JP2007285933A - エッジ真直度測定方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像処理装置13は、撮像装置12とダイヘッド23の塗布表面23Aとの間のY方向距離および二値化閾値を適宜に変更し、算出される各エッジ部22a,22a毎の境界部の中点座標の変化を検出し、所望の誤差で各中点座標を算出するために必要とされる撮像装置12とスリット部22との間の距離のずれ及び二値化閾値の範囲を算出する。画像処理装置13は、撮像装置12とスリット部22との相対移動に係る誤差を、所定相対位置から相対移動させた際に算出した各中点座標と、所定相対位置から相対移動と平行な方向に所定距離だけ異なる相対位置から相対移動させた際に算出した各中点座標とに基づき、位相差法により、相対移動に係る誤差を補正した後の各中点座標を算出する。
【選択図】図1
Description
これに伴い、例えば塗布幅方向に伸びるスリットの長さ(例えば、数m等)に比べて、相対的に小さいスリット幅(例えば、数10〜数100μm等)を有するスリットに対して、スリット幅を精度良く測定する必要があり、従来、例えばテーパゲージをスリットに挿入し、テーパゲージに設けられた目盛りを読み取る方法が知られている。
しかしながら、このようにスリットのエッジ部にテーパゲージ等の測定器を接触させる接触式の測定方法では、測定器やエッジ部に摩耗や損傷等が生じる虞があると共に、スリットの長さが相対的に長い場合には、スリット幅の検出精度を向上させるために、この長さ方向における測定位置の設定数を増大させる必要があり、測定に要する煩雑な手間が嵩むという問題がある。
この検出装置によれば、スロットダイ等のスリットのスリット幅を検出する際には、例えば、CCDカメラ等の撮像装置とスリットを有する被測定対象物とを、スリットの伸びる方向に対して相対的に移動させ、スリットのエッジ部を上方から撮像するようになっている。
しかしながら、単に、スリット幅を検出するだけでは、スリット幅の直進性、つまりスリットを形成する2つのエッジ部の真直度を検知することはできず、例えばスリットの伸びる方向に沿ったスリット幅の変化が所定値以内であっても、スリットの伸びる方向に沿ってスリットが歪んでいたり、湾曲している状態を検知することはできないという問題が生じる。また、例えばスリットの伸びる方向に沿ったスリット幅の変化が所定値よりも大きい場合には、スリットを形成する2つのエッジ部の何れのエッジ部の真直度が低下しているのかを検知することができないという問題が生じる。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、エッジ部の真直度の検出精度を向上させることが可能なエッジ真直度測定方法およびプログラムを提供することを目的とする。
この相対移動に係る誤差は、撮像手段とエッジ部との所定相対位置から相対移動させた際に算出した境界部の位置座標と、所定相対位置から相対移動の方向に所定距離だけ変更されてなる相対位置から相対移動させた際に算出した境界部の位置座標とに基づき、いわゆる位相差法によって相殺することができ、相対移動に係る誤差を補正した後の境界部の位置座標を算出することができる。
この相対移動に係る誤差は、撮像手段とエッジ部との所定相対位置から相対移動させた際に算出した境界部の位置座標と、所定相対位置から相対移動の方向に所定距離だけ変更されてなる相対位置から相対移動させた際に算出した境界部の位置座標とに基づき、いわゆる位相差法によって相殺することができ、相対移動に係る誤差を補正した後の境界部の位置座標を算出することができる。
本実施の形態に係るエッジ真直度測定装置10は、例えば被検出対象物に設けられたスリットや溝等を構成するエッジ部の真直度(エッジ真直度)を検出するものであって、例えば一方向に走行する可撓性帯状支持体に塗布液を塗布する際に使用されるスロットダイ11のエッジ真直度を検出するものとされており、例えば図1に示すように、CCDカメラ等をなす撮像装置12と、撮像装置12から出力される画像データを処理する画像処理装置13と、制御装置14により制御され、スロットダイ11と撮像装置12とを相対移動させる駆動装置15とを備えて構成されている。
そして、スロットダイ11は、駆動装置15によりスリット部22が伸びる方向に平行な方向(X方向)およびスリット部22の深さ方向、つまりX方向に直交する方向(Y方向)に変位可能とされたテーブル24上に載置された状態で固定されている。
画像処理装置13は、例えば、画像データ取得部31と、二値化処理部32と、境界部検出部33と、中点座標記憶部34と、Y方向距離変更部35と、二値化閾値変更部36と、位相差法処理部37とを備えて構成されている。
二値化処理部32は、記憶部に格納された画像データを読み込み、二値化閾値に基づいて二値化処理を行う。これにより、相対的に輝度値が小さいスリット部22と、光が反射されることで相対的に輝度値が大きくなる塗布表面23Aとの境界位置が設定される。
境界部検出部33は、二値化処理後の画像データ上において境界位置を抽出し、境界位置に対して最小二乗法を用いた直線近似を行う、或いは、複数の画像データ毎の境界位置の位置情報を時系列データとして扱い、これらの複数のデータ列に対して最小二乗法を用いた直線近似を行い、スリット部22と塗布表面23Aとの間の2つの境界部、つまりエッジ部22a,22aを検出し、中点座標記憶部34へ出力する。
なお、各中点座標のX方向成分およびY方向成分は、駆動装置15により設定されるスロットダイ11と撮像装置12との相対配置状態に応じた所定値となり、Z方向成分は、撮像装置12の配置位置のZ方向座標を基準として算出可能である。これにより、例えば駆動装置15により撮像装置12とスリット部22とのX方向での相対位置が変更される際に複数の中点座標を算出することにより、これらの中点座標のXZ平面上での配置状態から各エッジ部22aの真直度を算出することができる。
二値化閾値変更部36は、例えば後述する二値化閾値設定処理等により設定され、二値化処理部32での二値化処理において参照される二値化閾値を変更する。
そして、位相差法処理部37は、駆動装置15の駆動に係る誤差を補正した後の複数の中点座標のXZ平面上での配置状態に応じて各エッジ部22aの真直度を算出する。
また、制御装置14は、例えば図2に示すように、スロットダイ11が載置されるテーブル24を駆動装置15によりX方向に移動させることで、撮像装置12がスロットダイ11のスリット部22を構成する2つのエッジ部22a,22aを長さ方向に走査するように設定する。すなわち、この走査時にはスリット部22の各エッジ部22aの長さ方向(X方向)の撮像を行うように撮像装置12を制御し、撮像により得られる画像データを画像処理装置13へ出力させる。そして、移動後あるいは移動中の所定時点におけるX方向の変位(X方向距離)の情報を画像処理装置13の位相差法処理部37へ出力する。
次に、第2回目の測定時において、撮像装置12とスリット部22をX方向における所定相対位置からX方向に所定距離Lだけ変位した相対位置に設定し、この相対位置からスリット部22を駆動装置15によりX方向に移動させると共に、撮像装置12によりスリット部22を撮像させ、撮像により得られた画像データを画像処理装置13へ出力させる。
このエッジ真直度測定方法では、撮像装置12によりスリット部22を撮像して得た画像データからスリット部22を構成する2つのエッジ部22a,22aの各中点座標を算出する際に、スロットダイ11をX方向に移動させることで、スリット部22の長さ方向に亘って各エッジ部22aの中点座標を検出する場合に、Y方向における撮像装置12とスリット部22との間の距離の変動に伴い、各エッジ部22aの中点座標の検出値(特に、中点座標のZ方向成分の検出値)に誤差が生じることを抑制する、或いは、各エッジ部22aの中点座標の検出値(特に、中点座標のZ方向成分の検出値)と実際の中点座標との間に生じる差異を補正するようになっている。
先ず、図3に示すステップS01においては、二値化処理にて参照される二値化閾値の初期値を設定する。
次に、ステップS02においては、撮像装置12から出力される画像データに対して、後述する画像処理を実行する。
次に、ステップS03においては、ステップS02において算出した各エッジ部22aの中点座標と、画像データの撮像時におけるY方向距離と、画像データに対する二値化処理にて参照した二値化閾値とを、記憶部(図示略)に格納する。
次に、ステップS04においては、Y方向距離の設定値を変更する。
そして、ステップS05においては、Y方向距離の設定値の変化の累積値が所定変化を超えたか否かを判定する。
この判定結果が「NO」の場合、つまり一連の処理におけるY方向距離の変化の累積値が所定変化未満である場合には、上述したステップS02に戻る。
一方、この判定結果が「YES」の場合には、ステップS06に進む。
この判定結果が「NO」の場合、つまり一連の処理における各エッジ部22a毎の中点座標の変動の累積値が所定範囲以内である場合には、後述するステップS09に進む。
一方、この判定結果が「YES」の場合には、ステップS07に進む。
ステップS07では、二値化閾値を変更してステップS08に進み、ステップS08では、Y方向距離を初期化、つまりY方向距離の設定値の変化の累積値がゼロとなるようにスロットダイ11をY方向に移動させ、上述したステップS02に戻る。
一方、ステップS09においては、記憶部(図示略)に格納した各エッジ部22aの中点座標と、Y方向距離と、二値化閾値とに基づき、各エッジ部22a毎の中点座標の変動が所定の許容変動以下となるY方向距離および二値化閾値を抽出して、一連の処理を終了する。
先ず、図4に示すステップS11においては、撮像装置12から出力される画像データを取得する。
次に、ステップS12においては、取得した画像データに対して、二値化閾値に基づいて二値化処理を行う。これにより、例えば画像データが適宜の輝度値(例えば、0〜255の間の整数)を有する複数の画素から構成されている場合には、これらの画素を、二値化閾値を超える輝度値の画素と、二値化閾値以下の輝度値の画素とに分類する。
次に、ステップS13においては、分類された画素の境界位置を抽出し、最小二乗法を用いた直線近似を行い、スリット部22と塗布表面23Aとの間の2つの境界部、つまりエッジ部22a,22aを検出する。
次に、ステップS14においては、直線近似された2つのエッジ部22a,22a毎に、各エッジ部22a上の所定位置、例えば各エッジ部22aとして近似された直線状の線分の中点座標を算出し、一連の処理を終了する。
この方法では、例えば図5に示すように、スロットダイ11を駆動装置15によりX方向に移動させ、スリット部22の長さ方向に亘って各エッジ部22aの中点座標を検出する際に、駆動装置15によりスロットダイ11の移動を開始する時点における撮像装置12とスリット部22との相対位置が所定距離Lだけ異なる2回の測定処理を行い、これら2回の測定処理により得られた2つのエッジ部22a,22aに対する各第1中点座標のZ方向(X方向およびY方向に直交する方向)成分Z1A(xn),Z2A(xn)および各第2中点座標のZ方向成分Z1B(xn),Z2B(xn)に基づいて、スリット部22が駆動装置15によりX方向に移動させられる際にY方向に生じる運動誤差e(xn)によるZ方向成分測定誤差f(e(xn))を補正した後の各中点座標のZ方向成分Z1(xn),Z2(xn)を算出する。なお、xn(nは任意の自然数)は、スリット部22のX方向における適宜の位置である。
次に、ステップS22においては、撮像装置12から出力される画像データに対する画像処理、つまり上述したステップS11〜ステップS14の処理を行う。
そして、ステップS23においては、算出した2つのエッジ部22a,22aに対する各第1中点座標を記憶部(図示略)に格納する。
なお、各第1中点座標のZ方向成分Z1A(xn),Z2A(xn)は、例えば下記数式(1)に示すように、X方向における適宜の位置xnでの各中点座標のZ方向成分Z1(xn),Z2(xn)に、スリット部22がX方向に移動させられる際にY方向距離が変動することに起因して各中点座標の算出結果に対して生じる運動誤差e(xn)によるZ方向成分測定誤差f(e(xn))を加算して得た値として設定されている。
この判定結果が「NO」の場合には、上述したステップS22に戻る。
一方、この判定結果が「YES」の場合には、ステップS25に進む。
ステップS25においては、撮像装置12による撮像を停止し、スリット部22の駆動装置15による移動を停止し、例えば駆動装置15の駆動方向を逆転させる等によって、スリット部22を所定相対位置に戻して撮像装置12とスリット部22との相対位置を初期状態に戻す。
次に、ステップS26においては、例えば制御装置14により制御される移動装置(図示略)等により、撮像装置12をX方向においてスリット部22の移動方向と平行な方向に所定距離Lだけ変位させる。
次に、ステップS28においては、撮像装置12から出力される画像データに対する画像処理、つまり上述したステップS11〜ステップS14の処理を行う。
そして、ステップS29においては、算出した2つのエッジ部22a,22aに対する各第2中点座標を記憶部(図示略)に格納する。
なお、各第2中点座標のZ方向成分Z1B(xn),Z2B(xn)は、例えば下記数式(2)に示すように、X方向における適宜の位置xnから所定距離Lだけ減算して得た位置での各中点座標のZ方向成分Z1(xn−L),Z2(xn−L)に、スリット部22が駆動装置15によりX方向に移動させられる際にY方向距離が変動することに起因して各中点座標の算出結果に対して生じる運動誤差e(xn)によるZ方向成分測定誤差f(e(xn))を加算して得た値として設定されている。
すなわち、上記数式(1)の各第1中点座標のZ方向成分Z1A(xn),Z2A(xn)と、上記数式(2)の各第2中点座標のZ方向成分Z1B(xn),Z2B(xn)との差分においては、運動誤差e(xn)によるZ方向成分測定誤差f(e(xn))を除去することができ、下記数式(3)に示すように、各差分を所定距離Lで除して得た差分変化ΔZ1(xn),ΔZ2(xn)は、運動誤差e(xn)によるZ方向成分測定誤差f(e(xn))を補正した後の各中点座標のZ方向成分Z1(xn),Z2(xn)の1回微分として近似することができる。
なお、スリット部22のX方向における適宜の位置xn(nは任意の自然数)は、各画像データが撮像された位置を示すものであり、例えば今回の撮像の位置xnに対して、位置xn−1は、前回の撮像の位置となる。
しかも、予めY方向距離および二値化閾値を適宜に変更して、2つのエッジ部22a,22aの各中点座標の変化を把握することにより、スロットダイ11を駆動装置15によりX方向に移動させて各中点座標を検出する際に、スロットダイ11を駆動装置15によりX方向に移動させることに伴うY方向変位が許容領域以内であれば、検出される各中点座標の変化が所定範囲以内となるように設定することができ、各中点座標の検出精度を向上させることができる。
また、二値化閾値設定処理において二値化閾値を設定した際に、スロットダイ11を駆動装置15によりX方向に移動させることに伴うY方向変位が許容領域を超え、検出される各中点座標の変化が所定範囲を超える場合であっても、位相差法により各中点座標の検出精度を向上させることができる。
また、上述した本実施の形態において、位相差法による検出処理では、撮像装置12によってスリット部22の長さ方向に亘る2回の測定処理を行うとしたが、これに限定されず、例えばX方向に所定距離Lだけ離間して2つの撮像装置12,12を配置し、これらの撮像装置12,12によってスリット部22の長さ方向に亘る1回の測定処理を行うようにしてもよい。
また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記憶されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
さらに、請求項2記載の本発明のエッジ真直度測定方法によれば、予め、撮像手段と複数のエッジ部との間の距離および二値化閾値を適宜に変更し、エッジ部の境界部の位置座標の変化を把握することにより、所望の誤差でエッジ部の境界部の位置座標を算出するために必要とされる撮像手段と複数のエッジ部との間の距離のずれ及び二値化閾値の範囲を算出することができる。
また、請求項3記載の本発明のエッジ真直度測定方法によれば、撮像手段とエッジ部との相対移動に係る誤差は、相対移動と平行な方向に所定距離だけ異なる相対位置から相対移動させた際に算出した各エッジ部の境界部の位置座標に基づき、いわゆる位相差法によって相殺することができ、相対移動に係る誤差を補正した後のエッジ部の境界部の位置座標を算出することができる。
さらに、請求項5記載の本発明のプログラムによれば、予め、撮像手段と複数のエッジ部との間の距離および二値化閾値を適宜に変更し、エッジ部の境界部の位置座標の変化を把握することにより、所望の誤差でエッジ部の境界部の位置座標を算出するために必要とされる撮像手段と複数のエッジ部との間の距離のずれ及び二値化閾値の範囲を算出することができる。
また、請求項6記載の本発明のプログラムによれば、撮像手段とエッジ部との相対移動に係る誤差は、相対移動と平行な方向に所定距離だけ異なる相対位置から相対移動させた際に算出した各エッジ部の境界部の位置座標に基づき、いわゆる位相差法によって相殺することができ、相対移動に係る誤差を補正した後のエッジ部の境界部の位置座標を算出することができる。
11 スロットダイ
12 撮像装置(撮像手段)
15 駆動装置
22 スリット部
22a エッジ部
32 二値化処理部
33 境界部検出部
34 中点座標記憶部
35 Y方向距離変更部
36 二値化閾値変更部
37 位相差法処理部
Claims (6)
- エッジ部の真直度を測定するエッジ真直度測定方法であって、
撮像手段により撮像して得た前記エッジ部の画像に対し、所定の二値化閾値に基づいて二値化処理を行うステップと、
二値化処理されてなる画像から前記エッジ部の境界部を検出するステップと、
前記境界部の複数の位置座標に基づき、前記エッジ部の真直度を算出するステップと
を含むことを特徴とするエッジ真直度測定方法。 - 前記撮像手段と前記エッジ部との間の距離を変更するステップと、
前記撮像手段と前記エッジ部との間の距離の変化に伴う前記位置座標の変化に基づき、前記二値化閾値を変更するステップと
を含むことを特徴とする請求項1に記載のエッジ真直度測定方法。 - エッジ部の真直度を測定するエッジ真直度測定方法であって、
撮像手段と前記エッジ部との所定相対位置から前記撮像手段と前記エッジ部とを前記エッジ部の伸びる方向に平行な方向において相対移動させ、前記撮像手段により撮像して得た前記エッジ部の画像に基づき前記エッジ部の境界部の位置座標を算出する第1のステップと、
前記所定相対位置から前記エッジ部の伸びる方向に平行な方向において所定距離だけ変更してなる相対位置から、前記撮像手段と前記エッジ部とを前記エッジ部の伸びる方向に平行な方向において相対移動させ、前記撮像手段により撮像して得た前記エッジ部の画像に基づき前記エッジ部の境界部の位置座標を算出する第2のステップと、
前記第1および前記第2のステップにて算出した前記位置座標に基づき、前記撮像手段の撮像方向における前記撮像手段と前記エッジ部との相対位置に係る誤差を補正後の前記位置座標を算出するステップと、
前記補正後の複数の前記位置座標に基づき、前記エッジ部の真直度を算出するステップと
を含むことを特徴とするエッジ真直度測定方法。 - コンピュータを、
エッジ部の真直度を測定する手段として機能させるためのプログラムであって、
撮像手段により撮像して得た前記エッジ部の画像に対し、所定の二値化閾値に基づいて二値化処理を行う手段と、
二値化処理されてなる画像から前記エッジ部の境界部を検出する手段と、
前記境界部の複数の位置座標に基づき、前記エッジ部の真直度を算出する手段と
して機能させることを特徴とするプログラム。 - コンピュータを、
前記撮像手段と前記エッジ部との間の距離を変更する手段と、
前記撮像手段と前記エッジ部との間の距離の変化に伴う前記位置座標の変化に基づき、前記二値化閾値を変更する手段と
して機能させることを特徴とする請求項4に記載のプログラム。 - コンピュータを、
エッジ部の真直度を測定する手段として機能させるためのプログラムであって、
撮像手段と前記エッジ部との所定相対位置から前記撮像手段と前記エッジ部とを前記エッジ部の伸びる方向に平行な方向において相対移動させ、前記撮像手段により撮像して得た前記エッジ部の画像に基づき前記エッジ部の境界部の位置座標を算出する第1の手段と、
前記所定相対位置から前記エッジ部の伸びる方向に平行な方向において所定距離だけ変更してなる相対位置から、前記撮像手段と前記エッジ部とを前記エッジ部の伸びる方向に平行な方向において相対移動させ、前記撮像手段により撮像して得た前記エッジ部の画像に基づき前記エッジ部の境界部の位置座標を算出する第2の手段と、
前記第1および第2の手段にて算出した前記位置座標に基づき、前記撮像手段の撮像方向における前記撮像手段と前記エッジ部との相対位置に係る誤差を補正後の前記位置座標を算出する手段と、
前記補正後の複数の前記位置座標に基づき、前記エッジ部の真直度を算出する手段と
して機能させることを特徴とするプログラム。
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