) |
EP (1) | EP2058568A4 (en) |
JP (1) | JP4619337B2 (en) |
KR (1) | KR101020142B1 (en) |
CN (1) | CN101512202B (en) |
TW (1) | TW200833988A (en) |
WO (1) | WO2008026306A1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011064948A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | 株式会社フジキン | Cam control valve |
JP2015049569A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社フジキン | Gas diversion supply device and gas diversion supply method |
KR101535886B1 (en) * | 2013-07-15 | 2015-07-13 | 주식회사 경동나비엔 | Proportional control valve |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITCR20110016A1 (en) * | 2011-11-15 | 2013-05-16 | Marinella Cortellini | MACHINE TO CRUSH, REDUCE INTO POLISH IN THE PRESENCE OF WATER AND DOWNLOAD MEDICAL DISPOSABLE PAPER OBJECTS |
JP5665793B2 (en) * | 2012-04-26 | 2015-02-04 | 株式会社フジキン | Variable orifice type pressure control flow controller |
CN102840376A (en) * | 2012-09-26 | 2012-12-26 | 济南丰瑞电子科技有限公司 | Liquid rotary valve used for sheet processing machine |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
EP2884086B1 (en) * | 2013-12-11 | 2017-12-20 | Borgwarner Inc. | Actuator with valve return |
DE102016210315B4 (en) * | 2016-06-10 | 2018-03-08 | Hanon Systems | Device for converting a rotational movement into a translational movement of a valve element |
US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
CN107355566B (en) * | 2017-08-29 | 2023-03-21 | 哈尔滨工业大学 | Programmable control four-channel valve device and using method thereof |
US11427995B2 (en) * | 2018-10-10 | 2022-08-30 | Kohler Co. | Quiet flush actuator for pressure-assist toilets |
CN113007428B (en) * | 2019-12-20 | 2023-04-18 | 科勒公司 | Commercial non-contact sensor shower faucet with integral thermostatic valve |
CN114593236A (en) * | 2020-12-03 | 2022-06-07 | 吉诺工业有限公司 | Hot water valve device |
CN116857400B (en) * | 2023-09-04 | 2023-11-21 | 常州远望流体科技有限公司 | Pinch valve with multi-pipeline switching function |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117779A (en) * | 1984-07-04 | 1986-01-25 | Fujikin:Kk | Control valve |
JPS61117972U (en) * | 1985-01-09 | 1986-07-25 | ||
JP2002168361A (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Kitz Sct:Kk | Flow control valve |
JP2006112504A (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Saginomiya Seisakusho Inc | Motor-operated valve |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1635146A (en) * | 1924-01-29 | 1927-07-05 | Sullivan Machinery Co | Valve mechanism |
US3656709A (en) * | 1970-07-08 | 1972-04-18 | Nupro Co | Valve having improved cam-type actuator |
JPS61117972A (en) | 1984-11-13 | 1986-06-05 | Canon Inc | Printer |
JPS61117971A (en) | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Canon Inc | Facsimile equipment |
JPS61117971U (en) | 1985-01-09 | 1986-07-25 | ||
DE3507091A1 (en) * | 1985-02-28 | 1986-08-28 | Kraftwerk Union AG, 4330 Mülheim | ARMATURE TO BLOCK A FLOW |
CN87213571U (en) * | 1987-09-19 | 1988-10-12 | 白龙山 | Multi-function universal drainer |
US5551477A (en) * | 1994-07-08 | 1996-09-03 | Kabushiki-Kaisha Motoyama Seisakusho | Diaphragm-type flow control valve and manual control valve apparatus |
CN1067754C (en) * | 1997-08-18 | 2001-06-27 | 机械工业部天津电气传动设计研究所 | Cam direct control main pressure-distribution valve device for water turbine speed regulator step motor |
US6443135B1 (en) * | 1999-10-05 | 2002-09-03 | Pierburg Aktiengesellschaft | Assembly of a valve unit, a combustion air intake and an exhaust gas recirculation unit for an internal combustion engine |
-
2006
- 2006-08-30 JP JP2006232906A patent/JP4619337B2/en active Active
-
2007
- 2007-06-26 TW TW096123095A patent/TW200833988A/en unknown
- 2007-08-21 CN CN2007800323608A patent/CN101512202B/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-21 WO PCT/JP2007/000891 patent/WO2008026306A1/en active Application Filing
- 2007-08-21 EP EP07790376A patent/EP2058568A4/en not_active Withdrawn
- 2007-08-21 US US12/439,572 patent/US8561966B2/en active Active
- 2007-08-21 KR KR1020087030781A patent/KR101020142B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117779A (en) * | 1984-07-04 | 1986-01-25 | Fujikin:Kk | Control valve |
JPS61117972U (en) * | 1985-01-09 | 1986-07-25 | ||
JP2002168361A (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Kitz Sct:Kk | Flow control valve |
JP2006112504A (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Saginomiya Seisakusho Inc | Motor-operated valve |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011064948A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | 株式会社フジキン | Cam control valve |
JP2011117473A (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-16 | Fujikin Inc | Cam type control valve |
CN102483180A (en) * | 2009-11-30 | 2012-05-30 | 株式会社富士金 | Fujikin kk |
KR101266827B1 (en) | 2009-11-30 | 2013-05-27 | 가부시키가이샤 후지킨 | Cam control valve |
US8833730B2 (en) | 2009-11-30 | 2014-09-16 | Fujikin Incorporated | Cam control valve |
KR101535886B1 (en) * | 2013-07-15 | 2015-07-13 | 주식회사 경동나비엔 | Proportional control valve |
JP2015049569A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社フジキン | Gas diversion supply device and gas diversion supply method |
US9477232B2 (en) | 2013-08-30 | 2016-10-25 | Fujikin Incorporated | Apparatus for dividing and supplying gas and method for dividing and supplying gas |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101512202A (en) | 2009-08-19 |
US8561966B2 (en) | 2013-10-22 |
KR20090018647A (en) | 2009-02-20 |
CN101512202B (en) | 2011-04-06 |
EP2058568A4 (en) | 2011-06-01 |
WO2008026306A1 (en) | 2008-03-06 |
TW200833988A (en) | 2008-08-16 |
KR101020142B1 (en) | 2011-03-08 |
TWI350355B (en) | 2011-10-11 |
JP4619337B2 (en) | 2011-01-26 |
US20100207044A1 (en) | 2010-08-19 |
EP2058568A1 (en) | 2009-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4619337B2 (en) | Cam type valve | |
TWI390137B (en) | Cam type control valve | |
KR101282925B1 (en) | Flow control valve | |
KR102166660B1 (en) | Device for valve operation precision test | |
US11110481B2 (en) | Liquid material discharge device, and application device and application method therefor | |
US20180163876A1 (en) | Vacuum gate valve | |
JP5119358B2 (en) | Motorized valve and position setting method of fixed stopper piece in motorized valve | |
JP4667964B2 (en) | Flow control valve | |
US6572075B2 (en) | Valve for controlling flow rate of gas | |
JP2020020371A (en) | Actuator and valve device using the same | |
JP2011194530A (en) | Automatic centering device and automatic centering method | |
JP4221258B2 (en) | Control valve | |
ES2725600T3 (en) | Sliding grinding machine and interstitial adjustment procedure | |
KR101405313B1 (en) | High velocity pressure valve | |
KR20170080406A (en) | Apparatus and method for treating a substrate | |
WO2019163604A1 (en) | Cam-type control valve, and stroke adjustment method for cam-type control valve | |
CN109477501A (en) | For controlling the control system of fluid actuator | |
JP5274972B2 (en) | Precision press machine | |
JP2015224751A (en) | Gate valve for vacuum | |
JP6614648B2 (en) | Linear gauge | |
JP4234847B2 (en) | Proportional control valve | |
JP2006222143A (en) | Leveling adjusting device | |
JP2023502660A (en) | Gas inlet valve for vacuum process chamber | |
KR20120032052A (en) | Pressure reducing valve | |
JP2003254458A (en) | Equalizing valve |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101020 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101026 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131105 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4619337 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |