JP2008016850A - ドーピングされた相変化層を備える相変化メモリ素子およびその動作方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ドーピングされた相変化層を備える相変化メモリ素子およびその動作方法を提供する。
【解決手段】相変化層を備えるストレージノードとスイッチング素子と、を備える相変化メモリ素子であって、前記相変化層が、Inを含み、前記Inの含有量(a1)が、5at%<a1<15at%である、相変化メモリ素子およびその動作方法である。
【選択図】図1
【解決手段】相変化層を備えるストレージノードとスイッチング素子と、を備える相変化メモリ素子であって、前記相変化層が、Inを含み、前記Inの含有量(a1)が、5at%<a1<15at%である、相変化メモリ素子およびその動作方法である。
【選択図】図1
Description
本発明は、メモリ素子に関する。より詳細には、ドーピングされた相変化層を備える相変化メモリ素子およびその動作方法に関する。
相変化メモリ素子(Phase Change Random Memory:PRAM)は、フラッシュメモリ、強誘電体メモリ(Ferroelectric Random Access Memory:FeRAM)および磁気RAM(Magnetic Random Access Memory:MRAM)のような不揮発性メモリ素子の一つである。PRAMと他の不揮発性メモリ素子との構造的相違点は、ストレージノードにある。
PRAMのストレージノードは、相変化層を備える。相変化層の相は、所定温度で結晶状態から非晶質状態に変化し、前記所定温度より低い温度で非晶質状態から結晶状態に変化する。
相変化層が非晶質状態であるとき、前記相変化層の抵抗を第1抵抗とし、前記相変化層が結晶状態であるとき、前記相変化層の抵抗を第2抵抗とすれば、前記第1抵抗は、前記第2抵抗より大きい。
PRAMは、このように相変化層の抵抗が相変化層の状態によって変化する性質を利用してデータを記録および読み取ることができる。
PRAMの相変化層としてGe2Sb2Te5層(GST層)が広く使用されている。PRAMの相変化層として使用されうる理想的な物質は、溶融点が低く、非晶質状態であるときと、結晶状態であるときとの抵抗差が大きく、また熱伝導度の低い物質である。
しかし、現在、相変化層として広く使用されているGST層は、溶融点が600℃以上であり、抵抗は低い方である。したがって、GST層を相変化層として使用するPRAMの場合、相変化層を非晶質状態に変化させるために、大きいリセット電流を印加することは不回避である。
PRAMのリセット電流は、PRAMに備えられたトランジスタが受容できる電流より小さくなければならない。トランジスタの駆動電流は、そのサイズで決定されるので、リセット電流を減らさずにトランジスタのサイズを小さくすることは難しい。結局、リセット電流を減らさずにPRAMの集積度を高めることは難しい。
本発明が解決しようとする課題は、前記問題点を改善するためのものであって、リセット電流は減らし、溶融点は下げ、抵抗は大きくすることができるドーピングされた相変化層を備えるPRAMを提供するところにある。
本発明が解決しようとする他の課題は、このようなPRAMの動作方法を提供するところにある。
前記課題を解決するために、本発明は、相変化層を備えるストレージノードとスイッチング素子と、を備える相変化メモリ素子であって、
前記相変化層が、Inを含み、
前記In量(a1)が、5at%<a1<15at%である、相変化メモリ素子を提供する。
前記相変化層が、Inを含み、
前記In量(a1)が、5at%<a1<15at%である、相変化メモリ素子を提供する。
さらに、本発明は、本発明に係る相変化メモリ素子の動作方法であって、前記相変化層に0mAを超えて、1mA未満のリセット電流を印加してデータ書き込みを行うことを含む、相変化メモリ素子の動作方法を提供する。
本発明によるメモリ素子は、相変化層としてInがドーピング(添加)されたGST層を備えるところ、リセット電流をInがドーピングされていないGST層の半分に減らし、一方で、抵抗をさらに大きくすることができる。
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施形態によるドーピングされた相変化層を備えるPRAM(以下、本発明のメモリ素子とも称する)およびその動作方法を詳細に説明する。この過程で、図面に図示された層や領域の厚さは、明細書の明確性のために誇張されて示されている。
図1は、本発明のメモリ素子の断面を示す図面である。
図1に示すように、基板40に第1不純物ドーピング領域S1および第2不純物ドーピング領域D1が所定間隔に存在する。第1不純物ドーピング領域S1および第2不純物ドーピング領域D1は、例えば、n型不純物がドーピングされた領域である。基板40は、第1不純物ドーピング領域S1および第2不純物ドーピング領域D1にドーピングされた不純物と、逆のタイプの不純物とが注入された基板であって、例えば、p型シリコン基板でありうる。
第1不純物ドーピング領域S1および第2不純物ドーピング領域D1は、多様な形態を有しうる。第1不純物ドーピング領域S1および第2不純物ドーピング領域D1のうちの一つ、例えば、第1不純物ドーピング領域S1は、ソース領域であり、残りの領域は、ドレイン領域である。第1不純物ドーピング領域S1と第2不純物ドーピング領域D1との間の基板40上にゲート絶縁膜42およびゲート電極44が順次に積層されている。基板40と、第1不純物ドーピング領域S1および第2不純物ドーピング領域D1と、ゲート電極44とは、電界効果トランジスタ(以下、トランジスタ)を構成する。
次いで、前記トランジスタの形成された基板40上に、前記トランジスタを覆う第1層間絶縁層46が存在する。第1層間絶縁層46に、第1不純物ドーピング領域S1が露出されるコンタクトホールh1が形成されている。コンタクトホールh1は、第1不純物ドーピング領域S1の代わりに、第2不純物ドーピング領域D1が露出される位置に形成されてもよい。コンタクトホールh1は、導電性プラグ50で満たされている。第1層間絶縁層46上に、導電性プラグ50の露出された上面を覆う下部電極60が存在する。下部電極60は、パッドの役割も兼ねる。下部電極60は、例えば、TiNまたはTiAlNから形成されうるが、これと異なる物質から形成されてもよい。
第1層間絶縁層46上に、下部電極60を覆う第2層間絶縁層62が存在する。第2層間絶縁層62は、第1層間絶縁層46と同じ絶縁層でありうる。第2層間絶縁層62に、下部電極60の上面が露出されるビアホールh2が形成されている。ビアホールh2は、下部電極コンタクト層64で満たされている。下部電極コンタクト層64は、下部電極60と同じ物質でありうる。第2層間絶縁層62上に、下部電極コンタクト層64の露出された上面を覆う相変化層66が存在する。
本発明に係る相変化層66は、Inを含み、前記In量(a1)が、5at%<a1<15at%である。ここで、Inの含量範囲が15at%以上である場合、相変化層の特性が低下する虞がある。ただ、前記相変化層が、前記Inを含むGST(Ge、SbおよびTe)層である相変化メモリ素子であると好ましく、この際、Ge、SbおよびTeの含有量、85at%≦X+Y+Z≦95at%である、相変化メモリ素子であるとさらに好ましい。また、Inを所定の割合で含ませる方法にも特に制限はなく、Inをドーピング(添加)することができる。Inのドーピングとしては、(a)先にGST層を成膜し、Inをイオン注入する。(b)先にGST層を成膜し、その上にIn膜を成膜後、熱拡散によりInをドーピングする。(c)先にGST層を成膜し、その上から、プラズマドーピングによりInをドーピングする。(d)In、Ge、Sb、Teをそれぞれ所定の割合で構成した複合ターゲットを用いたスパッタ方法などが考えられる。
ここで、「at%」とは、「atom%」の意味である。換言すると、「原子百分率」を意味する。
そして、相変化層66において、Geの含有量(X)は、10at%<X<25at%であり、Sbの含有量(Y)は、10at%<Y<30at%であり、Teの含有量(Z)は、40at%<Z<70at%であると、さらに好ましい。すなわち、XもYもZもそれぞれ個別的に定まった範囲内であることが好ましい。また、具体的には、相変化層66のIn量が10.4at%、Ge量が17.3at%、Sb量が20.1at%、Te量が52.2at%であると、特に好ましい。相変化層が、Inに加えて、Ge、SbおよびTeをさらに含む場合には、In、Ge、SbおよびTeの合計の含有量(a1+X+Y+Z)は、100at%である。
このような相変化層66上に上部電極68が存在する。
本発明によると、このようなPRAMの相変化層66に、0mAを超えて、1mAより小さいリセット電流、好ましくは、0.6mA程度のリセット電流を印加して、データの書き込み動作を行える。
図2は、このような相変化層66の屈折率−温度特性を示すグラフである。
図2で、第1グラフG1(以下、単にG1とも称する)は、本発明に係るメモリ素子に適用された相変化層66(In量が10.4at%、Ge量が17.3at%、Sb量が20.1at%、Te量が52.2at%)についてのものであり、第2グラフG2(以下、単にG2とも称する)は、従来の相変化層、すなわち、Ge2Sb2Te5膜のみからなるGST層についてのものである。
G1を参照すれば、第1部分P1(以下、単にP1とも称する)で屈折率が突然低下し、第2部分P2(以下、単にP2とも称する)では、低下し続けていた屈折率が急激に上昇するということが分かる。P1においては、本発明の相変化層66の非晶質領域が結晶質に変化することで現れる。そして、P2は、相変化層66の一部が非晶質に変化することで、すなわち、相変化層66の一部が溶融することで表れる。P1は、190℃で現れ、第2部分P2は、505℃で現れる。
一方、第2グラフG2(以下、単にG2とも称する)を参照すれば、第3部分P3(以下、単にP3とも称する)で屈折率が突然低下し、第4部分P4(以下、単にP4とも称する)では、低下し続けていた屈折率が突然上昇するということが分かる。P3が現れる原因は、G1において、P1が現れる原因と同じであり、P4が現れる原因は、G1におけるP2が現れる原因と同じである。
G1とG2とを比較すると、G1におけるP1が現れる温度(190℃)は、G2のP3が現れる温度(Tc(GST):〜160℃)より高いということが分かる。そして、G1におけるP2が現れる温度、すなわち、本発明の相変化層66の溶融点(505℃)は、第2グラフG2の第4部分P4が表れる温度(Tm(GST)>610℃)より低いということが分かる。
このように、本発明に係るメモリ素子の相変化層66の溶融点(505℃)は、従来のGST層の溶融点(>610℃)よりはるかに低いため、本発明のメモリ素子のリセット電流が、従来のメモリ素子より小さいということは明らかである。また、本発明に係る相変化メモリ素子における相変化層66の結晶化温度(190℃)が、従来のGST層の結晶化温度(〜160℃)より高いという事実から、本発明のメモリ素子のリテンション特性も良くなると判断できる。
図3は、このような結果に基づき、相変化層66のIn量が10.4at%、Ge量が17.3at%、Sb量が20.1at%、Te量が52.2at%であるとき、相変化層66についての抵抗−電流特性を示す。
図3で、Aは、相変化層66が結晶状態にあるときを表す。そして、B、C、D、Eは、結晶状態にある相変化層66に電流が印加されたため、相変化層66の抵抗が変化する過程を示す。
図3に示すように、相変化層66の状態がCからDへと変化する過程において、相変化層66の抵抗が大きく上昇するということが分かる。これは、結晶状態にある相変化層66が非晶質状態に変化したことを意味する。すなわち、結晶状態にあった相変化層66に非晶質領域が形成されたことを意味する。
相変化層66の状態Dは、相変化層66に印加される電流が約0.6mAになるときに現れる。相変化層66の状態がDになる電流、すなわち、リセット電流は、厳密に言えば、0.6mAより小さいが、便宜上、0.6mAとして考える。そうすると、相変化層66のリセット電流0.6mAは、相変化層としてGST層のみからなる従来のメモリ素子を使用した場合の、リセット電流(1.2mA)の半分ほどである(図示せず)。図3で、Fは、相変化層66が非晶質状態であるときを表している。なお、リセット電流(1.2mA)は、一般的な値である。
図3に示すように、リセット電流以上で抵抗を測定したとき、相変化層は安定的に非晶質状態を維持するということが分かる。非晶質状態Fにある相変化層66に電流を印加すれば、相変化層66の抵抗は、リセット電流より低く、セット電流より大きい電流で結晶状態、すなわち、非晶質領域のない状態に戻る。しかし、図3には、便宜上、図示していない。
以上、多くの事項が具体的に記載されているが、それらは、発明の範囲を限定するものではなく、望ましい実施形態の例示として解釈されねばならない。例えば、当業者ならば、GSTに2つ以上の元素をドーピングまたは添加する場合を考えることができるであろう。また、Inを含む相変化層を基本的に有するが、ストレージノードを多様に変形することができるであろう。したがって、本発明の技術的範囲は、上述の実施形態・実施例に制限されず、特許請求の範囲に記載された技術的思想によって決まらねばならない。
本発明は、PRAMに関連した技術分野に好適に適用されうる。
40 基板
42 ゲート絶縁膜
44 ゲート電極
46 第1層間絶縁層
50 導電性プラグ
60 下部電極
62 第2層間絶縁層
64 下部電極コンタクト層
66 相変化層
68 上部電極
S1 第1不純物ドーピング領域
D1 第2不純物ドーピング領域
h1 コンタクトホール
h2 ビアホール
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S1 第1不純物ドーピング領域
D1 第2不純物ドーピング領域
h1 コンタクトホール
h2 ビアホール
Claims (6)
- 相変化層を備えるストレージノードとスイッチング素子と、を備える相変化メモリ素子であって、
前記相変化層が、Inを含み、
前記Inの含有量(a1)が、5at%<a1<15at%である、相変化メモリ素子。 - 前記相変化層は、前記Inを含むGST層である、請求項1に記載の相変化メモリ素子。
- 前記相変化層におけるGeの含有量(X)が、10at%<X<25at%である、請求項2に記載の相変化メモリ素子。
- 前記相変化層におけるSbの含有量(Y)が、15at%<Y<30at%である、請求項2または請求項3に記載の相変化メモリ素子。
- 前記相変化層におけるTeの含有量(Z)が、40at%<Z<70at%である、請求項2〜4のいずれか1項に記載の相変化メモリ素子。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の相変化メモリ素子の動作方法であって、
前記相変化層に0mAを超えて、1mA未満のリセット電流を印加してデータ書き込みを行うことを含む、相変化メモリ素子の動作方法。
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