DE112008001634A5 - Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung von Mikro- oder Nanostrukturen durch Kontaktstempeln - Google Patents

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PT2366547E (pt) * 2010-03-16 2013-01-14 Villeroy & Boch Dispositivo, bem como processo para a transferência de imagens a partir de uma superfície contendo partículas de tinta para um objecto tridimensional

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB187495A (en) * 1921-11-29 1922-10-26 George Thomas Pritchard Improvements in or relating to stencil hand stamps
US4963921A (en) * 1985-06-24 1990-10-16 Canon Kabushiki Kaisha Device for holding a mask
TWI319123B (en) * 2002-02-22 2010-01-01 Asml Holding Nv System and method for using a two part cover for protecting a reticle
JP2004111500A (ja) * 2002-09-17 2004-04-08 Canon Inc マスク、露光装置及び方法
JP3889386B2 (ja) * 2003-09-30 2007-03-07 株式会社東芝 インプリント装置及びインプリント方法
US6981445B2 (en) * 2003-12-24 2006-01-03 Axela Biosensors Inc. Method and apparatus for micro-contact printing
EP1669196B1 (de) * 2004-12-10 2008-05-21 ESSILOR INTERNATIONAL (Compagnie Générale d'Optique) Stempel zum Auftragen eines Motivs, Verfahren zur Stempelherstellung und Verfahren zur Herstellung eines Objekts anhand von diesem Stempel
JP2008525204A (ja) * 2004-12-23 2008-07-17 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Ｓａｍの成長に基づいたナノファブリケーション
EP1890887B1 (de) * 2005-05-03 2015-10-28 Koninklijke Philips N.V. Verfahren und vorrichtung zur übertragung eines musters von einem stempel auf ein substrat

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