JP2008008302A - Energy saving method of multistage system volume transfer type dry vacuum pump - Google Patents

Energy saving method of multistage system volume transfer type dry vacuum pump Download PDF

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Koji Shibayama
浩司 柴山
Yuichi Yamashita
祐一 山下
Mitsuru Yahagi
充 矢作
Takahiko Tajima
孝彦 田島
Junichi Aikawa
純一 相川
Tomonari Tanaka
智成 田中
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an energy saving method of a multistage system volume transfer type dry vacuum pump capable of further reducing electric power consumption more than a conventional dry vacuum pump for reducing the volume of an exhaust space of a rear stage. <P>SOLUTION: For example, a check valve 28 with the atmospheric direction as the forward direction is arranged in a main exhaust pipe 25 connected to the exhaust space 24 of the final stage of a multistage system root type dry vacuum pump 21. An auxiliary pump 30 having an exhaust speed smaller than the dry vacuum pump 21, is arranged in parallel to the check valve 28 in a sub-exhaust pipe 27 connected to the exhaust space 24, and is driven together with the dry vacuum pump 21. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、多段式容積移送型ドライ真空ポンプの消費電力を低減する省エネ方法に関する。   The present invention relates to an energy saving method for reducing power consumption of a multistage positive displacement vacuum pump.

図６は従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を示すものであるが、図において本体２内にはモータ３の回転軸によって回転駆動されるロータ５、６、７、８、９、１０が図７及び図８で示すように一対で成るが、これらが相反する方向に駆動される。最終段のロータ１０が排気する最終段の排気空間には、サイレンサ１２を備えた排気配管１１が接続されており、この排気配管１１の大気側端部には逆止弁１３に設けられている。公知のように、各ロータ１乃至１０の各対が相反する方向に回転することにより、吸気口４に接続される不図示の真空室を排気し、排気ガスは排気配管１１を通り逆止弁１３を開弁させて大気に吐出される。ロータは前段から後段に向かうにつれて容積を小さくし、また後段の２つのロータ９、１０は図７に示すように五葉とされている。このような後段のロータを小さくすることにより、この多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１の消費電力を小としている。すなわち、後段側では必要な排気容量が前段より小さくなっているので、排気容量に合わせてロータを小さくして消費電力を小さくしている。   FIG. 6 shows a conventional multi-stage roots type dry vacuum pump 1, in which a rotor 5, 6, 7, 8, 9, 10 and 10 are paired as shown in FIGS. 7 and 8, but they are driven in opposite directions. An exhaust pipe 11 provided with a silencer 12 is connected to the final stage exhaust space from which the final stage rotor 10 exhausts, and a check valve 13 is provided at an end of the exhaust pipe 11 on the atmosphere side. . As is well known, each pair of the rotors 1 to 10 rotates in a direction opposite to each other, thereby exhausting a vacuum chamber (not shown) connected to the intake port 4. The exhaust gas passes through the exhaust pipe 11 and the check valve. 13 is opened and discharged to the atmosphere. The rotor has a smaller volume as it goes from the front stage to the rear stage, and the two rotors 9 and 10 in the rear stage have five leaves as shown in FIG. The power consumption of the multi-stage root-type dry vacuum pump 1 is reduced by reducing the size of the rotor at the subsequent stage. That is, since the required exhaust capacity is smaller on the rear stage side than on the front stage, the rotor is made smaller in accordance with the exhaust capacity to reduce the power consumption.

これにつき更に説明すれば、図９に示すように各ロータが同じ大きさであれば、図１２に示すように吸入圧力に対し排気速度は曲線ａのように変化するが、図１０に示すように前段の２つのロータは同じ大きさとし、中間段の２つをこれより小さく、後段の２つを更に小さくすれば、吸入圧力と排気速度との関係は曲線ｂのように変化する。更に図１１で示すように、後段の２つのロータを一層小さくすれば、図１２において曲線ｃで示すように排気速度は変化する。図１３はこれら図９、１０及び図１１の場合の吸入圧力に対する消費電力を示しているが、ｃ′、ｂ′、ａ′で示すように、消費電力は図１１の場合が最も小さく、次いで図１０が続き、図９が最も大きい（例えば特許文献１を参照）。   Further explaining this, if the rotors have the same size as shown in FIG. 9, the exhaust speed changes with respect to the suction pressure as shown in the curve a as shown in FIG. 12, but as shown in FIG. If the two rotors at the front stage are the same size, two at the middle stage are smaller than this, and two at the rear stage are further reduced, the relationship between the suction pressure and the exhaust speed changes as shown by a curve b. Further, as shown in FIG. 11, if the two subsequent rotors are further reduced, the exhaust speed changes as shown by the curve c in FIG. FIG. 13 shows the power consumption with respect to the suction pressure in the cases of FIGS. 9, 10 and 11. As shown by c ′, b ′ and a ′, the power consumption is the smallest in FIG. FIG. 10 continues, and FIG. 9 is the largest (see, for example, Patent Document 1).

以上のようにして消費電力を小さくし、省エネが行われるのであるが、消費電力を小さくする別の方式としては、モータ３を排気容量に応じて制御することにより消費電力を小さくすることも考えられている。   As described above, the power consumption is reduced and energy saving is performed. However, as another method for reducing the power consumption, it can be considered to reduce the power consumption by controlling the motor 3 according to the exhaust capacity. It has been.

特開平８−２５４１９３号公報JP-A-8-254193

本発明は上述のような方法で得られる省エネ効果にとどまらず、より一層消費電力を低減することのできる多段式容積移送型ドライ真空ポンプの省エネ方法を提供することを課題とする。   This invention makes it a subject to provide the energy-saving method of the multistage type volume transfer type dry vacuum pump which can reduce power consumption further not only in the energy-saving effect obtained by the above methods.

以上の課題は、多段式容積移送型ドライ真空ポンプの最終段のロータが排気する最後段の排気空間に接続された主排気配管に大気への方向を順方向とする逆止弁を設け、大気圧に近い中間段の排気空間または最後段の排気空間のいずれかに連なる副排気管に、多段式容積移送型ドライ真空ポンプよりも排気速度が小さく、多段式容積移送型ドライ真空ポンプと共に運転される補助ポンプを逆止弁に対して並列に設け、排気空間を減圧にすることにより多段式容積移送型ドライ真空ポンプの消費電力を低減するようにしたことを特徴とする省エネ方法によって解決される。   The above problem is that the main exhaust pipe connected to the last exhaust space exhausted by the last stage rotor of the multistage positive displacement dry vacuum pump is provided with a check valve whose forward direction is the atmosphere. The sub-exhaust pipe connected to either the middle stage exhaust space or the last stage exhaust space close to the atmospheric pressure has a lower exhaust speed than the multi-stage type volume transfer type dry vacuum pump, and is operated together with the multi-stage type volume transfer type dry vacuum pump. This is solved by an energy-saving method characterized in that the auxiliary pump is provided in parallel with the check valve and the exhaust space is decompressed to reduce the power consumption of the multistage positive displacement dry vacuum pump. .

本発明の多段式容積移送型ドライ真空ポンプの消費電力を低減する省エネ方法によれば、従来よりも大幅な省エネ効果を得ることができる。   According to the energy saving method for reducing the power consumption of the multistage volumetric transfer type vacuum pump of the present invention, it is possible to obtain a significant energy saving effect as compared with the prior art.

以下、本発明の実施の形態について図１〜図５を参照して説明する。なお、これらの図においては、従来例でその構造を明示したのでロータ等は簡略化して示す。すなわち、図１に示す第１の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０の本体２１内には、モータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6（例えば図８で示す形状とする）が設けられている。また本体２１の左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第１の実施の形態によれば、最後段の排気空間２４に接続された副排気管２７にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０が逆止弁２８と並列するように設けられている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. In these figures, since the structure is clearly shown in the conventional example, the rotor and the like are shown in a simplified manner. That is, in the first embodiment shown in FIG. 1, a pair of rotors R 1 , R 2 , R 3 , which are driven to rotate by a motor 22, are provided in a main body 21 of a multi-stage roots type dry vacuum pump 20. R 4 , R 5 and R 6 (for example, the shape shown in FIG. 8) are provided. An intake port 23 is provided in the upper left wall portion of the main body 21, and the final exhaust space 24 exhausted by the final rotor R 6 is a main exhaust pipe 25 having a silencer 26 and a check valve 28. Is connected. The check valve 28 has a forward direction toward the atmosphere. According to the first embodiment of the present invention, the auxiliary pump 30 formed of a diaphragm pump is provided in parallel with the check valve 28 in the auxiliary exhaust pipe 27 connected to the exhaust space 24 at the last stage. .

本発明の第１の実施の形態である多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1 乃至Ｒ6により、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸気口２３に接続された不図示の真空室は排気される。最後段の排気空間２４の圧力は大気圧に最も近いのであるが、本発明によれば排気空間２４の圧力は補助ポンプ３０の駆動により減圧され、最終段のロータＲ6による排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。例えば、定格消費電力３．７ｋＷのドライ真空ポンプ２０であれば、補助ポンプ３０の排気速度はこのドライ真空ポンプ２０の１％以下でも充分に上述の省エネを行うことができる。もっともドライ真空ポンプ２０の使用条件によって異なり、例えばパージガスの流量やプロセスガスの流量によって上述の範囲内で変更される。なお、ドライ真空ポンプ２０の排気速度が１０００Ｌ／ｍｉｎ（６０ｍ3／ｈｒ）であるとすると、補助ポンプ３０の排気量は１０乃至２０Ｌ／ｍｉｎですむ。この程度のダイアフラムポンプの定格電力は１００Ｗ程度である。図６の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を用いた場合には、定格消費電力は１．４乃至１．５ｋＷ程度まで小さくできるが、補助ポンプ３０を設けた本実施の形態である多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０では、消費電力を約５００Ｗにまで低下させることができた。 The multi-stage roots type dry vacuum pump 20 according to the first embodiment of the present invention is configured as described above. Next, this operation will be described. When the motor 22 is driven, as described above, the rotors R 1 to R 6 transfer the fluid of the pressure of the exhaust space that each of the rotors R 1 to R 6 has to the downstream side. Therefore, a vacuum chamber (not shown) connected to the intake port 23 is exhausted. Although the pressure in the last exhaust space 24 is closest to the atmospheric pressure, according to the present invention, the pressure in the exhaust space 24 is reduced by driving the auxiliary pump 30, and the burden of exhaust action by the last rotor R 6 is reduced. It is greatly reduced. That is, the power consumption of the motor 22 can be significantly reduced as compared with the conventional case. For example, in the case of the dry vacuum pump 20 with a rated power consumption of 3.7 kW, the above-described energy saving can be sufficiently performed even if the exhaust speed of the auxiliary pump 30 is 1% or less of the dry vacuum pump 20. However, it varies depending on the use conditions of the dry vacuum pump 20, and is changed within the above-mentioned range depending on, for example, the flow rate of the purge gas or the flow rate of the process gas. When the exhaust speed of the dry vacuum pump 20 is 1000 L / min (60 m 3 / hr), the exhaust amount of the auxiliary pump 30 can be 10 to 20 L / min. The rated power of the diaphragm pump of this level is about 100W. When the multi-stage roots type dry vacuum pump 1 of FIG. 6 is used, the rated power consumption can be reduced to about 1.4 to 1.5 kW, but the multi-stage type according to the present embodiment provided with the auxiliary pump 30 is used. With the roots type dry vacuum pump 20, the power consumption could be reduced to about 500W.

図２は本発明の第２の実施の形態の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０′を示すものであるが、第１の実施の形態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。   FIG. 2 shows a multi-stage roots-type dry vacuum pump 20 'according to a second embodiment of the present invention. The parts corresponding to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and Detailed description is omitted.

すなわち本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様に最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されて大気へと連なる。更に、サイレンサ２６および逆止弁２８のバイパスとなるように主排気配管２５に副排気配管２７が接続され、補助ポンプ３０が逆止弁２８と並列に設けられる。この補助ポンプ３０の吐出口は配管４１を介して逆止弁２８の大気側に接続される。この実施の形態においては、補助ポンプ３０は主排気配管２５の逆止弁２８に並列して設けられているので、大容量のガスを排気する時は主排気配管２５に流れ、補助ポンプ３０が故障してもドライ真空ポンプ２０の性能は維持される。また、第１の実施の形態と同様な省エネ効果が得られることは明らかである。   That is, according to the present embodiment, as in the first embodiment, the exhaust gas space 24 at the last stage is connected to the main exhaust pipe 25 having the silencer 26 and the check valve 28 connected to the atmosphere. Further, a sub exhaust pipe 27 is connected to the main exhaust pipe 25 so as to bypass the silencer 26 and the check valve 28, and an auxiliary pump 30 is provided in parallel with the check valve 28. The discharge port of the auxiliary pump 30 is connected to the atmosphere side of the check valve 28 via a pipe 41. In this embodiment, since the auxiliary pump 30 is provided in parallel with the check valve 28 of the main exhaust pipe 25, when exhausting a large volume of gas, the auxiliary pump 30 flows into the main exhaust pipe 25, and the auxiliary pump 30 is Even if a failure occurs, the performance of the dry vacuum pump 20 is maintained. Further, it is obvious that the same energy saving effect as that of the first embodiment can be obtained.

図３は本発明の第３の実施の形態の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０′を示すものであるが、上記実施の形態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。すなわち、本実施の形態によれば、逆止弁２８のバイパスとなるように主排気配管２５に副排気配管２７が接続され、補助ポンプ３０は逆止弁２８に並列に設けられる。排気空間２４には、主排気配管２５を介して逆止弁２８および補助ポンプ３０が並列に接続されているので、上記実施の形態と同様な効果を奏することは明らかである。   FIG. 3 shows a multi-stage roots type dry vacuum pump 20 'according to a third embodiment of the present invention. The parts corresponding to those of the above-mentioned embodiment are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted. Description is omitted. That is, according to the present embodiment, the sub exhaust pipe 27 is connected to the main exhaust pipe 25 so as to bypass the check valve 28, and the auxiliary pump 30 is provided in parallel to the check valve 28. Since the check valve 28 and the auxiliary pump 30 are connected in parallel to the exhaust space 24 via the main exhaust pipe 25, it is obvious that the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.

図４に示す第４の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ａの本体２１Ａ内にはモータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2 、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6が設けられている。また本体２１Ａの左端上壁部には吸気口２３が設けられており、最終段のロータＲ6 が排気する最後段の空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第４の実施の形態によれば、中間段の排気空間２４′に接続された副排気管２７′にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０′が逆止弁２８と並列するように設けられている。すなわち本体２１Ａには主排気配管２５とは別に副排気配管２７′が接続されている。なお、更に上流側の排気空間２４″に対応して副排気管２７″を接続するようにしてもよい。 In the fourth embodiment shown in FIG. 4, a pair of rotors R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , which are rotated by a motor 22 in a main body 21A of a multistage roots type dry vacuum pump 20A, respectively. R 5 and R 6 are provided. Also at the left upper wall portion of the main body 21A is provided with air inlet 23, the space 24 of the last stage rotor R 6 in the final stage to exhaust, main exhaust pipe 25 provided with a silencer 26 and a check valve 28 It is connected. The check valve 28 has a forward direction toward the atmosphere. According to the fourth embodiment of the present invention, the auxiliary pump 30 'formed of a diaphragm pump is provided in parallel with the check valve 28 in the auxiliary exhaust pipe 27' connected to the intermediate exhaust space 24 '. It has been. That is, a sub exhaust pipe 27 ′ is connected to the main body 21 </ b> A separately from the main exhaust pipe 25. Further, a sub exhaust pipe 27 "may be connected corresponding to the upstream exhaust space 24".

本発明の第４の実施の形態は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6により、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へ移送する。よって、吸気口２３に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２４′の圧力は大気圧に近いのであるが、本発明の実施の形態でも補助ポンプ３０′の駆動により、減圧に排気される。よって、中間段のロータＲ5以降の排気作用の負担は軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。 The fourth embodiment of the present invention is configured as described above. Next, this operation will be described. When the motor 22 is driven, the fluid of the pressure in the exhaust space that each of the rotors R 1 to R 6 has is transferred to the downstream side as described above. Therefore, the vacuum chamber connected to the intake port 23 is exhausted. The pressure in the intermediate stage exhaust space 24 'is close to atmospheric pressure, but in the embodiment of the present invention, it is exhausted to a reduced pressure by driving the auxiliary pump 30'. Therefore, the burden of the exhaust action after the intermediate stage rotor R 5 is reduced. That is, the power consumption of the motor 22 can be significantly reduced as compared with the prior art.

図５に示す第５の実施の形態では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ｂの本体２１Ｂ内にはモータ２２により回転駆動されるそれぞれ一対のロータＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6が設けられている。また本体２１Ｂの左端上壁部には吸込口２３が設けられており、最終段のロータＲ6が排気する最後段の排気空間２４は、サイレンサ２６および逆止弁２８を備えた主排気配管２５が接続されている。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして本発明の第５の実施の形態によれば、中間段の排気空間２４′に接続された副排気管２７′にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０′が逆止弁２８と並列するように設けられている。すなわち本体２１Ｂには主排気配管２５とは別に副排気配管２７′が接続されている。 In the fifth embodiment shown in FIG. 5, a pair of rotors R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , which are rotated by a motor 22 in a main body 21B of a multistage roots type dry vacuum pump 20B, respectively. R 5 and R 6 are provided. A suction port 23 is provided in the upper left wall portion of the main body 21B, and the final exhaust space 24 exhausted by the final rotor R 6 is a main exhaust pipe 25 including a silencer 26 and a check valve 28. Is connected. The check valve 28 has a forward direction toward the atmosphere. According to the fifth embodiment of the present invention, the auxiliary pump 30 'formed of a diaphragm pump is provided in parallel with the check valve 28 in the sub exhaust pipe 27' connected to the intermediate exhaust space 24 '. It has been. That is, a sub exhaust pipe 27 ′ is connected to the main body 21 B separately from the main exhaust pipe 25.

本発明の第５の実施の形態は以上のように構成されるのであるが、次にこの作用について説明する。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータＲ1乃至Ｒ6は、それぞれが受け持つ排気空間の圧力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸気口２３に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２４′の圧力は上流側より大気圧に近いのであるが、本発明の第５の実施の形態によれば補助ポンプ３０′の駆動により減圧される。よって、中間段のロータＲ4以降の排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力を従来よりも大幅に小とすることができる。 The fifth embodiment of the present invention is configured as described above. Next, this operation will be described. When the motor 22 is driven, as described above, each of the rotors R 1 to R 6 transfers the fluid of the pressure of the exhaust space that each of the rotors R 1 to R 6 has to the downstream side. Therefore, the vacuum chamber connected to the intake port 23 is exhausted. The pressure in the intermediate stage exhaust space 24 'is closer to the atmospheric pressure than the upstream side, but according to the fifth embodiment of the present invention, the pressure is reduced by driving the auxiliary pump 30'. Therefore, the burden of exhaust action after the intermediate stage rotor R 4 is greatly reduced. That is, the power consumption of the motor 22 can be significantly reduced as compared with the conventional case.

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。   As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, of course, this invention is not limited to these, A various deformation | transformation is possible based on the technical idea of this invention.

例えば以上の実施の形態では、それぞれ対をなすロータＲ1乃至Ｒ6は全て同型同大としたが、これに代えて図６及び図１０、１１に示すように前段から後段に向かうにつれてロータの容積を小さくしてもよい。この場合には、以上の実施の形態よりも更に消費電力を小さくできることは明らかである。また、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプに限らず、容積移送型のドライ真空ポンプ、例えばスクリュー型やクロー型でも同様の効果が得られる。 For example, in the above embodiment, the rotors R 1 to R 6 that make a pair are all the same type and size, but instead of this, as shown in FIGS. The volume may be reduced. In this case, it is clear that the power consumption can be further reduced as compared with the above embodiment. The same effect can be obtained not only with a multi-stage roots type dry vacuum pump but also with a volume transfer type dry vacuum pump such as a screw type or a claw type.

更にまた、以上の実施の形態では、補助ポンプとしてダイアフラムポンプを説明したが、これに限ることなく他のドライポンプ、例えばベーンポンプ、ピストンポンプ、スクロールポンプ等を用いてもよい。   Furthermore, in the above embodiment, the diaphragm pump has been described as the auxiliary pump. However, the present invention is not limited to this, and other dry pumps such as a vane pump, a piston pump, and a scroll pump may be used.

また以上の実施の形態では、補助ポンプ３０、３０′は本体２１、２１′、２１Ａ、２１Ｂの周壁に形成した排気孔に配管を介して接続されたが、配管を介することなく、単に排気孔のみ形成し、本体内部に補助ポンプ機構を設けるようにしてもよい。   In the above embodiment, the auxiliary pumps 30 and 30 'are connected to the exhaust holes formed in the peripheral walls of the main bodies 21, 21', 21A, and 21B via the pipes. Only an auxiliary pump mechanism may be provided inside the main body.

本発明の第１の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram showing a multistage roots-type dry vacuum pump and related parts according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第２の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the multistage roots type dry vacuum pump by the 2nd Embodiment of this invention, and its relevant part. 本発明の第３の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the multistage roots type dry vacuum pump by the 3rd Embodiment of this invention, and its relevant part. 本発明の第４の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the multistage type roots type dry vacuum pump by the 4th Embodiment of this invention, and its relevant part. 本発明の第５の実施の形態による多段式ルーツ型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the multistage roots type dry vacuum pump by the 5th Embodiment of this invention, and its relevant part. 従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの部分破断側面図である。It is a partially broken side view of a conventional multi-stage roots type dry vacuum pump. 図６における［７］−［７］線方向断面図である。It is a [7]-[7] line direction sectional view in Drawing 6. 図６における［８］−［８］線方向断面図である。It is a [8]-[8] line direction sectional view in Drawing 6. 多段のロータの大きさが等しい場合を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the case where the magnitude | size of a multistage rotor is equal. 前段、中段、後段とでロータの大きさを変えた場合の模式図である。It is a schematic diagram at the time of changing the magnitude | size of a rotor in a front | former stage, a middle stage, and a back | latter stage. 前段、中段及び後段において図１０に比べ更に後段の２つのロータを小さくした場合を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram showing a case where two rotors at the rear stage are further reduced in the front stage, the middle stage, and the rear stage compared to FIG. 10. 図９、図１０及び図１１のロータを用いた場合の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの吸入圧力と排気速度との関係を示す特性図である。FIG. 12 is a characteristic diagram showing a relationship between suction pressure and exhaust speed of a multi-stage roots type dry vacuum pump when the rotor of FIGS. 9, 10 and 11 is used. 同吸入圧力と消費電力との関係を示すチャートである。It is a chart which shows the relationship between the suction pressure and power consumption.

符号の説明Explanation of symbols

２０、２０′、２０″、２０Ａ、２０Ｂ・・・ドライ真空ポンプ
２２・・・モータ
２４・・・最後段の排気空間
２４′、２４″・・・中間段の排気空間
２５・・・主排気配管
２７、２７′・・・副排気配管
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6・・・ロータ
３０、３０′・・・補助ポンプ 20, 20 ', 20 ", 20A, 20B ... dry vacuum pump 22 ... motor 24 ... last exhaust space 24', 24" ... intermediate exhaust space 25 ... main exhaust pipes 27, 27 '... secondary exhaust pipe R 1, R 2, R 3 , R 4, R 5, R 6 ··· rotor 30, 30' ... auxiliary pump

Claims (1)

多段式容積移送型ドライ真空ポンプの最終段のロータが排気する最後段の排気空間に接続された主排気配管に大気への方向を順方向とする逆止弁を設け、大気圧に近い中間段の排気空間または前記最後段の排気空間のいずれかに連なる副排気管に、前記ドライ真空ポンプよりも排気速度が小さく、前記ドライ真空ポンプと共に運転される補助ポンプを前記逆止弁に対して並列に設け、前記排気空間を減圧にすることにより前記ドライ真空ポンプの消費電力を低減するようにしたことを特徴とする多段式容積移送型ドライ真空ポンプの省エネ方法。   An intermediate stage close to atmospheric pressure is provided with a check valve in the main exhaust pipe connected to the exhaust space of the last stage exhausted by the last stage rotor of the multistage positive displacement vacuum pump. A sub-exhaust pipe connected to either the exhaust space or the last-stage exhaust space is provided with an auxiliary pump having a lower exhaust speed than the dry vacuum pump and operated together with the dry vacuum pump in parallel with the check valve. An energy saving method for a multistage positive displacement dry vacuum pump, characterized in that the power consumption of the dry vacuum pump is reduced by reducing the pressure of the exhaust space.
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