JP4912750B2 - Liquid crystal display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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本発明は、画像を表示する表示領域の外周に沿って配置された遮光領域を遮光する遮光層を備えた液晶表示装置およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device including a light shielding layer that shields a light shielding region arranged along an outer periphery of a display region for displaying an image, and a method for manufacturing the same.

現在、一般的に設けられている液晶表示装置は、アレイ基板と対向基板との間に液晶が介在されて構成されている。そして、これらアレイ基板と対向基板との周縁の液晶封止口を除く部分が接着剤で固定されており、この液晶封止口が封止剤にて封止されている。さらに、これらアレイ基板と対向基板との間には、これらアレイ基板と対向基板との間の距離を一定に保つためにスペーサとして粒径が均一なプラスチックビーズなどが散在されている。   Currently, a generally provided liquid crystal display device is configured by interposing a liquid crystal between an array substrate and a counter substrate. And the part except the liquid crystal sealing port of the periphery of these array substrates and a counter substrate is being fixed with the adhesive agent, and this liquid crystal sealing port is sealed with the sealing agent. Further, between the array substrate and the counter substrate, plastic beads having a uniform particle diameter are interspersed as spacers in order to keep the distance between the array substrate and the counter substrate constant.

さらに、これら液晶表示装置のうち、カラー表示が可能な液晶表示装置には、この液晶表示装置のアレイ基板および対向基板のいずれか一方にR(Red:赤)、G(Green:緑)およびB(Blue:青)の着色層にて構成されたカラーフィルタ層が形成されている。そして、この液晶表示装置の表示方式としては、例えばTN(Twisted Nematic)形、ST(Stock Time)形、GH(Guest Host)形あるいはECB(Electrically Controlled Birefringence)形や強誘電性液晶などが用いられている。また、封止剤としては、例えば熱にて硬化する熱硬化型や紫外線の照射にて硬化する紫外線硬化型のアクリル形またはエポキシ形の接着剤などが用いられている。   Furthermore, among these liquid crystal display devices, a liquid crystal display device capable of color display includes R (Red), G (Green) and B on either the array substrate or the counter substrate of the liquid crystal display device. A color filter layer composed of a colored layer of (Blue) is formed. As a display method of this liquid crystal display device, for example, TN (Twisted Nematic) type, ST (Stock Time) type, GH (Guest Host) type, ECB (Electrically Controlled Birefringence) type, ferroelectric liquid crystal, etc. are used. ing. Further, as the sealant, for example, a thermosetting type curable by heat or an ultraviolet curable type acrylic or epoxy type adhesive curable by ultraviolet irradiation is used.

また、カラー表示可能な液晶表示装置としては、絶縁基板上に走査線および信号線が格子状に設けられ、これら走査線および信号線の交点に対応してアモルファスシリコン(a−Si)を半導体層とした薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)が設けられ、これら薄膜トランジスタに画素電極が電気的に接続されたアクティブマトリクス基板としてのアレイ基板を備えている。そして、このアレイ基板に対向して、対向電極が設けられた対向基板が配設されており、この対向基板の対向電極上にカラーフィルタ層が設けられている。また、このカラーフィルタ層の周縁には、遮光性を有する額縁部が設けられている。さらに、これらアレイ基板と対向基板との間の画面周辺部には、アレイ基板から対向基板へ電圧を印加するトランスファである電極転移材が配置されている。この電極転移材としては、導電性の銀粒子をバインダにてペースト状にした銀ペーストなどが用いられる。また、これらアレイ基板と対向基板とのそれぞれは偏光板にて挟持されており、光シャッタとしてカラー画像が表示可能に構成されている。   In addition, as a liquid crystal display device capable of color display, scanning lines and signal lines are provided in a lattice pattern on an insulating substrate, and amorphous silicon (a-Si) is applied to the semiconductor layer corresponding to the intersections of these scanning lines and signal lines. A thin film transistor (TFT) is provided, and an array substrate is provided as an active matrix substrate in which pixel electrodes are electrically connected to the thin film transistor. A counter substrate provided with a counter electrode is disposed opposite to the array substrate, and a color filter layer is provided on the counter electrode of the counter substrate. Further, a frame portion having a light shielding property is provided on the periphery of the color filter layer. Further, an electrode transfer material, which is a transfer for applying a voltage from the array substrate to the counter substrate, is disposed at the periphery of the screen between the array substrate and the counter substrate. As the electrode transition material, a silver paste or the like in which conductive silver particles are pasted with a binder is used. Each of the array substrate and the counter substrate is sandwiched between polarizing plates, and is configured to display a color image as an optical shutter.

そして、この種の液晶表示装置においては、フォトリソグラフィにてカラーフィルタ層および額縁部をアレイ基板および対向基板のいずれかの一主面上に形成するのが一般的である(例えば、特許文献1参照。)が、このフォトリソグラフィは、塗布、露光、現像、焼成(ベーク)などの多くの処理工程が4工程ほど必要で、製造コストを下げることが容易ではない。そこで、インクジェットによる印刷でカラーフィルタ層を形成する方法が知られている(例えば、特許文献2および3参照。)。   In this type of liquid crystal display device, a color filter layer and a frame portion are generally formed on one main surface of either the array substrate or the counter substrate by photolithography (for example, Patent Document 1). However, this photolithography requires about four processing steps such as coating, exposure, development, and baking (baking), and it is not easy to reduce the manufacturing cost. Therefore, a method of forming a color filter layer by ink jet printing is known (for example, see Patent Documents 2 and 3).

そして、このインクジェット方式としては、アレイ基板および対向基板のいずれかの一主面上に新たな受容層を設けて、この受容層上から染色する方法(例えば、特許文献4参照。)や、これらアレイ基板および対向基板のいずれかの一主面上に、この一主面より突出した別個の土手状のパターンを設けて、この土手状のパターンの間に着色層を塗布する方法(例えば、特許文献5参照。)などが知られている。
特開2000−122072号公報 特開平10−170712号公報 特開2002−55223号公報 特開平10−148713号公報 特開2000−353594号公報
As the ink jet method, a new receiving layer is provided on one main surface of either the array substrate or the counter substrate and dyed from the receiving layer (for example, see Patent Document 4), or these. A method in which a separate bank-like pattern protruding from the one main surface is provided on one main surface of either the array substrate or the counter substrate, and a colored layer is applied between the bank-like patterns (for example, patents) Reference 5) is known.
JP 2000-120702 A JP-A-10-170712 JP 2002-55223 A Japanese Patent Laid-Open No. 10-148713 JP 2000-353594 A

しかしながら、上述のインクジェットによる印刷でカラーフィルタ層および額縁部を形成する場合には、土手状のパターンが必要となるから、液晶表示装置の開口率を低下させてしまうおそれがある。また、フォトリソグラフィを用いてカラーフィルタ層および額縁部を形成する場合には、これらカラーフィルタ層および額縁部を形成するための製造工程として4工程が必要となるから、製造が容易ではないという問題を有している。   However, when the color filter layer and the frame portion are formed by the above-described ink jet printing, a bank-like pattern is required, which may reduce the aperture ratio of the liquid crystal display device. Moreover, when forming a color filter layer and a frame part using photolithography, since four processes are required as a manufacturing process for forming these color filter layers and a frame part, manufacture is not easy. have.

本発明は、このような点に鑑みなされたもので、製造が容易で開口率が低下しにくい液晶表示装置およびその製造方法を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid crystal display device that is easy to manufacture and has a low aperture ratio and a method for manufacturing the same.

本発明は、光透過性基板上に、画像を表示する表示領域に配置された複数色の着色層を備えたカラーフィルタ層を有する画素と、前記表示領域の外周に沿って配置された遮光領域を遮光する遮光層とを備えた液晶表示装置の製造方法であって、前記光透過性基板上に前記カラーフィルタ層を形成する際に、このカラーフィルタ層に用いた材料で前記カラーフィルタ層の周縁に受止パターンを形成し、前記カラーフィルタ層の周縁にて遮光性材料を塗布して前記受止パターンで受け止めることで、前記カラーフィルタ層の外周を取り囲む前記遮光層を形成するものである。   The present invention relates to a pixel having a color filter layer having a plurality of colored layers arranged in a display area for displaying an image on a light-transmitting substrate, and a light-shielding area arranged along the outer periphery of the display area A liquid crystal display device comprising a light shielding layer that shields light from the color filter layer when the color filter layer is formed on the light transmissive substrate with the material used for the color filter layer. A light receiving layer is formed around the outer periphery of the color filter layer by forming a receiving pattern on the periphery, applying a light shielding material at the periphery of the color filter layer, and receiving the light receiving material with the receiving pattern. .

そして、光透過性基板上にカラーフィルタ層を形成する際に、このカラーフィルタ層に用いた材料でカラーフィルタ層の周縁に受止パターンを形成してから、このカラーフィルタ層の周縁にて遮光性材料を塗布して受止パターンで受け止めることで、カラーフィルタ層の外周を取り囲む遮光層を形成することにより、土手状のパターンなどを形成することなくカラーフィルタ層の周縁に遮光層を形成できるので、開口率が低下しにくい。また、フォトリソグラフィを用いて別途遮光層を形成する場合に比べ、製造工程が少なくなるので、液晶表示装置の製造を容易にできる。   Then, when forming the color filter layer on the light transmissive substrate, a receiving pattern is formed on the periphery of the color filter layer with the material used for the color filter layer, and then the light is blocked at the periphery of the color filter layer. By forming a light shielding layer that surrounds the outer periphery of the color filter layer by applying a functional material and receiving it with a receiving pattern, the light shielding layer can be formed on the periphery of the color filter layer without forming a bank-like pattern or the like Therefore, the aperture ratio is difficult to decrease. Further, since the manufacturing process is reduced as compared with the case where a separate light shielding layer is formed using photolithography, the liquid crystal display device can be easily manufactured.

本発明によれば、光透過性基板上にカラーフィルタ層を形成する際に、このカラーフィルタ層に用いた材料でカラーフィルタ層の周縁に受止パターンを形成してから、このカラーフィルタ層の周縁にて遮光性材料を塗布して受止パターンで受け止めることで、カラーフィルタ層の外周を取り囲む遮光層を形成することにより、開口率が低下しにくい。また、製造工程を少なくできるから、液晶表示装置の製造を容易にできる。   According to the present invention, when the color filter layer is formed on the light transmissive substrate, a receiving pattern is formed on the periphery of the color filter layer with the material used for the color filter layer, and then the color filter layer is formed. By applying a light-shielding material at the periphery and receiving it with a receiving pattern, a light-shielding layer surrounding the outer periphery of the color filter layer is formed, so that the aperture ratio is unlikely to decrease. In addition, since the manufacturing process can be reduced, the liquid crystal display device can be easily manufactured.

以下、本発明の液晶表示装置の第1の実施の形態の構成を図面を参照して説明する。   The configuration of the first embodiment of the liquid crystal display device of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1ないし図4において、1は平面表示装置としての液晶表示パネルである液晶パネルで、この液晶パネル1は、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)を用いたアクティブマトリクス型の液晶表示素子としての液晶表示装置である。そして、この液晶パネル1は、アクティブマトリクス基板としての光透過性基板である略矩形平板状のアレイ基板2と、このアレイ基板2に対向配置された対向基板3と、これらアレイ基板2と対向基板3との間に配置された液晶層4とを備え、アレイ基板2と対向基板3とは、液晶層4を挟持するための所定のギャップを形成しつつシール部材であるシール材5によって貼り合わせられている。   1 to 4, reference numeral 1 denotes a liquid crystal panel which is a liquid crystal display panel as a flat display device. The liquid crystal panel 1 is a liquid crystal as an active matrix type liquid crystal display element using a thin film transistor (TFT). It is a display device. The liquid crystal panel 1 includes a substantially rectangular flat array substrate 2 that is a light-transmitting substrate as an active matrix substrate, a counter substrate 3 disposed opposite to the array substrate 2, and the array substrate 2 and the counter substrate. The array substrate 2 and the counter substrate 3 are bonded together by a sealing material 5 which is a sealing member while forming a predetermined gap for sandwiching the liquid crystal layer 4. It has been.

そして、液晶パネル1は、例えばアレイ基板2側から対向基板3側に向けて選択的に光を透過する透過型である。このため、透過型の液晶パネル1の背面(アレイ基板2の外面側)には、この液晶パネル1を背面から照明するバックライトユニットBLが設けられている。   The liquid crystal panel 1 is, for example, a transmission type that selectively transmits light from the array substrate 2 side toward the counter substrate 3 side. For this reason, a backlight unit BL that illuminates the liquid crystal panel 1 from the back surface is provided on the back surface of the transmissive liquid crystal panel 1 (the outer surface side of the array substrate 2).

アレイ基板2は、例えばXGA(eXtended Graphics Array)型の薄膜トランジスタ(TFT)基板であって、略透明な矩形平板状の絶縁基板としての光透過性基板すなわち透光性基板であるガラス基板7を有している。   The array substrate 2 is, for example, an XGA (eXtended Graphics Array) type thin film transistor (TFT) substrate, and has a light transmissive substrate as a substantially transparent rectangular flat plate-like insulating substrate, that is, a glass substrate 7 which is a light transmissive substrate. is doing.

さらに、このガラス基板7の一主面である表面上の中央部には、画像を表示する表示領域としての画像表示領域である画面部8が形成されている。そして、このガラス基板7上の画面部8には、複数の画素9がマトリクス状に設けられて配置され、これら画素9により画面部8が構成されている。これら複数の画素9は、ガラス基板7の縦方向に沿ってn個形成されており、このガラス基板7の横方向に沿ってm個形成されている。したがって、これら複数の画素9は、ガラス基板7上にn×m個形成されている。さらに、これら画素9のそれぞれには、画素電極11、補助容量CSを形成する蓄積容量素子としての画素補助容量素子である補助容量素子12、および、スイッチング素子としての薄膜トランジスタ13がそれぞれ1つずつ対応して配置されている。   Further, a screen portion 8 that is an image display region as a display region for displaying an image is formed in the central portion on the surface that is one main surface of the glass substrate 7. A plurality of pixels 9 are arranged in a matrix on the screen portion 8 on the glass substrate 7, and the screen portion 8 is configured by these pixels 9. The plurality of pixels 9 are formed along the vertical direction of the glass substrate 7, and m pixels are formed along the horizontal direction of the glass substrate 7. Accordingly, n × m pixels 9 are formed on the glass substrate 7. Further, each of the pixels 9 corresponds to a pixel electrode 11, an auxiliary capacitance element 12 as a pixel auxiliary capacitance element as a storage capacitance element forming the auxiliary capacitance CS, and a thin film transistor 13 as a switching element. Are arranged.

また、ガラス基板7の表面には、画面部8において、電極配線としてのゲート電極配線である複数(m本)の走査線15が、このガラス基板7の幅方向(画素電極11の行方向)に沿って配列されている。これら走査線15は、ガラス基板7の横方向に向けて等間隔に平行に離間されている。また、画面部8において、これら走査線15間のそれぞれには、電極配線としての画像信号配線である複数(n本)の信号線16が、ガラス基板7の縦方向(画素電極11の列方向)に沿って配列されている。これら信号線16は、ガラス基板7の横方向に向けて等間隔に平行に離間されている。   Further, on the surface of the glass substrate 7, a plurality (m) of scanning lines 15 which are gate electrode wirings as electrode wirings in the screen portion 8 are arranged in the width direction of the glass substrate 7 (the row direction of the pixel electrodes 11). Are arranged along. These scanning lines 15 are spaced in parallel at equal intervals in the lateral direction of the glass substrate 7. In the screen portion 8, a plurality (n) of signal lines 16 as image signal wirings as electrode wirings are provided between the scanning lines 15 in the vertical direction of the glass substrate 7 (column direction of the pixel electrodes 11). ). These signal lines 16 are spaced in parallel at equal intervals in the lateral direction of the glass substrate 7.

したがって、これら走査線15および信号線16は、ガラス基板7上に交差して格子状であるマトリクス状に配線されている。そして、これら走査線15および信号線16の各交点に対応して、画素電極11、補助容量素子12および薄膜トランジスタ13のそれぞれが画素9毎に設けられている。   Therefore, the scanning lines 15 and the signal lines 16 are arranged in a matrix shape that intersects the glass substrate 7 and has a lattice shape. A pixel electrode 11, an auxiliary capacitance element 12, and a thin film transistor 13 are provided for each pixel 9 corresponding to each intersection of the scanning line 15 and the signal line 16.

一方、このガラス基板7の画面部8周辺の周辺領域OAには、信号線16を駆動する駆動TFTを含む信号線駆動回路としての細長矩形平板状のYドライバ回路18が配設されている。このYドライバ回路18は、ガラス基板7の横方向に沿った一側縁に設けられている。さらに、このYドライバ回路18は、ガラス基板7の縦方向に沿って設けられており、このガラス基板7上の各走査線15それぞれの一端部が電気的に接続されている。また、このガラス基板7の画面部8周辺の周辺領域OAの縦方向に沿った一端には、走査線15を駆動する駆動TFTを含む走査線駆動回路としての細長矩形平板状のXドライバ回路19が配設されている。このXドライバ回路19は、ガラス基板7の横方向に沿って設けられており、このガラス基板7上の各信号線16それぞれの一端部が電気的に接続されている。なお、これらYドライバ回路18およびXドライバ回路19は、Yドライバ回路18から各走査線15に供給される走査信号によって、薄膜トランジスタ13をオンオフさせるタイミングに同期して、Xドライバ回路19から各信号線16に画素信号を供給させることによって、アレイ基板2の画面部8に所定の画像を表示させる。また、これらYドライバ回路18およびXドライバ回路19に含まれる駆動TFTは、ポリシリコン半導体層を有するnチャネル型薄膜トランジスタおよびpチャネル型薄膜トランジスタによって構成されている。   On the other hand, in the peripheral area OA around the screen portion 8 of the glass substrate 7, an elongated rectangular plate-shaped Y driver circuit 18 as a signal line driving circuit including a driving TFT for driving the signal line 16 is disposed. The Y driver circuit 18 is provided on one side edge along the horizontal direction of the glass substrate 7. Further, the Y driver circuit 18 is provided along the vertical direction of the glass substrate 7, and one end of each scanning line 15 on the glass substrate 7 is electrically connected. Further, an X driver circuit 19 in the form of an elongated rectangular plate as a scanning line driving circuit including a driving TFT for driving the scanning line 15 is provided at one end along the vertical direction of the peripheral area OA around the screen portion 8 of the glass substrate 7. Is arranged. The X driver circuit 19 is provided along the horizontal direction of the glass substrate 7, and one end of each signal line 16 on the glass substrate 7 is electrically connected. The Y driver circuit 18 and the X driver circuit 19 are connected to each signal line from the X driver circuit 19 in synchronization with a timing at which the thin film transistor 13 is turned on / off by a scanning signal supplied from the Y driver circuit 18 to each scanning line 15. By supplying pixel signals to 16, a predetermined image is displayed on the screen portion 8 of the array substrate 2. The driving TFTs included in the Y driver circuit 18 and the X driver circuit 19 are constituted by an n-channel thin film transistor and a p-channel thin film transistor having a polysilicon semiconductor layer.

さらに、このガラス基板7の表面には、シリコン窒化膜や酸化シリコン膜などにて構成された図示しないアンダーコート層(アンダーコーティング層)が積層されて成膜されている。このアンダーコート層上には、トップゲート型構造としてのトップゲートタイプの薄膜トランジスタ13が1画素構成要素として配設されている。すなわち、この薄膜トランジスタ13は、スイッチング素子であるとともに半導体素子としての画素TFT素子であり、画面部8において、n×m個配設されている。そして、これら薄膜トランジスタ13は、アンダーコート層上に形成されたソース電極21およびドレイン電極22を備えている。これらソース電極21およびドレイン電極22は、所定の間隙を介して電気的に絶縁された状態で設けられ、ソース電極21には信号線16が、ドレイン電極22には補助容量素子12が、それぞれ電気的に接続されている。   Further, an unshown undercoat layer (undercoating layer) made of a silicon nitride film, a silicon oxide film or the like is laminated on the surface of the glass substrate 7 to form a film. On this undercoat layer, a top gate type thin film transistor 13 as a top gate type structure is disposed as one pixel component. That is, the thin film transistor 13 is a pixel TFT element as a semiconductor element as well as a switching element, and n × m pieces of thin film transistors 13 are arranged in the screen portion 8. These thin film transistors 13 include a source electrode 21 and a drain electrode 22 formed on the undercoat layer. The source electrode 21 and the drain electrode 22 are provided in a state where they are electrically insulated with a predetermined gap therebetween. The signal line 16 is provided for the source electrode 21, and the auxiliary capacitive element 12 is provided for the drain electrode 22. Connected.

さらに、これらソース電極21およびドレイン電極22の間には、半導体層としての活性層23が設けられている。この活性層23は、ソース電極21およびドレイン電極22を含むアンダーコート層上に設けられている。そして、この活性層23は、多結晶半導体としてのポリシリコン(p−Si)にて構成された多結晶半導体層としてのポリシリコン半導体層である。すなわち、この活性層23は、非晶質半導体としてのアモルファスシリコン(a−Si)をエキシマレーザ溶解結晶化であるアニールしてからパターニングして作成した島状のポリシリコン薄膜である。   Further, an active layer 23 as a semiconductor layer is provided between the source electrode 21 and the drain electrode 22. The active layer 23 is provided on the undercoat layer including the source electrode 21 and the drain electrode 22. The active layer 23 is a polysilicon semiconductor layer as a polycrystalline semiconductor layer made of polysilicon (p-Si) as a polycrystalline semiconductor. That is, the active layer 23 is an island-shaped polysilicon thin film formed by patterning after annealing amorphous silicon (a-Si) as an amorphous semiconductor, which is excimer laser melting crystallization.

また、この活性層23上には、導電性を有するゲート電極24が積層されて成膜されている。このゲート電極24は、走査線15の一側縁に一体的に接続されて、この走査線15の一部を構成する。ここで、このゲート電極24は、活性層23の長手方向に直交する長手方向を有している。また、このゲート電極24は、活性層23の幅寸法より小さな幅寸法を有しており、この活性層23上の中央部に設けられている。   On the active layer 23, a conductive gate electrode 24 is laminated and formed. The gate electrode 24 is integrally connected to one side edge of the scanning line 15 and constitutes a part of the scanning line 15. Here, the gate electrode 24 has a longitudinal direction orthogonal to the longitudinal direction of the active layer 23. Further, the gate electrode 24 has a width dimension smaller than the width dimension of the active layer 23 and is provided in the central portion on the active layer 23.

さらに、アンダーコート層上の画面部8に対応する部分には、厚みが約3.0μmの透明絶縁膜Tが形成され、この透明絶縁膜Tには、薄膜トランジスタ13のドレイン電極22を開口させた、上面視で20×20μmサイズのコンタクトホールHAが形成されている。そして、コンタクトホールHAを含む透明絶縁膜T上には、画素ITO(Indium Tin Oxide)としての透明な画素電極11が積層されて設けられている。この画素電極11は、アンダーコート層上の薄膜トランジスタ13が設けられている部分に隣接して設けられており、この薄膜トランジスタ13のドレイン電極22に電気的に接続されている。すなわち、この画素電極11は、画面部8においてマトリクス状に配置された画素9にそれぞれ対応して設けられ、この画素電極11にドレイン電極22が電気的に接続されている薄膜トランジスタ13によって制御される。そして、この画素電極11は、補助容量素子12の補助容量電極12aと電気的に接続され、薄膜トランジスタ13のソース電極21および補助容量素子12の補助容量電極12aと同電位となっている。ここで、補助容量素子12の補助容量電極12aは、不純物ドープされたポリシリコン膜によって形成されている。また、補助容量素子12の補助容量線12bは、所定電位に設定されている。   Further, a transparent insulating film T having a thickness of about 3.0 μm is formed in a portion corresponding to the screen portion 8 on the undercoat layer, and the drain electrode 22 of the thin film transistor 13 is opened in the transparent insulating film T. A contact hole HA having a size of 20 × 20 μm in the top view is formed. On the transparent insulating film T including the contact hole HA, a transparent pixel electrode 11 as a pixel ITO (Indium Tin Oxide) is laminated and provided. The pixel electrode 11 is provided adjacent to a portion where the thin film transistor 13 on the undercoat layer is provided, and is electrically connected to the drain electrode 22 of the thin film transistor 13. That is, the pixel electrode 11 is provided corresponding to each of the pixels 9 arranged in a matrix in the screen portion 8 and is controlled by the thin film transistor 13 in which the drain electrode 22 is electrically connected to the pixel electrode 11. . The pixel electrode 11 is electrically connected to the auxiliary capacitance electrode 12a of the auxiliary capacitance element 12, and has the same potential as the source electrode 21 of the thin film transistor 13 and the auxiliary capacitance electrode 12a of the auxiliary capacitance element 12. Here, the auxiliary capacitance electrode 12a of the auxiliary capacitance element 12 is formed of an impurity-doped polysilicon film. The auxiliary capacitance line 12b of the auxiliary capacitance element 12 is set to a predetermined potential.

また、アレイ基板2の画面部8のいずれかの画素9の画素電極11と薄膜トランジスタ13のソース電極21との間には、このアレイ基板2の厚さ方向に沿った長手方向を有する細長円柱状の柱状スペーサであるスペーサ25が突設されている。これらスペーサ25は、画面部8の縦方向および横方向のそれぞれに向けて所定個数、例えば3個の画素9を介した部分に位置する画素9のそれぞれに設けられている。すなわち、これらスペーサ25は、アレイ基板2の画面部8上に等間隔に離間されて設けられている。さらに、これらスペーサ25、画素電極11および薄膜トランジスタ13を含むアンダーコート層上の全面には、図示しない配向膜が積層されて形成されている。   Further, between the pixel electrode 11 of any pixel 9 of the screen portion 8 of the array substrate 2 and the source electrode 21 of the thin film transistor 13, an elongated cylindrical shape having a longitudinal direction along the thickness direction of the array substrate 2. A spacer 25 which is a columnar spacer is projected. These spacers 25 are provided on each of the pixels 9 positioned in a predetermined number, for example, three pixel 9 portions in the vertical and horizontal directions of the screen portion 8. That is, the spacers 25 are provided on the screen portion 8 of the array substrate 2 so as to be spaced apart at equal intervals. Further, an alignment film (not shown) is laminated on the entire surface of the undercoat layer including the spacer 25, the pixel electrode 11, and the thin film transistor 13.

対向基板3は、略透明な矩形平板状の絶縁基板としての光透過性基板すなわち透光性基板であるガラス基板32を備えている。このガラス基板32におけるアレイ基板2に対向した側の一主面である表面には、カラーフィルタ層33が積層されて設けられている。このカラーフィルタ層33は、ガラス基板32の表面より突出して設けられている。   The counter substrate 3 includes a light transmissive substrate as a substantially transparent rectangular flat plate-like insulating substrate, that is, a glass substrate 32 which is a light transmissive substrate. A color filter layer 33 is laminated on the surface which is one main surface of the glass substrate 32 facing the array substrate 2. The color filter layer 33 is provided so as to protrude from the surface of the glass substrate 32.

具体的に、このカラーフィルタ層33は、少なくとも2色以上である1組の色単位、例えば赤(Red:R)色の着色層である赤色フィルタ部34と、緑(Green:G)色の着色層である第1カラーフィルタ層としての緑色フィルタ部35と、青(Blue:B)色の着色層である第2カラーフィルタ層としての青色フィルタ部36との3つのドットが対向基板3の縦方向および横方向のそれぞれに向けて繰り返し配置されて構成されている。   Specifically, the color filter layer 33 includes a red filter portion 34 that is a colored layer of at least two colors, for example, a red (R) color, and a green (Green: G) color. Three dots of a green filter portion 35 as a first color filter layer that is a colored layer and a blue filter portion 36 as a second color filter layer that is a blue (Blue: B) colored layer are formed on the counter substrate 3. It is configured to be repeatedly arranged in each of the vertical direction and the horizontal direction.

ここで、赤色フィルタ部34は、赤色の顔料を分散させ赤色成分の光を透過させる着色樹脂としての紫外線硬化型アクリル樹脂レジスト、例えばCRY−S623C(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)にて形成されている。また、緑色フィルタ部35は、緑色の顔料を分散させ緑色成分の光を透過させる着色樹脂としての紫外線硬化型アクリル樹脂レジスト、例えばCGY−S624D(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)にて形成されている。さらに、青色フィルタ部36は、青色の顔料を分散させ青色成分の光を透過させる着色樹脂としての紫外線硬化型アクリル樹脂レジスト、例えばCBY−S625C(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)にて形成されている。このとき、これら赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36のそれぞれは、例えば2.0μmの等しい膜厚に形成されている。   Here, the red filter part 34 is formed of an ultraviolet curable acrylic resin resist, for example, CRY-S623C (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) as a colored resin that disperses a red pigment and transmits red component light. Has been. The green filter unit 35 is formed of an ultraviolet curable acrylic resin resist, for example, CGY-S624D (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) as a colored resin that disperses a green pigment and transmits green component light. ing. Further, the blue filter portion 36 is formed of an ultraviolet curable acrylic resin resist as a colored resin that disperses a blue pigment and transmits blue component light, for example, CBY-S625C (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.). ing. At this time, each of the red filter part 34, the green filter part 35, and the blue filter part 36 is formed to have an equal film thickness of, for example, 2.0 μm.

そして、これら複数の赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36にて構成されたカラーフィルタ層33は、アレイ基板2に対向基板3を対向させた際に、このアレイ基板2の対応する色の画素9毎に対応して対向するように設けられている。さらに、このカラーフィルタ層33の表面には、画面部8において、共通電極としてのコモン電極である矩形平板状の対向電極37が積層されて設けられている。この対向電極37は、透明電極としてのITO膜などの透過性導電部材によって構成されている。また、この対向電極37は、対向基板3の表面とアレイ基板2の表面とを対向させた際に、このアレイ基板2のガラス基板7の画面部8全体に亘って全ての画素9に対して共通に配置され、液晶層4を介してn×m個の画素電極11全てに対向する矩形状の大きな電極である。言い換えると、この対向電極37は、アレイ基板2に対向基板3を対向させた際に、このアレイ基板2の画素電極11と相対するように配置されている。   The color filter layer 33 composed of the plurality of red filter portions 34, green filter portions 35, and blue filter portions 36 corresponds to the array substrate 2 when the counter substrate 3 is opposed to the array substrate 2. It is provided so as to face each other corresponding to each pixel 9 of the color. Further, on the surface of the color filter layer 33, a rectangular flat counter electrode 37 that is a common electrode as a common electrode is laminated and provided in the screen portion 8. The counter electrode 37 is made of a transparent conductive member such as an ITO film as a transparent electrode. Further, when the surface of the counter substrate 3 and the surface of the array substrate 2 are opposed to each other, the counter electrode 37 applies to all the pixels 9 over the entire screen portion 8 of the glass substrate 7 of the array substrate 2. It is a large rectangular electrode that is arranged in common and faces all n × m pixel electrodes 11 through the liquid crystal layer 4. In other words, the counter electrode 37 is disposed so as to face the pixel electrode 11 of the array substrate 2 when the counter substrate 3 is opposed to the array substrate 2.

さらに、対向基板3のガラス基板32上には、このガラス基板32上に設けられているカラーフィルタ層33の周縁を覆う土手状の受止パターンとしての隔壁である土手パターン38が積層されて設けられている。この土手パターン38は、カラーフィルタ層33の最外周部から所定距離離間させた位置に設けられている。すなわち、この土手パターン38は、カラーフィルタ層33の周囲である、画面部8の外周に額縁状に形成された遮光領域39を、液晶注入口40を除いて所定の間隔を介して連続して囲っている。   Further, on the glass substrate 32 of the counter substrate 3, a bank pattern 38, which is a partition wall as a bank-shaped receiving pattern covering the periphery of the color filter layer 33 provided on the glass substrate 32, is provided. It has been. The bank pattern 38 is provided at a position separated from the outermost peripheral portion of the color filter layer 33 by a predetermined distance. That is, the bank pattern 38 is formed by continuously forming a light shielding region 39 formed in a frame shape on the outer periphery of the screen portion 8 around the color filter layer 33 through a predetermined interval except for the liquid crystal injection port 40. Surrounding.

また、この土手パターン38は、カラーフィルタ層33の高さと同じ高さほど、ガラス基板32の表面より突出している。したがって、この土手パターン38は、この土手パターン38とカラーフィルタ層33の周縁部との間に断面凹状の間隙である溝部としてのバンクAを形成させる。すなわち、この土手パターン38は、この土手パターン38とカラーフィルタ層33との間のバンクAに液状の遮光インクCを塗布した際に、この遮光インクCを堰き止める枠として機能し、この遮光インクCのカラーフィルタ層33の外側への傾れ(なだれ)を防止する。   Further, the bank pattern 38 protrudes from the surface of the glass substrate 32 as much as the height of the color filter layer 33. Accordingly, the bank pattern 38 forms a bank A as a groove which is a gap having a concave cross section between the bank pattern 38 and the peripheral edge of the color filter layer 33. That is, the bank pattern 38 functions as a frame for blocking the light shielding ink C when the liquid light shielding ink C is applied to the bank A between the bank pattern 38 and the color filter layer 33. The inclination of the C color filter layer 33 to the outside (avalanche) is prevented.

さらに、この土手パターン38は、カラーフィルタ層33の最も外側に位置する着色層、例えば青色フィルタ部36と同一材料であるとともに、この青色フィルタ部36と同一工程で同時に形成されている。すなわち、この土手パターン38は、カラーフィルタ層33の赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36のいずれかに用いた材料と同じ材料で形成されている。   Further, the bank pattern 38 is made of the same material as that of the colored layer located on the outermost side of the color filter layer 33, for example, the blue filter portion 36, and is simultaneously formed in the same process as the blue filter portion 36. That is, the bank pattern 38 is formed of the same material as that used for any of the red filter portion 34, the green filter portion 35, and the blue filter portion 36 of the color filter layer 33.

また、この土手パターン38とカラーフィルタ層33の周縁との間のガラス基板32上に形成された断面凹状のバンクAには、液状の遮光インクCが注入されて形成された額縁状の額縁部としての遮光層41が設けられている。この遮光層41は、遮光領域39を遮光するもので、インクジェットあるいはディスペンサによる液状の遮光インクCの塗布にて設けられている。ここで、この遮光インクCは、黒色顔料などが添加された樹脂などが用いられる。さらに、この遮光インクCには、塗布性を向上させるために溶剤を適宜混合させることもできる。したがって、遮光層41は、土手パターン38とカラーフィルタ層33の周縁との間のバンクAから硬化する以前の液状の遮光材料による漏れを防止するため、カラーフィルタ層33の厚さ寸法より小さな厚さ寸法を有している。また、この遮光層41および土手パターン38により、周辺領域OAにおいて画面部8の外周を取り囲んで遮光領域39に配設された遮光部42が構成されている。さらに、この遮光層41、土手パターン38および対向電極37のそれぞれを含んだガラス基板32上の全面には、図示しない配向膜が積層されて形成されている。   Further, a frame-shaped frame portion formed by injecting liquid light-shielding ink C into a bank A having a concave section formed on the glass substrate 32 between the bank pattern 38 and the peripheral edge of the color filter layer 33. The light shielding layer 41 is provided. The light shielding layer 41 shields the light shielding area 39, and is provided by applying a liquid light shielding ink C with an ink jet or a dispenser. Here, as the light-shielding ink C, a resin to which a black pigment or the like is added is used. Further, a solvent can be mixed with the light-shielding ink C as appropriate in order to improve the coating property. Therefore, the light shielding layer 41 has a thickness smaller than the thickness dimension of the color filter layer 33 in order to prevent leakage due to the liquid light shielding material before curing from the bank A between the bank pattern 38 and the periphery of the color filter layer 33. It has a size. Further, the light shielding layer 41 and the bank pattern 38 constitute a light shielding part 42 that surrounds the outer periphery of the screen portion 8 in the peripheral area OA and is disposed in the light shielding area 39. Further, an alignment film (not shown) is laminated on the entire surface of the glass substrate 32 including the light shielding layer 41, the bank pattern 38, and the counter electrode 37.

そして、対向基板3は、この対向基板3の対向電極37側をアレイ基板2の画素電極11側に対向させた状態で、アレイ基板2に取り付けられている。すなわち、この対向基板3は、アレイ基板2に設けられている各スペーサ25を対向基板3の対向電極37に当接させて、これらアレイ基板2と対向基板3との間に所定の間隔である液晶封止領域Bが形成されるように、平行に離間された状態で取り付けられている。   The counter substrate 3 is attached to the array substrate 2 with the counter electrode 37 side of the counter substrate 3 facing the pixel electrode 11 side of the array substrate 2. That is, the counter substrate 3 has each spacer 25 provided on the array substrate 2 in contact with the counter electrode 37 of the counter substrate 3 so that a predetermined interval is provided between the array substrate 2 and the counter substrate 3. The liquid crystal sealing region B is attached in a state of being separated in parallel so as to be formed.

液晶層4は、これら対向基板3の配向膜とアレイ基板2の配向膜との間に、液晶材料としての誘電異方性が正である液晶組成物43が注入されて挟持されて形成された光変調層である。すなわち、この液晶層4は、対向基板3の配向膜とアレイ基板2の配向膜との間に液晶組成物43が液晶注入口40を介して介挿されて封止されて構成されている。さらに、この液晶層4は、アレイ基板2の画素電極11と対向基板3の対向電極37との間に補助容量素子12の補助容量CSと電気的に並列な液晶容量CLを形成させる。   The liquid crystal layer 4 is formed by injecting and sandwiching a liquid crystal composition 43 having a positive dielectric anisotropy as a liquid crystal material between the alignment film of the counter substrate 3 and the alignment film of the array substrate 2. It is a light modulation layer. That is, the liquid crystal layer 4 is configured by sealing the liquid crystal composition 43 interposed between the alignment film of the counter substrate 3 and the alignment film of the array substrate 2 through the liquid crystal injection port 40. Further, the liquid crystal layer 4 forms a liquid crystal capacitor CL electrically parallel to the auxiliary capacitor CS of the auxiliary capacitor element 12 between the pixel electrode 11 of the array substrate 2 and the counter electrode 37 of the counter substrate 3.

また、シール材5は、アレイ基板2と対向基板3との間の周縁部にて、これらアレイ基板2と対向基板3との間の液晶封止領域Bに液晶層4を封止させる液晶封止部である。このシール材5は、アレイ基板2と対向基板3との間に接着されて固定されている。また、このシール材5は、アレイ基板2の画面部8の周縁を覆うように設けられており、このアレイ基板2の画面部8と対向基板3との間に液晶封止領域Bを形成させる。そして、このシール材5は、対向基板3の土手パターン38および遮光層41とアレイ基板2のガラス基板7の画面部8より外側の部分と間に設けられている。   The sealing material 5 is a liquid crystal seal that seals the liquid crystal layer 4 in the liquid crystal sealing region B between the array substrate 2 and the counter substrate 3 at the peripheral edge between the array substrate 2 and the counter substrate 3. It is a stop. The sealing material 5 is bonded and fixed between the array substrate 2 and the counter substrate 3. The sealing material 5 is provided so as to cover the periphery of the screen portion 8 of the array substrate 2, and a liquid crystal sealing region B is formed between the screen portion 8 of the array substrate 2 and the counter substrate 3. . The sealing material 5 is provided between the bank pattern 38 and the light shielding layer 41 of the counter substrate 3 and a portion outside the screen portion 8 of the glass substrate 7 of the array substrate 2.

さらに、このシール材5の周辺には、アレイ基板2から対向電極37に電圧を印加するための図示しない電極転移材が形成されている。この電極転移材は、アレイ基板2と対向基板3との間の図示しない画面周辺部に設けられている図示しない電極転移電極上に形成されている。   Further, an electrode transition material (not shown) for applying a voltage from the array substrate 2 to the counter electrode 37 is formed around the seal material 5. This electrode transition material is formed on an electrode transition electrode (not shown) provided in the peripheral portion of the screen (not shown) between the array substrate 2 and the counter substrate 3.

一方、これらアレイ基板2のガラス基板7の裏面すなわち外面と対向基板3のガラス基板32の裏面すなわち外面とのそれぞれには、略矩形平板状の偏光板44,45が積層されて取り付けられている。これら偏光板44,45は、アレイ基板2のガラス基板7の裏面および対向基板3のガラス基板32の裏面の略全面を覆っている。   On the other hand, substantially rectangular flat plate-shaped polarizing plates 44 and 45 are laminated and attached to the back surface or outer surface of the glass substrate 7 of the array substrate 2 and the back surface or outer surface of the glass substrate 32 of the counter substrate 3, respectively. . These polarizing plates 44 and 45 cover substantially the entire back surface of the glass substrate 7 of the array substrate 2 and the back surface of the glass substrate 32 of the counter substrate 3.

次に、上記第1の実施の形態の液晶表示装置の製造方法を説明する。   Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the first embodiment will be described.

まず、成膜工程とパターニング工程とを繰り返してガラス基板7上の画面部8に画素電極11、補助容量素子12、薄膜トランジスタ13、走査線15および信号線16のそれぞれを形成してアレイ基板2を作製する。   First, the film formation step and the patterning step are repeated to form the pixel electrode 11, the auxiliary capacitance element 12, the thin film transistor 13, the scanning line 15 and the signal line 16 on the screen portion 8 on the glass substrate 7, thereby forming the array substrate 2. Make it.

次いで、ガラス基板32上に、赤色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジスト、例えばCRY−S623C(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)を図示しないスピンナにて塗布してから、このガラス基板32上の赤色を着色したい部分に光が照射されるような図示しないレジストマスクを形成する。   Next, an ultraviolet curable acrylic resin resist in which a red pigment is dispersed, for example, CRY-S623C (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) is applied on the glass substrate 32 with a spinner (not shown). A resist mask (not shown) is formed so that light is irradiated on a portion of the portion 32 to be colored red.

この後、このガラス基板32上に、レジストマスクを介して例えば365nmの波長で100mJ/cmの紫外光を照射してフォトリソグラフィして画素パターンを形成してから、界面活性剤を含む水酸化カリウム(KOH)の1%水溶液で20秒間現像して、膜厚2.0μmの赤色フィルタ部34を形成する。 Thereafter, a pixel pattern is formed on the glass substrate 32 by irradiating with ultraviolet light of, for example, 100 mJ / cm 2 at a wavelength of 365 nm through a resist mask to form a pixel pattern, and then hydroxylating containing a surfactant. Development is performed with a 1% aqueous solution of potassium (KOH) for 20 seconds to form a red filter portion 34 having a thickness of 2.0 μm.

さらに、この赤色フィルタ部34を形成する場合と同様にフォトリソグラフィして、例えばCGY−S624D(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)を用いて、膜厚2.0μmの緑色フィルタ部35を形成するとともに、例えばCBY−S625C(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社製)を用いて、膜厚2.0μmの青色フィルタ部36を形成して、ガラス基板32の表示領域にカラーフィルタ層33を形成する。   Further, photolithography is performed in the same manner as when the red filter portion 34 is formed, and a green filter portion 35 having a thickness of 2.0 μm is formed using, for example, CGY-S624D (manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.). At the same time, for example, by using CBY-S625C (Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.), the blue filter part 36 having a film thickness of 2.0 μm is formed, and the color filter layer 33 is formed in the display region of the glass substrate 32.

このとき、この青色フィルタ部36を形成する工程で、図5に示すように、この青色フィルタ部36を形成する際に用いた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストを用いて、ガラス基板32上のカラーフィルタ層33の外側に土手パターン38を同時に形成する。   At this time, in the step of forming the blue filter portion 36, as shown in FIG. 5, the color filter on the glass substrate 32 is formed using the ultraviolet curable acrylic resin resist used when forming the blue filter portion 36. A bank pattern 38 is simultaneously formed on the outside of the layer 33.

この後、図6に示すように、この土手パターン38とカラーフィルタ層33の周縁との間のバンクAに、インクジェットノズルまたはディスペンサである塗布手段47で、例えば溶剤、アクリル系モノマーなどを含む溶液中に黒色顔料を分散した遮光性樹脂を有する黒色顔料入り樹脂である遮光性材料としての遮光インクCを塗布して、図7に示すように、これら土手パターン38とカラーフィルタ層33との間のバンクAに遮光層として機能する膜厚1.8μmの遮光層41を形成して、額縁付きカラーフィルタ基板を作製する。   Thereafter, as shown in FIG. 6, a solution containing a solvent, an acrylic monomer, or the like is applied to the bank A between the bank pattern 38 and the peripheral edge of the color filter layer 33 by an application means 47 which is an inkjet nozzle or a dispenser. A light-shielding ink C as a light-shielding material, which is a black pigment-containing resin having a light-shielding resin in which a black pigment is dispersed, is applied and, as shown in FIG. 7, between the bank pattern 38 and the color filter layer 33. A 1.8 μm-thickness light-shielding layer 41 that functions as a light-shielding layer is formed in the bank A to produce a framed color filter substrate.

次いで、このカラーフィルタ層33上に膜厚500m−10(Å)のITO膜をスパッタ法にて成膜してからパターニングして対向電極37を形成する。 Next, an ITO film having a thickness of 500 m −10 (Å) is formed on the color filter layer 33 by a sputtering method and then patterned to form the counter electrode 37.

さらに、アレイ基板2上に感光性アクリル性透明樹脂、例えばNN600(JSR株式会社製)をスピンナ塗布してから90℃で10分間乾燥した後、図示しないフォトマスクを介して365nmの波長で80mJ/cmの露光量で露光する。 Further, a photosensitive acrylic transparent resin such as NN600 (manufactured by JSR Corporation) is applied onto the array substrate 2 by spinner coating, dried at 90 ° C. for 10 minutes, and then passed through a photomask (not shown) at a wavelength of 365 nm at 80 mJ / Exposure is performed with an exposure amount of cm 2 .

この後、このアレイ基板2をpH11.5のアルカリ水溶液にて現像してから、200℃で60分間焼成して、このアレイ基板2上に高さ5.2μmスペーサ25を形成する。   Thereafter, the array substrate 2 is developed with an alkaline aqueous solution having a pH of 11.5 and then baked at 200 ° C. for 60 minutes to form a spacer 25 having a height of 5.2 μm on the array substrate 2.

次いで、これらスペーサ25が形成されたアレイ基板2上および対向基板3上それぞれの全面に、例えばAL−3046(JSR株式会社製)を配向膜材料として800m−10(Å)塗布して、これらアレイ基板2上および対向基板3上のそれぞれに図示しない配向膜を形成する。 Subsequently, for example, AL-3046 (manufactured by JSR Corporation) is applied to the entire surface of the array substrate 2 on which the spacers 25 are formed and the counter substrate 3 as an alignment film material, and 800 m -10 (Å) is applied. An alignment film (not shown) is formed on each of the substrate 2 and the counter substrate 3.

この後、液晶組成物43を注入する部分を除く対向基板3の配向膜の周縁に沿ってシール材5となる接着剤を印刷してから、アレイ基板2から対向電極37に電圧を印加するための図示しない電極転移材を接着剤の周辺の図示しない電極転移電極上に形成する。   After this, an adhesive to be the sealing material 5 is printed along the periphery of the alignment film of the counter substrate 3 excluding the portion where the liquid crystal composition 43 is injected, and then a voltage is applied from the array substrate 2 to the counter electrode 37. The electrode transfer material (not shown) is formed on the electrode transfer electrode (not shown) around the adhesive.

次いで、アレイ基板2の配向膜と対向基板3の配向膜とを対向させてから加熱して接着剤を硬化させてシール材5とし、これらアレイ基板2と対向基板3とをシール材5にて貼り合わせる。   Next, the alignment film of the array substrate 2 and the alignment film of the counter substrate 3 are made to face each other, and then the adhesive is cured by heating to form the seal material 5. The array substrate 2 and the counter substrate 3 are bonded with the seal material 5. to paste together.

この後、これらアレイ基板2と対向基板3との間のシール材5にてシールされていない部分が注入口となり、この注入口から、例えばZLI−1565(メルク(MERCK)株式会社製)を誘電異方性が正である液晶組成物43として注入して、この液晶組成物43をアレイ基板2と対向基板3との間の液晶封止領域Bに介在させる。   Thereafter, a portion not sealed by the sealing material 5 between the array substrate 2 and the counter substrate 3 becomes an injection port, and, for example, ZLI-1565 (manufactured by Merck Co., Ltd.) is dielectrically formed from the injection port. The liquid crystal composition 43 having a positive anisotropy is injected, and the liquid crystal composition 43 is interposed in the liquid crystal sealing region B between the array substrate 2 and the counter substrate 3.

この状態で、アレイ基板2と対向基板3との間の注入口を、紫外線硬化樹脂を封止剤として用いて封止して、カラー表示可能な液晶パネル1を作製する。   In this state, the injection port between the array substrate 2 and the counter substrate 3 is sealed using an ultraviolet curable resin as a sealing agent, and the liquid crystal panel 1 capable of color display is manufactured.

この後、この液晶パネル1を点灯評価したところ、優れた表示品位を有するとともに、遮光層41の遮光性を十分に確保できた。   Thereafter, the liquid crystal panel 1 was evaluated for lighting. As a result, the liquid crystal panel 1 had excellent display quality and sufficiently secured the light shielding property of the light shielding layer 41.

上述したように、上記第1の実施の形態によれば、対向基板3のガラス基板32上にカラーフィルタ層33を作製する際に、このカラーフィルタ層33を構成する赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36のいずれかを形成する際に用いた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストを用いて、ガラス基板32上のカラーフィルタ層33の外側に土手パターン38を同時に形成する。この後、この土手パターン38とカラーフィルタ層33の周縁との間のバンクAに遮光インクCを塗布して、これら土手パターン38とカラーフィルタ層33の周縁との間のバンクAに遮光層41を形成する構成とした。   As described above, according to the first embodiment, when the color filter layer 33 is formed on the glass substrate 32 of the counter substrate 3, the red filter portion 34, the green filter constituting the color filter layer 33 is formed. A bank pattern 38 is simultaneously formed on the outer side of the color filter layer 33 on the glass substrate 32 using the ultraviolet curable acrylic resin resist used in forming either the portion 35 or the blue filter portion 36. Thereafter, the light shielding ink C is applied to the bank A between the bank pattern 38 and the periphery of the color filter layer 33, and the light shielding layer 41 is applied to the bank A between the bank pattern 38 and the periphery of the color filter layer 33. It was set as the structure which forms.

この結果、カラーフィルタ層33とは別個に二段に重ねた土手パターン38を形成し、これら土手パターン38間に遮光インクCを塗布して遮光層を形成する場合に比べ、カラーフィルタ層33の周縁に連続させて遮光層41を形成できるので、この遮光層41が液晶パネル1の画面部8内に重なったり入り込んだりしにくくなるから、この液晶パネル1の開口率が低下しにくくなる。よって、大きな開口率を有する液晶パネル1にできる。   As a result, the bank pattern 38 that is stacked in two steps separately from the color filter layer 33 is formed, and the color filter layer 33 is compared with the case where the light shielding ink C is applied between the bank patterns 38 to form the light shielding layer. Since the light shielding layer 41 can be formed continuously to the periphery, the light shielding layer 41 is unlikely to overlap or enter the screen portion 8 of the liquid crystal panel 1, so that the aperture ratio of the liquid crystal panel 1 is unlikely to decrease. Therefore, the liquid crystal panel 1 having a large aperture ratio can be obtained.

また、塗布、露光、現像および焼成(ベーク)などの多くの処理工程が必要なフォトリソグラフィを用いてカラーフィルタ層とは別個に遮光層41を形成する場合に比べ、この遮光層41の製造工程を少なくできるから、これらカラーフィルタ層33および遮光層41の製造を容易にできる。したがって、液晶パネル1の製造コストを低減できるとともに、点灯評価によって優れた表示品位であって遮光層41の遮光性を十分に確保できたから、高表示品位の液晶パネル1を安価に提供できる。   Also, compared to the case where the light shielding layer 41 is formed separately from the color filter layer using photolithography that requires many processing steps such as coating, exposure, development and baking (baking), the manufacturing process of the light shielding layer 41 Therefore, the manufacture of the color filter layer 33 and the light shielding layer 41 can be facilitated. Accordingly, the manufacturing cost of the liquid crystal panel 1 can be reduced, and the display quality excellent by lighting evaluation and the light shielding property of the light shielding layer 41 can be sufficiently ensured. Therefore, the liquid crystal panel 1 having a high display quality can be provided at low cost.

なお、上記第1の実施の形態では、カラーフィルタ層33の最も外側の周縁に位置する赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36のいずれかと同じ材料をカラーフィルタ層33の周縁より外側のガラス基板32上に積層させて土手パターン38を形成したが、図8に示す第2の実施の形態のように、アレイ基板2と対向基板3との間のセルギャップに応じて、これら赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36を順次作製する際に、これら赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36と同じ材料を多層に積層させて土手パターン38を形成することもできる。   In the first embodiment, the same material as that of any one of the red filter part 34, the green filter part 35, and the blue filter part 36 located on the outermost periphery of the color filter layer 33 is used from the periphery of the color filter layer 33. The bank pattern 38 was formed by being laminated on the outer glass substrate 32. However, according to the cell gap between the array substrate 2 and the counter substrate 3 as in the second embodiment shown in FIG. When the red filter unit 34, the green filter unit 35, and the blue filter unit 36 are sequentially manufactured, the same material as the red filter unit 34, the green filter unit 35, and the blue filter unit 36 is laminated in multiple layers to form a bank pattern 38. You can also

すなわち、図8に示すように、ガラス基板32上に赤色フィルタ部34を形成する。この際に、この赤色フィルタ部34と同じ材料で、カラーフィルタ層33の周縁より外側に連続する位置と、このカラーフィルタ層33の周縁より外側に所定距離離間させた位置とのそれぞれに下層パターン51を形成する。   That is, as shown in FIG. 8, the red filter part 34 is formed on the glass substrate 32. At this time, with the same material as the red filter portion 34, a lower layer pattern is formed at each of a position continuous outside the periphery of the color filter layer 33 and a position spaced a predetermined distance outside the periphery of the color filter layer 33. 51 is formed.

この後、この赤色フィルタ部34に隣接させて緑色フィルタ部35を形成した後に、これら緑色フィルタ部35と赤色フィルタ部34との間に青色フィルタ部36を形成する。この際に、この青色フィルタ部36と同じ材料を、下層パターン51上に積層させて上層パターン52を形成して、これら下層パターン51および上層パターン52にて積層構造を有する厚さ3.5μmの土手パターン38を形成する。   Thereafter, after the green filter portion 35 is formed adjacent to the red filter portion 34, the blue filter portion 36 is formed between the green filter portion 35 and the red filter portion 34. At this time, the same material as the blue filter portion 36 is laminated on the lower layer pattern 51 to form an upper layer pattern 52, and the lower layer pattern 51 and the upper layer pattern 52 have a laminated structure of 3.5 μm in thickness. A bank pattern 38 is formed.

次いで、図9に示すように、これら土手パターン38間のバンクAに遮光インクCを塗布して、図10に示すように、これら土手パターン38間の間隙に、カラーフィルタ層33より厚い3μmの遮光層41を形成して、額縁付きカラーフィルタ基板を作製する。   Next, as shown in FIG. 9, a light-shielding ink C is applied to the bank A between the bank patterns 38, and as shown in FIG. 10, 3 μm thicker than the color filter layer 33 is formed in the gap between the bank patterns 38. A light shielding layer 41 is formed to produce a framed color filter substrate.

この結果、赤色フィルタ部34と同じ材料を同一工程でガラス基板32上に積層させた下層パターン51上に、青色フィルタ部36と同じ材料を同一工程で上層パターン52を積層させて土手パターン38を形成することにより、この土手パターン38の高さ寸法をカラーフィルタ層33の厚さ寸法より大きくできるから、この土手パターン38間に塗布される遮光層41の厚さをカラーフィルタ層33の厚さより厚くできるから、この遮光層41の遮光性をより向上できる。   As a result, on the lower layer pattern 51 in which the same material as the red filter part 34 is laminated on the glass substrate 32 in the same process, the upper layer pattern 52 is laminated in the same process on the same material as the blue filter part 36 to form the bank pattern 38. By forming, the height dimension of the bank pattern 38 can be made larger than the thickness dimension of the color filter layer 33. Therefore, the thickness of the light shielding layer 41 applied between the bank patterns 38 is made larger than the thickness of the color filter layer 33. Since the thickness can be increased, the light shielding property of the light shielding layer 41 can be further improved.

さらに、この遮光層41を厚くできるから、この遮光層41として塗布される遮光インクCへの黒色顔料の添加量を少なくできるので、この遮光インクCの粘性を小さくできる。したがって、インクジェットあるいはディスペンサである塗布手段47では粘性の高い遮光インクCを塗布するのが容易ではないから、この遮光インクCをインクジェットあるいはディスペンサである塗布手段47に適した粘性にできるので、この塗布手段47にてより効率良く遮光層41を作製できる。また、点灯評価をしたところ、第1の実施の形態の液晶パネル1以上に、遮光層41の黒が濃く引き締まった状態となるので、より高品位画質な液晶パネル1にできる。   Further, since the light shielding layer 41 can be thickened, the amount of the black pigment added to the light shielding ink C applied as the light shielding layer 41 can be reduced, so that the viscosity of the light shielding ink C can be reduced. Therefore, since it is not easy to apply the light-shielding ink C having a high viscosity with the application means 47 that is an ink jet or dispenser, the light shielding ink C can be made to have a viscosity suitable for the application means 47 that is an ink jet or dispenser. The light shielding layer 41 can be more efficiently produced by the means 47. Further, when the lighting evaluation is performed, since the black of the light shielding layer 41 is deeply tightened more than the liquid crystal panel 1 of the first embodiment, the liquid crystal panel 1 with higher quality image quality can be obtained.

また、図11に示す第3の実施の形態のように、カラーフィルタ層33をアレイ基板2上に形成することもできる。このカラーフィルタ層33は、薄膜トランジスタ13を含むアンダーコート層上に積層されて設けられている。そして、このカラーフィルタ層33の赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36のそれぞれには、これら赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36に対向して設けられている薄膜トランジスタ13のドレイン電極22を開口させたコンタクトホール61が形成されている。ここで、これらコンタクトホール61は、上面視で20μm×20μmの大きさに形成されている。そして、これらコンタクトホール61を含む赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36上に、画素電極11が積層されて形成されている。この画素電極11は、コンタクトホール61を介して薄膜トランジスタ13のドレイン電極22に導通されて電気的に接続されている。   Further, the color filter layer 33 can be formed on the array substrate 2 as in the third embodiment shown in FIG. The color filter layer 33 is stacked on the undercoat layer including the thin film transistor 13. The red filter portion 34, the green filter portion 35, and the blue filter portion 36 of the color filter layer 33 are provided to face the red filter portion 34, the green filter portion 35, and the blue filter portion 36, respectively. A contact hole 61 in which the drain electrode 22 of the thin film transistor 13 is opened is formed. Here, these contact holes 61 are formed in a size of 20 μm × 20 μm in a top view. The pixel electrode 11 is laminated on the red filter part 34, the green filter part 35, and the blue filter part 36 including the contact holes 61. The pixel electrode 11 is electrically connected to the drain electrode 22 of the thin film transistor 13 through the contact hole 61.

さらに、赤色フィルタ部34と緑色フィルタ部35との間に、スペーサ25が設けられている。このスペーサ25は、赤色フィルタ部34上の画素電極11と緑色フィルタ部35上の画素電極11との間に設けられており、これら赤色フィルタ部34上の画素電極11と緑色フィルタ部35上の画素電極11とを電気的に絶縁させている。そして、カラーフィルタ層33の周縁より外側のアンダーコート層上に、土手パターン38が設けられており、この土手パターン38とカラーフィルタ層33との間のバンクAに遮光インクCが塗布されて遮光層41が形成されている。   Further, a spacer 25 is provided between the red filter part 34 and the green filter part 35. The spacer 25 is provided between the pixel electrode 11 on the red filter part 34 and the pixel electrode 11 on the green filter part 35, and on the pixel electrode 11 on the red filter part 34 and on the green filter part 35. The pixel electrode 11 is electrically insulated. A bank pattern 38 is provided on the undercoat layer outside the periphery of the color filter layer 33, and the light shielding ink C is applied to the bank A between the bank pattern 38 and the color filter layer 33 to block light. A layer 41 is formed.

一方、対向基板3は、ガラス基板32上の全面に対向電極37が積層されており、この対向電極37とアレイ基板2の遮光層41および土手パターン38との間がシール材5にて接続されている。   On the other hand, the counter substrate 3 has a counter electrode 37 laminated on the entire surface of the glass substrate 32, and the counter electrode 37 and the light shielding layer 41 and the bank pattern 38 of the array substrate 2 are connected by a sealing material 5. ing.

この結果、アレイ基板2のガラス基板7上にカラーフィルタ層33を作製する際に土手パターン38を形成し、この土手パターン38とカラーフィルタ層33との間のバンクAに遮光インクCを塗布して遮光層41を形成できるから、上記第1の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、カラーフィルタ層33をアレイ基板2側に形成したことにより、透明絶縁膜を別途作成する必要がなくなり製造コストが削減できた。そして、このアレイ基板2側にカラーフィルタ層33を設けた液晶パネル1を点灯評価したところ、上記第1の実施の形態と同様に、高い表示品位を得ることができた。   As a result, a bank pattern 38 is formed when the color filter layer 33 is formed on the glass substrate 7 of the array substrate 2, and the light-shielding ink C is applied to the bank A between the bank pattern 38 and the color filter layer 33. Thus, since the light shielding layer 41 can be formed, the same effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, since the color filter layer 33 is formed on the array substrate 2 side, it is not necessary to separately prepare a transparent insulating film, and the manufacturing cost can be reduced. Then, when the liquid crystal panel 1 provided with the color filter layer 33 on the array substrate 2 side was evaluated for lighting, a high display quality could be obtained as in the first embodiment.

さらに、図12および図13に示す第4の実施の形態のように、カラーフィルタ層33の周縁より外側に土手パターン38を設けずに、図12に示すように、このカラーフィルタ層33の周縁に遮光インクCを塗布して、図13に示すように、このカラーフィルタ層33の周縁に連続させて遮光層41を形成することもできる。すなわち、この遮光層41の外側が土手パターン38にて仕切られないから、この遮光層41が外側に流れてしまうので、この遮光層41のパターンが崩れてしまうおそれがあるが、形成時に剥がれなどがおきることがある土手パターン38を形成する必要がなくなるので、液晶パネル1の製造性をより向上できる。   Further, as shown in FIG. 12, the peripheral edge of the color filter layer 33 is not provided with the bank pattern 38 outside the peripheral edge of the color filter layer 33 as in the fourth embodiment shown in FIGS. It is also possible to apply the light shielding ink C to the surface of the color filter layer 33 to form the light shielding layer 41 as shown in FIG. That is, since the outer side of the light shielding layer 41 is not partitioned by the bank pattern 38, the light shielding layer 41 flows to the outside, so that the pattern of the light shielding layer 41 may be destroyed, but it may be peeled off when formed. Since it is not necessary to form the bank pattern 38 that may occur, the productivity of the liquid crystal panel 1 can be further improved.

なお、上記各実施の形態では、トップゲートタイプの薄膜トランジスタ13について説明したが、ボトムゲート型構造であるボトムゲートタイプの薄膜トランジスタ13や、コプラナ型の薄膜トランジスタ13であっても対応させて用いることができる。   In each of the above embodiments, the top gate type thin film transistor 13 has been described. However, a bottom gate type thin film transistor 13 having a bottom gate type structure or a coplanar type thin film transistor 13 can be used correspondingly. .

さらに、アレイ基板2のガラス基板7の画面部8の周縁にYドライバ回路18やXドライバ回路19などの周辺駆動回路を作り込んだが、これらYドライバ回路18やXドライバ回路19などの周辺駆動回路をアレイ基板2と別個に形成して、このアレイ基板2に接続させてもよい。   Further, peripheral drive circuits such as a Y driver circuit 18 and an X driver circuit 19 are formed on the periphery of the screen portion 8 of the glass substrate 7 of the array substrate 2, but peripheral drive circuits such as the Y driver circuit 18 and the X driver circuit 19 are provided. May be formed separately from the array substrate 2 and connected to the array substrate 2.

次に、第5の実施の形態を図14ないし図25を参照して説明する。なお、上記各実施の形態と同様の構成および作用については、同一符号を付してその説明を省略する。   Next, a fifth embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, about the structure and effect | action similar to said each embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

この第5の実施の形態の液晶パネル1は、カラーフィルタ層33がアレイ基板2側に設けられているものである。すなわち、アレイ基板2は、光透過性を有するガラス基板7上に、画素9毎に薄膜トランジスタ13を覆うように形成されたカラーフィルタ層33、このカラーフィルタ層33上に画素9毎に配置された画素電極11、カラーフィルタ層33上に形成されたスペーサ25、および、複数の画素電極11全体を覆うように形成された配向膜65などを備えている。   In the liquid crystal panel 1 of the fifth embodiment, a color filter layer 33 is provided on the array substrate 2 side. In other words, the array substrate 2 is disposed on the glass substrate 7 having light transparency, the color filter layer 33 formed so as to cover the thin film transistor 13 for each pixel 9, and disposed on the color filter layer 33 for each pixel 9. A pixel electrode 11, a spacer 25 formed on the color filter layer 33, an alignment film 65 formed so as to cover the entire plurality of pixel electrodes 11, and the like are provided.

各画素電極11は、これらカラーフィルタ層33を貫通するスルーホール67を介して対応する薄膜トランジスタ13にそれぞれ接続されている。   Each pixel electrode 11 is connected to the corresponding thin film transistor 13 through a through hole 67 that penetrates the color filter layer 33.

各薄膜トランジスタ13は、例えばポリシリコン半導体層を有するnチャネル型のコプラナ型TFTであり、図15に、より詳細な構造を示すように、ポリシリコン膜によって形成された半導体層である活性層71を有している。この活性層71は、ガラス基板7上に配置されたアンダーコート層72上に配置され、チャネル領域73の両側にそれぞれ不純物をドープすることによって形成されたドレイン領域74およびソース領域75を有している。   Each thin film transistor 13 is, for example, an n-channel type coplanar TFT having a polysilicon semiconductor layer, and an active layer 71, which is a semiconductor layer formed of a polysilicon film, is shown in FIG. Have. This active layer 71 is disposed on an undercoat layer 72 disposed on the glass substrate 7, and has a drain region 74 and a source region 75 formed by doping impurities on both sides of the channel region 73. Yes.

各薄膜トランジスタ13のソース電極21は、ゲート絶縁膜77および層間絶縁膜78を貫通するコンタクトホール79を介して活性層71のソース領域75に電気的に接続されることによって形成されている。また、ソース電極21は、層間絶縁膜78、ドレイン電極22、および、ソース電極21を覆うカラーフィルタ層33に形成されたスルーホール67を介して画素電極11に電気的に接続されている。   The source electrode 21 of each thin film transistor 13 is formed by being electrically connected to the source region 75 of the active layer 71 through a contact hole 79 that penetrates the gate insulating film 77 and the interlayer insulating film 78. Further, the source electrode 21 is electrically connected to the pixel electrode 11 through a through hole 67 formed in the color filter layer 33 covering the interlayer insulating film 78, the drain electrode 22, and the source electrode 21.

また、各薄膜トランジスタ13のドレイン電極22は、信号線16と一体に形成され、ゲート絶縁膜77および層間絶縁膜78を貫通するコンタクトホール81を介して活性層71のドレイン領域74に電気的に接続されることによって形成されている。   Further, the drain electrode 22 of each thin film transistor 13 is formed integrally with the signal line 16, and is electrically connected to the drain region 74 of the active layer 71 through a contact hole 81 that penetrates the gate insulating film 77 and the interlayer insulating film 78. It is formed by being.

さらに、各薄膜トランジスタ13のゲート電極24は、走査線15と一体に形成され、ゲート絶縁膜77を介して活性層71に対向して配置されている。   Further, the gate electrode 24 of each thin film transistor 13 is formed integrally with the scanning line 15 and is disposed to face the active layer 71 with the gate insulating film 77 interposed therebetween.

これにより、薄膜トランジスタ13は、走査線15および信号線16に接続され、走査線15からの駆動電圧により導通し、信号線16からの信号電圧を画素電極11に印加する。   As a result, the thin film transistor 13 is connected to the scanning line 15 and the signal line 16, is made conductive by the driving voltage from the scanning line 15, and applies the signal voltage from the signal line 16 to the pixel electrode 11.

補助容量素子12の補助容量電極12aは、活性層71と同層のアンダーコート層72上に配置され、ゲート絶縁膜77および層間絶縁膜78を貫通するコンタクトホール83を介してコンタクト電極84に電気的に接続されている。このコンタクト電極84は、カラーフィルタ層33を貫通するコンタクトホール85を介して画素電極11に電気的に接続されている。これにより、薄膜トランジスタ13のソース電極21、画素電極11、および補助容量電極12aは、同電位となる。一方、補助容量素子12の補助容量線12bは、その少なくとも一部がゲート絶縁膜77を介して補助容量電極12aに対向配置され、所定電位に設定されている。   The auxiliary capacitance electrode 12a of the auxiliary capacitance element 12 is disposed on the undercoat layer 72, which is the same layer as the active layer 71, and is electrically connected to the contact electrode 84 via the contact hole 83 penetrating the gate insulating film 77 and the interlayer insulating film 78. Connected. The contact electrode 84 is electrically connected to the pixel electrode 11 through a contact hole 85 that penetrates the color filter layer 33. As a result, the source electrode 21, the pixel electrode 11, and the auxiliary capacitance electrode 12a of the thin film transistor 13 have the same potential. On the other hand, at least a part of the auxiliary capacitance line 12b of the auxiliary capacitance element 12 is disposed to face the auxiliary capacitance electrode 12a via the gate insulating film 77, and is set to a predetermined potential.

図14ないし図16に示すように、遮光部42は、カラーフィルタ層33を構成する着色樹脂を2層積層させた受止パターンとしての土手パターンである一対の隔壁91,92と、この一対の隔壁91,92の間に形成されたバンクA内においてガラス基板7の上面に配設された遮光層41とを備えている。   As shown in FIGS. 14 to 16, the light-shielding portion 42 includes a pair of partition walls 91 and 92 that are bank patterns as receiving patterns obtained by laminating two layers of the color resin constituting the color filter layer 33, and the pair of partition walls 91 and 92. A light shielding layer 41 disposed on the upper surface of the glass substrate 7 is provided in the bank A formed between the partition walls 91 and 92.

より詳細には、一対の隔壁91,92は、その一部をなす隔壁下段部91a,92aと他部をなす隔壁上段部91b,92bが異なる色の着色樹脂(例えば、下段部91a,92aを緑色の着色樹脂、上段部91b,92bを青色の着色樹脂)から構成されており、液晶注入口40を除く遮光領域39に設けられている。これにより、一対の隔壁91,92の間には、液晶注入口40を除く遮光領域39を取り囲む溝状のバンクAが形成され、このバンクA内には、黒色顔料を分散した黒色樹脂などの遮光性樹脂からなる遮光層41が形成されている。   More specifically, the pair of partition walls 91 and 92 includes a partition wall lower step portion 91a and 92a forming a part of the partition wall upper step portion 91b and 92b forming another part, and different colored resins (for example, lower step portions 91a and 92a). Green colored resin, and upper stage portions 91b and 92b are made of blue colored resin), and are provided in the light shielding region 39 excluding the liquid crystal injection port 40. As a result, a groove-shaped bank A surrounding the light-shielding region 39 excluding the liquid crystal injection port 40 is formed between the pair of partition walls 91 and 92. In the bank A, a black resin or the like in which a black pigment is dispersed is formed. A light shielding layer 41 made of a light shielding resin is formed.

スペーサ25は、例えば感光性樹脂によって形成されている。このスペーサ25は、遮光性を有する配線部に積層されたカラーフィルタ層33の各色フィルタ部34,35,36上に配置されている。配向膜65は、液晶層4に含まれる液晶分子をアレイ基板2に対して所定方向に配向する。   The spacer 25 is made of, for example, a photosensitive resin. The spacer 25 is disposed on each color filter portion 34, 35, 36 of the color filter layer 33 stacked on the light-shielding wiring portion. The alignment film 65 aligns liquid crystal molecules contained in the liquid crystal layer 4 in a predetermined direction with respect to the array substrate 2.

対向基板3は、ガラス基板32上に形成された対向電極37、この対向電極37を覆う配向膜94などを有している。配向膜94は、液晶層4に含まれる液晶分子を対向基板3に対して所定方向に配向する。   The counter substrate 3 includes a counter electrode 37 formed on the glass substrate 32, an alignment film 94 covering the counter electrode 37, and the like. The alignment film 94 aligns liquid crystal molecules contained in the liquid crystal layer 4 in a predetermined direction with respect to the counter substrate 3.

バックライトユニットBLから出射された光は、液晶パネル1におけるアレイ基板2側の偏光板44を通過し、液晶層4を介して変調され、対向基板3側の偏光板45によって選択的に透過される。これにより、液晶パネル1の画面部8に画像が表示される。   The light emitted from the backlight unit BL passes through the polarizing plate 44 on the array substrate 2 side in the liquid crystal panel 1, is modulated through the liquid crystal layer 4, and is selectively transmitted by the polarizing plate 45 on the counter substrate 3 side. The Thereby, an image is displayed on the screen unit 8 of the liquid crystal panel 1.

次に、上記液晶パネル1の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the liquid crystal panel 1 will be described.

アレイ基板2の製造工程では、まず、ガラス基板7上にアンダーコート層72を形成した後、薄膜トランジスタ13などのポリシリコンの活性層71および補助容量電極12aを形成する。続いて、ゲート絶縁膜77を形成した後、走査線15、補助容量線12b、および、走査線15と一体のゲート電極24などの各種配線を形成する。続いて、ゲート電極24をマスクとして、ポリシリコンの活性層71に不純物を注入し、ドレイン領域74およびソース領域75を形成した後、基板全体をアニールすることにより不純物を活性化する。続いて、層間絶縁膜78を形成した後、ゲート絶縁膜77および層間絶縁膜78を貫通して各コンタクトホール81,79,83を形成する。続いて、信号線16を形成するとともに、信号線16と一体に薄膜トランジスタ13のドレイン電極22、ソース電極21、およびコンタクト電極84を形成することで、図17に示すような薄膜トランジスタ13と電極配線を形成したアレイ基板2が得られる。   In the manufacturing process of the array substrate 2, first, an undercoat layer 72 is formed on the glass substrate 7, and then an active layer 71 of polysilicon such as the thin film transistor 13 and the auxiliary capacitance electrode 12 a are formed. Subsequently, after forming the gate insulating film 77, various wirings such as the scanning line 15, the auxiliary capacitance line 12b, and the gate electrode 24 integrated with the scanning line 15 are formed. Subsequently, using the gate electrode 24 as a mask, impurities are implanted into the polysilicon active layer 71 to form the drain region 74 and the source region 75, and then the entire substrate is annealed to activate the impurities. Subsequently, after forming the interlayer insulating film 78, the contact holes 81, 79, 83 are formed through the gate insulating film 77 and the interlayer insulating film 78. Subsequently, the signal line 16 is formed, and the drain electrode 22, the source electrode 21, and the contact electrode 84 of the thin film transistor 13 are formed integrally with the signal line 16, so that the thin film transistor 13 and the electrode wiring as shown in FIG. The formed array substrate 2 is obtained.

次いで、各色の画素9毎に対応する色のカラーフィルタ層33の各色フィルタ部34,35,36を形成するとともに遮光領域39に一対の隔壁91,92を形成する。   Next, the color filter portions 34, 35, and 36 of the color filter layer 33 corresponding to each color pixel 9 are formed, and a pair of partition walls 91 and 92 are formed in the light shielding region 39.

より詳細には、スピンナにより、緑色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストを基板全面に塗布する。そして、このレジスト膜を、緑色画素に対応した部分および画面部8周縁における隔壁91,92に対応した部分に光が照射されるようなフォトマスクを介して365nmの波長で100mJ/cmの露光量で露光する。そして、このレジスト膜を、界面活性剤を含む水酸化カリウム(KOH)の1%水溶液で10秒間現像し、焼成する。これにより、図18に示すように、3.0μmの膜厚を有する緑色フィルタ部35を形成するとともに、緑色の顔料を分散させたアクリル樹脂からなる隔壁91,92の下段部91a,92aを形成する。 More specifically, an ultraviolet curable acrylic resin resist in which a green pigment is dispersed is applied to the entire surface of the substrate by a spinner. Then, this resist film is exposed to 100 mJ / cm 2 at a wavelength of 365 nm through a photomask that irradiates light to a portion corresponding to the green pixel and a portion corresponding to the partition walls 91 and 92 at the periphery of the screen portion 8. Expose in quantity. The resist film is developed with a 1% aqueous solution of potassium hydroxide (KOH) containing a surfactant for 10 seconds and baked. As a result, as shown in FIG. 18, the green filter part 35 having a film thickness of 3.0 μm is formed, and the lower stage parts 91a and 92a made of acrylic resin in which a green pigment is dispersed are formed. To do.

なお、隔壁91,92の下段部の幅寸法(線幅)は、この下段部の上面に形成される隔壁91,92の上段部91b,92bを形成できる幅寸法を確保できれば、特に限定されないが、例えば、本実施の形態では、図19に示すように、内側(すなわち、画面部8側)に形成された隔壁91の下段部91aの幅寸法W1aを50μm、この隔壁91の外周側に形成された隔壁92の下段部92aの幅寸法W2aを250μmに設けている。また、隔壁91の下段部91aと隔壁92の下段部92aとの間隔の寸法Wは、製造する液晶パネル1において必要とされる遮光領域の寸法に対応させて適宜設定でき、例えば、本実施の形態では、寸法W=2mmに設定している。   The width dimension (line width) of the lower stage portions of the partition walls 91 and 92 is not particularly limited as long as the width dimension capable of forming the upper stage portions 91b and 92b formed on the upper surface of the lower stage portion can be secured. For example, in the present embodiment, as shown in FIG. 19, the width dimension W1a of the lower step portion 91a of the partition wall 91 formed on the inner side (that is, the screen portion 8 side) is 50 μm, and is formed on the outer peripheral side of the partition wall 91. The width dimension W2a of the lower step portion 92a of the partition wall 92 is set to 250 μm. Further, the dimension W of the interval between the lower step portion 91a of the partition wall 91 and the lower step portion 92a of the partition wall 92 can be appropriately set according to the size of the light shielding region required in the liquid crystal panel 1 to be manufactured. In the embodiment, the dimension W is set to 2 mm.

次いで、同様の紫外線硬化型アクリル樹脂レジストの塗布、フォトリソグラフプロセスを繰り返すことにより、図20に示すように、3.0μmの膜厚を有する青色フィルタ部36を形成するとともに両隔壁91,92の下段部91a,92aの上面に青色の顔料を分散させたアクリル樹脂からなる隔壁91,92の上段部91b,92bを形成し、これにより、隔壁91,92の間には6.0μmの深さを有する溝状のバンクAが遮光領域39に形成される。   Next, by repeating the same UV curable acrylic resin resist coating and photolithography process, a blue filter portion 36 having a film thickness of 3.0 μm is formed as shown in FIG. Upper partition portions 91b and 92b made of acrylic resin in which a blue pigment is dispersed are formed on the upper surfaces of the lower step portions 91a and 92a, whereby a depth of 6.0 μm is formed between the partition walls 91 and 92. A groove-shaped bank A having the shape is formed in the light shielding region 39.

なお、隔壁91,92の上段部91b,92bの幅寸法は、この上段部91b,92bを構成する紫外線硬化型アクリル樹脂が所定の密着強度を確保できる限界解像度(線幅)以上の幅寸法であれば特に限定されることなく、例えば、本実施の形態では、図19に示すように、内側の隔壁91の上段部91bの幅寸法W1bを25μm、外周側の隔壁92の上段部92bの幅寸法W2bを100μmに設けている。   The width dimension of the upper stage portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 is a width dimension equal to or higher than the limit resolution (line width) that the ultraviolet curable acrylic resin constituting the upper stage portions 91b and 92b can secure a predetermined adhesion strength. For example, in the present embodiment, as shown in FIG. 19, the width dimension W1b of the upper step portion 91b of the inner partition wall 91 is 25 μm, and the width of the upper step portion 92b of the outer peripheral partition wall 92, as shown in FIG. The dimension W2b is set to 100 μm.

そして、同様の工程を繰り返すことにより、図21に示すように、赤色の顔料を分散させたアクリル樹脂からなる3.0μmの膜厚を有する赤色フィルタ部34を赤色画素に対応した部分に形成する。   Then, by repeating the same process, as shown in FIG. 21, a red filter portion 34 having a film thickness of 3.0 μm made of acrylic resin in which a red pigment is dispersed is formed in a portion corresponding to the red pixel. .

なお、これらの各色フィルタ部34,35,36の形成工程では、スルーホール67およびコンタクトホール85も同時に形成する。   In the formation process of these color filter portions 34, 35, 36, the through hole 67 and the contact hole 85 are also formed at the same time.

次いで、スパッタリング法により、カラーフィルタ層33上にITOを成膜し、所定の画素パターンにパターニングすることにより、薄膜トランジスタ13にコンタクトした画素電極11を形成する。次いで、この基板表面に、スピンナにより、例えば紫外線硬化性アクリル樹脂レジストを基板表面に所定の膜厚で塗布する。そして、この樹脂材料を加熱乾燥した後に、所定のパターン形状のフォトマスクを用いて所定露光量の紫外線により露光する。そして、この樹脂材料をアルカリ水溶液にて現像し、所定時間加熱し焼成することにより、図22に示すように、基板表面の画素電極11上を避けてカラーフィルタ層33上の所定位置に、約5μmの高さのスペーサ25を形成する。   Next, ITO is deposited on the color filter layer 33 by sputtering and patterned into a predetermined pixel pattern, thereby forming the pixel electrode 11 in contact with the thin film transistor 13. Next, an ultraviolet curable acrylic resin resist, for example, is applied to the substrate surface with a predetermined film thickness using a spinner. Then, after the resin material is heated and dried, it is exposed with a predetermined exposure amount of ultraviolet rays using a photomask having a predetermined pattern shape. Then, the resin material is developed with an alkaline aqueous solution, heated and baked for a predetermined time, and as shown in FIG. 22, about a predetermined position on the color filter layer 33 avoiding the pixel electrode 11 on the substrate surface. A spacer 25 having a height of 5 μm is formed.

次いで、図23および図24に示すように、隔壁91,92の間に形成されたバンクA内にインクジェットノズル95から遮光インクCを滴下することでバンクA内に遮光インクCを塗布する。そして、加熱焼成してアクリル系モノマーを硬化させることで、バンクA内に黒色樹脂からなる遮光層41を形成する。なお、本実施の形態では、加熱処理により硬化する熱硬化性樹脂を含有する遮光インクCを用いたが、これに代えて、光照射により硬化する光硬化性樹脂を含有する遮光インクを用いてもよい。   Next, as shown in FIGS. 23 and 24, the light shielding ink C is applied to the bank A by dropping the light shielding ink C from the inkjet nozzle 95 into the bank A formed between the partition walls 91 and 92. Then, the light-blocking layer 41 made of a black resin is formed in the bank A by curing the acrylic monomer by heating and baking. In the present embodiment, the light-shielding ink C containing a thermosetting resin that is cured by heat treatment is used. Instead, a light-shielding ink containing a photocurable resin that is cured by light irradiation is used. Also good.

次いで、基板全面に、配向膜材料AL−1051(JSR(株)製)を塗布し、ラビング処理を行うことで、配向膜65を形成する。これにより、図25に示すようなアレイ基板2が製造される。   Next, the alignment film material AL-1051 (manufactured by JSR Corporation) is applied to the entire surface of the substrate, and a rubbing process is performed to form the alignment film 65. Thereby, the array substrate 2 as shown in FIG. 25 is manufactured.

一方、対向基板3の製造工程では、まず、スパッタリング法により、ITOを約150nmの厚さに成膜し、パターニングすることによって対向電極37を形成した後、その上に配向膜65と同様の配向膜材料を塗布し、ラビング処理を行うことで、配向膜94を形成し、これにより、対向基板3が製造される。   On the other hand, in the manufacturing process of the counter substrate 3, first, ITO is formed to a thickness of about 150 nm by sputtering, and the counter electrode 37 is formed by patterning. Then, the alignment similar to the alignment film 65 is formed thereon. By applying a film material and performing a rubbing process, an alignment film 94 is formed, whereby the counter substrate 3 is manufactured.

液晶パネル1の製造工程では、シール材5を液晶注入口40を残してアレイ基板2の外縁に沿って印刷塗布し、さらに、アレイ基板2から対向電極37に電圧を印加するための電極転移材をシール材5の周辺の電極転移電極上に形成する。続いて、アレイ基板2の配向膜65と対向基板3の配向膜94とが互いに対向するようにアレイ基板2と対向基板3とを配置し、加熱してシール材5を硬化させて両基板を貼り合わせる。続いて、ZLI−1565(E.メルク社製)などの液晶組成物を液晶注入口40から注入し、さらに液晶注入口40を封止部材93によって封止することによって液晶層4を形成し、液晶表示パネルが製造される。   In the manufacturing process of the liquid crystal panel 1, the seal material 5 is printed and applied along the outer edge of the array substrate 2 leaving the liquid crystal inlet 40, and an electrode transfer material for applying a voltage from the array substrate 2 to the counter electrode 37. Is formed on the electrode transition electrode around the sealing material 5. Subsequently, the array substrate 2 and the counter substrate 3 are arranged so that the alignment film 65 of the array substrate 2 and the alignment film 94 of the counter substrate 3 are opposed to each other, and the sealing material 5 is cured by heating, whereby both substrates are cured. to paste together. Subsequently, a liquid crystal composition such as ZLI-1565 (manufactured by E. Merck) is injected from the liquid crystal injection port 40, and the liquid crystal injection port 40 is further sealed by the sealing member 93, thereby forming the liquid crystal layer 4. A liquid crystal display panel is manufactured.

このように上記第5の実施の形態によれば、カラーフィルタ層33の形成工程において、画面部8内にカラーフィルタ層33を形成するとともに、遮光領域39内に遮光インクCを堰き止めるバンクAを形成する隔壁91,92を形成できるため、別途の工程を必要とすることなく、また、遮光インクCがアレイ基板2の周縁部に広がることもなく、画面部8の外周部の所定位置にインクジェット方式によって遮光層41を形成でき、これにより、原料利用効率の向上および製造コストの削減を図ることができる。   As described above, according to the fifth embodiment, in the color filter layer 33 forming step, the color filter layer 33 is formed in the screen portion 8 and the light blocking ink C is blocked in the light blocking region 39. Since the partition walls 91 and 92 for forming the film can be formed, a separate process is not required, and the light-shielding ink C does not spread on the peripheral edge of the array substrate 2 and is positioned at a predetermined position on the outer peripheral portion of the screen portion 8. The light shielding layer 41 can be formed by an ink jet method, thereby improving the raw material utilization efficiency and reducing the manufacturing cost.

また、遮光層41と画面部8の最外周に配置されたカラーフィルタ層33(本実施の形態では青色フィルタ部36)とが互いに隣接することがなく、両層間で混色が発生することもない。   Further, the light shielding layer 41 and the color filter layer 33 (the blue filter portion 36 in the present embodiment) disposed on the outermost periphery of the screen portion 8 are not adjacent to each other, and no color mixing occurs between the two layers. .

なお、本実施の形態では、一対の隔壁91,92の下段部91a,92aと上段部91b,92bを緑色の着色樹脂と青色の着色樹脂でそれぞれ形成したが、本発明はこれに限定されるものでなく、カラーフィルタ層33の各色フィルタ部34,35,36を形成するいずれの色の着色樹脂で形成してもよい。   In the present embodiment, the lower step portions 91a and 92a and the upper step portions 91b and 92b of the pair of partition walls 91 and 92 are formed of a green colored resin and a blue colored resin, respectively, but the present invention is limited to this. Instead, it may be formed of any color resin that forms the color filter portions 34, 35, 36 of the color filter layer 33.

また、本実施の形態において、いずれの隔壁91,92も異なる色の着色樹脂を階段状に2層積層させて構成しているが、例えば、図26に示す第6の実施の形態のように、隔壁91,92の下段部91a,92aを被覆するように隔壁91,92の下段部91b,92bを形成してもよく、更にまた、図27および図28に示す第7の実施の形態のように、一対の隔壁91,92を1層または3層で構成したり、あるいは、図29に示す第8の実施の形態のように内側の隔壁91を2層で構成し、外側の隔壁92を1層で構成したりするなど、着色樹脂の積層構成は特に限定されず、所望厚さの遮光層41が形成できるように両隔壁91,92の着色樹脂の積層構成を適宜設定できる。ここで、内側の隔壁91を2層で構成し、外側の隔壁92を1層で構成する第9の実施の形態の場合には、図30に示すように、遮光インクCが、外側の隔壁92を乗り上げるようにバンクA内に滴下することで、両隔壁91,92を2層で構成した場合と略同様の厚さの遮光層41を形成できる。   Further, in this embodiment, each of the partition walls 91 and 92 is formed by laminating two layers of colored resins of different colors in a stepped manner. For example, as in the sixth embodiment shown in FIG. The lower step portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 may be formed so as to cover the lower step portions 91a and 92a of the partition walls 91 and 92. Furthermore, in the seventh embodiment shown in FIGS. As described above, the pair of partition walls 91 and 92 are formed of one layer or three layers, or the inner partition wall 91 is formed of two layers as in the eighth embodiment shown in FIG. The laminated structure of the colored resin is not particularly limited, and the laminated structure of the colored resins of the partition walls 91 and 92 can be appropriately set so that the light shielding layer 41 having a desired thickness can be formed. Here, in the case of the ninth embodiment in which the inner partition 91 is composed of two layers and the outer partition 92 is composed of one layer, as shown in FIG. By dropping into the bank A so as to ride on 92, the light shielding layer 41 having a thickness substantially the same as that of the case where both the partition walls 91 and 92 are formed of two layers can be formed.

また、本実施の形態では、アレイ基板2にカラーフィルタ層33と遮光部42を形成したが、対向基板3にカラーフィルタ層と上記のような遮光部を形成してもよい。   In the present embodiment, the color filter layer 33 and the light shielding portion 42 are formed on the array substrate 2, but the color filter layer and the light shielding portion as described above may be formed on the counter substrate 3.

次に、第10の実施の形態を図31ないし図42を参照して説明する。なお、上記各実施の形態と同様の構成および作用については、同一符号を付してその説明を省略する。   Next, a tenth embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, about the structure and effect | action similar to said each embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

この第10の実施の形態の液晶パネル1は、図31に示すように、一対の隔壁91,92のうち、内周側(すなわち、画面部8側)の隔壁91の上段部91bに、隔壁91に沿って下方へ陥没する溝97が上段部91bの上面に形成されているものである。なお、内周側の隔壁91が光透過性を有する場合には、この隔壁91の下に遮光用のメタルパターン(不図示)を配設してもよい。   As shown in FIG. 31, the liquid crystal panel 1 of the tenth embodiment includes a partition wall on the upper stage portion 91b of the partition wall 91 on the inner peripheral side (that is, the screen portion 8 side) of the pair of partition walls 91 and 92. A groove 97 recessed downward along 91 is formed on the upper surface of the upper step 91b. In the case where the inner peripheral partition 91 has light transmittance, a light shielding metal pattern (not shown) may be disposed under the partition 91.

そして、このような一対の隔壁91,92の間には、バンクAが形成され、このバンクA上に遮光層41が形成されている。   A bank A is formed between the pair of partition walls 91 and 92, and a light shielding layer 41 is formed on the bank A.

次に、上記液晶パネル1の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the liquid crystal panel 1 will be described.

図32に示すように、上記第5の実施の形態と同様の工程により、薄膜トランジスタ13と電極配線を形成したアレイ基板2を形成した後、各色の画素9毎に対応する色のカラーフィルタ層33の各色フィルタ部34,35,36を形成するとともに遮光領域39に一対の隔壁91,92を形成する。この際には、例えばスピンナにより、赤色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストを基板全面に塗布し、このレジスト膜を、赤色画素に対応した部分に光が照射されるようにフォトマスクを介して365nmの波長で100mJ/cmの露光量で露光する。そして、このレジスト膜を界面活性剤を含む水酸化カリウム(KOH)の0.05%水溶液で40秒間現像し、230℃で3分間焼成する。これにより、図33に示すように、3.0μmの膜厚を有する赤色フィルタ部34を形成する。 As shown in FIG. 32, after forming the array substrate 2 on which the thin film transistor 13 and the electrode wiring are formed by the same process as in the fifth embodiment, a color filter layer 33 of a color corresponding to each pixel 9 of each color. The color filter portions 34, 35, and 36 are formed, and a pair of partition walls 91 and 92 are formed in the light shielding region 39. In this case, for example, an ultraviolet curable acrylic resin resist in which a red pigment is dispersed is applied to the entire surface of the substrate by, for example, a spinner, and this resist film is applied to a photomask so that light is irradiated to a portion corresponding to a red pixel. The film is exposed at an exposure dose of 100 mJ / cm 2 at a wavelength of 365 nm. The resist film is developed with a 0.05% aqueous solution of potassium hydroxide (KOH) containing a surfactant for 40 seconds and baked at 230 ° C. for 3 minutes. Thus, as shown in FIG. 33, a red filter portion 34 having a thickness of 3.0 μm is formed.

次いで、同様の紫外線硬化型アクリル樹脂レジストに緑色の顔料を分散させたレジストをスピンナにより基板全面に塗布し、そして、このレジスト膜を緑色画素に対応した部分および画面部8周縁における隔壁91,92に対応した部分に光が照射されるようなフォトマスクを介して上記同様の条件で露光し、そして、現像および焼成を行うことにより、図34に示すように、3.0μmの膜厚を有する緑色フィルタ部35を形成するとともに、緑色の顔料を分散させたアクリル樹脂からなる隔壁91,92の下段部91a,92aを形成する。   Next, a resist in which a green pigment is dispersed in the same ultraviolet curable acrylic resin resist is applied to the entire surface of the substrate by a spinner, and the resist film is applied to the portions corresponding to the green pixels and the partitions 91 and 92 at the periphery of the screen portion 8. As shown in FIG. 34, a film having a thickness of 3.0 μm is obtained by performing exposure under the same conditions as described above through a photomask that irradiates light to a portion corresponding to, and developing and baking. The green filter part 35 is formed, and the lower stage parts 91a and 92a made of the acrylic resin in which the green pigment is dispersed are formed.

なお、隔壁91,92の下段部91a,92aの幅寸法(線幅)は、この下段部91a,92aの上面に形成される隔壁91,92の上段部91b,92bを形成できる幅寸法を確保できれば、特に限定されないが、例えば、本実施の形態では、図35に示すように、下段部91a,92aの幅寸法W1a,W2aをそれぞれ70μmに設けている。また、隔壁91の下段部91aと隔壁92の下段部92aとの間隔の寸法Wは、製造する液晶パネル1において必要とされる遮光領域の寸法に対応させて適宜設定でき、例えば、本実施の形態では、寸法W=1〜7mmに設定している。   Note that the width dimension (line width) of the lower step portions 91a and 92a of the partition walls 91 and 92 is secured so that the upper step portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 formed on the upper surfaces of the lower step portions 91a and 92a can be formed. Although it is not particularly limited if possible, for example, in this embodiment, as shown in FIG. 35, the width dimensions W1a and W2a of the lower step portions 91a and 92a are respectively set to 70 μm. Further, the dimension W of the interval between the lower step portion 91a of the partition wall 91 and the lower step portion 92a of the partition wall 92 can be appropriately set according to the size of the light shielding region required in the liquid crystal panel 1 to be manufactured. In the embodiment, the dimension W is set to 1 to 7 mm.

次いで、同様の紫外線硬化型アクリル樹脂レジストの塗布、フォトリソグラフプロセスおよび焼成を繰り返すことにより、図36に示すように、3.0μmの膜厚を有する青色フィルタ部36を形成するとともに両隔壁91,92の下段部91a,92aの上面に青色の顔料を分散させたアクリル樹脂からなる隔壁91,92の上段部91b,92bを形成し、これにより、隔壁91,92の間には5.5μmの深さを有する溝状のバンクAを遮光領域39に形成する。ここで、内周側の下段部91aには、青色の顔料を分散させたアクリル樹脂からなる一対の樹脂層98,98を下段部91aの上面に所定間隔を隔てて配置することにより、下段部91a上に下方に陥没する溝97を有する上段部91bを形成する。   Next, by repeating the application of the same ultraviolet curable acrylic resin resist, photolithography process and baking, as shown in FIG. 36, a blue filter portion 36 having a film thickness of 3.0 μm is formed and both partition walls 91, The upper step portions 91b and 92b made of an acrylic resin in which a blue pigment is dispersed are formed on the upper surfaces of the lower step portions 91a and 92a of the 92, whereby 5.5 μm between the partition walls 91 and 92 is formed. A groove-shaped bank A having a depth is formed in the light shielding region 39. Here, in the lower step portion 91a on the inner peripheral side, a pair of resin layers 98, 98 made of an acrylic resin in which a blue pigment is dispersed are disposed on the upper surface of the lower step portion 91a with a predetermined interval therebetween, so that the lower step portion An upper step 91b having a groove 97 recessed downward is formed on 91a.

なお、隔壁91,92の上段部91b,92bの幅寸法は、この上段部91b,92bを構成する紫外線硬化型アクリル樹脂が所定の密着強度を確保できる限界解像度(線幅)以上の幅寸法であれば特に限定されることなく、例えば、本実施の形態では、図35に示すように、内側の隔壁91の上段部91bを構成する樹脂層98,98の幅寸法W2aを20μmに、樹脂層98,98の間隔W3を20μmに、外周側の隔壁92の上段部92bの幅寸法W2bを20μmに、それぞれ設けている。   The width dimension of the upper stage portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 is a width dimension equal to or higher than the limit resolution (line width) that the ultraviolet curable acrylic resin constituting the upper stage portions 91b and 92b can secure a predetermined adhesion strength. For example, in the present embodiment, as shown in FIG. 35, the width W2a of the resin layers 98 and 98 constituting the upper stage portion 91b of the inner partition wall 91 is set to 20 μm. The space W3 between 98 and 98 is set to 20 μm, and the width dimension W2b of the upper step portion 92b of the partition wall 92 on the outer peripheral side is set to 20 μm.

次いで、カラーフィルタ層33と隔壁91,92が形成されたアレイ基板2を220℃で60分間焼成し、アクリル樹脂を完全に硬化させる。   Next, the array substrate 2 on which the color filter layer 33 and the partition walls 91 and 92 are formed is baked at 220 ° C. for 60 minutes to completely cure the acrylic resin.

なお、これらの各色フィルタ部34,35,36の形成工程では、スルーホール67およびコンタクトホール85も同時に形成する。   In the formation process of these color filter portions 34, 35, 36, the through hole 67 and the contact hole 85 are also formed at the same time.

次いで、スパッタリング法により、カラーフィルタ層33上にITOを150nm成膜し、所定の画素パターンにパターニングすることにより、薄膜トランジスタ13にコンタクトした画素電極11を形成する。次いで、この基板表面に、スピンナにより、例えば紫外線硬化性アクリル樹脂レジストを基板表面に所定の膜厚で塗布する。そして、この樹脂材料を加熱乾燥した後に、所定のパターン形状のフォトマスクを用いて所定露光量の紫外線により露光する。そして、この樹脂材料をアルカリ水溶液にて現像し、所定時間加熱し焼成することにより、図37に示すように、基板表面の画素電極11上を避けてカラーフィルタ層33上の所定位置に、5.5μmの高さのスペーサ25を形成する。   Next, ITO is deposited to a thickness of 150 nm on the color filter layer 33 by sputtering, and patterned into a predetermined pixel pattern, thereby forming the pixel electrode 11 in contact with the thin film transistor 13. Next, an ultraviolet curable acrylic resin resist, for example, is applied to the substrate surface with a predetermined film thickness using a spinner. Then, after the resin material is heated and dried, it is exposed with a predetermined exposure amount of ultraviolet rays using a photomask having a predetermined pattern shape. Then, this resin material is developed with an alkaline aqueous solution, heated and baked for a predetermined time, thereby avoiding the pixel electrode 11 on the surface of the substrate at a predetermined position on the color filter layer 33 as shown in FIG. A spacer 25 having a height of 5 μm is formed.

次いで、図38に示すように、隔壁91,92の間に形成されたバンクA内にインクジェットノズル95から遮光インクCを吐出することでバンクA内に遮光インクCを塗布する。その際、インクジェットノズル95の吐出口から隔壁91,92の上段部91b,92b上端までの吐出方向の吐出距離Hが60μm〜90μmに設定されるように、インクジェットノズル95が遮光インクCを吐出する吐出位置を決定することが好ましい。そして、溶剤を減圧下で除去した後、加熱焼成してアクリル系モノマーを硬化させることで、図39に示すように、バンクA内に黒色樹脂からなる遮光層41を形成し、上記第5の実施の形態と同様の工程で配向膜65を形成することにより、図40に示すようなアレイ基板2が製造される。   Next, as shown in FIG. 38, the light shielding ink C is applied to the bank A by discharging the light shielding ink C from the inkjet nozzle 95 into the bank A formed between the partition walls 91 and 92. At this time, the inkjet nozzle 95 ejects the light-shielding ink C so that the ejection distance H in the ejection direction from the ejection port of the inkjet nozzle 95 to the upper end portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 is set to 60 μm to 90 μm. It is preferable to determine the discharge position. Then, after removing the solvent under reduced pressure, the acrylic monomer is cured by heating and baking to form a light shielding layer 41 made of a black resin in the bank A, as shown in FIG. By forming the alignment film 65 in the same process as in the embodiment, the array substrate 2 as shown in FIG. 40 is manufactured.

なお、本実施の形態では、加熱処理により硬化する熱硬化性樹脂を含有する遮光インクCを用いたが、これに代えて、光照射により硬化する光硬化性樹脂を含有する遮光インクを用いてもよい。   In the present embodiment, the light-shielding ink C containing a thermosetting resin that is cured by heat treatment is used. Instead, a light-shielding ink containing a photocurable resin that is cured by light irradiation is used. Also good.

このように上記第10の実施の形態によれば、カラーフィルタ層33の形成工程において、画面部8内にカラーフィルタ層33を形成するとともに、遮光領域39内に遮光インクCを堰き止めるバンクAを形成する隔壁91,92を形成できるため、別途の工程を必要とすることなく、また、遮光インクCがアレイ基板2の周縁部に広がることもなく、画面部8の外周部の所定位置にインクジェット方式によって遮光層41を形成でき、これにより、原料利用効率の向上および製造コストの削減を図ることができる。   As described above, according to the tenth embodiment, in the color filter layer 33 forming step, the color filter layer 33 is formed in the screen portion 8 and the light blocking ink C is blocked in the light blocking region 39. Since the partition walls 91 and 92 for forming the film can be formed, a separate process is not required, and the light-shielding ink C does not spread on the peripheral edge of the array substrate 2 and is positioned at a predetermined position on the outer peripheral portion of the screen portion 8. The light shielding layer 41 can be formed by an ink jet method, thereby improving the raw material utilization efficiency and reducing the manufacturing cost.

また、内周側の隔壁91の上段部91bには溝97が設けられているため、インクジェットノズル95から吐出された遮光インクCが内周側の隔壁91の上端に達した場合であっても、この遮光インクCが、溝97に流れ込み分散されその勢いが弱められることで溝97内に堰き止められ、画面部8へ流出するのを防止できる。   In addition, since the upper stage 91b of the inner peripheral side partition wall 91 is provided with the groove 97, even when the light shielding ink C discharged from the inkjet nozzle 95 reaches the upper end of the inner peripheral side partition wall 91. The light-shielding ink C flows into the groove 97 and is dispersed and the momentum is weakened, so that it is blocked in the groove 97 and can be prevented from flowing out to the screen portion 8.

このことは、内周側の隔壁91の上段部91bに溝97が形成されている場合と、上段部91bに溝97が形成されていない場合において、インクジェットノズル95がバンクAに遮光インクCを吐出する際のインクジェットノズル95の吐出口から隔壁91,92の上段部91b,92b上端までの吐出方向の吐出距離Hと、遮光インクCの吐出不良の有無の関係を示した図41および図42からも明らかである。   This is because the inkjet nozzle 95 applies the light-shielding ink C to the bank A when the groove 97 is formed in the upper step 91b of the inner peripheral partition wall 91 and when the groove 97 is not formed in the upper step 91b. 41 and 42 showing the relationship between the ejection distance H in the ejection direction from the ejection port of the inkjet nozzle 95 to the upper ends of the upper portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 and the presence or absence of ejection failure of the light-shielding ink C. It is clear from

すなわち、図41に示す溝97が形成されていない場合では、吐出距離Hが80μm以上で遮光インクCが画面部8に流出することがなく、吐出距離Hが90μm以下で遮光層41の成形不良が発生することがなく、よって、遮光インクCの吐出不良が発生することがない吐出距離Hの範囲が80μm〜90μmである。   That is, in the case where the groove 97 shown in FIG. 41 is not formed, the light shielding ink C does not flow out to the screen portion 8 when the discharge distance H is 80 μm or more, and the light shielding layer 41 is poorly formed when the discharge distance H is 90 μm or less. Therefore, the range of the discharge distance H in which the discharge failure of the light-shielding ink C does not occur is 80 μm to 90 μm.

これに対し、図42に示す溝97が形成されている場合では、吐出距離Hが60μm以上で遮光インクCが画面部8に流出することがなく、吐出距離Hが90μm以下で遮光層41の成形不良が発生することがなく、遮光インクCの吐出不良が発生することがない吐出距離Hの範囲が、溝97が形成されていない場合に比べ3倍の60μm〜90μmとなり、装置条件や隔壁91,92の形状などのばらつきあっても安定して遮光インクCが画面部8に流出することなく遮光層41を形成できる。   On the other hand, in the case where the groove 97 shown in FIG. 42 is formed, the light shielding ink C does not flow out to the screen portion 8 when the ejection distance H is 60 μm or more, and the light shielding layer 41 is formed when the ejection distance H is 90 μm or less. The range of the discharge distance H in which no defective molding occurs and the ejection failure of the light-shielding ink C does not occur is 60 μm to 90 μm, which is three times that in the case where the groove 97 is not formed. The light shielding layer 41 can be formed stably without causing the light shielding ink C to flow out to the screen portion 8 even if the shapes of 91 and 92 vary.

さらに、遮光層41と画面部8の最外周に配置されたカラーフィルタ層33(本実施の形態では青色フィルタ部36)とが互いに隣接することがなく、両層間で混色が発生することもない。   Further, the light shielding layer 41 and the color filter layer 33 (the blue filter portion 36 in the present embodiment) disposed on the outermost periphery of the screen portion 8 are not adjacent to each other, and no color mixing occurs between the two layers. .

なお、上記した第10の実施の形態では、一対の隔壁91,92の下段部91a,92aと上段部91b,92bを緑色の着色樹脂と青色の着色樹脂でそれぞれ形成したが、本発明はこれに限定されるものでなく、カラーフィルタ層33の色フィルタ部34,35,36を形成するいずれの色の着色樹脂で形成してもよい。   In the tenth embodiment described above, the lower step portions 91a and 92a and the upper step portions 91b and 92b of the pair of partition walls 91 and 92 are respectively formed of a green colored resin and a blue colored resin. However, the color filter layer 33 may be formed of any color resin that forms the color filter portions 34, 35, 36 of the color filter layer 33.

また、図43に示す第11の実施の形態のように、上記第10の実施の形態において、一対の隔壁91,92の上端部側面にあたる隔壁91,92の上段部91b,92bの側面が、ガラス基板7に対して25度〜150度の角度をなすテーパ面99であってもよく、このような場合であっても、インクジェットノズル95から吐出された遮光インクCが画面部8へ流出するのを防止できる。   Further, as in the eleventh embodiment shown in FIG. 43, in the tenth embodiment, the side surfaces of the upper stage portions 91b, 92b corresponding to the upper end side surfaces of the pair of partition walls 91, 92 are The tapered surface 99 may be at an angle of 25 to 150 degrees with respect to the glass substrate 7. Even in such a case, the light-shielding ink C discharged from the inkjet nozzle 95 flows out to the screen unit 8. Can be prevented.

なお、上記各実施の形態では、赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35および青色フィルタ部36の3色の着色層を用いた例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、赤色フィルタ部34、緑色フィルタ部35、青色フィルタ部36、および、透明色フィルタ部の4色の着色層を用いて形成してもよい。   In each of the above embodiments, an example using the three color layers of the red filter part 34, the green filter part 35, and the blue filter part 36 is shown, but the present invention is not limited to this, You may form using the colored layer of 4 colors of the red filter part 34, the green filter part 35, the blue filter part 36, and a transparent color filter part.

次に、第12の実施の形態を図44に基づいて説明する。なお、上記第10の実施の形態と同様の構成および作用については、同一符号を付してその説明を省略する。   Next, a twelfth embodiment will be described with reference to FIG. In addition, about the structure and effect | action similar to the said 10th Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

この第12の実施の形態は、上記第10の実施の形態において内周側の隔壁91の上段部91bに溝97が形成されていない点、および隔壁91,92の上段部91b,92bの側面がテーパ面99をなしている点で異なり、このテーパ面99は、ガラス基板7に対するテーパ角度θが、25度〜150度、好ましくは90度〜120度になるように形成されている。   In the twelfth embodiment, the groove 97 is not formed in the upper step 91b of the inner peripheral partition 91 in the tenth embodiment, and the side surfaces of the upper steps 91b and 92b of the partition 91 and 92 Are different from each other in that they form a tapered surface 99. The tapered surface 99 is formed so that the taper angle θ with respect to the glass substrate 7 is 25 degrees to 150 degrees, preferably 90 degrees to 120 degrees.

このようなテーパ面99のテーパ角度θは、露光後のレジスト膜の現像時間を制御することによって調整できるほか、レジスト材、露光量あるいは焼成条件などを制御することによっても調整できる。   The taper angle θ of the tapered surface 99 can be adjusted by controlling the development time of the resist film after exposure, and can also be adjusted by controlling the resist material, the exposure amount, or the baking conditions.

以上のように、本実施の形態では、隔壁91,92の上段部91b,92bの側面をテーパ面99に設けることで、インクジェットノズル95から吐出された遮光インクCが画面部8へ流出するのを防止できる。   As described above, in this embodiment, the side surfaces of the upper stage portions 91b and 92b of the partition walls 91 and 92 are provided on the tapered surface 99, so that the light-shielding ink C discharged from the inkjet nozzle 95 flows out to the screen unit 8. Can be prevented.

なお、上記第12の実施の形態において、いずれの隔壁91,92も異なる色の着色樹脂を階段状に2層積層させて構成しているが、隔壁91,92を1層または3層で構成したり、あるいは、内周側の隔壁91を2層で構成し、外周側の隔壁92を1層で構成したりするなど、着色樹脂の積層構成は特に限定されず、所望厚さの遮光層41が形成できるように両隔壁91,92の着色樹脂の積層構成を適宜設定できる。その際、最上段に形成される着色樹脂層の側面、すなわち、一対の隔壁91,92の上端部側面をテーパ面99に設けることにより、遮光インクCが画面部8へ流出するのを防止できる。   In the twelfth embodiment, each of the partition walls 91 and 92 is formed by laminating two layers of colored resins of different colors stepwise, but the partition walls 91 and 92 are configured by one layer or three layers. Or the laminated structure of the colored resin is not particularly limited, for example, the inner peripheral partition wall 91 is composed of two layers, and the outer peripheral partition wall 92 is composed of one layer. The laminated structure of the colored resins of the partition walls 91 and 92 can be set as appropriate so that 41 can be formed. At that time, by providing the side surface of the colored resin layer formed at the uppermost stage, that is, the side surfaces of the upper ends of the pair of partition walls 91 and 92 on the tapered surface 99, the light-shielding ink C can be prevented from flowing out to the screen unit 8. .

本発明の液晶表示装置の第1の実施の形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a first embodiment of a liquid crystal display device of the present invention. 同上液晶表示装置を示す説明回路構成図である。It is explanatory circuit block diagram which shows a liquid crystal display device same as the above. 同上液晶表示装置を示す説明断面図である。It is explanatory sectional drawing which shows a liquid crystal display device same as the above. 同上液晶表示装置を示す平面図である。It is a top view which shows a liquid crystal display device same as the above. 同上液晶表示装置の光透過性基板上に受止パターンを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the receiving pattern on the light transmissive board | substrate of a liquid crystal display device same as the above. 同上受止パターンとカラーフィルタ層との間に遮光性材料を塗布する状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which apply | coats a light-shielding material between a receiving pattern same as the above and a color filter layer. 同上受止パターンとカラーフィルタ層との間に遮光層を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the light shielding layer between the receiving pattern same as the above and a color filter layer. 本発明の液晶表示装置の第2の実施の形態の光透過性基板上に受止パターンを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the receiving pattern on the transparent substrate of 2nd Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 同上受止パターンとカラーフィルタ層との間に遮光性材料を塗布する状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which apply | coats a light-shielding material between a receiving pattern same as the above and a color filter layer. 同上受止パターンとカラーフィルタ層との間に遮光層を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the light shielding layer between the receiving pattern same as the above and a color filter layer. 本発明の液晶表示装置の第3の実施の形態を示す説明断面図である。It is explanatory sectional drawing which shows 3rd Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 本発明の液晶表示装置の第4の実施の形態のカラーフィルタ層の外側に遮光性材料を塗布する状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which coat | covers the light-shielding material on the outer side of the color filter layer of 4th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 同上カラーフィルタ層の外側に遮光層を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the light shielding layer in the outer side of a color filter layer same as the above. 本発明の液晶表示装置の第5の実施の形態を示す平面図である。It is a top view which shows 5th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 同上液晶表示装置のアレイ基板の構造を示す説明断面図である。It is explanatory sectional drawing which shows the structure of the array substrate of a liquid crystal display device same as the above. 同上液晶表示装置を示す説明断面図である。It is explanatory sectional drawing which shows a liquid crystal display device same as the above. 同上液晶表示装置の光透過性基板上にスイッチング素子を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the switching element on the light transmissive board | substrate of a liquid crystal display device same as the above. 同上光透過性基板上にカラーフィルタ層の一部と隔壁下段部とを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed a part of color filter layer and the partition lower stage part on the light transmissive board | substrate same as the above. 同上一対の隔壁間に塗布された遮光性材料を硬化させた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which hardened the light-shielding material apply | coated between a pair of partition walls same as the above. 同上光透過性基板上にカラーフィルタ層の他の一部と隔壁上段部とを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the other part of the color filter layer and the partition upper stage part on the light transmissive substrate same as the above. 同上光透過性基板上にカラーフィルタ層のさらに他の一部を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the other part of the color filter layer on the transparent substrate same as the above. 同上カラーフィルタ層上に画素電極とスペーサとを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the pixel electrode and the spacer on the color filter layer same as the above. 同上一対の隔壁間に遮光性材料を塗布する状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which apply | coats a light-shielding material between a pair of partition as above. 同上一対の隔壁間に遮光層を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the light shielding layer between a pair of partition as same as the above. 同上光透過性基板上に配向膜を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the alignment film on the light transmissive substrate same as the above. 本発明の液晶表示装置の第6の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows 6th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 本発明の液晶表示装置の第7の実施の形態の光透過性基板上に隔壁下段部を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the partition lower stage part on the transparent substrate of 7th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 同上液晶表示装置の光透過性基板上に隔壁を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the partition on the light transmissive board | substrate of a liquid crystal display device same as the above. 本発明の液晶表示装置の第8の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows 8th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 本発明の液晶表示装置の第9の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows 9th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 本発明の液晶表示装置の第10の実施の形態を示す説明断面図である。It is explanatory sectional drawing which shows 10th Embodiment of the liquid crystal display device of this invention. 同上液晶表示装置の光透過性基板上にスイッチング素子を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the switching element on the light transmissive board | substrate of a liquid crystal display device same as the above. 同上光透過性基板上にカラーフィルタ層の一部と隔壁下段部とを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed a part of color filter layer and the partition lower stage part on the light transmissive board | substrate same as the above. 同上光透過性基板上にカラーフィルタ層の他の一部と隔壁上段部とを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the other part of the color filter layer and the partition upper stage part on the light transmissive substrate same as the above. 同上一対の隔壁間に塗布された遮光性材料を硬化させた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which hardened the light-shielding material apply | coated between a pair of partition walls same as the above. 同上光透過性基板上にカラーフィルタ層のさらに他の一部を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the other part of the color filter layer on the transparent substrate same as the above. 同上カラーフィルタ層上に画素電極とスペーサとを形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the pixel electrode and the spacer on the color filter layer same as the above. 同上一対の隔壁間に遮光性材料を塗布する状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which apply | coats a light-shielding material between a pair of partition as above. 同上一対の隔壁間に遮光層を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the light shielding layer between a pair of partition as same as the above. 同上光透過性基板上に配向膜を形成した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which formed the alignment film on the light transmissive substrate same as the above. 同上インクジェットノズルの吐出距離と透光性材料の吐出不良の有無との関係を示すグラフであって、隔壁の上段部に溝が設けられていない場合を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the discharge distance of an inkjet nozzle same as the above, and the presence or absence of the discharge defect of a translucent material, Comprising: It is a graph which shows the case where the groove | channel is not provided in the upper stage part of the partition. 同上インクジェットノズルの吐出距離と透光性材料の吐出不良の有無との関係を示すグラフであって、隔壁の上段部に溝が設けられている場合を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the discharge distance of an inkjet nozzle same as the above, and the presence or absence of the discharge defect of a translucent material, Comprising: It is a graph which shows the case where the groove | channel is provided in the upper stage part of the partition. 本発明の第11の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 11th Embodiment of this invention. 本発明の第12の実施の形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 12th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 液晶表示装置としての液晶パネル
2 光透過性基板としてのアレイ基板
8 表示領域としての画面部
9 画素
11 画素電極
13 スイッチング素子としての薄膜トランジスタ
33 カラーフィルタ層
34 着色層としての赤色フィルタ部
35 着色層としての第1カラーフィルタ層である緑色フィルタ部
36 着色層としての第2カラーフィルタ層である青色フィルタ部
38 受止パターンとしての土手パターン
39 遮光領域
41 遮光層
42 遮光部
91,92 受止パターンとしての隔壁
91a,92a 隔壁下段部
91b,92b 隔壁上段部
95 インクジェットノズル
99 テーパ面
C 遮光性材料としての遮光インク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal panel as a liquid crystal display device 2 Array substrate as a light-transmitting substrate 8 Screen section as a display area 9 pixels
11 Pixel electrode
13 Thin-film transistors as switching elements
33 Color filter layer
34 Red filter section as a colored layer
35 Green filter part as the first color filter layer as the colored layer
36 Blue filter part which is the second color filter layer as the colored layer
38 Bank pattern as a receiving pattern
39 Shading area
41 Shading layer
42 Shading part
91, 92 Bulkhead as receiving pattern
91a, 92a Bulkhead lower part
91b, 92b Bulkhead upper section
95 Inkjet nozzle
99 Tapered surface C Light-shielding ink as light-shielding material

Claims (19)

光透過性基板上に、画像を表示する表示領域に配置された複数色の着色層を備えたカラーフィルタ層を有する画素と、前記表示領域の外周に沿って配置された遮光領域を遮光する遮光層とを備えた液晶表示装置の製造方法であって、
前記光透過性基板上に前記カラーフィルタ層を形成する際に、このカラーフィルタ層に用いた材料で前記カラーフィルタ層の周縁に受止パターンを形成し、
前記カラーフィルタ層の周縁にて遮光性材料を塗布して前記受止パターンで受け止めることで、前記カラーフィルタ層の外周を取り囲む前記遮光層を形成する
ことを特徴とした液晶表示装置の製造方法。
A pixel having a color filter layer having a plurality of colored layers arranged in a display area for displaying an image on a light-transmitting substrate, and a light shielding part for shielding the light shielding area arranged along the outer periphery of the display area A method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a layer,
When forming the color filter layer on the light transmissive substrate, forming a receiving pattern on the periphery of the color filter layer with the material used for the color filter layer,
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: forming a light-shielding layer surrounding an outer periphery of the color filter layer by applying a light-shielding material at a periphery of the color filter layer and receiving the light-receiving material with the receiving pattern.
前記遮光性材料をインクジェットで塗布して前記遮光層を形成する
ことを特徴とした請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the light shielding material is applied by inkjet to form the light shielding layer.
複数色の前記着色層で前記カラーフィルタ層を順次形成する際に、このカラーフィルタ層の最も外側に位置する前記着色層および前記受止パターンをそれぞれ異なる色の前記着色層を積層させて形成し、
これら積層された前記カラーフィルタ層の最も外側に位置する前記着色層と前記受止パターンとの間に前記遮光性材料を注入して前記遮光層を形成する
ことを特徴とした請求項1または2記載の液晶表示装置の製造方法。
When sequentially forming the color filter layer with the colored layers of a plurality of colors, the colored layer located on the outermost side of the color filter layer and the receiving pattern are formed by laminating the colored layers of different colors. ,
The light shielding layer is formed by injecting the light shielding material between the colored layer located on the outermost side of the laminated color filter layers and the receiving pattern. The manufacturing method of the liquid crystal display device of description.
複数色の前記着色層で前記カラーフィルタ層を形成する際に、第1色の第1着色樹脂により、第1カラーフィルタ層と、前記遮光領域において前記表示領域の外周を取り囲むように互いに所定間隔をもって配設され前記受止パターンの一部をなす一対の隔壁下段部とを形成するとともに、第2色の第2着色樹脂により、第2カラーフィルタ層と、前記一対の隔壁下段部の少なくとも内周側の隔壁下段部の上面に前記受止パターンの他部をなす隔壁上段部とを形成し、
前記遮光層を形成する際に、前記一対の隔壁下段部の間でかつ前記光透過性基板の上面にインクジェットノズルから前記遮光性材料を有するインクを滴下する
ことを特徴とした請求項1または2記載の液晶表示装置の製造方法。
When forming the color filter layer with the color layers of a plurality of colors, the first color filter layer and the light-shielding area surround the outer periphery of the display area with a predetermined distance from each other by the first color resin of the first color. And a pair of partition lower steps that form a part of the receiving pattern, and at least inside the second color filter layer and the pair of partition lower steps by a second colored resin of the second color. Forming an upper partition wall portion forming the other part of the receiving pattern on the upper surface of the lower partition wall portion on the circumferential side;
The ink having the light-shielding material is dropped from an inkjet nozzle between the pair of partition lower steps and on the upper surface of the light-transmitting substrate when the light-shielding layer is formed. The manufacturing method of the liquid crystal display device of description.
複数色の前記着色層で前記カラーフィルタ層を形成する際に、第1色の第1着色樹脂により、第1カラーフィルタ層と、前記遮光領域において前記表示領域の外周を取り囲むように互いに所定間隔をもって配設され前記受止パターンの一部をなす一対の隔壁下段部とを形成するとともに、第2色の第2着色樹脂により、第2カラーフィルタ層と、前記一対の隔壁下段部の少なくとも内周側の隔壁下段部の上面に、この隔壁に沿って溝を備え前記受止パターンの他部をなす隔壁上段部とを形成し、
前記遮光層を形成する際に、前記一対の隔壁下段部の間でかつ前記光透過性基板の上面にインクジェットノズルから前記遮光性材料を有するインクを滴下する
ことを特徴とした請求項1または2記載の液晶表示装置の製造方法。
When forming the color filter layer with the color layers of a plurality of colors, the first color filter layer and the light-shielding area surround the outer periphery of the display area with a predetermined distance from each other by the first color resin of the first color. And a pair of partition lower steps that form a part of the receiving pattern, and at least inside the second color filter layer and the pair of partition lower steps by a second colored resin of the second color. On the upper surface of the partition wall lower step portion on the circumferential side, a partition upper step portion having a groove along the partition wall and forming the other part of the receiving pattern is formed,
The ink having the light-shielding material is dropped from an inkjet nozzle between the pair of partition lower steps and on the upper surface of the light-transmitting substrate when the light-shielding layer is formed. The manufacturing method of the liquid crystal display device of description.
前記インクジェットノズルからインクを滴下する際の前記インクジェットノズルの吐出口から前記隔壁上段部の上端までの距離を60μm〜90μmに設定する
ことを特徴とした請求項4または5記載の液晶表示装置の製造方法。
6. The liquid crystal display device according to claim 4, wherein a distance from an ejection port of the inkjet nozzle to an upper end of the upper stage of the partition wall is set to 60 μm to 90 μm when ink is dropped from the inkjet nozzle. Method.
前記受止パターンが、前記遮光領域にて前記表示領域の外周を取り囲むように互いに所定間隔を持って配設され側面がテーパ面をなしている一対の隔壁であり、
前記遮光層を形成する際に、前記一対の隔壁の間でかつ前記光透過性基板の上面に前記インクジェットノズルから前記遮光性材料を有するインクを滴下する
ことを特徴とした請求項1ないし6のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。
The receiving pattern is a pair of partition walls arranged at a predetermined interval so as to surround the outer periphery of the display area in the light-shielding area, and the side surfaces are tapered surfaces;
When forming the light-shielding layer, claims 1 and characterized in that dropping the ink having the light-shielding materials from the inkjet nozzles while the and the upper surface of the light transmitting substrate of the pair of partition walls 6 The manufacturing method of the liquid crystal display device as described in any one of these.
前記光透過性基板は、マトリクス状に配置されたスイッチング素子と前記スイッチング素子に接続され画素電極を備えたアレイ基板である
ことを特徴とした請求項1ないし7のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。
The liquid crystal according to any one of claims 1 to 7, wherein the light transmissive substrate is an array substrate including switching elements arranged in a matrix and pixel electrodes connected to the switching elements. Manufacturing method of display device.
光透過性基板上に、画像を表示する表示領域に配置されたカラーフィルタ層を有する画素と、前記表示領域の外周に沿って配置された遮光領域を遮光する遮光部と、を備える液晶表示装置において、
前記遮光部は、
前記カラーフィルタ層の周縁に形成された受止パターンと、
前記カラーフィルタ層の周縁にて前記光透過性基板上に塗布された遮光性材料が前記受止パターンにより受け止められて形成され、前記カラーフィルタ層の外周を取り囲む遮光層とを備え、
前記受止パターンは、前記遮光領域において前記表示領域の外周を取り囲むように互いに所定間隔をもって配設され、前記カラーフィルタ層を形成する着色樹脂からなる一対の隔壁であり、
前記遮光層は、前記一対の隔壁の間に前記遮光性材料を塗布して形成されている
ことを特徴とした液晶表示装置。
A liquid crystal display device comprising: a pixel having a color filter layer arranged in a display area for displaying an image on a light-transmitting substrate; and a light shielding part for shielding the light shielding area arranged along the outer periphery of the display area. In
The shading part is
A receiving pattern formed on the periphery of the color filter layer;
A light shielding material applied on the light transmissive substrate at the periphery of the color filter layer is received by the receiving pattern, and includes a light shielding layer surrounding an outer periphery of the color filter layer,
The receiving pattern is a pair of partition walls made of a colored resin that is disposed at a predetermined interval so as to surround the outer periphery of the display area in the light shielding area, and forms the color filter layer,
The liquid crystal display device, wherein the light shielding layer is formed by applying the light shielding material between the pair of partition walls.
前記カラーフィルタ層を形成する前記着色樹脂は、複数色の着色樹脂からなり、
前記一対の隔壁の少なくとも内周側の隔壁は、前記複数色の着色樹脂のうち、いずれか2色の着色樹脂を積層させて形成されている
ことを特徴とした請求項9記載の液晶表示装置。
The colored resin forming the color filter layer is composed of a plurality of colored resins,
10. The liquid crystal display device according to claim 9, wherein at least an inner peripheral partition wall of the pair of partition walls is formed by laminating any two colored resins of the plurality of colored resins. .
前記一対の隔壁は、緑色樹脂および青色樹脂によって形成されている
ことを特徴とした請求項10記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 10, wherein the pair of partition walls are formed of a green resin and a blue resin.
前記一対の隔壁の線幅が、20μm以上である
ことを特徴とした請求項9ないし11のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
12. The liquid crystal display device according to claim 9, wherein a line width of the pair of partition walls is 20 μm or more.
前記光透過性基板は、マトリクス状に配置されたスイッチング素子と前記スイッチング素子に接続された画素電極とを備えたアレイ基板である
ことを特徴とした請求項9ないし12のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
The said light transmissive board | substrate is an array board | substrate provided with the switching element arrange | positioned in the matrix form, and the pixel electrode connected to the said switching element. The Claim 13 characterized by the above-mentioned. Liquid crystal display device.
前記一対の隔壁の少なくとも内周側の隔壁の上面に、この隔壁に沿って溝が形成されている
ことを特徴とした請求項9ないし13のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to any one of claims 9 to 13, wherein a groove is formed along an upper surface of a partition wall at least on an inner peripheral side of the pair of partition walls.
前記カラーフィルタ層を形成する前記着色樹脂は複数色の着色樹脂からなり、
前記一対の隔壁の少なくとも内周側の隔壁は、前記複数色の着色樹脂のうち、いずれか2色の着色樹脂を上下2段に積層して形成され、その上段部の上面にこの隔壁に沿って前記溝が形成されている
ことを特徴とした請求項14記載の液晶表示装置。
The colored resin forming the color filter layer is composed of a plurality of colored resins,
The partition wall on the inner peripheral side of at least the pair of partition walls is formed by laminating any two colored resins of the plurality of colored resins in two upper and lower stages, and along the partition wall on the upper surface of the upper stage portion. The liquid crystal display device according to claim 14, wherein the groove is formed.
前記一対の隔壁の上端部側面は、上端に行くに従ってこれら隔壁の幅が変化するテーパ面をなしている
ことを特徴とした請求項14または15記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 14 or 15, wherein the side surfaces of the upper end portions of the pair of partition walls form a tapered surface in which the width of the partition walls changes toward the upper end.
前記カラーフィルタ層を形成する前記着色樹脂は複数色の着色樹脂からなり、
前記一対の隔壁は、前記複数色の着色樹脂の少なくともいずれか1色の着色樹脂を積層させてなり、
前記一対の隔壁の上端部側面は、上端に行くに従ってこれら隔壁の幅が変化するテーパ面をなしている
ことを特徴とした請求項14ないし16のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
The colored resin forming the color filter layer is composed of a plurality of colored resins,
The pair of partition walls are formed by laminating at least one color resin of the plurality of color resins,
The liquid crystal display device according to any one of claims 14 to 16, wherein the side surfaces of the upper end portions of the pair of partition walls form a tapered surface in which the widths of the partition walls change toward the upper end.
前記着色樹脂が、光硬化性樹脂である
ことを特徴とした請求項9ないし17のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to claim 9, wherein the colored resin is a photocurable resin.
前記遮光性材料が、熱硬化性樹脂と光硬化性樹脂とのいずれかである
ことを特徴とした請求項9ないし18のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
The liquid crystal display device according to any one of claims 9 to 18, wherein the light-shielding material is one of a thermosetting resin and a photocurable resin.
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