JP2007283413A - アクチュエータ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板におけるアクチュエータ部1の形成部位に、駆動コイル5を形成し、駆動コイル5形成後、駆動コイル5と同じ側のシリコン基板面に、アクチュエータ部1を支持する支持部10形成用の支持部材を接合し、支持部材接合面と反対側のシリコン基板面を、所望の厚さまで研削してアクチュエータ部1の厚さを設定し、研削後、アクチュエータ部形成部位に、エッチングにより梁部3,3及び可動部4を形成し、その後、可動部4の裏面側に反射ミラーを形成し、チップ化する。
【選択図】図1
Description
かかる構成では、電磁駆動方式のアクチュエータとすることができる。
請求項3のように、前記可動部の前記電気配線部形成面と反対側の面に、反射ミラーを設ける構成とすれば、光走査用アクチュエータとして使用できるようになる。
請求項6のように、前記梁部及び可動部の形成工程の後に、前記可動部の電気配線部形成面と反対側の面に反射ミラーを形成する工程を設けるとよい。
図1は、本発明に係るアクチュエータの構成を示す分解斜視図である。尚、以下では、アクチュエータとして電磁駆動方式の光走査用アクチュエータである一次元ガルバノミラーを例に説明する。
図1に示すガルバノミラーは、アクチュエータ部1と、支持部10とを備えて構成する。
駆動回路から可動部4上の駆動コイル5に駆動電流を供給すると磁界が発生し、この磁界と永久磁石7,7による静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生し、梁部3,3の軸方向と平行な可動部両対辺部に互いに逆方向の電磁力が発生し、梁部3,3を軸中心として可動部4が回動する。この回動動作に伴って梁部3,3が捩じられ梁部3,3にばね力が発生する。この梁部3,3のばね力と駆動電流の供給により発生した電磁力とが釣合う位置まで可動部4が回動する。
2 外枠部
3,3 梁部
4 可動部
5 駆動コイル
8 反射ミラー
10 支持部
20 シリコン基板
30 支持部材
Claims (6)
- 半導体基板で一体形成された外枠部、梁部及び当該梁部を介して前記外枠部に回動可能に軸支される可動部を有すると共に可動部駆動用の電気信号が供給される電気配線部を有するアクチュエータ部を備えるアクチュエータであって、
前記アクチュエータ部の前記電気配線部形成面と同じ側の前記外枠部の面に、前記アクチュエータ部を支持する支持部を備える構成としたことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記電気配線部は、前記可動部に形成され通電により磁界を発生する駆動コイルであることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記可動部の前記電気配線部形成面と反対側の面に、反射ミラーを設ける構成としたことを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
- 半導体基板で一体形成された外枠部、梁部及び当該梁部を介して前記外枠部に回動可能に軸支される可動部を有すると共に可動部駆動用の電気信号が供給される電気配線部を有するアクチュエータ部を備えるアクチュエータの製造方法であって、
前記半導体基板の一方の面のアクチュエータ部形成部位に、前記電気配線部を形成する工程と、
電気配線部形成後の半導体基板の電気配線部形成側と同じ面に、前記アクチュエータ部を支持する支持部形成用の支持部材を接合する工程と、
前記支持部材接合面と反対側の半導体基板面を、前記アクチュエータ部に要求される所望の厚さまで研削する工程と、
研削後の半導体基板のアクチュエータ部形成部位に、エッチングにより梁部及び可動部を形成する工程と、
を備えることを特徴とするアクチュエータ製造方法。 - 前記電気配線部形成工程は、前記可動部上に通電により磁界を発生する駆動コイルを形成することを特徴とする請求項4に記載のアクチュエータ製造方法。
- 前記梁部及び可動部の形成工程の後に、前記可動部の電気配線部形成面と反対側の面に反射ミラーを形成する工程を設けることを特徴とする請求項4又は5に記載のアクチュエータ製造方法。
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