JP2007528480A - 凍結乾燥機 - Google Patents

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Abstract

凍結乾燥機は、長方形のスロット(14)を有するチャンバ(16)を有し、ガラス瓶が、スロットを通してチャンバに挿入され、凍結乾燥機は、スロットを閉じるためにチャンバについて密封を形成するためのスロットドア(12)を更に有する。引き続いて、ガラス瓶をチャンバから取り出すことができるために、スロットドア(12)を上昇させる。ドアを上昇させたら、ドアを回転させてクリーニングのためにドアの背面(58)を露出させる。

Description

本発明は、凍結乾燥機等のスロットドアアセンブリーに関する。
冷凍乾燥機は、典型的には、凍結乾燥すべき無菌材料を収容する複数の容器またはガラス瓶を受け入れるための凍結乾燥チャンバを有する圧力容器を備える。ガラス瓶の自動装填及び取り出しのためのチャンバへのアクセスは、チャンバの壁又は主ドアに形成された長方形の開口又はスロットを通してである。スロットは、チャンバとともにスロットの周りに真空シールを形成するスロットドアによって閉じられる。ガラス瓶をチャンバに挿入し、またチャンバから取り出すことを可能にするために、スロットドアをガイドトラックに沿って移動させることによってスロットドアをスロットに対して垂直方向に上昇させる。
無菌状態を凍結乾燥機内に維持するには、スロットドア及びガイドトラックの周期的なクリーニング及び滅菌を要する。スロットドアの背面、即ちチャンバに面するスロットドアの面にアクセスするためには、スロットドアをガイドトラックから手動で取り外すことが必要であり、それによって、クリーニング及び滅菌のコスト及び持続期間を増大させる。
本発明の少なくとも好ましい実施形態の目的は、これら及び他の課題を解決しようと努めることにある。
第1の側面では、本発明は、凍結乾燥機のスロットドアアセンブリーであって、凍結乾燥機のチャンバに形成されたスロットを閉じるスロットドアと、チャンバへのアクセスを可能にするために、ドアをスロットと横断方向に移動させるための手段と、ドアをスロットと横断して移動させたときドアを回転させるための手段と、を有するスロットドアアセンブリーを提供する。
スロットドアをスロットから遠ざけたときスロットドアを回転させることによって、スロットドアの背面を露出させてドアを凍結乾燥機から取り外す必要なしに背面の手動又は自動クリーニング及び滅菌を可能にする。
好ましい構成では、回転手段は、ドアを回転させる湾曲ガイドに係合するための、ドアに取り付けられたカムからなる。ガイドは、好ましくは、凍結乾燥機の側壁に設けられたトラックの形態をなしている。
移動手段は、好ましくは、ドアのピボットに係合し或いはドアのピボットに連結される。ドアの各側に1つずつ2つのピボットが設けられ、各ピボットはそれぞれのカム及びガイドと関連される。
回転手段は、ドアの閉位置からの移動中ドアを回転させるように構成され、スロットが開かれるときドアを徐々に回転させる。変形例として、好ましい実施形態では、移動手段は、ドアを閉位置から第2の開位置に移動させるように構成され、開位置で、カムがガイドに係合し、スロットは、好ましくは、第2開位置のドアによって完全に露出される。移動手段を第2位置で自動的に停止させるための手段が設けられるのがよい。これにより、ドアを第2位置で停止させることができ、容器又はガラス瓶を、スロットドアによる空気流の最小の乱れでチャンバに挿入したり、チャンバから取り出したりすることができる。
かくして、この好ましい実施形態では、ドアは、第2位置から第3の開位置までのドアの移動中回転する。ドアの移動を第3位置で自動的に停止させるための手段が設けられるのがよい。ドアを第2及び第3位置に停止させるための手段は、移動手段の存在を検出するための、これらの位置に設置されたセンサー又はスイッチによって提供されるのがよく、センサーは、移動手段を制御するためのコントローラに信号を出力するように構成される。
各カムは、好ましくは、一端がピボットに連結されたアームに取り付けられ、そして好ましくは、アームに回転自在に取り付けられたローラからなる。
各ピボットは、好ましくは、ドアをスロットから遠ざけるときドアの他端をチャンバから旋回させるようにドアの一端に連結される。移動手段は、好ましくは、ピボットに係合し、或いはピボットに連結される。例えば、ピボットは移動手段に形成された穴を貫通するのがよい。
移動手段は、好ましくは、ドアを昇降させるための手段からなり、そして移動手段の少なくとも一部を周囲環境から隔絶するための手段を含むのがよい。
第2の側面では、本発明は、上記のように、チャンバと、チャンバへアクセスするための、チャンバに形成されたスロットと、スロットドアアセンブリーと、を有する凍結乾燥機を提供する。
今、本発明の好ましい特徴を添付図面を参照して説明する。
図1及び2を参照すると、スロットドアアセンブリー10の実施形態は、冷凍乾燥機17等のチャンバ16の壁又は主ドアに形成されたスロット14を閉じるための長方形なスロットドア12を含む。図1、2 及び5はドア12を閉位置で示し、この閉位置では、ドア12は、スロットのまわりに延びる密封体18に係合して真空密封を形成する。
アセンブリー10は、容器又はガラス瓶をスロット14を通してチャンバ16に挿入したりチャンバから取り出したりすることができるようにドアを上昇させるための移動機構20を含む。移動機構20は、タイミングベルトまたは歯車アセンブリー24によって駆動軸26に連結されたAC/DC駆動モータ22を含む。駆動軸26の端に取り付けられた歯車28が、各々それぞれの親ネジ32に配置された歯車30と噛み合い、親ネジ32はアセンブリー10のそれぞれの側に設けられ、そして軸受33で支持されている。各親ネジ32は、スロットドア12を昇降させる所要速度に応じて、標準ネジ山親ネジでもよいし、或いはボールネジスピンドルでもよい。この実施形態では、スロットドア12を、毎秒約125mmの速度で昇降される。
各親ネジ32の上端は、スロットドア12の側面に取り付けられたピボットピン36に係合する。図1及び2に示す構成では、各ピン36は、親ネジ32の上端に位置した円筒部材40に形成された孔38を貫通する。
スロットドア12を図2に示す閉位置から図3及び6に示すような装填位置まで移動させるために、モータ22を作動して駆動軸26を第1方向に回転させる。歯車28、30の回転は親ネジ32を上方に引き、親ネジ32は円筒部材を上方に移動させてスリットドア12を上昇させ、それによってスロット14を露出させる。
図1及び3に示すように、各親ネジ32は、囲いベロー42によって、周囲大気から、かくして、周囲の無菌環境から隔絶される。ベロー42の一端は円筒部材40のベース44に取り付けられ、ベローの他端は、スロットドア12を上昇させるときベロー42が拡張するように軸受33に近接して固定される。
図3に示す装填位置へのスロットドア12の上昇は、第1センサー又はスイッチ46によって検出され、該スイッチは、スイッチに対する円筒部材40の上端48の存在を検出する。第1スイッチ46の出力はコントローラ(図示せず)に送られ、コントローラは、スロットドア12が、ガラス瓶をチャンバ16に挿入したりチャンバ16から取り出したりすることができる装填位置にあるとすると、モータ22を停止させるように構成されている。空気層流の場合には、空気流の乱れはチャンバ16への装填中最小である。
図1ないし3に示すように、アセンブリー10は、支持アーム50を更に有し、各支持アーム50は、その一端がそれぞれのピボットピン36に連結されている。カムローラ52が各支持アーム50の他端に回転自在に取り付けられている。装填位置では、各カムローラは、チャンバ16のそれぞれの側壁に位置したそれぞれのカムトラック54にちょうど係合している。各カムトラック54は、装填位置からスロットドア12の更なる上昇で、カムローラ52がカムトラック54をたどるのでスロットドア12をピボットピン36を中心に回動させて、スロットドア12の上端55をチャンバ16から遠ざけるように湾曲される。
第1スイッチ46より上に第2のセンサー又はスイッチ56が設置されている。第1スイッチ46と同様に、第2スイッチ56は、該スイッチに対する円筒部材40の上端の存在を検出し、信号をコントローラに出力して、ドア12が図4及び7に示す開放クリーニング位置にある時モータ22を停止させる。このクリーニング位置では、スロットドア12ははピボットピン36及びカムローラ50によって支持され、スロットドアの背面は露出され、それによって、実質的にドア全体を手動で又は自動的にクリーンにし且つ滅菌することができる。クリーニング及び滅菌は周期ベースで、例えば数日おきに行われる。
スロットドアを、図5に示す閉位置から図7に示すクリーニング位置まで単一の運動で移動させてもよいし、或いは変形例として、図6に示す装填位置まで先ず移動させ、そこからクリーニング位置まで移動させてもよい。
スロットドアのクリーニング及び滅菌の完了に続いて、モータ22を逆に作動してスロットドア12を下降させる。図1に示す閉位置におけるスロットドア12の位置を検出し且つモータ22を停止させるために信号をコントローラに出力する第3センサー又はスイッチ60が設けられている。
図1ないし7に示す実施形態では、モータ22、駆動軸26、及び関連した歯車を含む移動機構20が凍結乾燥機のベースに向かって設置される。しかしながら、移動機構20は、変形例として、スリットドア12を必要に応じて昇降させるために凍結乾燥機の頂きに向かって設置されてもよい。他の変形例では、移動機構20は凍結乾燥機から物理的に隔絶されてもよい。例えば、移動機構20は、凍結乾燥機の無菌環境から分割されたテクニカル領域に設置されてもよい。
その上、好ましい実施形態では、スロット14を露出させるのにスロットドア12を閉位置から上昇させるけれども、変形例として、スロット14を露出させるのにスロットドアを下降させてもよいし、側方に或いはスロットと交差する他の方向に移動させてもよい。
要するに、凍結乾燥機は、長方形のスロットを有し、ガラス瓶が挿入されるチャンバと、スロットを閉じるためにチャンバについて密封を形成するためのスロットドアと、を含む。引き続いて、ガラス瓶をチャンバから取り出すことを可能にするために、スロットドアを上昇させる。ドアを上昇させたら、ドアを回転させてドアの背面をクリーニングのために露出させる。
ドアが第1の閉位置にある、スロットドアアセンブリーの実施形態の一部断面の正面図である。 図1に示すドアアセンブリーの一部断面の側面図である。 ドアが第2の開位置にある、図2と同様の図である。 ドアが第3の開位置にある、図2と同様の図である。 ドアが閉位置にある、図1のドアアセンブリーを有する凍結乾燥機の実施形態の斜視図である。 ドアが第2位置にある、図5の凍結乾燥機の斜視図である。 ドアが第3位置にある、図5の凍結乾燥機の斜視図である。

Claims (16)

  1. 凍結乾燥機等のスロットドアアセンブリーであって、凍結乾燥機のチャンバに形成されたスロットを閉じるスロットドアと、チャンバへのアクセスを可能にするために、ドアをスロットと横断方向に移動させるための手段と、ドアをスロットと横断して移動させたときドアを回転させるための手段と、を有するスロットドアアセンブリー。
  2. 回転手段は、スロットドアをスロットから遠ざけたときドアに係合するするための手段からなる、請求項1に記載のスロットドアアセンブリー。
  3. 回転手段は、ドアを回転させる湾曲ガイドに係合するための、ドアに取り付けられたカムからなる、請求項1又は2に記載のスロットドアアセンブリー。
  4. 移動手段は、ドアを第1の閉位置から第2開位置まで移動させるように構成され、第2開位置で、カムがガイドに係合する、請求項3に記載のスロットドアアセンブリー。
  5. 第2位置で、スロットはドアによって完全に露出される、請求項4に記載のスロットドアアセンブリー。
  6. 移動手段を第2位置で自動的に停止させるための手段を有する、請求項4又は5に記載のスロットドアアセンブリー。
  7. 移動手段をドアの回転に続くドアの第3開位置で自動的に停止させるための手段を有する、請求項4ないし6のいずれかに記載のスロットドアアセンブリー。
  8. カムは一端がドアに連結されたアームに取り付けられる、請求項3ないし7のいずれかに記載のスロットドアアセンブリー。
  9. カムは、アームに回転自在に取り付けられたローラからなる、請求項8に記載のスロットドアアセンブリー。
  10. 移動手段は、ドアのピボットに係合し或いはドアのピボットに連結される、請求項1乃至9のいずれかに記載のスロットドアアセンブリー。
  11. ピボットは、ドアをスロットから遠ざけるときドアの他端をチャンバから旋回させるようにドアの一端に連結される、請求項10に記載のスロットドアアセンブリー。
  12. ピボットは移動手段に形成された穴を貫通する、請求項10又は11に記載のスロットドアアセンブリー。
  13. 移動手段は、ドアの回転と非回転移動の両方の間ピボットを一定速度で移動させるように構成されている、請求項10ないし12いずれかに記載のスロットドアアセンブリー。
  14. 移動手段は、ドアを昇降させるための手段からなる、請求項1ないし13のいずれかに記載のスロットドアアセンブリー。
  15. 移動手段の少なくとも一部を周囲環境から隔絶するための手段を含む、請求項1ないし14のいずれかに記載のスロットドアアセンブリー。
  16. チャンバと、チャンバへアクセスするための、チャンバに形成されたスロットと、請求項1ないし15のいずれかによるスロットドアアセンブリーと、を有する凍結乾燥機。
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AT (1) ATE519083T1 (ja)
GB (1) GB0407078D0 (ja)
WO (1) WO2005088216A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012513578A (ja) * 2008-12-22 2012-06-14 アイエムエー ライフ ノース アメリカ インコーポレーテッド 凍結乾燥機スロットドアアクチュエーター及び方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060207122A1 (en) * 2005-03-15 2006-09-21 Paul Stewart Freeze dryer
CN104832021B (zh) * 2015-05-12 2016-11-02 伊马莱富(北京)制药系统有限公司 冻干机滑动门的门板与横梁连接的结构及在线分离与连接的方法
CN104990401B (zh) * 2015-06-29 2017-03-08 上海工程技术大学 一种干燥烘房全开启式移门结构
CN105004146A (zh) * 2015-07-07 2015-10-28 苏州赛弗尔机械有限公司 简易冷冻干燥机
CN111750618A (zh) * 2020-06-11 2020-10-09 奥星制药技术设备(南京)有限公司 冻干机小门及冻干机
CN112066651A (zh) * 2020-09-21 2020-12-11 杭州英木科技有限公司 一种新型智能化冷冻干燥机
NL2030241B1 (en) * 2021-12-22 2023-06-29 Rheavita Bv Device and method for freeze-drying liquid-containing composition
CN114482756A (zh) * 2021-12-30 2022-05-13 深圳华侨城文化旅游科技集团有限公司 一种游乐车的旋翼门连接结构
WO2023248027A1 (en) * 2022-06-20 2023-12-28 I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. Opening system for a door of a freeze-drying machine
CN115450499B (zh) * 2022-09-13 2023-08-01 东富龙科技集团股份有限公司 一种制药冻干机翻转门的门锁结构

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1963089A (en) * 1932-11-01 1934-06-19 Ray M Henderson Cabinet door
US2244405A (en) * 1939-12-21 1941-06-03 Jr Frederick A Schilling Vertical suspension door
US2652305A (en) * 1948-05-17 1953-09-15 Seeger Refrigerator Co Service door for refrigerator display cases
US3157224A (en) * 1962-02-05 1964-11-17 Joseph E Spargur Starting device for sliding doors
US3350152A (en) * 1966-01-07 1967-10-31 King Seeley Thermos Co Door and track assembly
JPH0115961Y2 (ja) * 1983-04-28 1989-05-11
US4932160A (en) * 1989-05-04 1990-06-12 Sterilizer Technologies Corporation Closure apparatus and method
EP0429813A1 (en) * 1989-10-27 1991-06-05 Fedegari Autoclavi Spa Autoclave door with minimum opening encumbrance
EP0773418A1 (de) * 1995-11-10 1997-05-14 Hof, Hans-Georg Tür für Autoklaven, autoklavierbare Gefriertrocknungsanlagen, Gefriertrocknungsanlagen etc.
JP2928107B2 (ja) * 1994-10-19 1999-08-03 共和真空技術株式会社 凍結乾燥機における被乾燥薬品溶液を充填した薬品小容器の搬入出方法
FR2780148A1 (fr) * 1998-06-18 1999-12-24 Usifroid Procede de chargement et dechargement sans fond pour cuve de lyophilisation, et dispositif pour sa mise en oeuvre

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US224405A (en) * 1880-02-10 doatn e
FR726863A (fr) 1931-01-27 1932-06-04 Porte auxiliaire pour fours de boulanger et autres
US2322377A (en) 1941-07-17 1943-06-22 Mcharg Leslie Door
GB1199285A (en) 1966-12-07 1970-07-22 H J Heinz Company Ltd Improvements in or Relating to Freeze Drying Apparatus
US3768203A (en) 1972-01-26 1973-10-30 Amsco Ind Co Closure operating structure
US4624512A (en) * 1985-06-10 1986-11-25 Hull Corporation Processing cabinet with sub-door access
JPS63312574A (ja) 1987-06-11 1988-12-21 Nippon Kentetsu Co Ltd 真空装置のゲ−トバルブ装置
DE29501564U1 (de) 1995-02-01 1995-03-09 Airtec Luft- und Wärmetechnik GmbH, 72644 Oberboihingen Kipptor für Lackier- und/oder Trockenkabinen
US5892200A (en) * 1996-09-19 1999-04-06 The Boc Group, Inc. Transfer port system
DE29719623U1 (de) 1997-11-05 1997-12-18 Kaufmann GmbH, 41515 Grevenbroich Toranordnung für klimatisierte Bereiche
JP3383245B2 (ja) * 1999-10-12 2003-03-04 株式会社ソディック 放電加工装置の加工槽

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1963089A (en) * 1932-11-01 1934-06-19 Ray M Henderson Cabinet door
US2244405A (en) * 1939-12-21 1941-06-03 Jr Frederick A Schilling Vertical suspension door
US2652305A (en) * 1948-05-17 1953-09-15 Seeger Refrigerator Co Service door for refrigerator display cases
US3157224A (en) * 1962-02-05 1964-11-17 Joseph E Spargur Starting device for sliding doors
US3350152A (en) * 1966-01-07 1967-10-31 King Seeley Thermos Co Door and track assembly
JPH0115961Y2 (ja) * 1983-04-28 1989-05-11
US4932160A (en) * 1989-05-04 1990-06-12 Sterilizer Technologies Corporation Closure apparatus and method
EP0429813A1 (en) * 1989-10-27 1991-06-05 Fedegari Autoclavi Spa Autoclave door with minimum opening encumbrance
JP2928107B2 (ja) * 1994-10-19 1999-08-03 共和真空技術株式会社 凍結乾燥機における被乾燥薬品溶液を充填した薬品小容器の搬入出方法
EP0773418A1 (de) * 1995-11-10 1997-05-14 Hof, Hans-Georg Tür für Autoklaven, autoklavierbare Gefriertrocknungsanlagen, Gefriertrocknungsanlagen etc.
FR2780148A1 (fr) * 1998-06-18 1999-12-24 Usifroid Procede de chargement et dechargement sans fond pour cuve de lyophilisation, et dispositif pour sa mise en oeuvre

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012513578A (ja) * 2008-12-22 2012-06-14 アイエムエー ライフ ノース アメリカ インコーポレーテッド 凍結乾燥機スロットドアアクチュエーター及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7076888B2 (en) 2006-07-18
EP1723373B1 (en) 2011-08-03
JP4717061B2 (ja) 2011-07-06
CN1930433B (zh) 2011-08-31
ATE519083T1 (de) 2011-08-15
GB0407078D0 (en) 2004-05-05
CN1930433A (zh) 2007-03-14
EP1723373A1 (en) 2006-11-22
WO2005088216A1 (en) 2005-09-22
US20050198856A1 (en) 2005-09-15

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