JP2007511041A - Ecrプラズマ中の電子温度制御装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、ECRプラズマチャンバ(1)中の電子温度制御装置に関する。この装置は、所定のエネルギーよりエネルギーが大きい電子の軌道に配置される少なくとも一つの減速装置(100)を含んで、前記電子を妨害するようにしている。本発明はイオン源およびプラズマ装置に適用される。
Description
本発明は、ECRイオン源またはプラズマ装置などのプラズマチャンバ内で多重荷電されるイオン電流生成の分野に関する。本発明は、特に、ECRプラズマ中の電子温度制御装置に関する。
電子サイクロトロン共鳴(「RCE」または英語の「ECR」)「イオン源」の機能は、μAからmAに及ぶイオン強度と、広範な荷電状態の範囲とを生成することにある。ECRイオン源のユーザは、現在のところ、B1+からB3+のような数mAの低価イオン(注入装置の役割を果たす)と、Ar8+、Ar12+、またはPb27+のような約1mAの平均的な荷電イオン(核物理用の加速装置を供給する)と、Ar16+、Ar17+、またはAr18+のような数μAの多価イオン(核物理または原子物理用の加速装置を供給する)とを求めている。
ECR「プラズマ装置」の機能は、装置から抽出されないイオンを生成することにある。これらのイオンは、たとえば、基板に材料を堆積するために使用される。
ECRプラズマチャンバでは、プラズマ(イオンと電子の集合)は、一方が軸方向で他方が半径方向の二つの磁界を重ねて生じる磁気構成に置かれたエンクロージャに閉じ込められ、プラズマが漏れないようにしている。プラズマの全ての電子は、様々なコードにより容易に計算可能な磁界線で振動する(たとえばA.Girardらによる論文「Electron Cyclotron resonance Ion Sources:Experiments and Theory」第12回ECRイオン源に関する国際セミナー議事録(1995年4月25−27日、日本、リケン)参照)。
電荷q+のイオンを生成する場合、ECRプラズマは、原子とエネルギー電子との衝突によって生じる原子の「剥取り(l’epluchage)」反復原理を用いる。経験に基づいて、これらの電子に必要なエネルギーは、イオンX(q−1)+のイオン化ポテンシャルの約3倍でなければならないと推定されている。そのため、アルゴン原子のイオン化ポテンシャルが16eVであるので、Ar+イオンを生成するための最適な電子エネルギーは約100eVである。Ar8+イオンを生成する場合、電子のエネルギーは500eV前後でなければならないが、Ar18+イオンを得るには、電子のエネルギーは約15keVでなければならない。
ユーザが必要とするイオン強度は、常に増え続けており、ECRイオン源の改良が必要になっている。このため、次のような複数の手段が利用されている。
・ 電子の加熱周波数の増加:公知のプラズマ物理法則に従ってプラズマの電子密度をこれにより増加する。
・ プラズマの電子およびイオン閉じ込めの最適化:多くの作業が実施されており、たとえばS.Gamminoらによる論文「Operation of the Serse superconducting ECR ion source at 28GHz」(Review of Scientific Instruments、第72巻第11号4090ページ、2001年11月)を参照されたい。この論文では、プラズマ閉じ込めに関連するスケールの法則が開示されている。
・ マイクロ波投入の最適化:たとえば仏国特許第2681186号明細書参照。
・ イオン化するガスよりも軽量なガスの投入によるイオン温度の低温化(ガス混合技術):A.Drentjeによる論文「Techniques to improve highly charged ions output from ECRISs」(第15回ECRイオン源に関する国際セミナー議事録、フィンランドJyvaskyla大学、2002年6月)参照。
・ 電子の加熱周波数の増加:公知のプラズマ物理法則に従ってプラズマの電子密度をこれにより増加する。
・ プラズマの電子およびイオン閉じ込めの最適化:多くの作業が実施されており、たとえばS.Gamminoらによる論文「Operation of the Serse superconducting ECR ion source at 28GHz」(Review of Scientific Instruments、第72巻第11号4090ページ、2001年11月)を参照されたい。この論文では、プラズマ閉じ込めに関連するスケールの法則が開示されている。
・ マイクロ波投入の最適化:たとえば仏国特許第2681186号明細書参照。
・ イオン化するガスよりも軽量なガスの投入によるイオン温度の低温化(ガス混合技術):A.Drentjeによる論文「Techniques to improve highly charged ions output from ECRISs」(第15回ECRイオン源に関する国際セミナー議事録、フィンランドJyvaskyla大学、2002年6月)参照。
また、電子温度Teの数々の測定が行われている。それによれば(たとえば上記A.Girardらによる論文参照)、ECRプラズマでは、「非常に高温の」電子群(Te>50keV)と、「高温の」電子群(1keV<Te<50keV)と、「低温の」電子群(Te<1keV)とが同時に存在する。実際は、ECRプラズマでは、温度20keV未満の高温電子だけが有効である(たとえばAr18+イオンを得る場合、上記のように約15keVの電子が必要である)。ところで、一般に、ECRプラズマでは、100keVを越えるエネルギーの電子が見られる。すなわち、これらの電子は、そのエネルギーが最適エネルギーよりも過度に高いので全く無駄である。
従って、本発明は、一方が軸方向で他方が半径方向の二つの磁界を重ねることによって生じる磁界構成に置かれるエンクロージャを含み、電子軌道の構成が前記磁界構成に依存するECRプラズマチャンバに関し、前記ECRプラズマチャンバは、少なくとも一つの減速装置を含み、その位置および形状は、エネルギーが所定のエネルギーより大きい電子を前記減速装置が妨げるように、前記磁界構成に応じて選択されることを特徴とする。
従って、上記減速装置は、プラズマチャンバ内のそれらの配置および形状により、多少とも高いエネルギーの電子を停止し、これによって、高温すぎると判断された電子数を減らし、さらには、その軌道に障害物を配置することによって、これらの電子を完全に除去できる。特に、プラズマチャンバ内の多少とも広い領域を本発明による減速装置で覆うことによって、この減速装置が妨害する電子のエネルギー範囲を決定可能である。
本発明によれば、関与するイオンのイオン化ポテンシャルと一致するように電子温度を制御できる。さらに、プラズマのイオンまたは電子が減速装置に接触すると、低エネルギーの二次電子(数eV)が生成される。その場合、これらの電子は即座に加熱され、有利にはイオン化プロセスに用いられる。
本発明に固有の特徴によれば、前記減速装置の位置および数は、妨害が望まれる電子のエネルギーと数とに応じて選択される。
このような構成により、多少とも数量の多い望ましくない電子を除去できる。
本発明に固有の別の特徴によれば、これらの減速装置の構成材料が、高エネルギー電子との衝突時に二次電子を発生する能力に応じて選択される。
実際、前記減速装置に使用される材料に応じて、このように生成される二次電子の数およびエネルギーを多少とも大きくできる。それにより、これらの二次電子がイオン生成に及ぼす影響を加減することができる。
本発明に固有の別の特徴によれば、減速装置が、少なくとも一つの作動部分と、プラズマを囲むリングとを含む。
このようにして、関与する磁界構成に応じて考えられる最適位置に前記作動部分を便利に配置可能で、なおかつ堅牢な装置が得られる。
本発明は、また、有利には、手短に説明した上記プラズマチャンバの任意の一つを含む、ECRイオン源とECRプラズマ装置とを対象とする。
本発明の他の特徴および長所は、限定的ではなく例として挙げられた特定の実施形態の以下の詳細な説明を読めば明らかになるであろう。この説明は、添付図面を参照しながら行われる。
次に、本発明の様々な実施形態について説明する。
前述のように、ECRプラズマチャンバの磁気特性は、(軸方向と半径方向の)二つの磁界を重ねることによって得られる。これらの磁界の構造によりプラズマの形状が決定される。そのため、この構造は、対象とされる用途に応じて選択される。たとえば、プラズマの形状をできるだけ円筒形にしたい場合、2n個の極を持つ半径方向の磁界を形成する。その場合、電子が流れる領域は、n個の分枝を持つ星形になる。
図1は、6個の磁極2aから2fにより半径方向の閉じ込めが得られるプラズマチャンバ1の断面図である(この場合、電子が流れる領域(図示せず)は、3個の分枝を持つ星形である)。
特に、プラズマチャンバ1では、
・ プラズマの中央領域3(主に「高温の」電子と「低温の」イオンとを含む)と、
・ プラズマの漏洩領域4と、
・ プラズマのない領域5との、3タイプの領域が区別される。
・ プラズマの中央領域3(主に「高温の」電子と「低温の」イオンとを含む)と、
・ プラズマの漏洩領域4と、
・ プラズマのない領域5との、3タイプの領域が区別される。
プラズマのない領域5を含めて、これらの領域では全て、非常に高温の電子があることに留意すべきである。
前述のように、今日では、対象とされる用途に応じて電子軌道(ならびにプラズマの全体形状)を決定するために、理論上必要とされる数々のツールが用いられる。実際には、次のように実施することができる。
a)軸方向の磁界と半径方向の磁界との構成を計算する。
b)全体の磁界を計算する。
c)ECRプラズマ中を電子が通過する時に、この電子が包まれることになる磁界線の包絡線を得る。
a)軸方向の磁界と半径方向の磁界との構成を計算する。
b)全体の磁界を計算する。
c)ECRプラズマ中を電子が通過する時に、この電子が包まれることになる磁界線の包絡線を得る。
このように電子軌道が決定されると、本発明による減速装置のために必要な位置、形状、および材料を決定することができる。
図2a、図2bは、チャンバのプラズマのない領域5に配置される減速装置100を備えたプラズマチャンバ1の断面図であり、減速装置は二つの異なる形状をとっている。図2bの減速装置の比較的広幅の形状は、より多数の軌道で電子を遮断可能である。
図3は、プラズマの漏洩領域4に配置される減速装置100を備えたプラズマチャンバ1の断面図であり、図4は、チャンバの中央領域3を遮断する減速装置100を備えたプラズマチャンバ1の断面図である。
図2a、図2b、図3、図4の各図では、例として減速装置100を1個だけ示した。しかし、多数の事例において、所望の電子温度を得るために複数の減速装置100を使用しなければならないことは自明である。特に、半径方向の磁界が2n個の極から構成される場合、好適には、減速装置100にn個の作動部分7を設け、各作動部分が、電子軌道からなるn個の分枝の一つにそれぞれ配置されるようにする。
さらに、高エネルギーの電子はプラズマチャンバ1全体に存在するが、電子濃度は、当然のことながらプラズマ温度自体が最大になる中央領域3で最大であることに留意されたい。従って、減速装置100の効率を最適化するには、減速装置をこの中央領域3のできるだけ近くに置くことが求められるが、しかし、その場合には、特に、減速装置100の構造が耐えられる温度を考慮しなければならない。
図5は、6極の磁界構成を含むプラズマチャンバに配置されるように構成された、本発明による減速装置のための構造の一例を示している。この構造は、3個の作動部分7を含み、各作動部分が、プラズマチャンバ1の横断面に半径方向に配置される円筒バー(barreau)の形状をとっている。バーの一端は、チャンバの中央領域3に向けられるが、他端は、プラズマを囲むリング6からなる減速装置100の他の部分に固定されている。
本発明の別の実施形態によれば(図示せず)、減速装置100の作動部分7は、機械的な保持を目的として中間部分に固定されており、中間部分自体が、前述の実施形態で使用されるタイプのリング6に固定される。たとえば、中間部分は、支持ロッドから構成可能であり、バーまたは円板または球状とすることができる作動部分7が、この支持ロッドの先端に取り付けられる。
リング6の厚さは、作動部分を剛性保持するのに十分な厚さとしなければならないが、過度に肉厚にしてプラズマの遮断を妨げてはならない。たとえば、一般に、直径100mmのプラズマチャンバの場合、2mmから5mmの厚さが適当である。
当業者は、特に作動部分7への超高温電子の衝突時に望まれる二次電子の生成率に応じて、多少とも大型(たとえば図5のバーの直径)の作動部分7を選択する。このように生成される二次電子は、一般には低温電子である。たとえば、高温電子の数があまりに多いと認められれば、その結果として作動部分7の寸法を大きくする。
動作時には、プラズマの中央領域3のできるだけ近くに配置される作動部分7の端が、その接触時に腐食されるので、その形状が損なわれる。たとえば、一端が最初は平らであるバーから作動部分7を構成し、プラズマがこの端位置で凹形である場合、バーの端は動作中に凹形になる。
減速装置100の各種の構成部分は、様々な材料から製造可能である。
もちろん、リング6は、動作中に溶融するおそれのない材料から製造しなければならない。さらに、これらの材料は、好適には、ガスを発散してはならない。リング6は、たとえば金属製またはセラミック製(アルミナまたは酸化ジルコニウムなど)とすることができる。
支持ロッド等の中間部分を使用する場合、これらの中間部分は、リング6と同じ材料条件に従う。
さらに、作動部分7は、好適には、プラズマの高温に耐えられなければならない(作動部分7を機械的に支持するように構成された減速装置100の他の部分については、プラズマの高温部分からずっと離れており、作動部分7によりある程度まで保護されているので、この点に関してそれほど注意する必要がない)。好適には、作動部分7は、タングステン、タンタル、またはモリブデン等の耐熱材料で製造される。しかし、作動部分は、セラミック(アルミナ、酸化ジルコニウム、または酸化トリウム)で製造してもよいし、あるいは全体を金属製としてもよい。
減速装置に対して選択される材料に応じて、超高温電子の衝突時に生成される二次電子の数およびエネルギーは異なる。そのため、当業者は、必要であれば原位置で幾つかのテストを行った後で、その入用度に適した材料を選択する。
図6は、図5に示したタイプの幾つかの減速装置100を備えた、6極の半径方向閉じ込めプラズマチャンバ1の斜視図である。図6から分かるように、バー7は、望ましくない電子が流れる領域8、8’、8”に収容されている。
Claims (11)
- 一方が軸方向で他方が半径方向の二つの磁界を重ねることによって生じる磁界構成に置かれるエンクロージャを含み、電子軌道の構成が前記磁界構成に依存するECRプラズマチャンバ(1)であって、少なくとも一つの減速装置(100)を含み、減速装置(100)の位置および形状は、エネルギーが所定のエネルギーより大きい電子を前記減速装置(100)が妨害するように、前記磁界構成に応じて選択されることを特徴とする、ECRプラズマチャンバ。
- 前記減速装置(100)の位置および数は、妨害が望まれる電子のエネルギーと数とに応じて選択されることを特徴とする、請求項1に記載のECRプラズマチャンバ。
- これらの減速装置(100)の構成材料が、高エネルギー電子との衝突時に二次電子を発生する能力に応じて選択されることを特徴とする、請求項1または2に記載のECRプラズマチャンバ。
- 半径方向の磁界が2n個の極から構成され、減速装置(100)が、n個の作動部分(7)を含み、各作動部分が、電子軌道からなるn個の分枝の一つにそれぞれ配置されることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のECRプラズマチャンバ。
- 前記減速装置(100)が、少なくとも一つの作動部分(7)と、プラズマを囲むリング(6)とを含むことを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載のECRプラズマチャンバ。
- 前記作動部分(7)が、プラズマチャンバ(1)の横断面に半径方向に配置される円筒バーの形状をとり、前記バーの一端が、プラズマチャンバ(1)の中央領域(3)に向いており、バーの他端が前記リング(6)に固定されていることを特徴とする、請求項5に記載のECRプラズマチャンバ。
- 前記作動部分(7)が、支持ロッドの先端に取り付けられ、前記支持ロッド自体が前記リング(6)に固定されていることを特徴とする、請求項5に記載のECRプラズマチャンバ。
- 少なくとも一つの減速装置(100)が金属部分を含むことを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載のECRプラズマチャンバ。
- 少なくとも一つの減速装置(100)がセラミック部分を含むことを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載のECRプラズマチャンバ。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載のECRプラズマチャンバを含む、ECRイオン源。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載のECRプラズマチャンバを含む、ECRプラズマ装置。
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110111 |