JP2007294779A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置1のオンチップレンズ形成工程は、光電変換素子21上の平坦化膜12上にレンズ材料層を形成し、これを加工してオンチップレンズを形成するためのレンズ形成パターン13を形成する工程と、レンズ形成パターン13を被覆するように、熱処理によってレンズ形成パターン13表面の変形に沿って膜状に変形されるシュリンク層14を形成する工程と、シュリンク層14とレンズ形成パターン13とを熱処理して、レンズ形成パターン13を凸レンズ状に変形させてオンチップレンズ15を形成するとともに、レンズ形成パターン13表面の変形に沿った膜状にシュリンク層14を変形させる工程とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (2)
- 固体撮像装置の複数の光電変換素子に入射光を集光させるオンチップレンズを形成する工程を備えた固体撮像装置の製造方法であって、
前記オンチップレンズを形成する工程は、
前記光電変換素子上に形成された下地層上にレンズ材料層を形成する工程と、
前記レンズ材料層を加工して前記オンチップレンズを形成するためのレンズ形成パターンを形成する工程と、
前記レンズ形成パターンを被覆するように、後の工程で行うリフロー処理によって前記レンズ形成パターン表面の変形に沿って膜状に形成されるシュリンク層を形成する工程と、
前記シュリンク層と前記レンズ形成パターンとを熱処理して、前記レンズ形成パターンを凸レンズ状に変形させてオンチップレンズを形成するとともに、前記レンズ形成パターン表面の変形に沿った膜状に前記シュリンク層を変形させる工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記オンチップレンズの前記下地層からの高さを前記熱処理温度によって制御する
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。
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