JP2007310282A - Filter substrate and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数のフィルタ部を備えたフィルタ基板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a filter substrate having a plurality of filter portions and a method for manufacturing the same.
現在、一般的に設けられている液晶表示装置は、アレイ基板と対向基板との間に液晶が介在されて構成されている。そして、これらアレイ基板と対向基板との周縁の液晶封止口を除く部分が接着剤で固定され、この液晶封止口が封止剤にて封止されている。さらに、これらアレイ基板と対向基板との間には、これらアレイ基板と対向基板との間の距離を一定に保つためにスペーサとして粒径が均一なプラスチックビーズなどが散在されたり、これらアレイ基板および対向基板のいずれかに柱状スペーサ37が形成されたりしている。
Currently, a generally provided liquid crystal display device is configured by interposing a liquid crystal between an array substrate and a counter substrate. And the part except the liquid crystal sealing port of the periphery of these array substrates and a counter substrate is fixed with the adhesive agent, and this liquid crystal sealing port is sealed with the sealing agent. Further, between these array substrates and the counter substrate, plastic beads having a uniform particle diameter are scattered as spacers in order to keep the distance between the array substrate and the counter substrate constant. A
さらに、これら液晶表示装置のうち、カラー表示が可能な液晶表示装置には、この液晶表示装置のアレイ基板および対向基板のいずれか一方にR(Red:赤)、G(Green:緑)およびB(Blue:青)の着色層にて構成されたカラーフィルタ層22が形成されている。そして、この液晶表示装置の表示方式としては、例えばTN(Twisted Nematic)形、IPS(In-plane Switching)形、OCB(Optically Compensated Bend)形や、強誘電性液晶などが用いられている。また、封止剤としては、例えば熱にて硬化する熱硬化型や紫外線の照射にて硬化する紫外線硬化型のアクリル系またはエポキシ系の接着剤などが用いられている。
Further, among these liquid crystal display devices, a liquid crystal display device capable of color display includes R (Red), G (Green) and B on either the array substrate or the counter substrate of the liquid crystal display device. A
また、カラー表示可能なアクティブマトリクス駆動の液晶表示装置としては、絶縁基板上に走査線および信号線が格子状に設けられ、これら走査線および信号線の交点に対応してアモルファスシリコン(a−Si)あるいはポリシリコン(p−Si)を半導体層とした薄膜トランジスタ(TFT)が設けられ、これら薄膜トランジスタに画素電極が電気的に接続されたアクティブマトリクス基板としてのアレイ基板を備えている。 Further, as an active matrix driving liquid crystal display device capable of color display, scanning lines and signal lines are provided in a lattice pattern on an insulating substrate, and amorphous silicon (a-Si) corresponding to the intersections of these scanning lines and signal lines. ) Or a thin film transistor (TFT) using polysilicon (p-Si) as a semiconductor layer, and an array substrate as an active matrix substrate having a pixel electrode electrically connected to the thin film transistor.
そして、このアレイ基板に対向して対向基板が配設されており、この対向基板上にカラーフィルタ層が設けられている。また、このカラーフィルタ層の周縁には、遮光性を有する額縁部が設けられており、このカラーフィルタ層上に対向電極が設けられている。さらに、これらアレイ基板と対向基板との間の画面周辺部には、アレイ基板から対向基板へ電圧を印加するトランスファである電極転移材が配置されている。この電極転移材としては、導電性の銀粒子をバインダにてペースト状にした銀ペーストなどが用いられる。また、これらアレイ基板と対向基板とのそれぞれは偏光板にて挟持されており、光シャッタとしてカラー画像が表示可能に構成されている。 A counter substrate is disposed opposite to the array substrate, and a color filter layer is provided on the counter substrate. Further, a frame portion having a light shielding property is provided on the periphery of the color filter layer, and a counter electrode is provided on the color filter layer. Further, an electrode transfer material, which is a transfer for applying a voltage from the array substrate to the counter substrate, is disposed at the periphery of the screen between the array substrate and the counter substrate. As the electrode transition material, a silver paste or the like in which conductive silver particles are pasted with a binder is used. Each of the array substrate and the counter substrate is sandwiched between polarizing plates, and is configured to display a color image as an optical shutter.
さらに、この種の液晶表示装置としては、コスト上昇を招かずに開口率を向上させることを目的として、対向基板上に形成していたカラーフィルタ層22をアレイ基板上に形成したカラーフィルタオンアレイ(COA)方式が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
Further, as this type of liquid crystal display device, a color filter-on-array in which the
ところが、このカラーフィルタ層、ブラックマトリクスおよび柱状スペーサは、通常、感光性樹脂、紫外光、フォトマスク、現像液などを用いたフォトリソグラフィ法にて形成されている。具体的に、このフォトリソグラフィ法は、ガラス基板を洗浄してから乾燥させた後に、このガラス基板上の全面に着色層を感光性樹脂として塗布してから乾燥させ、この着色層を、フォトマスクを介して紫外光で露光してパターニングしてから現像液にて余分なパターンを除去した後に、このパターニングされた着色層を焼成(ベーク)して硬化させる。 However, the color filter layer, the black matrix, and the columnar spacer are usually formed by a photolithography method using a photosensitive resin, ultraviolet light, a photomask, a developer, or the like. Specifically, in this photolithography method, the glass substrate is washed and dried, and then a colored layer is applied as a photosensitive resin on the entire surface of the glass substrate and then dried. Then, after patterning by exposure with ultraviolet light through a developer, the excess pattern is removed with a developer, and then the patterned colored layer is baked (baked) and cured.
そして、RGB3色の着色層をパターニングしてガラス基板上に塗布する場合において、一色目の着色層を塗布する際には、ガラス基板の表面が比較的平坦であるが、二色目や三色目の着色層を塗布する際には、これら二色目や三色目の着色層より先に塗布した着色層のパターンによる凹凸の影響を受けてしまうので、これら着色層の塗布むらが発生してしまうおそれがある。 When the RGB three-color colored layer is patterned and applied on the glass substrate, when the first colored layer is applied, the surface of the glass substrate is relatively flat. When applying the colored layer, since it is affected by unevenness due to the pattern of the colored layer applied before the second or third colored layer, there is a possibility that uneven application of these colored layers may occur. is there.
そこで、この塗布むらを避けることを目的として、ガラス基板上の画像表示が可能な表示領域7の周辺を一色目の着色層のパターンで枠状パターンを形成して囲うと良いが、この枠状パターンの幅を太くすると、この枠状パターンが視認されてしまうこととなり見栄えが悪くなるおそれがある。そして、この枠状パターンの幅を細くすると、この枠状パターン自体が剥がれやすくなってしまう。
Therefore, for the purpose of avoiding this coating unevenness, it is preferable to form a frame-shaped pattern around the
一方、上述したフォトリソグラフィ法は、パターニングのしやすさから加工精度に優れているが、非常に製造コストが高い。そこで、製造コストが安価な手段として、インクジェット方式によるパターニングが知られている(例えば、特許文献2参照。)。このインクジェット方式は、光を透過させないことを目的としてブラックマトリクスが設けられているため、このブラックマトリクスをリソグラフィによってパターン形成することが容易でないことから、このブラックマトリクスの形成に好適である。
しかしながら、上述のようにインクジェット方式でブラックマトリクスを形成する場合には、インクを所定の場所に留めさせるために、パターンを形成したい両端部に一対の隔壁を形成する必要がある。この隔壁としては、高さが高いほどインクを留める効果が大きいため、複数の着色層を積層させて隔壁の高さを高くすることがあるが、この隔壁についても、上述した枠状パターンと同様に、幅を太くすると視認されるので見栄えが悪くなり、幅を細くすると剥がれやすくなってしまうという問題を有している。 However, when the black matrix is formed by the ink jet method as described above, it is necessary to form a pair of partition walls at both ends where a pattern is to be formed in order to keep the ink in a predetermined place. As this partition wall, the higher the height, the greater the effect of retaining the ink. Therefore, the height of the partition wall may be increased by laminating a plurality of colored layers. This partition wall is also the same as the frame-shaped pattern described above. In addition, when the width is increased, it is visually recognized, so that the appearance is deteriorated, and when the width is decreased, it is easily peeled off.
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、枠状部の視認性が低く剥がれにくいフィルタ基板およびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a filter substrate in which the visibility of the frame-shaped portion is low and difficult to peel off, and a method for manufacturing the same.
本発明は、基板と、この基板上に設けられ異なる色の複数のフィルタ部と、これら複数のフィルタ部の少なくともいずれかを囲んで前記基板上に付着された枠状部と、前記基板上に付着され前記枠状部より外側にこの枠状部から一体的に形成されて突出した突出部と、を具備したものである。 The present invention includes a substrate, a plurality of different color filter portions provided on the substrate, a frame-shaped portion attached to the substrate so as to surround at least one of the plurality of filter portions, and the substrate. And a protruding portion that is integrally formed and protruded from the frame-shaped portion on the outside of the frame-shaped portion.
本発明によれば、基板上の複数のフィルタ部の少なくともいずれかを囲む枠状部の外側に、この枠状部から一体的に突出した突出部を設けたことにより、この突出部と基板との間の付着で枠状部と基板との間の付着を保つことができ、この枠状部が基板から剥がれにくくなるので、この枠状部を細くできるとともに、この枠状部を細くして視認性を低くできる。 According to the present invention, by providing a protruding portion integrally protruding from the frame-shaped portion outside the frame-shaped portion surrounding at least one of the plurality of filter portions on the substrate, the protruding portion and the substrate The adhesion between the frame-shaped portion and the substrate can be maintained, and the frame-shaped portion is difficult to peel off from the substrate. Therefore, the frame-shaped portion can be thinned, and the frame-shaped portion can be thinned. Visibility can be lowered.
以下、本発明の液晶表示装置の第1の実施の形態の構成を図1ないし図13を参照して説明する。 The configuration of the first embodiment of the liquid crystal display device of the present invention will be described below with reference to FIGS.
図1ないし図3および図13において、1は液晶表示装置で、この液晶表示装置1は、例えばアクティブマトリクス型の平面表示装置である液晶表示パネル2を備えている。この液晶表示パネル2は、第1の基板としてのフィルタ基板である略矩形平板状のアレイ基板3を備えている。このアレイ基板3は、カラーフィルタオンアレイ方式(COA)であって、例えば縦480ピクセルおよび横640×4ピクセルを有するTFT基板である。そして、このアレイ基板3の一主面である表面には、一主面である表面を対向させて第2の基板としての略矩形平板状の対向基板4が配設されている。
1 to 3 and FIG. 13, reference numeral 1 denotes a liquid crystal display device. The liquid crystal display device 1 includes a liquid
さらに、これらアレイ基板3および対向基板4の間には、光変調層として液晶層5が介在されて設けられている。さらに、これらアレイ基板3と対向基板4とは、液晶層5に液晶組成物Lを挟持するための所定のセルギャップSを介して貼り合わされている。また、液晶層5は、アレイ基板3と対向基板4との間の間隙である液晶封止領域C内に液晶組成物Lを封入させて構成されている。
Further, a liquid crystal layer 5 is provided as an optical modulation layer between the
具体的に、アレイ基板3は、略透明な矩形平板状の絶縁基板としての透光性基板であるガラス基板6を有している。そして、このガラス基板6の一主面である表面上の中央部には、画像表示が可能な領域である表示領域7が形成されている。そして、このガラス基板6上の表示領域7には、アレイ下地9が形成されており、このアレイ下地9に複数の表示画素8がマトリクス状に設けられて配置されている。これら複数の表示画素8は、ガラス基板6の縦方向に沿ってn個形成されており、このガラス基板6の横方向に沿ってm個形成されている。したがって、これら複数の表示画素8は、ガラス基板6上にn×m個形成されている。
Specifically, the
ここで、表示領域7の幅方向の一側縁には、この表示領域7内に設けられている複数の表示画素8の横方向に沿った列の段数を示す列番号10が記されている。この列番号10は、表示領域7の縦方向の一側縁である上端側から順番に、例えば「001」,「002」,「003」,……,「mnl」などと表示されている。
Here, on one side edge of the
さらに、ガラス基板6の表面には、ゲート電極配線としてのゲートラインである複数の走査線11が、このガラス基板6の幅方向に沿って配設されている。これら走査線11は、電極配線としてのアレイ配線であって、ガラス基板6の横方向に向けて等間隔に平行に離間されている。また、これら走査線11間のそれぞれには、画像信号配線としてのシグナルラインである複数の信号線12が、ガラス基板6の縦方向に沿って配設されている。これら信号線12は、電極配線としてのアレイ配線であって、ガラス基板6の横方向に向けて等間隔に平行に離間されている。したがって、これら走査線11および信号線12は、ガラス基板6上に互いに間隙を介して電気的に絶縁されて交差して格子状であるマトリクス状に配線されたアレイ配線である。
Further, on the surface of the
さらに、各走査線11上には、これら走査線11に重なるように、補助ラインとしての遮光部である補助容量線13が設けられている。これら補助容量線13は、走査線11の幅寸法より大きな幅寸法を有するとともに、ガラス基板6の幅方向に沿って配設されている。さらに、この補助容量線13は、走査線11上に積層されている図示しない絶縁層上に積層されており、この絶縁層によって走査線11に対して電気的に絶縁された状態で設けられている。
Further, on each
また、これら補助容量線13の間には、表示領域7の外側縁から垂直に突出した静電気防止用のラインであるダミー配線14が配線されている。これらダミー配線14は、信号線12と同じ層に形成されており、この信号線12と同一材料および同一工程で形成されている。さらに、これらダミー配線14は、信号線12に対して並行に配線されており、これら信号線12の間の中間部に設けられている。
Further, between these
ここで、これら走査線11、信号線12、補助容量線13およびダミー配線14のそれぞれは、例えばアルミニウム(Al)などの遮光性を有する遮光性膜である金属材料などの下地金属にて形成されている。さらに、これら走査線11、信号線12、補助容量線13およびダミー配線14のそれぞれは、ガラス基板6上の表示領域7より外側に突出して配線されている。
Here, each of the
一方、このガラス基板6の表面には、トップゲートタイプの薄膜トランジスタ15が1画素構成要素として配設されている。この薄膜トランジスタ15は、スイッチング素子であるとともに半導体素子としてのTFT素子である。そして、これら薄膜トランジスタ15は、ガラス基板6上に形成されたソース電極16およびドレイン電極17を備えている。これらソース電極16およびドレイン電極17は、所定の間隙を介して電気的に絶縁された状態で設けられている。ここで、これらソース電極16は、信号線12の一側縁に一体的に設けられて電気的に接続されている。
On the other hand, on the surface of the
さらに、これらソース電極16およびドレイン電極17の間には、半導体層としての活性層18が設けられている。この活性層18は、ソース電極16およびドレイン電極17のそれぞれを覆ってガラス基板6上に設けられている。そして、この活性層18は、多結晶半導体としてのポリシリコン(p−Si)にて構成されている。また、この活性層18上には、導電性を有するゲート電極19が積層されて成膜されている。このゲート電極19は、走査線11の一側縁に一体的に設けられて電気的に接続されており、この走査線11の一部を構成する。ここで、このゲート電極19は、活性層18の長手方向に直交する長手方向を有している。
Further, an
さらに、ガラス基板6上には、ITO(Indium Tin Oxide)にて構成された透明な透明電極としての画素電極21が積層されて設けられている。この画素電極21は、薄膜トランジスタ15が設けられている部分に隣接した各表示画素8内のそれぞれ設けられており、この薄膜トランジスタ15のドレイン電極17に電気的に接続されている。すなわち、この画素電極21は、この画素電極21にドレイン電極17が電気的に接続されている薄膜トランジスタ15によって駆動が制御される。
Further, a
また、ガラス基板6上の表示領域7の全面には、カラーフィルタの機能を有する着色層であるカラーフィルタ層22が積層されて設けられている。このカラーフィルタ層22は、ガラス基板6の表面より突出して設けられている。具体的に、このカラーフィルタ層22は、少なくとも2色以上である1組の色単位、例えば光の三原色に対応した緑(Green:G)色の緑色着色層としての第1色部である緑色フィルタ部23と、青(Blue:B)色の青色着色層としての第2色部である青色フィルタ部24と、赤(Red:R)色の赤色着色層としての第3色部である赤色フィルタ部25との3つのライン状のフィルタ部が各表示画素8の幅方向に対応して、ガラス基板6の横方向に向けて繰り返し配置されて縞状に構成されている。
In addition, a
ここで、緑色フィルタ部23は、緑色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストである緑色レジストGから形成されている。また、青色フィルタ部24は、青色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストである青色レジストBから形成されている。そして、赤色フィルタ部25は、赤色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストとしての赤色レジストRから形成されている。そして、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれは、略等しい厚さ寸法に形成されている。
Here, the
さらに、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれは、各表示画素8の幅寸法に等しい幅寸法を有するライン状に形成されており、表示領域7の横方向に沿って順番に規則的に配設されている。すなわち、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれは、表示領域7の横方向に沿って順番に交互に配設されている。よって、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれは、表示領域7内に規則的な縞状に設けられている。
Further, each of the
具体的に、この表示領域7に設けられている赤色フィルタ部25の横方向の一方に隣接して緑色フィルタ部23が設けられ、この緑色フィルタ部23の横方向の一方に隣接して青色フィルタ部24が設けられている。さらに、この青色フィルタ部24の横方向の一方に隣接して赤色フィルタ部25が設けられ、この赤色フィルタ部25の横方向の一方に隣接して緑色フィルタ部23が設けられている。したがって、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれは、表示領域7の縦方向に沿った各表示画素8上に亘って連続して積層されて設けられている。
Specifically, a
さらに、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25は、緑色、青色あるいは赤色の顔料あるいは染料を含有させた感光性樹脂材にて形成されている。よって、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれは、緑色、青色あるいは赤色の各色成分の光を透過させる光透過性を有している。さらに、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれの長手方向の一端縁には、スルーホールとしての細長矩形状のコンタクトホール26が形成されている。これらコンタクトホール26は、薄膜トランジスタ15のドレイン電極17に電気的に導通させる開口部である。そして、緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25上には、各表示画素8に対応して画素電極21が積層されている。これら画素電極21は、透明電極としてのITO膜にて構成されており、これら画素電極21が設けられている表示画素8内のコンタクトホール26を介して薄膜トランジスタ15のドレイン電極17に電気的に接続されている。
Further, the
また、複数の緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25が縞状に配設されて構成されたカラーフィルタ層22の外側には、このカラーフィルタ層22の外周縁に沿って連続して積層された外周シール部としての枠状部である平面視矩形枠状の枠状パターン31が、ガラス基板6の上面より上方に突出した状態で設けられている。この枠状パターン31は、カラーフィルタ層22の塗布むら防止のために設けられており、ガラス基板6上に積層されて、このガラス基板6上に付着されている。また、この枠状パターン31は、カラーフィルタ層22の幅方向の両側および縦方向の両端のそれぞれに対して連続して設けられており、このカラーフィルタ層22の外周縁を周方向に亘って連続して囲んでいる。さらに、この枠状パターン31は、カラーフィルタ層22の縦方向の両端部において、このカラーフィルタ層22を構成する各緑色フィルタ部23の長手方向の両端部に対して連続して設けられている。
In addition, a plurality of
ここで、この枠状パターン31は、カラーフィルタ層22のいずれか1つのフィルタ部である最も硬い緑色フィルタ部23を構成する緑色の顔料あるいは染料を含有させた感光性樹脂材である緑色レジストGにて構成されている。さらに、この枠状パターン31は、緑色フィルタ部23と同じ材料および同一工程で同時に形成されている。したがって、この枠状パターン31は、カラーフィルタ層22の緑色フィルタ部23の厚さ寸法に等しい厚さ寸法に形成されている。
Here, the frame-shaped
また、この枠状パターン31は、この枠状パターン31のうちの表示領域7の上側縁および下側縁を囲む上下辺に相当する部分である上下辺部31aの幅寸法が、この表示領域7の幅方向の両側縁を囲む左右辺に相当する部分である左右辺部31bの幅寸法の2倍程度に構成されている。具体的に、この枠状パターン31の左右辺部31bは、例えば20μm以上30μm以下程度の幅寸法に形成されている。
Further, the frame-shaped
さらに、この枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁部には、この枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁から、この外周縁に対して外側に向けて垂直に突出した突出部としての帯状の突き出し部である複数の突出片部32が一体的に設けられている。これら突出片部32は、ガラス基板6の表示領域7より外側の部分上に積層されて、このガラス基板6上に付着されている。そして、これら突出片部32は、枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁に、この表示領域7の縦方向に亘って等間隔に離間させた位置のそれぞれに設けられており、この左右辺部31bの外側縁からガラス基板6の表面に沿って垂直に突出している。
Further, the outer edges of the left and
すなわち、これら突出片部32は、左右辺部31bを構成する材料である緑色レジストGを、この左右辺部31bの外側縁から外側に向けて水平に突出するように連続して積層させることによって設けられている。したがって、これら突出片部32は、緑色レジストGにて構成され、左右辺部31bの外側縁に局所的に設けられている。また、これら突出片部32は、ガラス基板6の表面より上方に向けて突出した状態で形成されており、枠状パターン31の厚さ寸法に等しい厚さ寸法を有している。
That is, the protruding
さらに、これら突出片部32は、枠状パターン31に対して一体的に設けられており、この枠状パターン31のガラス基板6からの剥がれを防止させる補強片である。具体的に、これら突出片部32は、枠状パターン31の左右辺部31bの幅寸法に等しい幅寸法を有するとともに、この左右辺部31bの幅寸法の2倍程度の長さ寸法を有している。
Further, the protruding
また、これら突出片部32は、補助容量線13のうちの表示領域7から外側に向けて突出している部分である延長部13a上に平面視で垂直に重なる位置に設けられている。すなわち、これら突出片部32は、補助容量線13の幅寸法に略等しい幅寸法に形成されており、平面視で、この補助容量線13の延長部13aの幅方向の一側縁上に突出片部32の幅方向の一側縁が重なり、この延長部13aの幅方向の他側縁上に突出片部32の幅方向の他側縁が重なるように設けられている。
Further, these protruding
ここで、カラーフィルタ層22のうち、ガラス基板6上に最初に積層させる緑色フィルタ部23、枠状パターン31および突出片部32それぞれの外側面は、図6に示すように、下側から上側に向けて徐々に拡開した逆テーパ状の逆テーパ面33に形成される。これら逆テーパ面33は、緑色フィルタ部23、枠状パターン31および突出片部32のそれぞれに上に積層させる図示しないフォトレジストが透明で、これら緑色フィルタ部23、枠状パターン31および突出片部32の表面のみが硬化するにすぎないことから、これら緑色フィルタ部23、枠状パターン31および突出片部32それぞれの両側部に、例えば数μm幅程度に形成されている。
Here, among the color filter layers 22, the outer surfaces of the
さらに、これら突出片部32および枠状パターン31によって外壁パターン34が構成されており、この外壁パターン34の外側には、この外壁パターン34を覆うようにブラックマトリクスとしての遮光部としての額縁パターン35が積層されている。この額縁パターン35は、表示領域7の周辺部を遮光するための黒額縁であって、例えば黒色樹脂層などの遮光性を有する有色樹脂にて構成されている。そして、この額縁パターン35は、ガラス基板6の表面より上方に向けて突出した状態で形成されており、カラーフィルタ層22および外壁パターン34の厚さ寸法より大きな厚さ寸法を有している。
Further, an
また、この額縁パターン35は、枠状パターン31の上端部および両側部それぞれでの幅寸法より大きな幅寸法を有する枠状に形成されている。そして、この額縁パターン35は、外壁パターン34の枠状パターン31および突出片部32それぞれの外側に位置する外側縁部に連続して設けられており、これら枠状パターン31および突出片部32の外周を囲んでいる。
Further, the
さらに、アレイ基板3の表示領域7のいずれかの表示画素8間には、このアレイ基板3の厚さ方向に沿った長手方向を有する細長円柱状の柱状スペーサ37が突設されている。これら柱状スペーサ37は、スペーサの機能を有する突起物であって、表示領域7の縦方向および横方向のそれぞれに向けて所定個数、例えば縦方向に2個の表示画素8を介した位置の表示画素8間のそれぞれに設けられている。
Further, an elongated columnar
すなわち、これら柱状スペーサ37は、アレイ基板3の表示領域7内に等間隔に離間されてマトリクス状に設けられている。そして、これら柱状スペーサ37は、カラーフィルタ層22上に積層されて設けられており、このカラーフィルタ層22の表面より上方に向けて突出した状態で形成されている。さらに、これら柱状スペーサ37、画素電極21および薄膜トランジスタ15を含むガラス基板上の全面には、配向膜38が積層されて形成されている。
That is, these
一方、対向基板4は、略透明な矩形平板状の絶縁基板としての透光性基板であるガラス基板41を備えている。このガラス基板41におけるアレイ基板3に対向した側の一主面である表面には、共通電極としてのコモン電極である矩形平板状の対向電極42が積層されて設けられている。この対向電極42は、透明電極としてのITO膜にて構成されている。また、この対向電極42は、対向基板4の表面とアレイ基板3の表面とを対向させた際に、このアレイ基板3のガラス基板6の表示領域7全体に亘って対向する矩形状の大きな電極である。言い換えると、この対向電極42は、アレイ基板3に対向基板4を対向させた際に、このアレイ基板3の画素電極21と相対するように配置されている。さらに、ガラス基板41上の全面には、このガラス基板41上の対向電極42を覆うように配向膜43が積層されて形成されている。
On the other hand, the counter substrate 4 includes a
そして、対向基板4は、この対向基板4の対向電極42側をアレイ基板3の画素電極21側に対向させた状態で、アレイ基板3に取り付けられている。すなわち、この対向基板4は、アレイ基板3に設けられている各柱状スペーサ37を対向基板4の対向電極42に当接させて、これらアレイ基板3と対向基板4との間に所定の間隔である液晶封止領域Cが形成されるように、平行に離間された状態で取り付けられている。
The counter substrate 4 is attached to the
さらに、これら対向基板4の配向膜43とアレイ基板3の配向膜38との間に、液晶材料としての誘電異方性が正である液晶組成物Lが注入されて挟持されて光変調層としての液晶層5が形成されている。この液晶層5は、対向基板4の配向膜43とアレイ基板3の配向膜38との間に液晶組成物Lが介挿されて封止されて構成されている。さらに、この液晶層5は、アレイ基板3の画素電極21と対向基板4の対向電極42との間に液晶容量を形成させる。
Further, a liquid crystal composition L having a positive dielectric anisotropy as a liquid crystal material is injected and sandwiched between the
また、アレイ基板3と対向基板4との間の周縁部は、これらアレイ基板3と対向基板4との間の液晶封止領域Cに液晶層5を封止させる液晶封止部としてのシール材44が取り付けられている。このシール材44は、アレイ基板3と対向基板4との間に接着されて固定されている。また、このシール材44は、アレイ基板3の表示領域7の周縁を覆うように設けられており、このアレイ基板3の表示領域7と対向基板4との間に液晶封止領域Cを形成させる。そして、このシール材44は、アレイ基板3の額縁パターン35と対向基板4の対向電極42より外側の配向膜43との間に設けられている。
The peripheral portion between the
さらに、このシール材44の周辺には、アレイ基板3から対向電極42に電圧を印加するための図示しない電極転移材が形成されている。この電極転移材は、アレイ基板3と対向基板4との間の図示しない画面周辺部に設けられている図示しない電極転移電極上に形成されている。
Further, an electrode transition material (not shown) for applying a voltage from the
一方、これらアレイ基板3のガラス基板6の裏面と対向基板4のガラス基板41の裏面とのそれぞれには、略矩形平板状の偏光板45,46が積層されて取り付けられている。これら偏光板45,46は、アレイ基板3のガラス基板6の裏面および対向基板4のガラス基板41の裏面の略全面を覆っている。
On the other hand, on each of the back surface of the
次に、上記第1の実施の形態の液晶表示装置の製造方法を説明する。 Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the first embodiment will be described.
まず、成膜工程とパターニング工程とを繰り返してガラス基板6の表面上の表示領域7に走査線11および信号線12を格子状に形成するとともに、これら走査線11および信号線12にて囲まれた領域のそれぞれに薄膜トランジスタ15を形成して、図4に示すように、縦480ピクセル、横640×4ピクセルを有するアレイ下地9を形成する。
First, the film forming process and the patterning process are repeated to form the
この後、図5に示すように、このアレイ下地9上の全面に、緑色レジストGをスピンナにて塗布し、この塗布した緑色レジストGのうち、緑色の顔料を残して緑色フィルタ部23および外壁パターン34を形成したい部分に光を照射させる図示しないフォトマスクを介して、ガラス基板6上に、例えば365nmの波長で100mJ/cm2の露光量のレーザビームを照射してフォトリソグラフィする。
Thereafter, as shown in FIG. 5, a green resist G is applied to the entire surface of the
次いで、このフォトリソグラフィしたガラス基板6を、例えば界面活性剤を含む水酸化カリウム(KOH)の0.05%水溶液を現像液として30秒間現像してから、230℃の図示しないホットプレートで3分間焼成(ベーク)して硬化させて、このガラス基板6上に第1の着色層として、例えば3.0μmの厚さ寸法を有する緑色フィルタ部23および外壁パターン34を形成する。
Next, the
このとき、ガラス基板6のフォトリソグラフィでは、緑色の顔料を残して緑色フィルタ部23および外壁パターン34を形成したい部分の表面のみが硬化するに過ぎず、このガラス基板6の現像によって、このガラス基板6上に形成された緑色フィルタ部23および外壁パターン34の両側面に現像液が回り込むことから、図6に示すように、これら緑色フィルタ部23および外壁パターン34それぞれの両側面に、数μm幅の逆テーパ面33が形成される。また、このガラス基板6の焼成によって、このガラス基板6上の緑色フィルタ部23および外壁パターン34のそれぞれが一時的に溶けて、図7に示すように、これら緑色フィルタ部23および外壁パターン34それぞれの両側面が、上側から下側に向けて幅広になるように傾斜したテーパ面39となる。
At this time, in the photolithography of the
また、このガラス基板6上の表示領域7を囲む外壁パターン34の枠状パターン31のうち、このガラス基板6の横方向の両側に位置する両側辺の外側に、このガラス基板6上に形成された補助容量線13の延長部13a上に平面視で重なるように、例えば25μmの幅寸法を有するとともに50μmの長さ寸法を有する突出片部32を一体的に形成させた。この結果、これら突出片部32を枠状パターン31に形成したことにより、上記現像の際に枠状パターン31に剥がれが発生しなくなった。
In addition, the
この後、緑色フィルタ部23を形成する場合と同様に、図8に示すように、青色レジストBをガラス基板6上の全面に塗布してから、図9に示すように、このガラス基板6の表示領域7内の青色フィルタ部24を形成したい部分を現像してから焼成して、図10に示すように、各緑色フィルタ部23の幅方向の一側に、第2の着色層として、例えば3.0μmの厚さ寸法を有する青色フィルタ部24を形成する。
Thereafter, as in the case of forming the
さらに、青色フィルタ部24を形成する場合と同様に、図11に示すように、赤色レジストRをガラス基板6上の全面に塗布してから、図12に示すように、このガラス基板6の表示領域7内の赤色フィルタ部25を形成したい部分を現像してから焼成して、各青色フィルタ部24と各緑色フィルタ部23との間のそれぞれに、第3の着色層として、例えば3.0μmの厚さ寸法を有する赤色フィルタ部25を形成する。
Further, as in the case of forming the
この後、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25がそれぞれ形成されたガラス基板6を、例えば220℃の温度で60分間ほど図示しないオーブンで加熱して焼成(ベーク)して、このガラス基板6上の各レジストG,B,Rを完全に硬化させてカラーフィルタ層22を形成する。
Thereafter, the
次いで、このガラス基板6上のカラーフィルタ層22の各緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25のそれぞれにコンタクトホール26を形成してから、これら各緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25上の全面に、例えば0.15μmの厚さほどITO膜をスパッタ法にて成膜してから、このITO膜を各表示画素8に対応させてフォトリソグラフィ法にてパターニングして、これら表示画素8上のそれぞれに画素電極21を形成する。
Next, contact holes 26 are formed in each of the
この後、ガラス基板6上に、黒色の顔料を分散させた感光性を有する樹脂材料をスピンナにて塗布し、このガラス基板6上に黒色の顔料を残して額縁パターン35および柱状スペーサ37を形成したい部分に光を照射させるフォトマスクを介して、このガラス基板6上に、例えば365nmの波長で100mJ/cm2の露光量のレーザビームを照射してフォトリソグラフィする。
Thereafter, a photosensitive resin material in which a black pigment is dispersed is applied onto the
次いで、このフォトリソグラフィしたガラス基板6を、例えば界面活性剤を含む水酸化カリウム(KOH)の0.05%水溶液を現像液として60秒間現像してから、200℃で60分間焼成させて、このガラス基板6上に額縁パターン35および柱状スペーサ37を形成する。
Next, the
さらに、このガラス基板6上の全面に、例えばAL−1051(JSR株式会社製)を配向膜材料として塗布してからラビング処理して配向膜38を形成してアレイ基板3とする。
Further, for example, AL-1051 (manufactured by JSR Corporation) is applied as an alignment film material on the entire surface of the
一方、対向基板4は、ガラス基板41の表面上に、例えば0.15μmの厚さほどITO膜をスパッタ法にて成膜して対向電極42を形成してから、この対向電極42を形成したガラス基板41上の全面に、例えばAL−1051(JSR株式会社製)を配向膜材料として塗布してからラビング処理して配向膜43を形成する。
On the other hand, the counter substrate 4 is formed by forming an ITO electrode on the surface of the
この後、液晶組成物Lを注入する部分を除く対向基板4の配向膜43の周縁に沿ってシール材44となる接着剤を印刷する。
Thereafter, an adhesive serving as a sealing
さらに、アレイ基板3から対向基板4の対向電極42に電圧を印加するための図示しない電極転移材を、対向基板4上の接着剤の周辺の対向電極42から突出した図示しない電極転移電極上に形成する。
Furthermore, an electrode transfer material (not shown) for applying a voltage from the
次いで、アレイ基板3の配向膜38と対向基板4の配向膜43とのラビング方向が90゜となるように、これらアレイ基板3の配向膜38と対向基板4の配向膜43とを対向配置させてから、接着剤を加熱して硬化させてシール材44とし、これらアレイ基板3と対向基板4とをシール材44にて貼り合わせる。
Next, the
この後、これらアレイ基板3と対向基板4との間のシール材44にてシールされていない部分である液晶注入口から、例えば液晶材料に所定の液晶添加剤を添加したものを液晶組成物Lとして液晶封止領域Cに注入してから、このシール材44の液晶注入口を紫外線硬化樹脂にて封止して、これらアレイ基板3と対向基板4との間に液晶層5を形成して液晶表示パネル2とする。
Thereafter, for example, a liquid crystal composition obtained by adding a predetermined liquid crystal additive to a liquid crystal material from a liquid crystal injection port which is a portion not sealed by the sealing
さらに、図13に示すように、この液晶表示パネル2の各ガラス基板6,41それぞれの裏面に偏光板45,46をそれぞれ貼り付けるとともに、この液晶表示パネル2のガラス基板6上に、この液晶表示パネル2を駆動させる図示しない駆動回路としてのドライバ回路を取り付けて、カラー表示可能なアクティブマトリクス型の液晶表示装置1とする。
Further, as shown in FIG. 13,
この後、この液晶表示装置1を点灯評価したところ、優れた表示品位を有していた。 Then, when this liquid crystal display device 1 was evaluated for lighting, it had excellent display quality.
次に、上記第1の実施の形態の液晶表示装置の作用について説明する。 Next, the operation of the liquid crystal display device of the first embodiment will be described.
ここで、液晶表示パネル2の表示領域7に周辺に形成されている枠状パターン31は、単一色の着色層、例えば緑色フィルタ部23と同じ緑色レジストGの積層によって構成されている。そして、この枠状パターン31は、例えば略20μm以上30μm以下の幅寸法に形成されており、この枠状パターン31と表示領域7のカラーフィルタ層22の各フィルタ部との関係は、この枠状パターン31の辺によって異なる。
Here, the
すなわち、この枠状パターン31の辺のうち、液晶表示パネル2の上下に位置する上下辺に相当する上下辺部31aでは、表示領域7の各フィルタ部が交互に並んでいるので、枠状パターン31とカラーフィルタ層22とを緑色フィルタ部23が積層されている表示画素8毎、すなわち1画素ピッチ単位で接続できる。このため、この枠状パターン31の上下辺部31aが、この上下辺部31aより幅寸法が大きな太いパターンである緑色フィルタ部23にて支えられることによって、この上下辺部31aの剥がれが発生しにくい。
That is, among the sides of the frame-shaped
一方、この枠状パターン31のうち、液晶表示パネル2の左右に位置する左右辺に相当する左右辺部31bは、この左右辺部31bに隣接する表示画素8上に積層されているフィルタ部によって事情が相違する。すなわち、表示領域7の幅方向の最も一側寄りに位置する外側のフィルタ部の色と、枠状パターン31の色とが同一色である場合は、この枠状パターン31の右辺部31bを表示画素8上のフィルタ部とともに連続して一体的に太く形成できるので、この枠状パターン31の左右辺部31bの剥がれの問題が生じない。
On the other hand, the left and
これに対し、表示領域7の幅方向の最も一側寄りに位置する外側のフィルタ部の色と、枠状パターン31の色とが異なる色である場合は、この枠状パターン31の左右辺部31bを表示画素8上のフィルタ部と連続させて形成できないので、この枠状パターン31の左右辺部31bを細いパターンとして独立して形成しなければならないことから、この枠状パターン31の左右辺部31bが剥がれやすくなってしまう。
On the other hand, when the color of the outer filter portion located closest to the one side in the width direction of the
例えば、図25ないし図27に示す第1の比較例のように、液晶表示パネル2の表示領域7の幅方向の左端部では、図25に示すように、赤色フィルタ部25が積層されているが、この赤色フィルタ部25に隣接する枠状パターン31を、赤色フィルタ部25を構成する赤色レジストRなどで形成できる場合には、この枠状パターン31の左辺部31bを赤色フィルタ部25と連続して形成できるので、この枠状パターン31の左辺部31bを独立して細く形成する必要がない。これに対し、この枠状パターン31を、赤色フィルタ部25以外の緑色フィルタ部23や青色フィルタ部24を構成する緑色レジストGや青色レジストBなどで形成した場合には、この枠状パターン31の左辺部31bをフィルタ部に連続させて形成できないので、この左辺部31bを独立させた細いパターンとして形成しなければならない。
For example, as in the first comparative example shown in FIGS. 25 to 27, the
さらに、この枠状パターン31は、フォトリソグラフィ時に緑色レジストGの表面のみが硬化するため、この枠状パターン31の現像時に現像液が両側面に回りこむことから、この枠状パターン31の両側に数μm幅の逆テーパ面33が形成される。このため、この枠状パターン31が細い場合には、枠状パターン31の幅に相当する以上に剥がれやすい。また、液晶表示パネル2の表示領域7の幅方向の右端部では、図26に示すように、青色フィルタ部24が積層されているが、この青色フィルタ部24と一体的に連続して枠状パターン31の右辺部31bを形成できればよいが、この枠状パターン31の右辺部31bを青色フィルタ部24と一体的に連続して形成できない場合には、この枠状パターン31の右辺部31bを独立して細いパターンとして形成しなければならないので、この枠状パターン31の右辺部31bが剥がれやすくなってしまう。
In addition, since only the surface of the green resist G is cured during photolithography, the frame-shaped
このとき、この枠状パターン31を形成した場合には、この枠状パターン31の左右辺部31bのいたるところに剥がれが発生してしまう。そして、この剥がれが発生した枠状パターン31内のガラス基板6上に青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25を形成した場合には、この枠状パターン31に発生している剥がれを起点として塗布むらが発生してしまい、このガラス基板6を用いて液晶表示パネル2を作製した場合には、枠状パターン31の剥がれに起因する塗布むらの影響によって表示品位が低くなってしまう。
At this time, when the frame-shaped
そこで、この枠状パターン31の左右辺部31bの剥がれが、この左右辺部31bの幅方向に沿った外力に対して生じると考えられることから、上述した第1の実施の形態のように、枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁に、これら左右辺部31bの外側縁から垂直に突出した帯状の複数の突出片部32を、これら左右辺部31bから一体的に連続させて突き出させた構成とした。この結果、これら突出片部32の長手方向が、枠状パターン31の左右辺部31bが剥がれる方向、すなわち幅方向に平行であることから、これら左右辺部31bが剥がれる方向に沿った外力を突出片部32で受け止めることができるので、この枠状パターン31の左右辺部31bの剥がれに対する耐久性を向上できる。
Therefore, since the peeling of the left and
すなわち、これら突出片部32によるガラス基板6との付着によって、枠状パターン31の左右辺部31bとガラス基板6との付着を保持できるから、このガラス基板6から枠状パターン31の左右辺部31bが剥がれにくくなる。したがって、この枠状パターン31をより細くすることができるので、この枠状パターン31を細くすることにより、この枠状パターン31の視認性を低下でき、この枠状パターン31の見栄えを向上できる。よって、液晶表示パネル2をより狭縁化できるとともに、この液晶表示パネル2の製造コストを削減できる。
That is, the adhesion between the left and
さらに、これら突出片部32を、遮光性を有する金属材料であって、ガラス基板6上に配線されている電極線のうち最も幅が広い補助容量線13上に重なる位置に設けたことにより、これら突出片部32への光の透過、すなわち光抜けを補助容量線13で抑えて防止しつつ、これら突出片部32の幅寸法を大きくできる。したがって、これら突出片部32による枠状パターン31の剥がれ防止効率を向上できつつ、これら突出片部32を、カラーフィルタ層22を構成する緑色フィルタ部23と同じ材料で形成したことによる、これら突出片部32を透過する光の着色を防止できるので、液晶表示パネル2の視認性の低下を防止できる。この結果、表示品位の高い液晶表示装置1を歩留まり良く製造できる。
Furthermore, these projecting
なお、上記第1の実施の形態では、額縁パターン35をフォトリソグラフィにて形成したが、図14ないし図24に示す第2の実施の形態のように、この額縁パターン35をインクジェット法にて形成することもできる。この場合、この額縁パターン35の外側に、この額縁パターン35を囲むように外枠部としての枠状の受止パターン61が積層されて設けられている。すなわち、この額縁パターン35は、外壁パターン34と受止パターン61との間の間隙Aに設けられている。
In the first embodiment, the
さらに、この受止パターン61は、ガラス基板6上に積層されて、このガラス基板6上に付着されている。すなわち、この受止パターン61は、ガラス基板6の表面より上方に向けて突出した状態で設けられており、カラーフィルタ層22および額縁パターン35それぞれの厚さ寸法より大きな厚さ寸法を有している。また、この受止パターン61は、額縁パターン35の幅方向の両側および縦方向の両端のそれぞれに連続して設けられており、この額縁パターン35の外周縁を周方向に亘って連続して囲んでいる。すなわち、この受止パターン61は、外壁パターン34の外側縁から額縁パターン35を形成するための所定の間隙Aを介した位置に、この外壁パターン34を囲んで設けられている。
Further, the receiving
また、この受止パターン61は、アレイ下地9上に積層され緑色フィルタ部23を構成する緑色の感光性樹脂材にて構成された第1の層である下層としての第1受止層62と、この第1受止層62上に積層され青色フィルタ部24を構成する青色の感光性樹脂材にて構成された第2の層としての上層である第2受止層63とで構成された積層構造を有する積層体である。すなわち、この受止パターン61の第1受止層62は、緑色フィルタ部23と同じ材料および同一工程で同時に形成されている。さらに、この受止パターン61の第2受止層63は、青色フィルタ部24と同じ材料および同一工程で同時に形成されている。したがって、第1受止層62上に第2受止層63が積層されて構成された受止パターン61は、カラーフィルタ層22を構成する緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25それぞれの厚さ寸法の略2倍の厚さ寸法に形成されている。
The receiving
一方、外壁パターン34は、ガラス基板6上の各表示画素8それぞれの縦方向の上側縁および下側縁のそれぞれを囲う隔壁パターン65を備えている。この隔壁パターン65は、横方向に沿って連続している各表示画素8それぞれの上側縁および下側縁に連続して設けられており、これら表示画素8の横方向に亘って設けられている。さらに、この隔壁パターン65は、縦方向に連続している表示画素8の上端縁および下端縁のそれぞれも囲っている。
On the other hand, the
また、この隔壁パターン65は、緑色フィルタ部23を構成する緑色の感光性樹脂材にて構成されており、この緑色フィルタ部23と同じ材料および同一工程で同時に形成されている。したがって、この隔壁パターン65は、カラーフィルタ層22の厚さ寸法に等しい厚さ寸法に形成されており、このカラーフィルタ層22の各緑色フィルタ部23のそれぞれに対して連続して一体的に設けられている。また、この隔壁パターン65は、ガラス基板6の表面より上方に向けて突出した状態で形成されている。さらに、この隔壁パターン65には、各表示画素8に対応してコンタクトホール26が形成されている。
The
そして、この隔壁パターン65およびカラーフィルタ層22を覆うように枠状パターン31が設けられている。すなわち、この枠状パターン31は、カラーフィルタ層22および隔壁パターン65が形成されている領域全体を周方向に亘って連続して囲んだ枠状に形成されている。さらに、この枠状パターン31は、この枠状パターン31の上下辺部31aの幅寸法と、この枠状パターン31の左右辺部31bとのそれぞれが、等しい幅寸法、例えば20μm以上30μm以下程度の幅寸法に形成されている。
A
また、この枠状パターン31および突出片部32は、アレイ下地9上に積層され緑色フィルタ部23を構成する緑色の感光性樹脂材にて構成された第1の層としての下層である第1枠層66と、この第1枠層66上に積層され青色フィルタ部24を構成する青色の感光性樹脂材にて構成された第2の層としての上層である第2枠層67とで構成された積層構造を有する積層体である。したがって、これら枠状パターン31および突出片部32は、緑色フィルタ部23の厚さ寸法と青色フィルタ部24の厚さ寸法とを加えた厚さ寸法を有している。
The frame-shaped
さらに、柱状スペーサ37は、画素電極21を構成する透明電極としてのITO膜にて構成されている。すなわち、この柱状スペーサ37は、画素電極21と同じ材料および同一工程で同時に形成されている。
Further, the
次に、上記第2の実施の形態の液晶表示装置の製造方法を説明する。 Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the second embodiment will be described.
まず、上記第1の実施の形態と同様に、ガラス基板6上にアレイ下地9を形成してから、このアレイ下地9上の全面に、緑色レジストGをスピンナにて塗布してからフォトリソグラフィする。
First, as in the first embodiment, an
この後、このフォトリソグラフィしたガラス基板6を現像して、図17に示す状態にしてから焼成して硬化させて、図18に示すように、ガラス基板6上に緑色フィルタ部23と、隔壁パターン65と、外壁パターン34の第1枠層66と、受止パターン61の第1受止層62とのそれぞれを形成する。
Thereafter, the
次いで、この緑色フィルタ部23を形成する場合と同様に、図19に示すように、青色レジストBをガラス基板6上の全面に塗布してからフォトリソグラフィしてから焼成して硬化させて、青色フィルタ部24と、外壁パターン34の第2枠層67と、受止パターン61の第2受止層63とのそれぞれを形成する。
Next, as in the case of forming the
このとき、ガラス基板6のフォトリソグラフィによって、図20に示すように、これら青色フィルタ部24、第2枠層67および第2受止層63それぞれの両側面に、数μm幅の逆テーパ面33が形成される。さらに、このガラス基板6の焼成によって、図21に示すように、このガラス基板6上の青色フィルタ部24、第2枠層67および第2受止層63それぞれが一時的に溶けて、これら青色フィルタ部24、第2枠層67および第2受止層63それぞれの両側面がテーパ面39となる。
At this time, by photolithography of the
さらに、この青色フィルタ部24を形成する場合と同様に、図22に示すように、赤色レジストRをガラス基板6上の全面に塗布してからフォトリソグラフィした後に焼成して硬化させて、図23に示すように、赤色フィルタ部25を形成する。
Further, as in the case of forming the
この後、このガラス基板6を焼成して、このガラス基板6上にカラーフィルタ層22を形成してから、このカラーフィルタ層22の隔壁パターン65にコンタクトホール26を形成した後に、このカラーフィルタ層22上の全面にITO膜をスパッタ法にて成膜してからフォトリソグラフィ法にてパターニングして、各表示画素8上のそれぞれに画素電極21を形成する。
Thereafter, the
さらに、この画素電極21が形成されたカラーフィルタ層22上の全面に、感光性を有する透明樹脂材料を、スピンナを用いて、例えば5.5μmの厚さ寸法ほど塗布してから、90℃で10分間乾燥させた後に、所定のフォトマスクを介して、例えば365nmの波長で500mJ/cm2の露光量のレーザビームを照射してフォトリソグラフィする。
Further, a transparent resin material having photosensitivity is applied to the entire surface of the
この後、このフォトリソグラフィしたガラス基板6を、例えば水酸化カリウムの0.05%水溶液を現像液として30秒間現像してから、例えば200℃で60分間焼成して硬化させて、このガラス基板6上の所定位置に柱状スペーサ37を形成する。
Thereafter, the
次いで、図24に示すように、溶剤中に黒色顔料を分散させ、モノマ等の樹脂成分を含んだ液状の遮光材である黒色インクDを、ガラス基板6上の受止パターン61と外壁パターン34とで囲まれた領域である間隙A内に、インクジェット法にてガラス基板6上から滴下させて、これら受止パターン61と外壁パターン34との間の間隙Aに黒色インクDを隙間無く充填させて塗布する。
Next, as shown in FIG. 24, black pigment D is dispersed in a solvent, and black ink D, which is a liquid light-shielding material containing a resin component such as a monomer, is applied to receiving
この後、このガラス基板6を大気圧より気圧が低い減圧雰囲気下に設置させて、このガラス基板6上の間隙Aに隙間無く塗布した黒色インクD中の溶剤を除去してから、例えば200℃で30分間ほど焼成して硬化させて、このガラス基板6上の受止パターン61と外壁パターン34との間の間隙Aに額縁パターン35を形成する。
Thereafter, the
次いで、上記第1の実施の形態と同様にして、液晶表示装置1を作製した。 Next, a liquid crystal display device 1 was produced in the same manner as in the first embodiment.
この後、この液晶表示装置1を点灯評価したところ、優れた表示品位を有していた。 Then, when this liquid crystal display device 1 was evaluated for lighting, it had excellent display quality.
ここで、図28および図29に示す第2の比較例のように、外壁パターン34の枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁に突出片部32を設けない場合には、この枠状パターン31の第2枠層67のいたるところに剥がれが発生して剥がれ部が形成されてしまう。また、黒色インクDをインクジェット法で塗布して額縁パターン35を形成しようとする際には、枠状パターン31に形成された剥がれ部から、黒色インクDが表示領域7内に流れ込んでしまう。したがって、この黒色インクDが表示領域7内に流れ込んだガラス基板6を用いて液晶表示パネル2を作製した場合には、枠状パターン31の第2枠層67の剥がれに起因した塗布むらや、この第2枠層67の剥がれ部への黒色インクDの流れ込みの影響によって表示品位が低くなってしまう。
Here, as in the case of the second comparative example shown in FIGS. 28 and 29, when the protruding
そこで、上述した第2の実施の形態のように、外壁パターン34の枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁に突出片部32を一体的に設けたことにより、これら突出片部32とガラス基板6との間の付着によって、枠状パターン31のガラス基板6からの剥がれが防止されるので、上記第1の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
Therefore, as in the second embodiment described above, the protruding
さらに、この外壁パターン34を、カラーフィルタ層22の緑色フィルタ部23と同一材料および同一工程で形成された第1枠層66と、青色フィルタ部24と同一材料および同一工程で形成された第2枠層67とを重ね合わせた積層構造として、この外壁パターン34の高さを大きくするとともに、この外壁パターン34の外側に間隙Aを介して受止パターン61を形成し、この受止パターン61も、カラーフィルタ層22の緑色フィルタ部23と同一材料および同一工程で形成された第1受止層62と、青色フィルタ部24と同一材料および同一工程で形成された第2受止層63との積層構造とした。
Further, the
この結果、これら外壁パターン34および受止パターン61のそれぞれに高さが生じ、これら外壁パターン34および受止パターン61のそれぞれがガラス基板6上から上方に突出した状態となる。したがって、これら外壁パターン34と受止パターン61との間に断面凹溝状の凹部Hが形成されるので、この凹部H内の間隙Aに、黒色インクDを滴下して隙間なく塗布することによって、この凹部Hの両側を囲う外壁パターン34および受止パターン61が土手として機能することから、これら外壁パターン34と受止パターン61との間の間隙Aに塗布された黒色インクDが、これら外壁パターン34と受止パターン61との間の凹部Hにて堰き止められて、この凹部Hより外側に流れ出すことが防止されるので、この凹部H内の黒色インクDを硬化させることによって、この凹部H内の間隙Aに額縁パターン35を形成できる。
As a result, each of the
したがって、この額縁パターン35をインクジェット法にて形成することが可能となるので、この額縁パターン35の材料として感光性を有する材料などを用いる必要が無くなる。よって、突出片部32にて外壁パターン34の剥がれを防止しつつ、額縁パターン35の形成を容易にできるので、この額縁パターン35の製造性を向上できるとともに、この額縁パターン35の製造コストを削減できるから、液晶表示パネル2の製造性を向上できつつ製造コストを削減できる。
Accordingly, since the
なお、上記各実施の形態では、カラーフィルタ層22を囲む外壁パターン34の枠状パターン31の左右辺部31bの外側縁に突出片部32を設けたが、この枠状パターン31の上下辺部31aや、受止パターン61の両側縁、額縁パターン35の外側縁など、細くして剥がれを防止する必要のあるパターンに突出片部32を設けて、これらパターンを細くしつつ剥がれを防止させることもできる。
In each of the above embodiments, the protruding
さらに、アレイ基板3上に配線されている配線のうちで横方向に沿って配線され幅寸法が大きな補助容量線13に重なる位置に突出片部32を形成したが、このアレイ基板3上に配線されている信号線12などのその他の配線や、遮光性を有する膜などに重なる位置に突出片部32を形成することもできる。この場合、ポリシリコンにて構成された活性層18を有する薄膜トランジスタ15をアレイ基板3上に形成した場合には、このアレイ基板3上の補助容量線13や信号線12などに重なる位置に突出片部32を設けると良いが、この薄膜トランジスタ15の活性層18を非結晶シリコンであるアモルファシリコン(a−Si)にて構成した場合には、アレイ基板3上の走査線11に重なる位置に突出片部32を設けると良い。
Further, among the wirings arranged on the
また、外壁パターン34の第1枠層66、受止パターン61の第1受止層62および隔壁パターン65を緑色フィルタ部23と同一材料および同一工程にて形成し、外壁パターン34の第2枠層67および受止パターン61の第2受止層63を青色フィルタ部24と同一材料および同一工程にて形成したが、これら外壁パターン34、受止パターン61および隔壁パターン65のそれぞれを、その他の緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24あるいは赤色フィルタ部25や、他の材料で形成することもできる。
Further, the
さらに、液晶表示パネル2のカラーフィルタ層22として、光の三原色に対応した緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25を幅方向に交互に配置させたが、これら緑色フィルタ部23、青色フィルタ部24および赤色フィルタ部25に用いられている以外の色、例えばイエロー、マゼンダおよびシアンなどの光の三原色に対応したフィルタ部や、これらフィルタ部として白色や透明なフィルタ部を組み合わせて明るさを向上させたりすることもできる。
Further, as the
また、COA方式の液晶表示パネル2について説明したが、その他の方式を用いた液晶表示パネル2であっても対応させて用いることができる。さらに、薄膜トランジスタ15をスイッチング素子とした液晶表示パネル2について説明したが、その他のスイッチング素子を用いた液晶表示パネル2などであっても対応させて用いることができる。また、液晶表示パネル2以外の、例えばエレクトロルミネッセンス(EL)表示パネルなどのカラーフィルタ層22が必要な平面表示装置やその他の種々のパネル基板についても、対応させて用いることができる。
Further, the COA type liquid
3 フィルタ基板としてのアレイ基板
6 基板としてのガラス基板
13 遮光部としての補助容量線
22 フィルタ部としてのカラーフィルタ層
23 第1色部としての緑色フィルタ部
24 第2色部としての青色フィルタ部
31 枠状部としての枠状パターン
32 突出部としての突出片部
35 額縁部としての額縁パターン
61 外枠部としての受止パターン
66 第1の層としての第1枠層
67 第2の層としての第2枠層
3 Array substrate as
13 Auxiliary capacitance line as light shielding part
22 Color filter layer as filter section
23 Green filter section as the first color section
24 Blue filter section as second color section
31 Frame pattern as frame
32 Projection piece as projection
35 Frame pattern as a frame
61 Receiving pattern as outer frame
66 First frame layer as first layer
67 Second frame layer as second layer
Claims (4)
この基板上に設けられ異なる色の複数のフィルタ部と、
これら複数のフィルタ部の少なくともいずれかを囲んで前記基板上に付着された枠状部と、
前記基板上に付着され前記枠状部より外側にこの枠状部から一体的に形成されて突出した突出部と、を具備した
ことを特徴としたフィルタ基板。 A substrate,
A plurality of filter portions of different colors provided on the substrate;
A frame-shaped portion attached on the substrate surrounding at least one of the plurality of filter portions;
A filter substrate, comprising: a protrusion attached to the substrate and integrally formed from the frame-shaped portion and protruding outside the frame-shaped portion.
前記突出部は、前記第1色部と同じ材料で構成された第1の層と、この第1の層上に積層され前記第2色部と同じ材料で構成された第2の層とを備えている
ことを特徴とした請求項1記載のフィルタ基板 The filter unit includes a first color unit and a second color unit of different colors,
The protrusion includes a first layer made of the same material as the first color part, and a second layer made of the same material as the second color part stacked on the first layer. The filter substrate according to claim 1, further comprising:
前記突出部は、前記遮光部に重ねて設けられている
ことを特徴とした請求項1または2いずれか一記載のフィルタ基板。 Comprising a light-shielding portion provided on one main surface of the substrate;
The filter substrate according to claim 1, wherein the protruding portion is provided so as to overlap the light shielding portion.
この基板上に設けられ異なる色の複数のフィルタ部と、
これら複数のフィルタ部の少なくともいずれかを囲んで前記基板上に付着して形成された枠状部と、
前記基板上に付着され前記枠状部より外側にこの枠状部から一体的に形成されて突出した突出部と、
前記枠状部を囲んで前記基板上に設けられ遮光性を有する額縁部と、
この額縁部を囲んで前記基板上に形成された外枠部と、を具備したフィルタ基板の製造方法であって、
前記枠状部と前記外枠部との間に液状の遮光材を滴下して前記額縁部を形成する
ことを特徴としたフィルタ基板の製造方法。 A substrate,
A plurality of filter portions of different colors provided on the substrate;
A frame-like portion formed on and adhering to the substrate surrounding at least one of the plurality of filter portions;
A protruding portion that is attached to the substrate and that is integrally formed and protruded from the frame-shaped portion outside the frame-shaped portion;
A frame portion provided on the substrate surrounding the frame-like portion and having a light shielding property;
An outer frame portion formed on the substrate surrounding the frame portion, and a method for manufacturing a filter substrate,
A method of manufacturing a filter substrate, comprising forming a frame portion by dropping a liquid light-shielding material between the frame-shaped portion and the outer frame portion.
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