JP2008008819A

JP2008008819A - Film flaw detection method and film flaw detector

Info

Publication number: JP2008008819A
Application number: JP2006181019A
Authority: JP
Inventors: Wataru Yamamoto; 渉山本
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2006-06-30
Filing date: 2006-06-30
Publication date: 2008-01-17

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film flaw detection method which is constituted so as to easily detect the flaw, especially the shallow or extremely fine flaw present in the surface of an inspection target film, and is improved so as not to miss the occurrence of the flaw, and also to provide a film flaw detector. <P>SOLUTION: In the method and apparatus for irradiating the surface of the film 1 with the illumination light L1 by an illumination light source 11 and detecting the reflected light L2 of the illumination light L1 thrown on the surface of the film 1 by a CCD camera 12 to detect the surface flaw of the film 1, the illumination light L1 of the illumination light source 11 is set at an incident angle of 15-45° with respect to the surface of the film 1 to irradiate the film 1 and only the reflected light L3 reflected in a vertical direction with respect to the film 1 in the reflected light L2 of the illumination light L1 is detected by the CCD camera 12 to detect the flaw of the surface 1a of the film 1. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、フィルムの表面に発生している微細なキズを検出するフィルムキズ検出方法及びその検出装置に関し、特に、有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造やその他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置に関する。 The present invention relates to a film flaw detection method and a detection apparatus for detecting fine flaws occurring on the surface of a film, and in particular, manufacture of an optical display such as an organic EL display and electronic paper, and manufacture of other precision parts. The present invention relates to a film flaw detection method and a detection apparatus for detecting flaws generated on the surface of a film used in the process.

例えば、有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなどの光学表示体の製造において、その表示体を封止するためのフィルムや、その他の精密部品の製造において使用するフィルムを加工する際には、加工時にフィルム表面にキズが発生する場合がある。 For example, in manufacturing an optical display such as an organic EL display or electronic paper, when processing a film for sealing the display or a film used for manufacturing other precision parts, Scratches may occur on the surface.

これらの光学部品やその他の精密部品に使用するフィルムは、そのキズが微細で浅くても重欠点となるものである。そのために、フィルムに発生するキズの検出は精度良く実施する必要がある。 Films used for these optical parts and other precision parts are serious defects even if the scratches are fine and shallow. Therefore, it is necessary to accurately detect the scratches generated on the film.

従来のフィルムキズを検出する方法としては、例えば、図４に示すような検出装置があり、検査台３の平坦な上面にフィルム１を載置して、照明光源１１による照明光Ｌ1 を該フィルム１の表面１ａに対して垂直（入射角度０°）に設定して照射する。そして、その照明光Ｌ1 が、該フィルム１の表面１ａにて反射する反射光Ｌ2 のうち、垂直な成分の反射光Ｌ3 を、ＣＣＤカメラ１２などの光検出センサー手段１２にて検出することにより、前記フィルム１の表面１ａに発生している、Ｖ字状、凹陥状、或いは突起状など擦過傷状に発生しているキズ２を検出するようにしていた。 As a conventional method for detecting film scratches, for example, there is a detection device as shown in FIG. 4. The film 1 is placed on the flat upper surface of the inspection table 3, and the illumination light L 1 from the illumination light source 11 is used as the film. Irradiation is performed with the surface 1a of 1 being set perpendicular (incident angle 0 °). Then, the reflected light L3 of the vertical component of the reflected light L2 reflected by the surface 1a of the film 1 is detected by the light detection sensor means 12 such as the CCD camera 12 by the illumination light L1. The scratches 2 generated on the surface 1a of the film 1 in the form of scratches such as a V shape, a concave shape, or a protrusion shape are detected.

しかしながら、上記のような通常のフィルムキズ検出方法では、照明光Ｌ1 をフィルム１の表面１ａに対して垂直方向に照射するため、該照明光Ｌ1 は、フィルム１の表面１ａに発生している擦過等によりＶ字状、凹陥状など擦過傷状に刻切されたキズ２の内部まで照明される。そのため、照明光Ｌ1 によるキズ２により生ずる反射光Ｌ2 としての光の陰影や、キズ２を画像として捉えたとき、その画像の輪郭やコントラストが明確に発生し難い場合がある。特に、検査対象のフィルム１の表面にあるキズのうち、キズが浅いものや極めて微細なものは検出が難しく、キズの発生を見過ごしてしまう場合が多々あった。 However, in the normal film scratch detection method as described above, since the illumination light L1 is irradiated in a direction perpendicular to the surface 1a of the film 1, the illumination light L1 is rubbed on the surface 1a of the film 1. For example, the interior of the scratch 2 cut into a scratch shape such as a V-shape or a concave shape is illuminated. For this reason, when the shadow of the light as the reflected light L2 generated by the scratch 2 caused by the illumination light L1 or when the scratch 2 is captured as an image, the outline and contrast of the image may not be clearly generated. In particular, among the scratches on the surface of the film 1 to be inspected, those with shallow scratches or extremely fine ones are difficult to detect and often cause the generation of scratches to be overlooked.

以下に、本願に関連する先行技術文献を記載する。
特開平７−１２７４５号公報 The prior art documents relevant to the present application are described below.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-12745

本発明は、フィルムの表面に発生している微細なキズ、特に有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造や、その他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置であって、検査対象のフィルム表面にあるキズ、特にキズが浅いものや極めて微細なものを検出し易くして、キズの発生を見過ごすことがないような改良されたフィルムキズ検出方法及びその検出装置を提供することにある The present invention detects fine scratches generated on the surface of the film, particularly scratches generated on the surface of the film used in the manufacture of optical displays such as organic EL displays and electronic paper, and other precision parts. Film scratch detection method and apparatus for detecting scratches on the surface of a film to be inspected, especially those with shallow or extremely fine scratches, so that the generation of scratches is not overlooked To provide an improved film scratch detection method and detection apparatus therefor

本発明の請求項１に係る発明は、フィルム１の表面に照明光源１１にて照明光Ｌ1 を照射し、該フィルム１の表面に照射され前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 をＣＣＤカメラ１
２により検出して、該フィルム１表面のキズを検出するフィルムキズ検出方法であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定して照射し、前記ＣＣＤカメラ１２により、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを検出することにより、前記フィルム１表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出方法である。 The invention according to claim 1 of the present invention irradiates the surface of the film 1 with the illumination light L1 by the illumination light source 11, and irradiates the surface of the film 1 with the reflected light L2 by the illumination light L1.
2 is a film flaw detection method for detecting flaws on the surface of the film 1, wherein the illumination light L1 of the illumination light source 11 is set at an incident angle of 15 ° to 45 ° with respect to the surface of the film 1. By detecting only the reflected light L3 reflected in the direction perpendicular to the film 1 out of the reflected light L2 by the illumination light L1, the scratches on the surface of the film 1 are detected. This is a method for detecting a film scratch.

本発明の請求項２に係る発明は、フィルム１の表面に照明光Ｌ1 を照射する照明光源１１と、前記フィルム１の表面に照射された照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 を検出するＣＣＤカメラ１２とを備えたフィルムキズ検出装置であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 は該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定され、前記ＣＣＤカメラ１２は前記反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 を検出することにより、前記フィルム１表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出装置である。 The invention according to claim 2 of the present invention includes an illumination light source 11 that irradiates the surface of the film 1 with illumination light L1, and a CCD camera 12 that detects reflected light L2 due to the illumination light L1 irradiated on the surface of the film 1. The illumination light L1 of the illumination light source 11 is set at an incident angle of 15 ° to 45 ° with respect to the surface of the film 1, and the CCD camera 12 includes the reflected light L2 It is a film scratch detection device that detects scratches on the surface of the film 1 by detecting reflected light L3 reflected in a direction perpendicular to the film 1.

本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置によれば、照明光源１１の照明光Ｌ1 を、フィルム１の表面１ａに対して、入射角度１５°〜４５°に設定して照射するようにしたので、照明光Ｌ1 は、フィルム１の表面１ａに対して斜めに照射される。そのため、フィルム１の表面１ａに発生している擦過等により刻切されたキズ、特に浅く極めて微細なキズ２の大部分は、そのキズ２の内部までは照明されない。 According to the film flaw detection method and the detection apparatus of the present invention, the illumination light L1 of the illumination light source 11 is applied to the surface 1a of the film 1 at an incident angle of 15 ° to 45 °. The illumination light L1 is applied obliquely to the surface 1a of the film 1. Therefore, most of the scratches cut by the rubbing or the like generated on the surface 1 a of the film 1, particularly the shallow and extremely fine scratch 2, is not illuminated up to the inside of the scratch 2.

そのため、照明光Ｌ1 による前記キズ２により生ずる反射光Ｌ2 としての光の陰影が発生して、そのキズ２を画像として捉えたとき、その画像の輪郭やコントラストが明確に発生して、検査対象のフィルム１の表面１ａにあるキズのうち、特に浅く極めて微細なキズも検出し易くなって、キズの発生を見過ごすことがないようようにすることができる。 Therefore, the shadow of the light as reflected light L2 generated by the scratch 2 due to the illumination light L1 occurs, and when the scratch 2 is captured as an image, the contour and contrast of the image are clearly generated, and the inspection target Of the scratches on the surface 1 a of the film 1, particularly shallow and extremely fine scratches can be easily detected, so that the generation of scratches can not be overlooked.

このように本発明によれば、フィルムの表面に発生している微細なキズ、特に有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造や、その他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置として絶大な効果を発揮するものである。 As described above, according to the present invention, fine scratches generated on the surface of the film, particularly on the surface of the film used in the manufacture of an optical display such as an organic EL display or electronic paper, and other precision parts. The film flaw detection method and the detection apparatus for detecting the flaws that occur are extremely effective.

本発明のフィルムキズ検出方法を、図１に示す本発明のフィルムキズ検出装置に基づいて以下に詳細に説明する。 The film scratch detection method of the present invention will be described in detail below based on the film scratch detection apparatus of the present invention shown in FIG.

図１に示すように、検査対象のフィルム１の表面１ａに、照明光源１１にて照明光Ｌ1 を照射し、該フィルム１の表面１ａに照射された前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 による画像（光像）をＣＣＤカメラ１２により検出することにより、フィルム１の表面１ａに発生しているキズを検出するようにしたものである。 As shown in FIG. 1, the surface 1a of the film 1 to be inspected is irradiated with illumination light L1 by an illumination light source 11, and an image (reflected light L2 by the illumination light L1 irradiated onto the surface 1a of the film 1) The optical image) is detected by the CCD camera 12 to detect a flaw generated on the surface 1a of the film 1.

本発明のフィルムキズ検出方法では、図１に示すように前記照明光源１１の照明光Ｌ1 （Ｏ1 は照明光軸）を、該フィルム１の表面１ａに対して、入射角度θ＝１５°〜４５°に設定して照射する。そして、前記ＣＣＤカメラ１２により、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち、該フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを画像（光像）として検出するものである。 In the film scratch detection method of the present invention, as shown in FIG. 1, the illumination light L1 (O1 is the illumination optical axis) of the illumination light source 11 is incident on the surface 1a of the film 1 at an incident angle θ = 15 ° to 45 °. Set to ° and irradiate. The CCD camera 12 detects only the reflected light L3 reflected in the direction perpendicular to the surface 1a of the film 1 from the reflected light L2 of the illumination light L1 as an image (light image).

本発明のフィルムキズ検出方法における検出動作を、図１及び図２の側面図に基づいて説明すれば、図１に示すように、まず、検査対象のフィルム１の表面１ａに対して、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を入射角度θ＝１５°〜４５°に設定して照射しながら、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とを一体的に、フィルム１の表面１ａに対して矢印方向
に相対的に移動させる。 The detection operation in the film scratch detection method of the present invention will be described with reference to the side views of FIGS. 1 and 2. First, as shown in FIG. 1, the illumination is performed on the surface 1 a of the film 1 to be inspected. While illuminating the illumination light L1 of the light source 11 with the incident angle θ set at 15 ° to 45 °, the illumination light source 11 and the CCD camera 12 are integrated relative to the surface 1a of the film 1 in the direction of the arrow. Move.

そして、検査対象のフィルム１を矢印方向に移動させる間に、図２に示すようにフィルム１の表面１ａのキズ２の発生している位置に照明光Ｌ1 が到達すると、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち、該フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみが、ＣＣＤカメラ１２のレンズ光学系の光軸Ｏ2 内に入るため、垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを画像（光像）として検出して、前記フィルム１の表面１ａに発生している、Ｖ字状、凹陥状、擦過傷状に刻切された、或いは突起状浮き出たキズ２を検出するものである。 When the illumination light L1 reaches the position where the scratch 2 is generated on the surface 1a of the film 1 as shown in FIG. 2 while the film 1 to be inspected is moved in the direction of the arrow, the reflection by the illumination light L1 is performed. Of the light L2, only the reflected light L3 reflected in the vertical direction with respect to the surface 1a of the film 1 enters the optical axis O2 of the lens optical system of the CCD camera 12, so that only the reflected light L3 reflected in the vertical direction is present. Is detected as an image (light image) to detect scratches 2 which are generated on the surface 1a of the film 1 and cut into a V shape, a concave shape, a scratch, or a protruding shape. is there.

本発明のフィルムキズ検出装置を、図１に基づいて以下に詳細に説明すれば、照明光源１１が、その照明光Ｌ1 （照明光軸Ｏ1 ）をフィルム１の表面１ａに対して入射角度θが１５°〜４５°になるように設置されている。またＣＣＤカメラ１２が、そのカメラレンズ光学系（レンズ光軸Ｏ2 ）が、前記反射光Ｌ2 のうち、フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを検出するように設置されている。 The film scratch detection device of the present invention will be described in detail below with reference to FIG. 1. The illumination light source 11 has an incident angle θ of the illumination light L1 (illumination optical axis O1) with respect to the surface 1a of the film 1. It is installed so that it may be 15 degrees-45 degrees. The CCD camera 12 is installed such that its camera lens optical system (lens optical axis O2) detects only the reflected light L3 reflected in the direction perpendicular to the surface 1a of the film 1 out of the reflected light L2. ing.

また、検査対象のフィルム１は、検査台３の平坦な検査面３ａ上に載置されている。前記照明光源１１及びＣＣＤカメラ１２と検査対象のフィルム１とは、互いに定位置に固定した状態でキズの検出を実施するようにしてもよいし、互いに離間距離を一定に保持した状態で、相対的に矢印方向に移動できるようにしてもよい。なお、本発明においては、照明光源１１の照明光軸Ｏ1 とＣＣＤカメラ１２のレンズ光学系の光軸Ｏ2 との交点は、検査対象のフィルム１の表面１ａに略整合されていることが望ましい。 The film 1 to be inspected is placed on the flat inspection surface 3 a of the inspection table 3. The illumination light source 11 and the CCD camera 12 and the film 1 to be inspected may be subjected to detection of scratches while being fixed to each other in a fixed position. It may be possible to move in the direction of the arrow. In the present invention, the intersection between the illumination optical axis O1 of the illumination light source 11 and the optical axis O2 of the lens optical system of the CCD camera 12 is preferably substantially aligned with the surface 1a of the film 1 to be inspected.

例えば、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とは、一体的に所定の支持フレーム（図示せず）に取り付けられていて、定位置固定式若しくは可動式である。定位置の前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２に対して、検査対象のフィルム１は検査台３の検査面３ａ上に静止した状態で検査するようにしてもよい。或いは所定の支持フレームに一体的に取付けられた前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とを移動させながら、検査対象のフィルム１を検査台３の検査面３ａ上に静止した状態で検査するようにしてもよい。 For example, the illumination light source 11 and the CCD camera 12 are integrally attached to a predetermined support frame (not shown), and are fixed in position or movable. The film 1 to be inspected may be inspected in a stationary state on the inspection surface 3a of the inspection table 3 with respect to the illumination light source 11 and the CCD camera 12 at fixed positions. Alternatively, the film 1 to be inspected is inspected in a stationary state on the inspection surface 3a of the inspection table 3 while moving the illumination light source 11 and the CCD camera 12 integrally attached to a predetermined support frame. Also good.

或いは、検査対象のフィルム１は、適宜なるフィルム搬送手段、例えば、コンベアロール、コンベアベルト等にて、或いはフィルム巻き出しロール、巻き取りロール等にて、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とに対して、相対的に矢印方向に検査台３の検査面３ａ上を搬送移動するように構成されていてもよい。 Alternatively, the film 1 to be inspected can be applied to the illumination light source 11 and the CCD camera 12 by an appropriate film conveying means such as a conveyor roll and a conveyor belt, or by a film unwinding roll and a winding roll. Thus, it may be configured to move and move on the inspection surface 3a of the inspection table 3 relatively in the direction of the arrow.

本発明のフィルムキズ検出装置による検出動作を、図１及び図２の側面図に基づいて説明すれば、図１に示すように、まず、検査対象のフィルム１の表面１ａに対して、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を入射角度θ＝１５°〜４５°に設定して照射しながら、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とを一体的に、フィルム１の表面１ａに対して矢印方向に相対的に移動させる。 The detection operation by the film scratch detection device of the present invention will be described with reference to the side views of FIGS. 1 and 2. First, as shown in FIG. 1, the illumination is applied to the surface 1a of the film 1 to be inspected. While illuminating the illumination light L1 of the light source 11 with the incident angle θ set at 15 ° to 45 °, the illumination light source 11 and the CCD camera 12 are integrated relative to the surface 1a of the film 1 in the direction of the arrow. Move.

入射角度θ＝１５°〜４５°にて照射された照明光Ｌ1 は、フィルム１の表面１ａにて反射して反射光Ｌ2 が発生するが、図１に示すようにフィルム１の表面１ａが平坦で平滑であれば、反射光Ｌ2 に含まれるフィルム１の表面１ａに垂直方向の反射光Ｌ3 は僅かである。 Illumination light L1 irradiated at an incident angle θ = 15 ° to 45 ° is reflected by the surface 1a of the film 1 to generate reflected light L2, but the surface 1a of the film 1 is flat as shown in FIG. If smooth, the reflected light L3 in the direction perpendicular to the surface 1a of the film 1 contained in the reflected light L2 is slight.

そして、図２に示すように、検査対象のフィルム１を矢印方向に移動させる間に、フィルム１の表面１ａに、Ｖ字状、凹陥状、擦過傷状に刻切されたキズ２、或いは突起状に浮き出たキズ２の発生している位置に照明光Ｌ1 が到達すると、特に照明光Ｌ1 を入射角度θ＝１５°〜４５°にて照射することにより、フィルム１の表面１ａのキズ２の内部には
斜めの照明光Ｌ1 による光の陰影が発生する。またフィルム表面１ａのキズ２の内面や、フィルム表面１ａとキズ２との境界部分（キズの輪郭部分）などには、照明光Ｌ1 による乱反射が発生する。 Then, as shown in FIG. 2, while the film 1 to be inspected is moved in the direction of the arrow, the surface 1a of the film 1 has scratches 2 or protrusions cut into a V shape, a recessed shape, or a scratched shape. When the illumination light L1 reaches the position where the scratch 2 is raised, the illumination light L1 is irradiated at an incident angle θ = 15 ° to 45 °, so that the inside of the scratch 1 on the surface 1a of the film 1 is obtained. A shadow of light is generated by the oblique illumination light L1. Further, irregular reflection by the illumination light L1 occurs on the inner surface of the scratch 2 on the film surface 1a, the boundary portion between the film surface 1a and the scratch 2 (the contour portion of the scratch), or the like.

そのため、そのキズ２を画像として捉えたとき、Ｖ字状、凹陥状、擦過状、或いは突起状に浮き出たキズ２、特にＶ字状、凹陥状、擦過状のキズ２の内部には、斜めの照明光Ｌ1 による光の陰影による一部の反射光や、キズ２の内面やフィルム表面１ａとキズ２との境界部分（キズの輪郭部分）などにて乱反射した一部の反射光などが、フィルム１の表面に対して垂直方向の反射光Ｌ3 （又は増幅された反射光Ｌ3 ）となる。 Therefore, when the scratch 2 is captured as an image, the inside of the scratch 2, which is V-shaped, recessed, scratched, or raised like a protrusion, in particular, the V-shaped, recessed, scratched scratch 2 is slanted. Some of the reflected light caused by the shading of the light from the illumination light L1, and some of the reflected light irregularly reflected at the inner surface of the scratch 2 or the boundary between the film surface 1a and the scratch 2 (scratch contour portion), etc. The reflected light L3 (or amplified reflected light L3) is perpendicular to the surface of the film 1.

そのために、キズ２の画像の輪郭やコントラストが明確に発生して、検査対象のフィルム１の表面１ａにあるキズのうち、特に浅く極めて微細なキズも画像として検出される。図３は、フィルム１の表面１ａのキズ２に対して照射した入射角度θ＝１５°〜４５°の照明光Ｌ1 と、それによる反射光Ｌ2 と、その反射光Ｌ2 のうち垂直方向の反射光Ｌ3 の光路の拡大模式図である。 Therefore, the contour and contrast of the image of the scratch 2 are clearly generated, and particularly a very shallow and extremely fine scratch is detected as an image among the scratches on the surface 1a of the film 1 to be inspected. FIG. 3 shows the illumination light L1 having an incident angle θ of 15 ° to 45 ° irradiated to the scratch 2 on the surface 1a of the film 1, the reflected light L2 thereby, and the reflected light in the vertical direction among the reflected light L2. It is an expansion schematic diagram of the optical path of L3.

そして、前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち、該フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみが、ＣＣＤカメラ１２のレンズ光学系の光軸Ｏ2 内に入るため、垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを画像（光像）として検出して、前記フィルム１の表面１ａのキズ２を検出するものである。 Of the reflected light L2 from the illumination light L1, only the reflected light L3 reflected in the vertical direction with respect to the surface 1a of the film 1 enters the optical axis O2 of the lens optical system of the CCD camera 12, so that it is vertical. Only the reflected light L3 reflected in the direction is detected as an image (light image), and the scratch 2 on the surface 1a of the film 1 is detected.

本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置を説明する側面図。The side view explaining the film crack detection method and its detection apparatus of this invention. 本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置を説明する側面図。The side view explaining the film crack detection method and its detection apparatus of this invention. 本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置においてフィルム１の表面１ａのキズ２に対して照射した照明光Ｌ1 、反射光Ｌ2 反射光Ｌ2 のうち垂直方向の反射光Ｌ3 の光路の拡大模式図。FIG. 3 is an enlarged schematic view of the optical path of the reflected light L3 in the vertical direction among the illumination light L1 and reflected light L2 reflected light L2 irradiated to the scratch 2 on the surface 1a of the film 1 in the film scratch detection method and detection apparatus of the present invention. 従来のフィルムキズ検出方法及びその検出装置を説明する側面図。The side view explaining the conventional film crack detection method and its detection apparatus.

Explanation of symbols

１…フィルム
２…キズ
３…検査台
１１…照明光源
１２…ＣＣＤカメラ
Ｏ1 …照明光軸
Ｏ2 …レンズ光軸
Ｌ1 …照明光
Ｌ2 …反射光
Ｌ3 …垂直反射光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Film 2 ... Scratch 3 ... Inspection stand 11 ... Illumination light source 12 ... CCD camera O1 ... Illumination optical axis O2 ... Lens optical axis L1 ... Illumination light L2 ... Reflection light L3 ... Vertical reflection light

Claims

The illumination light source 11 irradiates the surface of the film 1 with the illumination light L1, and the CCD camera 12 detects the reflected light L2 that is irradiated onto the surface of the film 1 and is reflected by the illumination light L1, thereby detecting a scratch on the surface of the film 1. The film flaw detection method is to irradiate the surface of the film 1 with the illumination light L1 of the illumination light source 11 at an incident angle of 15 ° to 45 °, and the CCD camera 12 causes the illumination light L1 to be irradiated. A method of detecting a scratch on the surface of the film 1 by detecting only the reflected light L3 reflected in the direction perpendicular to the film 1 out of the reflected light L2 due to the above.

A film scratch detection device comprising an illumination light source 11 for illuminating illumination light L1 on the surface of film 1 and a CCD camera 12 for detecting reflected light L2 due to illumination light L1 illuminated on the surface of film 1. The illumination light L1 of the illumination light source 11 is set at an incident angle of 15 ° to 45 ° with respect to the surface of the film 1, and the CCD camera 12 reflects the reflected light L2 in the direction perpendicular to the film 1. A film scratch detection apparatus, wherein the scratch on the surface of the film 1 is detected by detecting the reflected light L3.