JP2008004892A - ロードロック室および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の受け渡し位置のより広い範囲の変動に対応するロードロック室およびこのロードロック室を備えた露光装置を提供する。
【解決手段】 第1の雰囲気と第2の雰囲気との間に配置され密閉空間を形成する筐体と、前記筐体内を排気する排気手段と、前記筐体に形成され前記第1の雰囲気に開口する第1の開口部と、前記第1の開口部を開閉する第1のゲートバルブと、前記筐体に形成され前記第2の雰囲気に開口する第2の開口部と、前記第2の開口部を開閉する第2のゲートバルブとを備え、前記第1の開口部を、複数の方向に向けて開口するように水平方向に延設してなる。
【選択図】 図1
【解決手段】 第1の雰囲気と第2の雰囲気との間に配置され密閉空間を形成する筐体と、前記筐体内を排気する排気手段と、前記筐体に形成され前記第1の雰囲気に開口する第1の開口部と、前記第1の開口部を開閉する第1のゲートバルブと、前記筐体に形成され前記第2の雰囲気に開口する第2の開口部と、前記第2の開口部を開閉する第2のゲートバルブとを備え、前記第1の開口部を、複数の方向に向けて開口するように水平方向に延設してなる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば大気雰囲気と真空雰囲気との間に配置されるロードロック室およびこのロードロック室を備えた露光装置に関する。
EUV露光装置、電子ビーム露光装置のように真空雰囲気下で露光を行う装置においては、大気ロボットアームと露光装置本体との間に、ロードロック室と呼ばれる室やロードチャンバが設けられている。ロードロック室には真空ポンプが付設されており、室内を真空に引くことができる。ロードロック室では、コータデベロッパ等の前処理装置からのウェハを大気ロボットアームを介して常圧下で受け取り、室内を真空に引いた後、これらを露光装置内に移動する。
特開2001−102281号公報
しかしながら、従来のロードロック室では、前処理装置からの基板の受け渡し位置が一方向に制限されているため、前処理装置からの基板の受け渡し位置が比較的大きく異なる毎に、ロードロック室および大気ロボットアームの設計を行う必要があるという問題があった。
本発明はかかる従来の問題を解決するためになされたもので、基板の受け渡し位置のより広い範囲の変動に対応することができるロードロック室および露光装置を提供することを目的とする。
本発明はかかる従来の問題を解決するためになされたもので、基板の受け渡し位置のより広い範囲の変動に対応することができるロードロック室および露光装置を提供することを目的とする。
第1の発明のロードロック室は、第1の雰囲気と第2の雰囲気との間に配置され密閉空間を形成する筐体と、前記筐体内を排気する排気手段と、前記筐体に形成され前記第1の雰囲気に開口する第1の開口部と、前記第1の開口部を開閉する第1のゲートバルブと、前記筐体に形成され前記第2の雰囲気に開口する第2の開口部と、前記第2の開口部を開閉する第2のゲートバルブとを備え、前記第1の開口部を、複数の方向に向けて開口するように水平方向に延設してなることを特徴とする。
第2の発明のロードロック室は、第1の発明のロードロック室において、前記第1の開口部は、前記筐体の凸曲面部に沿って形成されていることを特徴とする。
第3の発明のロードロック室は、第2の発明のロードロック室において、前記凸曲面部は、円弧状をしていることを特徴とする。
第4の発明のロードロック室は、第1ないし第3のいずれか1の発明のロードロック室において、前記第1のゲートバルブは、前記第1の開口部に沿って上下方向に移動可能とされていることを特徴とする。
第3の発明のロードロック室は、第2の発明のロードロック室において、前記凸曲面部は、円弧状をしていることを特徴とする。
第4の発明のロードロック室は、第1ないし第3のいずれか1の発明のロードロック室において、前記第1のゲートバルブは、前記第1の開口部に沿って上下方向に移動可能とされていることを特徴とする。
第5の発明のロードロック室は、第1ないし第4のいずれか1の発明のロードロック室において、前記第1の雰囲気は大気雰囲気であり、前記第2の雰囲気は真空雰囲気であることを特徴とする。
第6の発明の露光装置は、第1ないし第5のいずれか1の発明のロードロック室を有することを特徴とする。
第6の発明の露光装置は、第1ないし第5のいずれか1の発明のロードロック室を有することを特徴とする。
本発明では、基板の受け渡し位置のより広い範囲の変動に対応することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明のロードロック室の一実施形態を備えたEUV露光装置を模式的に示す平面図である。
この露光装置では、ウエハステージチャンバ11にはゲートバルブ13を介してロードチャンバ15が連通されている。ロードチャンバ15内には真空ロボット17が配置されている。ロードチャンバ15には、ゲートバルブ19を介してウエハプリアライメントチャンバ21が連通されている。また、ロードチャンバ15には第2のゲートバルブ23を介してロードロック室25が連通されている。ロードロック室25の入口は第1のゲートバルブ27を介して大気中に開放されている。
図1は、本発明のロードロック室の一実施形態を備えたEUV露光装置を模式的に示す平面図である。
この露光装置では、ウエハステージチャンバ11にはゲートバルブ13を介してロードチャンバ15が連通されている。ロードチャンバ15内には真空ロボット17が配置されている。ロードチャンバ15には、ゲートバルブ19を介してウエハプリアライメントチャンバ21が連通されている。また、ロードチャンバ15には第2のゲートバルブ23を介してロードロック室25が連通されている。ロードロック室25の入口は第1のゲートバルブ27を介して大気中に開放されている。
ウエハステージチャンバ11、ロードチャンバ15、ウエハプリアライメントチャンバ21内は、真空ポンプ(不図示)により真空引き可能とされている。また、ロードロック室25内は、真空ポンプ29により真空引き可能とされている。
ロードロック室25の第1のゲートバルブ27の外側には、大気ロボットアーム31が配置されている。大気ロボットアーム31の外側には、ウエハプリアライナ33が配置されている。ウエハプリアライナ33の外側には、例えばコータデベロッパからなる前処理装置35が配置されている。この実施形態ではウエハプリアライナ33は、前処理装置35からのウエハWの受け渡し場所とされている。
ロードロック室25の第1のゲートバルブ27の外側には、大気ロボットアーム31が配置されている。大気ロボットアーム31の外側には、ウエハプリアライナ33が配置されている。ウエハプリアライナ33の外側には、例えばコータデベロッパからなる前処理装置35が配置されている。この実施形態ではウエハプリアライナ33は、前処理装置35からのウエハWの受け渡し場所とされている。
図2は、ロードロック室25の詳細を示している。
ロードロック室25は、密閉空間を形成する筐体37を有している。筐体37は略円筒状とされ、上面部37aおよび底面部37bにより密閉されている。筐体37は、図1に示すように、第2のゲートバルブ23側に扁平部37cを有し、第1のゲートバルブ27側に凸曲面部37dを有している。凸曲面部37dは略半円の円弧状とされている。筐体37の扁平部37cには、第2のゲートバルブ23が配置され、第2のゲートバルブ23により開閉される第2の開口部(不図示)が形成されている。
ロードロック室25は、密閉空間を形成する筐体37を有している。筐体37は略円筒状とされ、上面部37aおよび底面部37bにより密閉されている。筐体37は、図1に示すように、第2のゲートバルブ23側に扁平部37cを有し、第1のゲートバルブ27側に凸曲面部37dを有している。凸曲面部37dは略半円の円弧状とされている。筐体37の扁平部37cには、第2のゲートバルブ23が配置され、第2のゲートバルブ23により開閉される第2の開口部(不図示)が形成されている。
筐体37の凸曲面部37dには、図2に示すように、第1のゲートバルブ27により開閉される第1の開口部37eが形成されている。第1の開口部37eは、複数の方向に向けて開口するように水平方向に延設されている。第1の開口部37eは、筐体37の凸曲面部37dに沿って、凸曲面部37dの略全長に亘って形成されている。
筐体37の凸曲面部37dには、第1の開口部37eを開閉する第1のゲートバルブ27が配置されている。第1のゲートバルブ27は、凸曲面部37dの形状に対応して略半円状に形成されている。第1のゲートバルブ27の裏側には、図3に示すように、シール部材39が配置されている。シール部材39は、第1のゲートバルブ27の外周に沿って配置されている。
筐体37の凸曲面部37dには、第1の開口部37eを開閉する第1のゲートバルブ27が配置されている。第1のゲートバルブ27は、凸曲面部37dの形状に対応して略半円状に形成されている。第1のゲートバルブ27の裏側には、図3に示すように、シール部材39が配置されている。シール部材39は、第1のゲートバルブ27の外周に沿って配置されている。
第1のゲートバルブ27は、凸曲面部37dに沿って上下方向に移動可能とされている。第1のゲートバルブ27の下側には、第1のゲートバルブ27を駆動する駆動装置41が配置されている。駆動装置41は、水平方向に間隔を置いて配置される一対の駆動シリンダ43を有している。駆動シリンダ43はエアシリンダあるいは油圧シリンダからなり、筐体37の凸曲面部37dに固定部材45を介して固定されている。そして、駆動シリンダ43のピストンロッド47の上端が第1のゲートバルブ27の下側に連結されている。
図2に示した状態から駆動シリンダ43を作動して、ピストンロッド47を上方に移動すると、第1のゲートバルブ27が凸曲面部37dに沿って上方に移動し、図4に示すように、第1の開口部37eが第1のゲートバルブ27により密閉される。また、図4に示した状態から駆動シリンダ43を作動して、ピストンロッド47を下方に移動すると、第1のゲートバルブ27が凸曲面部37dに沿って下方に移動し、図2に示すように、第1の開口部37eが開放される。
上述した露光装置では、ウエハステージチャンバ11内へのウエハWの搬送が以下述べるようにして行われる。
先ず、前処理装置35で前処理されたウエハWを前処理装置35の搬送手段(不図示)によりウエハプリアライナ33に搬送する。このウエハプリアライナ33では、検出器(不図示)によりウエハWの位置合わせ用マーク(ノッチ)が検出されウエハWの位置合わせが行われる。アライメント終了後、大気ロボットアーム31によりウエハWを取り出す。そして、ロードロック室25の第1のゲートバルブ27を開け大気ロボットアーム31によりウエハWをロードロック室25内に搬送する。この後、第1のゲートバルブ27を閉め、ロードロック室25内が目的の真空度に達するまで真空ポンプ29による真空引きを行う。
先ず、前処理装置35で前処理されたウエハWを前処理装置35の搬送手段(不図示)によりウエハプリアライナ33に搬送する。このウエハプリアライナ33では、検出器(不図示)によりウエハWの位置合わせ用マーク(ノッチ)が検出されウエハWの位置合わせが行われる。アライメント終了後、大気ロボットアーム31によりウエハWを取り出す。そして、ロードロック室25の第1のゲートバルブ27を開け大気ロボットアーム31によりウエハWをロードロック室25内に搬送する。この後、第1のゲートバルブ27を閉め、ロードロック室25内が目的の真空度に達するまで真空ポンプ29による真空引きを行う。
ロードロック室25内が所定の真空度に達すると、ロードロック室25とロードチャンバ15間の第2のゲートバルブ23が開かれる。そして、ロードチャンバ15に備えられた真空ロボット17によって、ロードロック室25からウエハWが取り出され、一旦ロードチャンバ15内に搬送された後、第2のゲートバルブ23が閉められる。この後、ロードチャンバ15とウエハプリアライメントチャンバ21間のゲートバルブ19を開き、ウエハWが真空ロボット17によってロードチャンバ15からウエハプリアライメントチャンバ21に搬送される。搬送後にゲートバルブ19が閉じられる。ウエハプリアライメントチャンバ21では、検出器(不図示)によりウエハWの位置合わせ用マーク(ノッチ)が検出されウエハWの位置合わせが行われる。
ウエハWの位置合わせが終了するとゲートバルブ19が開かれ、ウエハWが真空ロボット17により一旦ロードチャンバ15内に搬送された後、ゲートバルブ19が閉められる。この後、ロードチャンバ15とウエハステージチャンバ11間のゲートバルブ13を開き、ウエハWが真空ロボット17によってロードチャンバ15からウエハステージチャンバ11へ搬送される。ウエハステージチャンバ11内のウエハステージ49にはウエハホルダ51が備えられており、ウエハWがウエハホルダ51に固定される。なお、図中の白抜き矢印は、真空ロボット17の移動経路を示す。
上述したロードロック室25では、筐体37に形成される第1の開口部37eを、複数の方向に向けて開口するように水平方向に延設したので、前処理装置35からのウエハWの受け渡し位置のより広い範囲の変動に対応することができる。
すなわち、図1に示した前処理装置35の位置が、例えば図5に示すように、ロードロック室25に対して反対側になり、前処理装置35からのウエハWの受け渡し位置が大きく異なる場合にも、水平方向に延設される第1の開口部37eの一部(図5の左側端の部分)を用いてウエハWの搬入あるいは搬出が可能になるため、ロードロック室25および大気ロボットアーム31の設計変形を行うことなく対応することができる。
すなわち、図1に示した前処理装置35の位置が、例えば図5に示すように、ロードロック室25に対して反対側になり、前処理装置35からのウエハWの受け渡し位置が大きく異なる場合にも、水平方向に延設される第1の開口部37eの一部(図5の左側端の部分)を用いてウエハWの搬入あるいは搬出が可能になるため、ロードロック室25および大気ロボットアーム31の設計変形を行うことなく対応することができる。
なお、前処理装置35からのウエハWの受け渡し位置が一方向に制限された従来のロードロック室において、大気ロボットアーム31の可動範囲を大きくすることにより、対応範囲を増大することは可能であるが、この場合には、大気ロボットアーム31が高価になり、また、大気ロボットアーム31の駆動時間が長くなりスループットの低下につながる。
(露光装置の実施形態)
図6は、図1の露光装置のEUV光リソグラフィシステムを模式化して示している。なお、この実施形態において上述した実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。
(露光装置の実施形態)
図6は、図1の露光装置のEUV光リソグラフィシステムを模式化して示している。なお、この実施形態において上述した実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。
この実施形態では、露光の照明光としてEUV光が用いられる。EUV光は0.1〜400nmの間の波長を持つもので、この実施形態では特に1〜50nm程度の波長が好ましい。投影像は像光学系システム101を用いたもので、ウエハW上にレチクル102によるパターンの縮小像を形成するものである。
ウエハW上に照射されるパターンは、レチクルステージ104の下側に静電チャック105を介して配置されている反射型のレチクル102により決められる。また、ウエハWはウエハステージ49の上に載せられている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。
ウエハW上に照射されるパターンは、レチクルステージ104の下側に静電チャック105を介して配置されている反射型のレチクル102により決められる。また、ウエハWはウエハステージ49の上に載せられている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。
露光時の照明光として使用するEUV光は大気に対する透過性が低いので、EUV光が通過する光経路は、適当な真空ポンプ107を用いて真空に保たれた真空チャンバ106に囲まれている。またEUV光はレーザプラズマX線源によって生成される。レーザプラズマX線源はレーザ源108(励起光源として作用)とキセノンガス供給装置109からなっている。レーザプラズマX線源は真空チャンバ110によって取り囲まれている。レーザプラズマX線源によって生成されたEUV光は真空チャンバ110の窓111を通過する。
レーザ源108は紫外線以下の波長を持つレーザ光を発生させるものであって、例えば、YAGレーザ、エキシマレーザが使用される。レーザ源108からのレーザ光は集光され、ノズル112から放出されたキセノンガス(キセノンガス供給装置109から供給されている)の流れに照射される。キセノンガスの流れにレーザ光を照射するとレーザ光がキセノンガスを十分に暖め、プラズマを生じさせる。レーザで励起されたキセノンガスの分子が低いエネルギ状態に落ちる時、EUV光の光子が放出される。
放物面ミラー113は、キセノンガス放出部の近傍に配置されている。放物面ミラー113はプラズマによって生成されたEUV光を集光する。放物面ミラー113は集光光学系を構成し、ノズル112からのキセノンガスが放出される位置の近傍に焦点位置がくるように配置されている。EUV光は放物面ミラー113の多層膜で反射し、真空チャンバ110の窓111を通じて集光ミラー114へと達する。集光ミラー114は反射型のレチクル102へとEUV光を集光、反射させる。EUV光は集光ミラー114で反射され、レチクル102の所定の部分を照明する。すなわち、放物面ミラー113と集光ミラー114はこの装置の照明システムを構成する。
レチクル102は、EUV光を反射する多層膜とパターンを形成するための吸収体パターン層を持っている。レチクル102でEUV光が反射されることによりEUV光は「パターン化」される。パターン化されたEUV光は投影システム101を通じてウエハWに達する。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
この実施形態の像光学システム101は、凹面第1ミラー115a、凸面第2ミラー115b、凸面第3ミラー115c、凹面第4ミラー115dの4つの反射ミラーからなっている。各ミラー115a〜115dにはEUV光を反射する多層膜が備えられている。
レチクル102により反射されたEUV光は第1ミラー115aから第4ミラー115dまで順次反射されて、レチクルパターンの縮小(例えば、1/4、1/5、1/6)された像を形成する。像光学系システム101は、像の側(ウエハWの側)でテレセントリックになるようになっている。
レチクル102は可動のレチクルステージ104によって少なくともX−Y平面内で支持されている。ウエハWは、好ましくはX,Y,Z方向に可動なウエハステージ49によって支持されている。ウエハW上のダイを露光するときには、EUV光が照明システムによりレチクル102の所定の領域に照射され、レチクル102とウエハWは像光学系システム101に対して像光学システム101の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハW上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
レチクル102は可動のレチクルステージ104によって少なくともX−Y平面内で支持されている。ウエハWは、好ましくはX,Y,Z方向に可動なウエハステージ49によって支持されている。ウエハW上のダイを露光するときには、EUV光が照明システムによりレチクル102の所定の領域に照射され、レチクル102とウエハWは像光学系システム101に対して像光学システム101の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハW上の所定の露光範囲(ダイに対して)に露光される。
露光の際には、ウエハW上のレジストから生じるガスが像光学システム101のミラー115a〜115dに影響を与えないように、ウエハWはパーティション116の後ろに配置されることが望ましい。パーティション116は開口116aを持っており、それを通じてEUV光がミラー115dからウエハWへと照射される。パーティション116内の空間は真空ポンプ117により真空排気されている。このように、レジストに照射することにより生じるガス状のゴミがミラー115a〜115dあるいはレチクル102に付着するのを防ぐ。それゆえ、これらの光学性能の悪化を防いでいる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
(1)上述した実施形態では、ウェハWの搬送に本発明を適用した例について説明したが、例えばレチクル(マスク)等の基板の搬送に広く適用することができる。
(2)上述した実施形態では、第1の雰囲気を大気雰囲気とし第2の雰囲気を真空雰囲気とした例について説明したが、第1の雰囲気あるいは第2の雰囲気が、例えば、ヘリウム等のガス雰囲気であっても良い。
(2)上述した実施形態では、第1の雰囲気を大気雰囲気とし第2の雰囲気を真空雰囲気とした例について説明したが、第1の雰囲気あるいは第2の雰囲気が、例えば、ヘリウム等のガス雰囲気であっても良い。
(3)上述した実施形態では、第1のゲートバルブ27を駆動する駆動装置41に駆動シリンダ43を用いた例について説明したが、例えば、ラック、ピニオン、モータ等を用いて構成しても良い。
(4)上述した実施形態では、凸曲面部37dを半円状にした例について説明したが、楕円状等にしても良い。
(4)上述した実施形態では、凸曲面部37dを半円状にした例について説明したが、楕円状等にしても良い。
(5)上述した実施形態では、前処理装置35からウエハWの搬入を行う例について説明したが、種々の装置からの搬入に広く適用することができる。
(6)上述した実施形態では、EUV露光装置に本発明を適用した例について説明したが、真空雰囲気内にウェハ,レチクル等の基板を収容して露光を行う露光装置に広く適用することができる。
(6)上述した実施形態では、EUV露光装置に本発明を適用した例について説明したが、真空雰囲気内にウェハ,レチクル等の基板を収容して露光を行う露光装置に広く適用することができる。
11:ウエハステージチャンバ、15:ロードチャンバ、23:第2のゲートバルブ、25:ロードロック室、29:真空ポンプ、27:第1のゲートバルブ、31:大気ロボットアーム、35:前処理装置、37:筐体、37d:凸曲面部、37e:第1の開口部、41:駆動装置。
Claims (6)
- 第1の雰囲気と第2の雰囲気との間に配置され密閉空間を形成する筐体と、
前記筐体内を排気する排気手段と、
前記筐体に形成され前記第1の雰囲気に開口する第1の開口部と、
前記第1の開口部を開閉する第1のゲートバルブと、
前記筐体に形成され前記第2の雰囲気に開口する第2の開口部と、
前記第2の開口部を開閉する第2のゲートバルブとを備え、
前記第1の開口部を、複数の方向に向けて開口するように水平方向に延設してなることを特徴とするロードロック室。 - 請求項1記載のロードロック室において、
前記第1の開口部は、前記筐体の凸曲面部に沿って形成されていることを特徴とするロードロック室。 - 請求項2記載のロードロック室において、
前記凸曲面部は、円弧状をしていることを特徴とするロードロック室。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載のロードロック室において、
前記第1のゲートバルブは、前記第1の開口部に沿って上下方向に移動可能とされていることを特徴とするロードロック室。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか1項記載のロードロック室において、
前記第1の雰囲気は大気雰囲気であり、前記第2の雰囲気は真空雰囲気であることを特徴とするロードロック室。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載のロードロック室を有することを特徴とする露光装置。
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WO2016167339A1 (ja) * | 2015-04-17 | 2016-10-20 | 株式会社ニコン | 露光システム |
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WO2016167339A1 (ja) * | 2015-04-17 | 2016-10-20 | 株式会社ニコン | 露光システム |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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