JP2007516869A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007516869A5
JP2007516869A5 JP2006545865A JP2006545865A JP2007516869A5 JP 2007516869 A5 JP2007516869 A5 JP 2007516869A5 JP 2006545865 A JP2006545865 A JP 2006545865A JP 2006545865 A JP2006545865 A JP 2006545865A JP 2007516869 A5 JP2007516869 A5 JP 2007516869A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
support member
pattern
rigid support
flexible diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006545865A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007516869A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US10/744,949 external-priority patent/US6981445B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2007516869A publication Critical patent/JP2007516869A/ja
Publication of JP2007516869A5 publication Critical patent/JP2007516869A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Claims (19)

  1. 第1および第2の対向する末端と、内部を通って延びている流体流路を有する硬質支持部材;
    柔軟な隔膜部である部分を有し、上記柔軟な隔膜部1種以上の材料により所定のパターンに被覆された外側表面を有する印刷スタンプ;および
    柔軟な隔膜部に外側バイアスをかけてこれを基板の表面と緊密かつ実質的に均一に接触させ、1種以上の材料の所定のパターンを上記基板表面上に転移させるための、流体流路を通じて柔軟な隔膜部の内側表面と連通しているバイアス手段;及び
    位置決め構造
    を含み、
    ここで硬質支持部材は前記位置決め構造に正しい位置で取り付けることができるように構成および配置されており、前記印刷スタンプは、硬質支持部材が位置決め構造によって係合され、パターン転移の前に柔軟な隔膜部が基板表面に近接した位置に移動し、柔軟な隔膜部にバイアスがかった後、パターン転移の間柔軟な隔膜部が過剰に伸長されずに実質的にひずみのないマイクロパターンを基板表面に与えるような様式で、該硬質支持部材の第1の対向末端と一体となって形成されている、基板の表面にマイクロパターンを作成するためのマイクロコンタクトプリンティング装置。
  2. 1種以上の材料により所定のパターンに被覆された外側表面が、基板の表面に転移されるべき材料により実質的に均一に被覆された、所定の表面凸部パターンを含む、請求項1に記載の装置。
  3. 所定の表面凸部パターンが、基板の表面に転移されるべき材料により実質的に均一に被覆された盛り上がった部分である、請求項2に記載の装置。
  4. 1種以上の材料により所定のパターンに被覆された外側表面が、実質的に平面であり、基板の表面に転移されるべき材料が上記平面の表面に所定のパターン適用される、請求項1に記載の装置。
  5. バイアスをかける手段が、流体流路を加圧用の流体により加圧し、それにより柔軟な隔膜部に外側バイアスをかけるための、硬質支持部材の第2の対向末端に連結されたポンプを含む、請求項1、2、3または4に記載のパターンを作成するための装置。
  6. ポンプが、流体流路の内部に負圧をかけるために流路の外側流体を汲み出す操作が可能であり、それにより柔軟な隔膜部に流路の内部に向けたバイアスをかけて上記隔膜部を基板の表面から移動させることができる、請求項5に記載の装置。
  7. 加圧る流体が気体である、請求項6に記載の装置。
  8. 印刷スタンプがポリマー材料により作られている、請求項1、2、3、4、5、6または7に記載の装置。
  9. ポリマー材料が天然ゴムである、請求項8に記載の装置。
  10. ポリマー材料が合成ゴムである、請求項8に記載の装置。
  11. 印刷スタンプがポリジメチルシロキサン(PDMS)により作られている、請求項8に記載の装置。
  12. 印刷スタンプがポリオレフィンにより作られている、請求項8に記載の装置。
  13. 位置決め構造が、複数の基板表面上にマイクロパターンをスタンプする位置に動かすことができるように構成および配置された、請求項1〜12のいずれか1項に記載の装置。
  14. 硬質支持部材がプラスチックにより作られている、請求項1〜13のいずれか1項に記載の装置。
  15. 硬質支持部材が管である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の装置。
  16. ポンプが、基板バッチ処理スタンプする際に柔軟な隔膜部に迅速にバイアスをかけるために、柔軟な隔膜部に圧力パルスを適用するためのコントローラーを含む、請求項5に記載の装置。
  17. 外側表面上の1種以上の材料が、所定の検体種が結合する検体特異的受容体である、請求項1〜16のいずれか1項に記載の装置。
  18. 硬質支持部材が、種々の所定の物理的形状を有するように製造され、印刷スタンプを硬質支持部材の第1の対向末端と一体形成する間に、上記の所定の物理的形状が、上記の硬質支持部材とパターンの形状を有するマスターの間の正確な照合を確立するために用いられ、また、固定具基板を保持するために用いられ基板を硬質支持部材に正確に照合させると同時に、パターンの形状が基板に対して回転方向で照合される、請求項1〜17のいずれか1項に記載のパターンを作成するための装置。
  19. 位置決め構造が、隔膜の柔軟な部分を基板表面からの距離が約0.00127cm〜0.0127cmの間の範囲に移動させるように構成されている、請求項1〜18のいずれか1項記載の装置。
JP2006545865A 2003-12-24 2004-12-22 マイクロコンタクトプリンティングの方法および装置 Pending JP2007516869A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/744,949 US6981445B2 (en) 2003-12-24 2003-12-24 Method and apparatus for micro-contact printing
PCT/CA2004/002175 WO2005061237A1 (en) 2003-12-24 2004-12-22 Method and apparatus for micro-contact printing

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007516869A JP2007516869A (ja) 2007-06-28
JP2007516869A5 true JP2007516869A5 (ja) 2007-10-25

Family

ID=34700532

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006545865A Pending JP2007516869A (ja) 2003-12-24 2004-12-22 マイクロコンタクトプリンティングの方法および装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6981445B2 (ja)
EP (1) EP1701849A1 (ja)
JP (1) JP2007516869A (ja)
KR (1) KR101198500B1 (ja)
CN (1) CN100540320C (ja)
CA (1) CA2541239C (ja)
MX (1) MXPA06007383A (ja)
WO (1) WO2005061237A1 (ja)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6939120B1 (en) * 2002-09-12 2005-09-06 Komag, Inc. Disk alignment apparatus and method for patterned media production
US7114448B2 (en) * 2003-11-06 2006-10-03 Palo Alto Research Center, Incorporated Method for large-area patterning dissolved polymers by making use of an active stamp
EP1669196B1 (en) * 2004-12-10 2008-05-21 ESSILOR INTERNATIONAL (Compagnie Générale d'Optique) Stamp for patterning, method for manufacturing such stamp and method for manufacturing an object using the stamp.
US7491423B1 (en) 2005-05-02 2009-02-17 Sandia Corporation Directed spatial organization of zinc oxide nanostructures
EP1890887B1 (en) * 2005-05-03 2015-10-28 Koninklijke Philips N.V. Method and device for transferring a pattern from a stamp to a substrate
JP4449949B2 (ja) * 2006-07-18 2010-04-14 セイコーエプソン株式会社 表面エネルギー差バンクの形成方法、パターンの形成方法、バンク構造、電子回路、電子デバイス、電子機器、及びスタンプ
US20080083484A1 (en) * 2006-09-28 2008-04-10 Graciela Beatriz Blanchet Method to form a pattern of functional material on a substrate
EP2544001A3 (en) 2006-10-18 2013-04-24 Axela Inc. Measuring multiple analytes over a broad range of concentrations using optical diffraction
US20080230773A1 (en) * 2007-03-20 2008-09-25 Nano Terra Inc. Polymer Composition for Preparing Electronic Devices by Microcontact Printing Processes and Products Prepared by the Processes
DE112008001634A5 (de) * 2007-06-21 2010-04-01 GeSIM Gesellschaft für Silizium-Mikrosysteme mbH Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung von Mikro- oder Nanostrukturen durch Kontaktstempeln
WO2009014717A1 (en) * 2007-07-25 2009-01-29 Nano Terra Inc. Contact printing method using an elastomeric stamp having a variable surface area and variable shape
JP2011504426A (ja) 2007-11-13 2011-02-10 ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア 熱可塑性プラスチックを使用する迅速な微細加工のためのプロセスおよびそのデバイス
EP2265950B1 (en) 2008-03-05 2019-01-23 Axela Inc. Detection of biomarkers and biomarker complexes
US20110052549A1 (en) * 2009-08-27 2011-03-03 The Regents Of The University Of California Cell culture device to differentiate stem cells in a specific orientation
EP2516162A4 (en) 2009-12-22 2015-10-28 3M Innovative Properties Co APPARATUS AND METHOD FOR PRINTING MICROCONTACTS USING A PRESSURIZED ROLL
GB201009621D0 (en) * 2010-06-09 2010-07-21 Laja Materials Ltd Stamping apparatus
US8449285B2 (en) * 2011-01-21 2013-05-28 Hepregen Corporation Systems and methods for micro-contact stamping
SG11201400534SA (en) * 2011-09-16 2014-09-26 3M Innovative Properties Co Method and apparatus for applying a stamp for micro-contact printing to a stamping roll
US9149958B2 (en) 2011-11-14 2015-10-06 Massachusetts Institute Of Technology Stamp for microcontact printing
US9266260B2 (en) 2011-12-20 2016-02-23 Massachusetts Institute Of Technology Precision continuous stamp casting method for roll-based soft lithography
CN102616031B (zh) * 2012-03-29 2014-01-29 浙江大学 一种磁力控制的墨水渗透式微接触印刷装置
KR101955335B1 (ko) 2012-11-14 2019-03-07 삼성전자주식회사 스탬프 구조체 및 이를 이용한 전사 방법
WO2016012409A2 (en) * 2014-07-20 2016-01-28 X-Celeprint Limited Apparatus and methods for micro-transfer printing
CN107215111B (zh) * 2017-06-14 2023-03-28 浙江大学 一种磁控转印印章及磁控转移印刷方法
KR102094005B1 (ko) * 2018-05-29 2020-03-27 한밭대학교 산학협력단 롤투롤 방식을 통한 마이크로컨택 프린팅 시스템
US10748793B1 (en) 2019-02-13 2020-08-18 X Display Company Technology Limited Printing component arrays with different orientations
CN113433062B (zh) * 2021-06-15 2022-07-08 清华大学 印章单元与样品之间的接合力的测试方法及测试装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3756165A (en) * 1972-05-22 1973-09-04 Interpace Corp Method for printing on ceramic tableware
JPS5937234B2 (ja) * 1977-01-17 1984-09-08 本田技研工業株式会社 曲面印刷方法及び印刷装置
US5512131A (en) * 1993-10-04 1996-04-30 President And Fellows Of Harvard College Formation of microstamped patterns on surfaces and derivative articles
US6180239B1 (en) * 1993-10-04 2001-01-30 President And Fellows Of Harvard College Microcontact printing on surfaces and derivative articles
US5669303A (en) * 1996-03-04 1997-09-23 Motorola Apparatus and method for stamping a surface
US5731152A (en) * 1996-05-13 1998-03-24 Motorola, Inc. Methods and systems for biological reagent placement
US5937758A (en) * 1997-11-26 1999-08-17 Motorola, Inc. Micro-contact printing stamp
US5947027A (en) * 1998-09-08 1999-09-07 Motorola, Inc. Printing apparatus with inflatable means for advancing a substrate towards the stamping surface
US6221579B1 (en) * 1998-12-11 2001-04-24 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Patterned binding of functionalized microspheres for optical diffraction-based biosensors
AU2001271799A1 (en) 2000-06-30 2002-01-14 President And Fellows Of Harvard College Electric microcontact printing method and apparatus
US7476523B2 (en) * 2000-08-14 2009-01-13 Surface Logix, Inc. Method of patterning a surface using a deformable stamp
US20020130444A1 (en) 2001-03-15 2002-09-19 Gareth Hougham Post cure hardening of siloxane stamps for microcontact printing
US7338613B2 (en) * 2001-09-10 2008-03-04 Surface Logix, Inc. System and process for automated microcontact printing
WO2003065120A2 (en) * 2002-01-11 2003-08-07 Massachusetts Institute Of Technology Microcontact printing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007516869A5 (ja)
CA2541239C (en) Method and apparatus for micro-contact printing
KR100981692B1 (ko) 스탬프로부터 기판으로 패턴을 전사하기 위한 방법 및 디바이스
JP5039145B2 (ja) シートを基板に適用するための方法及び装置
KR101256383B1 (ko) 스탬프로부터 기판으로 패턴을 전사하기 위한 방법 및디바이스
RU2695290C2 (ru) Способ изготовления штампа с рисунком, штамп с рисунком и способ отпечатывания
JP5745532B2 (ja) インプリント・リソグラフィ用テンプレート
JP6706246B2 (ja) スクリーン印刷装置および方法
CA2717633A1 (en) Biomimetic dry adhesives and methods of production therefor
EP1906236A3 (en) Imprinting apparatus and method for forming residual film on a substrate
TWI581862B (zh) 微流道裝置的夾持載具
JP6391709B2 (ja) ナノ構造を型押しする方法及び装置
US7735419B2 (en) System for soft lithography
DE60305846D1 (de) Druckempfindliche Klebefolie für medizinische Zwecke und Verfahren zu deren Herstellung
KR101888615B1 (ko) 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법
CN108008599B (zh) 用于三维曲面纳米级压印的方法、装置及模具制备方法
CN207663209U (zh) 一种用于三维曲面的纳米级压印装置
De Marco et al. Ultraviolet-based bonding for perfluoropolyether low aspect-ratio microchannels and hybrid devices
JP2023510449A (ja) スタンプを剥離する方法および装置
JP2016007835A (ja) スクリーン印刷法
US20230229076A1 (en) Method and device for producing micro- and/or nanostructures
WO2023100218A1 (ja) ハイドロゲル流体デバイスおよびハイドロゲル流体デバイスの製造方法
Choonee et al. Hydraulically actuated micro-contact printing engines
US20150108673A1 (en) Imprinting apparatus and method for imprinting
JP2003190767A (ja) マイクロ流体デバイスの製造方法