JP2007285947A - 真空計 - Google Patents
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Abstract
【課題】
ピラニ真空計で広い領域で精度の高い真空度を測定し、かつ、校正テーブルを不要にする。
【解決手段】
0℃におけるフィラメントの抵抗値R0を求め(S1)、フィラメントの仕様からフィラメントの長さを決定し(S2)、フィラメント電流IPGを求め(S3)、フィラメント抵抗値RPGを求め(S4)、フィラメント表面温度Tを求め(S5)、係数Aを求め(S6)、真空度に拠らないフィラメント電流I0を求め(S7)、圧力Pを求める(S8)。作動電圧、ブリッジ回路の抵抗の抵抗値、フィラメントの物性値を用いて、A/D変換器の入力電圧に応じた圧力を求める。
【選択図】 図1
ピラニ真空計で広い領域で精度の高い真空度を測定し、かつ、校正テーブルを不要にする。
【解決手段】
0℃におけるフィラメントの抵抗値R0を求め(S1)、フィラメントの仕様からフィラメントの長さを決定し(S2)、フィラメント電流IPGを求め(S3)、フィラメント抵抗値RPGを求め(S4)、フィラメント表面温度Tを求め(S5)、係数Aを求め(S6)、真空度に拠らないフィラメント電流I0を求め(S7)、圧力Pを求める(S8)。作動電圧、ブリッジ回路の抵抗の抵抗値、フィラメントの物性値を用いて、A/D変換器の入力電圧に応じた圧力を求める。
【選択図】 図1
Description
本発明は、真空計に関し、詳細には気体の熱伝導率が圧力に依存することを利用したピラニ真空計に関する。
ピラニ真空計は、気体の熱伝導率が圧力に依存することを利用した真空計であり、タングステンや白金の金属細線(フィラメント)を張り、通電加熱によって100〜300℃に加熱し、加熱電力とフィラメント温度の関係から圧力を求めるものである。その原理は、加熱したフィラメントに気体分子が衝突して熱を奪うことでフィラメントの温度が下がることを利用しており、そのフィラメント温度は電気抵抗の変化から知ることができる。
ピラニ真空計により測定可能な圧力の範囲は103〜10-1Pa程度である。フィラメントが細いほど低い圧力まで測定が可能である。その測定方式としては、加熱電流を一定にしてフィラメントの温度変化から圧力を測る方式(定電流方式)と、フィラメント温度が一定になるように加熱電力を調節しその電力から圧力を測る方式(定温度方式)とがある。この2つの方式を比較すると、定温度型の方が測定範囲が広く高い圧力まで測定することができる。
図3は、一般的なピラニ真空計の要部概略を示すものである。図3において、センサ本体2は一端が被測定真空空間に開放され、他端には絶縁部3が設けられている。センサ本体2には端子4とフィラメント支持体を兼ねた端子5が絶縁部3を貫通して設けられ、端子4と端子5を接続するようにフィラメント1が張られている。端子4,5は真空外部のブリッジ回路6に接続され、回路駆動のための電源7が接続される。フィラメント1が通電加熱され、ブリッジ回路6はフィラメント1が位置する空間の真空度(圧力)に応じた出力値を出力する。ピラニ真空計の出力値はA/D変換器8を経て、圧力に応じた強度の信号を得ることができるようになっている(例えば、特許文献1)。
ブリッジ回路6は一般的に図4のようなものである(例えば、特許文献2)。図4中においてRPGとした部分(センサ部分)の両端がそれぞれ図3の端子4,5に接続される。抵抗R13,R14及びR24からなるブリッジの両端の電圧(VN,VP)を差動入力し、トランジスタTRを経てピラニ真空計からの信号としてA/D変換器8へ入力され、A/D変換器8の出力を基に圧力が算出される。トランジスタTRの出力はブリッジ回路にフィードバックされ、センサ部分の抵抗値RPGが一定値になるように制御される。圧力は、数式1に示すような簡潔な数式によって求めることができる。
ここで、Iはフィラメント電流、I0は圧力が0Paのときのフィラメント電流、Aは定数である。A=αΦπL(T−Ta)として求めることができ、ここで、αは気体の種類による定数、Φはフィラメント直径、πは円周率、Lはフィラメント長さ、Tはフィラメント温度、Taは周囲温度である。図4の回路に対して、定電流方式では電流Iを一定に、定温度方式では温度Tを一定にして、これらの式から圧力Pを求めるのである。
特開平6−66662号公報(段落0003、第2図)
特開2001−124651号公報(段落0003〜0009、第2図)
上記数式により、高真空状態、すなわち圧力が低い状態では圧力によく一致した出力値を得る。一方、圧力が高くなるにともなって気体分子が奪う熱量は圧力にあまり依存しなくなり、ピラニ真空計による圧力の測定は原理上精度が悪くなる。測定される電流値に差がつかなくなるためである。そこで、その圧力範囲においても信頼できる真空計を別途用意し、A/D変換器の出力値に圧力を対応付けた校正が行われる。より多くの校正点について圧力を変化させて行うと、校正された真空計はより精度が高く自然な出力値を得ることができる。
しかし、校正点を多くすると、校正を行うための様々な圧力の状態を作り出さなければならず、多くの圧力に対して校正するには多大な労力を要する。また、真空度(圧力)を一定に保つことは一般的に困難であり、連続的に真空度を変化させつつ、校正を行うということは現実的に不可能である。そのため、例えば用途毎に、細かく校正する範囲、粗く校正する範囲を策定し、校正を行っている。この校正が行われた点における圧力の測定値は別途用意した真空計に準じて精度が高いが、それ以外の点においては補間処理を行っている。例えば、圧力P1からある圧力P2の範囲において出力されるA/D変換機の出力値の範囲では全てP1として出力、或いは、線形的な補間計算を行う等の処理が行われる。
本発明は係る課題に鑑みてなされたものであり、校正テーブルを使用せずに、かつ、比較的低真空域においても十分な精度を保つピラニ真空計を提供するものである。すなわち本発明は、 金属細線からなるフィラメントと、前記フィラメントを抵抗の一つとし2個の出力端子を有する抵抗ブリッジ回路と、前記フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、前記フィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなるように、反転入力端子と非反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記2個の出力端子にそれぞれ接続された増幅器と、前記ブリッジ回路の信号をA/D変換するA/D変換器を有するピラニ真空計において、0℃におけるフィラメントの抵抗値R0を前記フィラメントの材質の抵抗率から求める工程と、前記フィラメントの長さを決定する工程と、前記ブリッジ回路を構成する抵抗の抵抗値、前記増幅器の作動電圧、前記A/D変換器への入力電圧から前記フィラメントに流れる電流IPGを求める工程と、前記ブリッジ回路を構成する抵抗の抵抗値、前記増幅器の作動電圧、前記フィラメントに流れる電流IPGから前記フィラメントの測定時の抵抗値RPGを求める工程と、0℃におけるフィラメントの抵抗値R0と測定時の抵抗値RPGから前記フィラメントの表面温度Tを求める工程と、真空度に拠らないフィラメント電流I0を定める工程を経て、
から圧力Pを求める手段を有することを特徴とする。
から圧力Pを求める手段を有することを特徴とする。
本発明によれば数値演算処理で圧力を算出するので、校正テーブルを使用しないピラニ真空計を実現することができる。校正点がなくなり、測定において補間計算による誤差を抑えることができる。
計算によってのみ圧力を算出するので、校正テーブルの作成の必要がなくなり、校正点以外でも精度の高いピラニ真空計を提供することができる。また、数値演算処理に用いられる抵抗値や回路上の参照電圧等の精度により、誤差範囲を想定することができる。
本願発明に係るピラニ真空計による真空度の導出過程を図1に沿って説明する。本実施例においては、図4の駆動回路のR12を200kΩ,R14を1kΩ,R24を10kΩ,R13を1.5kΩの抵抗とした。
まず、0℃におけるフィラメントの抵抗値R0を求める(ST.1)。抵抗値R0は、基準温度でのフィラメントの抵抗率と温度係数から求めることができる。白金の場合、基準温度(20℃)での抵抗率は10.8μΩ・cm、温度係数は0.39%/℃であり、
抵抗値R0=抵抗値R20/( 1 + 0.0039 × Δt )=10.8/( 1 + 0.0039 × 20 )≒10.01855[Ω]
である。
抵抗値R0=抵抗値R20/( 1 + 0.0039 × Δt )=10.8/( 1 + 0.0039 × 20 )≒10.01855[Ω]
である。
フィラメントの仕様からフィラメントの長さを決定する(ST.2)。本来、ピラニ真空計の製作の際に既知になっている値である。また、フィラメントの長さLは計算によっても求めることが可能であるので、説明する。
抵抗値R20=抵抗率ρ20 × フィラメント長さL / フィラメント断面積S
という式が成立する。抵抗率ρ20は、
ρ20=ρ0 × ( 1 + 0.0039 × Δt )
で求めることができる。ここで、ρ0は0℃におけるフィラメントの抵抗率、Δtは温度差である。
理科年表等の文献によれば、0℃における白金の抵抗率は、
ρ0=9.81×10-8Ωm
である。フィラメントが曝される温度を40℃に調整している場合にはΔt=20であるので、
ρ20=9.81×10-8×( 1 + 0.0039 × 20 )=10.58×10-8[Ωm]、
R20=10.8、S=( 0.025 / 2 )2× π であるので、
フィラメント長さL=10.8×( 0.025 / 2 )2× π/10.58×10-8≒50.108[mm]
となる。
抵抗値R20=抵抗率ρ20 × フィラメント長さL / フィラメント断面積S
という式が成立する。抵抗率ρ20は、
ρ20=ρ0 × ( 1 + 0.0039 × Δt )
で求めることができる。ここで、ρ0は0℃におけるフィラメントの抵抗率、Δtは温度差である。
理科年表等の文献によれば、0℃における白金の抵抗率は、
ρ0=9.81×10-8Ωm
である。フィラメントが曝される温度を40℃に調整している場合にはΔt=20であるので、
ρ20=9.81×10-8×( 1 + 0.0039 × 20 )=10.58×10-8[Ωm]、
R20=10.8、S=( 0.025 / 2 )2× π であるので、
フィラメント長さL=10.8×( 0.025 / 2 )2× π/10.58×10-8≒50.108[mm]
となる。
フィラメント電流IPGを求める(ST.3)。
A/D変換器の入力電圧VBから、フィラメント電流IPGを求める。図4に示したブリッジ回路図では、フィラメント電流IPGは数式2で求めることができる。数式2においては、測定中に変化する値として読み取る必要があるのはVBのみであり、他はR12など各抵抗値や作動電圧VCCから求めることができる。
A/D変換器の入力電圧VBから、フィラメント電流IPGを求める。図4に示したブリッジ回路図では、フィラメント電流IPGは数式2で求めることができる。数式2においては、測定中に変化する値として読み取る必要があるのはVBのみであり、他はR12など各抵抗値や作動電圧VCCから求めることができる。
係数Aを求める(ST.6)。フィラメント温度Tから係数Aを求める。係数Aは、フィラメント表面温度T、気体ごとの定数αフィラメントの直径Φ、フィラメントの長さLから数式5により求めることができる。窒素の場合は、α=1.08である。
真空度に拠らないフィラメント電流I0を求める(ST.7)。
真空度によらないフィラメント電流I0は、測定点に対して十分に高い真空度でフィラメントに流れる電流を測定することによって求めることができる。本実施例では10mAであった。
真空度によらないフィラメント電流I0は、測定点に対して十分に高い真空度でフィラメントに流れる電流を測定することによって求めることができる。本実施例では10mAであった。
数式6により圧力Pを求める(ST.8)。数式6は、ピラニ真空計により圧力を求める数式である数式1にI0を代入した形であり、IPGはST.3で、RPGはST.4で、AはST.7で求められている。これらの値を数式6に代入することにより、かくして、圧力Pを求めることができる。
図2に、A/D変換器の読取値と圧力の関係を示した。縦軸が圧力、横軸がA/D変換器の読取値を示している。曲線(A)が本願発明に係るピラニ真空計により求めた圧力、曲線(B)が校正テーブルを有する従来方式のピラニ真空計により求めた圧力である。曲線(B)は、A/Dの読取値が小さい領域(〜1500000)では圧力の値が連続的に変化するが、それ以上になると段階的な値になる。これはA/D変換器の読取値のある範囲について同じ圧力を示す校正テーブルを有しているからである。A/D変換器の読取値のわずかな違いで、数Paの変化を表示してしまうことになる。曲線(A)は、A/D変換器の読取値が1000000〜1500000においても、2500000〜3500000においても、圧力の変化を連続的に表示している。ブリッジ回路の各要素の値やフィラメントの物性値からの計算のみによって求めているので、校正テーブルは不要となる。
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではない。特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で種々の変更を行うことができる。
系内の真空状態を測定する必要がある装置に組み込む真空計として利用することができる。実際の圧力に対してブリッジ回路の抵抗値や物性値のみから圧力値を算出するので校正の必要がなく、発光分光分析装置や質量分析装置のように装置内部に真空状態を形成する精密機器に最適である。
1・・・・・フィラメント
2・・・・・センサ本体
3・・・・・絶縁部
4,5・・・端子
6・・・・・ブリッジ回路
7・・・・・電源
8・・・・・A/D変換器
2・・・・・センサ本体
3・・・・・絶縁部
4,5・・・端子
6・・・・・ブリッジ回路
7・・・・・電源
8・・・・・A/D変換器
Claims (1)
- 金属細線からなるフィラメントと、
前記フィラメントを抵抗の一つとし2個の出力端子を有する抵抗ブリッジ回路と、
前記フィラメントに生じる電圧が大きくなると出力電圧が小さくなり、前記フィラメントに生じる電圧が小さくなると出力電圧が大きくなるように、反転入力端子と非反転入力端子が前記抵抗ブリッジ回路の前記2個の出力端子にそれぞれ接続された増幅器と、
前記ブリッジ回路の信号をA/D変換するA/D変換器を有するピラニ真空計において、
0℃におけるフィラメントの抵抗値R0を前記フィラメントの材質の抵抗率から求める工程と、
前記フィラメントの長さを決定する工程と、
前記ブリッジ回路を構成する抵抗の抵抗値、前記増幅器の作動電圧、前記A/D変換器への入力電圧から前記フィラメントに流れる電流IPGを求める工程と、
前記ブリッジ回路を構成する抵抗の抵抗値、前記増幅器の作動電圧、前記フィラメントに流れる電流IPGから前記フィラメントの測定時の抵抗値RPGを求める工程と、
0℃におけるフィラメントの抵抗値R0と測定時の抵抗値RPGから前記フィラメントの表面温度Tを求める工程と、
真空度に拠らないフィラメント電流I0を定める工程を経て、
から圧力Pを求める手段を有する
ことを特徴とするピラニ真空計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115115A JP2007285947A (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | 真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115115A JP2007285947A (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | 真空計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007285947A true JP2007285947A (ja) | 2007-11-01 |
Family
ID=38757850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006115115A Pending JP2007285947A (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | 真空計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007285947A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109974931A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-05 | 国网安徽省电力有限公司培训中心 | 一种防倒灌精准电子真空计 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58167435A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-10-03 | Ishizuka Glass Ltd | 注ぎ口付き硝子器の製造方法 |
JPH03255926A (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-14 | Ulvac Japan Ltd | ピラニ真空計 |
JP2001124651A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Ulvac Japan Ltd | ピラニ真空計の圧力測定回路 |
-
2006
- 2006-04-19 JP JP2006115115A patent/JP2007285947A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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JP2001124651A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Ulvac Japan Ltd | ピラニ真空計の圧力測定回路 |
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CN109974931A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-05 | 国网安徽省电力有限公司培训中心 | 一种防倒灌精准电子真空计 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080722 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110727 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120110 |