JP2007234811A - Ink jet coating device - Google Patents

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Hitoshi Kida
仁司 木田
Takehiro Yamada
剛裕 山田
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Ricoh Printing Systems Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable fine circuits to be precisely and efficiently formed on a substrate by the use of a jet ink head. <P>SOLUTION: The ink jet coating device 100 is equipped with a stage 40 which holds a substrate 50 in such a manner that an ink jet printing head 30 and the substrate 50 are capable of moving relatively in two or more directions; an X-axis direct movement guide 20 which holds the ink jet printing head 30 in a movable manner; and a main controller 130 which controls the movements of the stage 40 and the X-axis direct movement guide 20, selects one of nozzles located facing a wiring pattern that is in parallel with the direction of the relative movements of the stage 40 and the guide 20, coats the above wiring pattern continuously, and forms a prescribed wiring pattern on the substrate 50 through coating by scanning the stage 40 and the X-axis direct movement guide 20 in two or more directions. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はインクジェット塗工装置に係り、特にインクジェットプリントヘッドを用いて基板に配線パターンを形成して電気回路基板を製作するインクジェット塗工装置に関する。   The present invention relates to an ink jet coating apparatus, and more particularly to an ink jet coating apparatus for manufacturing an electric circuit board by forming a wiring pattern on a substrate using an ink jet print head.

例えば、電気回路基板は、ガラスエポキシ板やポリイミドフィルムその他の基板上に配線パターンや電子部品を実装するための導電パターンが形成されている。   For example, in an electric circuit board, a conductive pattern for mounting a wiring pattern or an electronic component is formed on a glass epoxy board, a polyimide film, or other board.

従来そのような電気回路基板の製造には、フォトリソグラフィー法が用いられており、(1)基板と銅泊の貼り合わせ→(2)レジスト塗布→(3)マスクの作成→(4)露光→(5)現像→(6)エッチング→(7)レジスト剥離→(8)洗浄という複雑なプロセスで製造されているため、必要な設備は大きな物であり、その分イニシャルコストが高く、且つ廃液などが出るため環境負荷が大きかった。   Conventionally, a photolithography method has been used to manufacture such an electric circuit board, and (1) bonding of the substrate and the copper plate → (2) resist application → (3) creation of a mask → (4) exposure → (5) Development → (6) Etching → (7) Resist stripping → (8) Since it is manufactured by a complex process, the necessary equipment is large, and the initial cost is high, and waste liquid etc. The environmental load was large because of

例えば、特許文献1(米国特許第5132248号)には、金属微粒子を分散させた導電性の材料をインクジェットプリントヘッドにより基板に塗布し、パターンを形成することによって電気回路基板を製作するインクジェット法が開示されている。この方法を用いれば(1)基板の表面処理→(2)導電性材料の塗布→(3)焼成というプロセスで製作できるので、大幅に簡便化されたプロセスで電気回路基板が製造出来る。そのため、設備は劇的に小さく、イニシャルコストは殆ど掛からず、製造に必要なエネルギーが小さく、廃液も殆ど出ないため環境負荷が小さく、マスクもレジストもエッチング液も不要なうえ、必要な部分にしか導電性材料を塗布しないため材料代も安く、回路の変更も簡単に安価に行う事が可能となる。   For example, Patent Document 1 (US Pat. No. 5,132,248) discloses an ink jet method for manufacturing an electric circuit board by applying a conductive material in which metal fine particles are dispersed to a board by an ink jet print head and forming a pattern. It is disclosed. If this method is used, it can be manufactured by the process of (1) surface treatment of the substrate → (2) application of conductive material → (3) firing, so that an electric circuit substrate can be manufactured by a greatly simplified process. For this reason, the equipment is dramatically small, the initial cost is almost not required, the energy required for manufacturing is small, and there is almost no waste liquid, so the environmental load is small, masks, resists and etching liquids are unnecessary, and necessary parts However, since the conductive material is not applied, the material cost is low, and the circuit can be changed easily and inexpensively.

近年、電気素子や電気機器の小型化に伴い電気回路基板のパターン配線ピッチの微細化が求められている。一方、電気素子の電極にワイヤボンディングやリードフレームを用いず直接配線を行う要求も増えており、更なる配線ピッチの微細化が望まれている。   In recent years, miniaturization of the pattern wiring pitch of an electric circuit board has been demanded with the miniaturization of electric elements and electric devices. On the other hand, there is an increasing demand for direct wiring without using wire bonding or a lead frame for electrodes of electric elements, and further miniaturization of the wiring pitch is desired.

また、特許文献2(特開2004−39956号公報)には、主走査方向にプリントヘッドをスキャンさせながら導電性材料を塗布し、副走査方向に基板を繰り出した後にまた主走査方向にプリントヘッドをスキャンさせながら導電性材料の塗布を行うという操作を繰り返す事で回路パターンを形成するといったシリアルスキャン方式を用いた電気回路基板製造方法について開示されている。しかしながら、この方法では、ノズルのインク着地位置誤差が異なるため、主走査方向に水平な配線パターン以外は、配線方向のドットの並びが乱れてしまい、微細な配線を行おうとした場合、断線してしまう事があった。
米国特許第5132248号 特開2004−39956号公報
Further, in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-39956), a conductive material is applied while scanning the print head in the main scanning direction, and after the substrate is fed out in the sub scanning direction, the print head is also moved in the main scanning direction. An electrical circuit board manufacturing method using a serial scan method is disclosed in which a circuit pattern is formed by repeating an operation of applying a conductive material while scanning the substrate. However, in this method, since the ink landing position error of the nozzles is different, the arrangement of dots in the wiring direction is disturbed except for the wiring pattern that is horizontal in the main scanning direction. There was a thing.
US Pat. No. 5,132,248 JP 2004-39956 A

上記のような断線に対し、1本だけのノズルで配線パターンを連続してなぞるようにして所定のパターンを形成するという方法が提案されているが、シリアルスキャン方式に比べて回路パターンを形成し終わるまでに著しく時間が掛かってしまうという問題があった。   A method has been proposed in which a predetermined pattern is formed by continuously tracing a wiring pattern with only one nozzle against the disconnection as described above, but a circuit pattern is formed as compared with the serial scan method. There was a problem that it took a long time to finish.

本発明は、このような問題を鑑みて成されたものであり、微細な配線パターンにおいても不具合無く、著しい速度低下も招かないで電気回路基板を完成させる事を目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to complete an electric circuit board without causing defects even in a fine wiring pattern and without causing a significant decrease in speed.

上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。   In order to solve the above problems, the present invention has the following means.

本発明は、導電性の材料を、複数のノズルが所定のピッチで整列されたインクジェットプリントヘッドを用いて基板に塗布し、配線パターンを形成することによって電気回路基板を製作するインクジェット塗工装置において、前記インクジェットプリントヘッドと前記基板の相対的移動方向が複数方向となるように前記基板を保持したステージと、前記インクジェットプリントヘッドを移動可能に支持するヘッド支持部と、前記ステージ及び前記ヘッド支持部の動きを制御すると共に、その相対的移動方向と平行な方向の配線パターンを前記複数のノズルのうち前記配線パターンに対向する位置のノズルを選択し、当該選択されたノズルにより連続的に塗工し、前記ステージ及び前記ヘッド支持部を複数方向にスキャンすることで所定のパターンを前記基板上に塗工する制御手段と、を有することを特徴とする。   The present invention relates to an inkjet coating apparatus for manufacturing an electric circuit board by applying a conductive material to a substrate using an inkjet print head in which a plurality of nozzles are arranged at a predetermined pitch, and forming a wiring pattern. , A stage holding the substrate so that relative movement directions of the inkjet print head and the substrate are a plurality of directions, a head support portion that movably supports the inkjet print head, the stage, and the head support portion And selecting a nozzle at a position facing the wiring pattern from among the plurality of nozzles, and continuously applying the wiring pattern in a direction parallel to the relative movement direction by the selected nozzle. The predetermined pattern is obtained by scanning the stage and the head support portion in a plurality of directions. And control means for applying a down on the substrate, and having a.

前記インクジェットプリントヘッドは、インクを噴出するノズル列が前記基板の動く方向に対して水平方向に所定角度の傾きを持つように設置され、Y方向の配線パターンを塗工する工程及びX方向の配線パターンを塗工する工程では、前記ノズル列の向きを変えずに塗工を行うことを特徴とする。   The ink jet print head is installed such that a nozzle row for ejecting ink has a predetermined inclination in the horizontal direction with respect to the moving direction of the substrate, and a wiring pattern in the Y direction is applied and wiring in the X direction In the step of applying the pattern, the coating is performed without changing the direction of the nozzle row.

前記インクジェットプリントヘッドは、前記基板の移動方向に対する前記ノズル列の傾き角度を+45度あるいは−45度に設定したことを特徴とする。   In the inkjet print head, an inclination angle of the nozzle row with respect to a moving direction of the substrate is set to +45 degrees or −45 degrees.

前記インクジェットプリントヘッドは、前記基板の移動方向に対して前記ノズル列が所定の傾き角度を持つように設置し、右斜め方向の配線パターンを塗工する工程と、左斜め方向の配線パターンを塗工する工程では、前記ノズル列の向きを変えずに塗工を行うことを特徴とする。   The inkjet print head is installed such that the nozzle row has a predetermined inclination angle with respect to the moving direction of the substrate, and a wiring pattern in the diagonally right direction is applied, and a wiring pattern in the diagonally left direction is applied. In the processing step, the coating is performed without changing the direction of the nozzle row.

前記インクジェットプリントヘッドは、前記基板の移動方向に対して前記ノズル列の傾き角度を90度あるいは0度に設定したことを特徴とする。   The inkjet print head is characterized in that an inclination angle of the nozzle row is set to 90 degrees or 0 degrees with respect to a moving direction of the substrate.

前記制御手段は、異なる配線パターンが交差する点よりも前記インクジェットプリントヘッドの走査方向に前記配線パターンを延ばして塗工することを特徴とする。   The control means applies the wiring pattern by extending the wiring pattern in the scanning direction of the inkjet print head from a point where different wiring patterns intersect.

前記制御手段は、異なる方向の配線パターンが交差する領域に同一のノズルより複数回のインクを噴射して接続部分を拡大するように塗工することを特徴とする。   The control means is characterized in that coating is performed so that the connection portion is enlarged by ejecting ink multiple times from the same nozzle to a region where wiring patterns in different directions intersect.

前記制御手段は、配線パターンを延ばす量をL、ドットの着地位置誤差をあらゆる方向に対してδ、配線パターン幅をW、隣接パターン間のスペース幅をS、配線延長方向と直交する方向に対する隣接パターンのエッジ部が成す角度をθとした場合、
2δ−W<L<(S−2δ)/cosθ(但しS>2δ)
の条件を満たすように塗工することを特徴とする。
The control means is configured such that the amount of extending the wiring pattern is L, the dot landing position error is δ for all directions, the wiring pattern width is W, the space width between adjacent patterns is S, and the adjacent to the direction orthogonal to the wiring extending direction When the angle formed by the edge of the pattern is θ,
2δ−W <L <(S−2δ) / cos θ (where S> 2δ)
It is characterized by coating so as to satisfy the conditions of

前記制御手段は、前記インクジェットプリントヘッドを複数の走査方向の何れの方向でも塗工を行うことにより任意の大きさを有するベタパターンを形成することを特徴とする。   The control means forms a solid pattern having an arbitrary size by coating the inkjet print head in any of a plurality of scanning directions.

前記インクジェットプリントヘッドは、前記電気回路基板の配線パターンが形成されたグリッドのピッチにノズルのピッチが合うように設置されたことを特徴とする。   The ink jet print head is installed such that the pitch of the nozzle matches the pitch of the grid on which the wiring pattern of the electric circuit board is formed.

本発明によれば、ステージ及びヘッド支持部の動きを制御すると共に、その相対的移動方向と平行な方向の配線パターンを複数のノズルのうち配線パターンに対向する位置のノズルを選択し、当該選択されたノズルにより連続的に塗工し、ステージ及びヘッド支持部を複数方向にスキャンすることで所定のパターンを基板上に塗工するため、微細パターンにおいてもドット着地位置誤差による断線が発生することを防止でき、さらに、同じ方向に延びている複数の配線パターンと各配線パターンに対応する複数のノズルにより連続的に塗工することで複数の配線パターンを同時に形成することが可能になり、配線パターンの印刷効率を高めて印刷開始から終了までの回路印刷時間を短縮することができる。   According to the present invention, the movement of the stage and the head support unit is controlled, and the wiring pattern in the direction parallel to the relative movement direction is selected from the plurality of nozzles at the position facing the wiring pattern, and the selection is performed. Since a predetermined pattern is applied onto the substrate by scanning the stage and the head support in multiple directions, the disconnection due to the dot landing position error occurs even in the fine pattern. In addition, it is possible to simultaneously form a plurality of wiring patterns by applying a plurality of wiring patterns extending in the same direction and a plurality of nozzles corresponding to each wiring pattern at the same time. Circuit printing time from the start to the end of printing can be shortened by increasing the pattern printing efficiency.

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は本発明を適用するインクジェット塗工装置の一実施例を示す斜視図である。図1に示されるように、インクジェット塗工装置100は、ガントリーアーム10の上にX軸直動ガイド(ヘッド支持部)20が設置され、X軸直動ガイド20にはインクジェットプリントヘッド30が取り付けてある。また、インクジェットプリントヘッド30は、所定のピッチで一列に整列された複数のノズルを有しており、ステージ40上に保持された基板50に対して相対的にX軸方向への移動が可能となっている。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an inkjet coating apparatus to which the present invention is applied. As shown in FIG. 1, the inkjet coating apparatus 100 has an X-axis linear motion guide (head support) 20 installed on a gantry arm 10, and an inkjet print head 30 is attached to the X-axis linear motion guide 20. It is. Further, the inkjet print head 30 has a plurality of nozzles arranged in a line at a predetermined pitch, and can move in the X-axis direction relative to the substrate 50 held on the stage 40. It has become.

ステージ40はY軸直動ガイド60に取り付けられており、ステージ40上の基板50をインクジェットプリントヘッド30に対して相対的にY軸方向への移動が可能となっている。インクジェットプリントヘッド30はインクタンク70からインクが供給される。また、インクタンク70の内部は、負圧コントローラ80により常に適切な圧力に減圧されており、ノズルからインクが垂れないようになっている。   The stage 40 is attached to a Y-axis linear motion guide 60, and the substrate 50 on the stage 40 can be moved in the Y-axis direction relative to the inkjet print head 30. Ink jet print head 30 is supplied with ink from ink tank 70. Further, the inside of the ink tank 70 is always depressurized to an appropriate pressure by the negative pressure controller 80 so that ink does not drip from the nozzles.

また、インクジェット塗工装置100は、メインコントローラ(制御手段)130によりインクジェットプリントヘッド30の各ノズルからのインクの噴射が制御されるとともに、ステージ40及びインクジェットプリントヘッド30の移動、角度が制御される。   In the inkjet coating apparatus 100, the main controller (control means) 130 controls the ejection of ink from each nozzle of the inkjet print head 30, and the movement and angle of the stage 40 and the inkjet print head 30 are controlled. .

さらに、インクジェットプリントヘッド30は、回転軸90に固定されており、基板50に対して任意に角度を変更することが可能である。   Furthermore, the inkjet print head 30 is fixed to the rotating shaft 90, and the angle can be arbitrarily changed with respect to the substrate 50.

メインコントローラ130は、基板50に対するインクジェットプリントヘッド30の角度を回転軸90で決定した後、X軸直動ガイド20とY軸直動ガイド60によりインクジェットプリントヘッド30と基板50とを相対的に動かしながら信号源110からの信号に従いインクを吐出させ、基板50の上に回路パターン120を形成する。   The main controller 130 determines the angle of the inkjet print head 30 with respect to the substrate 50 by the rotation axis 90, and then relatively moves the inkjet print head 30 and the substrate 50 by the X-axis linear motion guide 20 and the Y-axis linear motion guide 60. Then, ink is ejected in accordance with the signal from the signal source 110 to form the circuit pattern 120 on the substrate 50.

図2(A)〜(D)は基板50上に形成される配線パターンの方向に対するインクジェットプリントヘッド30との向き(角度)を示す平面図である。尚、図2(A)〜(D)において、基板50がY方向に移動可能に保持され、インクジェットプリントヘッド30がX方向に移動可能に支持されている。   2A to 2D are plan views showing the orientation (angle) of the inkjet print head 30 with respect to the direction of the wiring pattern formed on the substrate 50. 2A to 2D, the substrate 50 is held so as to be movable in the Y direction, and the inkjet print head 30 is supported so as to be movable in the X direction.

インクジェットプリントヘッド30は、基板50の印刷面(上面)に対向する下面側に複数のノズル201が一列に設けられている。尚、ノズル201は、実際には、インクジェットプリントヘッド30の下面に設けられているので、上方からは隠れて見えないが、説明の便宜上透視した状態で黒点(図2中)により示してある。   In the inkjet print head 30, a plurality of nozzles 201 are provided in a row on the lower surface side facing the printing surface (upper surface) of the substrate 50. The nozzle 201 is actually provided on the lower surface of the ink jet print head 30 and is hidden from view from above, but is shown as a black dot (in FIG. 2) in a transparent state for convenience of explanation.

まず、Ya方向の配線パターン210Yを基板50上に形成する場合について説明する。図2(A)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30を回転軸90により回動させて、走査方向(Y方向)202に対して各ノズル201が目的のピッチに並ぶようにインクジェットプリントヘッド30の向きを角度θy傾けた後、複数のノズル201のうち予め設定された印刷パターンに対応するノズル201を選択し、選択されたノズル201からインクを噴射しながら基板50をY方向に移動して移動方向と平行なY方向に延在する配線パターン210Yを基板50に形成する。   First, the case where the wiring pattern 210Y in the Ya direction is formed on the substrate 50 will be described. As shown in FIG. 2A, the inkjet print head 30 is rotated by a rotation shaft 90 so that the nozzles 201 are aligned at a target pitch with respect to the scanning direction (Y direction) 202. After tilting the angle θy, the nozzle 201 corresponding to a preset print pattern is selected from the plurality of nozzles 201, and the substrate 50 is moved in the Y direction while ejecting ink from the selected nozzle 201. A wiring pattern 210Y extending in the Y direction parallel to the moving direction is formed on the substrate 50.

次にX方向の配線パターン210Xを記録する場合について説明する。図2(B)に示されるように、走査方向(X方向)203に対して各ノズル201が目的のピッチに並ぶようにインクジェットプリントヘッド30の向きを角度θx傾けた後、インクジェットプリントヘッド30をXb方向(図2(B)中、右方向)に移動させてX方向の配線パターン210Xを基板50に形成する。   Next, a case where the X-direction wiring pattern 210X is recorded will be described. As shown in FIG. 2B, after the ink jet print head 30 is tilted by the angle θx so that the nozzles 201 are aligned at a target pitch with respect to the scanning direction (X direction) 203, the ink jet print head 30 is moved. The wiring pattern 210X in the X direction is formed on the substrate 50 by moving in the Xb direction (rightward in FIG. 2B).

続いて、右斜め方向(α方向)の配線パターン210αを形成する場合について説明する。図2(C)に示されるように、走査方向204に対してノズル201が目的のピッチに並ぶようにインクジェットプリントヘッド30を角度θα傾けた後、基板50をYa方向にインクジェットプリントヘッド30をXb方向(図2(C)中、右方向)に動かして右斜め方向の配線パターン210αを基板50に形成する。尚、角度θαは、45度以下の鋭角であり、望ましくは5度〜30度の任意の角度に設定される。 Next, the case where the wiring pattern 210α in the diagonally right direction (α direction) is formed will be described. As shown in FIG. 2C, after the inkjet print head 30 is inclined by the angle θ α so that the nozzles 201 are aligned at the target pitch with respect to the scanning direction 204, the substrate 50 is moved in the Ya direction. The wiring pattern 210α in the diagonally rightward direction is formed on the substrate 50 by moving in the Xb direction (rightward in FIG. 2C). Incidentally, the angle theta alpha, an acute angle of 45 degrees or less, preferably set to an arbitrary angle of 5 degrees to 30 degrees.

最後に左斜め方向の配線パターン210βを形成する場合について説明する。図2(D)に示されるように、を用いて記録方向205に対して各ノズル201が目的のピッチ(配線パターンのピッチ)に並ぶようにインクジェットプリントヘッド30を角度θβ傾けた後、基板50をY方向に移動させるとともに、インクジェットプリントヘッド30をXa方向(図2(D)中、左方向)に移動させて左斜め方向(β方向)の配線パターン210βを形成する。 Finally, a case where the wiring pattern 210β in the diagonally left direction is formed will be described. 2D, the inkjet print head 30 is tilted at an angle θ β so that the nozzles 201 are aligned at the target pitch (wiring pattern pitch) with respect to the recording direction 205 using 50 is moved in the Y direction, and the inkjet print head 30 is moved in the Xa direction (left direction in FIG. 2D) to form the wiring pattern 210β in the left oblique direction (β direction).

基板50に形成される配線パターン210としては、殆どの場合、上記図2(A)〜(D)に示される縦、横、右斜め、左斜めの4種類で形成される。そのため、メインコントローラ130は、上記4パターンの走査方向のスキャンを繰り返す事で全てのパターンの形成が可能になる。   In most cases, the wiring pattern 210 formed on the substrate 50 is formed in four types of vertical, horizontal, diagonally right, and diagonally left as shown in FIGS. Therefore, the main controller 130 can form all the patterns by repeating the scanning of the four patterns in the scanning direction.

このようにインクジェットプリントヘッド30の走査方向に対する傾き角度を設定すると共に、基板50を相対的に移動することにより形成した配線パターン210は、各配線パターン210に対応する位置のノズル201が選択され、この選択されたノズル201が連続的にインクを噴射して走査方向のパターンを形成するため、同一のノズル201からのインクの噴射位置の誤差による断線などの発生が防止され、同一のノズル201から吐出される微小インク滴で1本の微細な配線パターン210が異なる方向に形成される場合などでも配線パターン210を走査方向と平行な方向での直線に乱れの無い状態に形成とする事が出来る。また、インクジェットプリントヘッド30に整列された複数のノズル201のうち配線パターン210に対向する位置の各ノズル201から同時にインクが噴射されて複数本の配線パターン210を同時に形成することができるので、各配線パターン100を1本ずつ形成するよりも回路基板を短時間で完成することが可能になる。   As described above, the nozzle 201 at the position corresponding to each wiring pattern 210 is selected as the wiring pattern 210 formed by setting the inclination angle with respect to the scanning direction of the inkjet print head 30 and relatively moving the substrate 50. Since the selected nozzle 201 continuously ejects ink to form a pattern in the scanning direction, occurrence of disconnection due to an error in the ink ejection position from the same nozzle 201 is prevented, and the same nozzle 201 Even when one minute wiring pattern 210 is formed in a different direction by ejected minute ink droplets, the wiring pattern 210 can be formed in a state where there is no disturbance in a straight line in a direction parallel to the scanning direction. . In addition, since a plurality of wiring patterns 210 can be simultaneously formed by simultaneously ejecting ink from each nozzle 201 at a position facing the wiring pattern 210 among the plurality of nozzles 201 aligned with the inkjet print head 30, The circuit board can be completed in a shorter time than forming the wiring patterns 100 one by one.

図3(A)〜(D)は変形例を説明するための平面図である。なお、図3(A)〜(D)は基板50とインクジェットプリントヘッド30を上方からみた図であり、ノズル201を説明の便宜上透視した状態で黒点(図3中)により示してある。   3A to 3D are plan views for explaining a modification. 3A to 3D are views of the substrate 50 and the inkjet print head 30 as viewed from above, and are indicated by black dots (in FIG. 3) in a state where the nozzle 201 is seen through for convenience of explanation.

まず、Y方向の配線パターン210yを形成する場合について図3(A)を参照して説明する。インクジェットプリントヘッド30は、回転軸90により基板50の移動方向(Y方向)に対して45度の角度に回動されている。   First, the case where the wiring pattern 210y in the Y direction is formed will be described with reference to FIG. The ink jet print head 30 is rotated at an angle of 45 degrees with respect to the moving direction (Y direction) of the substrate 50 by the rotation shaft 90.

この角度で走査方向に対して各ノズル201が目的のピッチ(配線パターンピッチ)に並ぶように予めインクジェットヘッド30が製作される。この状態で基板50をY方向に移動させてY方向の配線パターン210Yを基板50に形成する。   The inkjet head 30 is manufactured in advance so that the nozzles 201 are aligned at a target pitch (wiring pattern pitch) with respect to the scanning direction at this angle. In this state, the substrate 50 is moved in the Y direction to form the wiring pattern 210Y in the Y direction on the substrate 50.

次にX方向の配線パターン210Xを形成する場合について図3(B)を参照して説明する。この状態では、図3(A)と同様に、インクジェットプリントヘッド30は、回転軸90により基板50の移動方向(Y方向)に対して45度の角度に回動されている。そして、インクジェットプリントヘッド30をXb方向(右方向)に移動させてX方向の配線パターン210Xを形成する。   Next, the case of forming the wiring pattern 210X in the X direction will be described with reference to FIG. In this state, as in FIG. 3A, the inkjet print head 30 is rotated at an angle of 45 degrees with respect to the moving direction (Y direction) of the substrate 50 by the rotating shaft 90. Then, the inkjet print head 30 is moved in the Xb direction (right direction) to form the wiring pattern 210X in the X direction.

また、高い周波数の信号を流す電気回路基板の場合、配線パターン路が90度の角度で曲がっていると特性が悪化するため、右斜め方向(α方向)と左斜め方向(β方向)の配線パターン210α、210βも必要となる。続いて、右斜め45度方向の配線パターン210αを形成する場合について図3(C)を参照して説明する。インクジェットプリントヘッド30は、基板50の移動方向(Y方向)に対して90度の角度となるように回動角度が調整されている。インクジェットヘッド30は、この角度で塗工方向に対して各ノズル201が目的のピッチに並ぶように製作されている。この状態で基板50をYa方向に移動させると共に、インクジェットプリントヘッド30をXb方向(右方向)にそれぞれ同じ速度で移動させると、右斜め45度方向の配線パターン210αを形成することができる。   In addition, in the case of an electric circuit board through which a high-frequency signal flows, the characteristics deteriorate if the wiring pattern path is bent at an angle of 90 degrees, so wiring in the right diagonal direction (α direction) and left diagonal direction (β direction) The patterns 210α and 210β are also required. Next, the case of forming the wiring pattern 210α in the 45 ° right oblique direction will be described with reference to FIG. The rotation angle of the inkjet print head 30 is adjusted to be 90 degrees with respect to the moving direction (Y direction) of the substrate 50. The inkjet head 30 is manufactured so that the nozzles 201 are aligned at a target pitch with respect to the coating direction at this angle. In this state, when the substrate 50 is moved in the Ya direction and the ink jet print head 30 is moved in the Xb direction (right direction) at the same speed, the wiring pattern 210α in the right oblique 45 degree direction can be formed.

最後に、左斜め45度の配線パターン210βを形成する場合について図3(D)を参照して説明する。この状態は上記図3(C)の場合と同様に、基板50をYb方向に移動させると共に、インクジェットプリントヘッド30をXb方向(右方向)にそれぞれ同じ速度で移動させることにより相対的に左斜め45度方向の配線パターン210βを形成する。   Finally, a case where the wiring pattern 210β having 45 degrees diagonally left is formed will be described with reference to FIG. In this state, the substrate 50 is moved in the Yb direction and the inkjet print head 30 is moved in the Xb direction (right direction) at the same speed as in the case of FIG. A wiring pattern 210β in the 45 degree direction is formed.

尚、インクジェットプリントヘッド30を45度の角度に設置したり90度に設置したりする方法は、回転軸90によりインクジェットヘッド30を回転させても良いし、あるいは各々の角度で固定したヘッドをそれぞれ用意しても良い。   In addition, the method of installing the inkjet print head 30 at an angle of 45 degrees or 90 degrees may be such that the inkjet head 30 is rotated by the rotating shaft 90, or the head fixed at each angle is respectively set. You may prepare.

尚、固定式ヘッドの場合には、ヘッドの数は2倍必要になるが、回転軸90が必要無くなり、回転に伴って発生する磨耗粉などの異物が基板50上に落下したり、回転位置合わせによる精度の低下などのリスクを減らす事ができる。   In the case of a fixed head, the number of heads is doubled, but the rotating shaft 90 is not necessary, and foreign matter such as wear powder generated by the rotation falls on the substrate 50 or the rotational position. Risks such as a decrease in accuracy due to matching can be reduced.

また、インクジェットプリントヘッド30の設置角度は、上記図3(A)〜(D)に示す角度から90度異なっていても基板50及びインクジェットヘッド30を移動させる方向を変えるだけで本発明は適用可能である。さらに、Y方向の配線パターン210YとX方向の配線パターン210Xを形成する際に、配線ピッチを等しくする必要が無い場合は、インクジェットヘッド30の設置角度を45度にする必要は無く、45度以外の任意の角度でも構わない。   Further, the present invention can be applied only by changing the direction in which the substrate 50 and the inkjet head 30 are moved even if the installation angle of the inkjet print head 30 is different from the angle shown in FIGS. 3A to 3D by 90 degrees. It is. Furthermore, when the wiring pattern 210Y in the Y direction and the wiring pattern 210X in the X direction are not required to have the same wiring pitch, the installation angle of the inkjet head 30 is not required to be 45 degrees, but other than 45 degrees. Any angle may be used.

また、右斜め方向の配線パターン210α、左斜め方向の配線パターン210βを形成する際に、配線ピッチを等しくする必要が無い場合は、インクジェットヘッド30の設置角度を90度にする必要は無く、90度以外の任意の角度で構わない。   Further, when the wiring pattern 210α in the right oblique direction and the wiring pattern 210β in the left oblique direction are formed, if it is not necessary to make the wiring pitch equal, it is not necessary to set the installation angle of the inkjet head 30 to 90 degrees. Any angle other than degrees is acceptable.

電気回路基板の配線は、通常決められたグリッド(格子状の基準線)上に形成されている。そのグリッドのピッチにノズル201のピッチが合うようにインクジェットプリントヘッド30を設置することにより、ノズル201列が通過する領域の走査方向に延在する配線パターン210は、全て1回のスキャンで形成することが可能になる。よって、ノズル201列の印字幅分の配線パターン210は、縦(Y方向)、横(X方向)、右斜め、左斜めの4スキャンで全ての配線パターン210を基板50上に形成することができる。   The wiring of the electric circuit board is usually formed on a grid (lattice-like reference line). By installing the inkjet print head 30 so that the pitch of the nozzles 201 matches the pitch of the grid, all the wiring patterns 210 extending in the scanning direction of the region through which the nozzles 201 pass are formed in one scan. It becomes possible. Therefore, the wiring pattern 210 corresponding to the printing width of the nozzle 201 row can be formed on the substrate 50 by four scans of vertical (Y direction), horizontal (X direction), right diagonal, and left diagonal. it can.

また、シリアルスキャン方式においては、主走査方向に沿っていない配線パターンは、1本に繋がるまで何回もスキャンしなければならない。しかしながら、本発明を用いた塗工方式は、シリアルスキャン方式に比べて基板50上に形成する全ての配線パターン210をより短時間で塗工することが可能になる。   In the serial scan method, wiring patterns that do not extend in the main scanning direction must be scanned many times until they are connected to one. However, the coating method using the present invention can apply all the wiring patterns 210 formed on the substrate 50 in a shorter time than the serial scanning method.

また、上記実施例及び変形例によれば、微細配線を形成する場合においても、図4に示すような、同一のノズル201により各走査方向の配線パターン210を塗工するため、直線に乱れの少ない配線パターン210を得る事が出来る。さらに、上記実施例1、2の塗工制御によれば、各ノズル201が持っている固有の塗工誤差に影響されないため、各走査方向の繋ぎ部分220を連続して形成することができ、配線パターン210の断線が防止される。   Further, according to the above-described embodiment and modification, even when forming fine wiring, the wiring pattern 210 in each scanning direction is applied by the same nozzle 201 as shown in FIG. Fewer wiring patterns 210 can be obtained. Furthermore, according to the coating control of the first and second embodiments, since it is not affected by the inherent coating error of each nozzle 201, it is possible to continuously form the connecting portion 220 in each scanning direction, Disconnection of the wiring pattern 210 is prevented.

図5に示されるように、例えば、1回の走査方向で異なる方向の配線パターン210を印刷する従来のシリアルスキャン方式によって微細配線を行った場合、複数のノズル201から噴射されたインクが基板50との相対速度に応じて配線パターン210を形成することになるが、各ノズル201が有する塗工誤差によって走査方向(Y方向)と異なる方向の配線パターン210α、210Xが直線にならず、断線が発生してしまう。   As shown in FIG. 5, for example, when fine wiring is performed by a conventional serial scanning method in which wiring patterns 210 in different directions are printed in one scanning direction, ink ejected from a plurality of nozzles 201 is printed on the substrate 50. The wiring patterns 210 are formed in accordance with the relative speed of the nozzles 201. However, the wiring patterns 210α and 210X in the direction different from the scanning direction (Y direction) are not linear due to the coating error of each nozzle 201, and the disconnection occurs. Will occur.

しかしながら、印刷された配線パターン210の直線自体には、インクジェットプリントヘッド30のノズル201列から噴射されたインク着地位置に誤差があるため、直線同士の接続部分においては、インク着地位置誤差により塗工されたインク同士の重なりが大きい部分や小さい部分が発生する。そのため、各ノズル201の誤差によっては、インク同士の重なりが無くなって、配線パターン210が連続せず、断線が発生することがある。   However, since the straight line of the printed wiring pattern 210 itself has an error in the ink landing position ejected from the nozzle 201 row of the inkjet print head 30, in the connection portion between the straight lines, the coating is caused by the ink landing position error. A portion where the overlap of the applied inks is large or small occurs. Therefore, depending on the error of each nozzle 201, there is no overlap between the inks, the wiring pattern 210 may not be continuous, and disconnection may occur.

そこで、本実施例においては、図6に示されるように、Y方向の配線パターン210Yの両端部分230Y、及びX方向の配線パターン210Xの両端部分230X、斜め方向の配線パターン210αの両端部分230αをそれぞれ距離Lだけ延長するようにインクジェットプリントヘッド30からのインク吐出制御を自動的に補正する。これにより、各ノズル201による着地位置誤差が生じても上記繋ぎ部分220において、配線パターン210が連続的に繋がるように形成することができる。また、複数の配線パターン210が平行に形成される場合には、配線太さWと配線ピッチSを考慮して各配線パターンの延長部分の距離Lを規制することで、各配線パターン210間の短絡が起きないようにインク吐出制御を行う。これにより、各配線パターン210は、互いに短絡しないように両端部分が距離Lの長さ分だけ延長されるように形成される。そのため、異なる方向の配線パターン210の端部での断線発生を防止することが可能になる。   Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 6, both end portions 230Y of the Y-direction wiring pattern 210Y, both end portions 230X of the X-direction wiring pattern 210X, and both end portions 230α of the diagonal-direction wiring pattern 210α are arranged. The ink ejection control from the inkjet print head 30 is automatically corrected so as to extend the distance L. Thereby, even if the landing position error by each nozzle 201 arises, in the said connection part 220, it can form so that the wiring pattern 210 may be connected continuously. When a plurality of wiring patterns 210 are formed in parallel, the distance L between the extended portions of each wiring pattern is restricted in consideration of the wiring thickness W and the wiring pitch S, so Ink ejection control is performed so as not to cause a short circuit. Thereby, each wiring pattern 210 is formed so that both ends are extended by the length of the distance L so as not to short-circuit each other. For this reason, it is possible to prevent disconnection from occurring at the ends of the wiring patterns 210 in different directions.

図7は異なる方向の配線パターンの端部が離間した状態に形成された場合の一例を示す図である。図7に示されるように、異なる方向の配線パターン210Yと配線パターン210αが着地位置誤差により最も離れる状態を考えてみた場合、各方向に対してのインク着地位置誤差をδ、配線パターン210の幅をWとする。   FIG. 7 is a diagram showing an example when the end portions of the wiring patterns in different directions are formed in a separated state. As shown in FIG. 7, when considering a state in which the wiring pattern 210Y and the wiring pattern 210α in different directions are farthest from each other due to the landing position error, the ink landing position error in each direction is represented by δ, and the width of the wiring pattern 210. Is W.

本来形成したい配線パターン210Yの正規形成位置701(図7中、破線で示す)に対して、Y方向の配線パターン210Yの印刷位置702はYa方向にδずれて形成された場合、且つ配線パターン210Yの端部に対して配線パターン210αはYb方向にδだけずれた位置に形成された場合を仮定してみると、この各配線パターン210Y ,210αが反対方向にずれた場合の位置関係が最も離れた断線状態となる。   The print position 702 of the wiring pattern 210Y in the Y direction is shifted by δ in the Ya direction with respect to the normal formation position 701 (indicated by a broken line in FIG. 7) of the wiring pattern 210Y to be originally formed, and the wiring pattern 210Y Assuming that the wiring pattern 210α is formed at a position shifted by δ in the Yb direction with respect to the end of the wiring pattern 210α, the positional relationship when the wiring patterns 210Y and 210α are shifted in the opposite direction is farthest away. Disconnected.

ここで、配線パターン210Y ,210αの端部同士が離れている距離Hは、Y方向に(2δ−W)で表される。そのため、Y方向の配線パターン210Yを(2δ−W)より長くYb方向に延ばせば2本の配線パターン210Y,210αは、繋がる。従って、異なる方向の配線パターンの接続部分では、2本の配線パターン210Y,210αが成す角度に拘わらず、Y方向の配線パターン210Yの端部を(2δ−W)分延長することにより、2本の配線パターンの交差する領域での断線を防止することができる。   Here, the distance H at which the ends of the wiring patterns 210Y and 210α are separated is represented by (2δ−W) in the Y direction. Therefore, if the wiring pattern 210Y in the Y direction is extended in the Yb direction longer than (2δ−W), the two wiring patterns 210Y and 210α are connected. Accordingly, at the connection portion of the wiring patterns in different directions, the end of the wiring pattern 210Y in the Y direction is extended by (2δ−W) regardless of the angle formed by the two wiring patterns 210Y and 210α. Disconnection in a region where the wiring patterns intersect can be prevented.

また、2本の配線パターン210Y,210αがX方向に同じように離れて形成された場合であっても、もう一方の配線パターン210αの端部を(2δ−W)分延長することにより、Y方向の配線パターン210Yと繋がることになる。   Even when the two wiring patterns 210Y and 210α are formed in the same direction in the X direction, by extending the end portion of the other wiring pattern 210α by (2δ−W), Y The wiring pattern 210Y in the direction is connected.

しかしながら、例えば、配線パターン210Yの端部をYb方向に延長し過ぎると、繋がってはいけない隣接された配線パターンと短絡してしまうおそれがある。   However, for example, if the end portion of the wiring pattern 210Y is excessively extended in the Yb direction, there is a possibility of short-circuiting with an adjacent wiring pattern that should not be connected.

図8は隣接された配線パターン間での短絡を防止するときの条件を示す図である。図8に示されるように、隣接された2本の配線パターン210αがインク着地位置誤差により最も近付いた状態で形成された場合を仮定すると、各方向に対してインク着地位置誤差をδ、隣接パターン間のスペース幅をS、配線パターン210Yを延長するY方向と直交するX方向に対する配線パターン210αのエッジ部が成す角度をθとする。   FIG. 8 is a diagram showing conditions for preventing a short circuit between adjacent wiring patterns. As shown in FIG. 8, assuming that two adjacent wiring patterns 210α are formed in a state of being closest to the ink landing position error, the ink landing position error is δ and the adjacent pattern in each direction. The space width between them is S, and the angle formed by the edge portion of the wiring pattern 210α with respect to the X direction orthogonal to the Y direction extending the wiring pattern 210Y is θ.

ここで、本来形成したい配線パターン210αの正規形成位置801(図8中、破線で示す)に対して、Y方向の配線パターン210Yの印刷位置802(図8中、実線で示す)は、繋がってはいけない隣接位置803の配線パターン210αに距離δだけ近付いている。また、隣接位置803の配線パターン210αは、本来形成したい正規形成位置804(図8中、破線で示す)よりも、隣接の配線パターン側に距離δだけ配線パターン210Yに近付いている。   Here, the printing position 802 (indicated by the solid line in FIG. 8) of the wiring pattern 210Y in the Y direction is connected to the normal formation position 801 (indicated by the broken line in FIG. 8) of the wiring pattern 210α to be originally formed. The distance δ is close to the wiring pattern 210α of the adjacent position 803 that should not be connected. Further, the wiring pattern 210α at the adjacent position 803 is closer to the wiring pattern 210Y by the distance δ on the side of the adjacent wiring pattern than the normal formation position 804 (indicated by a broken line in FIG. 8) that is originally intended to be formed.

このように、配線パターン210Yの端部と隣接位置803の配線パターン210αとが接近した状態は、最も短絡が発生しやすい条件であり、本来、繋がってはいけない隣接(配線)パターン210αと配線パターン210Yとが最も近付いた状態となる。   As described above, the state in which the end of the wiring pattern 210Y and the wiring pattern 210α at the adjacent position 803 are close to each other is a condition where the short circuit is most likely to occur, and the adjacent (wiring) pattern 210α and the wiring pattern that should not be connected originally. 210Y is the closest.

ここで、配線パターン210Yと、繋がってはいけない隣接位置803の配線パターン210αのエッジ805との距離は、(S−2δ)で表される。この値は、配線パターン210Yを延長する方向であるYb方向に対しては、(S−2δ)/cosθであるので、配線パターン210YのYb方向を(S−2δ)/cosθよりも短く下に延ばす分には、隣接位置803の配線パターン210αに短絡する事は無い。   Here, the distance between the wiring pattern 210Y and the edge 805 of the wiring pattern 210α at the adjacent position 803 that should not be connected is represented by (S-2δ). Since this value is (S-2δ) / cos θ with respect to the Yb direction, which is the direction extending the wiring pattern 210Y, the Yb direction of the wiring pattern 210Y is shorter than (S-2δ) / cos θ. As long as it is extended, there is no short circuit to the wiring pattern 210α at the adjacent position 803.

従って、配線パターン210Yの端部をYb方向に延長する長さLは、次式(1)の条件を満たすように各寸法を設定することにより配線パターンの断線も短絡も起こらず回路基板を作製することが可能になる。
(2δ−W)<L<(S−2δ)/cosθ…(1)
尚、(1)式において、S>2δでなければ、配線パターン間で短絡してしまう恐れがあるのは言うまでも無い。
Accordingly, the length L for extending the end portion of the wiring pattern 210Y in the Yb direction is set so that the condition of the following expression (1) is satisfied, thereby producing a circuit board without causing any disconnection or short circuit of the wiring pattern. It becomes possible to do.
(2δ−W) <L <(S−2δ) / cos θ (1)
Needless to say, if S> 2δ is not satisfied in the equation (1), there is a possibility of short-circuiting between the wiring patterns.

また、本実施例のように複数のノズル201を一列に整列されたインクジェットプリントヘッド30においては、ノズル201を有するヘッド面と基板50とのギャップを0.5mm程度に設定した場合、あらゆる方向に対してインク着地位置誤差が5μm程度、配線パターン210の幅は基板50の表面状態や吐出させるインク量にも因るが10μm程度であるので、20μmピッチ強で配線を行う事が可能である。   Further, in the inkjet print head 30 in which the plurality of nozzles 201 are aligned in a row as in the present embodiment, when the gap between the head surface having the nozzles 201 and the substrate 50 is set to about 0.5 mm, it is in any direction. On the other hand, the ink landing position error is about 5 μm, and the width of the wiring pattern 210 is about 10 μm although it depends on the surface state of the substrate 50 and the amount of ink to be ejected.

また、各配線パターン210のピッチを20μmに設定した場合は、配線に流す電圧や電流の大きさを考慮しないで良い場合であり、大きな電圧や電流の信号を流す必要がある場合は、電気的な短絡を防止し、あるいは十分な電流量を確保したいという点から、配線ピッチ及び線幅をもっと広げることになる。   In addition, when the pitch of each wiring pattern 210 is set to 20 μm, it is not necessary to consider the magnitude of the voltage and current flowing through the wiring. In order to prevent a short circuit or to secure a sufficient amount of current, the wiring pitch and line width are further increased.

図9は異なる方向の配線パターン間の接続部分での断線を防止する変形例を示す図である。図9に示されるように、例えば、延在方向の異なる配線パターン210Yと配線パターン210αとの接続部分、あるいは延在方向の異なる配線パターン210αと配線パターン210Xとの接続部分240を印刷する場合、同一のノズル201からインクを複数回噴射することで多重印刷を行う。これにより、配線パターン210よりも接続部分240でのインク量が増大(通常の2倍または3倍)して直径が拡大される。   FIG. 9 is a view showing a modification for preventing disconnection at a connection portion between wiring patterns in different directions. As shown in FIG. 9, for example, when printing a connection portion between the wiring pattern 210Y and the wiring pattern 210α having different extending directions or a connecting portion 240 between the wiring pattern 210α and the wiring pattern 210X having different extending directions, Multiple printing is performed by ejecting ink multiple times from the same nozzle 201. As a result, the amount of ink at the connecting portion 240 is increased (twice or three times as normal) as the wiring pattern 210, and the diameter is increased.

そのため、接続部分240においては、各方向の配線パターン210にずれが生じても拡大された直径の範囲内のずれ量であれば、断線を防止することが可能になる。   Therefore, in the connection portion 240, even if a deviation occurs in the wiring pattern 210 in each direction, it is possible to prevent disconnection if the deviation amount is within the expanded diameter range.

従って、本変形例では、接続部分240の幅(直径)を通常の配線パターン210の幅Wよりも2R大きく形成される。このR値は、ノズル201から噴射されるインク吐出回数によって設定される値であり、前述した配線パターン端部延長方式(図7,図8)の方式の場合と同様に、インク着地位置誤差、配線ピッチ及び線幅等の条件を考慮して任意の値に設定される。   Therefore, in this modification, the width (diameter) of the connection portion 240 is formed 2R larger than the width W of the normal wiring pattern 210. This R value is a value set by the number of ink ejections ejected from the nozzle 201, and in the same way as in the above-described wiring pattern end extension method (FIGS. 7 and 8), the ink landing position error, An arbitrary value is set in consideration of conditions such as wiring pitch and line width.

また、上記R値を管理することにより、インク着地位置誤差が生じても配線パターンの断線や配線パターン間の短絡を防止することが可能になる。   Also, by managing the R value, it is possible to prevent disconnection of the wiring patterns and short-circuiting between the wiring patterns even if an ink landing position error occurs.

この場合のR値の設定条件は、上記(1)の場合と同様の理由により次式のように表せる。
(2δ−W)/2<R<(S−2δ)…(2)
ここで、本発明の塗工方式により所定の回路パターンの印刷工程について図10(A)〜(D)を参照して説明する。図10(A)に示されるように、最初の工程において、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がY方向である場合は、インクジェットプリントヘッド30を図2(A)または図3(A)に示す状態にセットし、一つの配線に対して同一のノズル201を使用して基板50上に配線パターン210Yを形成する。
The setting condition of the R value in this case can be expressed as the following equation for the same reason as in the case of (1) above.
(2δ−W) / 2 <R <(S-2δ) (2)
Here, the printing process of a predetermined circuit pattern by the coating method of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 10A, in the first step, when the relative movement direction of the inkjet print head 30 and the substrate 50 is the Y direction, the inkjet print head 30 is moved to the position shown in FIG. In the state shown in A), a wiring pattern 210Y is formed on the substrate 50 using the same nozzle 201 for one wiring.

次の工程において、図10(B)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がX方向である場合、インクジェットプリントヘッド30を図2(B)または図3(B)に示す状態にセットし、ノズル201のピッチと配線パターンピッチとを一致させた状態で同一ノズル201により基板50上に配線パターン210Xを形成する。   In the next step, as shown in FIG. 10B, when the relative movement direction of the ink jet print head 30 and the substrate 50 is the X direction, the ink jet print head 30 is moved to the position shown in FIG. The wiring pattern 210X is formed on the substrate 50 by the same nozzle 201 in a state where the pitch of the nozzle 201 is matched with the wiring pattern pitch.

次の工程において、図10(C)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がα方向である場合、インクジェットプリントヘッド30を図2(C)または図3(C)に示す状態にセットし、ノズル201のピッチと配線パターンピッチとを一致させた状態で同一ノズル201により基板50上に配線パターン210αを形成する。   In the next step, as shown in FIG. 10C, when the relative movement direction of the ink jet print head 30 and the substrate 50 is the α direction, the ink jet print head 30 is moved to the position shown in FIG. The wiring pattern 210α is formed on the substrate 50 by the same nozzle 201 in a state where the pitch of the nozzle 201 and the wiring pattern pitch are matched.

次の工程において、図10(D)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がβ方向である場合、インクジェットプリントヘッド30を図2(D)または図3(D)に示す状態にセットし、ノズル201のピッチと配線パターンピッチとを一致させた状態で同一ノズル201により基板50上に配線パターン210βを形成する。   In the next step, as shown in FIG. 10D, when the relative movement direction of the ink jet print head 30 and the substrate 50 is the β direction, the ink jet print head 30 is moved to the position shown in FIG. The wiring pattern 210β is formed on the substrate 50 by the same nozzle 201 with the pitch of the nozzle 201 and the wiring pattern pitch being matched.

このように、それぞれ異なる方向の走査工程を4回行うことにより所定の回路パターン260が完成する。そのため、複数の配線パターン110を複数のノズル201のそれぞれが同一のパターンを連続して直線状に形成するため、従来の方式よりも高精度で且つ効率良く微細回路を印刷することが可能になる。   In this manner, the predetermined circuit pattern 260 is completed by performing the scanning process in different directions four times. Therefore, each of the plurality of nozzles 201 forms a plurality of wiring patterns 110 in a straight line continuously, so that a fine circuit can be printed with higher accuracy and efficiency than the conventional method. .

尚、上記回路パターン260は、説明の便宜上、比較的単純なパターンを模式的に示したが、実際の回路パターンとしては、もっと複雑で多数の配線パターンが精密に形成される。   In addition, although the said circuit pattern 260 typically showed the comparatively simple pattern for convenience of explanation, as an actual circuit pattern, more complicated and many wiring patterns are formed precisely.

次に、本発明の塗工方式により所定の電極パターン(ベタパターン)の印刷工程について図11(A)〜(D)を参照して説明する。図11(A)に示されるように、最初の工程において、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がY方向である場合は、インクジェットプリントヘッド30を図2(A)または図3(A)に示す状態にセットし、複数のノズル201により基板50上に配線パターン210Yを形成する。これにより、電極パターン280,282のY方向の輪郭及び外部引き出し部分290を同時に形成することができる。尚、ここでは、2箇所の電極パターンを同時に形成する場合を例示する。   Next, a printing process of a predetermined electrode pattern (solid pattern) by the coating method of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 11A, in the first step, when the relative movement direction of the inkjet print head 30 and the substrate 50 is the Y direction, the inkjet print head 30 is moved to the position shown in FIG. In the state shown in A), a wiring pattern 210Y is formed on the substrate 50 by a plurality of nozzles 201. As a result, the Y-direction contours of the electrode patterns 280 and 282 and the external lead portion 290 can be formed simultaneously. Here, the case where two electrode patterns are formed simultaneously is illustrated.

次の工程において、図11(B)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がX方向である場合、インクジェットプリントヘッド30を図2(B)または図3(B)に示す状態にセットし、ノズル201のピッチと配線パターンピッチとを一致させた状態で複数のノズル201により基板50上に配線パターン210Xを形成する。これにより、電極パターン280,282のX方向の輪郭及び外部引き出し部分292を同時に形成することができる。   In the next step, as shown in FIG. 11B, when the relative movement direction of the ink jet print head 30 and the substrate 50 is the X direction, the ink jet print head 30 is moved to the position shown in FIG. The wiring pattern 210X is formed on the substrate 50 by the plurality of nozzles 201 in a state where the pitch of the nozzles 201 and the wiring pattern pitch are matched. Thus, the X-direction contours of the electrode patterns 280 and 282 and the external lead portion 292 can be formed simultaneously.

次の工程において、図11(C)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がα方向である場合、インクジェットプリントヘッド30を図2(C)または図3(C)に示す状態にセットし、ノズル201のピッチと配線パターンピッチとを一致させた状態で複数のノズル201により基板50上に配線パターン210αを形成する。これにより、電極パターン280,282のα方向及び外部引き出し部分294を同時に形成することができる。   In the next step, as shown in FIG. 11C, when the relative movement direction of the ink jet print head 30 and the substrate 50 is the α direction, the ink jet print head 30 is moved to the position shown in FIG. The wiring pattern 210α is formed on the substrate 50 by the plurality of nozzles 201 in a state where the pitch of the nozzles 201 and the wiring pattern pitch are matched. Thereby, the α direction of the electrode patterns 280 and 282 and the external lead portion 294 can be formed simultaneously.

次の工程において、図11(D)に示されるように、インクジェットプリントヘッド30と基板50との相対移動方向がβ方向である場合、インクジェットプリントヘッド30を図2(D)または図3(D)に示す状態にセットし、ノズル201のピッチと配線パターンピッチとを一致させた状態で複数のノズル201により基板50上に配線パターン210βを形成する。これにより、電極パターン280,282のβ方向を形成することができる。   In the next step, as shown in FIG. 11D, when the relative movement direction of the ink jet print head 30 and the substrate 50 is the β direction, the ink jet print head 30 is moved to the position shown in FIG. The wiring pattern 210β is formed on the substrate 50 by the plurality of nozzles 201 in a state where the pitch of the nozzles 201 and the wiring pattern pitch are matched. Thereby, the β direction of the electrode patterns 280 and 282 can be formed.

このように、それぞれ異なる方向の走査工程を4回行うことにより所定の電極パターン280,282が完成する。そのため、延在方向の異なる複数の配線パターン210を重ねることにより電極パターン280,282を形成することができるため、図10(A)〜(D)に示した回路パターン260を形成すると共に、電極パターン280,282を形成することが可能になる。   In this manner, predetermined electrode patterns 280 and 282 are completed by performing the scanning process in different directions four times. Therefore, since the electrode patterns 280 and 282 can be formed by overlapping a plurality of wiring patterns 210 having different extending directions, the circuit pattern 260 shown in FIGS. 10A to 10D is formed, and the electrodes Patterns 280 and 282 can be formed.

上記電極パターン280,282は、説明の便宜上、比較的単純な四角形パターンを模式的に示したが、実際の電極パターンとしては、四角形に限らず、他の形状のものでも良いし、2個以上の多数の電極パターンを同時に形成することができるので、従来の方式よりも高精度で且つ効率良く微細回路を印刷することが可能になる。   For the convenience of explanation, the electrode patterns 280 and 282 are schematically shown as a relatively simple square pattern. However, the actual electrode pattern is not limited to a quadrangle, and may be other shapes, or two or more. Since a large number of electrode patterns can be simultaneously formed, it is possible to print a fine circuit with higher accuracy and efficiency than the conventional method.

本発明によれば、インクジェットプリントヘッドによって、微細な配線が、断線や短絡する事無く形成できるので、例えば光を通す樹脂を基板上に配線して、光通信を行うといったような、微細な配線が必要な用途全般に適用できる。   According to the present invention, fine wiring can be formed by the ink jet print head without disconnection or short-circuiting. For example, fine wiring such as wiring a resin that transmits light on a substrate to perform optical communication. It can be applied to all uses that require.

本発明によるインクジェット塗工装置の一実施例を示す斜視図であるIt is a perspective view which shows one Example of the inkjet coating apparatus by this invention. 配線パターンの方向に対するインクジェットプリントヘッド30との向き(角度)を示す平面図である。4 is a plan view showing the direction (angle) of the inkjet print head 30 with respect to the direction of the wiring pattern. FIG. 変形例を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating a modification. 本発明を適用した場合の微細配線パターンの例であるIt is an example of the fine wiring pattern at the time of applying this invention 従来のシリアルスキャン方式で形成した微細配線パターンの例であるIt is an example of a fine wiring pattern formed by a conventional serial scan method 配線パターンの端部を延長する場合を示す図である。It is a figure which shows the case where the edge part of a wiring pattern is extended. 異なる方向の配線パターンの端部が離間した状態に形成された場合の一例を示す図である。It is a figure which shows an example at the time of forming in the state from which the edge part of the wiring pattern of a different direction was spaced apart. 隣接された配線パターン間での短絡を防止するときの条件を示す図である。It is a figure which shows the conditions when preventing the short circuit between adjacent wiring patterns. 異なる方向の配線パターン間の接続部分での断線を防止する変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification which prevents the disconnection in the connection part between the wiring patterns of a different direction. 本発明の塗工方式により所定の回路パターンの印刷工程を示す図である。It is a figure which shows the printing process of a predetermined circuit pattern by the coating system of this invention. 本発明の塗工方式により所定の電極パターン(ベタパターン)の印刷工程を示す図である。It is a figure which shows the printing process of a predetermined electrode pattern (solid pattern) by the coating system of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 ガントリーアーム
20 X軸直動ガイド
30 インクジェットプリントヘッド
40 ステージ
50 基板
60 Y軸直動ガイド
70 インクタンク
80 負圧コントローラ
90 回転軸
100 インクジェット塗工装置
120 回路パターン
130 メインコントローラ
201 ノズル
210,210X,210Y,210α,210β 配線パターン
220 繋ぎ部分
260 回路パターン
280,282 電極パターン
290,292,294 外部引き出し部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Gantry arm 20 X-axis linear motion guide 30 Inkjet print head 40 Stage 50 Substrate 60 Y-axis linear motion guide 70 Ink tank 80 Negative pressure controller 90 Rotating shaft 100 Inkjet coating device 120 Circuit pattern 130 Main controller 201 Nozzles 210, 210X, 210Y, 210α, 210β Wiring pattern 220 Connecting portion 260 Circuit pattern 280, 282 Electrode pattern 290, 292, 294 External lead-out portion

Claims (10)

導電性の材料を、複数のノズルが所定のピッチで整列されたインクジェットプリントヘッドを用いて基板に塗布し、配線パターンを形成することによって電気回路基板を製作するインクジェット塗工装置において、
前記インクジェットプリントヘッドと前記基板の相対的移動方向が複数方向となるように前記基板を保持したステージと、
前記インクジェットプリントヘッドを移動可能に支持するヘッド支持部と、
前記ステージ及び前記ヘッド支持部の動きを制御すると共に、その相対的移動方向と平行な方向の配線パターンを前記複数のノズルのうち前記配線パターンに対向する位置のノズルを選択し、当該選択されたノズルにより連続的に塗工し、前記ステージ及び前記ヘッド支持部を複数方向にスキャンすることで所定のパターンを前記基板上に塗工する制御手段と、
を有することを特徴とするインクジェット塗工装置。
In an inkjet coating apparatus for manufacturing an electric circuit board by applying a conductive material to a substrate using an inkjet print head in which a plurality of nozzles are aligned at a predetermined pitch, and forming a wiring pattern.
A stage that holds the substrate such that a relative movement direction of the inkjet print head and the substrate is a plurality of directions;
A head support portion for movably supporting the inkjet print head;
The movement of the stage and the head support unit is controlled, and a wiring pattern in a direction parallel to the relative movement direction is selected from the plurality of nozzles at a position facing the wiring pattern. Control means for applying a predetermined pattern on the substrate by continuously applying the nozzle and scanning the stage and the head support portion in a plurality of directions;
An inkjet coating apparatus comprising:
前記インクジェットプリントヘッドは、インクを噴出するノズル列が前記基板の動く方向に対して水平方向に所定角度の傾きを持つように設置され、Y方向の配線パターンを塗工する工程及びX方向の配線パターンを塗工する工程では、前記ノズル列の向きを変えずに塗工を行うことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット塗工装置。   The ink jet print head is installed such that a nozzle row for ejecting ink has a predetermined inclination in the horizontal direction with respect to the moving direction of the substrate, and a wiring pattern in the Y direction is applied and wiring in the X direction The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein in the step of applying a pattern, the coating is performed without changing the direction of the nozzle row. 前記インクジェットプリントヘッドは、前記基板の移動方向に対する前記ノズル列の傾き角度を+45度あるいは−45度に設定したことを特徴とする請求項2に記載のインクジェット塗工装置。   The inkjet coating apparatus according to claim 2, wherein the inkjet print head has an inclination angle of the nozzle row with respect to a moving direction of the substrate set to +45 degrees or -45 degrees. 前記インクジェットプリントヘッドは、前記基板の移動方向に対して前記ノズル列が所定の傾き角度を持つように設置し、右斜め方向の配線パターンを塗工する工程と、左斜め方向の配線パターンを塗工する工程では、前記ノズル列の向きを変えずに塗工を行うことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット塗工装置。   The inkjet print head is installed such that the nozzle row has a predetermined inclination angle with respect to the moving direction of the substrate, and a wiring pattern in the diagonally right direction is applied, and a wiring pattern in the diagonally left direction is applied. The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the coating is performed without changing a direction of the nozzle row. 前記インクジェットプリントヘッドは、前記基板の移動方向に対して前記ノズル列の傾き角度を90度あるいは0度に設定したことを特徴とする請求項4に記載のインクジェット塗工装置。   5. The inkjet coating apparatus according to claim 4, wherein the inkjet print head has an inclination angle of the nozzle row set to 90 degrees or 0 degrees with respect to a moving direction of the substrate. 前記制御手段は、異なる配線パターンが交差する点よりも前記インクジェットプリントヘッドの走査方向に前記配線パターンを延ばして塗工することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のインクジェット塗工装置。   4. The inkjet according to claim 1, wherein the control means applies the coating by extending the wiring pattern in a scanning direction of the inkjet print head from a point where different wiring patterns intersect. 5. Coating equipment. 前記制御手段は、異なる方向の配線パターンが交差する領域に同一のノズルより複数回のインクを噴射して接続部分を拡大するように塗工することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のインクジェット塗工装置。   The said control means is coated so that a connection part may be expanded by ejecting the ink in multiple times from the same nozzle to the area | region where the wiring pattern of a different direction cross | intersects. The inkjet coating apparatus in any one. 前記制御手段は、配線パターンを延ばす量をL、ドットの着地位置誤差をあらゆる方向に対してδ、配線パターン幅をW、隣接パターン間のスペース幅をS、配線延長方向と直交する方向に対する隣接パターンのエッジ部が成す角度をθとした場合、
2δ−W<L<(S−2δ)/cosθ(但しS>2δ)
の条件を満たすように塗工することを特徴とする請求項6記載のインクジェット塗工装置。
The control means is configured such that the amount of extending the wiring pattern is L, the dot landing position error is δ for all directions, the wiring pattern width is W, the space width between adjacent patterns is S, and the adjacent to the direction orthogonal to the wiring extending direction When the angle formed by the edge of the pattern is θ,
2δ−W <L <(S−2δ) / cos θ (where S> 2δ)
The inkjet coating apparatus according to claim 6, wherein the coating is performed so as to satisfy the following condition.
前記制御手段は、前記インクジェットプリントヘッドを複数の走査方向の何れの方向でも塗工を行うことにより任意の大きさを有するベタパターンを形成することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のインクジェット塗工装置。   6. The control unit according to claim 1, wherein the control unit forms a solid pattern having an arbitrary size by coating the inkjet print head in any of a plurality of scanning directions. The inkjet coating apparatus as described. 前記インクジェットプリントヘッドは、前記電気回路基板の配線パターンが形成されたグリッドのピッチにノズルのピッチが合うように設置されたことを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載のインクジェット塗工装置。   The inkjet coating head according to any one of claims 1 to 9, wherein the inkjet print head is installed so that a pitch of a nozzle matches a pitch of a grid on which a wiring pattern of the electric circuit board is formed. apparatus.
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