JP2008008819A - Film flaw detection method and film flaw detector - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、フィルムの表面に発生している微細なキズを検出するフィルムキズ検出方法及びその検出装置に関し、特に、有機EL表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造やその他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置に関する。 The present invention relates to a film flaw detection method and a detection apparatus for detecting fine flaws occurring on the surface of a film, and in particular, manufacture of an optical display such as an organic EL display and electronic paper, and manufacture of other precision parts. The present invention relates to a film flaw detection method and a detection apparatus for detecting flaws generated on the surface of a film used in the process.
例えば、有機EL表示体や電子ペーパーなどの光学表示体の製造において、その表示体を封止するためのフィルムや、その他の精密部品の製造において使用するフィルムを加工する際には、加工時にフィルム表面にキズが発生する場合がある。 For example, in manufacturing an optical display such as an organic EL display or electronic paper, when processing a film for sealing the display or a film used for manufacturing other precision parts, Scratches may occur on the surface.
これらの光学部品やその他の精密部品に使用するフィルムは、そのキズが微細で浅くても重欠点となるものである。そのために、フィルムに発生するキズの検出は精度良く実施する必要がある。 Films used for these optical parts and other precision parts are serious defects even if the scratches are fine and shallow. Therefore, it is necessary to accurately detect the scratches generated on the film.
従来のフィルムキズを検出する方法としては、例えば、図4に示すような検出装置があり、検査台3の平坦な上面にフィルム1を載置して、照明光源11による照明光L1 を該フィルム1の表面1aに対して垂直(入射角度0°)に設定して照射する。そして、その照明光L1 が、該フィルム1の表面1aにて反射する反射光L2 のうち、垂直な成分の反射光L3 を、CCDカメラ12などの光検出センサー手段12にて検出することにより、前記フィルム1の表面1aに発生している、V字状、凹陥状、或いは突起状など擦過傷状に発生しているキズ2を検出するようにしていた。
As a conventional method for detecting film scratches, for example, there is a detection device as shown in FIG. 4. The
しかしながら、上記のような通常のフィルムキズ検出方法では、照明光L1 をフィルム1の表面1aに対して垂直方向に照射するため、該照明光L1 は、フィルム1の表面1aに発生している擦過等によりV字状、凹陥状など擦過傷状に刻切されたキズ2の内部まで照明される。そのため、照明光L1 によるキズ2により生ずる反射光L2 としての光の陰影や、キズ2を画像として捉えたとき、その画像の輪郭やコントラストが明確に発生し難い場合がある。特に、検査対象のフィルム1の表面にあるキズのうち、キズが浅いものや極めて微細なものは検出が難しく、キズの発生を見過ごしてしまう場合が多々あった。
However, in the normal film scratch detection method as described above, since the illumination light L1 is irradiated in a direction perpendicular to the
以下に、本願に関連する先行技術文献を記載する。
本発明は、フィルムの表面に発生している微細なキズ、特に有機EL表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造や、その他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置であって、検査対象のフィルム表面にあるキズ、特にキズが浅いものや極めて微細なものを検出し易くして、キズの発生を見過ごすことがないような改良されたフィルムキズ検出方法及びその検出装置を提供することにある The present invention detects fine scratches generated on the surface of the film, particularly scratches generated on the surface of the film used in the manufacture of optical displays such as organic EL displays and electronic paper, and other precision parts. Film scratch detection method and apparatus for detecting scratches on the surface of a film to be inspected, especially those with shallow or extremely fine scratches, so that the generation of scratches is not overlooked To provide an improved film scratch detection method and detection apparatus therefor
本発明の請求項1に係る発明は、フィルム1の表面に照明光源11にて照明光L1 を照射し、該フィルム1の表面に照射され前記照明光L1 による反射光L2 をCCDカメラ1
2により検出して、該フィルム1表面のキズを検出するフィルムキズ検出方法であって、前記照明光源11の照明光L1 を該フィルム1の表面に対して入射角度15°〜45°に設定して照射し、前記CCDカメラ12により、該照明光L1 による反射光L2 のうち該フィルム1に対して垂直方向に反射する反射光L3 のみを検出することにより、前記フィルム1表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出方法である。
The invention according to
2 is a film flaw detection method for detecting flaws on the surface of the
本発明の請求項2に係る発明は、フィルム1の表面に照明光L1 を照射する照明光源11と、前記フィルム1の表面に照射された照明光L1 による反射光L2 を検出するCCDカメラ12とを備えたフィルムキズ検出装置であって、前記照明光源11の照明光L1 は該フィルム1の表面に対して入射角度15°〜45°に設定され、前記CCDカメラ12は前記反射光L2 のうち該フィルム1に対して垂直方向に反射する反射光L3 を検出することにより、前記フィルム1表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出装置である。
The invention according to
本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置によれば、照明光源11の照明光L1 を、フィルム1の表面1aに対して、入射角度15°〜45°に設定して照射するようにしたので、照明光L1 は、フィルム1の表面1aに対して斜めに照射される。そのため、フィルム1の表面1aに発生している擦過等により刻切されたキズ、特に浅く極めて微細なキズ2の大部分は、そのキズ2の内部までは照明されない。
According to the film flaw detection method and the detection apparatus of the present invention, the illumination light L1 of the
そのため、照明光L1 による前記キズ2により生ずる反射光L2 としての光の陰影が発生して、そのキズ2を画像として捉えたとき、その画像の輪郭やコントラストが明確に発生して、検査対象のフィルム1の表面1aにあるキズのうち、特に浅く極めて微細なキズも検出し易くなって、キズの発生を見過ごすことがないようようにすることができる。
Therefore, the shadow of the light as reflected light L2 generated by the
このように本発明によれば、フィルムの表面に発生している微細なキズ、特に有機EL表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造や、その他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置として絶大な効果を発揮するものである。 As described above, according to the present invention, fine scratches generated on the surface of the film, particularly on the surface of the film used in the manufacture of an optical display such as an organic EL display or electronic paper, and other precision parts. The film flaw detection method and the detection apparatus for detecting the flaws that occur are extremely effective.
本発明のフィルムキズ検出方法を、図1に示す本発明のフィルムキズ検出装置に基づいて以下に詳細に説明する。 The film scratch detection method of the present invention will be described in detail below based on the film scratch detection apparatus of the present invention shown in FIG.
図1に示すように、検査対象のフィルム1の表面1aに、照明光源11にて照明光L1 を照射し、該フィルム1の表面1aに照射された前記照明光L1 による反射光L2 による画像(光像)をCCDカメラ12により検出することにより、フィルム1の表面1aに発生しているキズを検出するようにしたものである。
As shown in FIG. 1, the
本発明のフィルムキズ検出方法では、図1に示すように前記照明光源11の照明光L1 (O1 は照明光軸)を、該フィルム1の表面1aに対して、入射角度θ=15°〜45°に設定して照射する。そして、前記CCDカメラ12により、該照明光L1 による反射光L2 のうち、該フィルム1の表面1aに対して垂直方向に反射する反射光L3 のみを画像(光像)として検出するものである。
In the film scratch detection method of the present invention, as shown in FIG. 1, the illumination light L1 (O1 is the illumination optical axis) of the
本発明のフィルムキズ検出方法における検出動作を、図1及び図2の側面図に基づいて説明すれば、図1に示すように、まず、検査対象のフィルム1の表面1aに対して、前記照明光源11の照明光L1 を入射角度θ=15°〜45°に設定して照射しながら、前記照明光源11とCCDカメラ12とを一体的に、フィルム1の表面1aに対して矢印方向
に相対的に移動させる。
The detection operation in the film scratch detection method of the present invention will be described with reference to the side views of FIGS. 1 and 2. First, as shown in FIG. 1, the illumination is performed on the
そして、検査対象のフィルム1を矢印方向に移動させる間に、図2に示すようにフィルム1の表面1aのキズ2の発生している位置に照明光L1 が到達すると、該照明光L1 による反射光L2 のうち、該フィルム1の表面1aに対して垂直方向に反射する反射光L3 のみが、CCDカメラ12のレンズ光学系の光軸O2 内に入るため、垂直方向に反射する反射光L3 のみを画像(光像)として検出して、前記フィルム1の表面1aに発生している、V字状、凹陥状、擦過傷状に刻切された、或いは突起状浮き出たキズ2を検出するものである。
When the illumination light L1 reaches the position where the
本発明のフィルムキズ検出装置を、図1に基づいて以下に詳細に説明すれば、照明光源11が、その照明光L1 (照明光軸O1 )をフィルム1の表面1aに対して入射角度θが15°〜45°になるように設置されている。またCCDカメラ12が、そのカメラレンズ光学系(レンズ光軸O2 )が、前記反射光L2 のうち、フィルム1の表面1aに対して垂直方向に反射する反射光L3 のみを検出するように設置されている。
The film scratch detection device of the present invention will be described in detail below with reference to FIG. 1. The
また、検査対象のフィルム1は、検査台3の平坦な検査面3a上に載置されている。前記照明光源11及びCCDカメラ12と検査対象のフィルム1とは、互いに定位置に固定した状態でキズの検出を実施するようにしてもよいし、互いに離間距離を一定に保持した状態で、相対的に矢印方向に移動できるようにしてもよい。なお、本発明においては、照明光源11の照明光軸O1 とCCDカメラ12のレンズ光学系の光軸O2 との交点は、検査対象のフィルム1の表面1aに略整合されていることが望ましい。
The
例えば、前記照明光源11とCCDカメラ12とは、一体的に所定の支持フレーム(図示せず)に取り付けられていて、定位置固定式若しくは可動式である。定位置の前記照明光源11とCCDカメラ12に対して、検査対象のフィルム1は検査台3の検査面3a上に静止した状態で検査するようにしてもよい。或いは所定の支持フレームに一体的に取付けられた前記照明光源11とCCDカメラ12とを移動させながら、検査対象のフィルム1を検査台3の検査面3a上に静止した状態で検査するようにしてもよい。
For example, the
或いは、検査対象のフィルム1は、適宜なるフィルム搬送手段、例えば、コンベアロール、コンベアベルト等にて、或いはフィルム巻き出しロール、巻き取りロール等にて、前記照明光源11とCCDカメラ12とに対して、相対的に矢印方向に検査台3の検査面3a上を搬送移動するように構成されていてもよい。
Alternatively, the
本発明のフィルムキズ検出装置による検出動作を、図1及び図2の側面図に基づいて説明すれば、図1に示すように、まず、検査対象のフィルム1の表面1aに対して、前記照明光源11の照明光L1 を入射角度θ=15°〜45°に設定して照射しながら、前記照明光源11とCCDカメラ12とを一体的に、フィルム1の表面1aに対して矢印方向に相対的に移動させる。
The detection operation by the film scratch detection device of the present invention will be described with reference to the side views of FIGS. 1 and 2. First, as shown in FIG. 1, the illumination is applied to the
入射角度θ=15°〜45°にて照射された照明光L1 は、フィルム1の表面1aにて反射して反射光L2 が発生するが、図1に示すようにフィルム1の表面1aが平坦で平滑であれば、反射光L2 に含まれるフィルム1の表面1aに垂直方向の反射光L3 は僅かである。
Illumination light L1 irradiated at an incident angle θ = 15 ° to 45 ° is reflected by the
そして、図2に示すように、検査対象のフィルム1を矢印方向に移動させる間に、フィルム1の表面1aに、V字状、凹陥状、擦過傷状に刻切されたキズ2、或いは突起状に浮き出たキズ2の発生している位置に照明光L1 が到達すると、特に照明光L1 を入射角度θ=15°〜45°にて照射することにより、フィルム1の表面1aのキズ2の内部には
斜めの照明光L1 による光の陰影が発生する。またフィルム表面1aのキズ2の内面や、フィルム表面1aとキズ2との境界部分(キズの輪郭部分)などには、照明光L1 による乱反射が発生する。
Then, as shown in FIG. 2, while the
そのため、そのキズ2を画像として捉えたとき、V字状、凹陥状、擦過状、或いは突起状に浮き出たキズ2、特にV字状、凹陥状、擦過状のキズ2の内部には、斜めの照明光L1 による光の陰影による一部の反射光や、キズ2の内面やフィルム表面1aとキズ2との境界部分(キズの輪郭部分)などにて乱反射した一部の反射光などが、フィルム1の表面に対して垂直方向の反射光L3 (又は増幅された反射光L3 )となる。
Therefore, when the
そのために、キズ2の画像の輪郭やコントラストが明確に発生して、検査対象のフィルム1の表面1aにあるキズのうち、特に浅く極めて微細なキズも画像として検出される。図3は、フィルム1の表面1aのキズ2に対して照射した入射角度θ=15°〜45°の照明光L1 と、それによる反射光L2 と、その反射光L2 のうち垂直方向の反射光L3 の光路の拡大模式図である。
Therefore, the contour and contrast of the image of the
そして、前記照明光L1 による反射光L2 のうち、該フィルム1の表面1aに対して垂直方向に反射する反射光L3 のみが、CCDカメラ12のレンズ光学系の光軸O2 内に入るため、垂直方向に反射する反射光L3 のみを画像(光像)として検出して、前記フィルム1の表面1aのキズ2を検出するものである。
Of the reflected light L2 from the illumination light L1, only the reflected light L3 reflected in the vertical direction with respect to the
1…フィルム
2…キズ
3…検査台
11…照明光源
12…CCDカメラ
O1 …照明光軸
O2 …レンズ光軸
L1 …照明光
L2 …反射光
L3 …垂直反射光
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JP2006181019A JP2008008819A (en) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | Film flaw detection method and film flaw detector |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101551343B (en) * | 2008-03-31 | 2012-11-28 | 富士胶片株式会社 | Method and apparatus for detecting film defect |
-
2006
- 2006-06-30 JP JP2006181019A patent/JP2008008819A/en active Pending
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