JP2007287974A - Manufacturing method of circuit board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、特に、セラミックグリーンシートに形成される電極パターンの断面を小さく形成したり、あるいは狭ピッチ化によっても、前記電極パターンの断線や短絡を適切に抑制することが出来る回路基板の製造方法に関する。 In particular, the present invention provides a circuit board manufacturing method capable of appropriately suppressing disconnection and short-circuiting of the electrode pattern even when the cross-section of the electrode pattern formed on the ceramic green sheet is reduced or the pitch is reduced. About.
下記の特許文献1,2にはいずれも多層セラミック回路基板に関する発明が開示されている。
The following
前記多層セラミック回路基板は、セラミックグリーンシートに電極パターンを形成し、前記セラミックグリーンシートを複数枚、積層した後、前記セラミックグリーンシートおよび前記電極パターンを焼成して形成される。 The multilayer ceramic circuit board is formed by forming an electrode pattern on a ceramic green sheet, laminating a plurality of the ceramic green sheets, and firing the ceramic green sheet and the electrode pattern.
前記セラミックグリーンシートおよび前記電極パターンには夫々、有機バインダーが含まれている。 The ceramic green sheet and the electrode pattern each contain an organic binder.
下記の特許文献1には、前記セラミックグリーンシートに含まれる有機バインダーの具体的材質が開示されている。一方、特許文献2には、前記電極パターンに含まれる有機バインダーの具体的材質が開示されている。このように、特許文献1,2には、前記セラミックグリーンシート及び前記電極パターンの片方の有機バインダーのみが記載されているが、通常、前記セラミックグリーンシートおよび前記電極パターンには同じ有機バインダーが使用されていた。
しかしながら、前記セラミックグリーンシート及び前記電極パターンに同じ有機バインダーを使用すると、前記電極パターンが、前記セラミックグリーンシート内部に拡散し、前記電極パターンが断線するという問題が生じた。 However, when the same organic binder is used for the ceramic green sheet and the electrode pattern, the electrode pattern diffuses into the ceramic green sheet and the electrode pattern is disconnected.
前記電極パターンの幅や厚みを大きくして前記電極パターンの断面を大きくすれば、上記問題をある程度緩和できる。しかし、前記電極パターン間を狭ピッチ化した場合には、上記した拡散現象により前記電極パターン間が短絡しやすくなる。 The above problem can be alleviated to some extent by increasing the width and thickness of the electrode pattern to increase the cross section of the electrode pattern. However, when the pitch between the electrode patterns is narrowed, the electrode patterns are easily short-circuited due to the diffusion phenomenon described above.
したがって従来では、前記電極パターンの断面を大きくしつつ、前記電極パターン間のピッチもある程度広くすることが要求されたため、前記多層セラミック回路基板の小型化に支障を来した。 Therefore, conventionally, it has been required to increase the pitch between the electrode patterns while enlarging the cross section of the electrode patterns, which hinders the miniaturization of the multilayer ceramic circuit board.
そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、セラミックグリーンシートに形成される電極パターンの断面を小さく形成したりあるいは狭ピッチ化によっても、前記電極パターンの断線や短絡を適切に抑制することが出来る回路基板の製造方法を提供することを目的としている。 Therefore, the present invention is to solve the above-described conventional problems, and in particular, even if the cross-section of the electrode pattern formed on the ceramic green sheet is reduced or the pitch is reduced, the electrode pattern is disconnected or short-circuited. It aims at providing the manufacturing method of the circuit board which can be suppressed appropriately.
本発明は、セラミックグリーンシートに電極パターンを形成した後、焼成して成る回路基板の製造方法において、
前記セラミックグリーンシートに含まれる第1の有機バインダー、及び、前記電極パターンに含まれる第2の有機バインダーには、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂から、互いに異なる有機バインダーを選択することを特徴とするものである。
The present invention relates to a method of manufacturing a circuit board formed by firing an electrode pattern on a ceramic green sheet,
The first organic binder contained in the ceramic green sheet and the second organic binder contained in the electrode pattern are selected from different organic binders from ethyl cellulose, butyral resin, and acrylic resin. To do.
これにより、前記電極パターンが前記セラミックグリーンシート内に拡散することを適切に抑制できる。したがって前記電極パターンの断面を小さく、且つ前記電極パターン間を狭ピッチ化して回路基板を小型化しても、断線や短絡が生じない電気特性に優れた前記回路基板を製造することが出来る。 Thereby, it can suppress appropriately that the said electrode pattern diffuses in the said ceramic green sheet. Therefore, even if the cross section of the electrode pattern is small and the circuit board is downsized by narrowing the pitch between the electrode patterns, the circuit board having excellent electrical characteristics that does not cause disconnection or short circuit can be manufactured.
本発明では、前記第1の有機バインダーにブチラール樹脂を選択し、前記第2の有機バインダーにエチルセルロースを選択することが好ましい。あるいは、本発明では、前記第1の有機バインダーにアクリル樹脂を選択し、前記第2の有機バインダーにエチルセルロースを選択することが好ましい。後述する実験によれば、上記の材質の選択によって、前記電極パターンの幅を小さくしても、断線をより適切に抑制できることが証明されている。 In the present invention, it is preferable to select a butyral resin as the first organic binder and select ethyl cellulose as the second organic binder. Alternatively, in the present invention, it is preferable to select an acrylic resin as the first organic binder and select ethyl cellulose as the second organic binder. According to an experiment described later, it has been proved that the disconnection can be more appropriately suppressed by selecting the material described above even if the width of the electrode pattern is reduced.
また本発明では、
(a) 表面が平坦化された転写板上に前記電極パターンを形成する工程と、
(b) 前記電極パターン上及び前記転写板上に前記セラミックグリーンシートを形成する工程と、
(c) 前記転写板を剥離し、前記電極パターンを前記セラミックグリーンシートへ転写する工程と、
(d) 前記(a)〜(c)工程によって形成された複数のセラミックグリーンシートを積層する工程と、
を有することが好ましい。これにより、前記電極パターン及び前記セラミックグリーンシートを同一の平坦化面で形成でき、前記転写板を剥離した複数のセラミックグリーンシートを積層しても回路基板表面の平坦度を向上させることが出来る。
In the present invention,
(A) forming the electrode pattern on a transfer plate having a planarized surface;
(B) forming the ceramic green sheet on the electrode pattern and the transfer plate;
(C) peeling the transfer plate and transferring the electrode pattern to the ceramic green sheet;
(D) a step of laminating a plurality of ceramic green sheets formed by the steps (a) to (c);
It is preferable to have. As a result, the electrode pattern and the ceramic green sheet can be formed on the same flat surface, and the flatness of the circuit board surface can be improved even if a plurality of ceramic green sheets from which the transfer plate has been peeled are laminated.
また本発明では、前記(b)工程にて、前記セラミックグリーンシートを、ドクターブレード法により形成することが好ましい。これにより前記セラミックグリーンシートの前記電極パターンが露出する側の面とは反対側の面を適切に平坦化できる。すなわち本発明では、前記セラミックグリーンシートの両面を適切に平坦化できるから、前記回路基板表面の平坦化度を適切に向上させることが可能である。 In the present invention, it is preferable that the ceramic green sheet is formed by a doctor blade method in the step (b). As a result, the surface of the ceramic green sheet opposite to the surface on which the electrode pattern is exposed can be appropriately flattened. That is, according to the present invention, both sides of the ceramic green sheet can be appropriately flattened, and therefore the flatness degree of the circuit board surface can be appropriately improved.
また本発明では、前記転写板を、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、フッ素樹脂のいずれかにより形成することが好ましい。これにより前記転写板の機械強度及び耐候性を向上できる。 In the present invention, the transfer plate is preferably formed of any one of polyethylene terephthalate (PET), polyphenylene sulfide (PPS), polyethylene naphthalate (PEN), and fluororesin. Thereby, the mechanical strength and weather resistance of the transfer plate can be improved.
また本発明では、前記転写板の表面に、濡れ張力が20〜50mN/mのコーティングを施した後、前記(a)工程を行うことが好ましい。これにより、前記転写板と前記電極パターン間、及び前記転写板と前記セラミックグリーンシート間の濡れ性を良好にでき、前記電極パターンを所定のパターンに高精度に形成することが可能であり、また前記セラミックグリーンシートを前記転写板上の全面に適切に形成することが可能である。また、後工程での剥離を容易に行うことができる。 In the present invention, it is preferable to perform the step (a) after coating the surface of the transfer plate with a wet tension of 20 to 50 mN / m. Thereby, the wettability between the transfer plate and the electrode pattern and between the transfer plate and the ceramic green sheet can be improved, and the electrode pattern can be formed in a predetermined pattern with high accuracy. The ceramic green sheet can be appropriately formed on the entire surface of the transfer plate. Moreover, peeling in a post process can be performed easily.
また本発明では、前記電極パターンを、スクリーン印刷、メッキ、あるいはインクジェット描画法のいずれかにより形成することが好ましい。前記電極パターンを所定形状に適切且つ安価に形成することが出来る。 In the present invention, the electrode pattern is preferably formed by any one of screen printing, plating, or ink jet drawing. The electrode pattern can be formed in a predetermined shape appropriately and inexpensively.
本発明では、セラミックグリーンシートに含まれる第1の有機バインダー、及び、電極パターンに含まれる第2の有機バインダーには、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂から、互いに異なる有機バインダーを選択する。 In the present invention, different organic binders are selected from ethyl cellulose, butyral resin, and acrylic resin for the first organic binder contained in the ceramic green sheet and the second organic binder contained in the electrode pattern.
これにより、前記電極パターンが前記セラミックグリーンシート内に拡散することを適切に抑制できる。したがって前記電極パターンの断面を小さく、且つ前記電極パターン間を狭ピッチ化して回路基板を小型化しても、断線や短絡が生じない電気特性に優れた前記回路基板を製造することが出来る。 Thereby, it can suppress appropriately that the said electrode pattern diffuses in the said ceramic green sheet. Therefore, even if the cross section of the electrode pattern is small and the circuit board is downsized by narrowing the pitch between the electrode patterns, the circuit board having excellent electrical characteristics that does not cause disconnection or short circuit can be manufactured.
図1ないし図6は、本実施形態における低温焼成セラミック基板(LTCC:Low Temperature Co-fired Ceramic substrate)の製造方法を示す一工程図(部分断面図)である。 FIG. 1 to FIG. 6 are process diagrams (partial cross-sectional views) showing a method of manufacturing a low temperature co-fired ceramic substrate (LTCC) in the present embodiment.
図1に示す工程では、表面が平坦な転写板1上に、電極パターン2を形成している。前記転写板1は可撓性フィルムであることが、後工程で前記転写板1を剥がしやすく好ましい。
In the process shown in FIG. 1, an
本実施形態では、前記転写板1を、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、フッ素樹脂のいずれかにより形成することが好ましい。これにより前記転写板1の機械的強度及び耐候性を向上させることが出来る。なお前記転写板1をPETフィルムで形成すると前記転写板1を安価に製造できて好適である。
In the present embodiment, the
図1に示す工程では、前記転写板1上に前記電極パターン2を形成する前に、前記転写板1表面にシリコン等により濡れ張力が20〜50mN/mのコーティングを施すことが好ましい。これにより、前記転写板1表面の濡れ性を良好にでき、前記電極パターン2を所定形状に高精度に形成できるとともに、後工程で形成されるセラミックグリーンシート3を前記転写板1上の全面に適切に形成することが可能である。また、更に後工程での剥離を容易に行うことができる。
In the step shown in FIG. 1, before forming the
図1に示す前記電極パターン2は、導電性粒子と、ガラス組成物と有機ビヒクルとを有する導体ペーストで形成される。前記導電性粒子を、Ag粒子、Ag−Pt合金粒子、Ag−Pd合金粒子のうち少なくともいずれか1種から選択することが好ましい。
The
前記ガラス組成物には、B2O3−CaO−SiO2−Al2O3系を用いることが高温焼成に適しているので好ましい。B2O3の組成比aは、20〜30質量%、CaOの組成比bは、10〜55質量%、SiO2の組成比cは、35〜70質量%、Al2O3の組成比dは、5〜30質量%(ただし、組成比a+b+c+d≦100質量%の関係を満たす)であることが好ましい。また前記ガラス組成物には、余剰組成としてNa2O、K2O、MgO、ZnOのうち少なくとも1種を含めてもよく、前記余剰組成の組成比eは、0〜10質量%の範囲内(ただし、組成比a+b+c+d+e=100質量%の関係を満たす)であることが好ましい。 It is preferable to use a B 2 O 3 —CaO—SiO 2 —Al 2 O 3 system for the glass composition because it is suitable for high-temperature firing. The composition ratio a of B 2 O 3 is 20 to 30% by mass, the composition ratio b of CaO is 10 to 55% by mass, the composition ratio c of SiO 2 is 35 to 70% by mass, and the composition ratio of Al 2 O 3 d is preferably 5 to 30% by mass (provided that the compositional ratio a + b + c + d ≦ 100% by mass is satisfied). The glass composition may include at least one of Na 2 O, K 2 O, MgO, and ZnO as an excess composition, and the composition ratio e of the excess composition is in the range of 0 to 10% by mass. However, it is preferable that the composition ratio a + b + c + d + e = 100 mass% is satisfied.
前記有機ビヒクルには、第2の有機バインダーと有機溶剤を含む。前記有機溶剤としては、ターピネオール、エタノール、ブチルカルビトールアセテート等から少なくとも1種を選択する。 The organic vehicle includes a second organic binder and an organic solvent. As the organic solvent, at least one selected from terpineol, ethanol, butyl carbitol acetate and the like is selected.
本実施形態では、前記第2の有機バインダーを、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂のいずれかから選択する。 In the present embodiment, the second organic binder is selected from ethyl cellulose, butyral resin, and acrylic resin.
前記電極パターン2に含まれる各成分の含有量の一例を示す。例えば、全固形成分中、前記第2の有機バインダーの含有量Xを、0.5〜4質量%、前記ガラス組成物の含有量Yを、0.5〜4質量%、残り(100質量%−X−Y)を前記導電性粒子の含有量とする。また前記導電性粒子をAg−α(αはPtやPd等)とするとき、αの含有量Zを、全固形成分中、0.1〜0.5質量%とする。したがって、かかる場合、Agの含有量は100−X−Y−Z(質量%)である。
An example of the content of each component contained in the
また、前記電極パターン2内には、分散剤や界面活性剤、可塑剤等を適宜添加してもよい。
Further, a dispersant, a surfactant, a plasticizer, or the like may be added as appropriate to the
本実施形態では、前記電極パターン2を前記転写板1上にスクリーン印刷、メッキ、あるいはインクジェット描画法のいずれかにより形成することが好ましい。前記電極パターン2を所定形状に適切且つ安価に形成することが出来る。このうち特に前記電極パターン2をスクリーン印刷により形成することがより簡単に形成できて好ましい。
In the present embodiment, the
前記電極パターン2を形成後、前記電極パターン2に対し乾燥工程を施す。この乾燥工程により有機溶剤の少なくとも一部が除去される。
After the
次に図2に示す工程では、前記電極パターン2上及び、前記転写板1上にセラミックグリーンシート3を形成する。
Next, in the step shown in FIG. 2, a ceramic
本実施形態では、前記セラミックグリーンシート3は、ガラス組成物と、セラミック粉末と、有機ビヒクルとを有して成る。
In the present embodiment, the ceramic
前記ガラス組成物には、前記電極パターン2と同様にB2O3−CaO−SiO2−Al2O3系が好ましく使用される。前記ガラス組成物中における各成分の組成比についても上記した通りである。
For the glass composition, a B 2 O 3 —CaO—SiO 2 —Al 2 O 3 system is preferably used in the same manner as the
前記セラミックス粉末にはAl2O3を使用する。また、TiO2粉末やBa−Nd−Ti−O系粉末、Na−La−Ti−O系粉末等の高誘電率セラミックであってもよい。 Al 2 O 3 is used for the ceramic powder. Also, TiO 2 powder and Ba-Nd-TiO based powder, may be a high dielectric constant ceramic, such as Na-La-TiO based powder.
前記有機ビヒクルには、第1の有機バインダーと有機溶剤を含む。前記有機溶剤には、ターピネオール、エタノール、ブチルカルビトールアセテート等から少なくとも1種を選択する。 The organic vehicle includes a first organic binder and an organic solvent. The organic solvent is at least one selected from terpineol, ethanol, butyl carbitol acetate and the like.
前記第1の有機バインダーを、前記電極パターン2中に含まれる第2の有機バインダーと同様に、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂のいずれかから選択するが、このとき、前記第1の有機バインダーと第2の有機バインダーには異なる材質を選択する。すなわち、前記第1の有機バインダー及び前記第2の有機バインダーの双方に、例えばエチルセルロースを選択しない。
The first organic binder is selected from ethyl cellulose, butyral resin, and acrylic resin as in the case of the second organic binder contained in the
本実施形態の特徴的部分は、上記したように、前記第1の有機バインダーと前記第2の有機バインダーに、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂から異なる材質を選択する点にある。 As described above, the characteristic part of this embodiment is that different materials are selected from ethyl cellulose, butyral resin, and acrylic resin for the first organic binder and the second organic binder.
これにより、図1,図2工程で、前記転写板1上に前記電極パターン2及び前記セラミックグリーンシート3を形成したときに、前記電極パターン2が前記セラミックグリーンシート3内部へ拡散することを適切に防止できる。
Accordingly, when the
後述する実験結果によれば、前記第1の有機バインダーにブチラール樹脂を選択し、前記第2の有機バインダーにエチルセルロースを選択することが好ましい。あるいは、前記第1の有機バインダーにアクリル樹脂を選択し、前記第2の有機バインダーにエチルセルロースを選択することが好ましい。これにより、前記前記電極パターン2の前記セラミックグリーンシート3内部への拡散をより適切に防止できる。
According to the experimental results described later, it is preferable to select butyral resin as the first organic binder and ethyl cellulose as the second organic binder. Alternatively, it is preferable that an acrylic resin is selected as the first organic binder and ethyl cellulose is selected as the second organic binder. Thereby, the diffusion of the
よって、前記電極パターン2の幅を細くし、あるいは、前記電極パターン2の厚みを薄くして前記電極パターン2の断面を小さくしても、前記電極パターン2の断線を効果的に防止できる。また、前記電極パターン2間のピッチを小さくしても、前記電極パターン2間の短絡を効果的に防止できる。
Therefore, even if the width of the
以上により、本実施形態では、上記のように前記電極パターン2を細くしたりピッチを狭くして前記低温焼成多層セラミック基板を小型化しても、断線や短絡が生じない電気特性に優れた前記低温焼成多層セラミック基板を製造することが出来る。
As described above, in this embodiment, even if the
本実施形態では、図2に示すように前記セラミックグリーンシート3を、ドクターブレード法により形成することが好ましい。図2に示すように、前記転写板1と前記電極パターン2間には段差があるため、前記セラミックグリーンシート3の形成面には凹凸が存在する。しかし、本実施形態で使用される前記ドクターブレード法では、図2に示すように、前記転写板1とブレード4間を一定の間隔に保ちながら前記セラミックグリーンシート3を形成できるので、前記セラミックグリーンシート3の形成面に凹凸があっても前記セラミックグリーンシート3の表面3aを、図3のように、平坦化面に形成できる。
In the present embodiment, it is preferable to form the ceramic
前記セラミックグリーンシート3の形成後、前記セラミックグリーンシート3に対し乾燥工程を施す。これにより前記セラミックグリーンシート3に含まれる有機溶剤の少なくとも一部が除去される。
After the ceramic
次に、必要に応じて、前記セラミックグリーンシート3に対し図示しないビアホールの形成、前記ビアホールへの導体ペーストの充填、乾燥を行う。ここで前記ビアホールへ充填される導体ペーストにも有機バインダーが含まれるが、前記導体ペーストに含まれる有機バインダーには、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂から、前記セラミックグリーンシート3に含まれる前記第1の有機バインダーと異なる材質のものを使用することが好ましい。
Next, if necessary, a via hole (not shown) is formed in the ceramic
また、必要に応じて、図1の工程時等に、抵抗体パターン(図示しない)をスクリーン印刷等により形成する。かかる場合、前記抵抗体パターン中に含まれる有機バインダーにも、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂から、前記セラミックグリーンシート3に含まれる前記第1の有機バインダーと異なる材質のものを使用することが好ましい。前記抵抗体パターンは、抵抗粒子と、ガラス組成物と有機ビヒクルとを有して成る。前記ガラス組成物、及び前記有機ビヒクルに含まれる有機溶剤を、前記電極パターン2に使用した上記材質から選択する。前記抵抗粒子には例えば、RuO2とRu2Nd2O7を用いる。
Further, if necessary, a resistor pattern (not shown) is formed by screen printing or the like during the process of FIG. In such a case, the organic binder contained in the resistor pattern may be made of a material different from that of the first organic binder contained in the ceramic
次に図4に示す工程では、前記セラミックグリーンシート3を所定サイズに切断する。なお前記所定サイズへの切断工程を、前記ビアホールの形成前に行ってもよい。
Next, in the step shown in FIG. 4, the ceramic
なお上記した図1〜図4に示す工程によって、所定の電極パターン2等を有する複数の転写板1付きセラミックグリーンシート3を形成する。
A plurality of ceramic
次に図5に示す工程では、前記転写板1を前記セラミックグリーンシート3から剥離する。このとき前記電極パターン2は、前記転写板1とともに剥離されず、前記セラミックグリーンシート3へ転写される。また前記抵抗体パターンを有するときは、前記抵抗体パターンも前記転写板1と一緒に剥離されず、前記セラミックグリーンシート3へ転写される。
Next, in the step shown in FIG. 5, the
本実施形態では図1で説明したように、前記転写板1の表面は平坦化面であるから、前記転写板1と接する前記電極パターン2の当接面2a及び前記セラミックグリーンシート3の当接面3bは、同一の平坦化面で形成され、前記転写板1を剥離すると、前記電極パターン2の前記当接面(露出面)2a及び前記セラミックグリーンシート3の当接面3bが同一の平坦化面として現れる。
In the present embodiment, as described with reference to FIG. 1, the surface of the
そして図5に示すように、たとえば、前記セラミックグリーンシート3の前記電極パターン2が形成されていない側の平坦化面3a(図3では「表面3a」と表現)を支持体5上に設置する。
Then, as shown in FIG. 5, for example, a flattened
なお前記セラミックグリーンシート3のどちらの面3a,3bを前記支持体5上に設置するかは、任意である。
It should be noted that which
また前記転写板1が付いた状態で前記セラミックグリーンシート3を前記支持体5上に設置し、その後、前記転写板1を剥離してもよい。
Alternatively, the ceramic
前記転写板1を剥離して前記電極パターン2が転写された複数のセラミックグリーンシート3を、前記支持体5上に積層して、図6のように積層体6を形成した後、加圧しながら焼成する。これにより、前記電極パターン2(図6では複数ある電極パターン2のうち一部の電極パターンにのみ符号が付されている)、セラミックグリーンシート3(及び、抵抗体パターン及びビアホール導体部7(図6を参照))を同時に焼成できる。焼成温度は例えば800〜1000℃である。
A plurality of ceramic
本実施形態では、前記セラミックグリーンシート3の積層時、前記セラミックグリーンシート3の両面3a,3bは平坦化面であるので、複数のセラミックグリーンシート3を隙間無く積層でき、また前記セラミックグリーンシート3を積層し焼成して得られた前記低温焼成セラミック基板の表面の平坦化度を適切に向上させることが可能である。
In the present embodiment, when the ceramic
なお本実施形態は、高温焼成セラミック基板(High Temperature Co-fired Ceramic substrate)やその他、基板の製造方法に使用されてもよい。 In addition, this embodiment may be used for the manufacturing method of a high temperature firing ceramic substrate (High Temperature Co-fired Ceramic substrate) and others.
実験に際し表1に示す各試料を形成した。 Each sample shown in Table 1 was formed during the experiment.
以下に各試料における含有量を示す。なお含有量は、電極パターン、及びセラミックグリーンシートの夫々において全固形成分中に占める量である。 The contents in each sample are shown below. In addition, content is the quantity which occupies in all the solid components in each of an electrode pattern and a ceramic green sheet.
(実施例1)
電極パターン中に占めるエチルセルロースの含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるブチラール樹脂の含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
Example 1
Content of ethyl cellulose in electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of butyral resin in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
(実施例2)
電極パターン中に占めるエチルセルロースの含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるアクリル樹脂の含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
(Example 2)
Content of ethyl cellulose in electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of acrylic resin in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
(実施例3)
電極パターン中に占めるブチラール樹脂の含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるアクリル樹脂の含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
(Example 3)
Content of butyral resin in the electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of acrylic resin in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
(実施例4)
電極パターン中に占めるアクリル樹脂の含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるブチラール樹脂の含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
Example 4
Content of acrylic resin in electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of butyral resin in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
(比較例1)
電極パターン中に占めるエチルセルロースの含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるエチルセルロースの含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
(Comparative Example 1)
Content of ethyl cellulose in electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of ethyl cellulose in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
(比較例2)
電極パターン中に占めるブチラール樹脂の含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるブチラール樹脂の含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
(Comparative Example 2)
Content of butyral resin in the electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of butyral resin in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
(比較例3)
電極パターン中に占めるアクリル樹脂の含有量; 2質量%
電極パターン中に占めるAg粉の含有量; 96質量%
電極パターン中に占めるガラス組成物の含有量; 2質量%
セラミックグリーンシート中に占めるアクリル樹脂の含有量; 12質量%
セラミックグリーンシート中に占めるAl2O3の含有量; 42質量%
セラミックグリーンシート中に占めるガラス組成物の含有量; 46質量%
(Comparative Example 3)
Content of acrylic resin in electrode pattern; 2% by mass
Content of Ag powder in the electrode pattern; 96% by mass
Content of the glass composition which occupies in an electrode pattern; 2 mass%
Content of acrylic resin in the ceramic green sheet: 12% by mass
Content of Al 2 O 3 in the ceramic green sheet; 42% by mass
Content of glass composition in ceramic green sheet; 46% by mass
実験では、PETフィルム(転写板)上に、幅が60μm、50μm、40μm、30μmの電極パターンを各試料において複数個ずつスクリーン印刷にて形成した後、各試料のセラミックグリーンシートをドクターブレード法により形成し、860℃で焼成した。そして前記PETフィルムを剥離し、それによって露出した前記電極パターンの露出面を光学顕微鏡で観察し、非断線率を測定した。 In the experiment, a plurality of electrode patterns having a width of 60 μm, 50 μm, 40 μm, and 30 μm were formed on a PET film (transfer plate) by screen printing on each sample, and then ceramic green sheets of each sample were formed by a doctor blade method. Formed and fired at 860 ° C. And the said PET film was peeled, the exposed surface of the said electrode pattern exposed by it was observed with the optical microscope, and the disconnection rate was measured.
表1に示すように、電極パターンとセラミックグリーンシートとで有機バインダーを異ならした実施例1〜4では電極パターン幅を50μm以上とすれば、非断線率を100%(すなわち試料全てが断線していない)に出来ることがわかった。 As shown in Table 1, in Examples 1 to 4 in which the organic binder is different between the electrode pattern and the ceramic green sheet, the non-disconnection rate is 100% (that is, all the samples are disconnected) when the electrode pattern width is 50 μm or more. I couldn't do it.
一方、電極パターンとセラミックグリーンシートとで有機バインダーを同じにした比較例1〜3では、実施例1〜4に比べて非断線率が低下したことがわかった。 On the other hand, in Comparative Examples 1 to 3 in which the organic binder was the same between the electrode pattern and the ceramic green sheet, it was found that the disconnection rate was lower than in Examples 1 to 4.
表1に示すように、電極パターンに使用される有機バインダー(第2の有機バインダー)にエチルセルロースを使用し、前記セラミックグリーンシートに使用される有機バインダー(第1の有機バインダー)にブチラール樹脂を使用した実施例1、電極パターンに使用される有機バインダー(第2の有機バインダー)にエチルセルロースを使用し、前記セラミックグリーンシートに使用される有機バインダー(第1の有機バインダー)にアクリル樹脂を使用した実施例2は、いずれも実施例3,4に比べて高い非断線率を示し(電極パターン幅を30μmにしても非常に高い非断線率が得られた)を、より好適であることがわかった。 As shown in Table 1, ethyl cellulose is used as the organic binder (second organic binder) used in the electrode pattern, and butyral resin is used as the organic binder (first organic binder) used in the ceramic green sheet. Example 1 Using ethyl cellulose as the organic binder (second organic binder) used in the electrode pattern and using an acrylic resin as the organic binder (first organic binder) used in the ceramic green sheet Example 2 showed a higher non-breaking rate than both Examples 3 and 4 (a very high unbroken rate was obtained even when the electrode pattern width was 30 μm), and was found to be more suitable. .
1 転写板
2 電極パターン
3 セラミックグリーンシート
4 ブレード
5 支持体
6 積層体
1
Claims (8)
前記セラミックグリーンシートに含まれる第1の有機バインダー、及び、前記電極パターンに含まれる第2の有機バインダーには、エチルセルロース、ブチラール樹脂、及びアクリル樹脂から、互いに異なる有機バインダーを選択することを特徴とする回路基板の製造方法。 In the manufacturing method of the circuit board formed by firing after forming the electrode pattern on the ceramic green sheet,
The first organic binder contained in the ceramic green sheet and the second organic binder contained in the electrode pattern are selected from different organic binders from ethyl cellulose, butyral resin, and acrylic resin. Circuit board manufacturing method.
(b) 前記電極パターン上及び前記転写板上に前記セラミックグリーンシートを形成する工程と、
(c) 前記転写板を剥離し、前記電極パターンを前記セラミックグリーンシートへ転写する工程と、
(d) 前記(a)〜(c)工程によって形成された複数の前記セラミックグリーンシートを積層する工程と、
を有する請求項1ないし3のいずれかに記載の回路基板の製造方法。 (A) forming the electrode pattern on a transfer plate having a planarized surface;
(B) forming the ceramic green sheet on the electrode pattern and the transfer plate;
(C) peeling the transfer plate and transferring the electrode pattern to the ceramic green sheet;
(D) a step of laminating a plurality of the ceramic green sheets formed by the steps (a) to (c);
The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006114391A JP2007287974A (en) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | Manufacturing method of circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006114391A JP2007287974A (en) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | Manufacturing method of circuit board |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006114391A Withdrawn JP2007287974A (en) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | Manufacturing method of circuit board |
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JP (1) | JP2007287974A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010199346A (en) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Kyocera Corp | Wiring board, and manufacturing method thereof |
KR100999919B1 (en) * | 2008-09-08 | 2010-12-13 | 삼성전기주식회사 | Method of manufacturing printed circuit board |
-
2006
- 2006-04-18 JP JP2006114391A patent/JP2007287974A/en not_active Withdrawn
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JP2010199346A (en) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Kyocera Corp | Wiring board, and manufacturing method thereof |
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