JP2007281355A

JP2007281355A - Wafer breaker

Info

Publication number: JP2007281355A
Application number: JP2006108757A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kodama; 浩児玉
Original assignee: Hugle Electronics Inc
Current assignee: Hugle Electronics Inc
Priority date: 2006-04-11
Filing date: 2006-04-11
Publication date: 2007-10-25

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide such a wafer breaker as surely dividing a wafer into a plurality of chips by applying a force through a film sheet at a lower side of the wafer to almost all the wafer bottom face. <P>SOLUTION: The wafer breaker comprises a division part 120 having a number of projecting portions on a plane, a rotation mechanism part 130 for revolving and rotating on its own axis the division part 120, and a driving part 140 for giving a rotational driving force to the rotation mechanism part 130, wherein the division part 120 revolves and rotates on its own axis the division part 120, so that the projecting portions 123 of the division part moving along an orbit in a trochoid curve shape apply forces from a rear side of a wafer placing plane to a film sheet 21 to divide the wafer into a plurality of chips. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体製造工程で用いられ、ハーフカットされたウェハーを角形小片であるチップへ分割するウェハーブレーカに関する。 The present invention relates to a wafer breaker that is used in a semiconductor manufacturing process and divides a half-cut wafer into chips that are square pieces.

半導体製造工程において、ウェハーの取扱いを容易にするため、ウェハーリングが使用されている。このウェハーリングにはフィルムシートが張り渡されており、このフィルムシートの所定位置にウェハーが貼付けられている。このようなウェハーの分割にはウェハーブレーカが使用される。 Wafer rings are used in semiconductor manufacturing processes to facilitate handling of wafers. A film sheet is stretched over the wafer ring, and the wafer is attached to a predetermined position of the film sheet. A wafer breaker is used for dividing the wafer.

このウェハーブレーカについて説明する。まずは、フィルムシート上のウェハーに対してハーフカットによる切込みを入れる。ハーフカットとは少しの力ですぐに破砕される程度の切り残しを設けつつ切れ目（分割ライン）を形成したものである。ウェハーブレーカは、このようなウェハーリングを搭載してウェハーに力を加え、ウェハーを複数のチップへ分割する、というものである。 This weherbreaker will be explained. First, a half cut is made on the wafer on the film sheet. Half-cut is a cut (division line) formed while leaving uncut portions that are easily crushed with a little force. A wafer herb breaker is one in which such a wafer ring is mounted and a force is applied to the wafer to divide the wafer into a plurality of chips.

なお、近年では切り残しをなくしてウェハーからチップへ完全切断できるようになっているが、分割用のディスクカッタの砥石の消耗量が増大して砥石交換回数が増え、ディスクカッタの稼働時間が少なくなるという問題があった。そこで、敢えて切り残しを残すハーフカットを採用することで砥石交換の停止時間を減少させて稼働時間を増やすこともよく行われる。 In recent years, it has become possible to completely cut from wafer to chip without leaving uncut parts, but the consumption of the grindstone of the disc cutter for splitting has increased, the number of grindstone replacements has increased, and the operating time of the disc cutter has decreased. There was a problem of becoming. Therefore, it is often performed to increase the operating time by reducing the grinding stone replacement stop time by adopting a half cut that leaves uncut portions.

また、最近ではディスクカッタ以外にもレーザー照射式の切断装置があり、ディスクカッタのように完全切断するというものではないが、照射部分の材質を変質させて脆くし、フィルムシートの下から指で押し上げる程度で容易に分割できるようになっている。
このような事情から、ウェハーブレーカの需要は少なくない。 Recently, there is a laser irradiation type cutting device other than a disc cutter, which is not completely cut like a disc cutter. It can be easily divided by pushing up.
For these reasons, there is not much demand for weher breakers.

従来技術のウェハーブレーカにおけるウェハーの分割は、以下の２種の方法による。
（１）柔らかなゴム上にウェハーを下面に、またフィルムシートを上面となるように配置し、フィルムシート上からローラをかけることでウェハーに力を加えて分割する。
（２）ハーフカットの分割ラインに合わせてブレード（薄板）をフィルムシートの下から持ち上げることでウェハーに力を加えて分割する。
ウェハーブレーカではこのようにして、ウェハーを分割する。 The wafer is divided in the prior art waferher breaker by the following two methods.
(1) The wafer is placed on a soft rubber so that the wafer is on the lower surface and the film sheet is on the upper surface, and the wafer is divided by applying a roller from above the film sheet.
(2) The blade (thin plate) is lifted from the bottom of the film sheet in accordance with the half-cut division line, and the wafer is divided by applying force.
In this way, the wafer breaker divides the wafer.

また、このようなウェハーブレーカの他の従来技術として、例えば、特許文献１（特開平１１−２５１２６７号公報）に記載された「半導体レーザ基板の劈開方法」に係る発明が知られている。具体的には、突き上げ部材により半導体レ−ザ基板の中央付近のスクライブ傷に沿って突き上げて劈開する、というものである。これは先に説明した（２）のウェハーブレーカに類似する。
従来技術のウェハーブレーカはこのようなものである。 As another prior art of such a wafer breaker, for example, an invention related to “a method of cleaving a semiconductor laser substrate” described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 11-251267) is known. Specifically, it is pushed up and cleaved along a scribe flaw near the center of the semiconductor laser substrate by a pushing member. This is similar to the (2) weher breaker described above.
A prior art weherbreaker is like this.

特開平１１−２５１２６７号公報（段落番号００１６，００１７，図１）Japanese Patent Laid-Open No. 11-251267 (paragraph numbers 0016, 0017, FIG. 1)

従来技術のウェハーブレーカでは、以下のような問題点があった。
（１）のウェハーブレーカのようにウェハーを下面に、またフィルムシートを上面となるようにして、柔らかなゴム上にウェハーが接するように配置し、フィルムシート上からローラをかけることでウェハーに力を加えて分割するようなウェハーブレーカでは、ウェハーがゴムに接する点で汚染が発生するおそれがあるという問題があった。
また、（２）や特許公報１記載のウェハーブレーカのようにハーフカットの分割ラインに合わせてブレード（薄板）をフィルムシートの下から持ち上げることでウェハーに力を加えて分割するウェハーブレーカでは、例えば、突き上げるブレード（薄板）を正確に位置決めする必要があるなど、時間を要するという問題があった。 The prior art weherbreaker has the following problems.
Place the wafer on the soft rubber so that the wafer is on the lower surface and the film sheet is on the upper surface like the wafer herb breaker of (1), and apply force to the wafer by applying a roller from the film sheet. In the case of the wafer herb breaker, which is divided by adding, there is a problem that contamination may occur at the point where the wafer contacts the rubber.
In addition, in the case of the wafer breaker that divides the wafer by applying force to the wafer by lifting the blade (thin plate) from the bottom of the film sheet in accordance with the half-cut dividing line as in the wafer breaker described in (2) and Patent Publication 1, There is a problem that it takes time, for example, it is necessary to accurately position the blade (thin plate) to be pushed up.

そこで、本発明は上記問題点を解決するためのものであり、その目的は、簡易な構成で、ウェハーの下側のフィルムシートを介して、ウェハー底面のほぼ全面に余すところなく力が加わるようにしてウェハーを複数のチップへ確実に分割するようなウェハーブレーカを提供することにある。 Therefore, the present invention is for solving the above-mentioned problems, and its purpose is to apply a force to the entire bottom surface of the wafer through the film sheet on the lower side of the wafer with a simple configuration. It is an object of the present invention to provide a wafer breaker that reliably divides a wafer into a plurality of chips.

本発明の請求項１に係るウェハーブレーカは、
ハーフカット状のウェハーがフィルムシート上に載置されたウェハーリングが設置され、ウェハー載置面の裏面からフィルムシートに力を加えてウェハーを複数片のチップに分割するウェハーブレーカにおいて、
中央に凹部が形成されるステージベースと、
ステージベースの凹部の開口面にフィルムシートを位置させるとともに、フィルムシートに張力を与えて張り渡した状態で固定する固定部と、
凹部内に設置され、平面上に多数の突起部を有する分割部と、
分割部を公転および自転させる回転機構部と、
分割部を公転および自転させるための回転駆動力を回転機構部に付与する駆動部と、
を備え、
分割部が公転および自転することでトロコイド曲線状の軌道に沿って移動する分割部の各突起部が、ウェハー載置面の裏面からフィルムシートに力を加えてウェハーを複数のチップへ分割することを特徴とする。 The weher breaker according to claim 1 of the present invention is
A wafer ring in which a wafer ring in which a half-cut wafer is placed on a film sheet is installed, and the wafer is divided into a plurality of chips by applying force to the film sheet from the back side of the wafer placement surface.
A stage base formed with a recess in the center;
The film sheet is positioned on the opening surface of the concave portion of the stage base, and a fixing portion that fixes the film sheet in a stretched state by applying tension to the film sheet;
A split portion installed in the recess and having a number of protrusions on a plane;
A rotating mechanism that revolves and rotates the split part;
A drive unit that applies a rotational drive force to the rotation mechanism unit to revolve and rotate the divided unit;
With
Each protrusion of the dividing unit that moves along the trochoidal curved track by rotating and rotating the dividing unit applies force to the film sheet from the back surface of the wafer mounting surface to divide the wafer into a plurality of chips. It is characterized by.

また、本発明の請求項２に係るウェハーブレーカは、
請求項１に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記突起部は、分割部の自転中心軸を中心とする複数同心円の円周上に位置することを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 2 of the present invention is
The weher breaker according to claim 1,
The protrusions are located on the circumference of a plurality of concentric circles centering on the rotation center axis of the division part.

また、本発明の請求項３に係るウェハーブレーカは、
請求項２に記載のウェハーブレーカにおいて、
分割部の自転中心に対する複数の同心円の中の一つの同心円が分割部の公転中心上にあるようにして突起部の軌道が公転中心を通過する軌道としたことを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 3 of the present invention is
The weher breaker according to claim 2,
One or more concentric circles of a plurality of concentric circles with respect to the rotation center of the divided portion are located on the revolution center of the divided portion, and the trajectory of the protruding portion is a trajectory passing through the revolution center.

また、本発明の請求項４に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転機構部は、
前記分割部の自転中心軸と同軸に設けられる外歯車と、
回転体形状に形成され、外歯車を回転体中心軸から偏芯させた位置で回転自在に支持する回転体と、
凹部内に設けられ、外歯車と噛合う内歯車と、
を備え、
前記駆動部からの回転駆動力により回転体を回転させて前記分割部を公転させ、かつ、内歯車との噛合いにより外歯車を回転させて分割部を自転させることを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 4 of the present invention is
In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 3,
The rotation mechanism unit is
An external gear provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and rotatably supports the external gear at a position eccentric from the central axis of the rotating body;
An internal gear provided in the recess and meshing with the external gear;
With
A rotating body is rotated by a rotational driving force from the driving unit to revolve the dividing unit, and an external gear is rotated by meshing with an internal gear to rotate the dividing unit.

また、本発明の請求項５に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転機構部は、
前記分割部の自転中心軸と同軸に設けられる外歯車と、
回転体形状に形成され、外歯車を回転体中心軸から偏芯させた位置で回転自在に支持する回転体と、
回転体に設けられ、外歯車と噛合う中間歯車と、
凹部内に設けられ、中間歯車と噛合う内歯車と、
を備え、
前記駆動部からの回転駆動力により回転体を回転させて前記分割部を公転させ、かつ、内歯車との噛合いにより中間歯車、外歯車を回転させて分割部を自転させることを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 5 of the present invention is
In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 3,
The rotation mechanism unit is
An external gear provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and that rotatably supports the external gear at a position eccentric from the central axis of the rotating body;
An intermediate gear provided on the rotating body and meshing with the external gear;
An internal gear provided in the recess and meshing with the intermediate gear;
With
A rotating body is rotated by a rotational driving force from the driving unit to revolve the dividing unit, and an intermediate gear and an external gear are rotated by meshing with an internal gear to rotate the dividing unit. .

また、本発明の請求項６に係るウェハーブレーカは、
請求項５に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転機構部は、
前記中間歯車の個数により公転に対する自転の回転方向を変える方向変換機能を有することを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 6 of the present invention is
The weher breaker according to claim 5,
The rotation mechanism unit is
It has a direction changing function of changing the rotation direction of rotation with respect to revolution depending on the number of intermediate gears.

また、本発明の請求項７に係るウェハーブレーカは、
請求項４〜請求項６の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転機構部は、前記分割部を複数回転可能としたものであり、
前記分割部の自転中心軸と同軸に設けられる外歯車と、
回転体形状に形成され、複数の分割部及び外歯車を回転体中心から偏芯させた位置で回転自在に支持する回転体と、
を備え、
前記駆動部からの回転駆動力により回転体を回転させて前記分割部を公転させ、かつ、駆動力が伝達される複数の外歯車を回転させて複数の分割部を自転させることを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 7 of the present invention is
In the weher breaker according to any one of claims 4 to 6,
The rotation mechanism unit is configured to allow the division unit to rotate a plurality of times.
An external gear provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and that rotatably supports a plurality of divided portions and an external gear at a position eccentric from the center of the rotating body;
With
A rotating body is rotated by a rotational driving force from the driving unit to revolve the dividing unit, and a plurality of external gears to which the driving force is transmitted are rotated to rotate the plurality of dividing units. .

また、本発明の請求項８に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転機構部は、
前記分割部の自転中心軸と同軸に設けられる副回転体と、
回転体形状に形成され、副回転体を回転体中心から偏芯させた位置で回転自在に支持する回転体と、
を備え、また、前記駆動部は、
前記回転体を回転させる回転体用駆動部と、
前記副回転体を回転させる分割部用駆動部と、
を備え、
前記回転体用駆動部からの回転駆動力により回転体を回転させて前記分割部を公転させ、かつ、前記分割部用駆動部からの回転駆動力により副回転体を回転させて分割部を自転させることを特徴とする。 A weher breaker according to claim 8 of the present invention is
In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 3,
The rotation mechanism unit is
A sub-rotator provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and that rotatably supports the sub-rotating body at a position eccentric from the center of the rotating body;
And the drive unit comprises:
A rotating body drive for rotating the rotating body;
A drive unit for a split unit that rotates the sub-rotator;
With
The rotating body is rotated by the rotational driving force from the rotating body driving section to revolve the dividing section, and the auxiliary rotating body is rotated by the rotational driving force from the dividing section driving section to rotate the dividing section. It is characterized by making it.

また、本発明の請求項９に係るウェハーブレーカは、
請求項８に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転体用駆動部は時間経過するにつれて公転の回転方向および／または回転数を自動的に変化させる機能を有し、かつ分割部用駆動部は時間経過するにつれて自転の回転方向および／または回転数を自動的に変化させる機能を有することを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 9 of the present invention is
In the weherbreaker according to claim 8,
The rotating body drive section has a function of automatically changing the rotation direction and / or the number of revolutions of revolution as time elapses, and the division section drive section rotates and / or rotates as time elapses. It has a function of automatically changing the number.

また、本発明の請求項１０に係るウェハーブレーカは、
請求項８または請求項９に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記回転機構部は、前記分割部を複数回転可能としたものであり、
前記分割部用駆動部が複数の分割部を駆動して、
前記回転体用駆動部からの回転駆動力により回転体が回転して複数の前記分割部を公転させ、かつ、前記分割部用駆動部の駆動力により複数の分割部を回転させて複数の分割部を自転させることを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 10 of the present invention is
In the weherbreaker according to claim 8 or 9,
The rotation mechanism unit is configured to allow the division unit to rotate a plurality of times.
The dividing unit driving unit drives a plurality of dividing units,
The rotating body is rotated by the rotational driving force from the rotating body driving unit to revolve the plurality of divided units, and the plurality of dividing units are rotated by the driving force of the dividing unit driving unit to be divided into a plurality of divided units. It is characterized by rotating the part.

また、本発明の請求項１１に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項１０の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記分割部は前記回転機構部に対して着脱可能に形成されて、同心円半径および／または前記突起部の配置を異ならせた複数の分割部から選択できるようにしたことを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 11 of the present invention is
In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 10,
The division part is formed to be detachable from the rotation mechanism part, and can be selected from a plurality of division parts having different concentric radii and / or arrangement of the protrusions.

また、本発明の請求項１２に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項１１の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記突起部は球体であり、前記分割部に対して全方向に回転するように支持されることを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 12 of the present invention is
In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 11,
The protrusion is a sphere and is supported so as to rotate in all directions with respect to the divided portion.

また、本発明の請求項１３に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項１２の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記突起部は高低差を有することを特徴とする。 A weher breaker according to claim 13 of the present invention is
In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 12,
The protrusion has a height difference.

また、本発明の請求項１４に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項１３の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
前記固定部はステージベースの凹部の周囲に形成される真空吸着部であり、真空吸着部がフィルムシートを真空吸着により吸引して凹部に張り渡されたフィルムシートを引き延ばして張力を与えつつ、フィルムシートを固定することを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 14 of the present invention is
In the weher herb breaker according to any one of claims 1 to 13,
The fixing part is a vacuum suction part formed around the recess of the stage base, and the vacuum suction part sucks the film sheet by vacuum suction and stretches the film sheet stretched over the recess while applying tension to the film. The sheet is fixed.

また、本発明の請求項１５に係るウェハーブレーカは、
請求項１〜請求項１４の何れか一項に記載のウェハーブレーカにおいて、
保持力の弱いフィルムシートからチップを剥離する力を与えてチップ剥離器として機能することを特徴とする。 Moreover, the weher breaker according to claim 15 of the present invention is
In the weaver herb breaker according to any one of claims 1 to 14,
It is characterized by functioning as a chip peeling device by applying a force for peeling the chip from a film sheet having a weak holding force.

以上、本発明によれば、簡易な構成で、ウェハーの下側のフィルムシートを介して、ウェハー底面のほぼ全面に余すところなく力が加わるようにしてウェハーを複数のチップへ確実に分割するようなウェハーブレーカを提供することができる。 As described above, according to the present invention, with a simple configuration, the wafer is surely divided into a plurality of chips through the film sheet on the lower side of the wafer so that a force is applied to almost the entire bottom surface of the wafer. Can be provided.

続いて、本発明のウェハーブレーカを実施するための最良の形態について、図に基づいて説明する。図１は本形態のウェハーブレーカの外観図である。図２は分割ステージの構造図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）はＡ−Ａ線側断面図である。図３は回転機構部の構造図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）はＢ−Ｂ線側断面図である。図４は固定部の説明図であり、図４（ａ）は固定部の構造図、図４（ｂ）は固定部の拡大図である。図５は自転および公転を説明する説明図である。 Next, the best mode for carrying out the weherbreaker of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an external view of a wafer herb breaker of this embodiment. 2A and 2B are structural views of the division stage, in which FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a cross-sectional view along line AA. 3A and 3B are structural views of the rotation mechanism, in which FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional side view taken along the line BB. 4A and 4B are explanatory views of the fixing portion. FIG. 4A is a structural diagram of the fixing portion, and FIG. 4B is an enlarged view of the fixing portion. FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining rotation and revolution.

本形態のウェハーブレーカ１０では、図１で示すように、分割ステージ１００、操作パネル２００、本体３００を備えている。ウェハーブレーカ１０にはウェハーリング２０が設置されている。 As shown in FIG. 1, the wafer breaker 10 of this embodiment includes a split stage 100, an operation panel 200, and a main body 300. The wafer ring 20 is provided with a wafer ring 20.

以下各部について説明する。
分割ステージ１００は、後に詳述するが、ハーフカットされたウェハーがフィルムシート２１上に搭載されたウェハーリング２０を固定する機能を有し、また下側から所定の力を加えることでウェハーのハーフカット部の切り残しを破砕してウェハーを複数のチップへ分割する。 Each part will be described below.
As will be described in detail later, the dividing stage 100 has a function of fixing a wafer ring 20 on which a half-cut wafer is mounted on a film sheet 21. Further, by applying a predetermined force from the lower side, the half stage of the wafer is divided. A wafer is divided into a plurality of chips by crushing uncut portions of the cut portion.

操作パネル２００は、分割ステージ１００を駆動制御するような操作信号を入力するためのパネルである。
本体３００は、分割ステージ１００、操作パネル２００を収容する筐体であるとともに、操作パネル２００や分割ステージ１００と電気的に接続される制御駆動部も備えている。この駆動制御部は、操作パネル２００からの入力信号に応じて分割ステージ１００の駆動制御を行う。 The operation panel 200 is a panel for inputting an operation signal for driving and controlling the split stage 100.
The main body 300 is a housing that houses the split stage 100 and the operation panel 200, and also includes a control drive unit that is electrically connected to the operation panel 200 and the split stage 100. This drive control unit performs drive control of the split stage 100 in accordance with an input signal from the operation panel 200.

続いて分割ステージ１００についてより詳細に説明する。
分割ステージ１００は、図２（ａ），（ｂ）で示すように、大別してステージベース１１０、分割部１２０、回転機構部１３０、駆動部１４０、固定部１５０を備える。 Next, the division stage 100 will be described in more detail.
As shown in FIGS. 2A and 2B, the division stage 100 includes a stage base 110, a division unit 120, a rotation mechanism unit 130, a drive unit 140, and a fixing unit 150.

ステージベース１１０は、ベース本体１１１、凹部１１２を備える。
ベース本体１１１は、中央に凹部１１２が形成された回転体である。ベース本体１１１の外径は、ウェハーリング２０の開口径とほぼ等しい径である。また、後述するが、ベース本体１１１の凹部１１２の内壁は、公転する分割部１２０の外周が接しないように形成される。 The stage base 110 includes a base body 111 and a recess 112.
The base body 111 is a rotating body having a recess 112 formed in the center. The outer diameter of the base body 111 is substantially the same as the opening diameter of the wafer ring 20. Moreover, although mentioned later, the inner wall of the recessed part 112 of the base main body 111 is formed so that the outer periphery of the division part 120 to revolve may not contact | connect.

分割部１２０は、移動ディスク１２１、支持部１２２、突起部１２３を備えている。
移動ディスク１２１は、図２（ａ），（ｂ）などに示すように、円板状に形成されており、平面部では支持部１２２を収容する凹部が多数形成されている。
支持部１２２は、突起部１２３を支持する。
突起部１２３は、例えば球であり、支持部１２２により回転自在に支持される。 The dividing unit 120 includes a moving disk 121, a support unit 122, and a protrusion 123.
As shown in FIGS. 2A and 2B, the moving disk 121 is formed in a disc shape, and a plurality of concave portions for accommodating the support portion 122 are formed in the plane portion.
The support part 122 supports the protrusion part 123.
The protrusion 123 is, for example, a sphere, and is rotatably supported by the support portion 122.

このような分割部１２０では、円板状である移動ディスク１２１の中心から多数の同心円上に突起部１２３を配置している。この移動ディスク１２１の中心は自転中心でもある。つまり、移動ディスク１２１が回転すると、各突起部１２３は、上から見て自転中心を中心として公転することとなる。この突起部１２３の挙動については後述する。 In such a dividing part 120, the protruding parts 123 are arranged on a large number of concentric circles from the center of the disc-shaped moving disk 121. The center of the moving disk 121 is also the center of rotation. That is, when the moving disk 121 rotates, each protrusion 123 revolves around the center of rotation when viewed from above. The behavior of the protrusion 123 will be described later.

回転機構部１３０は、分割部１２０を公転および自転させる機能を有し、詳しくは図２，図３で示すように、内歯車１３１、公転ベアリング１３２、外輪押さえ部１３３、回転体１３４、リングギア１３５、自転ベアリング１３６、外輪押さえ部１３７、外歯車１３８、内輪押さえ部１３９を備える。
内歯車１３１は、環状体の内周面に歯車が形成されたものであり、ステージベース１１０の凹部１１２内に嵌め込まれて、凹部１１２の内壁に形成された段上で固定ねじなどにより取り付けられる。
公転ベアリング１３２は、回転体１３４を回動自在に支持する。公転ベアリング１３２は、玉軸受け、ころ軸受けなどの使用が可能である。 The rotation mechanism section 130 has a function of revolving and rotating the dividing section 120. As shown in detail in FIGS. 2 and 3, the rotation mechanism section 130 has an internal gear 131, a revolving bearing 132, an outer ring pressing section 133, a rotating body 134, a ring gear. 135, a rotation bearing 136, an outer ring pressing portion 137, an outer gear 138, and an inner ring pressing portion 139.
The internal gear 131 has a gear formed on the inner peripheral surface of the annular body, is fitted into the recess 112 of the stage base 110, and is attached on the step formed on the inner wall of the recess 112 with a fixing screw or the like. .
The revolution bearing 132 supports the rotating body 134 so as to be rotatable. The revolution bearing 132 can be a ball bearing, a roller bearing, or the like.

外輪押さえ部１３３は、リング体であり、公転ベアリング１３２の外輪を内歯車１３１に対して固定する。
回転体１３４は、公転ベアリング１３２の内輪に支持される。
リングギア１３５は、環状体の外周面に歯車が形成されたものであり、公転ベアリング１３２の内輪を押さえつつ回転体１３４に取り付けられる。 The outer ring pressing portion 133 is a ring body, and fixes the outer ring of the revolution bearing 132 to the inner gear 131.
The rotating body 134 is supported by the inner ring of the revolution bearing 132.
The ring gear 135 has a gear formed on the outer peripheral surface of an annular body, and is attached to the rotating body 134 while pressing the inner ring of the revolution bearing 132.

自転ベアリング１３６は、外歯車１３８を回動自在に支持する。自転ベアリング１３６は、玉軸受け、ころ軸受けなどの使用が可能である。
外輪押さえ部１３７は、リング体であり、自転ベアリング１３６の外輪を回転体１３４に固定する。
外歯車１３８は、回転体の外周面に歯車が形成されたものであり、自転ベアリング１３６の内輪に支持される。外歯車１３８は、内歯車１３１と噛み合っている。また、外歯車１３８は、その中心軸が回転体１３４の中心軸に対して偏芯量Ｓだけ偏った位置に配置されて、自転ベアリング１３６により回転体１３４に対して回動自在に支持される。ここに偏芯量Ｓは公転半径となる。
内輪押さえ部１３９は、自転ベアリング１３６の内輪を外歯車１３８に固定する。 The rotation bearing 136 rotatably supports the external gear 138. The rotation bearing 136 can be a ball bearing, a roller bearing, or the like.
The outer ring pressing portion 137 is a ring body, and fixes the outer ring of the rotation bearing 136 to the rotating body 134.
The external gear 138 has a gear formed on the outer peripheral surface of the rotating body, and is supported by the inner ring of the rotation bearing 136. The external gear 138 meshes with the internal gear 131. Further, the external gear 138 is disposed at a position where its central axis is deviated by an eccentric amount S with respect to the central axis of the rotating body 134, and is rotatably supported by the rotating body 136 with respect to the rotating body 134. . Here, the eccentricity S is the revolution radius.
The inner ring pressing portion 139 fixes the inner ring of the rotation bearing 136 to the outer gear 138.

駆動部１４０は、分割部１２０を公転および自転させるための回転駆動力を回転機構部１３０に付与する機能を有し、ドライブギア１４１、駆動軸１４２を備えている。
ドライブギア１４１は、リングギア１３５と噛合する。ドライブギア１４１がリングギア１３５に駆動力を伝達すると、公転ベアリング１３２の内輪を介して回転体１３４が回転する。
駆動軸１４２は、ドライブギア１４１に対し、図示しないドライバからの駆動力を伝達する。 The drive unit 140 has a function of imparting a rotation driving force for rotating and rotating the dividing unit 120 to the rotation mechanism unit 130, and includes a drive gear 141 and a drive shaft 142.
The drive gear 141 meshes with the ring gear 135. When the drive gear 141 transmits the driving force to the ring gear 135, the rotating body 134 rotates via the inner ring of the revolution bearing 132.
The drive shaft 142 transmits a drive force from a driver (not shown) to the drive gear 141.

固定部１５０は、ステージベース１１０の凹部１１２の開口面にフィルムシート２１を位置させるとともに、フィルムシート２１に張力を与えて張り渡した状態で固定する機能を有する真空吸着部であり、図２，図４で示すように、環状溝１５１、排気管１５２、摩擦体１５３、滑動体１５４を備える。 The fixing unit 150 is a vacuum suction unit having a function of positioning the film sheet 21 on the opening surface of the concave portion 112 of the stage base 110 and fixing the film sheet 21 in a tensioned state. As shown in FIG. 4, an annular groove 151, an exhaust pipe 152, a friction body 153, and a sliding body 154 are provided.

環状溝１５１は、ステージベース１１０のベース本体１１１の上面に形成される環状の溝である。
排気管１５２は、環状溝１５１に連通するようにベース本体１１１の内部に形成されており、排気流路を形成している。
また、環状溝１５１の外周側（ウェハーリング２０側）には図４（ｂ）で示すように摩擦体１５３が配置される。環状溝１５１の内周側（凹部１１２側）には図４（ｂ）で示すように滑動体１５４が配置される。なお、理由は後述する。 The annular groove 151 is an annular groove formed on the upper surface of the base body 111 of the stage base 110.
The exhaust pipe 152 is formed inside the base body 111 so as to communicate with the annular groove 151, and forms an exhaust passage.
Further, a friction body 153 is arranged on the outer peripheral side (wafer ring 20 side) of the annular groove 151 as shown in FIG. As shown in FIG. 4B, a sliding body 154 is disposed on the inner peripheral side (the concave portion 112 side) of the annular groove 151. The reason will be described later.

続いて分割ステージ１００の動作について説明する。
ドライブギア１４１が回転すると、リングギア１３５に回転駆動力が伝達される。回転体１３４が公転ベアリング１３２の内輪側で回動自在に支持されており、リングギア１３５に固定される回転体１３４および外輪押さえ部１３７が一体となって回転する。 Next, the operation of the division stage 100 will be described.
When the drive gear 141 rotates, the rotational driving force is transmitted to the ring gear 135. The rotating body 134 is rotatably supported on the inner ring side of the revolution bearing 132, and the rotating body 134 fixed to the ring gear 135 and the outer ring pressing portion 137 rotate together.

このように回転体１３４が回転すると回転体１３４の中心から偏芯する外歯車１３８は公転する。さらに内歯車１３１と噛み合う外歯車１３８は、噛み合いから力を受けるが、自転ベアリング１３６により、回転体１３４に対して外歯車１３８は回転自在となっているため、外歯車１３８は自転する。また、各突起部１２３を見れば回転体１３４の中心を公転する。これら理由によりトロコイド曲線を描く突起部１２３は広範な位置を通過する軌道となり、真空で張力を与えつつ固定したフィルムシート２１の裏面から多くの箇所に力を加えてフィルムシート２１上のハーフカットされたウェハーを分割する。このように多数ある突起部１２３が分割部１２０の自転と公転とによる軌道に沿って移動するため、突起部１２３は凹部１１２の開口面の殆どの箇所を通過するような軌道となる。 When the rotating body 134 rotates in this way, the external gear 138 eccentric from the center of the rotating body 134 revolves. Further, the external gear 138 that meshes with the internal gear 131 receives a force from the meshing, but the external gear 138 rotates with respect to the rotating body 134 by the rotation bearing 136, so that the external gear 138 rotates. Moreover, if each projection part 123 is seen, the center of the rotary body 134 will revolve. For these reasons, the projection 123 that draws the trochoid curve becomes a trajectory that passes through a wide range of positions, and a half-cut on the film sheet 21 is applied by applying force to many places from the back surface of the film sheet 21 that is fixed while applying tension by vacuum. Divide the wafer. As described above, since a large number of the protrusions 123 move along the trajectory caused by the rotation and revolution of the dividing portion 120, the protrusion 123 has a trajectory that passes through most of the opening surface of the recess 112.

なお、移動ディスク１２１上に形成される突起部１２３の同心円のうち公転中心を通過する同心円を含むようにし、この同心円上に複数の突起部１２３を配置している。これにより公転中心を通過する突起部１２３の軌道が形成される。自転する移動ディスク１２１に形成される複数の同心円のうち、一つの同心円の半径を公転半径と一致させることでその同心円上に配置した突起部１２３は公転中心を通過する。分割部１２０の公転中心は円上のフィルムシート２１の中心とほぼ一致するため、フィルムシート２１の中心箇所でウェハーが分割できないような事態を回避している。 A concentric circle passing through the center of revolution is included among the concentric circles of the projection 123 formed on the moving disk 121, and a plurality of projections 123 are arranged on the concentric circle. As a result, a trajectory of the protrusion 123 passing through the revolution center is formed. By making the radius of one concentric circle coincide with the revolution radius among the plurality of concentric circles formed on the rotating moving disk 121, the projection 123 arranged on the concentric circle passes through the center of revolution. Since the revolution center of the dividing unit 120 substantially coincides with the center of the film sheet 21 on the circle, a situation where the wafer cannot be divided at the center of the film sheet 21 is avoided.

続いて、ウェハーブレーカ１０による一連の分割作業について説明する。
まず、ウェハーブレーカ１０の分割ステージ１００上にハーフカット済みウェハーが搭載されたウェハーリング２０を固定する。詳しくは図４（ｂ）で示すようにフィルムシート２１の外周部を真空吸着することで固定するというものである。半透明なフィルムシート２１を介して環状溝１５１やステージベース１１０が見えるように設置すればよいため、設置は容易である。 Next, a series of division work by the weherbreaker 10 will be described.
First, the wafer ring 20 on which the half-cut wafer is mounted is fixed on the division stage 100 of the wafer herb breaker 10. Specifically, as shown in FIG. 4B, the outer peripheral portion of the film sheet 21 is fixed by vacuum suction. Installation is easy because the annular groove 151 and the stage base 110 can be seen through the translucent film sheet 21.

フィルムシート２１と環状溝１５１とにより形成される空間は閉空間となる。この時、図示しない真空ポンプを動作させ環状溝１５１の中を負圧にすることによりフィルムシート２１は、図４（ｂ）で示すように環状溝１５１内に大気圧で押下される。特に環状溝１５１の外側にフィルムシート２１が滑らないようにする摩擦体１５３を配置し、および、環状溝１５１の内側にフィルムシート２１が良く滑るようにする滑動体１５４を配置しているため、真空吸着するとフィルムシート２１は、環状溝１５１内を高さＨだけ下降するが、真空吸着で引き下げられた分の張力は、環状溝１５１の外側は摩擦力が大きいことから、フィルムシート２１の内周部に集中して発生し、中央から外側へ引張られてフィルムシート２１は張り渡される。すると、図２（ｂ）、図４（ａ）などでも明らかなように、突起部１２３が接する箇所ではフィルムシート２１が突出する。
なお、環状溝１５１の半径方向の幅をなるべく広くとり、溝の深さは押し下げられる高さＨよりも深くすることで張力を増大させることができる。また、これら摩擦体１５３および滑動体１５４は、図４（ａ）のように配置しない構成としても良いが、上記理由によりフィルムシート２１の張力を増すために採用するほうが好ましい。 A space formed by the film sheet 21 and the annular groove 151 is a closed space. At this time, by operating a vacuum pump (not shown) to make the pressure in the annular groove 151 negative, the film sheet 21 is pushed into the annular groove 151 at atmospheric pressure as shown in FIG. In particular, the friction body 153 that prevents the film sheet 21 from slipping is arranged outside the annular groove 151, and the sliding body 154 that makes the film sheet 21 slide well inside the annular groove 151, When the vacuum suction is performed, the film sheet 21 is lowered in the annular groove 151 by the height H. However, since the tension pulled by the vacuum suction has a large frictional force outside the annular groove 151, The film sheet 21 is concentrated around the periphery and pulled from the center to the outside, and the film sheet 21 is stretched. Then, as is apparent from FIGS. 2B and 4A, the film sheet 21 protrudes at the place where the protrusion 123 contacts.
The tension can be increased by making the width of the annular groove 151 in the radial direction as wide as possible and making the depth of the groove deeper than the height H to be pushed down. Further, the friction body 153 and the sliding body 154 may be configured not to be arranged as shown in FIG. 4A. However, it is preferable to employ the friction body 153 and the sliding body 154 in order to increase the tension of the film sheet 21 for the reasons described above.

続いて、ドライブギア１４１が回転すると、分割部１２０が公転および自転する。特に公転する外歯車１３８は内歯車１３１とかみ合っており、これらの歯車比に従って自転する。自転による挙動は、図５で示すように、例えば内歯車と外歯車との歯車比１００：７０としたときに、図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）で示すように公転角度αと自転角度βとで異なるように挙動する。 Subsequently, when the drive gear 141 rotates, the dividing unit 120 revolves and rotates. In particular, the revolving external gear 138 meshes with the internal gear 131 and rotates according to the gear ratio. As shown in FIG. 5, for example, when the gear ratio of the internal gear to the external gear is 100: 70, the behavior due to rotation is as shown in FIGS. 5 (a), (b), (c), and (d). The revolving angle α and the rotation angle β behave differently.

このように分割部１２０が公転・自転を行うため、フィルムシート２１の裏側からハーフカットされたウェハーに対して押し上げるような力をフィルムシート２１の全面に色々な方向から加えるため、ウェハーは確実に分割される。 Since the dividing unit 120 performs revolution and rotation in this way, a force that pushes up the wafer half-cut from the back side of the film sheet 21 is applied to the entire surface of the film sheet 21 from various directions, so that the wafer is surely Divided.

続いて、ウェハーブレーカ１０の他の構成について説明する。図６は他の形態のウェハーブレーカの回転機構部の構造図であり、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）はＣ−Ｃ線側断面図である。図７は他の回転機構部の説明図であり、図７（ａ）は同方向回転の説明図、図７（ｂ）は同方向回転の説明図である。図８は他の回転機構部の説明図であり、図８（ａ）は逆方向回転の説明図、図８（ｂ）は逆方向回転の説明図である。 Subsequently, another configuration of the weher breaker 10 will be described. FIGS. 6A and 6B are structural views of a rotation mechanism portion of another form of the weaver breaker, FIG. 6A is a plan view, and FIG. 6B is a cross-sectional side view taken along the line CC. FIG. 7 is an explanatory view of another rotating mechanism, FIG. 7 (a) is an explanatory view of the same direction rotation, and FIG. 7 (b) is an explanatory view of the same direction rotation. FIG. 8 is an explanatory view of another rotating mechanism, FIG. 8 (a) is an explanatory view of reverse rotation, and FIG. 8 (b) is an explanatory view of reverse rotation.

本形態では、特に回転機構部１３０の内歯車１３１と外歯車１３８との間に中間歯車１６０を介在させる点以外は先に説明した形態と同じものであり、改良点のみ説明するとともに他の構成は同じ構成であるとして重複する説明を省略する。本形態では駆動部１４０が回転機構部１３０を駆動して分割部１２０を公転させると、内歯車１３１、中間歯車１６０により駆動力が伝達される外歯車１３８により分割部１２０を自転させるようにしている。これら中間歯車１６０や外歯車１３８を変更することで、外歯車１３８の自転の回転比や回転方向を変更することができる。図７（ａ），（ｂ）で示すように、分割部１２０を外すことで回転機構部１３０の歯車の噛み合い状態が見えるようにし、その上で中間歯車１６０を外し、所定回転比となるような外歯車１３８と交換した後、外歯車１３８と内歯車１３１と共に噛合う位置に中間歯車１６０を移動させれば良い。 The present embodiment is the same as the above-described embodiment except that the intermediate gear 160 is interposed between the internal gear 131 and the external gear 138 of the rotation mechanism unit 130. Only the improvements are described and other configurations are described. Are omitted because they have the same configuration. In this embodiment, when the driving unit 140 drives the rotation mechanism unit 130 to revolve the dividing unit 120, the dividing unit 120 is rotated by the external gear 138 to which the driving force is transmitted by the internal gear 131 and the intermediate gear 160. Yes. By changing the intermediate gear 160 and the external gear 138, the rotation ratio and direction of rotation of the external gear 138 can be changed. As shown in FIGS. 7A and 7B, the meshing state of the gear of the rotation mechanism unit 130 is made visible by removing the dividing unit 120, and then the intermediate gear 160 is removed, so that the predetermined rotation ratio is obtained. After replacement with the external gear 138, the intermediate gear 160 may be moved to a position where the external gear 138 and the internal gear 131 are engaged with each other.

なお、自転・公転を逆にするには、図８（ａ），（ｂ）で示すように、２個の中間歯車１６１，１６２を採用すれば良い。このように自転・公転の回転比は外歯車１３８の交換で回転比を変更することができる。また、分割部１２０の回転方向は中間歯車１６０の数（奇数個で公転・自転が同方向・偶数個で公転・自転が逆方向）を選択して変更することができる。 In order to reverse the rotation / revolution, two intermediate gears 161 and 162 may be employed as shown in FIGS. Thus, the rotation ratio of rotation / revolution can be changed by exchanging the external gear 138. The rotation direction of the dividing unit 120 can be changed by selecting the number of intermediate gears 160 (odd number of revolutions and rotations in the same direction and even number of revolutions and rotations in the reverse direction).

続いて他の形態について説明する。先の形態では、駆動部１４０を一個備えるが公転と自転との回転比が制約されるというものであった。そこで本形態では、特に公転用の駆動部と自転用の駆動部とを分ける事で回転比・回転方向を自在に調節出来るようにした。このようなウェハーブレーカのうち、特に変更点に係る分割ステージ１００について図を参照しつつ説明する。図９は分割ステージの断面構造図である。図１０は分割ステージの構造図であり、図１０（ａ）は平面図、図１０（ｂ）はＤ−Ｄ線側断面図、図１０（ｃ）は分割部用駆動部の説明図である。 Next, another embodiment will be described. In the previous embodiment, one drive unit 140 is provided, but the rotation ratio between revolution and rotation is restricted. Therefore, in this embodiment, the rotation ratio and the rotation direction can be freely adjusted by separating the revolution drive unit and the rotation drive unit in particular. Among such wafer breakers, the split stage 100 related to the change will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a cross-sectional structure diagram of the division stage. FIG. 10 is a structural diagram of the dividing stage, FIG. 10 (a) is a plan view, FIG. 10 (b) is a sectional view taken along the line DD, and FIG. .

本形態のウェハーブレーカでは分割ステージ１００の特に内部機構が相違するものであり、外観上は図１で示したような操作パネル２００、本体３００を備えるものである。以下相違点となる分割ステージ１００についてより詳細に説明する。
分割ステージ１００は、大別してステージベース１７０、分割部１２０、回転機構部１８０、駆動部１９０、固定部１５０を備える。分割部１２０、固定部１５０は先に説明した構成と同じ構成であり、同じ符号を付すとともに重複する説明を省略する。 In the weher breaker of this embodiment, the internal mechanism of the split stage 100 is particularly different, and the operation panel 200 and the main body 300 as shown in FIG. Hereinafter, the divided stage 100 as a difference will be described in more detail.
The division stage 100 includes a stage base 170, a division unit 120, a rotation mechanism unit 180, a drive unit 190, and a fixing unit 150. The dividing unit 120 and the fixing unit 150 have the same configurations as those described above, and are given the same reference numerals and redundant description is omitted.

ステージベース１７０は、ベース本体１７１、凹部１７２、孔部１７３を備える。
ベース本体１７１は、中央に凹部１７２が形成された回転体である。ベース本体１７１の外径は、ウェハーリング２０の内径とほぼ等しく、ベース本体１７１の凹部１７２の内壁は、公転する分割部１２０の外周が接しないように形成される。孔部１７３は後述する回転継手１９６が自在に移動できるように大径に形成されている。 The stage base 170 includes a base body 171, a recess 172, and a hole 173.
The base body 171 is a rotating body having a recess 172 formed at the center. The outer diameter of the base body 171 is substantially equal to the inner diameter of the wafer ring 20, and the inner wall of the recess 172 of the base body 171 is formed so that the outer periphery of the revolving split part 120 does not contact. The hole 173 has a large diameter so that a rotary joint 196 described later can freely move.

回転機構部１８０は、分割部を公転および自転させる機能を有し、詳しくは図９で示すように、リング体１８１、公転ベアリング１８２、外輪押さえ部１８３、回転体１８４、リングギア１８５、自転ベアリング１８６、外輪押さえ部１８７、副回転体１８８、内輪押さえ部１８９を備える。
リング体１８１は、環状体であり、ステージベース１１０の凹部１１２内に嵌め込まれて段上に固定ねじなどにより取り付けられる。
公転ベアリング１８２は、回転体１８４を回動自在に支持する。公転ベアリング１８２は、玉軸受け、ころ軸受けなどの使用が可能である。 The rotation mechanism portion 180 has a function of revolving and rotating the divided portion. Specifically, as shown in FIG. 9, the ring body 181, the revolving bearing 182, the outer ring pressing portion 183, the rotating body 184, the ring gear 185, and the rotation bearing. 186, an outer ring pressing portion 187, an auxiliary rotating body 188, and an inner ring pressing portion 189.
The ring body 181 is an annular body, is fitted into the recess 112 of the stage base 110, and is attached to the stage with a fixing screw or the like.
The revolution bearing 182 supports the rotating body 184 in a freely rotatable manner. The revolution bearing 182 can be a ball bearing, a roller bearing, or the like.

外輪押さえ部１８３は、リング体であり、公転ベアリング１８２の外輪をリング体１８１に対して固定する。
回転体１８４は、公転ベアリング１８２の内輪に支持される。
リングギア１８５は、環状体の外周面に歯車が形成されたものであり、公転ベアリング１８２の内輪を押さえつつ回転体１８４に取り付けられる。 The outer ring pressing portion 183 is a ring body, and fixes the outer ring of the revolution bearing 182 to the ring body 181.
The rotating body 184 is supported by the inner ring of the revolution bearing 182.
The ring gear 185 has a gear formed on the outer peripheral surface of an annular body, and is attached to the rotating body 184 while pressing the inner ring of the revolution bearing 182.

自転ベアリング１８６は、副回転体１８８を回動自在に支持する。自転ベアリング１８６は、玉軸受け、ころ軸受けなどの使用が可能である。
外輪押さえ部１８７は、リング体であり、自転ベアリング１８６の外輪を回転体１８４に固定する。
副回転体１８８は、回転体形状に形成された部材であり、自転ベアリング１８６の内輪に支持される。副回転体１８８は、その中心軸が回転体１８４の中心軸に対して偏芯量Ｓだけ偏った位置に配置されて、自転ベアリング１８６により回転体１８４に対して回動自在に支持される。ここに偏芯量Ｓは公転半径となる。
内輪押さえ部１８９は、自転ベアリング１８６の内輪を副回転体１８８に固定する。 The rotation bearing 186 supports the auxiliary rotating body 188 so as to be rotatable. The rotation bearing 186 can be a ball bearing or a roller bearing.
The outer ring pressing portion 187 is a ring body, and fixes the outer ring of the rotation bearing 186 to the rotating body 184.
The auxiliary rotator 188 is a member formed in the shape of a rotator, and is supported by the inner ring of the rotation bearing 186. The sub rotator 188 is disposed at a position where the center axis thereof is deviated by the eccentric amount S with respect to the center axis of the rotator 184, and is supported rotatably on the rotator 184 by the rotation bearing 186. Here, the eccentricity S is the revolution radius.
The inner ring pressing portion 189 fixes the inner ring of the rotation bearing 186 to the auxiliary rotating body 188.

回転体用駆動部１９０は、分割部１２０を公転させるための回転駆動力を回転機構部１８０に付与する機能を有しており、ドライブギア１９１、駆動軸１９２を備えている。
ドライブギア１９１は、リングギア１８５と噛合する。
駆動軸１９２は、ドライブギア１９１に対し、図示しないドライバからの駆動力を伝達する。
ドライブギア１９１がリングギア１８５に駆動力を伝達すると、公転ベアリング１８２の内輪を介して回転体１８４が回転する。 The rotating body drive unit 190 has a function of applying a rotation driving force for revolving the dividing unit 120 to the rotation mechanism unit 180, and includes a drive gear 191 and a drive shaft 192.
The drive gear 191 meshes with the ring gear 185.
The drive shaft 192 transmits a drive force from a driver (not shown) to the drive gear 191.
When the drive gear 191 transmits a driving force to the ring gear 185, the rotating body 184 rotates via the inner ring of the revolution bearing 182.

分割部用駆動部１９５は、分割部１２０を自転させる機能を有しており、回転継手１９６、駆動軸１９７を備えている。
回転継手１９６は、副回転体１８８と結合されており、副回転体１８８を直接回転させる機能を有する。また、副回転体１８８が公転しても折れ曲がって結合を維持する。このような回転継手１９６の使用条件（偏芯量）が許容範囲（最大３０度）内とする。
駆動軸１９７は、回転継手１９６に対して、図示しないドライバからの駆動力を伝達する。駆動軸１９７が回転継手１９６に駆動力を伝達すると、副回転体１８８が回転する。 The division unit drive unit 195 has a function of rotating the division unit 120 and includes a rotary joint 196 and a drive shaft 197.
The rotary joint 196 is coupled to the sub rotator 188 and has a function of directly rotating the sub rotator 188. Moreover, even if the subrotation body 188 revolves, it bends and maintains the coupling. The use condition (eccentricity) of the rotary joint 196 is within an allowable range (maximum 30 degrees).
The drive shaft 197 transmits a driving force from a driver (not shown) to the rotary joint 196. When the drive shaft 197 transmits a driving force to the rotary joint 196, the auxiliary rotating body 188 rotates.

続いて分割ステージ１００の動作について説明する。
ドライブギア１９１が回転すると、リングギア１８５に回転駆動力が伝達される。回転体１８４が公転ベアリング１８２により回動自在に支持されており、リングギア１８５に固定される回転体１８４および外輪押さえ部１８７が一体となって回転する。このとき回転継手１９６は追従しつつ回転する。
このように回転体１８４が回転すると回転体１８４の中心から偏芯する副回転体１８８は公転する。 Next, the operation of the division stage 100 will be described.
When the drive gear 191 rotates, the rotational driving force is transmitted to the ring gear 185. The rotating body 184 is rotatably supported by the revolution bearing 182, and the rotating body 184 fixed to the ring gear 185 and the outer ring pressing portion 187 rotate together. At this time, the rotary joint 196 rotates while following.
When the rotating body 184 rotates in this way, the sub-rotating body 188 eccentric from the center of the rotating body 184 revolves.

また、駆動軸１９７が回転継手１９６に駆動力を伝達すると、副回転体１８８に回転駆動力が伝達される。副回転体１８８が自転ベアリング１８６により回動自在に支持されており、副回転体１８８が自転する。
このようにして副回転体１８８に同軸に取付けられている分割部１２０は自転しつつ公転する。 Further, when the drive shaft 197 transmits a driving force to the rotary joint 196, the rotational driving force is transmitted to the sub-rotator 188. The sub rotator 188 is rotatably supported by the rotation bearing 186, and the sub rotator 188 rotates.
In this way, the divided portion 120 that is coaxially attached to the sub-rotator 188 revolves while rotating.

これにより、真空で張力を与えつつ固定したフィルムシート２１の裏面からトロコイド曲線を描く突起部１２３がフィルムシート２１上のハーフカットされたウェハーを分割する。多数ある突起部１２３が分割部１２０の自転と公転とによる軌道に沿って移動するため、突起部１２３の軌道は凹部の開口面の殆どの位置を通過する。 Thereby, the protrusion part 123 which draws a trochoid curve from the back surface of the film sheet 21 fixed while applying tension in a vacuum divides the half-cut wafer on the film sheet 21. Since many projecting parts 123 move along the orbit due to the rotation and revolution of the dividing part 120, the orbit of the projecting part 123 passes through almost the position of the opening surface of the recess.

このように本形態では回転体用駆動部１９０からの回転駆動力により回転体１８４を回転させて分割部１２０を公転させ、かつ、分割部用駆動部１９５からの回転駆動力により副回転体１８８を回転させて分割部１２０を自転させるようにした。
このような構成によれば、公転による回転と自転による回転とは独立する回転となり、それぞれ回転比・回転方向を互いに影響を与えずに設定することができる。 As described above, in this embodiment, the rotating body 184 is rotated by the rotational driving force from the rotating body driving section 190 to revolve the dividing section 120, and the sub-rotating body 188 is rotated by the rotational driving force from the dividing section driving section 195. Is rotated to rotate the dividing unit 120.
According to such a configuration, the rotation by revolution and the rotation by rotation are independent, and the rotation ratio and the rotation direction can be set without affecting each other.

また、回転体用駆動部１９０は駆動制御部（図示せず）の制御により時間経過するにつれて公転の回転方向および／または回転数を自動的に変化させる機能を有し、かつ分割部用駆動部１９５は駆動制御部（図示せず）の制御により時間経過するにつれて自転の回転方向および／または回転数を自動的に変化させる機能を有するようにすれば、軌道を変化できて、同じ地点でも様々な角度で通過するなど変化に富んだ軌道となるため、フィルムシート２１の全領域に対して確実に力を加えることができ、分割性能を高めることもできる。 Further, the rotating body driving unit 190 has a function of automatically changing the rotation direction and / or the number of revolutions of the revolution as time elapses under the control of a drive control unit (not shown), and the dividing unit driving unit. If 195 has a function of automatically changing the rotation direction and / or the number of rotations as time elapses under the control of a drive control unit (not shown), the trajectory can be changed. Since the trajectory is rich in changes such as passing at a certain angle, it is possible to apply a force to the entire region of the film sheet 21 and to improve the dividing performance.

続いて他の形態のウェハーブレーカについ図を参照しつつて説明する。本形態では先に説明した形態において分割部１２０を変更したものである。図１１は分割部の変更例の説明図であり、図１１（ａ）は高密度形の分割部の説明図、図１１（ｂ）は低密度形の分割部の説明図である。図１２は分割部の変更例の説明図であり、図１２（ａ）は半円形の分割部の説明図、図１２（ｂ）は複数形の分割部の説明図である。 Next, other types of weher breakers will be described with reference to the drawings. In this embodiment, the dividing unit 120 is changed in the embodiment described above. 11A and 11B are explanatory diagrams of a modification example of the dividing unit. FIG. 11A is an explanatory diagram of the high-density dividing unit, and FIG. 11B is an explanatory diagram of the low-density dividing unit. FIG. 12 is an explanatory diagram of a modification example of the dividing unit, FIG. 12A is an explanatory diagram of a semicircular dividing unit, and FIG. 12B is an explanatory diagram of a plurality of dividing units.

通常は図１１（ａ）で示すような高密度形の分割部１２０を採用するが、図１１（ｂ）で示すように低密度形の分割部１２０を採用しても良い。突起部１２３間の間隔を広げることで突起部１２３から確実に加重されるようにして加重分散を防ぐ。このように低密度形の分割部１２０であっても回転速度や回転比を考慮することで突起部１２３の軌道を調節でき、フィルムシート２１の全面で力を加えることができる。
また同心円の間で内側から高低差を設ける。内側から同心円１：高、同心円２：低、同心円３：高、同心円４：低とすることでも加重分散を防ぐ。この高低差は隣接する突起部１２３間で設けても良い。 Normally, a high-density division 120 is used as shown in FIG. 11A, but a low-density division 120 may be used as shown in FIG. 11B. By widening the interval between the projections 123, the projections 123 are reliably weighted to prevent weighted dispersion. In this way, even in the low-density divided portion 120, the trajectory of the protrusion 123 can be adjusted by considering the rotation speed and the rotation ratio, and a force can be applied to the entire surface of the film sheet 21.
In addition, a height difference is provided between the concentric circles from the inside. Concentric circle 1: high, concentric circle 2: low, concentric circle 3: high, concentric circle 4: low from the inside also prevents weighted dispersion. This height difference may be provided between adjacent protrusions 123.

また、図１２（ａ）で示すように半円形の分割部１２０を採用しても良い。突起部１２３を半円状にすると、図１１（ａ）で示した高密度形でおこるような加重分散を防ぐ。特にウェハーの下に突起部１２３が無い状態を作り突起部１２３による加重分散を解消しフィルムシート２１の折れ曲がりを確実にする。 Further, as shown in FIG. 12A, a semicircular divided portion 120 may be adopted. When the protrusion 123 is formed in a semicircular shape, the weighted dispersion that occurs in the high density form shown in FIG. In particular, a state in which there is no protrusion 123 under the wafer is created, and the weight distribution by the protrusion 123 is eliminated, and the bending of the film sheet 21 is ensured.

また、図１２（ｂ）で示すように分割部１２０を複数配置することで外周部の軌道密度の低下を防ぐようにしても良い。先に説明したように突起部１２３がない箇所の存在のため加重分散によるフィルムシート２１の変形量の減少を防ぎフィルムシート２１の折れ曲がりを確実にする。加重分散の影響がないときは分割部１２０の径を増やすようにしても良い。 In addition, as shown in FIG. 12B, a plurality of dividing portions 120 may be arranged to prevent a decrease in the track density of the outer peripheral portion. As described above, the presence of the portion without the projection 123 prevents the deformation amount of the film sheet 21 from being reduced due to weighted dispersion and ensures the film sheet 21 is bent. When there is no influence of weighted dispersion, the diameter of the dividing unit 120 may be increased.

なお、図２〜図８を用いて説明した形態では以下のような構成を追加して複数の分割部１２０を駆動することができる。回転機構部１３０は、分割部１２０と各分割部１２０の自転中心軸に設けられる外歯車１３８とを一組とし、このような組を多数備える機構部とする。そして、これら多数組みの分割部１２０・外歯車１３８を回転体中心から偏芯させた位置で回転自在に支持する回転体形状の回転体１３４と、を備える。このような回転機構部１３０は分割部１２０を複数個にわたり回転可能にしている。駆動部１４０からの回転駆動力により回転体１３４を回転させて複数の外歯車１３８およびそれぞれの外歯車１３８と連結された分割部１２０を公転させ、かつ、内歯車１３１と噛合って駆動力が伝達される複数の外歯車１３８を回転させて複数の分割部１２０を自転させる。 2 to 8, the following configuration can be added to drive the plurality of division units 120. The rotation mechanism unit 130 includes a division unit 120 and an external gear 138 provided on the rotation center axis of each division unit 120, and is a mechanism unit including a large number of such groups. A rotating body 134 having a rotating body that rotatably supports the divided parts 120 and the external gears 138 in a large number of positions at a position eccentric from the center of the rotating body. Such a rotation mechanism unit 130 enables the division unit 120 to rotate over a plurality of portions. The rotating body 134 is rotated by the rotational driving force from the driving unit 140 to revolve the plurality of external gears 138 and the divided portions 120 connected to the respective external gears 138, and mesh with the internal gear 131 to generate the driving force. The plurality of external gears 138 to be transmitted are rotated to rotate the plurality of divided portions 120.

また、図９，図１０を用いて説明した形態では以下のような構成を追加して複数の分割部１２０を駆動することができる。図示しないが、回転機構部１８０では、回転継手１９６から供給される回転力をベルト回転により複数の副回転体１８８を回転させるように伝達し、副回転体１８８を通じて分割部１２０を複数回転可能にしており、分割部用駆動部１９５が複数の分割部１２０を駆動するものである。
このようにして回転体用駆動部１９０からの回転駆動力により回転体１８４が回転して複数の分割部１２０を公転させ、かつ、分割部用駆動部１９５の駆動力により複数の副回転体１８８を回転させて複数の分割部１２０を自転させる。
これらのようにして複数の分割部１２０を回転駆動するウェハーブレーカとすることができる。 In the embodiment described with reference to FIGS. 9 and 10, the following configuration can be added to drive the plurality of division units 120. Although not shown, the rotation mechanism unit 180 transmits the rotational force supplied from the rotary joint 196 so as to rotate the plurality of sub-rotators 188 by rotating the belt, and allows the division unit 120 to rotate a plurality of times through the sub-rotators 188. The dividing unit driving unit 195 drives the plurality of dividing units 120.
In this way, the rotating body 184 is rotated by the rotational driving force from the rotating body driving section 190 to revolve the plurality of divided sections 120, and the plurality of auxiliary rotating bodies 188 are driven by the driving force of the divided section driving section 195. To rotate the plurality of dividing sections 120.
In this manner, a wafer breaker that rotationally drives the plurality of divided portions 120 can be obtained.

以上、本形態のウェハーブレーカ１０について説明した。このようなウェハーブレーカ１０では、以下のような利点がある。
（１）ウェハーやチップに接するものがなく汚染の可能性が低い。
（２）構造的にシンプルである（精密な位置決め機構が不要である）。
（３）小型軽量で作業場所の確保が容易である。
（４）チップ寸法の適用範囲が広い。
（５）作業時間が短い。
（６）フィルムシートへの接着力が弱い場合には、チップ剥離器として使用することもできる。
（７）移動体は公転により開口面をまんべんなく通過するため、単位面積当たりの軌道数（軌道密度）を半径方向では一定にすることができる。
（８）チップ寸法に影響する球体径や間隔を簡単に変更できる。
（９）中心を通らない突起部１２３を設けることで外周部の軌道数を増やしている。
（１０）分割部１２０上の同心円の各円周上に突起部を設ける構造とし、これを自転しつつ公転させたことでフィルムシート中央付近での突起部１２３との相対的な移動を確保し、公転に対する相対的な回転方向と回転数とを変えられる変速機能を持たせることができる。
（１１）突起部１２３を配置した分割部１２０を交換することで突起部１２３の間隔を変更することができる。 Heretofore, the weher herb breaker 10 of this embodiment has been described. Such a weherbreaker 10 has the following advantages.
(1) There is nothing in contact with the wafer or chip, and the possibility of contamination is low.
(2) Structurally simple (no precise positioning mechanism is required).
(3) It is small and light and it is easy to secure a work place.
(4) Wide application range of chip dimensions.
(5) Work time is short.
(6) When the adhesive force to the film sheet is weak, it can be used as a chip peeling device.
(7) Since the moving body passes through the opening surface evenly by revolution, the number of orbits per unit area (orbit density) can be made constant in the radial direction.
(8) It is possible to easily change the sphere diameter and interval that affect the chip size.
(9) The number of orbits of the outer peripheral portion is increased by providing the projection 123 that does not pass through the center.
(10) Protrusions are provided on the circumferences of the concentric circles on the dividing part 120, and revolving while rotating to ensure relative movement with the protrusions 123 near the center of the film sheet. In addition, it is possible to provide a speed change function capable of changing the rotation direction and the rotation speed relative to the revolution.
(11) The interval between the protrusions 123 can be changed by exchanging the divided part 120 on which the protrusions 123 are arranged.

このようにシンプルな構造で広範囲のチップ寸法に対応させることを目的とし突起部の描く軌道の間隔を分割中に変化させるため予め設定した条件で公転の回転方向と回転数及び自転の回転方向と回転数を時間経過に沿って複数の行程を自動的に行うウェハーブレーカを提供することができる。 With this simple structure, the rotation direction of the revolution, the rotation speed, and the rotation direction of the rotation are set in advance in order to change the interval of the orbit drawn by the protrusion during division for the purpose of accommodating a wide range of chip dimensions. It is possible to provide a wafer breaker that automatically performs a plurality of strokes over time.

本発明を実施するための最良の形態のウェハーブレーカの外観図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an external view of a best mode weher breaker for carrying out the present invention. 分割ステージの構造図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）はＡ−Ａ線側断面図である。FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a cross-sectional view along line AA. 回転機構部の構造図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）はＢ−Ｂ線側断面図である。FIG. 3A is a structural view of a rotation mechanism, FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional side view along the line BB. 固定部の説明図であり、図４（ａ）は固定部の構造図、図４（ｂ）は固定部の拡大図である。It is explanatory drawing of a fixing | fixed part, Fig.4 (a) is a structural diagram of a fixing | fixed part, FIG.4 (b) is an enlarged view of a fixing | fixed part. 自転および公転を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining rotation and revolution. 他の形態のウェハーブレーカの回転機構部の構造図であり、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）はＣ−Ｃ線側断面図である。FIG. 6A is a plan view of a rotating mechanism portion of a weherbreaker in another form, FIG. 6A is a plan view, and FIG. 回転機構部の説明図であり、図７（ａ）は同方向回転の説明図、図７（ｂ）は同方向回転の説明図である。It is explanatory drawing of a rotation mechanism part, Fig.7 (a) is explanatory drawing of rotation in the same direction, FIG.7 (b) is explanatory drawing of rotation in the same direction. 回転機構部の説明図であり、図８（ａ）は逆方向回転の説明図、図８（ｂ）は逆方向回転の説明図である。It is explanatory drawing of a rotation mechanism part, Fig.8 (a) is explanatory drawing of reverse direction rotation, FIG.8 (b) is explanatory drawing of reverse direction rotation. 分割ステージの断面構造図である。It is a sectional structure figure of a division stage. 分割ステージの構造図であり、図１０（ａ）は平面図、図１０（ｂ）はＤ−Ｄ線側断面図、図１０（ｃ）は分割部用駆動部の説明図である。FIG. 10A is a plan view, FIG. 10B is a sectional view taken along the line D-D, and FIG. 10C is an explanatory diagram of a drive unit for a split part. 分割部の変更例の説明図であり、図１１（ａ）は高密度形の分割部の説明図、図１１（ｂ）は低密度形の分割部の説明図である。It is explanatory drawing of the example of a change of a division part, Fig.11 (a) is explanatory drawing of a high-density type division part, FIG.11 (b) is explanatory drawing of a low-density type division part. 分割部の変更例の説明図であり、図１２（ａ）は半円形の分割部の説明図、図１２（ｂ）は複数形の分割部の説明図である。It is explanatory drawing of the example of a change of a division | segmentation part, Fig.12 (a) is explanatory drawing of a semicircle division | segmentation part, FIG.12 (b) is explanatory drawing of the plural division | segmentation part.

Explanation of symbols

１０：ウェハーブレーカ
１００：分割ステージ
１１０：ステージベース
１１１：ベース本体
１１２：凹部
１２０：分割部
１２１：移動ディスク
１２２：支持部
１２３：突起部
１３０：回転機構部
１３１：内歯車
１３２：公転ベアリング
１３３：外輪押さえ部
１３４：回転体
１３５：リングギア
１３６：自転ベアリング
１３７：外輪押さえ部
１３８：外歯車
１３９：内輪押さえ部
１４０：駆動部
１４１：ドライブギア
１４２：駆動軸
１５０：固定部
１５１：環状溝
１５２：排気管
１５３：摩擦体
１５４：滑動体
１６０，１６１，１６２：中間歯車
１７０：ステージベース
１７１：ベース本体
１７２：凹部
１７３：孔部
１８０：回転機構部
１８１：リング体
１８２：公転ベアリング
１８３：外輪押さえ部
１８４：回転体
１８５：リングギア
１８６：自転ベアリング
１８７：外輪押さえ部
１８８：副回転体
１８９：内輪押さえ部
１９０：回転体用駆動部
１９１：ドライブギア
１９２：駆動軸
１９５：分割部用駆動部
１９６：回転継手
１９７：駆動軸
２００：操作パネル
３００：本体
２０：ウェハーリング
２１：フィルムシート 10: Weherbreaker 100: Dividing stage 110: Stage base 111: Base body 112: Recessed part 120: Dividing part 121: Moving disk 122: Supporting part 123: Protruding part 130: Rotating mechanism part 131: Internal gear 132: Revolving bearing 133: Outer ring pressing part 134: Rotating body 135: Ring gear 136: Autorotation bearing 137: Outer ring pressing part 138: Outer gear 139: Inner ring pressing part 140: Drive part 141: Drive gear 142: Drive shaft 150: Fixed part 151: Annular groove 152 : Exhaust pipe 153: friction body 154: sliding body 160, 161, 162: intermediate gear 170: stage base 171: base body 172: recess 173: hole 180: rotating mechanism 181: ring body 182: revolution bearing 183: outer ring Presser 184: Rotating body 185: Ring gear 186 Rotating bearing 187: Outer ring pressing portion 188: Sub-rotating body 189: Inner ring pressing portion 190: Rotating body driving portion 191: Drive gear 192: Driving shaft 195: Dividing portion driving portion 196: Rotary joint 197: Driving shaft 200: Operation Panel 300: Main body 20: Wafer ring 21: Film sheet

Claims

A wafer ring in which a wafer ring in which a half-cut wafer is placed on a film sheet is installed, and the wafer is divided into a plurality of chips by applying force to the film sheet from the back side of the wafer placement surface.
A stage base formed with a recess in the center;
The film sheet is positioned on the opening surface of the concave portion of the stage base, and a fixing portion that fixes the film sheet in a stretched state by applying tension to the film sheet;
A split portion installed in the recess and having a number of protrusions on a plane;
A rotating mechanism that revolves and rotates the split part;
A drive unit that applies a rotational drive force to the rotation mechanism unit to revolve and rotate the divided unit;
With
Each protrusion of the dividing unit that moves along the trochoidal curved track by rotating and rotating the dividing unit applies force to the film sheet from the back surface of the wafer mounting surface to divide the wafer into a plurality of chips. Weherbreaker characterized by.

The weher breaker according to claim 1,
The above-mentioned protrusion part is located on the circumference of a plurality of concentric circles centering on the rotation central axis of a division part.

The weher breaker according to claim 2,
A weher breaker characterized in that a concentric circle of a plurality of concentric circles with respect to the center of rotation of the divided portion is on the center of revolution of the divided portion, and the trajectory of the projection portion passes through the center of revolution.

In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 3,
The rotation mechanism unit is
An external gear provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and rotatably supports the external gear at a position eccentric from the central axis of the rotating body;
An internal gear provided in the recess and meshing with the external gear;
With
A wafer breaker characterized in that a rotating body is rotated by a rotational driving force from the driving unit to revolve the dividing unit, and an external gear is rotated by meshing with an internal gear to rotate the dividing unit.

In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 3,
The rotation mechanism unit is
An external gear provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and rotatably supports the external gear at a position eccentric from the central axis of the rotating body;
An intermediate gear provided on the rotating body and meshing with the external gear;
An internal gear provided in the recess and meshing with the intermediate gear;
With
A rotating body is rotated by a rotational driving force from the driving unit to revolve the dividing unit, and an intermediate gear and an external gear are rotated by meshing with an internal gear to rotate the dividing unit. Weherbreaker.

The weher breaker according to claim 5,
The rotation mechanism unit is
A wafer breaker having a direction changing function of changing a rotation direction of rotation with respect to revolution depending on the number of the intermediate gears.

In the weher breaker according to any one of claims 4 to 6,
The rotation mechanism unit is configured to allow the division unit to rotate a plurality of times.
An external gear provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and that rotatably supports a plurality of divided portions and an external gear at a position eccentric from the center of the rotating body;
With
A rotating body is rotated by a rotational driving force from the driving unit to revolve the dividing unit, and a plurality of external gears to which the driving force is transmitted are rotated to rotate the plurality of dividing units. Weherbreaker.

In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 3,
The rotation mechanism unit is
A sub-rotator provided coaxially with the rotation center axis of the divided portion;
A rotating body that is formed in a rotating body shape and that rotatably supports the sub-rotating body at a position eccentric from the center of the rotating body;
And the drive unit comprises:
A rotating body drive for rotating the rotating body;
A drive unit for a split unit that rotates the sub-rotator;
With
The rotating body is rotated by the rotational driving force from the rotating body driving section to revolve the dividing section, and the auxiliary rotating body is rotated by the rotational driving force from the dividing section driving section to rotate the dividing section. Weherbreaker characterized by letting it.

In the weherbreaker according to claim 8,
The rotating body drive section has a function of automatically changing the rotation direction and / or the number of revolutions of revolution as time elapses, and the division section drive section rotates and / or rotates as time elapses. Weher breaker characterized by having a function of automatically changing the number.

In the weherbreaker according to claim 8 or 9,
The rotation mechanism unit is configured to allow the division unit to rotate a plurality of times.
The dividing unit driving unit drives a plurality of dividing units,
The rotating body is rotated by the rotational driving force from the rotating body driving unit to revolve the plurality of divided units, and the plurality of dividing units are rotated by the driving force of the dividing unit driving unit to be divided into a plurality of divided units. Weherbreaker characterized by rotating part.

In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 10,
The wafer breaker characterized in that the division part is formed so as to be detachable from the rotation mechanism part, and can be selected from a plurality of division parts having different concentric radii and / or different arrangements of the protrusions.

In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 11,
The protrusion has a spherical shape and is supported so as to rotate in all directions with respect to the divided portion.

In the weaver breaker according to any one of claims 1 to 12,
The weave breaker, wherein the protrusion has a height difference.

In the weher herb breaker according to any one of claims 1 to 13,
The fixing part is a vacuum suction part formed around the recess of the stage base, and the vacuum suction part sucks the film sheet by vacuum suction and stretches the film sheet stretched over the recess while applying tension to the film. Weherbreaker characterized by fixing the sheet.

In the weaver herb breaker according to any one of claims 1 to 14,
Weher breaker characterized by functioning as a chip peeler by applying a force to peel chips from a film sheet with weak holding power.