JP2007329467A - Optical semiconductor device and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an optical semiconductor device having a sufficiently high productivity as well as an optical semiconductor device provided by the manufacturing method. <P>SOLUTION: The manufacturing method of an optical semiconductor device includes a light emitting element and a sealing material for sealing it. The method includes a process where a resin composition which contains photopolymerizable compound, being submerged with a light emitting element, and can cure only with irradiation of light and a transparent original plate having a surface of specified shape are arranged so that the surface of the resin composition tightly contacts with the surface of specified shape. The resin composition is exposed through the transparent original plate, so that a sealing material is acquired which is an optically transparent cured material of the resin composition, of which surface tightly contacting the surface of specified shape comes to be an outgoing surface of the light emitted from the light emitting element. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光半導体装置及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an optical semiconductor device and a method for manufacturing the same.

従来、光半導体装置として、発光ダイオード(LED)素子、フォトトランジスタ素子、フォトダイオード素子、固体撮像素子等の光半導体素子を備えたものが知られている。光半導体装置としては、例えば、図1に示す砲弾型の発光ダイオードが挙げられる。この発光ダイオード100は、リードフレーム101a、bと、リードフレーム101aに実装された発光ダイオード素子105と、リードフレーム101a、bを接続するワイヤー108と、発光ダイオード素子105及びワイヤー108を封止するようにリードフレーム101a、bの一部を被覆する封止材110とを備えている。封止材110は、透明樹脂からなる砲弾型のものである。発光ダイオード100は、封止材110の砲弾型曲面による屈折作用を利用して、発光ダイオード素子105からの光をその外部に集光した形で取り出している。   2. Description of the Related Art Conventionally, an optical semiconductor device having an optical semiconductor element such as a light emitting diode (LED) element, a phototransistor element, a photodiode element, or a solid-state imaging element is known. An example of the optical semiconductor device is a bullet-type light emitting diode shown in FIG. The light emitting diode 100 seals the lead frames 101a and 101b, the light emitting diode element 105 mounted on the lead frame 101a, the wire 108 connecting the lead frames 101a and 101b, and the light emitting diode element 105 and the wire 108. And a sealing material 110 covering a part of the lead frames 101a and 101b. The sealing material 110 is of a shell type made of a transparent resin. The light emitting diode 100 takes out the light from the light emitting diode element 105 in the form of being condensed outside by utilizing the refraction action of the shell-shaped curved surface of the sealing material 110.

一方、近年の電子機器等の小型化や配線の高密度化に伴い、砲弾型よりも小型化が可能であり、しかも光を多様な態様で取り出し可能なチップ型又は表面実装型と呼ばれる発光ダイオードが重用されている。そのチップ型の発光ダイオードの例を図2の模式断面図に示す。(a)に示す発光ダイオード200は、発光ダイオード素子205と、発光ダイオード素子205を封止するように設けられた透明な封止材210とを備えている。発光ダイオード素子205は、ケース部材207により形成されたキャビティ部202の底部に配置されている。発光ダイオード素子205は、接続層220を介してリードフレーム201aに電気的に接続されており、ワイヤー208を介してリードフレーム201bと電気的に接続されている。この発光ダイオード200において封止材210は、発光ダイオード素子205を外気から保護すると共に、蛍光体を含有(担持)する役割を主に担っている。しかし、その表面S1は平坦であるため、封止材210は、発光ダイオード素子205から発せられる光を取り出す以外に光学的な機能を有していない。   On the other hand, with recent miniaturization of electronic devices and higher density of wiring, light-emitting diodes called chip-type or surface-mount type that can be made smaller than a bullet-type and can take out light in various modes Is heavily used. An example of the chip-type light emitting diode is shown in the schematic cross-sectional view of FIG. The light emitting diode 200 shown in FIG. 1A includes a light emitting diode element 205 and a transparent sealing material 210 provided to seal the light emitting diode element 205. The light emitting diode element 205 is disposed at the bottom of the cavity 202 formed by the case member 207. The light emitting diode element 205 is electrically connected to the lead frame 201 a via the connection layer 220 and is electrically connected to the lead frame 201 b via the wire 208. In the light emitting diode 200, the sealing material 210 mainly serves to protect the light emitting diode element 205 from the outside air and to contain (carry) the phosphor. However, since the surface S1 is flat, the sealing material 210 does not have an optical function other than taking out light emitted from the light emitting diode element 205.

そこで、発光ダイオードに例えば集光機能を付す場合には、図2の(b)に示すように、発光ダイオード200における封止材210の表面上に集光機能を有する光学素子230が設けられる。光学素子230は、例えば熱可塑性樹脂の射出成形によって形成され、その後封止材210に接着される。しかしながら、この場合、封止材210と光学素子230とはその材料が異なり、かつ別々に形成されるため、屈折率の差異や界面の存在に起因して、界面における反射による光損失が生じる。また、光学素子230を成形する工程、及び成形された光学素子230を位置合わせして封止材210に接着する工程が必要となる。したがって、この方法は煩雑であり、製造に要する時間も長時間に亘るため、生産性の問題が生じる。   Therefore, when a light condensing function is added to the light emitting diode, for example, an optical element 230 having a light condensing function is provided on the surface of the sealing material 210 in the light emitting diode 200 as shown in FIG. The optical element 230 is formed by, for example, injection molding of a thermoplastic resin, and then bonded to the sealing material 210. However, in this case, the encapsulant 210 and the optical element 230 are different materials and are formed separately, so that light loss due to reflection at the interface occurs due to the difference in refractive index and the presence of the interface. Moreover, the process of shape | molding the optical element 230 and the process of aligning the shape | molded optical element 230 and adhere | attaching it on the sealing material 210 are needed. Therefore, this method is complicated, and the time required for the production is long, which causes a problem of productivity.

かかる問題を解決するために、例えば、熱硬化性樹脂を用いたトランスファー成形によって、封止材と光学部材とを一体成形する手段が検討されている。しかしながら、この手段ではトランスファー成形における成形時間及び硬化時間が冗長となり、やはり生産性の問題が残ってしまう。   In order to solve such a problem, for example, means for integrally molding a sealing material and an optical member by transfer molding using a thermosetting resin has been studied. However, with this means, molding time and curing time in transfer molding become redundant, and productivity problems still remain.

ところで、特許文献1には、発光ダイオード素子の封止に際して、紫外線硬化型樹脂組成物を用いる手法が開示されている。この文献によると、紫外線硬化型樹脂組成物は発光ダイオード素子の封止材の原料として用いられている。   By the way, Patent Document 1 discloses a method using an ultraviolet curable resin composition for sealing a light emitting diode element. According to this document, the ultraviolet curable resin composition is used as a raw material for a sealing material of a light emitting diode element.

さらには、発光ダイオード素子を封止した状態で、その封止材上に光硬化性樹脂を用いたマイクロレンズ等の光学素子を形成する方法が提案されている(例えば特許文献2参照)。この文献には、封止材上に光硬化性樹脂組成物をディスペンス法又はインクジェット法により塗布して、光硬化することによってマイクロレンズを形成する手段が記載されている。   Furthermore, a method of forming an optical element such as a microlens using a photocurable resin on the sealing material in a state where the light emitting diode element is sealed has been proposed (see, for example, Patent Document 2). This document describes means for forming a microlens by applying a photocurable resin composition on a sealing material by a dispensing method or an ink jet method, and photocuring.

また、特許文献3では、オプトエレクトロニクス素子における送光器又は受光器をカチオン性透過性材料からなる充填剤によって埋め込む手法が開示されている。この特許文献3によると、充填剤をUV照射によって部分硬化(半硬化)した後、100℃以上の熱を加えて完全硬化させている。
特開平5−198845号公報 特開2002−57372号公報 特表2004−532533号公報
Patent Document 3 discloses a technique of embedding a light transmitter or a light receiver in an optoelectronic element with a filler made of a cationic permeable material. According to Patent Document 3, after partially curing (semi-curing) the filler by UV irradiation, the filler is completely cured by applying heat of 100 ° C. or higher.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-198845 JP 2002-57372 A JP-T-2004-532533

しかしながら、特許文献1に記載の手段では、発光ダイオード素子からの光の取り出し以外に、封止材に光学機能が付されない。また、特許文献2に開示された手段によっても、生産性の問題や光損失の問題が残存する。さらに、特許文献3で提案された手法では、UV等の光の照射による部分硬化と、加熱による完全硬化の2段階の工程が必要となるため、生産性が十分とはいえない。   However, the means described in Patent Document 1 does not add an optical function to the sealing material other than taking out light from the light emitting diode element. Moreover, the problem of productivity and the problem of optical loss remain by the means disclosed in Patent Document 2. Furthermore, the technique proposed in Patent Document 3 requires two steps of partial curing by irradiation with light such as UV and complete curing by heating, so that the productivity is not sufficient.

したがって、発光素子の封止材が、その素子を封止する保護機能と、所定の表面形状を有することによる光学機能とを併せ持った光半導体装置及びそのような光半導体装置を十分に高い生産性で製造できる製造方法が望まれている。   Therefore, an optical semiconductor device in which a sealing material for a light emitting element has both a protective function for sealing the element and an optical function by having a predetermined surface shape, and such an optical semiconductor device has sufficiently high productivity. The manufacturing method which can be manufactured with this is desired.

そこで、本発明は上記事情にかんがみてなされたものであり、十分に高い生産性を有する光半導体装置の製造方法及びその製造方法により得られる光半導体装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an optical semiconductor device manufacturing method having sufficiently high productivity and an optical semiconductor device obtained by the manufacturing method.

上述の目的を達成するために、本発明は、発光素子とその発光素子を封止する封止材とを備える光半導体装置の製造方法であって、光重合性化合物を含有し発光素子を浸漬した光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物と所定形状の表面を有する透明原盤とを樹脂組成物の表面と所定形状の表面とが密着するように配置した状態で、透明原盤を介して樹脂組成物を露光することによって、樹脂組成物の光学的に透明な硬化物であり、所定形状の表面と密着した面が発光素子から発せられる光の出射面となる封止材を得る工程を有する光半導体装置の製造方法を提供する。ここで、「光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物」とは、加熱しなくても光の照射のみによって所望の硬化度が得られる樹脂組成物を意味する。   In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is a method for manufacturing an optical semiconductor device comprising a light-emitting element and a sealing material for sealing the light-emitting element, which includes a photopolymerizable compound and immerses the light-emitting element Resin through the transparent master in a state where the resin composition that can be cured only by light irradiation and the transparent master having a surface with a predetermined shape are arranged so that the surface of the resin composition and the surface with the predetermined shape are in close contact with each other By exposing the composition, there is a step of obtaining a sealing material that is an optically transparent cured product of the resin composition, and a surface that is in close contact with the surface of a predetermined shape serves as an emission surface of light emitted from the light emitting element. A method for manufacturing an optical semiconductor device is provided. Here, the “resin composition curable only by light irradiation” means a resin composition that can obtain a desired degree of curing only by light irradiation without heating.

この本発明の光半導体装置の製造方法によると、樹脂組成物の表面と透明原盤における所定形状の表面とが密着された状態で樹脂組成物が硬化される。これにより、樹脂組成物の硬化物である封止材の表面が、透明原盤表面の所定形状を忠実に転写した形状を有する。したがって、例えば屈折や回折による集光機能や散光機能、配光機能などの光学機能を封止材に付与する場合、その光学機能に応じた封止材の所望の表面形状を決定し、その表面形状を転写した形状を透明原盤表面の所定形状とすればよい。こうすることにより、封止材における発光素子から発せられる光の出射面が上述の所望の表面形状を有することができ、封止材は発光素子を封止する保護機能と、所定の表面形状を有することによる光学機能とを併せ持った封止材を備えるものとなる。   According to the method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention, the resin composition is cured in a state where the surface of the resin composition and the surface of the predetermined shape on the transparent master are in close contact with each other. Thereby, the surface of the sealing material which is a hardened | cured material of a resin composition has a shape which faithfully transferred the predetermined shape of the transparent original disk surface. Therefore, for example, when an optical function such as a light collecting function, a light scattering function, or a light distribution function by refraction or diffraction is given to the sealing material, a desired surface shape of the sealing material corresponding to the optical function is determined and the surface A shape obtained by transferring the shape may be a predetermined shape on the surface of the transparent master. By doing so, the light emission surface of the light emitting element in the sealing material can have the above-described desired surface shape, and the sealing material has a protective function for sealing the light emitting element and a predetermined surface shape. It is provided with a sealing material that has both the optical function of having it.

また、この本発明では、樹脂組成物の光硬化により、封止材に発光素子の保護機能を付与する工程及び封止材に光学機能を付与する工程が同時に行われる。したがって、本発明は、封止材と光学素子とを別々に形成する必要はなく、それらの間の位置合わせも不要となり、従来よりも工程数を減少することができる。また、光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短い。さらには、樹脂組成物が光の照射のみで硬化可能なものであるため、熱による完全硬化の工程を設ける必要がなく量産性(生産効率)に優れている。これらの結果、本発明の光半導体装置の製造方法は、十分に高い生産性を有する製造方法となる。   Moreover, in this invention, the process of providing the protective function of a light emitting element to a sealing material and the process of providing an optical function to a sealing material are performed simultaneously by photocuring of a resin composition. Therefore, according to the present invention, it is not necessary to form the sealing material and the optical element separately, and the alignment between them is not necessary, and the number of steps can be reduced as compared with the prior art. In addition, the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound. Furthermore, since the resin composition can be cured only by light irradiation, it is not necessary to provide a complete curing step by heat, and is excellent in mass productivity (production efficiency). As a result, the manufacturing method of the optical semiconductor device of the present invention is a manufacturing method having sufficiently high productivity.

さらには、この本発明に係る封止材は集光機能等の光学機能を発揮する光学素子と一体成形されていることになるため、封止材と光学素子とが別々に形成されている場合に生じる光損失を十分に防止することが可能となる。また、光硬化性樹脂の表面形状の転写性は熱硬化性樹脂よりも一般的に良好であるため、所望の表面形状を有する封止材を一層容易に得ることができる。   Furthermore, since the sealing material according to the present invention is integrally formed with an optical element that exhibits an optical function such as a light collecting function, the sealing material and the optical element are formed separately. It is possible to sufficiently prevent the optical loss that occurs in Moreover, since the transferability of the surface shape of the photocurable resin is generally better than that of the thermosetting resin, a sealing material having a desired surface shape can be obtained more easily.

本発明の光半導体装置の製造方法において、樹脂組成物は発光素子を内包するキャビティ部内に充填されていると好ましい。これにより、チップ型の光半導体装置をより効率的に作製することが可能となる。また、透明原盤が光半導体装置に不要である場合には、本発明が、封止材を得る工程の後に透明原盤を硬化物の表面から剥離する工程を更に有していてもよい。   In the method for producing an optical semiconductor device of the present invention, it is preferable that the resin composition is filled in a cavity portion containing a light emitting element. This makes it possible to more efficiently manufacture a chip-type optical semiconductor device. When the transparent master is not required for the optical semiconductor device, the present invention may further include a step of peeling the transparent master from the surface of the cured product after the step of obtaining the sealing material.

本発明の光半導体装置の製造方法は、封止材を得る工程の前に、キャビティ部に樹脂組成物を流し込む工程と、流し込まれた樹脂組成物の表面に透明原盤が有する所定形状の表面を密着する工程とを更に有していてもよい。あるいは、本発明の光半導体装置の製造方法は、透明原盤が流路を備えており、封止材を得る工程の前に、所定形状の表面をキャビティ部に対向させて、透明原盤をキャビティ部の開口部上に配置する工程と、樹脂組成物の表面が透明原盤における所定形状の表面と密着するまで流路からキャビティ部に樹脂組成物を流し込む工程とを更に有していてもよい。   The method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention includes a step of pouring a resin composition into a cavity portion before the step of obtaining a sealing material, and a surface of a predetermined shape that the transparent master has on the surface of the poured resin composition. And a step of closely adhering. Alternatively, in the method of manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, the transparent master is provided with a flow path, and the surface of the predetermined shape is opposed to the cavity before the step of obtaining the sealing material. And a step of pouring the resin composition from the flow path into the cavity until the surface of the resin composition is in close contact with the surface of the predetermined shape on the transparent master.

本発明の光半導体装置の製造方法において、発光素子が発光ダイオード素子であると好ましい。これにより、本発明による上述の作用及び効果がより有効かつ確実に発揮される。   In the method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention, the light emitting element is preferably a light emitting diode element. Thereby, the above-mentioned operation and effect of the present invention are more effectively and reliably exhibited.

また、本発明の光半導体装置の製造方法において、光重合性化合物が(メタ)アクリレート系光重合性化合物であると好ましい。(メタ)アクリレート系光重合性化合物は、その硬化物の着色のし難さ及び機械的特性のバランスが良好であるため、発光素子からの光の透過性及び耐久性等、光学機能を併せ持つ封止材としての特性により優れたものとなる。   Moreover, in the manufacturing method of the optical semiconductor device of this invention, it is preferable in a photopolymerizable compound being a (meth) acrylate type photopolymerizable compound. Since the (meth) acrylate photopolymerizable compound has a good balance between the difficulty of coloring the cured product and the mechanical properties, it has an optical function such as light transmittance and durability from the light emitting element. Excellent properties due to its properties as a stopper.

本発明は、発光素子と、その発光素子を封止する封止材と、その封止材に接着された所定形状の表面を有する光学素子とを備える光半導体装置であって、光学素子における所定形状の表面とは反対側の面は、封止材における発光素子から発せられる光の出射面に密着してなり、封止材は光重合性化合物を含有し光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物の光学的に透明な硬化物である光半導体装置を提供する。   The present invention is an optical semiconductor device comprising a light emitting element, a sealing material for sealing the light emitting element, and an optical element having a surface with a predetermined shape bonded to the sealing material. The surface opposite to the surface of the shape is in close contact with the light emitting surface of the light emitting element in the sealing material, and the sealing material contains a photopolymerizable compound and can be cured only by light irradiation. Provided is an optical semiconductor device which is an optically transparent cured product of the composition.

この本発明の光半導体装置は、封止材と光学素子との間の密着性が十分に高く、それらの間の空隙を十分に低減することができる。その結果、十分効率的に発光素子からの光を取り出すことができる。また、熱重合性化合物よりも迅速に硬化が進行する光重合性化合物が封止材の材料に採用されているため、光学機能を有する光半導体装置が十分に高い生産性で製造される。   This optical semiconductor device of the present invention has sufficiently high adhesion between the sealing material and the optical element, and can sufficiently reduce the gap between them. As a result, light from the light emitting element can be extracted sufficiently efficiently. In addition, since a photopolymerizable compound that cures more rapidly than the thermopolymerizable compound is used as the material of the sealing material, an optical semiconductor device having an optical function is manufactured with sufficiently high productivity.

この本発明の光半導体装置は、樹脂組成物の露光による硬化によって、封止材を得ると同時に封止材と光学素子とを接着してなるものであると好ましい。これによって、従来よりも光半導体装置の製造における工程数を少なくすることができる。さらに、光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短い。したがって、この本発明による光半導体装置は、従来よりも十分簡易に製造することができ、生産性を向上することができる。   The optical semiconductor device of the present invention is preferably obtained by bonding the sealing material and the optical element at the same time as obtaining the sealing material by curing the resin composition by exposure. As a result, the number of steps in the manufacture of the optical semiconductor device can be reduced as compared with the prior art. Furthermore, the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound. Therefore, the optical semiconductor device according to the present invention can be manufactured sufficiently more easily than before, and the productivity can be improved.

また、樹脂組成物の硬化によって封止材と光学素子との接着が施されていることから、それらの間の密着性がより十分に高く、空隙の発生が十分に抑制されている。したがって、更に十分効率的に発光素子からの光を取り出すことができる。   In addition, since the sealing material and the optical element are bonded by the curing of the resin composition, the adhesion between them is sufficiently higher, and the generation of voids is sufficiently suppressed. Therefore, the light from the light emitting element can be extracted more efficiently.

本発明は、発光素子と、その発光素子を封止する封止材と、所定形状の表面を有する光学素子と、封止材と光学素子とを接着した接着層とを備える光半導体装置であって、光学素子における所定形状の表面とは反対側の面は、接着層における発光素子から発せられる光の出射面に密着してなり、接着層は光重合性化合物を含有し光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物の光学的に透明な硬化物である光半導体装置を提供する。   The present invention is an optical semiconductor device including a light emitting element, a sealing material that seals the light emitting element, an optical element having a surface with a predetermined shape, and an adhesive layer that bonds the sealing material and the optical element. The surface of the optical element opposite to the surface of the predetermined shape is in close contact with the light emitting surface of the light emitting element in the adhesive layer, and the adhesive layer contains a photopolymerizable compound and is only irradiated with light. Provided is an optical semiconductor device which is an optically transparent cured product of a curable resin composition.

この本発明の光半導体装置は、封止材と接着層との間の密着性、並びに接着層と光学素子との間の密着性が十分に高く、それらの間の空隙を十分に低減することができる。その結果、十分効率的に発光素子からの光を取り出すことができる。また、熱重合性化合物よりも迅速に硬化が進行する光重合性化合物が接着層の材料に採用されているため、光学機能を有する光半導体装置が十分に高い生産性で製造される。   The optical semiconductor device of the present invention has sufficiently high adhesion between the sealing material and the adhesive layer and between the adhesive layer and the optical element, and sufficiently reduces the gap between them. Can do. As a result, light from the light emitting element can be extracted sufficiently efficiently. In addition, since a photopolymerizable compound that cures more rapidly than the thermopolymerizable compound is used as the material of the adhesive layer, an optical semiconductor device having an optical function is manufactured with sufficiently high productivity.

この本発明の光半導体装置は、上記樹脂組成物の露光による硬化によって、接着層を介して封止材と光学素子とを接着してなるものであると好ましい。光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短いため、この本発明による光半導体装置は、従来よりも十分簡易に製造することができ、生産性を向上することができる。   The optical semiconductor device of the present invention is preferably formed by adhering a sealing material and an optical element through an adhesive layer by curing the resin composition by exposure. Since the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound, the optical semiconductor device according to the present invention can be manufactured more easily than before, and the productivity can be improved. it can.

また、接着層における樹脂組成物の硬化によって、接着層を介して封止材と光学素子との接着が施されていることから、それらの間の密着性がより十分に高く、空隙の発生が十分に抑制されている。したがって、更に十分効率的に発光素子からの光を取り出すことができる。   In addition, since the sealing material and the optical element are bonded through the adhesive layer by the curing of the resin composition in the adhesive layer, the adhesion between them is sufficiently higher, and voids are generated. It is sufficiently suppressed. Therefore, the light from the light emitting element can be extracted more efficiently.

この本発明の光半導体装置において、封止材及び接着層は互いに同一種類の材料を主成分とすることが好ましい。これにより、屈折率の差異に基づく封止材と接着層との界面における光損失をより防止することができる。   In the optical semiconductor device of the present invention, it is preferable that the sealing material and the adhesive layer are mainly composed of the same type of material. Thereby, the optical loss at the interface between the sealing material and the adhesive layer based on the difference in refractive index can be further prevented.

また、本発明の光半導体装置において、封止材及び光学素子は互いに同一種類の材料を主成分とすることが好適である。こうすることで、屈折率の差異に基づく封止材と光学素子との界面における光損失、並びに、上記接着層を備え、かつ封止材及び接着層が互いに同一種類の材料を主成分とする場合の接着層と光学素子との界面における光損失を更に抑制することができる。   In the optical semiconductor device of the present invention, it is preferable that the sealing material and the optical element are composed mainly of the same type of material. By doing so, light loss at the interface between the sealing material and the optical element based on the difference in refractive index, and the adhesive layer are provided, and the sealing material and the adhesive layer are mainly composed of the same type of material. In this case, the optical loss at the interface between the adhesive layer and the optical element can be further suppressed.

本発明の光半導体装置において、発光素子が発光ダイオード素子であると好適である。これにより、本発明による上述の作用及び効果をより有効かつ確実に発揮できる。   In the optical semiconductor device of the present invention, the light emitting element is preferably a light emitting diode element. Thereby, the above-mentioned operation and effect of the present invention can be more effectively and reliably exhibited.

また、本発明の光半導体装置は、光重合性化合物が(メタ)アクリレート系光重合性化合物であると好ましい。(メタ)アクリレート系光重合性化合物は、その硬化物の着色のし難さ及び機械的特性のバランスが良好であるため、発光素子からの光の透過性及び耐久性等、光学機能を併せ持つ封止材としての特性により優れたものとなる。   In the optical semiconductor device of the present invention, the photopolymerizable compound is preferably a (meth) acrylate photopolymerizable compound. Since the (meth) acrylate photopolymerizable compound has a good balance between the difficulty of coloring the cured product and the mechanical properties, it has an optical function such as light transmittance and durability from the light emitting element. Excellent properties due to its properties as a stopper.

本発明によれば、発光素子を封止する保護機能と、所定の表面形状を有することによる光学機能とを併せ持った封止材を備える光半導体装置及びその十分簡易な製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an optical semiconductor device including a sealing material having both a protective function for sealing a light emitting element and an optical function by having a predetermined surface shape, and a sufficiently simple manufacturing method thereof. it can.

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。また、本明細書における「(メタ)アクリル」とは「アクリル」及びそれに対応する「メタクリル」を意味し、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」を意味し、「(メタ)アクリロイル」とは「アクリロイル」及びそれに対応する「メタクリロイル」を意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the positional relationship such as up, down, left and right is based on the positional relationship shown in the drawings unless otherwise specified. Further, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. In the present specification, “(meth) acryl” means “acryl” and “methacryl” corresponding thereto, “(meth) acrylate” means “acrylate” and “methacrylate” corresponding thereto, “(Meth) acryloyl” means “acryloyl” and its corresponding “methacryloyl”.

図3は、本発明の光半導体装置の製造方法に係る第1実施形態を模式的に示す工程断面図である。まず、工程(a)では、組立部材350が準備される。組立部材350は、キャビティ部302を形成するケース部材307と、キャビティ部302に内包されるように、その底部に配置された発光ダイオード素子305と、ケース部材307に組み込まれた一対のリードフレーム301a、bとを備えている。ケース部材307は、キャビティ部302に、後述する光重合性化合物を含み光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物315を保持できるような形状を有しており、キャビティ部302はその開口部分が円形になっている。発光ダイオード素子305は、導電ペースト等から形成される接続層320を介してリードフレーム301aの一端に電気的に接続されている。また、導電材料からなるワイヤー308を介して発光ダイオード素子305とリードフレーム301bの一端(端子)とが電気的に接続されている。   FIG. 3 is a process cross-sectional view schematically showing the first embodiment of the method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention. First, in step (a), an assembly member 350 is prepared. The assembly member 350 includes a case member 307 that forms the cavity portion 302, a light emitting diode element 305 that is disposed at the bottom so as to be included in the cavity portion 302, and a pair of lead frames 301 a that are incorporated in the case member 307. , B. The case member 307 has such a shape that the cavity part 302 can hold a resin composition 315 that contains a photopolymerizable compound, which will be described later, and can be cured only by light irradiation. It is circular. The light emitting diode element 305 is electrically connected to one end of the lead frame 301a via a connection layer 320 formed of a conductive paste or the like. Further, the light emitting diode element 305 and one end (terminal) of the lead frame 301b are electrically connected through a wire 308 made of a conductive material.

次に工程(b)では、キャビティ部302内に液状又はペースト状の樹脂組成物315が流し込まれ、キャビティ部302を樹脂組成物315で充填すると共に、透明原盤370が準備される。発光ダイオード素子305は、キャビティ部302への樹脂組成物315の充填により、樹脂組成物315に浸漬された状態となる。   Next, in the step (b), a liquid or paste-like resin composition 315 is poured into the cavity portion 302, the cavity portion 302 is filled with the resin composition 315, and a transparent master 370 is prepared. The light emitting diode element 305 is immersed in the resin composition 315 by filling the cavity portion 302 with the resin composition 315.

透明原盤370は、平板状の基板部370bと、その基板部370bの主面に形成されてなる転写部370aとから構成されており、これらは一体成形されている。転写部370aの表面形状は凸レンズ状になっており、その基板部370bとの接続部分は、キャビティ部302の開口部分と同じ直径、又はそれよりもやや大きな直径を有する円形をなしている。このような透明原盤370の形状は、化学的エッチング、物理的エッチング、切削等によって形成可能である。透明原盤370の材料としては、樹脂組成物315を硬化するための光を透過可能なものであればよく、石英ガラス等の透明性及び機械特性に優れた原盤が好ましい。また、透明原盤370は、後述する封止材310からの剥離を容易にするため、転写部370aの表面に離型処理が施されたものであることが好ましい。   The transparent master 370 includes a flat substrate portion 370b and a transfer portion 370a formed on the main surface of the substrate portion 370b, which are integrally formed. The surface shape of the transfer portion 370a is a convex lens shape, and the connection portion with the substrate portion 370b has a circular shape having the same diameter as the opening portion of the cavity portion 302 or a slightly larger diameter. Such a shape of the transparent master 370 can be formed by chemical etching, physical etching, cutting, or the like. The material of the transparent master 370 may be any material that can transmit light for curing the resin composition 315, and a master having excellent transparency and mechanical properties such as quartz glass is preferable. In addition, the transparent master 370 is preferably one in which the surface of the transfer portion 370a has been subjected to a mold release process in order to facilitate peeling from a sealing material 310 described later.

続いて、工程(c)では、透明原盤370を組立部材350上に配置して、透明原盤370を介して樹脂組成物315に光Pを照射して露光する。透明原盤370の配置の際は、その転写部370aがキャビティ部302の開口部分を覆うようにして、基板部370bとケース部材307の上端とを、又はキャビティ部302の開口部分の周縁と転写部370aとを当接させて配置する。これにより、樹脂組成物315は組立部材350及び透明原盤370により封入されると共に、転写部370aの表面が樹脂組成物315の表面に密着した状態となる。   Subsequently, in step (c), the transparent master 370 is disposed on the assembly member 350, and the resin composition 315 is irradiated with light P through the transparent master 370 to be exposed. When the transparent master 370 is disposed, the transfer portion 370a covers the opening portion of the cavity portion 302 so that the substrate portion 370b and the upper end of the case member 307, or the periphery of the opening portion of the cavity portion 302 and the transfer portion. 370a is placed in contact. Thereby, the resin composition 315 is enclosed by the assembly member 350 and the transparent master 370, and the surface of the transfer portion 370a is in close contact with the surface of the resin composition 315.

樹脂組成物315は、露光によって硬化し、封止材310をなす。この際、封止材310の表面S3と、透明原盤370の転写部370a表面とは密着した状態にあり、界面をなしているため、封止材310の表面S3は、転写部370aの凸レンズ状の表面形状に対して転写した形状である凹レンズ状の形状をなす。露光に用いられる光Pの光源としては、樹脂組成物315を硬化可能なものであれば特に限定されない。好適な光源としては、例えば、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、スーパーメタルハライドランプ等の樹脂組成物に含まれる光ラジカル重合開始剤の吸収波長に対応する、近紫外光線の光源が挙げられる。   The resin composition 315 is cured by exposure to form the sealing material 310. At this time, since the surface S3 of the sealing material 310 and the surface of the transfer portion 370a of the transparent master 370 are in close contact with each other and form an interface, the surface S3 of the sealing material 310 has a convex lens shape of the transfer portion 370a. A concave lens-like shape which is a transferred shape with respect to the surface shape of the lens. The light source of light P used for exposure is not particularly limited as long as the resin composition 315 can be cured. As a suitable light source, for example, a near ultraviolet light source corresponding to the absorption wavelength of a radical photopolymerization initiator contained in a resin composition such as an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or a super metal halide lamp can be cited.

好適な露光の条件は、光源、光ラジカル重合開始剤の添加量や樹脂組成等に依存するため、一義的に決定されない。例えば、光源として超高圧水銀ランプを適用した場合、照度11.6mW/cmで積算露光量としては1000〜4000mJ/cmであると好ましく、2000〜3000mJ/cmであるとより好ましい。 Suitable exposure conditions are not uniquely determined because they depend on the light source, the amount of radical photopolymerization initiator added, the resin composition, and the like. For example, when applying an ultra-high pressure mercury lamp as the light source, preferable to be 1000~4000mJ / cm 2 is accumulative exposure illuminance 11.6 mW / cm 2, more preferably a 2000~3000mJ / cm 2.

また、露光によって硬化する樹脂組成物315の硬化度は、所望とする封止材310の物性、例えば弾性率やガラス転移温度が得られる程度であればよい。この硬化度は、硬化物である封止材310中に残存する光重合性化合物の含有量から導出される。例えば、光重合性化合物が(メタ)アクリレートである場合、赤外吸収スペクトルにおける(メタ)アクリレートの二重結合に基づく吸収ピークの強度から、硬化物中の(メタ)アクリレートの含有量を規格化して、硬化度を導出することができる。この硬化物中の(メタ)アクリレートの含有量は、硬化前の(メタ)アクリレートの全量に対して5%以下であると好ましく、3%以下であるとより好ましい。   In addition, the degree of cure of the resin composition 315 that is cured by exposure may be such that a desired physical property of the sealing material 310, for example, an elastic modulus and a glass transition temperature can be obtained. This degree of cure is derived from the content of the photopolymerizable compound remaining in the encapsulant 310 that is a cured product. For example, when the photopolymerizable compound is (meth) acrylate, the content of (meth) acrylate in the cured product is normalized from the intensity of the absorption peak based on the double bond of (meth) acrylate in the infrared absorption spectrum. Thus, the degree of cure can be derived. The content of (meth) acrylate in the cured product is preferably 5% or less and more preferably 3% or less with respect to the total amount of (meth) acrylate before curing.

そして、工程(d)では、透明原盤370を封止材310から剥離して、組立部材350におけるキャビティ部302に封止材310が充填されてなる発光ダイオード300が得られる。   In the step (d), the transparent master 370 is peeled off from the sealing material 310 to obtain the light emitting diode 300 in which the cavity 302 in the assembly member 350 is filled with the sealing material 310.

この第1実施形態の製造方法によると、樹脂組成物315の表面と透明原盤370の転写部370aの表面とが密着された状態で樹脂組成物315が硬化される。これにより、封止材310の表面S3は、転写部370a表面の形状(凸レンズ状)を忠実に転写されて形成されるため、所望通りの形状(凹レンズ状)を有することができる。したがって、封止材310の光学機能(散光機能)は設計通りのものとなる。   According to the manufacturing method of the first embodiment, the resin composition 315 is cured in a state where the surface of the resin composition 315 and the surface of the transfer portion 370a of the transparent master 370 are in close contact with each other. Accordingly, the surface S3 of the sealing material 310 is formed by faithfully transferring the shape (convex lens shape) of the surface of the transfer portion 370a, and thus can have a desired shape (concave lens shape). Therefore, the optical function (scattering function) of the sealing material 310 is as designed.

また、この第1実施形態の製造方法によると、樹脂組成物315の光硬化により、封止材310に発光ダイオード素子305の保護機能を付与する工程、並びに封止材310に光学機能を付与する工程が同時に行われる。したがって、この実施形態では、封止材310は光学素子としての機能も兼ね備えており、光学素子を別に形成する必要はないため、位置合わせの工程が不要となり、従来よりも工程数を減少することができる。また、光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短い。これらの結果、第1実施形態の製造方法は、十分に生産性の高い製造方法となる。   Further, according to the manufacturing method of the first embodiment, the step of imparting a protective function of the light emitting diode element 305 to the encapsulant 310 and the optical function of the encapsulant 310 by photocuring the resin composition 315. The process is performed simultaneously. Therefore, in this embodiment, the sealing material 310 also has a function as an optical element, and it is not necessary to form the optical element separately. Therefore, an alignment process is not necessary, and the number of processes is reduced as compared with the prior art. Can do. In addition, the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound. As a result, the manufacturing method according to the first embodiment is a manufacturing method with sufficiently high productivity.

さらには、この実施形態に係る封止材310は光学素子と一体成形されていることになるため、封止材と光学素子とが別々に形成されている場合に生じる光損失を十分に防止することが可能となる。また、樹脂組成物315が発光ダイオード素子305を内包するキャビティ部302内に直接充填されて、その状態で硬化して封止材310をなすので、チップ型の発光ダイオード300をより効率的に作製することが可能となる。   Furthermore, since the sealing material 310 according to this embodiment is formed integrally with the optical element, it sufficiently prevents light loss that occurs when the sealing material and the optical element are formed separately. It becomes possible. In addition, since the resin composition 315 is directly filled in the cavity 302 containing the light-emitting diode element 305 and cured in that state to form the sealing material 310, the chip-type light-emitting diode 300 is more efficiently manufactured. It becomes possible to do.

この第1実施形態の製造方法は、封止材の表面形状が凹レンズ状の場合のみでなく、封止材に屈折格子や回折格子の機能を付与したい場合、あるいは、凹レンズ状以外の凹面を形成する場合に、特に好適に用いられる。   In the manufacturing method of the first embodiment, not only when the surface shape of the sealing material is a concave lens shape, but also when a function of a refractive grating or a diffraction grating is added to the sealing material, or a concave surface other than the concave lens shape is formed. In this case, it is particularly preferably used.

図4は、本発明の光半導体装置の製造方法に係る第2実施形態を模式的に示す工程断面図である。まず、工程(a)では、第1実施形態と同様の組立部材350が準備される。 次に工程(b)では、透明原盤470が準備される。透明原盤470は、平板状の基板部470bに円形凹レンズ状の表面を有する窪みである転写部470aを設けたものである。また基板部470bには、その側面から転写部470aに亘る流路470cが設けられている。透明原盤470の材料及び形成方法は、第1実施形態の透明原盤370と同様のものを採用できる。   FIG. 4 is a process sectional view schematically showing a second embodiment of the method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention. First, in step (a), an assembly member 350 similar to that of the first embodiment is prepared. Next, in the step (b), a transparent master 470 is prepared. The transparent master 470 is obtained by providing a transfer portion 470a which is a depression having a surface of a circular concave lens shape on a flat substrate portion 470b. The substrate portion 470b is provided with a flow path 470c extending from the side surface to the transfer portion 470a. The material and forming method of the transparent master 470 can be the same as those of the transparent master 370 of the first embodiment.

続いて、工程(c)では、透明原盤470を組立部材350上に配置して、後述する光重合性化合物を含み光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物315を流し込む。透明原盤470の配置の際は、その転写部470aがキャビティ部302の開口部分を覆うようにして、基板部470bとケース部材307の上端とを当接させて配置する。   Subsequently, in the step (c), the transparent master 470 is disposed on the assembly member 350, and a resin composition 315 containing a photopolymerizable compound described later and curable only by light irradiation is poured. When the transparent master 470 is disposed, the substrate portion 470b and the upper end of the case member 307 are in contact with each other so that the transfer portion 470a covers the opening portion of the cavity portion 302.

樹脂組成物315の流し込みにおいては、液状又はペースト状の樹脂組成物315が、流路470cを通じてキャビティ部302及び転写部470aにより包囲された空間内に流し込まれ、その空間を樹脂組成物315で充填する。これにより、樹脂組成物315は組立部材350及び透明原盤470により封入され、発光ダイオード素子305を浸漬すると共に、転写部470aの表面が樹脂組成物315の表面に密着した状態となる。   In the pouring of the resin composition 315, the liquid or paste-like resin composition 315 is poured into the space surrounded by the cavity portion 302 and the transfer portion 470a through the flow path 470c, and the space is filled with the resin composition 315. To do. As a result, the resin composition 315 is enclosed by the assembly member 350 and the transparent master 470, so that the light emitting diode element 305 is immersed, and the surface of the transfer portion 470a is in close contact with the surface of the resin composition 315.

次いで工程(d)では、透明原盤470を介して樹脂組成物315に光Pを照射して露光する。樹脂組成物315は、露光によって硬化し、封止材410をなす。この際、封止材410の表面S4と、透明原盤470の転写部470a表面とは密着した状態にあり、界面をなしているため、封止材410の表面S4は、転写部470aの凹レンズ状の表面形状に対して転写した形状である凸レンズ状の形状をなす。露光に用いられる光Pの光源としては、第1実施形態におけるものと同様の光源を採用することができる。   Next, in the step (d), the resin composition 315 is irradiated with light P through the transparent master 470 to be exposed. The resin composition 315 is cured by exposure to form the sealing material 410. At this time, since the surface S4 of the sealing material 410 and the surface of the transfer portion 470a of the transparent master 470 are in close contact with each other and form an interface, the surface S4 of the sealing material 410 has a concave lens shape of the transfer portion 470a. A convex lens-like shape which is a transferred shape with respect to the surface shape. As the light source of the light P used for exposure, the same light source as that in the first embodiment can be adopted.

そして、工程(e)では、透明原盤470を封止材410から剥離して、組立部材350におけるキャビティ部302に封止材410が充填されてなる発光ダイオード400が得られる。   Then, in the step (e), the transparent master 470 is peeled from the sealing material 410 to obtain the light emitting diode 400 in which the cavity portion 302 in the assembly member 350 is filled with the sealing material 410.

この第2実施形態の製造方法によると、樹脂組成物315の表面と透明原盤470の転写部470aの表面とが密着された状態で樹脂組成物315が硬化される。これにより、封止材410の表面S4は、転写部470a表面の形状(凹レンズ状)を忠実に転写されて形成されるため、所望通りの形状(凸レンズ状)を有することができる。したがって、封止材410の光学機能(散光機能)は設計通りのものとなる。   According to the manufacturing method of the second embodiment, the resin composition 315 is cured in a state where the surface of the resin composition 315 and the surface of the transfer portion 470a of the transparent master 470 are in close contact with each other. Accordingly, the surface S4 of the sealing material 410 is formed by faithfully transferring the shape (concave lens shape) of the surface of the transfer portion 470a, and thus can have a desired shape (convex lens shape). Therefore, the optical function (scattering function) of the sealing material 410 is as designed.

また、この第2実施形態の製造方法によると、樹脂組成物315の光硬化により、封止材410に発光ダイオード素子305の保護機能を付与する工程、並びに封止材410に光学機能を付与する工程が同時に行われる。したがって、この実施形態では、封止材410は光学素子としての機能も兼ね備えており、光学素子を別に形成する必要はないため、位置合わせの工程が不要となり、従来よりも工程数を減少することができる。また、光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短い。これらの結果、第2実施形態の製造方法は、十分に生産性の高い製造方法となる。   Further, according to the manufacturing method of the second embodiment, the step of imparting the protective function of the light emitting diode element 305 to the encapsulant 410 and the optical function of the encapsulant 410 by photocuring the resin composition 315. The process is performed simultaneously. Therefore, in this embodiment, the sealing material 410 also has a function as an optical element, and it is not necessary to form the optical element separately. Therefore, an alignment process is not required, and the number of processes is reduced as compared with the prior art. Can do. In addition, the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound. As a result, the manufacturing method of the second embodiment is a manufacturing method with sufficiently high productivity.

さらには、この実施形態に係る封止材410は光学素子と一体成形されていることになるため、封止材と光学素子とが別々に形成されている場合に生じる光損失を十分に防止することが可能となる。また、樹脂組成物315は発光ダイオード素子305を内包するキャビティ部302内に充填されるので、チップ型の発光ダイオード400をより効率的に作製することが可能となる。   Furthermore, since the sealing material 410 according to this embodiment is integrally formed with the optical element, it sufficiently prevents light loss that occurs when the sealing material and the optical element are formed separately. It becomes possible. Further, since the resin composition 315 is filled in the cavity 302 containing the light-emitting diode element 305, the chip-type light-emitting diode 400 can be manufactured more efficiently.

この第2実施形態の製造方法は、封止材の表面形状が凸レンズ状の場合のみでなく、凸レンズ状以外の凸面を形成する場合に、特に好適に用いられる。   The manufacturing method of the second embodiment is particularly preferably used not only when the surface shape of the sealing material is a convex lens shape but also when a convex surface other than the convex lens shape is formed.

以上説明した第1及び第2実施形態は、光半導体素子としての発光ダイオード素子の封止と光学素子の作製とを同時に行うものである。   In the first and second embodiments described above, the sealing of the light emitting diode element as the optical semiconductor element and the production of the optical element are performed simultaneously.

図5は、本発明の光半導体装置の製造方法に係る第3実施形態を模式的に示す工程断面図である。まず、工程(a)では、第1実施形態と同様の組立部材350が準備される。   FIG. 5 is a process cross-sectional view schematically showing a third embodiment of the method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention. First, in step (a), an assembly member 350 similar to that of the first embodiment is prepared.

次に工程(b)では、キャビティ部302内に、後述する光重合性化合物を含み光の照射のみで硬化可能な液状又はペースト状の樹脂組成物315が流し込まれ、キャビティ部302を樹脂組成物315で充填する。   Next, in the step (b), a liquid or paste-like resin composition 315 containing a photopolymerizable compound, which will be described later, that can be cured only by light irradiation is poured into the cavity portion 302, and the cavity portion 302 is formed into the resin composition. Fill with 315.

続いて工程(c)では、キャビティ部302内に充填された樹脂組成物315の表面上に光学素子580を載置する。光学素子580としては、従来の光半導体装置に用いられているものであれば特に限定されず、例えば、凹レンズ、凸レンズ、マイクロレンズ、並びにフレネルレンズのような屈折又は回折格子が設けられたものが挙げられる。また、光学素子580は、その端部をケース部材307に載置できるような寸法を有すると好ましい。   Subsequently, in the step (c), the optical element 580 is placed on the surface of the resin composition 315 filled in the cavity portion 302. The optical element 580 is not particularly limited as long as it is used in a conventional optical semiconductor device. For example, an optical element 580 provided with a refraction or diffraction grating such as a concave lens, a convex lens, a microlens, and a Fresnel lens. Can be mentioned. Moreover, it is preferable that the optical element 580 has a dimension such that an end portion thereof can be placed on the case member 307.

光学素子580の材料は、樹脂組成物315の露光に用いられる光Pを透過可能であり、かつ所望の光学機能を有効に発揮できるものであれば特に限定されない。光学素子580の材料が硬化性樹脂組成物である場合、光硬化によって作製されたものであってもよく、熱硬化によって作製されたものであってもよい。ただし、光学素子580は、後述する封止材510と同一種類の材料を主成分とすることが好適である。こうすることで、屈折率の差異に基づく封止材510と光学素子580との界面における光損失を更に有効に抑制することができる。   The material of the optical element 580 is not particularly limited as long as it can transmit the light P used for exposure of the resin composition 315 and can effectively exhibit a desired optical function. When the material of the optical element 580 is a curable resin composition, it may be produced by photocuring or may be produced by thermosetting. However, the optical element 580 is preferably composed mainly of the same type of material as that of the sealing material 510 described later. By so doing, light loss at the interface between the sealing material 510 and the optical element 580 based on the difference in refractive index can be more effectively suppressed.

光学素子580の材料としては、例えば、PMMAのような(メタ)アクリル樹脂、シクロオレフィン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。   Examples of the material of the optical element 580 include (meth) acrylic resin such as PMMA, cycloolefin resin, epoxy resin, urethane resin, and silicone resin. These are used singly or in combination of two or more.

そして、工程(d)では、光学素子580を介して樹脂組成物315に光Pを照射して露光することによって、樹脂組成物315は硬化し、封止材510をなす。こうして、組立部材350におけるキャビティ部302に封止材510が充填されてなり、更に封止材上に光学素子580が設けられた発光ダイオード500が得られる。露光に用いられる光Pの光源としては、第1実施形態におけるものと同様の光源を採用することができる。   In the step (d), the resin composition 315 is exposed to light P through the optical element 580 and exposed to light, whereby the resin composition 315 is cured and forms the sealing material 510. In this way, the light emitting diode 500 in which the cavity portion 302 in the assembly member 350 is filled with the sealing material 510 and the optical element 580 is further provided on the sealing material is obtained. As the light source of the light P used for exposure, the same light source as that in the first embodiment can be adopted.

この第3実施形態の製造方法により得られた発光ダイオード500は、封止材510と光学素子580との間の密着性が十分に高く、それらの間の空隙を十分に低減することができる。さらには、樹脂組成物315の硬化によって封止材510と光学素子580との接着が施されていることから、それらの間の密着性が特に高く、空隙の発生が特に十分に抑制されている。その結果、極めて十分効率的に発光ダイオード素子305からの光を取り出すことができる。   The light emitting diode 500 obtained by the manufacturing method of the third embodiment has sufficiently high adhesion between the sealing material 510 and the optical element 580, and can sufficiently reduce the gap between them. Furthermore, since the sealing material 510 and the optical element 580 are bonded by curing the resin composition 315, the adhesion between them is particularly high, and the generation of voids is particularly sufficiently suppressed. . As a result, light from the light emitting diode element 305 can be extracted very sufficiently efficiently.

また、発光ダイオード500は、樹脂組成物315の硬化によって、封止材510を得ると同時に封止材510と光学素子580との接着がなされている。これによって、従来よりも発光ダイオードの製造における工程数を少なくすることができる。さらに、光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短い。したがって、この実施形態による発光ダイオード500は、従来よりも十分簡易に製造することができ、生産性を十分に向上することができる。   Further, in the light emitting diode 500, the sealing material 510 is obtained by curing the resin composition 315, and at the same time, the sealing material 510 and the optical element 580 are bonded. As a result, the number of steps in manufacturing the light emitting diode can be reduced as compared with the conventional case. Furthermore, the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound. Therefore, the light emitting diode 500 according to this embodiment can be manufactured more easily than in the past, and the productivity can be sufficiently improved.

以上説明した第3実施形態は、光半導体素子としての発光ダイオード素子の封止と光学素子及び封止材間の接着とを同時に行うものである。   In the third embodiment described above, the sealing of the light emitting diode element as the optical semiconductor element and the bonding between the optical element and the sealing material are performed simultaneously.

図6は、本発明の光半導体装置の製造方法に係る第4実施形態を模式的に示す工程断面図である。まず、工程(a)では、第1実施形態と同様の組立部材350が準備される。次に工程(b)では、第3実施形態と同様にキャビティ部302を、光重合性化合物を含み光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物315で充填した後、その樹脂組成物315を露光して封止材610を得る。この露光に用いられる光の光源としては、第1実施形態における光Pと同様の光源を採用することができる。   FIG. 6 is a process cross-sectional view schematically showing a fourth embodiment of the method for manufacturing an optical semiconductor device of the present invention. First, in step (a), an assembly member 350 similar to that of the first embodiment is prepared. Next, in step (b), the cavity portion 302 is filled with a resin composition 315 that contains a photopolymerizable compound and can be cured only by light irradiation, and then the resin composition 315 is exposed. Thus, the sealing material 610 is obtained. As the light source used for this exposure, the same light source as the light P in the first embodiment can be used.

続いて工程(c)では、キャビティ部302内に充填された封止材610の表面上に液状の接着層690を形成した後、更にその上に光学素子680をこの順で載置する。光学素子680としては、第3実施形態における光学素子580と同様のものを採用できる。   Subsequently, in step (c), after a liquid adhesive layer 690 is formed on the surface of the sealing material 610 filled in the cavity portion 302, the optical element 680 is further placed thereon in this order. As the optical element 680, the same optical element as the optical element 580 in the third embodiment can be adopted.

接着層690の材料は光重合性化合物を含有し光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物であって、かつ露光前後に関わらず光Pを透過可能であれば特に限定されない。ただし、接着層690の材料は、後述する封止材610の材料すなわち樹脂組成物315、あるいは光学素子680の材料と同一種類の材料を主成分とすると好ましい。これにより、屈折率の差異に基づく封止材610と硬化後の接着層695との間、あるいは光学素子680と硬化後の接着層695との界面における光損失をより有効に防止することができる。同様の観点から、硬化後の接着層695、封止材610及び光学素子680が互いに同一種類の材料を主成分とすることがより好適である。   The material of the adhesive layer 690 is not particularly limited as long as it is a resin composition that contains a photopolymerizable compound and can be cured only by light irradiation, and can transmit the light P regardless of before and after exposure. However, the material of the adhesive layer 690 is preferably composed mainly of the same material as the material of the sealing material 610 described later, that is, the resin composition 315 or the optical element 680. Thereby, it is possible to more effectively prevent light loss between the sealing material 610 based on the difference in refractive index and the cured adhesive layer 695 or at the interface between the optical element 680 and the cured adhesive layer 695. . From the same viewpoint, it is more preferable that the cured adhesive layer 695, the sealing material 610, and the optical element 680 have the same kind of materials as the main components.

接着層690の材料としては、例えば、樹脂組成物315の材料と同じ材料が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。   Examples of the material of the adhesive layer 690 include the same material as the material of the resin composition 315. These are used singly or in combination of two or more.

そして、工程(d)では、光学素子680を介して液状の接着層690に光Pを照射して露光する。これによって、液状の接着層690は硬化して硬化後の接着層695をなし、接着層695は封止材610及び光学素子680間を接着する。こうして、組立部材350におけるキャビティ部302に封止材610が充填されてなり、更に封止材610上に接着層695及び光学素子680がこの順で設けられた発光ダイオード600が得られる。露光に用いられる光Pの光源としては、第1実施形態におけるものと同様の光源を採用することができる。   In step (d), the liquid adhesive layer 690 is irradiated with light P through the optical element 680 to be exposed. As a result, the liquid adhesive layer 690 is cured to form a cured adhesive layer 695, and the adhesive layer 695 bonds between the sealing material 610 and the optical element 680. Thus, the light emitting diode 600 in which the cavity portion 302 in the assembly member 350 is filled with the sealing material 610 and the adhesive layer 695 and the optical element 680 are further provided in this order on the sealing material 610 is obtained. As the light source of the light P used for exposure, the same light source as that in the first embodiment can be adopted.

この第4実施形態の製造方法により得られた発光ダイオード600は、封止材610と接着層695との間の密着性、並びに接着層695と光学素子680との間の密着性が十分に高く、それらの間の空隙を十分に低減することができる。さらには、接着層690における樹脂組成物の硬化によって、硬化後の接着層695を介して封止材610と光学素子680との接着が施されていることから、それらの間の密着性が特に高く、空隙の発生が特に十分に抑制されている。その結果、極めて十分効率的に発光ダイオード素子305からの光を取り出すことができる。   The light emitting diode 600 obtained by the manufacturing method according to the fourth embodiment has sufficiently high adhesion between the sealing material 610 and the adhesive layer 695 and between the adhesive layer 695 and the optical element 680. The space between them can be sufficiently reduced. Further, since the sealing material 610 and the optical element 680 are bonded via the cured adhesive layer 695 by the curing of the resin composition in the adhesive layer 690, the adhesion between them is particularly good. The generation of voids is particularly sufficiently suppressed. As a result, light from the light emitting diode element 305 can be extracted very sufficiently efficiently.

また、光重合性化合物の硬化時間は、概して熱重合性化合物の硬化時間よりも短いため、この発光ダイオード600の製造方法によると、従来よりも十分簡易に製造することができ、生産性を十分に向上することができる。   In addition, since the curing time of the photopolymerizable compound is generally shorter than the curing time of the thermally polymerizable compound, according to the method for manufacturing the light-emitting diode 600, the light-emitting diode 600 can be manufactured more easily than before, and the productivity is sufficiently high. Can be improved.

上述の第1、第2、第3及び第4実施形態において用いられる樹脂組成物315は、光の照射のみで硬化して樹脂を形成するものであり、下記の樹脂組成物であると好ましい。すなわち、本発明の好適な実施形態に係る樹脂組成物は、光重合性化合物とその硬化剤である光ラジカル重合開始剤とを含有する。   The resin composition 315 used in the first, second, third, and fourth embodiments described above is a resin that cures only by light irradiation to form a resin, and is preferably the following resin composition. That is, the resin composition according to a preferred embodiment of the present invention contains a photopolymerizable compound and a photo radical polymerization initiator that is a curing agent thereof.

光重合性化合物は、光重合による硬化が可能であって、硬化後に優れた透光性及び機械特性を有するものであれば特に限定されない。かかる光重合性化合物としては、例えば、(メタ)アクリレート系光重合性化合物及びエポキシ系光重合性化合物が挙げられる。これらの中では、光学特性に優れている観点から、(メタ)アクリレート系光重合性化合物が好ましい。(メタ)アクリレート系光重合性化合物としては、(メタ)アクリレート単量体及び(メタ)アクリレート系の重合反応性オリゴマー、並びにそれらの混合物が好ましい。   The photopolymerizable compound is not particularly limited as long as it can be cured by photopolymerization and has excellent translucency and mechanical properties after curing. Examples of such photopolymerizable compounds include (meth) acrylate photopolymerizable compounds and epoxy photopolymerizable compounds. Among these, a (meth) acrylate photopolymerizable compound is preferable from the viewpoint of excellent optical characteristics. As the (meth) acrylate-based photopolymerizable compound, a (meth) acrylate monomer, a (meth) acrylate-based polymerization reactive oligomer, and a mixture thereof are preferable.

(メタ)アクリレート単量体としては、単官能の(メタ)アクリレート、多官能の(メタ)アクリレート、エポキシ基等の官能基を有する(メタ)アクリレート化合物、及びエステル末端にシロキサン構造を含む置換基を有する(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。   As the (meth) acrylate monomer, a monofunctional (meth) acrylate, a polyfunctional (meth) acrylate, a (meth) acrylate compound having a functional group such as an epoxy group, and a substituent containing a siloxane structure at the ester terminal (Meth) acrylate compounds having These are used singly or in combination of two or more.

また、本発明の別の好適な実施形態に係る樹脂組成物は、(A)エステル末端にシロキサン構造を含む置換基を有するモノ(メタ)アクリレート(以下、場合により「(A)成分」という)と、(B)ポリオルガノシロキサン骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(以下、場合により「(B)成分」という)と、(C)非シリコーン系(メタ)アクリレート(以下、場合により「(C)成分」という)と、(D)ラジカル重合開始剤(以下、場合により「(D)成分」という)と、を含有するものであると好ましい。このような樹脂組成物は光照射によって十分硬化する樹脂組成物である。   In addition, the resin composition according to another preferred embodiment of the present invention includes (A) a mono (meth) acrylate having a substituent containing a siloxane structure at the ester end (hereinafter, sometimes referred to as “component (A)”). (B) a polyfunctional (meth) acrylate having a polyorganosiloxane skeleton (hereinafter sometimes referred to as “component (B)”) and (C) a non-silicone (meth) acrylate (hereinafter sometimes referred to as “(C) ) Component ”and (D) a radical polymerization initiator (hereinafter, sometimes referred to as“ (D) component ”). Such a resin composition is a resin composition that is sufficiently cured by light irradiation.

(A)成分であるエステル末端にシロキサン構造を含む置換基を有するモノ(メタ)アクリレートとしては、特に限定されないが、下記一般式(1)で表される化合物であることが好ましい。

Figure 2007329467
ここで、式(1)中、R、R及びRは各々独立に水素原子、炭素数1〜9のアルキル基、アリール基又はトリメチルシロキシ基を示し、Rは水素原子又はメチル基を示し、mは0〜10の整数を示す。なお、R、R及びRのうちの少なくとも1つはトリメチルシロキシ基を示す。 Although it does not specifically limit as mono (meth) acrylate which has a substituent which contains a siloxane structure in the ester terminal which is (A) component, It is preferable that it is a compound represented by following General formula (1).
Figure 2007329467
Here, in formula (1), R 1 , R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 9 carbon atoms, an aryl group or a trimethylsiloxy group, and R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group. M represents an integer of 0 to 10. Note that at least one of R 1 , R 2 and R 3 represents a trimethylsiloxy group.

上記一般式(1)で表されるモノ(メタ)アクリレートとしては、例えば、(3−アクリロキシプロピル)トリス(トリメチルシロキシ)シラン、(3−メタクリロキシプロピル)トリス(トリメチルシロキシ)シラン、(3−アクリロキシプロピル)メチルビス(トリメチルシロキシ)シラン、(3−メタクリロキシプロピル)メチルビス(トリメチルシロキシ)シラン等が挙げられ、中でも(3−メタクリロキシプロピル)トリス(トリメチルシロキシ)シランが好ましい。   Examples of the mono (meth) acrylate represented by the general formula (1) include (3-acryloxypropyl) tris (trimethylsiloxy) silane, (3-methacryloxypropyl) tris (trimethylsiloxy) silane, (3 -Acryloxypropyl) methylbis (trimethylsiloxy) silane, (3-methacryloxypropyl) methylbis (trimethylsiloxy) silane, and the like. Among them, (3-methacryloxypropyl) tris (trimethylsiloxy) silane is preferable.

(B)成分であるポリオルガノシロキサン骨格を有する多官能(メタ)アクリレートとしては、特に限定されないが、ポリオルガノシロキサン主鎖の両末端に(メタ)アクリロイル基を有するジ(メタ)アクリレートであることが好ましく、その分子量(重量平均分子量)は200〜7000であることが好ましい。上記ジ(メタ)アクリレートの分子量が200未満であると、ポリオルガノシロキサンの導入による硬化物の機械特性の向上効果が小さい傾向があり、分子量が7000を超えると、(C)非シリコーン系(メタ)アクリレートとの相溶性が低下し、硬化物の透明性が低下する傾向がある。   (B) Although it does not specifically limit as polyfunctional (meth) acrylate which has the polyorganosiloxane frame | skeleton which is a component, It should be di (meth) acrylate which has a (meth) acryloyl group at both ends of a polyorganosiloxane main chain. The molecular weight (weight average molecular weight) is preferably 200 to 7000. When the molecular weight of the di (meth) acrylate is less than 200, the effect of improving the mechanical properties of the cured product due to the introduction of polyorganosiloxane tends to be small. When the molecular weight exceeds 7000, (C) a non-silicone (meta) ) Compatibility with acrylate is reduced, and the transparency of the cured product tends to be reduced.

(C)成分である非シリコーン系(メタ)アクリレートとしては、特に限定されないが、エステル末端にエポキシ基を含む置換基を有するモノ(メタ)アクリレートを含有することが好ましい。エステル末端にエポキシ基を含む置換基を有するモノ(メタ)アクリレートとしては、例えば、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート、1,4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等が挙げられ、中でもグリシジルメタクリレートが好ましい。   Although it does not specifically limit as (C) component non-silicone type | system | group (meth) acrylate, It is preferable to contain the mono (meth) acrylate which has a substituent containing an epoxy group in the ester terminal. Examples of mono (meth) acrylate having a substituent containing an epoxy group at the ester terminal include glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, and 1,4-hydroxybutyl acrylate. A glycidyl ether etc. are mentioned, A glycidyl methacrylate is especially preferable.

また、(C)非シリコーン系(メタ)アクリレートは、エステル末端にエポキシ基を含む置換基を有しないモノ(メタ)アクリレートを含んでいてもよい。エステル末端にエポキシ基を含む置換基を有しないモノ(メタ)アクリレートとしては、例えば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレート、イソボルニルアクリレート等が挙げられる。これらは一種を単独で又は二種類以上を組み合わせて使用することができる。   Further, (C) the non-silicone (meth) acrylate may contain a mono (meth) acrylate having no substituent containing an epoxy group at the ester terminal. Examples of the mono (meth) acrylate having no substituent containing an epoxy group at the ester terminal include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, and benzyl. Examples include methacrylate, isobornyl methacrylate, n-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, and isobornyl acrylate. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また、(C)非シリコーン系(メタ)アクリレートは、多官能の非シリコーン系(メタ)アクリレートを含んでいてもよい。多官能の非シリコーン系(メタ)アクリレートとしては、例えば、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールジメタクリレート、1,10−デカンジオールジメタクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、1,10−デカンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート等が挙げられる。   The (C) non-silicone (meth) acrylate may contain a multifunctional non-silicone (meth) acrylate. Examples of the polyfunctional non-silicone (meth) acrylate include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, 1, 9-nonanediol dimethacrylate, 1,10-decanediol dimethacrylate, dimethylol-tricyclodecane dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1, 9-nonanediol diacrylate, 1,10-decanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol diacrylate 1,6-hexanediol diacrylate 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol diacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, dimethylol-tricyclodecane diacrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri An acrylate etc. are mentioned.

更に、(C)非シリコーン系(メタ)アクリレートとして、エポキシ基、水酸基、アルコキシ基等の反応性の極性基を含む非シリコーン系(メタ)アクリレートを用いることで、樹脂組成物に優れた接着性を付与することができる。   In addition, (C) non-silicone (meth) acrylate is a non-silicone (meth) acrylate containing a reactive polar group such as an epoxy group, a hydroxyl group, or an alkoxy group. Can be granted.

(D)成分であるラジカル重合開始剤としては、光照射により上記樹脂組成物を硬化できる光ラジカル重合開始剤であって、工業的なUV照射装置の紫外線を効率よく吸収して活性化し、硬化物を黄変させないものであれば特に限定されない。そのようなラジカル重合開始剤としては、例えば、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、2−ヒドロキシ−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、及びオリゴ(2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−(1−メチルビニル)フェニル)プロパノンが挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。2種以上を組み合わせる場合、その具体例としては、オリゴ(2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4―(1−メチルビニル)フェニル)プロパノンとトリプロピレングリコールジアクリレートとの混合物、並びにオキシ−フェニル−アセチックアシッド2−(2−オキソ−2−フェニル−アセトキシ−エトキシ)−エチルエステルとオキシ−フェニル−アセチックアシッド2−(2−ヒドロキシ−エトキシ)−エチルエステルとの混合物が挙げられる。   The radical polymerization initiator as component (D) is a photo radical polymerization initiator that can cure the resin composition by light irradiation, and efficiently absorbs and activates the ultraviolet rays of an industrial UV irradiation apparatus. If it does not yellow a thing, it will not specifically limit. Examples of such radical polymerization initiators include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 2-hydroxy-methyl-1-phenyl-propane-1- And oligo (2-hydroxy-2-methyl-1- (4- (1-methylvinyl) phenyl) propanone, which are used alone or in combination of two or more. When the above is combined, specific examples thereof include a mixture of oligo (2-hydroxy-2-methyl-1- (4- (1-methylvinyl) phenyl) propanone and tripropylene glycol diacrylate, and oxy-phenyl- Acetic acid 2- (2-oxo-2-phenyl-acetoxy-ethoxy) -ethyl ester and oxy Phenyl - acetate tic acid 2- (2-hydroxy - ethoxy) - a mixture of ethyl esters.

また、樹脂組成物には、上記光ラジカル重合開始剤に加えて、熱ラジカル重合開始剤を併用してもよい。そのような熱ラジカル重合開始剤としては、ラジカルアゾ系開始剤、過酸化物開始剤等、通常の熱ラジカル重合に使用できるものはいずれも使用することができる。アゾ系開始剤としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル、アゾビスシクロヘキサノン−1−カルボニトリル、アゾジベンゾイル等が挙げられる。また、過酸化物開始剤としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、ジ−t−ブチルパーオキシヘキサヒドロテレフタレート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、1,1−t−ブチルパーオキシ−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、t−ブチルペルオキシイソプロピルカーボネート等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。   Moreover, in addition to the said radical photopolymerization initiator, you may use a thermal radical polymerization initiator together with a resin composition. As such a thermal radical polymerization initiator, any of radical azo initiators, peroxide initiators and the like that can be used for normal thermal radical polymerization can be used. Examples of the azo initiator include azobisisobutyronitrile, azobis-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile, azobiscyclohexanone-1-carbonitrile, azodibenzoyl, and the like. Examples of peroxide initiators include benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, di-t-butylperoxyhexahydroterephthalate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate, 1,1-t-butylperoxide. Examples include oxy-3,3,5-trimethylcyclohexane, t-butylperoxyisopropyl carbonate, and the like. These are used singly or in combination of two or more.

この樹脂組成物には、上述した(A)〜(D)成分以外に、重合反応性アクリルオリゴマーを添加してもよい。重合反応性アクリルオリゴマーとしては、特に限定されないが、(メタ)アクリロイル基を1つ以上含有するアクリルオリゴマーであることが好ましく、(メタ)アクリロイル基末端のアクリルオリゴマー(マクロモノマー)であることがより好ましい。   In addition to the components (A) to (D) described above, a polymerization reactive acrylic oligomer may be added to the resin composition. The polymerization-reactive acrylic oligomer is not particularly limited, but is preferably an acrylic oligomer containing one or more (meth) acryloyl groups, more preferably an acrylic oligomer (macromonomer) having a (meth) acryloyl group terminal. preferable.

この樹脂組成物において、(A)エステル末端にシロキサン構造を含む置換基を有するモノ(メタ)アクリレート、(B)ポリオルガノシロキサン骨格を有する多官能(メタ)アクリレート、(C)非シリコーン系(メタ)アクリレート、及び、(D)ラジカル重合開始剤の配合量は、使用する各種(メタ)アクリレートの構造や分子量等によるが、(A)成分及び(B)成分の合計の配合量と(C)成分の配合量との質量比((A)成分+(B)成分:(C)成分)が40:60〜90:10であることが好ましく、70:30〜90:10であることがより好ましい。(A)〜(C)成分の合計の配合量を基準とした(C)成分の配合量が60質量%を超えると、シロキサン骨格を導入する効果が少なく、また、相分離しやすい傾向がある。一方、(C)成分の配合量が10質量%未満であると、接着性付与等の非シリコーン系(メタ)アクリレートの導入効果が低下する傾向がある。   In this resin composition, (A) a mono (meth) acrylate having a substituent containing a siloxane structure at the ester terminal, (B) a polyfunctional (meth) acrylate having a polyorganosiloxane skeleton, (C) a non-silicone (meta) The blending amount of acrylate) and radical polymerization initiator (D) depends on the structure and molecular weight of the various (meth) acrylates used, but the total blending amount of component (A) and component (B) and (C) It is preferable that mass ratio ((A) component + (B) component: (C) component) with the compounding quantity of a component is 40: 60-90: 10, and it is more preferable that it is 70: 30-90: 10. preferable. When the blending amount of the component (C) based on the total blending amount of the components (A) to (C) exceeds 60% by mass, the effect of introducing the siloxane skeleton is small and the phase tends to be easily separated. . On the other hand, when the blending amount of the component (C) is less than 10% by mass, the effect of introducing a non-silicone (meth) acrylate such as adhesion imparting tends to decrease.

また、この樹脂組成物において、(A)成分の配合量と(B)成分の配合量との質量比((A)成分:(B)成分)は、30:70〜70:30であることが好ましく、40:60〜60:40であることがより好ましい。(A)成分及び(B)成分の合計の配合量を基準とした(B)成分の配合量が70質量%を超えると、(B)成分と(C)成分との相溶性が低下し、相分離しやすい傾向がある。一方、(B)成分の配合量が30質量%未満であると、多官能成分が少なくなるため、靭性、破断強度、耐熱性等の硬化物の機械特性が低下する傾向がある。   Moreover, in this resin composition, mass ratio ((A) component: (B) component) of the compounding quantity of (A) component and the compounding quantity of (B) component shall be 30: 70-70: 30. Is preferable, and 40:60 to 60:40 is more preferable. When the blending amount of the (B) component based on the total blending amount of the (A) component and the (B) component exceeds 70% by mass, the compatibility between the (B) component and the (C) component decreases, There is a tendency to phase separate. On the other hand, when the blending amount of the component (B) is less than 30% by mass, the polyfunctional components are decreased, and thus the mechanical properties of the cured product such as toughness, breaking strength and heat resistance tend to be lowered.

また、この樹脂組成物において、(D)成分の配合量は、(A)〜(C)成分の総量100質量部に対して0.01〜5質量部とすることが好ましく、0.1〜1質量部とすることがより好ましい。この配合量が5質量部を超えると、硬化物が熱や紫外線によって着色しやすくなる傾向があり、0.01質量部未満であると、樹脂組成物が硬化し難くなる傾向がある。   Moreover, in this resin composition, it is preferable that the compounding quantity of (D) component shall be 0.01-5 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A)-(C) component, More preferably, it is 1 part by mass. If this amount exceeds 5 parts by mass, the cured product tends to be colored by heat and ultraviolet rays, and if it is less than 0.01 part by mass, the resin composition tends to be difficult to cure.

樹脂組成物は、上述の光重合性化合物及び光ラジカル重合開始剤の他に、必要に応じて他の成分を含有していてもよい。例えば、ヒンダードアミン系の光安定剤、フェノール系又はリン系の酸化防止剤、紫外線吸収剤、無機充填剤、有機充填剤、カップリング剤、及び重合禁止剤を樹脂組成物に添加することができる。また、成形性の観点からは、離型剤、可塑剤、帯電防止剤、難燃剤等を樹脂組成物に添加してもよい。   The resin composition may contain other components as necessary in addition to the above-described photopolymerizable compound and photoradical polymerization initiator. For example, a hindered amine-based light stabilizer, a phenol-based or phosphorus-based antioxidant, an ultraviolet absorber, an inorganic filler, an organic filler, a coupling agent, and a polymerization inhibitor can be added to the resin composition. From the viewpoint of moldability, a mold release agent, a plasticizer, an antistatic agent, a flame retardant, and the like may be added to the resin composition.

上記各成分は、樹脂組成物の硬化物の透光性を確保する観点から液状であることが好ましい。また、上記各成分に固形のものを用いる場合は、発光素子から発せられる光の波長以下の粒径を有するものが好ましい。   Each of the above components is preferably liquid from the viewpoint of ensuring the translucency of the cured product of the resin composition. Moreover, when using a solid thing for each said component, what has a particle size below the wavelength of the light emitted from a light emitting element is preferable.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.

例えば、本発明に係る透明原盤における転写部の表面形状は、レンズのような単独の凹凸形状を形成するための形状に限定されず、例えば、マイクロレンズのような微細な凹凸形状の集合体、フレネルレンズのような屈折格子、回折格子等を形成するための形状であってもよい。透明原盤にこれらの表面形状を採用することにより、発光素子から封止材を通過した光が、封止材と空気との界面で反射、屈折又は回折する。こうして、その光線方向が変化し、最終的に光線をより有効に光半導体装置の外部に出射させることができる。   For example, the surface shape of the transfer portion in the transparent master according to the present invention is not limited to the shape for forming a single uneven shape such as a lens, for example, an aggregate of fine uneven shapes such as a microlens, It may have a shape for forming a refractive grating such as a Fresnel lens, a diffraction grating, or the like. By adopting these surface shapes on the transparent master, light that has passed through the sealing material from the light emitting element is reflected, refracted, or diffracted at the interface between the sealing material and air. Thus, the direction of the light beam is changed, and finally the light beam can be emitted to the outside of the optical semiconductor device more effectively.

また、光半導体装置は発光素子として発光ダイオード素子を備えた発光ダイオードに限定されず、フォトダイオード素子を備えるフォトダイオード、固体撮像素子を備える撮像装置等であってもよい。   The optical semiconductor device is not limited to a light emitting diode including a light emitting diode element as a light emitting element, and may be a photodiode including a photodiode element, an imaging apparatus including a solid-state imaging element, or the like.

また、硬化阻害や着色防止のため、予め窒素バブリングによって樹脂組成物中の酸素濃度を低減しておくことが望ましい。   Moreover, it is desirable to reduce the oxygen concentration in the resin composition in advance by nitrogen bubbling in order to inhibit curing and prevent coloring.

さらに、第4実施形態において、工程(b)では、封止材610を得るために光重合性化合物を含む樹脂組成物315を用いたが、それに代えて、熱重合性化合物を含む樹脂組成物を採用してもよい。この場合、封止材は、キャビティ部302内に充填された樹脂組成物を加熱して熱硬化することにより得られる。この樹脂組成物は、熱重合性化合物とその硬化剤を含有する。熱重合性化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。   Furthermore, in the fourth embodiment, in the step (b), the resin composition 315 containing a photopolymerizable compound is used to obtain the sealing material 610. Instead, the resin composition containing a thermopolymerizable compound is used. May be adopted. In this case, the sealing material is obtained by heating and thermosetting the resin composition filled in the cavity portion 302. This resin composition contains a thermally polymerizable compound and its curing agent. Examples of the thermally polymerizable compound include an epoxy resin, a urethane resin, and a silicone resin. These are used singly or in combination of two or more.

以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

(実施例1)
まず、下記のようにして図3の(a)に示すものと同様の組立部材を準備した。図3に示すものと同様の形状を有するリードフレームに、キャビティ部の開口部分の直径が2.4mmであるポリフタルイミド製のケース部材(外形寸法:幅3.2mm×奥行2.6mm×厚さ1.8mmをインサート成型により形成した。次にキャビティ部の底部に露出したリードフレーム上に、銀ペーストを介して発光ダイオード素子(発光波長:470mm)を実装した。次いで、発光ダイオード素子を実装していない方のリードフレームの端子と発光ダイオード素子とを金線を用いてワイヤーボンディングにより接続して組立部材を得た。
Example 1
First, an assembly member similar to that shown in FIG. 3A was prepared as follows. A lead frame having the same shape as that shown in FIG. 3 and a case member made of polyphthalimide having a diameter of 2.4 mm in the opening of the cavity (external dimensions: width 3.2 mm × depth 2.6 mm × thickness) Next, a light emitting diode element (emission wavelength: 470 mm) was mounted on the lead frame exposed at the bottom of the cavity portion via a silver paste, and then the light emitting diode element was mounted. The terminal of the lead frame that was not connected and the light emitting diode element were connected by wire bonding using a gold wire to obtain an assembly member.

続いてキャビティ部内に光重合性化合物を含有する樹脂組成物を流し込み充填した。樹脂組成物は、光重合性化合物として(3−メタクリロキシプロピル)トリス(トリメチルシロキシ)シラン(チッソ社製、商品名「サイラプレーンTM−0701T」)40質量部、両末端メタクリロキシ変性シリコーン(信越シリコーン社製、商品名「X−22−164A」、分子量:860)40質量部、及びグリシジルメタクリレート19質量部、光ラジカル重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1.0質量部を含有したものを用いた。   Subsequently, a resin composition containing a photopolymerizable compound was poured into the cavity portion and filled. The resin composition comprises 40 parts by mass of (3-methacryloxypropyl) tris (trimethylsiloxy) silane (manufactured by Chisso Corporation, trade name “Sylaplane TM-0701T”) as a photopolymerizable compound, both-end methacryloxy-modified silicone (Shin-Etsu Silicone) Product name "X-22-164A", molecular weight: 860) 40 parts by mass, glycidyl methacrylate 19 parts by mass, and one containing 1.0 part by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone as a photo radical polymerization initiator Using.

次に、石英ガラス製の透明原盤を準備した。透明原盤は基板部と転写部とを一体成型されてなるものであり、転写部(表面形状領域)には30μm間隔で頂角62°のピラミッド形状型回折格子が形成されたものを用いた。次いで、透明原盤の転写部をキャビティ部に対向させた状態で、位置合わせを行いながら透明原盤の基板部をケース部材の上端に当接させて、組立部材上に透明原盤を配置した。この際、透明原盤の転写部表面と、樹脂組成物表面とは密着した状態にあった。   Next, a transparent master made of quartz glass was prepared. The transparent master was formed by integrally molding a substrate portion and a transfer portion, and a transfer portion (surface shape region) in which pyramidal diffraction gratings having apex angles of 62 ° were formed at intervals of 30 μm was used. Next, with the transfer part of the transparent master facing the cavity part, the substrate part of the transparent master was brought into contact with the upper end of the case member while positioning, and the transparent master was placed on the assembly member. At this time, the surface of the transfer portion of the transparent master and the surface of the resin composition were in close contact with each other.

続いて、その状態を保持しながら、透明原盤上から樹脂組成物を露光して、樹脂組成物の硬化物である封止材を得た。露光の光源として、超高圧水銀ランプ(照度:11.6mW/cm、積算露光量:3000mJ/cm)を用いた。 Subsequently, while maintaining that state, the resin composition was exposed from the transparent master to obtain a sealing material that is a cured product of the resin composition. An ultra-high pressure mercury lamp (illuminance: 11.6 mW / cm 2 , integrated exposure: 3000 mJ / cm 2 ) was used as a light source for exposure.

そして、透明原盤を封止材から剥離して、光半導体装置である発光ダイオードを得た。封止材の表面形状は、透明原盤の転写部の表面形状を忠実に転写しており、ピラミッド形状型回折格子の形状であった。   Then, the transparent master was peeled from the sealing material to obtain a light emitting diode which was an optical semiconductor device. The surface shape of the sealing material faithfully transferred the surface shape of the transfer portion of the transparent master, and was the shape of a pyramidal diffraction grating.

(実施例2)
樹脂組成物の充填まで実施例1と同様に行った。次いで、光学素子としてポリメチルメタクリレート製の半球形レンズを、その平坦面側をキャビティ部に対向させた状態で、キャビティ部内に充填された樹脂組成物の表面上に位置合わせをしながら載置した。この際、樹脂組成物の表面と半球形レンズの平坦面とは密着していた。
(Example 2)
It carried out similarly to Example 1 until filling of the resin composition. Next, a hemispherical lens made of polymethylmethacrylate as an optical element was placed while being aligned on the surface of the resin composition filled in the cavity, with the flat surface facing the cavity. . At this time, the surface of the resin composition and the flat surface of the hemispherical lens were in close contact with each other.

続いて、その状態を保持しながら、半球形レンズ上から樹脂組成物を露光して、樹脂組成物の硬化物である封止材を得た。露光の光源として、超高圧水銀ランプ(照度:11.6mW/cm、積算露光量:3000mJ/cm)を用いた。こうして、光半導体装置である発光ダイオードを得た。半球形レンズは封止材に十分強力に接着されており、しかもそれらの界面に空隙は生じていなかった。 Subsequently, while maintaining that state, the resin composition was exposed from above the hemispherical lens to obtain a sealing material that is a cured product of the resin composition. An ultra-high pressure mercury lamp (illuminance: 11.6 mW / cm 2 , integrated exposure: 3000 mJ / cm 2 ) was used as a light source for exposure. Thus, a light emitting diode which is an optical semiconductor device was obtained. The hemispherical lenses were sufficiently strongly bonded to the encapsulant, and no voids were formed at their interfaces.

(実施例3)
樹脂組成物の充填まで実施例1と同様に行った。それとは別に、実施例1で用いたものと同様の樹脂組成物の塗膜を形成した。次いで、その塗膜の表面に、実施例1で用いた透明原盤の転写部を密着させた状態で、樹脂組成物の露光を十分に行って硬化させ、片面にピラミッド形状型回折格子が設けられた樹脂フィルム(膜厚:約1mm)を形成した。
(Example 3)
It carried out similarly to Example 1 until filling of the resin composition. Separately, a coating film of the same resin composition as that used in Example 1 was formed. Next, with the surface of the coating film in contact with the transfer part of the transparent master used in Example 1, the resin composition is sufficiently exposed and cured, and a pyramid-shaped diffraction grating is provided on one side. A resin film (film thickness: about 1 mm) was formed.

次に、光学素子として上記樹脂フィルムを、その平坦面側をキャビティ部に対向させた状態で、キャビティ部内に充填された樹脂組成物の表面上に位置合わせをしながら載置した。この際、樹脂組成物の表面と樹脂フィルムの平坦面とは密着していた。   Next, the resin film as an optical element was placed while being aligned on the surface of the resin composition filled in the cavity portion with the flat surface facing the cavity portion. At this time, the surface of the resin composition and the flat surface of the resin film were in close contact.

続いて、その状態を保持しながら、樹脂フィルム上から樹脂組成物を露光して、樹脂組成物の硬化物である封止材を得た。露光の光源として、超高圧水銀ランプ(照度:11.6mW/cm、積算露光量:3000mJ/cm)を用いた。こうして、光半導体装置である発光ダイオードを得た。樹脂フィルムは封止材に十分強力に接着されており、しかもそれらの界面に空隙は生じていなかった。 Subsequently, while maintaining that state, the resin composition was exposed from above the resin film to obtain a sealing material that is a cured product of the resin composition. An ultra-high pressure mercury lamp (illuminance: 11.6 mW / cm 2 , integrated exposure: 3000 mJ / cm 2 ) was used as a light source for exposure. Thus, a light emitting diode which is an optical semiconductor device was obtained. The resin film was sufficiently strongly bonded to the sealing material, and no voids were formed at the interface between them.

(実施例4)
組立部材の作製まで実施例1と同様に行った。次いで、キャビティ部内に熱重合性化合物を含有する樹脂組成物を流し込み充填した。この樹脂組成物は、熱重合性化合物としてエポキシ樹脂を含有していた。次に、キャビティ部内に充填された樹脂組成物を十分に加熱して硬化することにより封止材を得た。それとは別に、実施例3と同様にして、片面にピラミッド形状型回折格子が設けられた樹脂フィルム(膜厚:約1mm)を形成した。
Example 4
The same procedure as in Example 1 was performed until the assembly member was manufactured. Next, a resin composition containing a thermally polymerizable compound was poured into the cavity portion and filled. This resin composition contained an epoxy resin as a thermally polymerizable compound. Next, the sealing material was obtained by fully heating and hardening the resin composition with which the cavity part was filled. Separately, in the same manner as in Example 3, a resin film (film thickness: about 1 mm) provided with a pyramid-shaped diffraction grating on one side was formed.

続いて、封止材の表面上に実施例1で用いたものと同様の樹脂組成物をポッティングした。更にその樹脂組成物の塗膜上に、光学素子として上記樹脂フィルムを、その平坦面側をキャビティ部に対向させた状態で、樹脂組成物の塗膜の表面上に位置合わせをしながら載置した。この際、樹脂組成物の塗膜表面と樹脂フィルムの平坦面とは密着していた。   Subsequently, the same resin composition as that used in Example 1 was potted on the surface of the sealing material. Further, the resin film as an optical element is placed on the resin composition coating film while being aligned on the surface of the resin composition coating film with the flat surface facing the cavity portion. did. At this time, the coating film surface of the resin composition and the flat surface of the resin film were in close contact.

続いて、その状態を保持しながら、樹脂フィルム上から樹脂組成物の塗膜を露光して、樹脂組成物の硬化物である接着層を得た。露光の光源として、超高圧水銀ランプ(照度:11.6mW/cm、積算露光量:3000mJ/cm)を用いた。こうして、光半導体装置である発光ダイオードを得た。封止材及び樹脂フィルムは接着層を介して十分強力に接着されており、しかもそれらの界面に空隙は生じていなかった。 Subsequently, while maintaining the state, the coating film of the resin composition was exposed from above the resin film to obtain an adhesive layer that is a cured product of the resin composition. An ultra-high pressure mercury lamp (illuminance: 11.6 mW / cm 2 , integrated exposure: 3000 mJ / cm 2 ) was used as a light source for exposure. Thus, a light emitting diode which is an optical semiconductor device was obtained. The sealing material and the resin film were sufficiently strongly bonded via the adhesive layer, and no void was generated at the interface between them.

実施例1〜4で得られた光半導体装置に3.2Vで20mAの電流を通電し、発光ダイオード素子を点灯させた。実施例1、3及び4の光半導体装置では、ピラミッド形状の斜面二方向に発光ダイオード素子からの出射光が曲げられていることが確認された。実施例2の光半導体装置では、発光ダイオード素子からの出射光が、半球形レンズによって中心方向に集光されていることが確認された。   The optical semiconductor device obtained in Examples 1 to 4 was supplied with a current of 20 mA at 3.2 V, and the light emitting diode element was turned on. In the optical semiconductor devices of Examples 1, 3, and 4, it was confirmed that the light emitted from the light emitting diode element was bent in two directions of the slope of the pyramid shape. In the optical semiconductor device of Example 2, it was confirmed that the emitted light from the light emitting diode element was condensed in the center direction by the hemispherical lens.

従来の砲弾型の発光ダイオードの一例を示す模式正面図である。It is a schematic front view which shows an example of the conventional bullet-type light emitting diode. 従来のチップ型の発光ダイオードの一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the conventional chip-type light emitting diode. 実施形態に係る光半導体装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical semiconductor device which concerns on embodiment. 別の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical semiconductor device which concerns on another embodiment. 更に別の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical semiconductor device which concerns on another embodiment. なおも別の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the optical semiconductor device which concerns on another embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

300、400、500、600…発光ダイオード、301a、b…リードフレーム、302…キャビティ部、305…発光ダイオード素子、307…ケース部材、308…ワイヤー、310、410、510、610…封止材、315…樹脂組成物、320…接続層、350…組立部材、370、470…透明原盤、400…発光ダイオード、580、680…光学素子、690…ペースト状又は液状の接着層、695…硬化後の接着層。   300, 400, 500, 600 ... Light emitting diode, 301a, b ... Lead frame, 302 ... Cavity, 305 ... Light emitting diode element, 307 ... Case member, 308 ... Wire, 310, 410, 510, 610 ... Sealing material, 315: Resin composition, 320: Connection layer, 350: Assembly member, 370, 470 ... Transparent master, 400 ... Light emitting diode, 580, 680 ... Optical element, 690 ... Paste or liquid adhesive layer, 695 ... After curing Adhesive layer.

Claims (14)

発光素子とその発光素子を封止する封止材とを備える光半導体装置の製造方法であって、
光重合性化合物を含有し前記発光素子を浸漬した光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物と所定形状の表面を有する透明原盤とを前記樹脂組成物の表面と前記所定形状の表面とが密着するように配置した状態で、前記透明原盤を介して前記樹脂組成物を露光することによって、前記樹脂組成物の光学的に透明な硬化物であり、前記所定形状の表面と密着した面が前記発光素子から発せられる光の出射面となる前記封止材を得る工程を有する、光半導体装置の製造方法。
A method for manufacturing an optical semiconductor device comprising a light emitting element and a sealing material for sealing the light emitting element,
The surface of the resin composition and the surface of the predetermined shape are in close contact with a resin composition that contains a photopolymerizable compound and is curable only by light irradiation in which the light emitting element is immersed, and a transparent master having a surface of a predetermined shape In such a state that the resin composition is exposed through the transparent master, the surface of the resin composition is an optically transparent cured product, and the surface in close contact with the surface of the predetermined shape is The manufacturing method of an optical semiconductor device which has the process of obtaining the said sealing material used as the output surface of the light emitted from a light emitting element.
前記樹脂組成物は前記発光素子を内包するキャビティ部内に充填されており、前記封止材を得る工程の後に前記透明原盤を前記硬化物の表面から剥離する工程を更に有する、請求項1記載の光半導体装置の製造方法。   The said resin composition is filled in the cavity part which includes the said light emitting element, and also has the process of peeling the said transparent original disc from the surface of the said hardened | cured material after the process of obtaining the said sealing material. Manufacturing method of optical semiconductor device. 前記封止材を得る工程の前に、前記キャビティ部に前記樹脂組成物を流し込む工程と、流し込まれた前記樹脂組成物の表面に前記透明原盤が有する前記所定形状の表面を密着する工程と、を更に有する、請求項2記載の光半導体装置の製造方法。   Before the step of obtaining the sealing material, the step of pouring the resin composition into the cavity portion, the step of closely adhering the surface of the predetermined shape of the transparent master to the surface of the poured resin composition, The method of manufacturing an optical semiconductor device according to claim 2, further comprising: 前記透明原盤が流路を備えており、前記封止材を得る工程の前に、前記所定形状の表面を前記キャビティ部に対向させて、前記透明原盤を前記キャビティ部の開口部上に配置する工程と、前記樹脂組成物の表面が前記所定形状の表面と密着するまで前記流路から前記キャビティ部に前記樹脂組成物を流し込む工程と、を更に有する、請求項2記載の光半導体装置の製造方法。   The transparent master has a flow path, and before the step of obtaining the sealing material, the transparent master is disposed on the opening of the cavity with the surface of the predetermined shape facing the cavity. The manufacturing of an optical semiconductor device according to claim 2, further comprising: a step of pouring the resin composition from the flow path into the cavity until the surface of the resin composition is in close contact with the surface of the predetermined shape. Method. 前記発光素子が発光ダイオード素子である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光半導体装置の製造方法。   The manufacturing method of the optical semiconductor device as described in any one of Claims 1-4 whose said light emitting element is a light emitting diode element. 前記光重合性化合物が(メタ)アクリレート系光重合性化合物である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の光半導体装置の製造方法。   The manufacturing method of the optical semiconductor device as described in any one of Claims 1-5 whose said photopolymerizable compound is a (meth) acrylate type photopolymerizable compound. 発光素子と、その発光素子を封止する封止材と、その封止材に接着された所定形状の表面を有する光学素子と、を備える光半導体装置であって、
前記光学素子における前記所定形状の表面とは反対側の面は、前記封止材における前記発光素子から発せられる光の出射面に密着してなり、
前記封止材は光重合性化合物を含有し光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物の光学的に透明な硬化物である、光半導体装置。
An optical semiconductor device comprising: a light emitting element; a sealing material that seals the light emitting element; and an optical element having a surface with a predetermined shape bonded to the sealing material,
The surface opposite to the surface of the predetermined shape in the optical element is in close contact with the light emission surface of the light emitted from the light emitting element in the sealing material,
The said sealing material is an optical semiconductor device which is an optically transparent hardened | cured material of the resin composition which contains a photopolymerizable compound and can be hardened | cured only by irradiation of light.
前記樹脂組成物の露光による硬化によって、前記封止材を得ると同時に前記封止材と前記光学素子とを接着してなる、請求項7記載の光半導体装置。   The optical semiconductor device according to claim 7, wherein the sealing material and the optical element are bonded simultaneously with obtaining the sealing material by curing the resin composition by exposure. 発光素子と、その発光素子を封止する封止材と、所定形状の表面を有する光学素子と、前記封止材と前記光学素子とを接着した接着層と、を備える光半導体装置であって、
前記光学素子における前記所定形状の表面とは反対側の面は、前記接着層における前記発光素子から発せられる光の出射面に密着してなり、
前記接着層は光重合性化合物を含有し光の照射のみで硬化可能な樹脂組成物の光学的に透明な硬化物である、光半導体装置。
An optical semiconductor device comprising: a light emitting element; a sealing material that seals the light emitting element; an optical element having a surface with a predetermined shape; and an adhesive layer that bonds the sealing material and the optical element. ,
The surface of the optical element opposite to the surface of the predetermined shape is in close contact with the light emitting surface of the light emitting element emitted from the light emitting element in the adhesive layer.
The optical semiconductor device, wherein the adhesive layer is an optically transparent cured product of a resin composition that contains a photopolymerizable compound and can be cured only by light irradiation.
前記樹脂組成物の露光による硬化によって、前記接着層を介して前記封止材と前記光学素子とを接着してなる、請求項9記載の光半導体装置。   The optical semiconductor device according to claim 9, wherein the sealing material and the optical element are bonded through the adhesive layer by curing the resin composition by exposure. 前記封止材及び前記接着層は互いに同一種類の材料を主成分とする、請求項9又は10に記載の光半導体装置。   The optical semiconductor device according to claim 9, wherein the sealing material and the adhesive layer are mainly composed of the same material. 前記封止材及び前記光学素子は互いに同一種類の材料を主成分とする、請求項7〜11のいずれか一項に記載の光半導体装置。   The optical semiconductor device according to claim 7, wherein the sealing material and the optical element are composed mainly of the same type of material. 前記発光素子が発光ダイオード素子である、請求項7〜12のいずれか一項に記載の光半導体装置。   The optical semiconductor device according to claim 7, wherein the light emitting element is a light emitting diode element. 前記光重合性化合物が(メタ)アクリレート系光重合性化合物である、請求項7〜13のいずれか一項に記載の光半導体装置の製造方法。   The manufacturing method of the optical semiconductor device as described in any one of Claims 7-13 whose said photopolymerizable compound is a (meth) acrylate type photopolymerizable compound.
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