JP2007288039A - Exposure device and device manufacturing method, and liquid processor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板を露光する露光装置及びデバイス製造方法、液体処理装置に関する。 The present invention relates to an exposure apparatus that exposes a substrate, a device manufacturing method, and a liquid processing apparatus.
フォトリソグラフィ工程で用いられる露光装置において、下記特許文献に開示されているような、基板上に液体の液浸領域を形成し、その液体を介して基板を露光する液浸法を用いた露光装置が案出されている。
液浸法に基づく露光処理を良好に行うためには、液浸領域の液体や液体に接触する部材を所望状態にすることが重要である。例えば、液浸領域の液体中に異物が混入した状態を放置しておくと、液浸領域の液体に接触する部材が汚染したり、あるいは基板に対する露光光の照射状態が変動する等の不具合が生じ、基板を良好に露光することが困難となる可能性がある。 In order to satisfactorily perform the exposure process based on the immersion method, it is important to set the liquid in the immersion region and the member that contacts the liquid to a desired state. For example, if a state in which foreign matter is mixed in the liquid in the liquid immersion area is left unattended, a member that contacts the liquid in the liquid immersion area may be contaminated, or the exposure light irradiation state on the substrate may fluctuate. And it may be difficult to expose the substrate satisfactorily.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、液浸領域の液体や液体に接触する部材を所望状態にして、基板を良好に露光することができる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。また、液体を所望状態にすることができる液体処理装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an exposure apparatus capable of satisfactorily exposing a substrate by setting a liquid in a liquid immersion region and a member in contact with the liquid to a desired state, and the exposure apparatus therefor An object of the present invention is to provide a device manufacturing method using the device. Moreover, it aims at providing the liquid processing apparatus which can make a liquid into a desired state.
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。 In order to solve the above-described problems, the present invention employs the following configurations corresponding to the respective drawings shown in the embodiments. However, the reference numerals with parentheses attached to each element are merely examples of the element and do not limit each element.
本発明の第1の態様に従えば、基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、露光光(EL)が照射可能な位置に配置された物体(例えばP、5、8)上に液体(LQ)の液浸領域(LR)を形成する液浸装置(1)と、液体(LQ)に第1光(LS1)を照射し、第1光(LS1)の光圧によって液体(LQ)中の異物を光学的に捕捉する第1照射装置(2)とを備えた露光装置(EX)が提供される。
According to the first aspect of the present invention, in an exposure apparatus that exposes a substrate (P) by irradiating the substrate (P) with exposure light (EL), the exposure light (EL) is disposed at a position where the exposure light (EL) can be irradiated. A liquid immersion device (1) that forms a liquid immersion region (LR) of the liquid (LQ) on the object (for example,
本発明の第1の態様によれば、液浸領域の液体や液体に接触する部材を所望状態にすることができ、基板を良好に露光することができる。 According to the first aspect of the present invention, the liquid in the liquid immersion region and the member that contacts the liquid can be brought into a desired state, and the substrate can be exposed satisfactorily.
本発明の第2の態様に従えば、基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、露光光(EL)が照射可能な位置に配置された物体(例えばP、5、8)上に液体(LQ)の液浸領域(LR)を形成する液浸装置(1)と、液体(LQ)に第1光(LS1)を照射し、第1光(LS1)の光圧によって液体(LQ)中の添加物を光学的に攪拌する第1照射装置(50)とを備えた露光装置(EX)が提供される。
According to the second aspect of the present invention, in the exposure apparatus that exposes the substrate (P) by irradiating the substrate (P) with the exposure light (EL), the exposure light (EL) is disposed at a position where the exposure light (EL) can be irradiated. A liquid immersion device (1) that forms a liquid immersion region (LR) of the liquid (LQ) on the object (for example,
本発明の第2の態様によれば、液浸領域の液体を所望状態にすることができ、基板を良好に露光することができる。 According to the second aspect of the present invention, the liquid in the immersion area can be brought into a desired state, and the substrate can be exposed satisfactorily.
本発明の第3の態様に従えば、観察装置(30)により検出された異物の位置、大きさ、数、密度、及び種類の少なくとも一つを含む異物に関する情報に基づいて、捕捉用のレーザ、分解用のレーザ、及び攪拌用のレーザの少なくとも一つの、レーザ出力、レーザ波長、レーザ照射位置、レーザ照射領域、レーザ照射量、及びレーザ照射開口数の少なくとも一つを調整する露光装置(EX)が提供される。 According to the third aspect of the present invention, the laser for capturing is based on information about the foreign matter including at least one of the position, size, number, density, and type of the foreign matter detected by the observation device (30). An exposure apparatus (EX) that adjusts at least one of laser output, laser wavelength, laser irradiation position, laser irradiation area, laser irradiation amount, and laser irradiation numerical aperture of at least one of a laser for decomposition and a laser for stirring ) Is provided.
本発明の第3の態様によれば、液浸領域の液体を所望状態にすることができ、基板を良好に露光することができる。 According to the third aspect of the present invention, the liquid in the immersion area can be brought into a desired state, and the substrate can be exposed satisfactorily.
本発明の第4の態様に従えば、露光後の基板検査結果に応じて、捕捉、分解、及び攪拌の少なくとも一つの動作のタイミング、動作間隔、及び対象の異物の検出感度、捕捉、分解、及び攪拌の動作条件を調整する露光装置(EX)が提供される。 According to the fourth aspect of the present invention, depending on the substrate inspection result after exposure, at least one operation timing of capture, decomposition, and stirring, operation interval, and detection sensitivity of the target foreign matter, capture, decomposition, And an exposure apparatus (EX) that adjusts the operating conditions of stirring.
本発明の第4の態様によれば、液浸領域の液体を所望状態にすることができ、基板を良好に露光することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the liquid in the immersion area can be brought into a desired state, and the substrate can be exposed satisfactorily.
本発明の第5の態様に従えば、上記態様の露光装置(EX)を用いるデバイス製造方法が提供される。 According to the fifth aspect of the present invention, there is provided a device manufacturing method using the exposure apparatus (EX) of the above aspect.
本発明の第5の態様によれば、基板を良好に露光できる露光装置を用いてデバイスを製造することができる。 According to the fifth aspect of the present invention, a device can be manufactured using an exposure apparatus that can satisfactorily expose a substrate.
本発明の第6の態様に従えば、添加物が添加された液体(LQ)に第1光(LS1)を照射し、第1光(LS1)の光圧を添加物に直接作用させることによって液体(LQ)中の添加物を光学的に攪拌する第1照射装置(50)を備えた液体処理装置が提供される。 According to the sixth aspect of the present invention, the liquid (LQ) to which the additive is added is irradiated with the first light (LS1), and the light pressure of the first light (LS1) is directly applied to the additive. There is provided a liquid processing apparatus including a first irradiation device (50) for optically stirring an additive in a liquid (LQ).
本発明の第6の態様によれば、液体を所望状態にすることができ、その液体を用いた処理を良好に実行することができる。 According to the sixth aspect of the present invention, the liquid can be brought into a desired state, and the process using the liquid can be executed satisfactorily.
本発明によれば、液体や液体に接触する部材を所望状態にすることができる。したがって、その液体や部材を用いた処理を良好に実行することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the member which contacts a liquid and a liquid can be made into a desired state. Therefore, the process using the liquid or member can be performed satisfactorily.
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is set, and the positional relationship of each member will be described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. The predetermined direction in the horizontal plane is the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction in the horizontal plane is the Y-axis direction, and the direction orthogonal to each of the X-axis direction and the Y-axis direction (that is, the vertical direction) is the Z-axis direction. To do. Further, the rotation (inclination) directions around the X axis, Y axis, and Z axis are the θX, θY, and θZ directions, respectively.
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、パターンが形成されたマスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ4と、露光に関する計測を行う計測器を搭載し、基板ステージ4とは独立して移動可能な計測ステージ5と、各ステージの位置情報を計測するレーザ干渉計を含む計測システム6と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)を塗布したものを含み、マスクは基板上に投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。また、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いることもできる。
<First Embodiment>
A first embodiment will be described. FIG. 1 is a schematic block diagram that shows an exposure apparatus EX according to the first embodiment. In FIG. 1, an exposure apparatus EX includes a
本実施形態の露光装置EXは、液浸法を適用した露光装置であって、露光光ELが照射可能な位置に配置された基板P上に液体LQの液浸領域LRを形成する液浸装置1を備えている。液浸装置1は、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い終端光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路Kを含む空間を液体LQで満たすように、基板P上に液浸領域LRを形成する。本実施形態においては、液体LQとして水(純水)を用いる。露光装置EXは、投影光学系PLと露光光ELの光路Kを含む空間に満たされた液体LQとを介してマスクMを通過した露光光ELを基板P上に照射することによって、マスクMのパターンの像を基板P上に投影して、基板Pを露光する。
The exposure apparatus EX according to the present embodiment is an exposure apparatus to which a liquid immersion method is applied, and forms a liquid immersion area LR of a liquid LQ on a substrate P disposed at a position where exposure light EL can be irradiated. 1 is provided. The
液浸装置1は、基板P上のみならず、露光光ELが照射可能な位置に配置された物体上に液体LQの液浸領域LRを形成可能である。露光光ELが照射可能な位置は、投影光学系PLの光射出側(像面側)であって、終端光学素子FLの下面FAと対向する位置(投影光学系PLの直下の位置)を含む。終端光学素子FLは露光光ELの光路上に配置されており、露光光ELは終端光学素子FLの下面FAから射出される。液浸装置1は、投影光学系PLの終端光学素子FLと、その終端光学素子FLの下面FAと対向する位置に配置された上面を有する物体との間を液体LQで満たすように、物体上に液浸領域LRを形成する。基板ステージ4及び計測ステージ5は、投影光学系PLの光射出側(像面側)で移動可能であり、制御装置7は、基板ステージ4及び計測ステージ5の少なくとも一方を、終端光学素子FLの下面FAと対向する位置に配置可能である。液浸装置1は、基板ステージ4上及び計測ステージ5上の少なくとも一方に液浸領域LRを形成可能である。
The
また、本実施形態の露光装置EXは、液浸領域LRの液体LQに所定の光を照射し、その光の光圧によって液体LQ中の異物を光学的に捕捉する捕捉装置2を備えている。本実施形態においては、捕捉装置2の少なくとも一部は、計測ステージ5に設けられている。
Further, the exposure apparatus EX of the present embodiment includes a capturing
照明系ILは、マスクM上の所定の照明領域IAを均一な照度分布の露光光ELで照明する。照明系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においてはArFエキシマレーザ光が用いられる。 The illumination system IL illuminates a predetermined illumination area IA on the mask M with exposure light EL having a uniform illuminance distribution. As the exposure light EL emitted from the illumination system IL, for example, far ultraviolet light (DUV light) such as bright lines (g-line, h-line, i-line) and KrF excimer laser light (wavelength 248 nm) emitted from a mercury lamp, , Vacuum ultraviolet light (VUV light) such as ArF excimer laser light (wavelength 193 nm) and F 2 laser light (wavelength 157 nm) is used. In this embodiment, ArF excimer laser light is used.
マスクステージ3は、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置3Dの駆動により、マスクMを保持した状態で、X軸、Y軸、及びθZ方向に移動可能である。マスクステージ3(ひいてはマスクM)の位置情報は、計測システム6のレーザ干渉計6Mによって計測される。レーザ干渉計6Mは、マスクステージ3上に設けられた移動鏡の反射面3Kと協働して、マスクステージ3のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。制御装置7は、計測システム6の計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置3Dを駆動し、マスクステージ3に保持されているマスクMの位置制御を行う。
The
投影光学系PLは、マスクMのパターンの像を所定の投影倍率で基板Pに投影するものであって、複数の光学素子を有し、それら光学素子は鏡筒PKで保持されている。本実施形態において、投影光学系PLは、投影倍率が例えば1/4、1/5、あるいは1/8の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。 The projection optical system PL projects an image of the pattern of the mask M onto the substrate P at a predetermined projection magnification, and has a plurality of optical elements, and these optical elements are held by a lens barrel PK. In the present embodiment, the projection optical system PL is a reduction system having a projection magnification of, for example, 1/4, 1/5, or 1/8. Note that the projection optical system PL may be either an equal magnification system or an enlargement system. The projection optical system PL may be any of a refractive system that does not include a reflective optical element, a reflective system that does not include a refractive optical element, and a catadioptric system that includes a reflective optical element and a refractive optical element.
基板ステージ4は、基板Pを保持する基板ホルダ4Hを有しており、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置4Dの駆動により、基板ホルダ4Hで基板Pを保持した状態で、ベース部材BP上で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。基板ホルダ4Hは、基板ステージ4上に設けられた凹部4Rに配置されている。凹部4Rの周囲の上面4Fは、ほぼ平坦であり、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの上面Paとほぼ同じ高さ(面一)である。基板ステージ4(ひいては基板P)の位置情報は、計測システム6のレーザ干渉計6Pによって計測される。レーザ干渉計6Pは、基板ステージ4に設けられた反射面4Kと協働して、基板ステージ4のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ4に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置7は、計測システム6の計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて、基板ステージ駆動装置4Dを駆動し、基板ステージ4に保持されている基板Pの位置制御を行う。
The
計測ステージ5は、リニアモータ等のアクチュエータを含む計測ステージ駆動装置5Dの駆動により、計測器を搭載した状態で、ベース部材BP上で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。計測ステージ5の上面5Fは、ほぼ平坦である。計測ステージ5の位置情報は、計測システム6のレーザ干渉計6Pによって計測される。レーザ干渉計6Pは、計測ステージ5に設けられた反射面5Kと協働して、計測ステージ5の位置情報を計測する。制御装置7は、計測システム6の計測結果に基づいて、計測ステージ駆動装置5Dを駆動し、計測ステージ5の位置制御を行う。なお、基板を保持する基板ステージと計測器を搭載した計測ステージとを備えた露光装置については、例えば特開平11−135400号公報、特開2000−164504号公報等に開示されている。
The
液浸装置1は、液浸領域LRを形成するための液体LQを供給する供給口11及び液浸領域LRの液体LQを回収する回収口12を有するノズル部材10を備えている。ノズル部材10は、露光光ELの光路Kを囲むように環状に設けられている。本実施形態においては、回収口12には多孔部材(メッシュ)17が配置されている。また、液浸装置1は、供給管15及びノズル部材10の内部に形成された供給流路を介して、供給口11に液体LQを供給する液体供給装置13と、ノズル部材10の回収口12から回収された液体LQを、ノズル部材10の内部に形成された回収流路及び回収管16を介して回収する液体回収装置14とを備えている。液体供給装置13は、清浄で温度調整された液体LQを送出可能である。液体回収装置14は、真空系等を備えており、液体LQを回収可能である。液体供給装置13及び液体回収装置14を含む液浸装置1の動作は制御装置7に制御される。液体供給装置13から送出された液体LQは、供給管15及びノズル部材10の供給流路を流れた後、供給口11より露光光ELの光路Kを含む空間に供給される。液体回収装置14を駆動することにより回収口12から回収された液体LQは、ノズル部材10の回収流路を流れた後、回収管16を介して液体回収装置14に回収される。
The
制御装置7は、液浸装置1を制御して、液体供給装置13による液体供給動作と液体回収装置14による液体回収動作とを並行して行うことで、終端光学素子FLの下面FAと基板Pの上面Paとの間の露光光ELの光路Kを含む空間を液体LQで満たすように、基板P上に液浸領域LRを形成する。本実施形態の露光装置EXは、液体LQの液浸領域LRを基板P上の一部の領域に局所的に形成する局所液浸方式を採用しており、液浸領域LRは、投影光学系PLの投影領域ARを覆うように基板P上の一部の領域に形成される。
The control device 7 controls the
図2は、基板ステージ4及び計測ステージ5の動作の一例を説明するための模式図である。図2に示すように、制御装置7は、終端光学素子FLの下面FAと対向する位置(投影光学系PLの直下の位置)を含む所定領域内で、基板ステージ4の上面4Fと計測ステージ5の上面5Fとを接近又は接触させた状態で、基板ステージ4と計測ステージ5とをXY方向に一緒に移動することにより、液浸装置1によって形成された液浸領域LRを、基板ステージ4の上面4Fと計測ステージ5の上面5Fとの間で移動可能である。
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining an example of the operations of the
次に、図3を参照しながら、捕捉装置2について説明する。捕捉装置2は、液浸領域LRの液体LQに所定の光を照射し、その光の光圧によって液体LQ中の異物を光学的に捕捉する。本実施形態においては、捕捉装置2は、露光光ELとは異なる第1レーザ光LS1を液体LQに照射し、その第1レーザ光LS1の光圧によって、液体LQ中の異物を光学的に捕捉する。また、捕捉装置2は、液浸領域LRの液体LQに接触する部材、例えば終端光学素子FLやノズル部材10の液体接触面に存在する異物も捕捉可能である。異物は、気泡、パーティクル(粒子、不純物)、バクテリア等を含む。
Next, the
本実施形態においては、捕捉装置2の少なくとも一部は、計測ステージ5に設けられている。捕捉装置2は、第1レーザ光LS1を射出する第1光源装置21と、光学システム20とを備えている。第1光源装置21から射出される第1レーザ光LS1としては、例えばArレーザ光(波長514.5nm)、YAGレーザ光(波長1064nm、または第2高調波の532nm)等が用いられる。また、第1レーザ光LS1としては、紫外光レーザ(波長150〜400nm、例えばYAGレーザの第3高調波355nm)を用いることもできる。第1レーザ光LS1として、紫外域の波長を有するレーザ光を用いることにより、そのレーザ光を微小に集光させることができる。また、第1光源装置21は、大きい出力(レーザ出力)を有することが望ましく、例えば500mW〜10Wの出力を有する。また、第1光源装置21から射出される第1レーザ光LS1は連続発振光である。
In the present embodiment, at least a part of the
本実施形態においては、計測ステージ5の一部には開口5Cが形成され、その開口5Cによって形成された内部空間5Hに、捕捉装置2の少なくとも一部が配置されている。計測ステージ5の開口5Cには板部材8が配置されている。板部材8は、第1レーザ光LS1を通過可能な透明な部材であり、第1レーザ光LS1を通過可能な通過領域を計測ステージ5に形成する。板部材8は、例えば石英等で形成された平行平面板であり、無屈折力な光学部材である。板部材8の上面8Fはほぼ平坦であり、計測ステージ5の上面5Fとほぼ同じ高さ(面一)である。板部材8の上面8Fを含む計測ステージ5の上面5Fは、露光光ELが照射可能な位置、すなわち終端光学素子FLの下面FAと対向する位置に配置可能であり、液浸装置1は、終端光学素子FLと計測ステージ5の板部材8との間を液体LQで満たすように、板部材8上に液浸領域LRを形成可能である。
In the present embodiment, an opening 5C is formed in a part of the
光学システム20は、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1を板部材8に導く。第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1は、光学システム20によって板部材8の下面に導かれ、その板部材8を通過した後、板部材8の上面8Fより射出され、その板部材8上に形成されている液浸領域LRの液体LQに、下側(−Z側)から照射される。このように、光学システム20は、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1を板部材8に導くとともに、その板部材8を介して液浸領域LRに導く。板部材8の上面8Fは、液浸領域LRに向けて第1レーザ光LS1を射出する光射出部を形成する。捕捉装置2は、板部材8を介して、板部材8上に形成された液浸領域LRの液体LQに、下側(−Z側)から、第1レーザ光LS1を照射する。
The
光学システム20は、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1が入射される第1ガルバノミラー23と、第1ガルバノミラー23からの第1レーザ光LS1が入射される第2ガルバノミラー24と、第2ガルバノミラー24からの第1レーザ光LS1が入射される反射ミラー25と、反射ミラー25からの第1レーザ光LS1が入射される第1ダイクロイックミラー26と、第1ダイクロイックミラー26からの第1レーザ光LS1が入射される焦点可変光学系27と、焦点可変光学系27からの第1レーザ光LS1が入射される集光光学系28とを備えている。
The
焦点可変光学系27及び集光光学系28の光軸はZ軸とほぼ平行である。集光光学系(対物レンズ)28は、板部材8の直下に配置されている。光学システム20は、第1光源装置21からの第1レーザ光LS1を、集光光学系28の上面より射出する。集光光学系28から射出された第1レーザ光LS1は、+Z方向に進行し、板部材8を介して、液浸領域LRの液体LQに、下側(−Z側)から入射する。すなわち、本実施形態においては、液浸領域LRの液体LQに照射される第1レーザ光LS1の照射方向は、ほぼZ軸方向に設定されている。
The optical axes of the variable focus
第1ガルバノミラー23は、液浸領域LRに対して第1レーザ光LS1をY軸方向に走査し、第2ガルバノミラー24は、液浸領域LRに対して第1レーザ光LS1をX軸方向に走査する。制御装置7は、捕捉装置2の第1、第2ガルバノミラー23、24を制御して、液浸領域LRの液体LQに照射される第1レーザ光LS1を、第1レーザ光LS1の照射方向(Z軸方向)と交差する2次元方向(XY方向)に移動可能である。すなわち、光学システム20の第1、第2ガルバノミラー23、24は、第1レーザ光LS1を、その第1レーザ光LS1の照射方向と交差する2次元方向に移動する移動光学素子として機能する。また、焦点可変光学系27は、集光光学系28を含む光学システム20の焦点位置をZ軸方向に移動可能である。
The
また、捕捉装置2は、第1光源装置21とは別に設けられ、第2レーザ光LS2を射出する第2光源装置22を備えている。第2光源装置22から射出される第2レーザ光LS2としては、例えば、YAGレーザの第3高調波、エキシマレーザ、あるいはこれ以外の紫外光レーザ(波長150〜400nm)を用いることができる。また、第2光源装置22は、第1光源装置21よりも大きい出力(例えばレーザ出力1〜40W)を有している。また、第2光源装置22から射出される第2レーザ光LS2はパルス状のレーザ光(パルス光)である。後述するように、捕捉装置2は、異物を分解するために、第2光源装置22より、パルス発振のレーザ光を射出する。
The
光学システム20は、第2光源装置22からの第2レーザ光LS2も、板部材8を介して液浸領域LRに導くことができる。光学システム20は、第2光源装置22から射出された第2レーザ光LS2が入射される第2ダイクロイックミラー29を備えており、第2ダイクロイックミラー29を介した第2レーザ光LS2は、第1ダイクロイックミラー26、焦点可変光学系27、及び集光光学系28を介して、板部材8に照射される。板部材8に照射された第2レーザ光LS2は、板部材8を介して、液浸領域LRの液体LQに、下側(−Z側)から入射する。本実施形態においては、液浸領域LRの液体LQに照射される第2レーザ光LS2の照射方向は、ほぼZ軸方向に設定されている。
The
また、終端光学素子FLは、計測ステージ5に設けられた板部材8の上面8Fと対向する下面FAを有しており、捕捉装置2は、第1レーザ光LS1及び第2レーザ光LS2を、板部材8及び液浸領域LRを介して、終端光学素子FLの下面FAに照射可能である。
Further, the terminal optical element FL has a lower surface FA facing the
捕捉装置2は、液浸領域LRの状態及び終端光学素子FLの状態を観察可能な観察装置30を備えている。観察装置30は、所定の光学系及びCCD等の撮像素子を含む撮像装置31を備えている。観察装置30は、板部材8を介して、液浸領域LRの状態及び終端光学素子FLの状態を観察する。また、観察装置30は、ノズル部材10の状態も観察可能である。観察装置30の撮像装置31は、液浸領域LR及び終端光学素子FL等の光学像(画像)を、板部材8、及び光学システム20の一部を介して取得可能である。具体的には、撮像装置31は、液浸領域LR及び終端光学素子FL等の画像を、板部材8、集光光学系28、焦点可変光学系27、第1、第2、第3ダイクロイックミラー26、29、34、及び反射ミラー33を介して取得する。また、観察装置30は、液浸領域LR及び終端光学素子FL等を所定の照明光で照明する照明装置32を備えている。照明装置32から射出された照明光は、第3ダイクロイックミラー34、第2ダイクロイックミラー29、第1ダイクロイックミラー26、焦点可変光学系27、集光光学系28、及び板部材8を介して、液浸領域LR及び終端光学素子FL等を照明する。これにより、撮像装置31は、液浸領域LR及び終端光学素子FL等の光学像(画像)を良好に取得可能である。
The
撮像装置31は、取得した画像を電気信号に変換し、その信号(画像情報)を制御装置7に出力する。制御装置7は、例えば撮像装置31で取得した液浸領域LRの光学像(画像)に基づいて、液体LQ中の異物を検出可能である。制御装置7は、撮像装置31からの信号を画像処理し、その画像処理した結果に基づいて、液体LQ中の異物の位置、大きさ、数、密度、種類等、異物に関する情報を取得可能である。
The
本実施形態においては、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1を液浸領域LRに導く光学系の光軸の少なくとも一部と、第2光源装置22から射出された第2レーザ光LS2を液浸領域LRに導く光学系の光軸の少なくとも一部と、液浸領域LRからの画像を撮像装置31に導く光学系の光軸の少なくとも一部と、照明装置32から射出された照明光を液浸領域LRに導く光学系の光軸の少なくとも一部とは、同軸である。
In the present embodiment, at least a part of the optical axis of the optical system that guides the first laser light LS1 emitted from the first
図4は、捕捉装置2から射出された第1レーザ光LS1によって、液体LQ中の異物を捕捉している状態を示す模式図である。本実施形態においては、捕捉装置2は、所謂、光ピンセット(LOT:laseroptical tweezers)方式によって、液体LQ中の異物を捕捉する。
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a state in which the foreign matter in the liquid LQ is captured by the first laser light LS1 emitted from the
図4に示すように、捕捉装置2は、第1光源装置21からの第1レーザ光LS1を、光学システム20の集光光学系28によって集光して、液浸領域LRの液体LQ中に、異物を捕捉可能な捕捉領域TAを形成する。捕捉領域TAは、集光光学系28の焦点位置(集光位置)FUに対して所定位置に形成され、具体的には、焦点位置FU近傍に形成される。捕捉領域TA内に位置する異物は、第1レーザ光LS1により捕捉された状態となる。
As shown in FIG. 4, the
異物の大きさがその異物に照射される光の波長よりも十分大きい場合において、異物にその光が入射すると、液体LQの屈折率と異物の屈折率との違いにより、異物と液体LQとの境界面で、透過光と反射光とに分かれる。異物に入射した光が異物を透過する際に屈折することで、あるいはその入射した光が異物の表面で反射することで、その光の進行方向が変化する。異物に入射する光の進行方向が変化することによって、屈折(又は反射)の前後で光の運動量が変化する。それらの運動量は運動量保存の法則により保存されるので、異物と液体LQとの境界面に反作用の力(光圧)が作用する。捕捉装置2は、この光圧を用いて、異物を捕捉する。
When the size of the foreign matter is sufficiently larger than the wavelength of light applied to the foreign matter, when the light is incident on the foreign matter, the difference between the refractive index of the liquid LQ and the refractive index of the foreign matter causes a difference between the foreign matter and the liquid LQ. At the boundary surface, the light is divided into transmitted light and reflected light. The light traveling direction changes when the light incident on the foreign material is refracted when passing through the foreign material, or when the incident light is reflected by the surface of the foreign material. By changing the traveling direction of the light incident on the foreign matter, the momentum of the light changes before and after refraction (or reflection). Since these momentums are stored according to the law of conservation of momentum, a reaction force (light pressure) acts on the boundary surface between the foreign matter and the liquid LQ. The
図5は、第1レーザ光LS1の光圧によって液体LQ中の異物が光学的に捕捉される原理を説明するための図である。本実施形態の光学システム20は、所定の開口数を有する集光光学系28を備え、異物には、図5に示すように、第1レーザ光LS1の一部の光線A、Bが傾斜方向から入射する。
FIG. 5 is a diagram for explaining the principle that foreign matter in the liquid LQ is optically captured by the light pressure of the first laser light LS1. The
ここで、異物(粒子)の屈折率n1と周囲の媒質である液体LQの屈折率n2との差が小さい場合には、反射は極めて小さいので、屈折のみを考慮する。図5において、異物に入射した光線Aは、異物と液体LQとの境界面で屈折する。その屈折した光線Aの運動量の変化により、異物には運動量を保存する力FA1が、光線Aの入射点Ainにおける境界面に対して垂直方向(法線方向)に作用する。また、光線Aは、異物内を通過し、異物の外側に射出されるときにおいても、異物と液体LQとの境界面で屈折する。その屈折した光線Aの運動量の変化により、異物には運動量を保存する力FA2が、光線Aの射出点Aoutにおける境界面に対して垂直方向(法線方向)に作用する。これにより、異物には、光線Aによる力FA1と力FA2との合力FAが所定方向に作用する。 Here, when the difference between the refractive index n 1 of the foreign substance (particle) and the refractive index n 2 of the liquid LQ that is the surrounding medium is small, the reflection is extremely small, so only refraction is considered. In FIG. 5, the light beam A incident on the foreign material is refracted at the boundary surface between the foreign material and the liquid LQ. Due to the change in the momentum of the refracted light beam A, a force F A1 for preserving the momentum acts on the foreign matter in a direction perpendicular to the boundary surface at the incident point A in of the light beam A (normal direction). Further, the light beam A is refracted at the boundary surface between the foreign matter and the liquid LQ even when it passes through the foreign matter and is emitted outside the foreign matter. Due to the change in the momentum of the refracted light beam A, the force F A2 for preserving the momentum acts on the foreign matter in a direction perpendicular to the boundary surface at the exit point A out of the light beam A (normal direction). Thus, the foreign matter, the resultant force F A of the force F A1 and the force F A2 by ray A is applied in a predetermined direction.
光線Bについても同様である。すなわち、異物に光線Bが入射することにより、その異物には、運動量を保存する力FB1が光線Bの入射点Binにおける境界面に対して垂直方向(法線方向)に作用する。また、光線Bが異物を通過し、その異物より射出することにより、その異物には、運動量を保存する力FB2が、光線BのBoutにおける境界面に対して垂直方向(法線方向)に作用する。これにより、異物には、光線Bによる力FB1と力FB2との合力FBが所定方向に作用する。 The same applies to the light beam B. That is, when the light beam B is incident on the foreign material, the force F B1 for preserving the momentum acts on the foreign material in a direction perpendicular to the boundary surface at the incident point B in of the light beam B (normal direction). Further, when the light beam B passes through the foreign material and is emitted from the foreign material, the force F B2 for preserving the momentum is applied to the foreign material in a direction perpendicular to the boundary surface of the light beam B at Bout (normal direction). Act on. Thus, the foreign matter, the resultant force F B of the force F B1 and the force F B2 by rays B acts in a predetermined direction.
光線Aと光線Bとにより、異物には、力FAと力FBとの合力Fが所定方向に作用する。このように、異物には、光線A、Bを含む第1レーザ光LS1によって、光圧に基づく力Fが作用される。なお、図5においては、模式的に2つの光線A、Bについて説明しているが、実際には異物には複数の光線が入射し、それら複数の光線による光圧に基づく力Fが異物に作用する。 Due to the light rays A and B , the resultant force F of the force F A and the force F B acts on the foreign matter in a predetermined direction. As described above, the force F based on the light pressure is applied to the foreign matter by the first laser light LS1 including the light beams A and B. In FIG. 5, two light beams A and B are schematically described. However, actually, a plurality of light beams are incident on the foreign material, and a force F based on the light pressure by the plurality of light beams is applied to the foreign material. Works.
また、異物には、光圧に基づく力Fの他に重力及び浮力も作用する。したがって、異物は、その異物に作用する重力と浮力との差と、光圧に基づく力Fとが釣り合う領域TAで捕捉される。図5においては、焦点位置FUは、異物の中心(重心)位置Gよりも上方(+Z側)に形成され、異物には、+Z方向、すなわち焦点位置FUに向かう方向に力Fが作用する。異物は、この力Fと重力と浮力とが釣り合う領域TAに捕捉される。 In addition to the force F based on light pressure, gravity and buoyancy act on the foreign matter. Accordingly, the foreign matter is captured in a region TA where the difference between gravity and buoyancy acting on the foreign matter and the force F based on the light pressure is balanced. In FIG. 5, the focal position FU is formed above (+ Z side) the center (center of gravity) position G of the foreign substance, and the force F acts on the foreign substance in the + Z direction, that is, the direction toward the focal position FU. The foreign matter is captured in an area TA where the force F, gravity and buoyancy are balanced.
なお、図5においては、焦点位置FUが異物の中心位置Gよりも上方にある場合を例にして説明したが、異物に作用する光圧に基づく力Fは、焦点位置FUに対する異物の位置によって異なり、焦点位置FUが異物の中心位置Gよりも下方にある場合や、焦点位置FUと異物の中心位置GとがXY方向にずれている(集光光学系28の光軸と異物の中心とがずれている)場合であっても、異物には、焦点位置FUに向かう力Fが作用する。したがって、捕捉装置2は、焦点位置FU近傍に形成される捕捉領域TAで異物を捕捉可能である。
In FIG. 5, the case where the focal position FU is above the center position G of the foreign matter has been described as an example. However, the force F based on the light pressure acting on the foreign matter depends on the position of the foreign matter with respect to the focal position FU. In contrast, when the focal position FU is below the center position G of the foreign object, or the focal position FU and the central position G of the foreign object are shifted in the XY direction (the optical axis of the condensing
なお、集光光学系28の開口数は大きいほうが望ましい。例えば液体LQ中に、その液体LQ(ここでは水)の屈折率n2よりも小さい屈折率n1を有する異物(例えば気泡)が存在する場合において、集光光学系28の開口数が小さい場合、図6の模式図に示すように、集光光学系28からの光線に基づく光圧は、異物を集光光学系28の光軸AXから離れる方向に移動させる力の成分を多く生成する可能性がある。この場合、異物を捕捉することが困難となる可能性がある。集光光学系28の開口数が大きい場合、図7の模式図に示すように、集光光学系28からの光線に基づく光圧は、異物を集光光学系28の光軸AXに近づける方向に移動させる力の成分を多く生成するので、異物を良好に捕捉することができる。本実施形態においては、集光光学系28の開口数は、例えば1.2以上であり、集光光学系28の倍率は、例えば100倍と高倍率である。
It is desirable that the condensing
また、異物に作用する光圧に基づく力Fは、
F=Q(n×J/c) …(1)
で表される。ここで、Qはトラッピング係数、nは異物と周囲の媒質(ここでは液体LQ)との比屈折率、Jは異物に入射する光の強度(パワー)、cは光速である。トラッピング係数Qは、異物の大きさ、比屈折率n等に応じて定められる値である。本実施形態においては、周囲の媒質(液体LQ)として、屈折率n2が約1.44の水(純水)を用いており、異物が気泡(屈折率n1は約1.0)の場合には、比屈折率nは、約0.69となる。したがって、所望の力Fを得るために、例えば比屈折率n及びトラッピング係数Qなどに応じて、光の強度J、ひいては第1光源装置21の出力(レーザ出力)を最適に定めることができる。
Also, the force F based on the light pressure acting on the foreign matter is
F = Q (n × J / c) (1)
It is represented by Here, Q is a trapping coefficient, n is a relative refractive index between the foreign matter and the surrounding medium (here, liquid LQ), J is the intensity (power) of light incident on the foreign matter, and c is the speed of light. The trapping coefficient Q is a value determined according to the size of the foreign matter, the relative refractive index n, and the like. In the present embodiment, water (pure water) having a refractive index n 2 of about 1.44 is used as the surrounding medium (liquid LQ), and foreign matters are bubbles (refractive index n 1 is about 1.0). In this case, the relative refractive index n is about 0.69. Therefore, in order to obtain the desired force F, the light intensity J and, in turn, the output (laser output) of the first
なお、ここでは、異物に入射する光線が屈折する場合のみを考慮して説明したが、異物に入射する光線が異物の表面で反射する場合であっても、捕捉装置2は、異物を捕捉可能な捕捉領域TAを形成可能である。また、捕捉装置2は、異物の屈折率n1が液体LQ(周囲の媒質)の屈折率n2より小さい場合でも捕捉領域TAを形成可能であり、異物の屈折率n1が液体LQの屈折率n2より大きい場合でも捕捉領域TAを形成可能である。例えば異物が光を透過するものであっても光をほぼ透過しないものであっても、捕捉装置2は捕捉領域TAを形成し、その捕捉領域TAで異物を捕捉可能である。すなわち、異物が例えば気泡、パーティクル(粒子、不純物)、及びバクテリア等のいずれであっても、捕捉装置2は捕捉領域TAを形成し、それら異物を捕捉領域TAで捕捉可能である。
Here, only the case where the light beam incident on the foreign material is refracted has been described. However, even when the light beam incident on the foreign material is reflected by the surface of the foreign material, the
上述のように、捕捉装置2は、焦点可変光学系27を用いて、集光光学系28を含む光学システム20の焦点位置FUをZ軸方向に移動可能である。図8は、焦点可変光学系27によって、焦点位置FUが移動される状態を示す模式図であり、図8(A)には、焦点位置FUが終端光学素子FLの下面FA近傍に形成され、図8(B)には、焦点位置FUが板部材8の上面8F近傍に形成されている状態が示されている。上述のように、捕捉領域TAは、焦点位置FUに対して所定位置(焦点位置FU近傍)に形成される。したがって、制御装置7は、焦点可変光学系27を用いて、焦点位置FUをZ軸方向に移動することによって、捕捉領域TAを、液体LQ中でZ軸方向に移動することができる。そして、制御装置7は、捕捉領域TA内に異物を配置した状態で、すなわち捕捉領域TAで異物を捕捉した状態で、焦点可変光学系27を用いて捕捉領域TAをZ軸方向に移動することによって、捕捉領域TAで捕捉した異物を、捕捉領域TAと一緒に、液体LQ中でZ軸方向に移動することができる。
As described above, the
また、上述のように、捕捉装置2は、第1、第2ガルバノミラー23、24を用いて、第1レーザ光LS1をXY方向に移動可能である。第1レーザ光LS1がXY方向に移動することによって、焦点位置FUもXY方向に移動する。したがって、制御装置7は、第1、第2ガルバノミラー23、24を用いて、第1レーザ光LS1をXY方向に移動して焦点位置FUをXY方向に移動することによって、捕捉領域TAを、液体LQ中でXY方向に移動することができる。そして、制御装置7は、捕捉領域TA内に異物を配置した状態で、すなわち捕捉領域TAで異物を捕捉した状態で、第1、第2ガルバノミラー23、24を用いて捕捉領域TAをXY方向に移動することによって、捕捉領域TAで捕捉した異物を、捕捉領域TAと一緒に、液体LQ中でXY方向に移動することができる。
Further, as described above, the
このように、制御装置7は、第1、第2ガルバノミラー23、24、及び焦点可変光学系27を用いて、捕捉領域TAを移動することによって、捕捉領域TAで捕捉した異物を液体LQ中でX軸、Y軸、及びZ軸方向に移動することができ、異物を液体LQ中の所定位置に移動することができる。
In this way, the control device 7 moves the trapping area TA using the first and second galvanometer mirrors 23 and 24 and the variable focus
また、捕捉装置2及び捕捉装置2からの第1レーザ光LS1が射出される上面8Fを有する板部材8は計測ステージ5に設けられ、計測ステージ5が移動することによって、捕捉装置2及び板部材8も一緒に移動する。制御装置7は、液浸領域LRに対して板部材8を移動することによって、捕捉領域TAを移動することができる。すなわち、第1、第2ガルバノミラー23、24等を駆動しない状態においては、板部材8の上面8Fにおける第1レーザ光LS1が射出される位置はほぼ一定であり、制御装置7は、計測ステージ駆動装置5Dを用いて計測ステージ5をXY方向に移動して、液浸領域LRに対して板部材8をXY方向に移動することによって、液浸領域LRに対して第1レーザ光LS1をXY方向に移動することができる。板部材8(計測ステージ5)をXY方向に移動して、第1レーザ光LS1をXY方向に移動することにより、焦点位置FUもXY方向に移動するので、制御装置7は、板部材8(計測ステージ5)をXY方向に移動することによって、捕捉領域TAを、液体LQ中でXY方向に移動することができる。また、制御装置7は、計測ステージ駆動装置5Dを用いて計測ステージ5をZ軸方向に移動することによって、光学システム20及び板部材8を計測ステージ5と一緒にZ軸方向に移動することができる。光学システム20(計測ステージ5)をZ軸方向に移動することにより、焦点位置FUもZ軸方向に移動するので、制御装置7は、光学システム20(計測ステージ5)をZ軸方向に移動することによって、捕捉領域TAを、液体LQ中でZ軸方向に移動することができる。
The
制御装置7は、光学システム20の第1、第2ガルバノミラー23、24、焦点可変光学系27を駆動することによって、捕捉領域TAを微小な第1距離だけ移動可能である。また、制御装置7は、計測ステージ駆動装置5Dを用いて、液浸領域LRに対して計測ステージ5を移動することによって、捕捉領域TAを第1距離よりも十分に大きい第2距離だけ移動可能である。
The control device 7 can move the capture area TA by a minute first distance by driving the first and second galvanometer mirrors 23 and 24 and the variable focus
次に、上述の構成を有する露光装置EXを用いて基板Pを露光する方法の一例について説明する。例えば制御装置7は、計測ステージ5上に液浸領域LRを形成し、その液浸領域LRを介して、計測ステージ5上に配置された各種計測器による計測を実行する。そして、制御装置7は、その計測器の計測結果に基づいて、例えば投影光学系PLの結像特性等、基板Pを露光するときの露光条件を調整し、基板Pの露光動作を開始する。基板Pを露光するときには、液浸領域LRが基板ステージ4上に形成される。図2を参照して説明したように、制御装置7は、液浸装置1によって形成された液浸領域LRを、基板ステージ4の上面4Fと計測ステージ5の上面5Fとの間で移動可能であり、計測ステージ5上の液浸領域LRを基板ステージ4上に移動する。そして、制御装置7は、基板P上に液浸領域LRを形成し、その液浸領域LRの液体LQを介して、基板P上に露光光ELを照射して、その基板Pを露光する。
Next, an example of a method for exposing the substrate P using the exposure apparatus EX having the above-described configuration will be described. For example, the control device 7 forms the liquid immersion area LR on the
図9は、基板Pの一例を示す図である。図9において、基板Pは、半導体ウエハ等の基材Wと、その基材Wの上面に形成された感光材(フォトレジスト)の第1膜Rgと、その第1膜Rg上に形成された第2膜Tcとを含む。基板Pの上面Paは、第2膜Tcの上面によって形成されている。また、第2膜Tcは、例えばトップコート膜と呼ばれる、第1膜Rgや基材Wを液体LQから保護する機能、及び液体LQとの接触角を調整する機能等を有する膜を含む。あるいは、第2膜Tcは、反射防止膜(top ARC)等を含む。 FIG. 9 is a diagram illustrating an example of the substrate P. In FIG. 9, a substrate P is formed on a base material W such as a semiconductor wafer, a first film Rg of a photosensitive material (photoresist) formed on the upper surface of the base material W, and the first film Rg. And the second film Tc. The upper surface Pa of the substrate P is formed by the upper surface of the second film Tc. The second film Tc includes a film called a top coat film having a function of protecting the first film Rg and the substrate W from the liquid LQ, a function of adjusting a contact angle with the liquid LQ, and the like. Alternatively, the second film Tc includes an antireflection film (top ARC) or the like.
図10は、終端光学素子FLと基板Pとの間を満たすように形成された液体LQの液浸領域LRを示す拡大図である。図10に示すように、基板Pを露光するとき、液浸領域LRの液体LQは、基板Pの上面Pa及び終端光学素子FLの下面FAの両方に接触する。図10に示すように、基板Pから例えば感光材等の一部が液体LQに溶出し、その基板Pから発生した感光材等を含む異物(パーティクル)が液体LQ中に混入し、液体LQ中を浮遊したり、あるいは終端光学素子FLの下面FAに付着して、終端光学素子FLを汚染する可能性がある。また、異物として、液体LQ中に気泡が存在したり、終端光学素子FLの下面FAに気泡が付着する可能性もある。液浸領域LRの液体LQ中に異物が混入した状態、あるいは終端光学素子FLの下面FAに異物が付着した状態を放置しておくと、基板P上に対する露光光ELの照射状態が変動する等の不具合が生じ、基板P上に形成されるパターンに欠陥が生じる可能性がある。また、液浸領域LRの液体LQ中に異物が混入した状態、あるいは終端光学素子FLの下面FAに異物が付着した状態を放置しておくと、計測ステージ5上の計測器に対する露光光ELの照射状態も変動する等の不具合が生じ、計測器を用いた計測精度が劣化する可能性もある。
FIG. 10 is an enlarged view showing a liquid immersion region LR of the liquid LQ formed so as to fill between the last optical element FL and the substrate P. As shown in FIG. 10, when the substrate P is exposed, the liquid LQ in the immersion region LR contacts both the upper surface Pa of the substrate P and the lower surface FA of the last optical element FL. As shown in FIG. 10, for example, a part of the photosensitive material or the like is eluted from the substrate P into the liquid LQ, and foreign matter (particles) including the photosensitive material or the like generated from the substrate P is mixed into the liquid LQ. May adhere to the lower surface FA of the terminal optical element FL and contaminate the terminal optical element FL. Further, as foreign matter, there is a possibility that bubbles exist in the liquid LQ or bubbles adhere to the lower surface FA of the last optical element FL. If a state in which foreign matter is mixed in the liquid LQ in the liquid immersion region LR or a state in which foreign matter is attached to the lower surface FA of the last optical element FL is left, the irradiation state of the exposure light EL on the substrate P changes. May occur, and a pattern formed on the substrate P may be defective. Further, if a state in which foreign matter is mixed in the liquid LQ in the liquid immersion region LR or a state in which foreign matter has adhered to the lower surface FA of the last optical element FL is left unattended, the exposure light EL for the measuring instrument on the
本実施形態においては、制御装置7は、捕捉装置2を用いて、それら異物を捕捉し、露光や計測に影響を与えないような所定位置に移動する。
In the present embodiment, the control device 7 uses the
次に、捕捉装置2を用いて異物を捕捉する動作の一例について説明する。以下の説明においては、捕捉装置2を用いて、終端光学素子FLの下面FAに存在する異物を捕捉する場合を例にして説明する。より具体的には、捕捉装置2を用いて、例えば基板PからLQ中に溶出し、その液体LQを介して終端光学素子FLの下面FAに付着した、レジスト等の固形物を捕捉して移動する場合を例にして説明する。
Next, an example of an operation of capturing a foreign object using the
制御装置7は、所定枚数の基板Pを露光する毎に、あるいはロット毎に、あるいは所定時間間隔毎に、液浸領域LRを計測ステージ5の板部材8上に形成し、計測システム6で計測ステージ5の位置情報を計測しつつ、観察装置30で液浸領域LRの状態及び終端光学素子FLの状態を観察する。制御装置7は、観察装置30を用いて、異物が存在するか否かを検出する。図2を参照して説明したように、制御装置7は、液浸装置1によって形成された液浸領域LRを、基板ステージ4の上面4Fと計測ステージ5の上面5Fとの間で移動することができる。したがって、例えば基板ステージ4に保持された基板P上に液浸領域LRを形成して露光動作を行った後、液体LQを全て回収することなく、液浸領域LRを形成し続けた状態で、計測ステージ5上に移動することができる。
The control device 7 forms the immersion region LR on the
制御装置7は、観察装置30の検出結果(観察結果)に基づいて、異物が存在しないと判断した場合、捕捉装置2を用いた処理を実行せず、例えば計測ステージ5上の計測器を用いて計測動作を実行したり、あるいは基板Pの露光を実行するために、液浸領域LRを基板ステージ4上に移動する。
If the control device 7 determines that there is no foreign substance based on the detection result (observation result) of the
一方、観察装置30の検出結果に基づいて、終端光学素子FLの下面FAに異物が存在すると判断した場合、制御装置7は、観察装置30の検出結果に基づいて、終端光学素子FLの下面FAにおける異物の位置、及び大きさを特定する。制御装置7は、計測システム6で計測ステージ5の位置情報を計測しつつ、その計測ステージ5に設けられた観察装置30で異物を検出することで、レーザ干渉計を含む計測システム6によって規定される座標系内における異物の位置を特定することができる。
On the other hand, when it is determined that there is a foreign object on the lower surface FA of the last optical element FL based on the detection result of the
本実施形態においては、観察装置30は、液浸領域LR及び終端光学素子FLの下面FAの全体を観察可能な視野を有している。なお、観察装置30の視野が、液浸領域LR及び終端光学素子FLの下面FAの一部のみを観察可能な大きさである場合には、制御装置7は、例えば計測ステージ5をXY方向に移動しつつ、観察装置30を用いて、終端光学素子FLの下面FAの全域を観察し、その下面FAに異物が存在するか否かを判断するようにしてもよい。
In the present embodiment, the
制御装置7は、観察装置30の検出結果に基づいて、第1照射装置21及び第2照射装置22の動作を制御する。例えば、制御装置7は、観察装置30の検出結果に基づいて、異物の大きさが閾値よりも大きいと判断した場合、図11の模式図に示すように、第2光源装置22よりパルス状の第2レーザ光LS2を射出する。第2レーザ光LS2は、異物を分解するものであって、制御装置7は、捕捉装置2を用いて、異物を分解するための第2レーザ光LS2を、異物に照射する。第2光源装置22は、第1光源装置21よりも大きい出力(レーザ出力)を有しており、異物を分解(破壊)可能である。
The control device 7 controls the operations of the
異物の位置は観察装置30を用いて検出されており、制御装置7は、その観察装置30の検出結果に基づいて、異物と第2レーザ光LS2との位置関係と調整して、異物に第2レーザ光LS2を照射可能である。本実施形態においては、第2光源装置22から射出された第2レーザ光LS2を終端光学素子FLに導く光学系の光軸の少なくとも一部と、終端光学素子FLからの光(画像)を撮像装置31に導く光学系の光軸の少なくとも一部とは同じ(同軸)であるので、制御装置7は、例えば撮像装置31の撮像領域(観察領域)の中心に異物の画像が配置されるように計測ステージ5の位置を調整することで、撮像装置31による観察後、計測ステージ5の位置をほぼ動かすことなく、第2光源装置22から射出された第2レーザ光LS2を異物に照射することができる。また、制御装置7は、観察装置30で異物の状態を観察しつつ、第2レーザ光LS2を照射することができる。また、制御装置7は、観察装置30の検出結果に基づいて、第2レーザ光LS2によって異物が分解されたか否かを確認することができる。
The position of the foreign object is detected by using the
第2レーザ光LS2で異物を分解した後、制御装置7は、第2光源装置22からの第2レーザ光LS2の射出を停止するとともに、図12の模式図に示すように、第1光源装置21より第1レーザ光LS1を射出し、第1レーザ光LS1の光圧によって、第2レーザ光LS2で分解した異物を捕捉する。
After disassembling the foreign matter with the second laser light LS2, the control device 7 stops the emission of the second laser light LS2 from the second
異物の位置は観察装置30を用いて検出されており、制御装置7は、その観察装置30の検出結果に基づいて、異物と第1レーザ光LS1との位置関係を調整して、第1レーザ光LS1を照射することができる。本実施形態においては、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1を終端光学素子FLに導く光学系の光軸の少なくとも一部と、第2光源装置22から射出された第2レーザ光LS2を終端光学素子FLに導く光学系の光軸の少なくとも一部と、終端光学素子FLからの光(画像)を撮像装置31に導く光学系の光軸の少なくとも一部とは同じ(同軸)であるので、制御装置7は、第2レーザ光LS2を用いて異物を分解した後、計測ステージ5の位置をほぼ動かすことなく、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1を異物に対して所望の位置に照射することができる。また、制御装置7は、観察装置30で異物の状態を観察しつつ、第1レーザ光LS1を照射することができる。
The position of the foreign object is detected using the
制御装置7は、異物が捕捉領域TA内に配置されるように、すなわち異物が捕捉領域TAで捕捉されるように、光学システム20の第1、第2ガルバノミラー23、24、焦点可変光学系27を駆動して、第1レーザ光LS1の照射によって形成される捕捉領域TAの位置を調整する。制御装置7は、観察装置30で異物の状態を観察しつつ、捕捉領域TAの位置を調整可能である。
The control device 7 includes the first and second galvanometer mirrors 23 and 24 of the
また、制御装置7は、異物が捕捉領域TA内に配置されるように、すなわち異物が捕捉領域TAで捕捉されるように、計測ステージ駆動装置5Dを用いて計測ステージ5を駆動することによって、第1レーザ光LS1の照射によって形成される捕捉領域TAの位置を調整することもできる。
Further, the control device 7 drives the
制御装置7は、捕捉領域TAで異物を捕捉した後、その捕捉した異物を、露光光ELの光路Kの外側の所定位置に移動する。本実施形態においては、図13の模式図に示すように、制御装置7は、捕捉領域TAで捕捉した異物を、回収口12に移動する。制御装置7は、光学システム20の第1、第2ガルバノミラー23、24を駆動して、捕捉領域TAをXY方向に移動することによって、捕捉領域TAで捕捉した異物を回収口12に移動することができる。回収口22に移動された異物は、回収口22を介して液体回収装置14に回収される。
After capturing the foreign matter in the capture area TA, the control device 7 moves the captured foreign matter to a predetermined position outside the optical path K of the exposure light EL. In the present embodiment, as shown in the schematic diagram of FIG. 13, the control device 7 moves the foreign matter captured in the capture area TA to the
また、制御装置7は、計測ステージ駆動装置5Dを用いて、液浸領域LRに対して計測ステージ5をXY方向に移動して、捕捉領域TAをXY方向に移動することによって、捕捉領域TAで捕捉した異物を回収口12に移動することもできる。これにより、異物を素早く回収口12に移動することができる。
In addition, the control device 7 moves the
制御装置7は、観察装置30の結果に基づいて、第1レーザ光LS1の光圧によって異物が捕捉されたか否か、また、異物が回収口22等の所定位置に移動されたか否かを確認することができる。
Based on the result of the
以上説明したように、第1レーザ光LS1の光圧によって、異物を捕捉して、露光光ELの光路上より良好に除去することができ、基板Pを良好に露光することができる。また、計測器を用いた計測を良好に行うことができる。 As described above, the foreign matter can be captured by the light pressure of the first laser light LS1, and can be removed more favorably on the optical path of the exposure light EL, and the substrate P can be exposed well. Moreover, the measurement using a measuring device can be performed favorably.
終端光学素子FLの下面FA等に異物が付着している場合、その付着している異物を流し去るために、液体供給装置13による液体供給動作と液体回収装置14による液体回収動作とを所定時間並行して行う構成が考えられる。この場合、下面FA等に付着している異物を液体LQの流れによって除去することは困難である可能性が高く、また、異物を除去するのに長時間を要する可能性もある。また、終端光学素子FLの下面FA等に付着している異物を除去するために、一旦、液浸領域LRの液体LQを全て回収し(液体LQを全て取り)、露光装置EXの動作を停止した後、例えば作業者によるメンテナンス作業によって、その異物を除去する構成も考えられる。この場合、露光装置EXの動作を停止したことにより、露光装置EXを構成する各種機器のキャリブレーション作業を含む露光装置EXの動作を再開させるための復帰作業を行う必要が生じる。その場合、露光装置EXの稼動率が著しく低下する可能性がある。
When foreign matter adheres to the lower surface FA or the like of the last optical element FL, the liquid supply operation by the
本実施形態においては、液浸領域LRを形成した状態で、異物を効率良く短時間で除去することができ、終端光学素子FLや液体LQの異物による汚染を抑制できる。 In the present embodiment, in the state where the liquid immersion region LR is formed, foreign matters can be efficiently removed in a short time, and contamination of the terminal optical element FL and the liquid LQ due to foreign matters can be suppressed.
なお、本実施形態においては、終端光学素子FLの下面FAに付着した異物を捕捉しているが、もちろん、液体LQ中を浮遊する異物を捕捉することもできる。また、ノズル部材10の液体LQと接触する下面等に異物が付着している場合には、そのノズル部材10に付着している異物を第1レーザ光LS1の光圧によって捕捉してもよい。ノズル部材10に付着している異物を除去しておくことで、基板Pの露光中に、そのノズル部材10に付着していた異物が液浸領域LRの液体LQ中に混入したり、露光光ELの光路上に位置する等の不都合の発生を抑制することができる。
In the present embodiment, foreign matter adhering to the lower surface FA of the last optical element FL is captured, but of course, foreign matter floating in the liquid LQ can also be captured. Further, when foreign matter adheres to the lower surface or the like of the
また、本実施形態においては、第2レーザ光LS2で異物を分解した後、第1レーザ光LS1を用いて分解した異物を捕捉しているが、第1レーザ光LS1で異物を捕捉した後、第2レーザ光LS2で捕捉した異物を分解するようにしてもよい。例えば、液体LQ中を浮遊する異物を第1レーザ光LS1で捕捉し、その捕捉された状態の異物に第2レーザ光LS2を照射して、その異物を分解するようにしてもよい。 Further, in the present embodiment, after the foreign matter is decomposed with the second laser beam LS2, the decomposed foreign matter is captured using the first laser beam LS1, but after the foreign matter is captured with the first laser beam LS1, The foreign matter captured by the second laser beam LS2 may be decomposed. For example, the foreign matter floating in the liquid LQ may be captured by the first laser light LS1, and the captured foreign matter may be irradiated with the second laser light LS2 to decompose the foreign matter.
また、第1レーザ光LS1の照射と第2レーザ光LS2の照射とを並行して行ってもよいし、第1レーザ光LS1の照射の開始と第2レーザ光LS2の照射の開始とをほぼ同時に行ってもよい。 Further, the irradiation with the first laser beam LS1 and the irradiation with the second laser beam LS2 may be performed in parallel, or the start of the irradiation with the first laser beam LS1 and the start of the irradiation with the second laser beam LS2 are substantially performed. You may do it at the same time.
また、第2レーザ光LS2の照射を省略してもよい。例えば、異物の大きさが小さく、その異物を分解しなくても、第1レーザ光LS1の光圧によって、異物を捕捉して移動することができる場合には、第2レーザ光LS2の照射を省略してもよい。このように、第2レーザ光LS2の照射を必要に応じて実行するようにしてもよい。 Further, the irradiation with the second laser light LS2 may be omitted. For example, when the size of the foreign matter is small and the foreign matter can be captured and moved by the light pressure of the first laser beam LS1 without decomposing the foreign matter, the second laser beam LS2 is irradiated. May be omitted. As described above, the irradiation with the second laser light LS2 may be performed as necessary.
また、本実施形態においては、固形状の異物(粒子、不純物)を捕捉する場合を例にして説明したが、上述のように、異物には、気泡やバクテリア等も含まれ、捕捉装置2は、それら異物を良好に捕捉することができる。
Further, in the present embodiment, the case where solid foreign matters (particles, impurities) are captured has been described as an example. However, as described above, foreign materials include bubbles, bacteria, and the like, and the
また、本実施形態において、制御装置7は、異物の状態に応じて、捕捉装置2による第1レーザ光LS1の照射条件を調整することができる。第1レーザ光LS1の光圧によって異物を捕捉する力は、異物に入射する光の強度(パワー)、ひいては第1光源装置21の出力(レーザ出力)に応じて変化するので、例えば異物が大きい又は重い場合には、制御装置7は、異物に入射させる第1レーザ光LS1の強度を高める。また、異物が小さい又は軽い場合には、制御装置7は、その異物を捕捉可能な程度に第1レーザ光LS1の強度を小さくすることができる。例えば、異物の大きさが数十nm〜数μmのときには、100mW〜1Wのレーザ光、異物の大きさが数μm〜数十μmのときには、1W〜10Wのレーザ光で捕捉する。これにより、エネルギー使用量を抑えることができるとともに、終端光学素子FL等に高い強度のレーザ光が照射されることを抑制することができ、終端光学素子FLに与える影響を抑制することができる。
Moreover, in this embodiment, the control apparatus 7 can adjust the irradiation conditions of the 1st laser beam LS1 by the
また、異物の状態に応じて、捕捉装置2から射出される第1レーザ光LS1の波長を変えるようにしてもよい。第1レーザ光LS1の光圧によって捕捉可能な異物の大きさ(分解能)は、第1レーザ光LS1の波長に応じて定められ、第1レーザ光LS1の波長は、捕捉しようとする異物の大きさよりも十分に小さいことが望ましい。したがって、微小な異物を捕捉しようとする場合には、捕捉装置2から射出される第1レーザ光LS1の波長を短くすることで、その微小な異物を良好に捕捉することができる。
Further, the wavelength of the first laser light LS1 emitted from the
また、異物の状態に応じて、集光光学系28の開口数を変えるようにしてもよい。例えば、集光光学系28に配置される開口絞りの開口の大きさを変えることで、集光光学系28の開口数を変えることができる。
Further, the numerical aperture of the condensing
また、異物の状態に応じて、レーザ照射位置、レーザ照射領域、レーザ照射量(時間)を変えることができる。 Further, the laser irradiation position, the laser irradiation area, and the laser irradiation amount (time) can be changed according to the state of the foreign matter.
そして、異物の大きさ、異物の液体LQに対する比屈折率等に応じて、第1レーザ光LS1の波長及び集光光学系28の開口数を最適化するとともに、異物の位置、大きさ、数、密度、重さ等に応じて、第1レーザ光LS1の強度、照射位置、照射領域、照射量(時間)を最適化することによって、捕捉可能な異物(気泡、パーティクル、バクテリア等)の種類や大きさなどを設定することができる。これにより、数十nm〜数十μmの異物を捕捉し、除去することができる。例えば、液浸領域LRの液体LQ中から除去したい気泡の大きさを指定する、といったことも可能である。
Then, the wavelength of the first laser light LS1 and the numerical aperture of the condensing
なお、上述の実施形態においては、例えば所定処理基板枚数毎、ロット毎に、所定時間間隔毎等に、液浸領域LR及び終端光学素子FL等の観察動作及び異物の捕捉動作を行っているが、例えば、露光後の基板Pを検査装置で検査し、パターンの欠陥等が検出された場合に、観察装置30を用いて液浸領域LR及び終端光学素子FL等を観察し、その観察結果に応じて、捕捉装置2を用いた捕捉動作を実行するようにしてもよい。
In the above-described embodiment, for example, the observation operation of the liquid immersion region LR and the terminal optical element FL and the foreign matter capturing operation are performed every predetermined number of processed substrates, every lot, every predetermined time interval, and the like. For example, when the substrate P after exposure is inspected by an inspection apparatus and a pattern defect or the like is detected, the immersion area LR and the terminal optical element FL are observed using the
また、この際、前記観察結果に応じて、レーザ出力、レーザ波長、レーザ照射位置、レーザ照射領域、レーザ照射量、及びレーザ照射開口数などの捕捉動作条件を調整してもよい。異物の分解、攪拌についても同様である。 At this time, capturing operation conditions such as a laser output, a laser wavelength, a laser irradiation position, a laser irradiation region, a laser irradiation amount, and a laser irradiation numerical aperture may be adjusted according to the observation result. The same applies to the decomposition and stirring of foreign substances.
なお、上述の実施形態においては、制御装置7が撮像装置31の出力を画像処理することによって、液体LQ中の異物の位置、大きさ、種類等、異物に関する情報を取得しているが、例えば撮像装置31で撮像した結果を、フラットパネルディスプレイ等の表示装置で表示するようにしてもよい。そして、作業者が表示装置の表示情報を参照しつつ、手動操作によって、異物と第1レーザ光LS1及び第2レーザ光LS2の少なくとも一方との位置関係の調整を行うようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the control device 7 performs image processing on the output of the
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。上述の第1実施形態においては、捕捉装置は、液浸領域LRの下側(−Z側)から第1レーザ光LS1を照射して異物を捕捉しているが、第2実施形態の特徴的な部分は、液浸領域LRの上側(+Z側)から第1レーザ光S1を照射して異物を捕捉する点にある。以下の説明において、上述の第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment will be described. In the above-described first embodiment, the capturing device irradiates the first laser light LS1 from the lower side (−Z side) of the liquid immersion region LR to capture the foreign matter, but the characteristic of the second embodiment This part is that the foreign matter is captured by irradiating the first laser light S1 from the upper side (+ Z side) of the liquid immersion region LR. In the following description, the same or equivalent components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.
図14は、第2実施形態に係る露光装置EXを示す模式図である。図14において、捕捉装置2’は、終端光学素子FLを介して、液浸領域LRの液体LQに、異物を捕捉するための第1レーザ光LS1を照射する。第1レーザ光LS1を射出する第1光源装置21は、投影光学系PLの光入射側(物体面側)に配置されており、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1は、反射ミラー40を介して、投影光学系PLの物体面側から、投影光学系PLに入射する。投影光学系PLに入射した第1レーザ光LS1は、投影光学系PLを通過し、終端光学素子FLの下面FAより射出され、液浸領域LRの液体LQに照射される。捕捉装置2’は、終端光学素子FLの下面FAから射出された第1レーザ光LS1の光圧によって、例えば液体LQ中を浮遊している異物、あるいは終端光学素子FLの下面FAに存在する異物を捕捉することができる。また、第1レーザ光LS1の光路上に、ガルバノミラー等、第1レーザ光LS1をその第1レーザ光LS1の照射方向と交差する2次元方向に移動する移動光学素子を配置することにより、上述の第1実施形態と同様、第1レーザ光LS1の光圧によって捕捉した異物を、例えば回収口12に移動することができる。
FIG. 14 is a schematic view showing an exposure apparatus EX according to the second embodiment. In FIG. 14, the
第1レーザ光LS1は、露光光ELとは異なる光である。なお、第1レーザ光LS1の波長は、露光光ELと異なる波長でもよいし、露光光ELと同じ波長でもよい。第1レーザ光LS1の波長を露光光ELの波長と同じにすることで、第1光源装置21から射出された第1レーザ光LS1は、投影光学系PLを通過して、終端光学素子FLの下面FAより良好に射出される。また、本実施形態においても、制御装置7は、基板Pを露光していないときに、捕捉装置2’を用いた異物の捕捉動作を実行する。また、制御装置7は、捕捉装置2’を用いた異物の捕捉動作を実行するとき、終端光学素子FLの下面FAと対向する位置に、基板P以外の物体、例えば計測ステージ5の上面5Fの一部の領域、あるいは基板ステージ4の上面4Fの一部の領域を配置し、その物体上に液浸領域LRを形成する。
The first laser light LS1 is light different from the exposure light EL. The wavelength of the first laser light LS1 may be a wavelength different from that of the exposure light EL or the same wavelength as that of the exposure light EL. By making the wavelength of the first laser light LS1 the same as the wavelength of the exposure light EL, the first laser light LS1 emitted from the first
なお、第2実施形態においては、異物を捕捉するための第1レーザ光LS1は、投影光学系PLを介して液浸領域LRに照射されているが、投影光学系PLとは別の、第1レーザ光LS1を液浸領域LRに導くための専用光学系を設け、その専用光学系を介して、液浸領域LRの上側(+Z側)から、液浸領域LRに第1レーザ光S1を照射して、異物を捕捉するようにしてもよい。 In the second embodiment, the first laser light LS1 for capturing the foreign matter is irradiated to the liquid immersion area LR via the projection optical system PL. However, the first laser light LS1 is different from the projection optical system PL. A dedicated optical system for guiding one laser beam LS1 to the immersion region LR is provided, and the first laser beam S1 is transmitted from the upper side (+ Z side) of the immersion region LR to the immersion region LR via the dedicated optical system. Irradiation may be performed to capture foreign matter.
なお、第2実施形態においては、露光光ELとは異なる第1レーザ光LS1を用いて、異物を捕捉しているが、露光光ELを用いて異物を捕捉することも可能である。制御装置7は、投影光学系PLを介して液浸領域LRに露光光ELを照射して、その露光光ELの光圧によって、液体LQ中の異物を捕捉することができる。 In the second embodiment, the foreign matter is captured using the first laser light LS1 different from the exposure light EL, but the foreign matter can also be captured using the exposure light EL. The control device 7 can irradiate the immersion area LR with the exposure light EL via the projection optical system PL, and can capture foreign matter in the liquid LQ by the light pressure of the exposure light EL.
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。上述の第1、第2実施形態においては、基板Pを露光していないときに、捕捉装置を用いた異物の捕捉動作が実行されているが、本実施形態の特徴的な部分は、基板Pの露光中に、異物を捕捉する点にある。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment will be described. In the first and second embodiments described above, the foreign substance capturing operation using the capturing device is performed when the substrate P is not exposed. The characteristic part of the present embodiment is that the substrate P In this point, foreign matter is captured during the exposure.
図15は、第3実施形態に係る露光装置EXを示す模式図である。図15に示すように、投影光学系PLの終端光学素子FLと基板Pとの間を液体LQで満たすように、基板P上に液浸領域LRが形成され、その終端光学素子FL及び液体LQを介して、基板P上に露光光ELが照射される。本実施形態の捕捉装置2”は、基板Pの露光中に、液浸領域LRの液体LQに第1レーザ光LS1を照射し、その第1レーザ光LS1の光圧によって、液体LQ中の異物を捕捉する。第1レーザ光LS1は、露光光ELとは異なる波長を有しており、基板Pの感光材を感光させない光である。
FIG. 15 is a schematic view showing an exposure apparatus EX according to the third embodiment. As shown in FIG. 15, an immersion region LR is formed on the substrate P so that the space between the terminal optical element FL of the projection optical system PL and the substrate P is filled with the liquid LQ, and the terminal optical element FL and the liquid LQ are formed. Then, the exposure light EL is irradiated onto the substrate P. The
図15に示すように、本実施形態の捕捉装置2”は、第1レーザ光LS1を、基板Pの上面Paに対して斜め方向から照射する。捕捉装置2”は、露光光ELの光路Kを囲むように設けられ、露光光ELの光路Kの外側から基板Pの上面Paに対して第1レーザ光LS1を照射する光学システムを備えている。捕捉装置2”は、第1レーザ光LS1で、例えば基板Pの上面Pa近傍に存在する異物を捕捉し、基板Pの上面Paから離すことができる。制御装置7は、捕捉装置2”による第1レーザ光LS1の入射角度、あるいは第1レーザ光LS1の強度を調整することによって、異物を捕捉し、基板Pの上面Paから離すことができる。基板Pの上面Paから離れた異物は、回収口12より回収される。基板Pの上面Pa近傍に異物が存在する場合、その異物によってパターンの欠陥が発生しやすくなるが、異物を基板Pの上面Paから離すことによって、パターンの欠陥の発生を抑制することができる。
As shown in FIG. 15, the
<第4実施形態>
次に、第4実施形態について説明する。上述の第1〜第3実施形態においては、レーザ光を用いて異物を捕捉しているが、本実施形態の特徴的な部分は、液浸領域LRの液体LQにレーザ光を照射し、そのレーザ光の光圧によって、液体LQ中の添加物を光学的に攪拌する点にある。
<Fourth embodiment>
Next, a fourth embodiment will be described. In the first to third embodiments described above, the foreign matter is captured using the laser beam, but the characteristic part of the present embodiment is that the liquid LQ in the immersion region LR is irradiated with the laser beam, An additive in the liquid LQ is optically stirred by the light pressure of the laser beam.
図16は、第4実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図16において、露光装置EXは、添加物が添加された液浸領域LRの液体LQにレーザ光LS1を照射し、そのレーザ光LS1の光圧によって、液体LQ中の添加物を光学的に攪拌する攪拌装置50を備えている。攪拌装置50は、レーザ光LS1を射出する光源装置21’と、光源装置21’から射出されたレーザ光LS1を液浸領域LRに導く光学システム20’とを備えており、レーザ光LS1の光圧を液体LQ中の添加物に直接作用させることによって、液体LQ中の添加物を光学的に攪拌する。
FIG. 16 is a view showing an exposure apparatus EX according to the fourth embodiment. In FIG. 16, the exposure apparatus EX irradiates the liquid LQ in the immersion region LR to which the additive is added with the laser light LS1, and optically agitates the additive in the liquid LQ by the light pressure of the laser light LS1. A stirring
液浸法においては、例えば液浸領域LRの液体LQの物性を調整するために、液体LQに添加物を添加する可能性がある。液体LQに添加される添加物としては、例えば、H+、Cs+、K+、Cl−、SO4 2−、PO4 2−等の塩基又は酸、あるいはAl酸化物等の微粒子等が挙げられる。 In the immersion method, for example, an additive may be added to the liquid LQ in order to adjust the physical properties of the liquid LQ in the immersion region LR. Examples of the additive added to the liquid LQ include bases or acids such as H + , Cs + , K + , Cl − , SO 4 2− , PO 4 2− , or fine particles such as Al oxide. It is done.
本実施形態においては、制御装置7は、例えば液浸領域LRの液体LQ中の添加物の分布を均一にするために、攪拌装置50を用いて、液体LQ中の添加物を光学的に攪拌する。攪拌装置50は、液体LQにレーザ光LS1を照射し、そのレーザ光LS1の光圧によって添加物を捕捉し、その捕捉した添加物を液浸領域LR中で移動することによって、液体LQ中の添加物を光学的に攪拌する。
In the present embodiment, the control device 7 optically stirs the additive in the liquid LQ using the stirring
本実施形態においては、光源装置21’は複数(図では2つ)設けられており、鏡筒PLの一部に取り付けられている。光源装置21’から射出されたレーザ光LS1は、光学システム20’によって液浸領域LRに導かれ、液浸領域LRの液体LQに、横側(+Y側及び−Y側)から照射される。攪拌装置50は、光学システム20’を介して、液浸領域LRの液体LQに、横側(+Y側及び−Y側)からレーザ光LS1を照射可能である。
In the present embodiment, a plurality (two in the drawing) of
光学システム20’は、ガルバノミラー等、レーザ光LS1を、そのレーザ光LS1の照射方向と交差する2次元方向に移動する移動光学素子を備えている。本実施形態においては、液浸領域LRに対するレーザ光LS1の照射方向はY軸方向であり、移動光学素子は、レーザ光LS1をX軸方向及びZ軸方向に移動可能である。 The optical system 20 'includes a moving optical element such as a galvano mirror that moves the laser light LS1 in a two-dimensional direction intersecting the irradiation direction of the laser light LS1. In the present embodiment, the irradiation direction of the laser light LS1 with respect to the liquid immersion region LR is the Y-axis direction, and the moving optical element can move the laser light LS1 in the X-axis direction and the Z-axis direction.
制御装置7は、液浸領域LRにレーザ光LS1を照射して、そのレーザ光LS1によって液体LQ中に捕捉領域を形成し、その捕捉領域で添加物を捕捉する。そして、制御装置7は、移動光学素子を用いて、レーザ光LS1をXZ方向に移動して、捕捉領域をXZ方向に移動することによって、その捕捉領域で捕捉した添加物を液浸領域LR中で移動することができ、液体LQ中で添加物を攪拌することができる。 The control device 7 irradiates the immersion region LR with the laser beam LS1, forms a capture region in the liquid LQ with the laser beam LS1, and captures the additive in the capture region. Then, the control device 7 uses the moving optical element to move the laser light LS1 in the XZ direction and move the trapping region in the XZ direction, so that the additive trapped in the trapping region in the immersion region LR. And the additive can be stirred in the liquid LQ.
制御装置7は、基板Pに対する露光光ELの照射動作と並行して、攪拌装置50を用いた攪拌動作を実行する。なお、制御装置7は、基板Pの露光を実行していないときに、攪拌装置50を用いた攪拌動作を実行してもよい。
The control device 7 executes a stirring operation using the stirring
なお、本実施形態においては、攪拌装置50は、露光装置EXに設けられているが、露光装置EXとは独立して設けられていてもよい。すなわち、攪拌装置は、露光光ELの光路Kを満たす液体LQに限られず、添加物が添加された液体にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光圧を添加物に直接作用させることによって、液体中の添加物を光学的に攪拌することができる。このような攪拌装置を備えた液体処理装置によって、液体中における添加物の分布を均一にできるなど、その液体を所望状態にすることができ、その液体を用いた処理を良好に実行することができる。
In the present embodiment, the stirring
なお、上述の第1〜第4実施形態においては、投影光学系PLの終端光学素子FLの像面側の光路Kを含む空間を液体LQで満たしているが、国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているように、終端光学素子の物体面側の光路を含む空間も液体で満たすようにしてもよい。例えば、上述の実施形態で説明した捕捉装置を用いて、終端光学素子の物体面側の光路を含む空間を満たす液体中の異物を捕捉してもよい。また、上述の実施形態で説明した攪拌装置を用いて、終端光学素子の物体面側の光路を含む空間を満たす液体中の添加物を攪拌してもよい。 In the first to fourth embodiments described above, the space including the optical path K on the image plane side of the terminal optical element FL of the projection optical system PL is filled with the liquid LQ. However, International Publication No. 2004/019128 Pamphlet As described above, the space including the optical path on the object plane side of the terminal optical element may be filled with the liquid. For example, the trapping device described in the above embodiment may be used to trap foreign matter in the liquid that fills the space including the optical path on the object plane side of the terminal optical element. Moreover, you may stir the additive in the liquid which fills the space containing the optical path by the side of the object surface of a terminal optical element using the stirring apparatus demonstrated in the above-mentioned embodiment.
なお、上述の実施形態においては、液体LQとして水(純水)を用いているが、水以外の液体であってもよい。例えば、過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。また、液体LQとしては、屈折率が1.6〜1.8程度のものを使用してもよい。 In the above-described embodiment, water (pure water) is used as the liquid LQ, but a liquid other than water may be used. For example, a fluorinated fluid such as perfluorinated polyether (PFPE) or fluorinated oil may be used. Moreover, as the liquid LQ, a liquid having a refractive index of about 1.6 to 1.8 may be used.
なお、上述の各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。 The substrate P in each of the above embodiments is not only a semiconductor wafer for manufacturing semiconductor devices, but also a glass substrate for display devices, a ceramic wafer for thin film magnetic heads, or a mask or reticle used in an exposure apparatus. An original plate (synthetic quartz, silicon wafer) or the like is applied.
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。 As the exposure apparatus EX, in addition to the step-and-scan type scanning exposure apparatus (scanning stepper) that scans and exposes the pattern of the mask M by moving the mask M and the substrate P synchronously, the mask M and the substrate P Can be applied to a step-and-repeat type projection exposure apparatus (stepper) in which the pattern of the mask M is collectively exposed while the substrate P is stationary and the substrate P is sequentially moved stepwise.
また、露光装置EXとしては、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第1パターンの縮小像を投影光学系(例えば1/8縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系)を用いて基板P上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第2パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。 Further, as the exposure apparatus EX, a reduced image of the first pattern is projected with the first pattern and the substrate P being substantially stationary (for example, a refraction type projection optical system that does not include a reflecting element at 1/8 reduction magnification). The present invention can also be applied to an exposure apparatus that performs batch exposure on the substrate P using the above. In this case, after that, with the second pattern and the substrate P substantially stationary, a reduced image of the second pattern is collectively exposed onto the substrate P by partially overlapping the first pattern using the projection optical system. It can also be applied to a stitch type batch exposure apparatus. Further, the stitch type exposure apparatus can be applied to a step-and-stitch type exposure apparatus in which at least two patterns are partially transferred on the substrate P, and the substrate P is sequentially moved.
また、本発明は、特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報、特表2000−505958号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。 The present invention also relates to a multi-stage type exposure apparatus having a plurality of substrate stages as disclosed in JP-A-10-163099, JP-A-10-214783, JP-T 2000-505958, and the like. It can also be applied to.
また、本発明は、国際公開第99/49504号パンフレットに開示されているように、計測ステージを備えていない露光装置にも適用できる。また、複数の基板ステージと計測ステージとを備えた露光装置にも適用することができる。 The present invention can also be applied to an exposure apparatus that does not include a measurement stage, as disclosed in WO99 / 49504. The present invention can also be applied to an exposure apparatus that includes a plurality of substrate stages and measurement stages.
また、上述の実施形態においては、投影光学系PLと基板Pとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、本発明は、特開平6−124873号公報、特開平10−303114号公報、米国特許第5,825,043号などに開示されているような露光対象の基板の表面全体が液体中に浸かっている状態で露光を行う液浸露光装置にも適用可能である。 In the above-described embodiment, an exposure apparatus that locally fills the liquid between the projection optical system PL and the substrate P is employed. However, the present invention is disclosed in JP-A-6-124873 and JP-A-10. -303114, US Pat. No. 5,825,043, etc., and can be applied to an immersion exposure apparatus that performs exposure in a state where the entire surface of the substrate to be exposed is immersed in the liquid. is there.
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。 The type of the exposure apparatus EX is not limited to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor element that exposes a semiconductor element pattern onto the substrate P, but an exposure apparatus for manufacturing a liquid crystal display element or a display, a thin film magnetic head, an image sensor (CCD) ) Or an exposure apparatus for manufacturing reticles or masks.
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。 In the above-described embodiment, a light-transmitting mask in which a predetermined light-shielding pattern (or phase pattern / dimming pattern) is formed on a light-transmitting substrate is used. As disclosed in Japanese Patent No. 6,778,257, an electronic mask that forms a transmission pattern, a reflection pattern, or a light emission pattern based on electronic data of a pattern to be exposed may be used.
また、国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。 Further, as disclosed in International Publication No. 2001/035168, an exposure apparatus (lithography system) that exposes a line-and-space pattern on a substrate P by forming interference fringes on the substrate P. The present invention can also be applied.
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。 As described above, the exposure apparatus EX according to the present embodiment maintains various mechanical subsystems including the respective constituent elements recited in the claims of the present application so as to maintain predetermined mechanical accuracy, electrical accuracy, and optical accuracy. Manufactured by assembling. In order to ensure these various accuracies, before and after assembly, various optical systems are adjusted to achieve optical accuracy, various mechanical systems are adjusted to achieve mechanical accuracy, and various electrical systems are Adjustments are made to achieve electrical accuracy. The assembly process from the various subsystems to the exposure apparatus includes mechanical connection, electrical circuit wiring connection, pneumatic circuit piping connection, and the like between the various subsystems. Needless to say, there is an assembly process for each subsystem before the assembly process from the various subsystems to the exposure apparatus. When the assembly process of the various subsystems to the exposure apparatus is completed, comprehensive adjustment is performed to ensure various accuracies as the entire exposure apparatus. The exposure apparatus is preferably manufactured in a clean room where the temperature, cleanliness, etc. are controlled.
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図17に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光工程及びその露光された基板を現像する現像工程を含む基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
As shown in FIG. 17, a microdevice such as a semiconductor device includes a
1…液浸装置、2…捕捉装置、4…基板ステージ、4D…基板ステージ駆動装置、4F…上面、5…計測ステージ、5D…計測ステージ駆動装置、5F…上面、7…制御装置、8…板部材、8F…上面、10…ノズル部材、11…供給口、12…回収口、20…光学システム、21…第1光源装置、22…第2光源装置、23…第1ガルバノミラー、24…第2ガルバノミラー、27…焦点可変光学系、28…集光光学系、30…観察装置、31…撮像装置、50…攪拌装置、EL…露光光、EX…露光装置、FA…下面、FL…最終光学素子、FU…焦点位置、LQ…液体、LR…液浸領域、LS1…第1レーザ光、LS2…第2レーザ光、P…基板、Pa…上面、PL…投影光学系、TA…捕捉領域
DESCRIPTION OF
Claims (26)
前記露光光が照射可能な位置に配置された物体上に液体の液浸領域を形成する液浸装置と、
前記液体に第1光を照射し、前記第1光の光圧によって前記液体中の異物を光学的に捕捉する第1照射装置とを備えた露光装置。 In an exposure apparatus that exposes the substrate by irradiating exposure light onto the substrate,
An immersion apparatus for forming an immersion area of a liquid on an object disposed at a position where the exposure light can be irradiated; and
An exposure apparatus comprising: a first irradiation device that irradiates the liquid with a first light and optically captures a foreign substance in the liquid by a light pressure of the first light.
前記第1照射装置は、前記液体接触面に存在する異物を捕捉する請求項1又は2記載の露光装置。 An optical member disposed on the optical path of the exposure light and having a liquid contact surface that contacts the liquid;
The exposure apparatus according to claim 1, wherein the first irradiation apparatus captures foreign matter existing on the liquid contact surface.
前記液浸装置は、前記光学部材と前記物体との間を液体で満たすように前記液浸領域を形成する請求項3記載の露光装置。 The optical member has a lower surface facing the upper surface of the object,
The exposure apparatus according to claim 3, wherein the immersion apparatus forms the immersion area so as to fill a space between the optical member and the object.
前記第1照射装置は、前記捕捉した異物を前記回収口に移動する請求項8記載の露光装置。 The immersion apparatus has a recovery port for recovering the liquid in the immersion area,
The exposure apparatus according to claim 8, wherein the first irradiation apparatus moves the captured foreign matter to the collection port.
前記移動装置は、前記検出装置の検出結果に基づいて、前記異物を前記捕捉領域に配置するために、前記捕捉領域の位置を調整する請求項7記載の露光装置。 Comprising a detection device for detecting foreign matter in the liquid;
The exposure apparatus according to claim 7, wherein the moving device adjusts a position of the capture region in order to arrange the foreign matter in the capture region based on a detection result of the detection device.
前記移動装置は、前記液浸領域に対して前記物体を相対的に移動することによって、前記捕捉領域を移動する請求項7〜10のいずれか一項記載の露光装置。 A light emitting portion for emitting the first light of the first irradiation device is provided in the object;
The exposure apparatus according to claim 7, wherein the moving device moves the capture region by moving the object relative to the liquid immersion region.
前記移動装置は、前記光学系の焦点位置を移動することによって、前記捕捉領域を移動する請求項7〜11のいずれか一項記載の露光装置。 The first irradiation device includes a light source device that emits the first light, and an optical system that collects the first light from the light source device to form the capture region,
The exposure apparatus according to claim 7, wherein the moving device moves the capturing area by moving a focal position of the optical system.
前記露光光が照射可能な位置に配置された物体上に液体の液浸領域を形成する液浸装置と、
前記液体に第1光を照射し、前記第1光の光圧によって前記液体中の添加物を光学的に攪拌する第1照射装置とを備えた露光装置。 In an exposure apparatus that exposes the substrate by irradiating exposure light onto the substrate,
An immersion apparatus for forming an immersion area of a liquid on an object disposed at a position where the exposure light can be irradiated; and
An exposure apparatus comprising: a first irradiation device that irradiates the liquid with a first light and optically agitates an additive in the liquid by a light pressure of the first light.
A first irradiation device that optically agitates the additive in the liquid by irradiating the liquid to which the additive is added with the first light and causing the light pressure of the first light to directly act on the additive; Liquid processing equipment.
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