JP2007266137A - Laser device and laser module - Google Patents

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友里 山下
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友一 寺村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser device and laser module which can be prevented from a decline in light use efficiency due to the contamination of an optical fiber by dust, etc. caused by the optical dust collection effect and can also prevent burn-in, damages, etc. at a light collecting position having a high light density. <P>SOLUTION: The laser device comprises the optical fiber 30; the laser module 10 which has such a structure that a semiconductor laser 12 for emitting laser light and a lens 16 for condensing the laser light are stored in a housing 14 and which can be connected to the optical fiber 30; and a vibration element 40 which changes the relative position between the condensing position A of the laser light and a laser light incident-side end face of the optical fiber 30. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、レーザー装置及びレーザーモジュールに係り、特に、半導体レーザー等のレーザー光源を備えたレーザーモジュールと光ファイバーの一端とを接続し、その光ファイバーの他端からレーザー光を出射するレーザー装置及びレーザーモジュールに関する。   The present invention relates to a laser device and a laser module, and in particular, a laser device and a laser module that connect a laser module having a laser light source such as a semiconductor laser and one end of an optical fiber and emit laser light from the other end of the optical fiber. About.

光ファイバーのレーザー光入射面のように強烈なレーザー光が照射される部位では、光ファイバーをフェルールに取り付ける際に使用する接着剤からのアウトガスがエネルギー密度の高いレーザー光によって光化学反応して表面に付着し、固体または液体物質として蓄積してしまい、光ファイバーへの結合効率を著しく低下させる現象があり問題となっていた。   In areas where intense laser light is irradiated, such as the laser light incident surface of an optical fiber, the outgas from the adhesive used to attach the optical fiber to the ferrule is photochemically reacted by the laser beam with high energy density and attached to the surface. However, it accumulates as a solid or liquid substance, causing a problem that the coupling efficiency to the optical fiber is remarkably reduced.

この問題を解決するため、特許文献1には、光ファイバーのレーザー光入射面を含むフェルール先端面に光透過性かつガスバリヤ性を有する部材(SiO2膜)を形成した半導体レーザーモジュールが開示されている。   In order to solve this problem, Patent Document 1 discloses a semiconductor laser module in which a light transmissive and gas barrier member (SiO 2 film) is formed on the ferrule tip surface including the laser light incident surface of an optical fiber.

また、特許文献2には、半導体レーザーモジュールを構成する各々の光学部品、あるいは光ファイバーアレイの光出力端面に光集塵効果によって有機物が付着、吸着することで光利用効率が劣化するのを防止するために、半導体レーザー内部の内壁面や半導体レーザーモジュール内の光通過領域や光ファイバーの入出射面の少なくとも1つに、半導体レーザーから出されたレーザー光により活性化する光触媒層をコーティングした半導体レーザーモジュールが開示されている。
特開2005−215426号公報 特開2004−179595号公報
Japanese Patent Laid-Open No. 2004-228561 prevents light utilization efficiency from deteriorating due to the adhering and adsorbing of organic substances on the light output end face of each optical component or optical fiber array constituting the semiconductor laser module. Therefore, a semiconductor laser module in which a photocatalyst layer activated by laser light emitted from a semiconductor laser is coated on at least one of an inner wall surface inside the semiconductor laser, a light passage region in the semiconductor laser module, and an incident / exit surface of the optical fiber Is disclosed.
JP 2005-215426 A JP 2004-179595 A

しかしながら、特許文献1に記載された技術では、接着剤からのアウトガスを防止することはできるものの、もともと空中に浮遊しているゴミや有機揮発物による汚れ等に対しては効果がない。   However, although the technique described in Patent Document 1 can prevent outgas from the adhesive, it has no effect on dirt or dirt caused by organic volatiles floating in the air.

また、特許文献2に記載された技術では、光触媒膜は低温でコートすると黒っぽく着色するため、吸収によりロスが大きくなる、コート膜が破壊する、などの問題があった。一方、吸収を抑制するために高温でコートすると、今度は光ファイバーが樹脂で被覆されているため、樹脂が溶けてしまうなどの問題があった。   Further, the technique described in Patent Document 2 has problems such as a loss of loss due to absorption and destruction of the coating film because the photocatalytic film is colored black when coated at a low temperature. On the other hand, if the coating is performed at a high temperature in order to suppress absorption, there is a problem that the resin melts because the optical fiber is coated with the resin.

本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、光集塵効果によるゴミ等によって光ファイバーが汚染されて光利用効率が低下するのを防ぐことができると共に、光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができるレーザー装置及びレーザーモジュールを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and can prevent the optical fiber from being contaminated by dust or the like due to the light dust collection effect, thereby reducing the light utilization efficiency, and can collect light with high light density. It is an object of the present invention to provide a laser device and a laser module that can prevent image sticking, damage, and the like from occurring at a position.

上記課題を解決するため、請求項1記載の発明のレーザー装置は、光ファイバーと、前記光ファイバーを接続可能であって、レーザー光を出射するレーザー光源及び前記レーザー光を集光させる集光レンズが収容体に収容されたレーザーモジュールと、前記レーザー光の集光位置と前記光ファイバーの前記レーザー光の入射側端面との相対位置を変動させる変動手段と、を備えたことを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the laser device according to claim 1 is capable of connecting an optical fiber and the optical fiber, and contains a laser light source that emits laser light and a condensing lens that condenses the laser light. It is characterized by comprising: a laser module housed in a body; and fluctuating means that fluctuates the relative position between the condensing position of the laser light and the incident side end face of the optical fiber of the optical fiber.

この発明によれば、レーザー光の集光位置と光ファイバーのレーザー光の入射側端面との相対位置を変動させる変動手段を備えた構成としたので、光集塵効果によるゴミ等によって光ファイバーが汚染されて光利用効率が低下するのを防ぐことができると共に、光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができる。   According to the present invention, the optical fiber is contaminated by dust or the like due to the light dust collection effect because the variation means for varying the relative position between the condensing position of the laser light and the incident side end face of the optical fiber is provided. Therefore, it is possible to prevent the light utilization efficiency from being lowered and to prevent the occurrence of image sticking or damage at a light condensing position with a high light density.

なお、請求項2に記載したように、前記変動手段は、前記光ファイバーを振動させる振動手段である構成とすることができる。   According to a second aspect of the present invention, the fluctuating unit may be a vibrating unit that vibrates the optical fiber.

この場合、請求項3に記載したように、前記振動手段は、前記光ファイバーを保持するフェルールを振動させる構成とすることができる。   In this case, as described in claim 3, the vibrating means may be configured to vibrate the ferrule that holds the optical fiber.

また、請求項4に記載したように、前記光ファイバーを保持するフェルールが前記収容体に固定されると共に、前記光ファイバーの一部が前記収容体内に延伸され、前記振動手段は、前記収容体内に延伸した光ファイバーを振動させる構成としてもよい。   According to a fourth aspect of the present invention, a ferrule that holds the optical fiber is fixed to the housing, a part of the optical fiber is stretched into the housing, and the vibration unit is stretched into the housing. The optical fiber may be configured to vibrate.

また、請求項5に記載したように、前記収容体内に、液体が充填された液体室をさらに備え、前記液体室内に前記光ファイバーの一部が延伸されると共に、前記振動手段は、前記液体を振動させることにより前記光ファイバーを振動させる構成としてもよい。   According to a fifth aspect of the present invention, the container further includes a liquid chamber filled with a liquid, and a part of the optical fiber is extended into the liquid chamber. It is good also as a structure which vibrates the said optical fiber by vibrating.

また、請求項6に記載したように、前記変動手段は、前記光ファイバーのコアに入射される前記レーザー光のスポット径が前記コア径内となるように、前記相対位置を変動させることが好ましい。   According to a sixth aspect of the present invention, the changing means preferably changes the relative position so that the spot diameter of the laser light incident on the core of the optical fiber is within the core diameter.

また、請求項7に記載したように、前記振動手段はピエゾ素子又は超音波振動素子である構成とすることができる。   According to a seventh aspect of the present invention, the vibration means may be a piezo element or an ultrasonic vibration element.

また、請求項8に記載したように、前記レーザー光源は、波長が350nmから500nmの範囲内の波長のレーザー光を出射する構成とすることができる。   In addition, as described in claim 8, the laser light source may be configured to emit laser light having a wavelength within a range of 350 nm to 500 nm.

請求項9記載の発明のレーザーモジュールは、光ファイバーを接続可能であって、レーザー光を出射するレーザー光源及び前記レーザー光を集光させる集光レンズが収容体に収容されたレーザーモジュールであって、前記レーザー光の集光位置と前記光ファイバーの前記レーザー光の入射側端面との相対位置を変動させる変動手段と、を備えたことを特徴とする。   The laser module of the invention according to claim 9 is a laser module in which an optical fiber can be connected, and a laser light source that emits laser light and a condensing lens that condenses the laser light are housed in a housing body, And fluctuating means for fluctuating the relative position between the condensing position of the laser light and the laser light incident side end surface of the optical fiber.

本発明によれば、光集塵効果によるゴミ等によって光ファイバーが汚染されて光利用効率が低下するのを防ぐことができると共に光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができる、という効果を有する。   According to the present invention, it is possible to prevent the optical fiber from being contaminated by dust or the like due to the light dust collection effect and to reduce the light utilization efficiency, and to prevent the occurrence of burn-in, damage, or the like at a high light density condensing position. Has the effect of being able to.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1には、本実施形態に係るレーザー装置1の側面の概略断面図を示した。レーザー装置1は、レーザーモジュール10に光ファイバーケーブル24が接続されて構成されている。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a side surface of the laser device 1 according to this embodiment. The laser device 1 is configured by connecting an optical fiber cable 24 to a laser module 10.

レーザーモジュール10は、一例として外形が略円筒状である。そして、レーザーモジュール10は半導体レーザー12を備えており、ハウジング14内に収容されている。   As an example, the laser module 10 has a substantially cylindrical outer shape. The laser module 10 includes a semiconductor laser 12 and is accommodated in a housing 14.

半導体レーザー12は、例えば紫外光域の波長(例えば400nm)のレーザー光を出射する半導体レーザーを用いることができる。なお、本発明は、光集塵効果が発生しやすい波長、例えば350nm〜500nmの波長のレーザー光を出力する半導体レーザー12を用いる場合に特に効果がある。   As the semiconductor laser 12, for example, a semiconductor laser that emits laser light having a wavelength in the ultraviolet region (for example, 400 nm) can be used. The present invention is particularly effective when the semiconductor laser 12 that outputs laser light having a wavelength at which a light dust collecting effect is likely to occur, for example, a wavelength of 350 nm to 500 nm, is used.

半導体レーザー12のレーザー光の出射側には、レンズ16が設けられている。このレンズ16は、レンズホルダ18によってハウジング14内に固定されている。   A lens 16 is provided on the laser beam emission side of the semiconductor laser 12. The lens 16 is fixed in the housing 14 by a lens holder 18.

また、ハウジング14には、半導体レーザー12から出射され、レンズ16を透過したレーザー光をハウジング14の外部へ出射するための窓部(孔)19が設けられている。半導体レーザー12から出射されレンズ16を透過したレーザー光は、この窓部19を通過してレーザーモジュール10の外部へ出射される。   The housing 14 is provided with a window (hole) 19 for emitting laser light emitted from the semiconductor laser 12 and transmitted through the lens 16 to the outside of the housing 14. Laser light emitted from the semiconductor laser 12 and transmitted through the lens 16 passes through the window portion 19 and is emitted to the outside of the laser module 10.

なお、レンズ16は、半導体レーザー12から出射されたレーザー光が、窓部19のレーザー光出射側の端部(図1に示すA点)付近に集光されるような開口率を有する。これにより、レンズ16を透過したレーザー光は、後述する光ファイバーケーブルの端部との接続位置である図1に示すA点付近に集光される。   The lens 16 has an aperture ratio such that the laser light emitted from the semiconductor laser 12 is condensed near the end portion (point A shown in FIG. 1) of the window portion 19 on the laser light emission side. As a result, the laser light that has passed through the lens 16 is condensed in the vicinity of point A shown in FIG. 1, which is a connection position with an end portion of an optical fiber cable described later.

また、ハウジング14のレーザー光の出力端側は、後述する光ファイバーケーブルのフェルールを保持するためのフェルール保持部14Aが設けられたレセプタクル構造となっており、略円筒状の凹部が形成されている。この凹部に後述する光ファイバーケーブルの一端が挿入される。   Further, the laser beam output end side of the housing 14 has a receptacle structure in which a ferrule holding portion 14A for holding a ferrule of an optical fiber cable described later is provided, and a substantially cylindrical recess is formed. One end of an optical fiber cable described later is inserted into the recess.

光ファイバーケーブル24は、コア26の周囲にクラッド28が形成され、これが被覆材29によって被覆された光ファイバー30を備え、被覆材29が除去された一端側にフェルール32が取り付けられた構成である。この光ファイバーケーブル24のフェルール32側がレーザーモジュール10のフェルール保持部14A内に挿入されることにより両者が接続される。   The optical fiber cable 24 has a configuration in which a clad 28 is formed around a core 26, an optical fiber 30 covered with a covering material 29, and a ferrule 32 is attached to one end side where the covering material 29 is removed. By inserting the ferrule 32 side of the optical fiber cable 24 into the ferrule holding part 14A of the laser module 10, both are connected.

また、フェルール保持部14Aの内周部には、振動素子40が取り付けられており、この振動素子40には制御部42及び電源部44が接続されている。振動素子40は、例えばピエゾ素子や超音波振動素子等で構成されるが、これに限られるものではない。振動素子40は、電源部44によって電源供給され、制御部42によって振動制御される。   A vibration element 40 is attached to the inner periphery of the ferrule holding part 14A, and a control part 42 and a power supply part 44 are connected to the vibration element 40. The vibration element 40 includes, for example, a piezoelectric element or an ultrasonic vibration element, but is not limited thereto. The vibration element 40 is supplied with power by the power supply unit 44 and is vibration-controlled by the control unit 42.

また、図1に示すように、フェルール保持部14Aは、挿入されたフェルール32との間にわずかな隙間46が生じた状態でフェルール32を保持している。従って、フェルール32によって保持された光ファイバー30を良好に振動させることができる。   Further, as shown in FIG. 1, the ferrule holding unit 14 </ b> A holds the ferrule 32 in a state where a slight gap 46 is generated between the ferrule 32 and the inserted ferrule 32. Accordingly, the optical fiber 30 held by the ferrule 32 can be vibrated satisfactorily.

制御部42は、半導体レーザー12が発光中に振動素子40を常時振動させる。これにより、レーザー光の集光位置と光ファイバー30のレーザー光の入射側端面との相対位置が常時変動するため、光集塵効果によって有機物が光ファイバー30に付着して光利用効率が低下するのを防ぐことができる。また、光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができる。   The control unit 42 constantly vibrates the vibration element 40 while the semiconductor laser 12 emits light. As a result, the relative position between the condensing position of the laser light and the laser light incident side end face of the optical fiber 30 constantly fluctuates, so that the organic matter adheres to the optical fiber 30 due to the light dust collection effect, and the light utilization efficiency decreases. Can be prevented. In addition, it is possible to prevent image burn-in, damage, and the like from occurring at a light collecting position where the light density is high.

なお、制御部42は、光ファイバー30の振動振幅が、次式で示す最大振動振幅値ΔX以下となるように振動素子40を制御することが好ましい。   Note that the control unit 42 preferably controls the vibration element 40 so that the vibration amplitude of the optical fiber 30 is equal to or less than the maximum vibration amplitude value ΔX represented by the following equation.

ΔX=d−ω0 ・・・(1)
ここで、dは光ファイバー30のコア26のコア径(直径)、ω0は光ファイバー30のレーザー光の入射面におけるレーザー光の強度が1/e2のビーム径である。例えばコア径dが60μm、レーザー光のビーム径が10μmの場合、最大振動振幅値ΔXは50μmとなる。
ΔX = d−ω0 (1)
Here, d is the core diameter (diameter) of the core 26 of the optical fiber 30, and ω0 is the beam diameter at which the intensity of the laser light on the laser light incident surface of the optical fiber 30 is 1 / e 2 . For example, when the core diameter d is 60 μm and the beam diameter of the laser beam is 10 μm, the maximum vibration amplitude value ΔX is 50 μm.

このように、光ファイバー30の振動振幅が最大振動振幅値ΔX以下となるように制御することにより、光ファイバー30を振動させても損失を抑えつつ確実にレーザー光を光ファイバー30に入射させることができる。   As described above, by controlling the vibration amplitude of the optical fiber 30 to be equal to or less than the maximum vibration amplitude value ΔX, even when the optical fiber 30 is vibrated, the laser light can be reliably incident on the optical fiber 30 while suppressing loss.

なお、制御部42は、半導体レーザー12が発光していない時に例えば定期的に振動素子40を振動させるように制御してもよい。これにより、光ファイバー30に付着したゴミ等を除去することができる。   Note that the control unit 42 may control the vibrating element 40 to vibrate periodically, for example, when the semiconductor laser 12 is not emitting light. Thereby, dust or the like attached to the optical fiber 30 can be removed.

次にレーザー装置の変形例について説明する。なお、図1に示すレーザー装置1と同一部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。   Next, a modified example of the laser device will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the laser apparatus 1 shown in FIG. 1, and the detailed description is abbreviate | omitted.

まず、図2に、第1の変形例に係るレーザー装置1Aを示した。レーザー装置1Aは、レーザーモジュール10Aと光ファイバーケーブル24Aとが接続されて成り、同図に示すように、光ファイバー30のフェルール32がフェルール保持部14Aによって保持されている。フェルール保持部14Aは、ハウジング14に例えば溶接等によって固定され、ハウジング14内が密閉されている。   First, FIG. 2 shows a laser device 1A according to a first modification. The laser apparatus 1A is configured by connecting a laser module 10A and an optical fiber cable 24A, and as shown in the figure, a ferrule 32 of the optical fiber 30 is held by a ferrule holding portion 14A. The ferrule holding part 14A is fixed to the housing 14 by welding or the like, for example, and the inside of the housing 14 is sealed.

そして、フェルール保持部14Aに保持されたフェルール32から光ファイバー30がハウジング14内に延伸されており、この延伸された光ファイバー30に振動素子40が取り付けられている。なお、半導体レーザー12から出射されたレーザー光は、ハウジング14内に延伸された光ファイバー30の端部(図中A点)付近に集光される。   The optical fiber 30 is extended into the housing 14 from the ferrule 32 held by the ferrule holding portion 14 </ b> A, and the vibrating element 40 is attached to the extended optical fiber 30. The laser light emitted from the semiconductor laser 12 is collected near the end portion (point A in the figure) of the optical fiber 30 that is extended into the housing 14.

制御部42の振動制御によって振動素子40が振動すると、ハウジング14内に延伸された光ファイバー30の先端が振動する。これにより、レーザー光の集光位置と光ファイバー30のレーザー光の入射側端面との相対位置が変動するため、光集塵効果によって有機物が光ファイバー30に付着して光利用効率が低下するのを防ぐことができる。また、光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができる。   When the vibration element 40 vibrates by the vibration control of the control unit 42, the tip of the optical fiber 30 extended into the housing 14 vibrates. As a result, the relative position between the condensing position of the laser light and the laser light incident side end face of the optical fiber 30 is fluctuated, so that the organic matter is prevented from adhering to the optical fiber 30 due to the light dust collection effect, thereby preventing the light utilization efficiency from being lowered. be able to. In addition, it is possible to prevent image burn-in, damage, and the like from occurring at a light collecting position where the light density is high.

なお、図2では、光ファイバー30のみがハウジング14内に延伸した構成としているが、フェルール32と共にハウジング14内に延伸した構成とし、フェルール32ごと振動させる構成としてもよい。   In FIG. 2, only the optical fiber 30 is extended into the housing 14. However, the optical fiber 30 may be extended into the housing 14 together with the ferrule 32 and may be configured to vibrate together with the ferrule 32.

次に、図3に、第2の変形例に係るレーザー装置1Bを示した。レーザー装置1Aは、レーザーモジュール10Bと光ファイバーケーブル24Aとが接続されて成り、同図に示すように、レーザーモジュール10Bのハウジング14内に、液体50が充填された液体室52が設けられており、この液体室52内に光ファイバー30の先端側が延伸している。そして、液体室52の底面とハウジング14との間に振動素子40が取り付けられている。   Next, FIG. 3 shows a laser device 1B according to a second modification. The laser device 1A is formed by connecting a laser module 10B and an optical fiber cable 24A. As shown in the figure, a liquid chamber 52 filled with a liquid 50 is provided in the housing 14 of the laser module 10B. The front end side of the optical fiber 30 extends into the liquid chamber 52. The vibration element 40 is attached between the bottom surface of the liquid chamber 52 and the housing 14.

このような構成の場合、制御部42の振動制御により振動素子40が振動すると、液体室52内に発生するキャビテーションにより液体室52内に延伸された光ファイバー30の先端が振動する。これにより、レーザー光の集光位置と光ファイバー30のレーザー光の入射側端面との相対位置が変動するため、光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができる。また、光ファイバー30の先端の周囲が液体50で満たされているため、ゴミ等が付着するのを防ぐことができる。   In such a configuration, when the vibration element 40 vibrates due to vibration control of the control unit 42, the tip of the optical fiber 30 extended into the liquid chamber 52 vibrates due to cavitation generated in the liquid chamber 52. Thereby, since the relative position of the condensing position of a laser beam and the incident side end surface of the optical fiber 30 fluctuates, it is possible to prevent image sticking or damage from occurring at a condensing position with a high light density. Further, since the periphery of the tip of the optical fiber 30 is filled with the liquid 50, it is possible to prevent dust and the like from adhering.

次に、図4に、第3の変形例に係るレーザー装置1Cを示した。レーザー装置1Cは、レーザーモジュール10Cと光ファイバーケーブル24とが接続されて成り、同図に示すように、レーザーモジュール10Cのハウジング14にレーザー光の出射窓部にガラススタブ54が設けられている。そして、このガラススタブ54とフェルール保持部14A内に挿入された光ファイバーケーブル24のレーザー光の入射側の端面とが当接した状態で、レーザーモジュール10Cと光ファイバーケーブル24とが接続されている。これにより、光集塵効果によって有機物が光ファイバー30に付着して光利用効率が低下するのを防ぐことができる。   Next, FIG. 4 shows a laser device 1C according to a third modification. The laser device 1C is formed by connecting a laser module 10C and an optical fiber cable 24. As shown in the drawing, a glass stub 54 is provided at a laser light exit window portion of the housing 14 of the laser module 10C. The laser module 10C and the optical fiber cable 24 are connected in a state where the glass stub 54 and the end face on the laser light incident side of the optical fiber cable 24 inserted into the ferrule holding portion 14A are in contact with each other. Thereby, it can prevent that organic substance adheres to the optical fiber 30 by light dust collection effect, and light use efficiency falls.

また、フェルール保持部14Aの内周部に、ガラススタブ54及びフェルール保持部14Aを同時に振動させる振動素子40が設けられている。   In addition, a vibrating element 40 that vibrates the glass stub 54 and the ferrule holding portion 14A at the same time is provided on the inner peripheral portion of the ferrule holding portion 14A.

制御部42の振動制御により振動素子40が振動すると、ガラススタブ54及びフェルール32が同時に振動し、光ファイバー30の先端が振動する。これにより、レーザー光の集光位置と光ファイバー30のレーザー光の入射側端面との相対位置が変動するため、光密度の高い集光位置において焼き付きや損傷等が発生するのを防ぐことができる。   When the vibration element 40 vibrates by vibration control of the control unit 42, the glass stub 54 and the ferrule 32 vibrate simultaneously, and the tip of the optical fiber 30 vibrates. Thereby, since the relative position of the condensing position of a laser beam and the incident side end surface of the optical fiber 30 fluctuates, it is possible to prevent image sticking or damage from occurring at a condensing position with a high light density.

なお、本実施形態では、光ファイバー30の先端側を振動させる場合について説明したが、これに限らず、半導体レーザー12やレンズ16を振動させる構成としてもよく、レーザー光の集光位置と光ファイバー30のレーザー光の入射側端面との相対位置を変動させることができるものであればよい。   In the present embodiment, the case where the tip end side of the optical fiber 30 is vibrated has been described. However, the present invention is not limited to this, and the semiconductor laser 12 and the lens 16 may be vibrated. What is necessary is just to be able to fluctuate a relative position with the incident side end face of a laser beam.

レーザー装置の断面図である。It is sectional drawing of a laser apparatus. 第1の変形例に係るレーザー装置の断面図である。It is sectional drawing of the laser apparatus which concerns on a 1st modification. 第2の変形例に係るレーザー装置の断面図である。It is sectional drawing of the laser apparatus which concerns on a 2nd modification. 第3の変形例に係るレーザー装置の断面図である。It is sectional drawing of the laser apparatus which concerns on a 3rd modification.

符号の説明Explanation of symbols

1、1A、1B、1C レーザー装置
10、10A、10B、10C レーザーモジュール
12 半導体レーザー
14 ハウジング(収容体)
14A フェルール保持部
16 レンズ
18 レンズホルダ
19 窓部
24A 光ファイバーケーブル
26 コア
28 クラッド
29 被覆材
30 光ファイバー
32 フェルール
40 振動素子(振動手段)
42 制御部
44 電源部
52 液体室
54 ガラススタブ
1, 1A, 1B, 1C Laser device 10, 10A, 10B, 10C Laser module 12 Semiconductor laser 14 Housing (container)
14A Ferrule holding part 16 Lens 18 Lens holder 19 Window part 24A Optical fiber cable 26 Core 28 Cladding 29 Covering material 30 Optical fiber 32 Ferrule 40 Vibration element (vibration means)
42 Control Unit 44 Power Supply Unit 52 Liquid Chamber 54 Glass Stub

Claims (9)

光ファイバーと、
前記光ファイバーを接続可能であって、レーザー光を出射するレーザー光源及び前記レーザー光を集光させる集光レンズが収容体に収容されたレーザーモジュールと、
前記レーザー光の集光位置と前記光ファイバーの前記レーザー光の入射側端面との相対位置を変動させる変動手段と、
を備えたことを特徴とするレーザー装置。
With optical fiber,
A laser module in which the optical fiber can be connected, and a laser light source for emitting laser light and a condenser lens for condensing the laser light are accommodated in a container;
Fluctuation means for varying the relative position between the condensing position of the laser light and the incident side end surface of the laser light of the optical fiber,
A laser apparatus comprising:
前記変動手段は、前記光ファイバーを振動させる振動手段であることを特徴とする請求項1記載のレーザー装置。   The laser apparatus according to claim 1, wherein the changing unit is a vibrating unit that vibrates the optical fiber. 前記振動手段は、前記光ファイバーを保持するフェルールを振動させることを特徴とする請求項2記載のレーザー装置。   The laser apparatus according to claim 2, wherein the vibration unit vibrates a ferrule that holds the optical fiber. 前記光ファイバーを保持するフェルールが前記収容体に固定されると共に、前記光ファイバーの一部が前記収容体内に延伸され、前記振動手段は、前記収容体内に延伸した光ファイバーを振動させることを特徴とする請求項2記載のレーザー装置。   The ferrule holding the optical fiber is fixed to the container, a part of the optical fiber is extended into the container, and the vibration means vibrates the optical fiber extended into the container. Item 3. The laser device according to Item 2. 前記収容体内に、液体が充填された液体室をさらに備え、前記液体室内に前記光ファイバーの一部が延伸されると共に、前記振動手段は、前記液体を振動させることにより前記光ファイバーを振動させることを特徴とする請求項2記載のレーザー装置。   The container further includes a liquid chamber filled with a liquid, and a part of the optical fiber is extended into the liquid chamber, and the vibration unit vibrates the optical fiber by vibrating the liquid. 3. The laser device according to claim 2, wherein 前記変動手段は、前記光ファイバーのコアに入射される前記レーザー光のスポット径が前記コア径内となるように、前記相対位置を変動させることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のレーザー装置。   6. The variable means according to claim 1, wherein the relative position varies the relative position so that a spot diameter of the laser beam incident on the core of the optical fiber is within the core diameter. 2. The laser device according to item 1. 前記振動手段はピエゾ素子又は超音波振動素子であることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載のレーザー装置。   The laser apparatus according to claim 1, wherein the vibration unit is a piezo element or an ultrasonic vibration element. 前記レーザー光源は、波長が350nmから500nmの範囲内の波長のレーザー光を出射することを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載のレーザー装置。   The laser apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein the laser light source emits laser light having a wavelength in a range of 350 nm to 500 nm. 光ファイバーを接続可能であって、レーザー光を出射するレーザー光源及び前記レーザー光を集光させる集光レンズが収容体に収容されたレーザーモジュールであって、
前記レーザー光の集光位置と前記光ファイバーの前記レーザー光の入射側端面との相対位置を変動させる変動手段と、
を備えたことを特徴とするレーザーモジュール。
An optical fiber is connectable, and a laser light source for emitting laser light and a condensing lens for condensing the laser light are housed in a housing body,
Fluctuation means for varying the relative position between the condensing position of the laser light and the incident side end surface of the laser light of the optical fiber,
A laser module characterized by comprising:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009246040A (en) * 2008-03-28 2009-10-22 Mitsubishi Electric Corp Laser light source device

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