JP2007250624A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第4の層間絶縁膜16の上面とビアホール16aの内面に、希ガスと窒素ガスとの混合ガスを使用する反応性スパッタ法により、チタン族元素の窒化物よりなるバリアメタル膜18を形成する工程を有し、バリアメタル膜18を形成する工程が第1スパッタ工程と第2スパッタ工程とを含み、該第2スパッタ工程において、上記混合ガス中における窒素ガスの流量比を第1スパッタ工程におけるよりも低くする共に、第1スパッタ工程で形成されたビアホール16a底部のバリアメタル膜18を薄膜化する半導体装置の製造方法による。
【選択図】図6
Description
図1は、本実施形態で使用される窒化ジルコニウム膜用のDCマグネトロンスパッタ装置の構成図である。
本実施形態では、第1実施形態で説明した窒化ジルコニウム膜を、ダマシンプロセスのバリアメタル膜に適用する。
本実施形態では、第2実施形態で説明した第2スパッタ工程(図6)において、再スパッタリングの効果が十分に得られる条件について説明する。
Claims (5)
- 半導体基板の上方に銅配線を形成し、該銅配線上に第1絶縁膜を形成する工程と、
前記銅配線の上の前記第1絶縁膜にホールを形成する工程と、
前記第1絶縁膜の上面と前記ホールの内面に、希ガスと窒素ガスとの混合ガスを使用する反応性スパッタ法により、チタン族元素の窒化物よりなるバリアメタル膜を形成する工程とを有し、
前記バリアメタル膜を形成する工程が第1スパッタ工程と第2スパッタ工程とを含み、該第2スパッタ工程において、前記混合ガス中における前記窒素ガスの流量比を前記第1スパッタ工程におけるよりも低くする共に、前記第1スパッタ工程で形成された前記ホール底部のバリアメタル膜を薄膜化することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1スパッタ工程における前記窒素ガスの前記流量比を50%以上にし、且つ、前記第2スパッタ工程における前記窒素ガスの前記流量比を50%未満にすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1スパッタ工程における前記窒素ガスの前記流量比を50%以上60%以下にすることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2スパッタ工程における前記薄膜化は、前記エッチング要素の高い成膜条件として、ターゲットに印加される直流電力のパワーを前記第1スパッタ工程におけるよりも低くし、且つ前記半導体基板側に印加される高周波電力のパワーを前記第1スパッタ工程におけるよりも高くすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記チタン族元素として、ジルコニウム、チタン、及びハフニウムのいずれかを採用することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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2006
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