JP2008047939A - Substrate surface processing apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は基板表面処理装置に係り、特に、均一なガス流分布を形成するとともに、面内温度均一性に優れかつ処理中の温度変化を抑えたガス放出機構を有する基板表面処理装置に関する。 The present invention relates to a substrate surface treatment apparatus, and more particularly to a substrate surface treatment apparatus having a gas release mechanism that forms a uniform gas flow distribution, has excellent in-plane temperature uniformity, and suppresses temperature changes during processing.
ドライエッチングやCVD等のガスを用いた表面処理は、基板及びその周辺部材の温度及びガスの流れにより大きく影響される。従って、安定した処理を連続して行うには、基板の温度制御機構のみならず、均一なガス流分布を形成でき、かつ所定の温度に制御されたガス放出機構が必要となる。 Surface treatment using a gas such as dry etching or CVD is greatly affected by the temperature of the substrate and its peripheral members and the gas flow. Therefore, in order to perform stable processing continuously, not only the temperature control mechanism of the substrate but also a gas discharge mechanism that can form a uniform gas flow distribution and is controlled to a predetermined temperature is required.
従来のガス放出機構を図11を参照して説明する。図11は、特許文献1に開示されたドライエッチング装置の構造を示す模式的断面図である。図に示すように、処理室100内部に、基板105に対向して対向電極となるガス放出機構101が配置される。この対向電極101は、多数のガス吹出孔104aを有するガス吹出板104、これを固定する補強板103、及び冷却水路106を内蔵する冷却ジャケット102から構成され、絶縁体108を介して処理室100に固定されている。冷却ジャケット102及び補強板103には、ガス吹出板の吹出孔104aに連通するようにガス通路102a、103aが形成されている。ガス吹出板104はロウ付け等により厚さ10mm程度の補強板103に固定され、補強板はさらにボルト109により冷却ジャケット102に固定される。また、補強板とガス吹出板の対向する面には、吹出孔104aとガス通路103aとの位置あわせを容易とするための複数のガス分散溝103b,104bが互いに直交するように形成されている。ガス導入管110を通して導入されるガスは、ガス流路107で分散し、ガス通路102a、103a、ガス分散路103b、104bを通り、ガス吹出孔104aから処理室100内に放出される。また、冷却ジャケット102には、冷却水路106が形成され、冷却水は冷却水供給管106aから供給され排出管106bに排出される。プラズマに曝されるガス吹出板は、冷却ジャケットと補強板、及び補強板とガス吹出板との熱伝達により間接的に冷却される。このようにして、ガス吹出板の温度上昇を抑えエッチング処理の均一性を図っている。
A conventional gas release mechanism will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the dry etching apparatus disclosed in
しかしながら、本発明者が超微細パターンの高速エッチング処理方法を研究開発するなかで、ガス放出機構の構成とエッチングパターン精度との関係を種々検討したところ、より微細なパターンを形成するためには、ガス流分布のより一層の均一化とガス吹出板のより高精度な温度制御が不可欠であり、図11に示したガス放出機構では、両者を同時に満足させることは困難であることが明らかになった。 However, while the present inventor has researched and developed a high-speed etching method for ultrafine patterns, various studies have been made on the relationship between the configuration of the gas release mechanism and the etching pattern accuracy, and in order to form a finer pattern, It is indispensable to make the gas flow distribution more uniform and to control the temperature of the gas blowing plate with higher accuracy. With the gas release mechanism shown in FIG. 11, it is difficult to satisfy both at the same time. It was.
即ち、図11では補強板を介してガス吹出板を間接的に冷却する構成としているため、処理条件によってガス吹出板の冷却能力が不足し、パターンが微細化するにつれて、エッチング均一性が低下することが分かった。そこで、冷却能力を高めるために冷却水路を大きくする検討を行ったが、所望の冷却能力は得られるものの、このためにはガス吹出孔の密度を低下せざるを得ず、このためガス流分布の均一性が低下することになり、結果的に十分なエッチング均一性が得られないことが分かった。 That is, in FIG. 11, since the gas blowing plate is indirectly cooled through the reinforcing plate, the cooling capability of the gas blowing plate is insufficient depending on the processing conditions, and the etching uniformity decreases as the pattern becomes finer. I understood that. Therefore, a study was conducted to increase the cooling water channel in order to increase the cooling capacity. However, although the desired cooling capacity was obtained, for this purpose, the density of the gas blowing holes had to be reduced, and therefore the gas flow distribution was reduced. As a result, it was found that sufficient etching uniformity could not be obtained.
さらに、処理を連続して繰り返し行う場合には、処理開始から所定の期間はエッチング特性が安定せず、所望の特性が得られない期間があり、この間の処理は無駄になるという問題がある。この問題は、パターンがより微細化するにつれて深刻となり、0.13μmパターンの場合、処理開始から15〜20枚程度の処理は無駄になることが明らかになった。 Further, when the process is repeatedly performed continuously, there is a problem that the etching characteristic is not stable for a predetermined period from the start of the process, and a desired characteristic cannot be obtained, and the process during this period is wasted. This problem becomes more serious as the pattern becomes finer, and in the case of a 0.13 μm pattern, it has become clear that processing of about 15 to 20 sheets from the start of processing is wasted.
また、図11のガス放出機構は、ガス吹出板をロウ付け等により補強板に貼り付ける構成としているため、貼り付け時にガス吹出板表面が汚染されやすく、エッチング特性を低下させる原因となるとともに、ガス吹出孔を閉塞することなく貼り付けるのは容易でなく、作業は熟練を要ししかも煩雑であるという問題もあった。なお、この問題を回避するために、ガス吹出板の一部をボルトで締め付け固定する方法も開示されているが、十分な冷却効果が得られず、また均等な圧力で固定するのは容易ではないため、温度分布が大きくなるという問題があった。さらに、処理中の熱によりガス吹出板が破損し易いという問題があった。さらに、レジストと反応する活性種を除去するために、ガス吹出板はスカベンジャー材で構成するのが好ましいが、SiやSiO2等の材料に溝等の複雑な形状を形成すると処理中の熱履歴により割れ易くなるという問題があった。 Moreover, since the gas discharge mechanism of FIG. 11 is configured to attach the gas blowing plate to the reinforcing plate by brazing or the like, the gas blowing plate surface is likely to be contaminated at the time of bonding, which causes the etching characteristics to deteriorate, It is not easy to apply the gas blowing holes without blocking them, and there is a problem that the work is skillful and complicated. In order to avoid this problem, a method of fastening and fixing a part of the gas blowing plate with a bolt is also disclosed, but a sufficient cooling effect cannot be obtained, and it is not easy to fix with a uniform pressure. Therefore, there is a problem that the temperature distribution becomes large. Furthermore, there has been a problem that the gas blowing plate is easily damaged by heat during processing. Further, in order to remove the active species that react with the resist, the gas blowing plate is preferably made of a scavenger material. However, if a complicated shape such as a groove is formed in a material such as Si or SiO 2 , the heat history during processing There was a problem that it became easy to break.
以上のガス流分布及びガス吹出板温度分布の問題は、エッチング装置に限らず他の基板表面処理装置でも発生するものである。例えば、熱CVD装置のガス放出機構に温度分布があると、熱の高い部分で分解が進みすぎガス吹出板のその部分に膜が堆積し、これが剥離してパーティクル発生の原因になる。また、場合によってはガス吹出板の温度分布に対応して基板上の膜堆積速度が変化してしまうという問題があった。 The above problems of the gas flow distribution and gas blowing plate temperature distribution occur not only in the etching apparatus but also in other substrate surface processing apparatuses. For example, if there is a temperature distribution in the gas release mechanism of the thermal CVD apparatus, the decomposition proceeds too much in the high heat part, and a film is deposited on that part of the gas blowing plate, which peels off and causes particle generation. In some cases, the film deposition rate on the substrate changes corresponding to the temperature distribution of the gas blowing plate.
本発明者は、かかる知見を基に更に検討を進め、特にエッチング装置について、ガス放出機構の構造及びその構成部材の配置とエッチング特性、再現性との関係を鋭意検討することにより、本発明を完成したものである。即ち、本発明は、均一なガス流分布の形成を可能とするとともに、ガス吹出板の温度及びその分布の制御性に優れたガス放出機構を実現し、均一な処理を連続して行うことが可能な基板表面処理装置を提供することを目的とする。 The present inventor has further studied on the basis of such knowledge, and in particular, with regard to the etching apparatus, the present invention has been studied by intensively examining the relationship between the structure of the gas release mechanism and the arrangement of its constituent members and the etching characteristics and reproducibility. It has been completed. That is, the present invention enables the formation of a uniform gas flow distribution and realizes a gas discharge mechanism with excellent controllability of the temperature of the gas blowing plate and its distribution, so that uniform processing can be performed continuously. An object of the present invention is to provide a possible substrate surface treatment apparatus.
本発明の第1の基板表面処理装置は、基板載置機構及びガス放出機構を対向して有する処理室と、該処理室の内部を排気する排気手段と、前記ガス放出機構にガスを供給するためのガス供給手段とを有する基板表面処理装置において、
前記ガス放出機構は、上流側から、前記ガス供給手段と連通するガス分散空間、複数のガス通路を有しかつ冷媒流路又はヒータが設けられた冷却又は加熱機構、前記ガス通路と連通する複数のガス吹出孔を有するガス吹出板の順に配置された構成で、
前記ガス吹出板は、前記冷却又は加熱機構に固定されており、
前記ガス分散空間には、小孔を有するガス分散板が設けられていること
を特徴とする。
The first substrate surface treatment apparatus of the present invention, supply and processing chamber having opposite a board mounting location mechanism and a gas discharge mechanism, and exhaust means for exhausting the interior of the processing chamber, the gas in the gas discharge mechanism In a substrate surface processing apparatus having a gas supply means for performing
The gas discharge mechanism, from the upstream side, the gas supply means communicates with gas distribution space has a plurality of gas passages and cooling却又the coolant channel or heater provided the heating mechanism, the gas passage communicating with In the configuration arranged in the order of the gas blowing plate having a plurality of gas blowing holes,
The gas outlet plate, said cold却又is fixed to the heating mechanism,
The gas dispersion space is provided with a gas dispersion plate having small holes .
このように、ガス放出機構を、ガス上流側から、ガス分散空間に設けられたガス分散板、冷却又は加熱機構、及びガス吹出板の順に配置することにより、均一なガス流分布を形成できるとともに、ガス吹出板が加熱又は冷却機構に直接接触し、しかも静電吸着機構や把持機構により均一に圧着されるため、ガス吹出板の冷却及び加熱効率並びにその均一性は大幅に改善され、ガス吹出板表面全面を所定の温度で均一に保つことが可能となる。 In this way, by arranging the gas release mechanism in this order from the gas upstream side to the gas dispersion plate provided in the gas dispersion space , the cooling or heating mechanism, and the gas outlet plate, a uniform gas flow distribution can be formed. , direct contact with the heating or cooling mechanism is a gas outlet plate, yet because they are uniformly crimped by an electrostatic chuck mechanism or the holding mechanism, the cooling and heating efficiency as well as the uniformity of the gas outlet plate is greatly improved, the gas outlet It is possible to keep the entire surface of the plate uniform at a predetermined temperature.
本発明の第2の基板表面処理装置は、基板載置機構及びガス放出機構を対向して有する処理室と、該処理室の内部を排気する排気手段と、前記ガス放出機構にガスを供給するためのガス供給手段とを有する基板表面処理装置において、
前記ガス放出機構は、上流側から、前記ガス供給手段と連通するガス分散空間、複数のガス通路を有しかつ冷媒流路又はヒータが設けられた冷却又は加熱機構、前記ガス通路と連通する複数のガス吹出孔を有するガス吹出板の順に配置された構成で、
前記ガス吹出板は、前記ガス通路の一つを介して供給されるガスを前記ガス吹出孔の複数へ送るガス分散機構を介して前記加熱又は冷却機構に固定されており、
前記ガス分散空間には、小孔を有するガス分散板が設けられていることを特徴とする。
Second substrate surface treatment apparatus of the present invention, supply and processing chamber having opposite a board mounting location mechanism and a gas discharge mechanism, and exhaust means for exhausting the interior of the processing chamber, the gas in the gas discharge mechanism In a substrate surface processing apparatus having a gas supply means for performing
The gas discharge mechanism, from the upstream side, the gas supply means communicates with gas distribution space has a plurality of gas passages and cooling却又the coolant channel or heater provided the heating mechanism, before SL gas passage communicating with In the configuration arranged in the order of the gas blowing plate having a plurality of gas blowing holes,
The gas blowing plate is fixed to the heating or cooling mechanism via a gas dispersion mechanism that sends a gas supplied through one of the gas passages to a plurality of the gas blowing holes ,
The gas dispersion space is provided with a gas dispersion plate having small holes .
ガス分散機構をガス吹出板と冷却又は加熱機構との間に設けて、冷却又は加熱機構のガス通路を分岐させることにより、冷媒通路等の直下にもガス吹出孔を設けることが可能となる。即ち、冷却能力の大きな冷媒流路を設ける場合であっても、均一なガス流分布に不可欠な高密度のガス吹出孔を配置することが可能となる。この結果、上記本発明の第1の基板表面処理装置と同じく、均一なガス流分布を維持しつつ、ガス吹出板の温度上昇の抑制及び温度均一性の向上が可能となり、均一な処理を安定して繰り返し行うことができる。 The gas dispersion mechanism is provided between the cooling or heating mechanism and gas supply plate, by diverting the gas passage of the cooling or heating mechanism, it is possible to provide a gas blowout hole to just below such refrigerant passage . That is, even when a refrigerant flow path having a large cooling capacity is provided, it is possible to arrange high-density gas blowing holes that are essential for uniform gas flow distribution. As a result, as in the first substrate surface processing apparatus of the present invention, it is possible to suppress the temperature rise of the gas blowing plate and improve the temperature uniformity while maintaining a uniform gas flow distribution, and to stabilize the uniform processing. Can be repeated.
さらに、本発明において、前記ガス分散機構は、厚さを0.1mm以下の空間とし、該空間の圧力が100Pa以上となるように構成するのが好ましい。これにより、冷却又は加熱機構とガス吹出板との間で、ガスを介した熱伝達が大きくなり、冷却効率が向上する。また、前記ガス吹出孔の直径を0.01〜1mmとするのが好ましく、0.2mm以下とするのがより好ましい。これによりガス流の分布を一層均一に制御することができ、基板全面でガスを均一に流すことができる。なお、本発明の基板表面処理装置は、ガス放出機構に高周波電力を供給することによりプラズマを発生させて処理を行うプラズマ処理装置に好適に適用される。 Further, in the present invention, before outs scan dispersion mechanism, and a thickness of less space 0.1 mm, preferably a pressure of the space is configured to be above 100 Pa. Thereby, between the cooling or heating mechanism and the gas blowing plate, heat transfer via the gas is increased, and the cooling efficiency is improved. Moreover, it is preferable that the diameter of the said gas blowing hole shall be 0.01-1 mm, and it is more preferable to set it as 0.2 mm or less. Thereby, the distribution of the gas flow can be controlled more uniformly, and the gas can be made to flow uniformly over the entire surface of the substrate. The substrate surface processing apparatus of the present invention is preferably applied to a plasma processing apparatus that performs processing by generating plasma by supplying high-frequency power to a gas release mechanism.
また、前記ガス吹出板と前記冷却又は加熱機構あるいはガス分散機構との接触面を互いに嵌合する凹凸部を設けることにより、ガス吹出板の冷却効率、加熱効率、及びガス吹出板温度の均一性は一層向上する。また、前記ガス吹出板を、柔軟性を有する伝熱シートを介して前記冷却又は加熱機構にあるいは前記ガス分散機構に固定しても良く、接触面の微少な凹凸内に伝熱シートが入り込むことにより、熱伝達性が向上する。前記ガス吹出板の材質としては、特にエッチング装置の場合は、Si、SiO2、SiC又はカーボン等の非金属材料が好適に用いられる。 Further, the gas supply plate and walk the cooling or heating mechanism by providing an uneven portion for mating contact surface between the gas distribution mechanism, the cooling efficiency of the gas outlet plate, the heating efficiency, and the gas outlet plate temperature The uniformity is further improved. Also, the gas outlet plate, be fixed to the cooling or heating mechanism or pre-outs scan dispersion mechanism via a heat transfer sheet having flexibility may, the heat transfer sheet in the fine irregularities of the contact surfaces Heat penetration improves by entering. As the material of the gas blowing plate, non-metallic materials such as Si, SiO 2 , SiC or carbon are preferably used particularly in the case of an etching apparatus.
本発明のガス放出機構を用いることにより、ガス吹出板のガス吹出孔からのガス吹き出し量を均一とし、かつガス吹出板を効率よく均一に加熱又は冷却することができる。このため、ガス吹出板の熱による曲がりや割れを防止することができるとともに、エッチンクにおいては、エッチングレートやレジスト選択比、ホール内選択比、コンタクトホール形状を基板全面で均一にすることができる。また、熱CVD、プラズマCVDやアッシング処理においても、均一な処理速度を実現することが可能となる。 By using the gas discharge mechanism of the present invention, the amount of gas blown from the gas blowing holes of the gas blowing plate can be made uniform, and the gas blowing plate can be heated or cooled efficiently and uniformly. Therefore, it is possible to prevent the gas blowing plate from being bent or cracked, and in etching, the etching rate, the resist selectivity, the in-hole selectivity, and the contact hole shape can be made uniform over the entire surface of the substrate. Further, even in thermal CVD, plasma CVD, or ashing processing, a uniform processing speed can be realized.
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。本発明の第1の実施の形態として、本発明を基板表面処理装置の1つであるエッチング装置に適用した場合について以下に説明する。図1は、本発明のエッチング装置の一構成例を示す模式的縦断面図であり、処理ガスをガス放出機構から基板に向けて吹き出すとともに、ガス放出機構に高周波電力を供給してプラズマを発生させ、これにより基板のエッチング処理を行う装置である。即ち、本実施の形態では、ガス放出機構が基板載置電極に対向して配置される対向電極の役割を担っている。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. As a first embodiment of the present invention, a case where the present invention is applied to an etching apparatus which is one of substrate surface processing apparatuses will be described below. FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing an example of the configuration of an etching apparatus according to the present invention, in which a processing gas is blown from a gas release mechanism toward a substrate and high-frequency power is supplied to the gas release mechanism to generate plasma. Thus, the apparatus performs the etching process on the substrate. That is, in the present embodiment, the gas release mechanism plays the role of a counter electrode that is disposed to face the substrate mounting electrode.
図1に示すように、処理室1内には、対向電極(ガス放出機構)2と、基板40を載置する基板載置電極(基板載置機構)7とが対向して配置され、それぞれ絶縁体12a,12bを介して処理室1に固定されている。処理室内部は、バルブ13を介して排気手段(不図示)に連結されている。対向電極2は、プラズマ発生用の第1の高周波電源14に連結されるとともに、ガス導入管10を介してガスボンベ、マスフローコントローラー及びストップバルブ等からなるガス供給手段22に連結されている。
As shown in FIG. 1, a counter electrode (gas release mechanism) 2 and a substrate placement electrode (substrate placement mechanism) 7 on which a
対向電極2は、多数の小孔4aを有するガス分散板4bと、多数のガス通路5aを有する冷却ジャケット(冷却機構)5と、ガス通路5aと連通するガス吹出孔6aを有するガス吹出板6とからなり、これらが円筒状の枠体3内部に配置、固定されている。冷却ジャケット5の内部には冷媒流路5bが設けられ、冷媒は導入管5cから、例えば枠体3に設けられた配管を通り冷媒通路5bに供給され、排出管5dを通して排出される。なお、多数の小孔4aを有するガス分散板4bは、ガス供給手段22と連通する、冷却ジャケット5上部の空間であるガス分散空間4内部に1又は複数配置されている。
The
図2は、ガス吹出板6の固定方法の一例を示す拡大図であり、ガス吹出板6は環状の留め具24とネジ25とからなる把持機構により、冷却ジャケット5に直接接触して固定されている。このような把持機構を用いることにより、全周にわたりガス吹出板6を固定するため、ネジでガス吹出板の一部を締め付けて固定する場合と異なり、ガス吹出板6をより強い力でかつ均一に冷却ジャケット5に圧着することができる。この結果、熱伝達率が上昇して冷却効果が向上するだけでなく、圧着によるガス吹出板6の破損も回避できる。また、ロウ付け、接着剤等により貼り付ける場合のように、不純物汚染やガス吹出孔の閉塞によるエッチング処理特性が低下するという問題も解消することができる。ガス導入管10を通して対向電極内部に供給されるプロセスガスは、ガス分散板4bの小孔4aを通って均一に広がった後、冷却ジャケット5のガス通路5aを通り、ガス吹出板6のガス吹出孔6aから処理室1の内部に均一に流れ出す。
Figure 2 is an enlarged view showing an example of a fixing method for a
以上のように、ガスの上流側からガス分散板4b、冷却ジャケット5、ガス吹出板6の順序で配置し、冷却ジャケット5とガス吹出板6とを直接接触させ、しかも均一な力で圧着固定する構造としているため、プロセスガスを基板40に向かって均一に流れ出させることが可能となるとともに、ガス吹出板6が効率よく均一に冷却されることになる。即ち、プロセスガスがガス吹出板の多数のガス吹出孔から基板に向かって均一に流れ出すため、基板表面をエッチングする活性種の濃度差が均一になり、エッチングレートやコンタクトホール形状を基板面内で均一にすることができる。また、高いRF電力を対向電極2や基板載置電極7に投入する処理条件であっても、ガス吹出板の温度上昇が効果的に抑えられ、基板側に低融点物質が堆積してエッチングレートが低下したり、コンタクトホールのエッチング不良発生の問題等を防止することができる。
As described above, the
一方、基板載置電極7は、その上部に基板を静電吸着する静電チャック9が取り付けられ、内部には冷媒流路8が形成されている。冷媒は導入管8aを通して供給され、排出管8bを介して排出される。この冷媒により静電チャックを介して基板は所定の温度に冷却される。この基板載置電極7は、基板のバイアス制御用の第2の高周波電源15及び基板静電吸着用の直流電源17に接続されている。また、第2の高周波電源15及び直流電源17と基板載置電極7の間には、ブロッキングコンデンサ16及び高周波カットフィルタ18が取り付けられ、相互の干渉を防止している。さらに基板載置電極7には、基板搬出入時に基板40を上下に移動させるための突き出しピン19が通る貫通孔20が形成され、貫通孔はベローズ21及び底板21aにより大気と遮断されている。この底板21aには、突き上げピン19が固定されている。
On the other hand, the
図1のエッチング装置を用いたエッチング処理は、例えば、次のようにして行う。ベローズ21の底板21aを駆動機構で押し上げ、突き上げピン19を上昇させる。この状態で、ゲートバルブ(不図示)を介して基板を保持したロボットハンドを挿入し、基板を突き上げピン19上に載置する。続いて、突き上げピンを下降させ、基板40を静電チャック9の上に載置し、直流電源17から所定の電圧を印加して基板を静電吸着する。次いで、ガス供給手段22からガス導入管10、対向電極2を介して、プロセスガスを処理室1内に供給して所定の圧力に設定する。その後、対向電極2に第1の高周波電源14からVHF帯(例えば60MHz)の高周波電力を、基板載置電極7には第2の高周波電源15からHF帯(例えば1.6MHz)の高周波電力をそれぞれ印加する。VHF帯の高周波電力によって高密度のプラズマが発生し、エッチングに寄与する活性種が生成する。一方、HF帯の高周波電力によってイオンエネルギをプラズマ密度とは独立に制御することができる。即ち、2つの高周波電力を適宜選択することにより、目的とするエッチング特性を得ることができる。
The etching process using the etching apparatus of FIG. 1 is performed as follows, for example. The
このようなエッチング処理を繰り返し行うと、上述したように、ガス吹出板の温度は平衡に達するまでの間、徐々に上昇し、パターン形状も変化することになる。しかし、本実施形態のガス放出機構は冷却効率が改善されるため、ガス吹出板温度が平衡に達するまでの処理回数を減少させることができる。例えば、0.13μmパターンの場合、エッチング処理を開始してから安定したエッチング特性が得られるまでの処理回数は10回程度となった。また、ガス吹出板の温度分布がより均一となり、基板面内でのエッチングレートやコンタクトホール形状等の均一性が向上した。即ち、図1に示した装置構成とすることにより、ガス流分布の均一性とガス吹出板の効率的冷却との両方を同時に達成することが可能となり、より微細パターンのエッチング処理を安定かつ生産性良く行うことができる。 When such an etching process is repeatedly performed, as described above, the temperature of the gas blowing plate gradually increases until the equilibrium is reached, and the pattern shape also changes. However, since the gas release mechanism of this embodiment has improved cooling efficiency, the number of treatments until the gas blowing plate temperature reaches equilibrium can be reduced. For example, in the case of a 0.13 μm pattern, the number of treatments from the start of the etching treatment until a stable etching characteristic is obtained is about 10 times. In addition, the temperature distribution of the gas blowing plate became more uniform, and the uniformity of the etching rate, contact hole shape, etc. within the substrate surface was improved. That is, with the apparatus configuration shown in FIG. 1, it is possible to achieve both uniformity of gas flow distribution and efficient cooling of the gas blowing plate at the same time, and more stable and production of fine pattern etching processing. It can be done with good performance.
なお、本発明において、ガス吹出板のガス吹出孔6aの直径は0.01mm〜1mmとするのが好ましく、0.2mm以下とするのがより好ましい。この範囲で、ガス吹出孔からガス流分布の制御が容易となり、均一なガス流を形成することができる。なお、ガス吹出板の厚さは、通常1.0〜15.0mmである。また、冷却ジャケットのガス通路5aとガス吹出板のガス吹き出し6aとの孔位置を相互に適当にずらせてコンダクタンスを小さくしてもよく、これにより流量が制限され、またプラズマが電極内部に入り込みにくくなる。これは、ガス吹出板に小孔を形成するのが困難な場合に好適に用いられる。なお、ガス通路の孔径は、通常1.0〜3.0mmが好適に用いられる。また、ガス分散板4bの小孔4aの直径は、0.1〜3.0mmが用いられる。なお、小孔の直径及び数(密度)は、ガス分散板の面内で圧力勾配を小さくし、かつこの圧力勾配に見合った直径や数とするのが好ましく、これにより、より均一なガス吹き出しを実現することができる。
In the present invention, the diameter of the
次に、本実施形態の他の態様例を図3〜図5に示す。図1では、ガス吹出板6と冷却ジャケット5とを直接接触させる構成としたが、図3に示すように、両者の間に熱伝導性が高く、かつ柔軟性のある伝熱シート26を介在させてもよい。このような伝熱シートを介在させることにより、伝熱シートが微少の凹凸に入り込み、実質的な接触面積が増大して熱伝達率が向上する。伝熱シートとしては、厚さ10〜500μmのインジウム等の金属シートやシリコン樹脂、導電性ゴム等の高分子シート等が用いられる。
Next, other examples of this embodiment are shown in FIGS. In FIG. 1, the
図4は、図1のガス吹出板把持機構の代わりに、静電吸着機構を設けたものである。これは、誘電体の内部に双極電極27aを配置した静電チャック27を冷却ジャケット5に取り付け、双極電極27aに電源28から所定の電圧を印加し、ガス吹出板を静電吸着により固定する方法である。静電チャックを用いることにより、ガス吹出板全体をより均一な力で押しつけることができるため、冷却の効率及び均一性はさらに向上する。また、ガス吹出板の交換も容易となる。なお、静電チャックは、双極電極を用いたものに限らないことは言うまでもない。
4 is provided with an electrostatic adsorption mechanism instead of the gas blowing plate gripping mechanism of FIG. This is a method in which an
図5に示したガス放出機構は、ガス吹出板6及び冷却ジャケット5の対向する面に、互いに嵌合する凹凸部29を形成して両者の接触面積を増加させ、熱伝導を改善したものである。この構造は、ガス吹出板が部分的に加熱され熱で曲がろうとしても、凹凸の嵌め合い部分が曲がりを抑制する。同時に、曲がりの応力が嵌め合い部分での接触面積及び圧力を増加させる方向に働き、熱伝達が増加するため、従来の問題点、即ち、ガス吹出板の曲がりによりその部分に隙間が生じ、その結果温度がさらに上昇して温度分布が増加するという問題を防ぐことができる。
The gas discharge mechanism shown in FIG. 5 is an improvement in heat conduction by forming a concave and
本発明の第2の実施形態を図6に示す。本実施形態のガス放出機構は、ガスの上流側から、1又は複数のガス分散板4b、冷却ジャケット5、ガス分散機構11、ガス吹出板6の順序で配置した構造となり、ガス分散機構を配置した点が上記第1の実施形態と異なる。冷却ジャケット5とガス吹出板6との間にガス分散機構を設けることにより、冷媒流路の大型化、即ち冷却能力の増大を図りつつ、ガス流分布の均一化のために冷媒流路5bの真下にもガス吹出孔を配置できる構造としたものである。
A second embodiment of the present invention is shown in FIG. Gas discharge mechanism of this embodiment, from the upstream side of the gas, one or more
このガス分散機構11は、例えば、冷却ジャケット5のガス通路5aに対応して多数の小孔11aを形成した第1の円板と、ガス吹出板6のガス吹出孔6aに対応する小孔11cとガス通路5aを通して供給されるガスを小孔11cに送るための分岐用凹部11bを形成した第2の円板とを銀ロウ付けやインジウム等によるボンディングにより貼り付けることにより作製することができる。このガス分散機構は、例えば、多数のネジにより全面を均等な力で冷却ジャケットに取り付けられる。このような構造とすることにより、冷却ジャケットに大きな冷媒流路5bを形成することができ、しかも、ガス吹出孔を高密度(好ましくは、1cm2に1個以上)に形成することができるため、ガス流分布の均一性を維持しつつ高い冷却効果を得ることができる。なお、ガス分散機構としては、上記第2の円板だけを用いる構成であって良い。また、固定方法もネジでなくロウ付け、ボンディングによる方法を用いても良い。
The
第2の実施形態は、ガス分散機構を冷却ジャケットとは別個に設けた構成としたが、冷却ジャケット自体にガス分散機構を形成しても良い。この構成例を図7,8に示す。図7(a)及び7(b)は、それぞれ、ガス放出機構の模式的断面図及びA−A矢視図である。図7の構成例では、冷媒流路5bの真下に形成したガス吹出孔6a1とガス通路5aと連通するように分岐用溝31を冷却ジャケットに形成し、冷媒流路5b直下にもガス吹出孔を配置できる構造としたものである。
The second embodiment has a configuration in which is provided separately from the cooling jacket of the gas dispersion mechanism, it may form a gas dispersion mechanism to the cooling jacket itself. Examples of this configuration are shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b) are a schematic cross-sectional view and a view along arrow AA of the gas release mechanism, respectively. In the configuration example of FIG. 7, the branching
ガス通路5aを分岐用溝31を介して複数のガス吹出孔6a1に連結させる構造とすることにより、即ち、一つのガス通路5aからガス吹出板の複数のガス吹出孔6a、6a1にガスを導くようにガス吹出板と冷却ジャケットの接触面部に分岐用溝31を設けることにより、冷媒流路真下にもガス吹出孔6a1を配置することが可能となる。このようにして、ガス流の均一化と冷却効果の両者を同時に改善したものである。ここで、ガス通路5aの下の吹出孔6aと分岐用溝31につながる吹出孔(即ち、冷媒流路真下のガス吹出孔)6a1とでは、コンダクタンスに差が生じガス吹き出し量に差が生じる場合がある。この場合は、ガス通路5a直下の孔径を小さくするか、なくすことにより全体のガス流均一性を確保することができる。なお、ガス分岐用溝31の幅は、均一なガス流形成及び冷却効率の観点から、0.1〜2mm程度とするのが好ましい。
The
図8の構成例は、ガス通路の分岐通路31を冷却ジャケット内部に形成し、これをガス吹出孔6a1に接続したものである。このような構造にすることにより、図7に比べ冷却効率は更に向上する。このような構造の冷却ジャケットは、例えば、冷媒流路5bとガス通路5aを形成した部分と、ガス吹出孔6a,6a1及びガス分岐用溝31を形成した部分を銀ロウ等のロウ付けや、インジウムなどの柔軟性のある低融点金属や半田などでボンデイングして一体化することにより作製することができる。また、熱伝達は小さくなるが、熱伝導性のある高分子ゴムや繊維状の金属を含むゴム等を挟んだり、これらで接着してもよい。
In the configuration example of FIG. 8, the
ガス分散機構の他の構成例を図9を用いて説明する。本例では、冷却ジャケット5のガス吹出板側を円板状に切削し、この空間をガス分散機構11とし、ガス吹出板の冷却をガス吹出板と冷却ジャケット間の熱伝導に加えて、処理に用いるガスを介した熱伝達を利用する構成としたものである。このためには、ガス分散機構(円板状空間)11の厚さを0.1mm以下とし、内部の圧力を100Pa以上とするのが好ましい。このように構成することにより、処理に用いるガスを介した冷却ジャケット5とガス吹出板6との熱伝達が大きく増加し、ガス吹出板の冷却効率を一層向上させることができる。なお、圧力の上限は機械的強度に問題がなければ特に制限はないが、通常10kPa程度以下の圧力が用いられ、2〜4kPaとするのが好ましい。このように、ガス分散機構11内部の圧力は処理室1内部と比べて高くなることから、冷却ジャケット5及びガス吹出板6間でのガスリークを抑制するためのO−リング41等のシール材を配置するのが好ましい。また、ガス分散機構11内部の圧力を測定するために、上記空間11は、例えば、水冷ジャケット5,枠体3,絶縁体46,処理室壁1’及び連結部材44を貫通する通路42を通して圧力計45と連通されており、部材間にはO−リング43が配置されている。ただし、供給圧力とガス分散機構内部圧力との相関関係を実験又は計算により予め調べておき、供給圧力を測定することによりガス分散機構内部の圧力を求めるようにしてもよい。なお、ガス分散機構は、上述したように、冷却ジャケット面を切削して形成できるが、リング状の円板を外周部に配置して空間を形成してもよい。また、この空間は円板状に限らず、部分的にガス吹出板と冷却ジャケットとが接触する形状であってもよい。
Another configuration example of the gas dispersion mechanism will be described with reference to FIG. In this example, cutting the gas supply plate side of the cooling
以上の実施の形態においては、ガス吹出板6の材質として、Si、SiO2、カーボン等の非金属が好適に用いられる。これらは加工し難く割れやすい材料ではあるが、上記実施形態に示した構成とすることにより、ガス吹出板6自身にガス分散溝等を形成する必要はなくなり、また、取り付け時や処理中の熱履歴に起因するガス吹出板の破損を回避することができる。但し、加工可能な範囲であれば、ガス吹出板自体に設けても良いことは言うまでもない。また、例えば、シリコン酸化膜のエッチングにおいては、ガス吹出板をSi等のスカベンジャー材質とするのが好ましく、これらが処理中に発生するフッ素ラジカルを消費するためレジストの細り等が抑えられ、より微細なパターンのエッチング処理が可能となる。さらに、冷媒には特に制限はなく、例えば、水、フロリナート(商品名)等が用いられる。なお、エッチング処理においては、冷媒による冷却とHeガス等の伝熱ガスによる冷却を併用した構成は、基板の冷却にも好適に用いられる。
In the above embodiment, non-metal such as Si, SiO 2 and carbon is preferably used as the material of the
以上述べてきた本発明のガス放出機構は、エッチング装置のみならず、プラズマCVD装置、アッシング装置、熱CVD装置等、ガスを用いた種々の基板表面処理装置に適用することができ、この一例として、熱CVD装置に適用した構成例を本発明の第3の実施形態として図10に示す。図10は、熱CVD装置の模式的断面図であり、ガス放出機構及び基板載置機構のいずれにも加熱機構が設けられる。ここで、第1の実施例と同じ機構の説明は省略する。ガス放出機構2は、小孔4aを有するガス分散板4b、内部にヒータ32bが組み込まれた加熱機構32及びガス吹出板6から構成され、ガス吹出板は図2に示した把持機構(不図示)で固定されている。また基板載置機構7には、上部に静電チャック9が取り付けられ、内部に抵抗体等のヒータ33が取り付けられている。基板40は、電源34からヒータ33に通電することにより所定の温度に加熱される。第1の実施形態と同様にプロセスガスを導入しつつ、ヒーター用電源35で加熱機構32のヒーター32bに通電すると、ガス吹出板6は効率よく均一に加熱され、適度に加熱分解したプロセスガスがガス孔6aから均一に流れ出し、基板に均一に良質な膜をつけることができる。なお、図1〜9で説明したガス吹出板、ガス通路、ガス分散板及びガス分散機構の形状、材質等は、熱CVD装置にも適用されるが、この場合は加熱温度に対し十分な耐熱性を有する材質が選択される。
The gas release mechanism of the present invention described above can be applied not only to an etching apparatus but also to various substrate surface processing apparatuses using gas, such as a plasma CVD apparatus, an ashing apparatus, and a thermal CVD apparatus. A configuration example applied to a thermal CVD apparatus is shown in FIG. 10 as a third embodiment of the present invention. FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of a thermal CVD apparatus, and a heating mechanism is provided in both the gas release mechanism and the substrate mounting mechanism. Here, the description of the same mechanism as in the first embodiment is omitted. The
また、以上は、平行平板型の基板表面処理装置について説明してきたが、ガス放出機構をドーム型や円柱型、矩形、円筒状、多角柱状、多角錐状、円錐状、円錐台状、多角錐台状、円形等の種々の形状にすることもできる。 In addition, the parallel plate type substrate surface treatment apparatus has been described above. However, the gas release mechanism may be a dome shape, a columnar shape, a rectangular shape, a cylindrical shape, a polygonal column shape, a polygonal pyramid shape, a conical shape, a truncated cone shape, or a polygonal pyramid shape. Various shapes such as a trapezoidal shape and a circular shape can also be used.
1 処理室、
1’ 処理室壁、
2 ガス放出機構(対向電極)、
3 枠体、
4 ガス分散空間
4a 小孔
4b ガス分散板、
5 冷却ジャケット、
5a ガス通路、
5b 冷媒流路、
6 ガス吹出板、
6a ガス吹出孔、
7 基板載置電極(基板載置機構)、
8 冷媒流路、
9 静電チャック、
10 ガス導入管、
11 ガス分散機構、
12a,12b 絶縁体、
13 バルブ、
14,15 高周波電源、
17 直流電源、
19 突き出しピン、
21 ベローズ、
22 ガス供給手段、
24 環状留め具、
25 ネジ、
26 伝熱性シート、
27 静電チャック、
27a 双極電極、
29 凹凸、
31 ガス分岐用溝(通路)、
32 加熱機構、
32b、33 ヒータ、
40 基板、
41、43 O−リング、
42 通路、
44 連結部材、
45 圧力計、
46 絶縁体。
1 treatment room,
1 'processing chamber wall,
2 Gas release mechanism (counter electrode),
3 frame,
4 gas dispersion space
4a small hole
4b gas dispersion plate ,
5 Cooling jacket,
5a gas passage,
5b refrigerant flow path,
6 Gas outlet plate,
6a gas outlet,
7 Substrate placement electrode (substrate placement mechanism),
8 Refrigerant flow path,
9 Electrostatic chuck,
10 gas inlet pipe,
11 gas dispersion mechanism,
12a, 12b insulator,
13 valves,
14, 15 high frequency power supply ,
17 DC power supply,
19 Extrusion pin,
21 Bellows,
22 gas supply means ,
24 annular fasteners,
25 screws,
26 heat transfer sheet,
27 electrostatic chuck,
27a bipolar electrode,
29 Unevenness,
31 Gas branch groove (passage),
32 heating mechanism,
32b, 33 heater,
40 substrates,
41, 43 O-ring,
42 aisle,
44 connecting member,
45 pressure gauge,
46 Insulator.
Claims (9)
前記ガス放出機構は、上流側から、前記ガス供給手段と連通するガス分散空間、複数のガス通路を有しかつ冷媒流路又はヒータが設けられた冷却又は加熱機構、前記ガス通路と連通する複数のガス吹出孔を有するガス吹出板の順に配置された構成で、
前記ガス吹出板は、前記冷却又は加熱機構に固定されており、
前記ガス分散空間には、小孔を有するガス分散板が設けられていることを特徴とする基板表面処理装置。 Substrate surface having a processing chamber having opposite a board mounting location mechanism and a gas discharge mechanism, and exhaust means for exhausting the interior of the processing chamber, and a gas supply means for supplying gas to the gas discharge mechanism In the device
The gas discharge mechanism, from the upstream side, the gas supply means communicates with gas distribution space has a plurality of gas passages and cooling却又the coolant channel or heater provided the heating mechanism, the gas passage communicating with In the configuration arranged in the order of the gas blowing plate having a plurality of gas blowing holes,
The gas outlet plate, said cold却又is fixed to the heating mechanism,
A substrate surface treatment apparatus, wherein a gas dispersion plate having small holes is provided in the gas dispersion space .
前記ガス放出機構は、上流側から、前記ガス供給手段と連通するガス分散空間、複数のガス通路を有しかつ冷媒流路又はヒータが設けられた冷却又は加熱機構、前記ガス通路と連通する複数のガス吹出孔を有するガス吹出板の順に配置された構成で、
前記ガス吹出板は、前記ガス通路の一つを介して供給されるガスを前記ガス吹出孔の複数へ送るガス分散機構を介して前記加熱又は冷却機構に固定されており、
前記ガス分散空間には、小孔を有するガス分散板が設けられていることを特徴とする基板表面処理装置。 Substrate surface having a processing chamber having opposite a board mounting location mechanism and a gas discharge mechanism, and exhaust means for exhausting the interior of the processing chamber, and a gas supply means for supplying gas to the gas discharge mechanism In the device
The gas discharge mechanism, from the upstream side, the gas supply means communicates with gas distribution space has a plurality of gas passages and cooling却又the coolant channel or heater provided the heating mechanism, before SL gas passage communicating with In the configuration arranged in the order of the gas blowing plate having a plurality of gas blowing holes,
The gas blowing plate is fixed to the heating or cooling mechanism via a gas dispersion mechanism that sends a gas supplied through one of the gas passages to a plurality of the gas blowing holes ,
A substrate surface treatment apparatus, wherein a gas dispersion plate having small holes is provided in the gas dispersion space .
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