JP2007292633A - 半導体装置の特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】容易に安定した測定精度を得ることができる特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の特性測定用治具は、半導体装置の特性を測定するための特性測定用治具において、測定の対象となる半導体装置を載置するベース台5と、ベース台5に対して着脱可能であり、前記ベース台5上に半導体装置が載置される位置を規制する位置規制部15と、位置規制部15によって載置される位置が規制された半導体装置をベース台5に固定する固定レバー6と、固定レバー6の先端に着脱可能に取り付けられ、半導体装置の電極と接触して測定を行う測定用針ユニット14と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の特性測定用治具は、半導体装置の特性を測定するための特性測定用治具において、測定の対象となる半導体装置を載置するベース台5と、ベース台5に対して着脱可能であり、前記ベース台5上に半導体装置が載置される位置を規制する位置規制部15と、位置規制部15によって載置される位置が規制された半導体装置をベース台5に固定する固定レバー6と、固定レバー6の先端に着脱可能に取り付けられ、半導体装置の電極と接触して測定を行う測定用針ユニット14と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の容量、インピーダンス等の特性を測定するときに使用する特性測定用治具及びそれを用いた測定方法に関するものである。
近年、情報機器の小型・薄型化の要請は高まり、それに伴いダイオードやトランジスタ等の半導体装置も小型・薄型化され様々なサイズ、形状のパッケージが存在し、特性測定に関しても様々な工夫が凝らされている。
また、携帯電話等の無線機器に使用される部品においては、インピーダンス等を測定する上での測定器を含む測定システム全体の精度の向上が要求されている。
以下、従来の半導体装置の特性測定について説明する。
図7(a)は、半導体装置の特性測定システムの概略構成図である。
図7(a)に示されるように、特性測定システムは、測定器101と、半導体装置(図示せず)を固定するための特性測定用治具102とからなり、特性測定用治具102と測定器101とが同軸ケーブル103により接続されている。
図7(a)は、半導体装置の特性測定システムの概略構成図である。
図7(a)に示されるように、特性測定システムは、測定器101と、半導体装置(図示せず)を固定するための特性測定用治具102とからなり、特性測定用治具102と測定器101とが同軸ケーブル103により接続されている。
特性測定用治具102は、図7(b)に示されるように、ベース台105と、半導体装置(図示せず)を固定するための固定用レバー106と、半導体装置の電極(図示せず)と電気的に接触させるための例えば表面が金メッキされた接触端子107a、107bと、本体部109とを有し、操作レバー108を操作することにより、固定用レバー106が矢印110のように上下に移動するようになっている。
また、測定については、図7(c)に示されるように、測定者が、半導体装置111のリード電極112a、112bが、接触端子107a、107bに電気的に接触するように位置を合わせ、固定用レバー106により半導体装置111を押圧固定し、測定器101を操作することで測定を行う。
しかし、従来の測定方法では、図8に示されるように、半導体装置111を特性測定用治具102に測定者が設置する際、半導体装置111のリード電極112a、112bと特性測定用治具102の接触端子107a、107bとの位置ズレやパッケージ形状の違いなどによる接触不良等を起こし、測定値の精度の面において問題が生ずる。
そこで、図9に示すように、ベース台上に固定ガイド113を設けて、半導体装置111の位置を規制することが提案されている(特許文献1参照)。
特開2004−251840号
しかしながら、特許文献1に記載の測定装置は、ベース台上に接触端子を設ける構成であり、接触端子と測定対象の半導体装置の電極とが対応した位置にない場合は、前述の接触端子と電極との間の電気的接続を仲介し且つ位置も規制するポケットを測定対象の半導体装置毎に用意しなければならなかった。電気的接続を仲介する接触端子を有するポケットは、半導体装置の形状と同様に非常に小型であり、測定対象の半導体装置が変更される度にポケットを製造するのではコストがかかってしまう。
また、半導体装置の電極の形状は、例えば、底面に方形状に形成されるものや、底面から側面に湾曲して突出する形状のもの等さまざまである。
ポケットは電気的接続を仲介をする他、半導体装置の位置を規制する役割も果たすものであるため、ポケットの内壁と半導体装置とは略同一の大きさであり、半導体装置のリード電極の形状に不良があったり湾曲していたりすると、半導体装置がポケット内の予定した位置に収まらない場合がある。この場合、固定レバーにより上方から半導体装置を押さえつけたとしても、ベース台の接触端子と半導体装置のリード電極との接触が安定せず、半導体装置の特性が精度良く測定できなかった。
ポケットは電気的接続を仲介をする他、半導体装置の位置を規制する役割も果たすものであるため、ポケットの内壁と半導体装置とは略同一の大きさであり、半導体装置のリード電極の形状に不良があったり湾曲していたりすると、半導体装置がポケット内の予定した位置に収まらない場合がある。この場合、固定レバーにより上方から半導体装置を押さえつけたとしても、ベース台の接触端子と半導体装置のリード電極との接触が安定せず、半導体装置の特性が精度良く測定できなかった。
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであり、容易に安定した測定精度を得ることができる半導体装置の特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法を提供することを目的とする。
本発明の特性測定用治具は、半導体装置の特性を測定するための特性測定用治具において、測定の対象となる半導体装置を載置するベース台と、ベース台に対して着脱可能であり、前記ベース台上に半導体装置が載置される位置を規制する位置規制部と、位置規制部によって載置される位置が規制された半導体装置をベース台に固定する固定レバーと、固定レバーの先端に着脱可能に取り付けられ、半導体装置の電極と接触して測定を行う測定用針ユニットと、を備えるものである。
また、本発明の特性測定用治具は、前記位置規制部は、測定の対象となる半導体装置を囲うポケットである。
また、本発明の特性測定用治具は、前記位置規制部は、ベース台上に設けられた溝部に挿入されるピンである。
また、本発明の特性測定用治具は、前記位置規制部は、半導体装置の四隅のうち少なくとも対向する二隅の位置を規制するL字形状の規制部材である。
この構成により、安定かつ確実に測定用針ユニットと測定対象の半導体装置の電極とが電気的かつ機械的に接続するので、精度良く半導体装置の容量・抵抗等の特性を測定することができる。また、位置規制部、測定用針ユニットを複数個用意され交換することにより、様々な半導体装置のパッケージに簡便に対応することができる。また、ポケットは、位置規制の機能を果たせば良く、電極等を形成しなくてよい。従って、電極を有するポケットに比べて製造コストが低いので、予め複数のポケットを用意することができる。これにより、測定対象の半導体装置の変更に迅速対応することができる。
また、本発明の特性測定用治具は、前記ポケットは、対向する内側の壁面に半円部を有している。
この構成により、ピンセット等により、操作者は容易に半導体装置をポケット内にセットし、また取り外すことができる。
また、本発明の特性測定用治具は、測定用針ユニットは、先端が球状の同軸針である。
この構成により、測定対象の半導体装置のリード電極が傷つくのを予防することができる。
また、本発明の半導体装置の特性測定方法は、ベース台上に、測定対象の半導体装置の形状に対応した位置規制部を装着する工程と、半導体装置をベース台上に固定する固定レバーの先端に、前記半導体装置の電極に対応した測定針用ユニットを装着する工程と、ベース台上に装着された位置規制部内に半導体装置を載置する工程と、を有する。
この測定方法により、容易に安定した測定精度で半導体装置の特性を測定することができる。
本発明の半導体装置の特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法によれば、容易に安定した測定精度を得ることができる。
以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は、半導体装置としてダイオードを例にした本実施の形態1の特性測定用治具16の概略構成図である。図2は、本実施の形態1の特性測定用治具16を上方から見た図である。
図1は、半導体装置としてダイオードを例にした本実施の形態1の特性測定用治具16の概略構成図である。図2は、本実施の形態1の特性測定用治具16を上方から見た図である。
本実施の形態1の特性測定用治具16は、ベース台5と、半導体装置(図示せず)を固定するための固定用レバー6と、操作レバー8と、本体部9とを有し、ケーブル3により測定器に接続されている。また、操作レバー8を操作することにより、固定用レバー6が上下に移動するようになっている。
ベース台5の上には、測定対象の半導体装置11が載置される位置に、半導体装置11の位置を規制するポケット15が設置される。このポケット15は、ベース台5と着脱可能であり、測定対象の半導体装置の形状に応じて設計する。なお、ポケットは、測定対象の半導体装置の外形に応じて設計すれば良い。
ここでポケット15について詳しく説明する。図3(a)は、ポケット15をベース台5の所定の位置に装着した状態を上から見た図である。図3(b)はポケット15に測定対象の半導体装置11をセットした状態を上から見た図である。ポケット15は、半導体装置11の樹脂パッケージ側面部からわずかな隙間を残して、ポケット15の内壁面で半導体装置11の位置を規制する形状となっている。
樹脂パッケージの側面側に位置する半円の穴20は半導体装置11をセットする際、ピンセット等の先端部を逃がすためのもので、ピンセット用穴20である。この穴は、ピンセットが入る隙間を確保できれば良く半円形状に限られず、例えば、凹形状等でも良い。
固定用レバー6の先端には、半導体装置11の電極と接触して測定を行うように二又に分枝した形状の測定用針ユニット14が装着されている。測定用針ユニット14は、半導体装置の電極との接触したときに傷が発生しないような形状である。例えば、図5に示す遥に先端が球状の同軸針でも良い。
次に、測定用針ユニット14について詳しく説明する。図3(c)は、半導体装置11がポケット15内にセットされた後、測定用針ユニット14が半導体装置11のリード電極12a、12bにコンタクトしている様子を示している。測定用針ユニット14により、半導体装置11のリード電極12a、12bを測定用針ユニット14の先端部にてコンタクトをとるため、安定かつ確実に測定用針と測定対象の半導体装置の電極とが電気的かつ機械的に接続する。よって、リード電極の不良等で反り部を有していても接触不良を防ぐことができる。
また、図3(d)は、半導体装置11が樹脂パッケージの下面に外部電極があるタイプ、いわゆるリードレスタイプの場合において、半導体装置11の電極を上面に向け、測定用針ユニット14によりコンタクトをとる様子を示している。
このように測定対象の半導体装置の電極の形状が異なる場合であっても、それぞれの形状に対応して、安定かつ確実に測定用針と測定対象の半導体装置の電極とが電気的かつ機械的に接続させることができる。よって、リード電極の不良等で反り部を有していても接触不良を防ぐことができる。
次に、本発明の半導体装置の特性測定用治具を用いた測定方法について図4A、図4Bに従い説明する。
まず、図4A(a)に示すように、本実施の形態1の測定治具本体16と測定器(図示せず)とを同軸ケーブル3を介して接続し、特性測定システムを準備する。
次に、図4A(b)に示すように、ポケット15を測定治具本体16のベース台5上の所定の位置に搭載し、測定用針ユニット14を固定用レバー6の先端にセットする。
次に、図4A(c)に示すように、ベース台5上に搭載したポケット15内に測定の対象である半導体装置11をピンセット等にてセットする。
次に、図4B(d)に示すように、測定治具本体16の操作レバー8を操作し、測定用針ユニット14を装着した固定用レバー6をおろす。
そして、図4B(e)に示すように、ポケット15で半導体装置11の樹脂パッケージ部を規制し、測定用針ユニット14にて半導体装置11のリード電極12a、12bとコンタクトさせて測定を行う。
図5に、測定用針ユニット14を半導体装置11のリード電極12a、12bとコンタクトさせた様子の要部拡大図を示す。測定用針ユニット14の針の先端は上述のように球形状としている。測定用針ユニットと位置規制部であるポケットとは測定対象である半導体装置11に対応したものであるので、図5に示すように、安定かつ確実に測定用針ユニット14測定針と測定対象の半導体装置の電極とが電気的かつ機械的に接続し、精度良く半導体装置の容量・抵抗等の特性を測定することができる。
また、ポケット15、測定用針ユニット14は複数個用意され交換することにより、様々な半導体装置のパッケージに簡便に対応することができる。また、ポケットは、位置規制の機能を果たせば良く、電極等を形成しなくてよい。従って、電極を有するポケットに比べて製造コストが低いので、予め複数のポケットを用意することができる。これにより、測定対象の半導体装置の変更に迅速対応することができる。
なお、測定対象の半導体装置の位置を規制する手段の形状は、上述のポケットに限られず、例えば、図6(a)に示すように、半導体装置の樹脂パッケージの四隅のうち対向する二隅の位置を規制するL字上の位置規制部材15aや、また、図6(b)に示すように、ベース台5に円柱状のピン15bを挿入して、位置規制部材としても良い。
また、測定対象の半導体装置は、ダイオードを例に上げたが、これに限るものではなく、トランジスタ等の3端子などの半導体装置への適用も可能である。
本発明の半導体装置の特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法は、容易に安定した測定精度を得ることができる特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法として有用である。
101 測定器
16 特性測定用治具
3 同軸ケーブル
5 ベース台
6 固定用レバー
8 操作レバー
9 本体部
11 半導体装置
12a、12b リード電極
14 測定用針ユニット
15 ポケット
20 ピンセット用穴
16 特性測定用治具
3 同軸ケーブル
5 ベース台
6 固定用レバー
8 操作レバー
9 本体部
11 半導体装置
12a、12b リード電極
14 測定用針ユニット
15 ポケット
20 ピンセット用穴
Claims (7)
- 半導体装置の特性を測定するための特性測定用治具において、
測定の対象となる半導体装置を載置するベース台と、
ベース台に対して着脱可能であり、前記ベース台上に半導体装置が載置される位置を規制する位置規制部と、
位置規制部によって載置される位置が規制された半導体装置をベース台に固定する固定レバーと、
固定レバーの先端に着脱可能に取り付けられ、半導体装置の電極と接触して測定を行う測定用針ユニットと、を備える特性測定用治具。 - 前記位置規制部は、測定の対象となる半導体装置を囲うポケットである請求項1に記載の特性測定用治具。
- 前記ポケットは、対向する内側の壁面に半円部を有している請求項2に記載の特性測定用治具。
- 前記位置規制部は、ベース台上に設けられた溝部に挿入されるピンである請求項1に記載の特性測定用治具。
- 前記位置規制部は、半導体装置の四隅のうち少なくとも対向する二隅の位置を規制するL字形状の規制部材である請求項1に記載の特性測定用治具。
- 測定用針ユニットは、先端が球状の同軸針である請求項1から5いずれか一項に記載の特性測定用治具。
- ベース台上に、測定対象の半導体装置の形状に対応した位置規制部を装着する工程と、
半導体装置をベース台上に固定する固定レバーの先端に、前記半導体装置の電極に対応した測定針用ユニットを装着する工程と、
ベース台上に装着された位置規制部内に半導体装置を載置する工程と、
を有する半導体装置の特性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006121798A JP2007292633A (ja) | 2006-04-26 | 2006-04-26 | 半導体装置の特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法 |
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JP2006121798A Withdrawn JP2007292633A (ja) | 2006-04-26 | 2006-04-26 | 半導体装置の特性測定用治具及びそれを用いた特性測定方法 |
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