JP2008034658A - 窒化物半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】p型不純物をMgとする場合に、p型窒化物半導体層を低温度で結晶成長させることができるとともに、結晶成長を行う反応室に接続されている配管へのMg化合物の付着を抑制することができる窒化物半導体素子を提供する。
【解決手段】窒化物半導体結晶2は、SiC基板1の非極性面上に、結晶成長させる。窒化物半導体結晶2は、MOCVD法等によって形成され、その成長表面が非極性面又は半極性面で成長する。窒化物半導体結晶2中のp型窒化物半導体層のp型不純物にはMgを用いるが、そのMgのドーパント材料として(TMAl)2DMMgを使用する。
【選択図】 図1
【解決手段】窒化物半導体結晶2は、SiC基板1の非極性面上に、結晶成長させる。窒化物半導体結晶2は、MOCVD法等によって形成され、その成長表面が非極性面又は半極性面で成長する。窒化物半導体結晶2中のp型窒化物半導体層のp型不純物にはMgを用いるが、そのMgのドーパント材料として(TMAl)2DMMgを使用する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、p型窒化物半導体のp型不純物としてMgを用いた窒化物半導体素子に関する。
青色、又は紫色の光を発する半導体レーザ素子、発光ダイオード等の半導体発光素子、パワーデバイスや高周波HEMT等の半導体電子デバイスとして、GaN、AlGaN、InGaN、InGaAlN、GaPNなどの窒素を含む六方晶化合物半導体が用いられており、中でもIII−V族窒化物半導体が利用されている。上記III−V族窒化物半導体(以下、単に窒化物半導体という)は、4元混晶系のAlxGayInzN(x+y+z=1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)で表される。
窒化物半導体素子の構造としては、活性層をp型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層とで挟み込んだダブルへテロ結合構造やp型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層とを直接接合したpn接合の構造が知られており、このような構造の窒化物半導体素子は、MOCVD法(有機金属気相成長法)等により製造される。
p型窒化物半導体層は、p型AlGaNや、p型GaN、p型InGaNなどの半導体層で構成されるが、p型不純物として、通常Mgがドーピングされており、この場合のドーパントガスとしてCP2Mg(ビスシクロペンタジエチルマグネシウム)が使用されている。図8は、MOCVD法における反応室への原料ガス導入部分の構成を示す。有機金属材料は通常液体なので、図8に示すように、バブラーで原料溶液の中に水素や窒素等のキャリアガスを導入してバブリングすることにより、その原料蒸気をキャリアガスに載せて反応室に運ぶ。
図8の場合は、原料ガスが3種類の例を示すもので、3種類の原料ガスが配管A、B、Cを各々流れて合流し、反応室へ供給される。いずれかの原料ガスの供給を停止する場合には、対応する配管のバルブA、B、Cのいずれかを開放して原料ガスを排気するようにしている。
また、p型不純物Mgの原料であるCP2Mgは、低温では分解しにくくなる性質を有するので、CP2Mgの分解を高めてp型窒化物半導体結晶中へのMgの取り込み効率を上げ、キャリア濃度の高い良質なp型窒化物半導体を形成するためには、反応室の基板温度を少なくとも1000℃以上の温度に設定する必要があった。
特開平11−177179号公報
上記従来技術のように、p型ドーパントガスとしてCP2Mgを用い、p型窒化物半導体層の成長温度を少なくとも1000℃以上の高温に設定すると以下のような問題が発生する。活性層にInが含まれている場合には、活性層の結晶成長後に、活性層が長い時間高温に曝されると、Inが昇華して分離し成膜された活性層が劣化する。活性層に含まれるIn比率が高い程(長波長の発光層になる程)、活性層の劣化が激しくなる。
また、半導体結晶へのInの取り込みは、成長温度が低くなる程良くなるので、p型窒化物半導体層として用いられるp型AlxGayInzN(x+y+z=1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)のうち、In成分が含まれる(z≠0)p型窒化物半導体、例えば、p型AlInNやp型InGaNなどの場合には、Inの取り込みが悪くなり、In組成比率の高いp型窒化物半導体層を作製することができない。
一方、p型ドーパントガスとしてCP2Mgガスを用いた場合には、以下の問題が発生する。例えば図8で配管AによりCP2Mgガスを供給した場合には、CP2Mgは環状基があり、蒸気圧が低い固体材料なので、配管中への付着が著しく、CP2Mgガスの供給を停止した後に他の原料ガスを流そうとしても、配管Aに付着して残っているCP2Mgによって不必要なMgドーピングが発生する。
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、p型不純物をMgとする場合に、p型窒化物半導体層を低温で結晶成長させることができるとともに、結晶成長を行う反応室に接続されている配管へのMg化合物の付着を抑制することができる窒化物半導体素子を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層とを備えた窒化物半導体素子において、前記p型窒化物半導体層のp型ドーパント材料には、(TMAl)2DMMgを用いるとともに、前記n型窒化物半導体層からp型窒化物半導体層まで、成長表面が非極性面又は半極性面により形成されていることを特徴とする窒化物半導体素子である。
また、請求項2記載の発明は、前記非極性面はm面又はa面で構成され、前記半極性面は(10−1−1)面、(10−1−3)面、(11−22)面のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子である。
また、請求項3記載の発明は、前記p型窒化物半導体層におけるGa材料としてTMGa、TEGa、TPGa、EDMAGaH3のいずれかを用いることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子である。
また、請求項4記載の発明は、前記p型窒化物半導体層のうちp電極と接するコンタクト層は、p型AlInNで構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子である。
また、請求項5記載の発明は、前記p型窒化物半導体層としてp型AlInNが、前記n型窒化物半導体層上に接して成膜されていることを特徴とする請求項1〜請求項2のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子である。
また、請求項6記載の発明は、前記p型AlInNのIn材料としてTMInを使用することを特徴とする請求項4〜請求項5のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子である。
また、請求項7記載の発明は、N材料がアンモニア又はヒドラジン有機化合物であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子である。
本発明によれば、p型窒化物半導体層のp型ドーパント材料としてトリメチルアルミジメチルマグネシウム((TMAl)2DMMg)を用いているので、p型窒化物半導体層を800℃以下の低温で結晶成長させることができるので、Inを含む活性層への熱的影響を抑制することができる。また、Inを含むp型窒化物半導体を形成する場合であっても、Mgの取り込み効率を向上させることができる。また、CP2Mgは環状基があり、蒸気圧が低い固体材料であるが、(TMAl)2DMMgは環状基もなく、蒸気圧が高いので、結晶成長を行う反応室へ接続されている配管へのMg化合物の付着を低減することができる。
さらに、n型窒化物半導体層からp型窒化物半導体層まで、成長表面が非極性面又は半極性面により形成されているので、GaNのN(窒素)極性面やGa極性面で形成されている場合と比較して、自発分極やピエゾ分極により発生する電界の影響を小さくすることができる。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。図1は本発明の窒化物半導体素子の概略構成を示す。窒化物半導体素子は、SiC基板1上に窒化物半導体結晶2をエピタキシャル成長させた構造となっている。SiCの種類には、その結晶構造によって、立方晶、六方晶、菱面体晶などがあるが、SiC基板1には、六方晶(頭文字の表記はH)の結晶構造を有するものを用いる。例えば、4H−SiC基板、6H−SiC基板等を用いる。
図3は、六方晶系の結晶構造の模式図を示す。六方晶系の結晶構造は、ウルツ鉱型の結晶構造とも言われ、図3に示す結晶の面や方位はいわゆるミラー指数で表され、例えば、c面は(0001)、c軸は<0001>、a軸は<11−20>、m軸は<1−100>と表示する。なお、物理学上の慣用の約束として、(hklm)はある特定面を指すのではなく、その結晶が持つ空間群において(hklm)と等価な面全体を表す。同じく<hklm>は、ある特定軸方向と等価な軸方向全体を表す。
窒化物半導体結晶2は、SiC基板1のSi(珪素)極性面やC(炭素)極性面ではなく、非極性面(ノンポーラ)であるm面(10−10)上に、MOCVD法等によって形成され、その成長表面がm面で成長する。したがって、窒化物半導体結晶2の成長面は、Ga極性面やN(窒素)極性面ではなく、非極性面となる。
図1では窒化物半導体結晶2の成長表面がm面となる構成を例示したが、図2に示すように、窒化物半導体結晶2の成長表面が非極性面であるa面となるように構成することもできる。成長用基板としてのサファイア基板11のr面上に窒化物半導体結晶2を結晶成長させれば、その成長表面はa面となる。
また、窒化物半導体結晶2の成長表面が半極性面(セミポーラ)になるように構成することもできる。半極性面とは、(10−1−1)面、(10−1−3)面、(11−22)面のいずれかの面である。これら半極性面のうち、例えば(10−1−1)面を図3に示す。図2のサファイア基板11のr面の代わりにm面を用い、このm面上に窒化物半導体結晶2を結晶成長させると、窒化物半導体結晶2の成長表面は半極性面となる。
例えば、SiC基板のc面上に窒化物半導体結晶を成長させた場合には、窒化物半導体結晶はc軸配向となり、GaN系半導体層のGaN/AlGaNヘテロ結合界面等では、±c軸方向に対称性がなく、±c面成長のエピタキシャル膜には表裏が生じるというウルツ鉱構造のため、上記界面における自発分極と応力に起因するピエゾ分極が起こり、分極電荷が発生し、ヘテロ界面に垂直に電界が発生する。しかし、図1、2のように結晶成長させることで、上述したように窒化物半導体結晶の成長表面が、非極性面又は半極性面となるので、自発分極やピエゾ分極における電界の影響を低減できる。
SiC基板1の非極性面や半極性面を用い、その上に窒化物半導体結晶2をエピタキシャル成長させた窒化物半導体発光素子の一例を図5に示す。
図5は、レーザ素子構造の例を示すものである。SiC基板1上にMOCVD法により各層を作製する。SiC基板1は、窒素ドープのn型SiC基板を用いて導電性の基板とすれば、基板裏面に電極を形成できる。SiC基板1上に、例えば、n型バッファ層32はSiをドープしたAlN又はAlGaNを1nm〜10nm、続いてn型GaNを3μm成長させる。
n型クラッド層33はSiをドープしたAlGaNを1μm、n型光ガイド層34はSiをドープしたGaNを0.1μm成長させ、MQW活性層35は、GaNからなる障壁層と、InX1Ga1−X1N(0.1≦X1≦0.2)からなる井戸層との多重量子井戸構造とし、p型電子バリア層36はMgをドープしたAlX2Ga1−X2N(X2は0.15又は0.2)を0.1μm、p型光ガイド層37はMgをドープしたGaNを0.1μm、p型クラッド層38はMgをドープしたAlGaNを0.5μm、p型GaNコンタクト層39を成長させる。その後、p型コンタクト層39にはPd/Auからなるp電極40、SiC基板1の裏面にはAl/Auからなるn電極31が形成される。
活性層にはInY1Ga1−Y1N(0≦Y1≦1)、クラッド層にはAlY2Ga1−Y2N(0≦Y2≦1)を用いたが、前述したようにIII−V族窒化物半導体として、4元混晶系のAlxGayInzN(x+y+z=1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)を用いることができる。ここで、n型バッファ層32〜p型コンタクト層39までが、図1、2の窒化物半導体結晶2に相当する。また、n型バッファ層32〜n型光ガイド層34までがn型窒化物半導体層に、p型電子ブロック層36〜p型コンタクト層39までがp型窒化物半導体層に相当する。
図5の窒化物半導体発光素子では、SiC基板1の表面を非極性面であるm面とすれば、その後の窒化物半導体層は、SiC基板1の表面の面方位が引き継がれて、すべて成長表面がm面となる。
図5の窒化物半導体発光素子は、以下のように形成される。特に重要なのは、p型窒化物半導体層のp型不純物をMgとするために、p型ドーパント材料としてトリメチルアルミジメチルマグネシウム((TMAl)2DMMg)を用いることである。また、図5の窒化物半導体発光素子製造時の成長温度の変化を図6に示す。図6の成長温度変化曲線の上部に記載されているのは、図5の各層の番号を表す。例えば、成長温度1050℃ではn型バッファ層32〜n型光ガイド層34までを成長させ、750℃ではMQW活性層35を、800℃以下ではp型電子ブロック層36〜p型コンタクト層39までを成長させることを表している。
最初に、六方晶の結晶構造を有する4H−SiC、6H−SiC等からなる基板1をMOCVD装置内に搬送する。次に基板温度を1050℃に上げて、圧力を10〜50KPa(望ましくは20〜40KPa)にした後、例えば、トリメチルアルミニウム(TMA)を10μモル/分、アンモニア(NH3)を20L/分、水素ベース50ppmのシラン(SiH4)を10cc/分、キャリア水素(H2)を20L/分それぞれ流して、n型AlNバッファ層32を例えば10nm堆積する。ここで、アンモニアとTMA等の有機金属とのモル比は、装置によっても異なるが、およそ100〜10000(望ましくは300〜1000)の範囲で設定される。また、アンモニアの流量についても、装置によるが、通常1〜100slmの範囲に設定される。
また、n型バッファ層32としてn型AlGaNとする場合は、トリメチルアルミニウム(TMA)に加えて、トリメチルガリウム(TMG)を加えるようにする。
成長温度を1050℃に維持したまま、TMAの供給を停止し、例えば、トリメチルガリウム(TMGa)を20μモル/分供給し、n型バッファ層32としてさらにn型GaN層を積層する。その後、トリメチルアルミニウム(TMA)の流量を2μモル/分にして追加し、n型AlGaNクラッド層33を成長させる。次に、TMAの供給のみ停止して、n型GaN光ガイド層34を積層する。
TMGとシランの供給を停止し、アンモニアと窒素の混合雰囲気中で基板温度を750℃まで下げて、トリメチルインジウム(TMI)を200μモル/分、トリエチルガリウム(TEGa)を20μモル/分供給して、MQW活性層35のInGaN井戸層を積層し、TMInの供給のみを停止してアンドープGaNからなる障壁層を積層する。そして、GaN障壁層とInGaN井戸層との繰り返しにより多重量子井戸構造とする。
MQW活性層35成長後、p型電子ブロック層36を成長させるために、Ga原子の原料ガスであるトリメチルガリウム(TMGa)、窒素原子の原料ガスであるアンモニア(NH3)、p型不純物Mgのドーパント材料であるトリメチルアルミジメチルマグネシウム((TMAl)2DMMg)を供給する。ここで、Al原子は、(TMAl)2DMMgに含まれているので、Al原子の材料ガスを特に加えなくても、p型AlGaN電子ブロック層36を結晶成長させることができるが、Al原子の材料ガスとしてトリメチルアルミニウム(TMA)を別途供給するようにしても良い。
(TMAl)2DMMgは、図4に示すような化学構造式を有しており、低温でも容易にMgが分子から分解する(少なくとも300℃以上程度の温度で分解する)という性質を持っている。
この(TMAl)2DMMgを使用して、図6に示すように、800℃以下の低温ですべてのp型窒化物半導体層の結晶成長を行う。基板温度を800℃に上げて、キャリアガスの水素又は窒素とともにTMA、TMGa、NH3をn型AlGaNクラッド層33と同流量流し、p型AlGaN電子ブロック層36を積層する。次に、基板温度をそのまま維持して、TMAの供給のみを停止し、TMGa、NH3をn型GaN光ガイド層34のときと同流量で流し、p型GaN光ガイド層37を積層する。
その後も基板温度をそのまま維持して、TMAを加え、TMAとTMGをn型AlGaNクラッド層33のときと同流量で流し、p型AlGaNクラッド層38を積層する。次に、基板温度を800℃に維持したまま、TMAのみ供給を停止して、TMGの流量等をp型GaN光ガイド層37のときと同じ条件にしてp型GaNコンタクト層39を形成する。なお、上記実施例では、p型窒化物半導体層の成長温度については800℃としたが、800℃以下の低温度としても良い。
最後に、SiC基板1の裏面にAl/Au等からなるn電極31を、p型コンタクト層39の上にPd/Au等からなるp電極40を蒸着又はスパッタにより形成し、p電極40側をアニール処理してオーミック接触をとれば、図5の窒化物半導体発光素子が完成する。
また、図5のレーザ構造についての製造方法についての上記説明は、一例を示したものであり、各半導体層の製造については、キャリアガスの水素又は窒素とともに、トリエチルガリウム(TEGa)、トリメチルガリウム(TMG)、アンモニア(NH3)、トリメチルアルミニウム(TMA)、トリメチルインジウム(TMIn)などの各半導体層の成分に対応する反応ガス、n型にする場合のドーパントガスとしてのシラン(SiH4)等、p型にする場合のドーパントガスとしての(TMAl)2DMMgの必要なガスを供給して、n型窒化物半導体については、1000℃〜1200℃程度の範囲で、活性層については700℃〜800℃の範囲で、p型窒化物半導体については800℃以下で順次成長させることにより、所望の組成で、所望の導電型の半導体層を、必要な厚さに形成することができる。
ところで、p型GaNやp型AlGaN等、Ga原子を必要とするp型窒化物半導体結晶の成長には、上記のようにGa原子の原料であるトリメチルガリウム(TMGa)以外に、トリエチルガリウム(TEGa)、トリプロピルガリウム(TPGa)、トリメチルアミンガラン(EDMAGaH3)を用いても良い。p型窒化物半導体層は、図6に示すように、すべて800℃以下で成長させることになるので、低温でも分解しやすい材料を用いる必要があるが、分子構造が大きい材料程、低温で分解しやすい。したがって、Ga原子の材料として望ましい使用順位は、EDMAGaH3、TPGa、TEGa、TMGaの順となる。
同様に、p型GaNやp型AlGaN、p型AlInN等、N原子を必要とするp型窒化物半導体結晶の成長には、上記のようにN原子の原料であるアンモニア(NH3)以外に、ジメチルヒドラジン((CH3)2NNH2)等のヒドラジン有機化合物を用いても良い。このヒドラジン有機化合物は低温でアンモニアよりも分解しやすい性質を持っているために、p型窒化物半導体層を成長させる場合に、N原子の材料として望ましい使用順位は、ヒドラジン有機化合物、アンモニアの順となる。
また、p型コンタクト層39としてp型GaNの代わりにp型AlInNを用いても良い。この場合、窒素原子の原料としてアンモニア(NH3)、In原子の原料としてトリメチルインジウム(TMIn)、Al原子の原料としてトリイソブチルアルミニウム(TIBAl)を用い、p型ドーパント材料として(TMAl)2DMMgを加えて800℃以下の温度で成長させる。上記TIBAlは、Alとイソブチル基との結合が弱く、150℃程度以上でAlとイソブチル基との分離が発生することが知られている。したがって、上記のように成長させたp型AlInNコンタクト層39は、Mg濃度が1×1017cm−3以上、1×1021cm−3以下、かつ炭素濃度が1×1017cm−3以下で形成される。このように、炭素(C)不純物を低減させることができ、低抵抗なp型AlInNコンタクト層を形成することができる。
本発明の窒化物半導体素子の他の実施例を図7示す。これは、n型窒化物半導体層21とp型窒化物半導体層であるp型AlInN層22とがpn接合された素子を示すものである。図示はしていないが、p型AlInN層22の上にはp電極が、n型窒化物半導体層21の下側にはn電極が必要に応じて形成される。図7の構造を発光素子として構成した場合には、pn接合界面部分が発光領域となる。
n型窒化物半導体層21は、n型不純物としてSiをドープしたAlxGayInzN(x+y+z=1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)の半導体層が1層または複数層形成されており、上述したような方法で作製される。一方、p型AlInN層22は、前述したように半導体層の成分に対応する反応ガス、p型にする場合のドーパント材料としてのトリメチルアルミジメチルマグネシウム((TMAl)2DMMg)を用いて、800℃以下の成長温度で作製される。このように成長させたp型AlInN層22は、Mg濃度が1×1017cm−3以上、1×1021cm−3以下、かつ炭素濃度が1×1017cm−3以下で形成される。このように、炭素(C)不純物を低減させることができ、低抵抗なp型AlInN層22を形成することができる。
1 SiC基板
2 窒化物半導体結晶
2 窒化物半導体結晶
Claims (7)
- p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層とを備えた窒化物半導体素子において、
前記p型窒化物半導体層のp型ドーパント材料には、(TMAl)2DMMgを用いるとともに、前記n型窒化物半導体層からp型窒化物半導体層まで、成長表面が非極性面又は半極性面により形成されていることを特徴とする窒化物半導体素子。 - 前記非極性面はm面又はa面で構成され、前記半極性面は(10−1−1)面、(10−1−3)面、(11−22)面のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型窒化物半導体層におけるGa材料としてTMGa、TEGa、TPGa、EDMAGaH3のいずれかを用いることを特徴とする請求項1〜請求項2のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型窒化物半導体層のうちp電極と接するコンタクト層は、p型AlInNで構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型窒化物半導体層としてp型AlInNが、前記n型窒化物半導体層上に接して成膜されていることを特徴とする請求項1〜請求項2のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型AlInNのIn材料としてTMInを使用することを特徴とする請求項4〜請求項5のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子。
- N材料がアンモニア又はヒドラジン有機化合物であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の窒化物半導体素子。
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