JP2008002667A - 移動方法および移動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動装置(10)が、案内部(14)を備えた移動装置本体(11)と、該移動装置本体に配置されたボールネジユニット(20)と、該ボールネジユニットを駆動する駆動手段(12)と、前記ボールネジユニットのナット(22)に連結されていて前記ボールネジユニットのネジ(21)に沿って前記案内部に案内されつつ移動する移動体(25)と、該移動体に固定された振動手段(31、32)とを具備する。本発明においては、前記ボールネジユニットによって前記移動体を前記ネジに沿った所望位置に位置決めするときに、前記振動手段を交互に通電して前記振動体を振動させる。前記振動手段(31、32)は圧電素子であるのが好ましい。
【選択図】図1
Description
すなわち2番目の発明においては、比較的簡易かつ安価な構成で振動手段を形成することができる。
すなわち3番目の発明においては、ボールネジユニットを使用することなしに、一方の振動手段の通電のみによって移動体をわずかに移動させられ、それにより、移動体の位置を微調整することができる。
すなわち5番目の発明においては、一方の振動手段の通電のみによって移動体をわずかに移動させられ、それにより、移動体の位置を微調整することができる。
すなわち6番目の発明においては、通電すべき一方の振動体を正確に定めることができる。
図1は本発明に基づく移動装置の長手方向断面図である。図1に示されるように、本発明に基づく移動装置10は、装置本体11の長手方向に配置されたネジ21を含んでいる。図示されるように、ネジ21の一端は軸受17aを介して装置本体11の端部11aに支持されている。ネジ21の他端は他の軸受17bを介して支持されていて装置本体11の他の端部11bから突出している。
11 装置本体
11a、11b 端部
12 アクチュエータ
13 上面
14 支持案内部
15 連結部
16 チャネル
17a、17b 軸受
18a、18b 側壁
20 ボールネジユニット
21 ネジ
22 ナット
25 移動体
26 突出部
26a、26b 側面
31、32 振動体
40 テーブル
41 上面
42 U字形状部分
43 下面
45 凹部
Claims (6)
- 案内部(14)を備えた移動装置本体(11)と、
該移動装置本体(11)に配置されたボールネジユニット(20)と、
該ボールネジユニット(20)を駆動する駆動手段(12)と、
前記ボールネジユニット(20)のナット(22)に連結されていて前記ボールネジユニット(20)のネジ(21)に沿って前記案内部(14)に案内されつつ移動する移動体(25)と、
前記ネジ(21)の軸方向において前記移動体(25)の両側に固定された振動手段(31、32)とを具備し、
前記振動手段(31、32)を交互に通電して前記移動体(25)を振動させた状態で、前記ボールネジユニット(20)によって前記移動体(25)を前記ネジ(21)に沿った所望位置まで移動させるようにした、移動装置。 - 前記振動手段(31、32)は圧電素子である請求項1に記載の移動装置。
- 前記ボールネジユニット(20)を停止させているときに、前記移動体(25)の両側に設けられた前記振動手段(31、32)のうちの一方を通電することによって前記移動体(25)を前記ネジ(21)に沿って一方向に移動させるようにした請求項1または2に記載の移動装置。
- 案内部(14)を備えた移動装置本体(11)と、該移動装置本体(11)に配置されたボールネジユニット(20)と、該ボールネジユニット(20)を駆動する駆動手段(12)と、前記ボールネジユニット(20)のナット(22)に連結されていて前記ボールネジユニット(20)のネジ(21)に沿って前記案内部(14)に案内されつつ移動する移動体(25)と、を具備する移動装置(10)の前記移動体(25)を移動させる移動方法において、
前記ネジ(21)の軸方向において前記移動体(25)の両側に固定された振動手段(31、32)を交互に通電して前記移動体(25)を振動させ、
前記ボールネジユニット(20)によって前記移動体(25)を前記ネジ(21)に沿った所望位置まで移動させる、移動方法。 - さらに、前記振動手段(31、32)のうちの一方を通電し、それにより、前記移動体(25)を前記ネジ(21)に沿って一方向に移動させるようにした、請求項4に記載の移動方法。
- 通電される前記振動手段(31、32)のうちの一方は、前記移動体の初期位置および前記所望位置の間の距離と前記移動体の実際の移動距離との間の差の正負符号に基づいて定められる請求項5に記載の移動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006175612A JP2008002667A (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | 移動方法および移動装置 |
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JP2006175612A JP2008002667A (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | 移動方法および移動装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008002667A true JP2008002667A (ja) | 2008-01-10 |
Family
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JP2006175612A Pending JP2008002667A (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | 移動方法および移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008002667A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011169254A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Aisin Seiki Co Ltd | 回転駆動装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63140160A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 微小位置決め装置 |
JPH05228771A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-07 | Onoda Cement Co Ltd | ボールネジ付精密位置決め装置 |
JPH06238540A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-30 | Nikon Corp | 送りねじ装置 |
-
2006
- 2006-06-26 JP JP2006175612A patent/JP2008002667A/ja active Pending
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