JP2007278725A - 物理量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1センサ部が圧力の変化に対してセンサ出力を変化させられる第1圧力レンジと第2センサ部が圧力の変化に対してセンサ出力を変化させられる第2圧力レンジとを異ならせると共に、第1圧力レンジと第2圧力レンジとを連続させ、第1圧力レンジおよび第2圧力レンジにて圧力を検出したいレンジ全域をカバーする。このような圧力センサによれば、第1センサ部および第2センサ部のそれぞれで検出したい圧力レンジ全域をカバーしつつ、各圧力レンジにおいて高い感度で圧力検出が行える。したがって、広範囲な圧力検出が行えると共に微小な圧力変化も検出することが可能になる。
【選択図】図2
Description
図1に、本発明の一実施形態を適用した圧力センサの回路構成を示す。以下、図1に基づき圧力センサの構成について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して圧力−出力電圧特性を変更したものであり、その他、例えば圧力センサの回路構成等に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して圧力−出力電圧特性を変更したものであり、その他、例えば圧力センサの回路構成等に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第1実施形態に対して圧力センサの回路構成の一部と圧力−出力電圧特性を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第4実施形態に対して圧力−出力電圧特性を変更したものであり、その他、例えば圧力センサの回路構成等に関しては第4実施形態と同様であるため、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
上記各実施形態では、物理量センサとして圧力センサを例に挙げて説明したが、圧力センサに限らず、電流センサ、光度センサ、トルクセンサ、荷重センサ、加速度センサ、ヨーレートセンサ、温度センサ、湿度センサなど、他の物理量の検出に用いられるセンサに対しても、上記のような物理量−出力電圧特性とすることで、上記各実施形態と同様の効果を得ることができる。
Claims (5)
- 測定対象となる物理量の変化に応じたセンサ出力を発生させる第1センサ部(1、3)および第2センサ部(2、4)を有してなる物理量センサであって、
前記第1センサ部(1、3)が物理量の変化に対してセンサ出力を変化させられる第1物理量レンジと前記第2センサ部(2、4)が物理量の変化に対してセンサ出力を変化させられる第2物理量レンジとが異なっており、前記第1物理量レンジと前記第2物理量レンジは共に物理量を検出したいレンジ全域に対して一部とされており、前記第1物理量レンジと前記第2物理量レンジとが連続していることにより、前記第1物理量レンジおよび前記第2物理量レンジにて前記物理量を検出したいレンジ全域とされていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記第1物理量レンジと前記第2物理量レンジが部分的にオーバラップしていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 測定対象となる物理量の変化に応じたセンサ出力を発生させる第1センサ部(1、3)および第2センサ部(2、4)を有してなる物理量センサであって、
前記第1センサ部(1、3)が物理量の変化に対してセンサ出力を変化させられる第1物理量レンジと前記第2センサ部(2、4)が物理量の変化に対してセンサ出力を変化させられる第2物理量レンジとが異なっていると共に、前記第1センサ部(1、3)における物理量変化に対するセンサ出力特性を示す直線の勾配が前記第2センサ部(2、4)における物理量変化に対するセンサ出力特性を示す直線の勾配と比べて大きくされており、前記第1物理量レンジは物理量を検出したいレンジ全域に対して一部とされ、前記第2物理量レンジは物理量を検出したいレンジ全域とされていることを特徴とする物理量センサ。 - 測定対象となる物理量の変化に応じたセンサ出力を発生させる第1センサ部(1、3)および第2センサ部(2、4)を有してなる物理量センサであって、
前記第1センサ部(1、3)が物理量の変化に対してセンサ出力を変化させられる第1物理量レンジは物理量を検出したいレンジ全域もしくはその一部とされ、前記第2センサ部(2、4)が物理量の変化に対してセンサ出力を変化させられる第2物理量レンジは物理量を検出したいレンジ全域とされており、前記第1センサ部(1、3)は前記第1物理量レンジにおいて複数段に物理量に対するセンサ出力の特性を切替え、前記複数段それぞれにおいて前記第1センサ部(1、3)における物理量変化に対するセンサ出力特性を示す直線の勾配が前記第2センサ部(2、4)における物理量変化に対するセンサ出力特性を示す直線の勾配よりも大きくされていることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の物理量センサが前記測定対象となる物理量を圧力とする圧力センサである場合において、前記第1センサ部(1、3)および前記第2センサ部(2、4)における感度およびオフセットを補正することにより、前記第1センサ部(1、3)における物理量変化に対するセンサ出力特性を示す直線の勾配および切片と、前記第2センサ部(2、4)における物理量変化に対するセンサ出力特性を示す直線の勾配および切片が設定されていることを特徴とする圧力センサ。
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