JP2007234455A - Printer head, manufacturing method of printer head, and printer - Google Patents

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Masayuki Mitsuya
将之 三矢
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printer head capable of improving printing quality by suppressing a blur of light emission of an organic EL element 3, and improving reliability by securing a light emission lifetime of the organic EL element 3. <P>SOLUTION: The printer head is provided with a light source array including a plurality of the organic EL elements 3 which are aligned and arranged and have a hole injection layer 70 and light emission layer 60 arranged on a surface of a positive electrode 23, and a lens array formed by arranging lens elements for imaging light from the light source array. The hole injection layer 70 contains a metal element same as that of a pixel electrode 23. A problem can be solved by enhancing electric resistance of the hole injection layer 70 by degrading a function of dopant existing in the hole injection layer 70 by positive ions of the metal element. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、プリンタヘッド、プリンタヘッドの製造方法およびプリンタに関するものである。   The present invention relates to a printer head, a printer head manufacturing method, and a printer.

電子写真方式を利用したプリンタとして、ラインプリンタ(画像形成装置)が知られている。このラインプリンタは、被露光部となる感光体ドラムの周面上に、帯電器、ライン状のプリンタヘッド、現像器、転写器などの装置を近接配置したものである。すなわち、帯電器によって帯電された感光体ドラムの周面上に、プリンタヘッドに設けられた発光素子の選択的な発光動作で露光を行なうことにより静電潜像を形成し、この潜像を現像器から供給されるトナーで現像して、そのトナー像を転写器で用紙に転写するようにしたものである。   A line printer (image forming apparatus) is known as an electrophotographic printer. In this line printer, devices such as a charger, a line-shaped printer head, a developing device, and a transfer device are arranged close to each other on the peripheral surface of a photosensitive drum serving as an exposed portion. That is, an electrostatic latent image is formed on the peripheral surface of the photosensitive drum charged by the charger by selective light emission operation of a light emitting element provided in the printer head, and this latent image is developed. The toner image is developed with toner supplied from the container, and the toner image is transferred onto the paper by the transfer device.

プリンタの印刷速度の高速化や省スペース化への要求が高まるにつれて、近時ではタンデム型の印刷方式が主流になりつつある。そのため、プリンタヘッドの発光素子として、発光ダイオード(LED)が注目されている。LEDを使用したプリンタヘッドは、高い印字特性を示すことが実証されているが、輝度バラツキや製造コストなど克服すべき課題も多い。これに対して、有機EL素子を用いたプリンタヘッドは(例えば、特許文献1および2参照)、輝度バラツキや製造コスト、省スペース化などに優れ、LEDヘッドと対抗できる実力を有している。   As the demand for higher printer printing speed and space saving increases, tandem printing methods are becoming mainstream in recent years. Therefore, a light emitting diode (LED) has attracted attention as a light emitting element of the printer head. Printer heads using LEDs have been demonstrated to exhibit high printing characteristics, but there are many problems to be overcome, such as brightness variations and manufacturing costs. In contrast, printer heads using organic EL elements (see, for example, Patent Documents 1 and 2) are excellent in luminance variations, manufacturing costs, and space saving, and have the ability to compete with LED heads.

有機EL素子は、陽極と陰極との間に有機発光層を備えたものである。この有機EL素子では、陽極から供給された正孔と陰極から供給された電子とが、発光層で再結合して発光するようになっている。なお、陽極から発光層への正孔注入効率を向上させるため、陽極と発光層との間に正孔注入層を形成する場合が多い。
特開平7−22649号公報 特開2004−327217号公報
An organic EL element is provided with an organic light emitting layer between an anode and a cathode. In this organic EL element, holes supplied from the anode and electrons supplied from the cathode are recombined in the light emitting layer to emit light. In order to improve the efficiency of hole injection from the anode to the light emitting layer, a hole injection layer is often formed between the anode and the light emitting layer.
Japanese Patent Laid-Open No. 7-22649 JP 2004-327217 A

一般に、プリンタヘッドの光源には高輝度が要求されている。そのため、有機EL素子に大電流を印加して高輝度を確保する必要がある。しかしながら、有機EL素子に大電流を印加すると、画素領域外における発光(いわゆる発光のにじみ)が発生するという問題がある。この発光のにじみは、陽極から供給された電流が、正孔注入層の平面方向に広がって発生するものと考えられる。この発光のにじみにより、プリンタの印刷品質が低下することになる。
また有機EL素子に大電流を印加すると、発光寿命が低下するという問題がある。有機EL素子の発光寿命の低下により、プリンタヘッドの信頼性が低下することになる。
Generally, high brightness is required for the light source of the printer head. Therefore, it is necessary to ensure a high luminance by applying a large current to the organic EL element. However, when a large current is applied to the organic EL element, there is a problem that light emission outside the pixel region (so-called light emission blur) occurs. It is considered that this bleeding of light occurs when the current supplied from the anode spreads in the plane direction of the hole injection layer. This blurring of light emission causes the print quality of the printer to deteriorate.
Further, when a large current is applied to the organic EL element, there is a problem that the light emission lifetime is reduced. The reliability of the printer head decreases due to the decrease in the light emission lifetime of the organic EL element.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、有機EL素子の発光のにじみを抑制して印刷品質を向上することが可能であり、また有機EL素子の発光寿命を確保して信頼性を向上させることが可能な、プリンタヘッド、プリンタヘッドの製造方法およびプリンタの提供を目的とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and can suppress the bleeding of the light emission of the organic EL element to improve the print quality and ensure the light emission life of the organic EL element. It is an object of the present invention to provide a printer head, a printer head manufacturing method, and a printer capable of improving reliability.

上記目的を達成するため、本発明に係るプリンタヘッドは、一対の導電膜の間に有機膜が配置されてなる複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイと、前記光源アレイからの光を結像させるレンズ素子を配列してなるレンズアレイとを備えたプリンタヘッドであって、前記一対の導電膜のうち陽極の表面に、前記陽極から供給される正孔を発光層に注入する正孔注入層が形成され、前記正孔注入層には、金属元素が含まれていることを特徴とする。
また前記正孔注入層には、前記金属元素が1.0atm%以上含まれていることが望ましい。
正孔注入層は、効率よく正孔を発光層へ輸送するために、ドーパントを用いて高い導電性を付与している。しかしながら、そのドーパント効果による高い導電性により、正孔が正孔注入層の平面方向に広がって発光層に供給され、発光のにじみが発生するものと考えられる。これに対して、上記構成を採用すれば、正孔注入層におけるドーパントの機能を、金属元素のプラスイオンによって低下させることが可能となる。これにより、正孔注入層の導電性を適度に低下させることができるので、陽極から供給された電流が正孔注入層の平面方向に広がるのを防止することができる。したがって、有機EL素子の発光のにじみを抑制することが可能になり、印刷品質を向上させることができる。
In order to achieve the above object, a printer head according to the present invention combines a light source array in which a plurality of organic EL elements each having an organic film arranged between a pair of conductive films are arranged, and light from the light source array. A printer head including a lens array in which lens elements to be imaged are arranged, wherein hole injection is performed to inject holes supplied from the anode into a light emitting layer on a surface of the anode of the pair of conductive films. A layer is formed, and the hole injection layer contains a metal element.
The hole injection layer preferably contains 1.0 atm% or more of the metal element.
The hole injection layer imparts high conductivity using a dopant in order to efficiently transport holes to the light emitting layer. However, it is considered that due to the high conductivity due to the dopant effect, holes spread in the plane direction of the hole injection layer and are supplied to the light emitting layer, and light emission bleeding occurs. On the other hand, if the said structure is employ | adopted, it will become possible to reduce the function of the dopant in a positive hole injection layer with the plus ion of a metal element. As a result, the conductivity of the hole injection layer can be appropriately reduced, so that the current supplied from the anode can be prevented from spreading in the plane direction of the hole injection layer. Accordingly, it is possible to suppress bleeding of the organic EL element, and print quality can be improved.

また前記正孔注入層は、吸湿により酸性を示す有機材料で構成されていることが望ましい。
この構成によれば、正孔注入層の吸湿により陽極が溶解されるので、陽極に含まれる金属元素を正孔注入層に拡散させることができる。
The hole injection layer is preferably made of an organic material that exhibits acidity due to moisture absorption.
According to this configuration, since the anode is dissolved by moisture absorption of the hole injection layer, the metal element contained in the anode can be diffused into the hole injection layer.

また前記正孔注入層は、PEDOT/PSSの塗布膜を乾燥させて形成したものであることが望ましい。
この構成によれば、吸湿により酸性を示す正孔注入層を簡単に形成することができる。
The hole injection layer is preferably formed by drying a coating film of PEDOT / PSS.
According to this configuration, it is possible to easily form a hole injection layer that exhibits acidity due to moisture absorption.

また、前記正孔注入層から発光層までの前記有機膜のうち、前記正孔注入層を含む複数の前記有機膜に前記金属元素が含まれていることが望ましい。
正孔注入層に存在する硫酸イオンやスルフォン酸イオン等のマイナスイオン成分が、他の有機膜に拡散することにより、有機EL装置の発光寿命が低下すると考えられている。これに対して、上記構成を採用すれば、正孔注入層のマイナスイオン成分が他の有機膜にマイグレーションするのを、金属元素のプラスイオン成分によって抑制することが可能になる。したがって、有機EL素子の発光寿命を向上させることが可能になり、信頼性を向上させることができる。
Moreover, it is preferable that the metal element is contained in a plurality of the organic films including the hole injection layer among the organic films from the hole injection layer to the light emitting layer.
It is considered that the emission lifetime of the organic EL device is reduced by diffusing negative ion components such as sulfate ions and sulfonate ions existing in the hole injection layer into other organic films. On the other hand, if the said structure is employ | adopted, it will become possible to suppress that the negative ion component of a positive hole injection layer migrates to another organic film with the positive ion component of a metal element. Therefore, the light emission lifetime of the organic EL element can be improved, and the reliability can be improved.

また前記正孔注入層には、前記金属元素が1.0atm%以上含まれ、前記正孔注入層に隣接配置された前記有機膜の一部には、前記金属元素が0.2atm%以上含まれていることが望ましい。ここで有機膜の一部とは、正孔注入層と有機膜との界面から有機膜内部20nm程度までの領域のことをいう。
この構成によれば、正孔注入層のマイナスイオン成分が他の有機膜にマイグレーションするのを、金属元素のプラスイオン成分によって抑制することが可能になる。したがって、有機EL素子の発光寿命を向上させることが可能になり、信頼性を向上させることができる。
The hole injection layer contains the metal element in an amount of 1.0 atm% or more, and a part of the organic film disposed adjacent to the hole injection layer contains the metal element in an amount of 0.2 atm% or more. It is desirable that Here, a part of the organic film refers to a region from the interface between the hole injection layer and the organic film to about 20 nm inside the organic film.
According to this configuration, the migration of the negative ion component of the hole injection layer to another organic film can be suppressed by the positive ion component of the metal element. Therefore, the light emission lifetime of the organic EL element can be improved, and the reliability can be improved.

また前記正孔注入層に含まれる前記金属元素は、前記陽極に含まれる金属元素と同種の金属元素であることが望ましい。
この構成によれば、正孔注入層の物性などが陽極に近くなり、正孔の輸送が速やかにかつ効率よくなされるようになる。よって、発光層での発光特性が向上する。
The metal element contained in the hole injection layer is preferably the same metal element as the metal element contained in the anode.
According to this configuration, the physical properties and the like of the hole injection layer are close to those of the anode, and hole transport can be performed quickly and efficiently. Therefore, the light emission characteristics in the light emitting layer are improved.

一方、本発明に係るプリンタヘッドの製造方法は、一対の導電膜の間に有機膜が配置されてなる複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイと、前記光源アレイからの光を結像させるレンズ素子を配列してなるレンズアレイとを備えたプリンタヘッドの製造方法であって、金属元素を含む前記導電膜の表面に、吸湿により酸性を示す有機材料からなる正孔注入層を形成する工程と、水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に、前記正孔注入層を暴露する工程と、を有することを特徴とする。
この構成によれば、正孔注入層が吸湿して酸性を示すので、下層の陽極が溶解されて、陽極に含まれる金属元素が正孔注入層に拡散する。その結果、有機EL素子の発光のにじみを抑制することが可能になり、印刷品質を向上させることができる。
On the other hand, in the method for manufacturing a printer head according to the present invention, a light source array in which a plurality of organic EL elements each having an organic film disposed between a pair of conductive films are arranged in alignment, and light from the light source array is imaged. A method of manufacturing a printer head comprising a lens array in which lens elements are arranged, wherein a hole injection layer made of an organic material that exhibits acidity by moisture absorption is formed on the surface of the conductive film containing a metal element. And exposing the hole injection layer to an atmosphere containing at least one of moisture and oxygen.
According to this configuration, since the hole injection layer absorbs moisture and exhibits acidity, the lower anode is dissolved, and the metal element contained in the anode diffuses into the hole injection layer. As a result, it becomes possible to suppress bleeding of the organic EL element, and print quality can be improved.

また前記正孔注入層の暴露工程では、前記正孔注入層を大気中に6時間以上暴露することが望ましい。
この構成によれば、正孔注入層が十分に吸湿するので、発光のにじみを抑制することが可能になり、印刷品質を向上させることができる。
In the step of exposing the hole injection layer, the hole injection layer is preferably exposed to the atmosphere for 6 hours or more.
According to this configuration, since the hole injection layer sufficiently absorbs moisture, it becomes possible to suppress bleeding of light emission, and print quality can be improved.

また前記正孔注入層の暴露工程は、水分濃度および/または酸素濃度をそれぞれ10%以上100%以下の範囲で調整可能な空調室内で行うことが望ましい。
この構成によれば、水分濃度および/または酸素濃度を調整することにより、正孔注入層の暴露時間を短縮することができる。
Further, it is desirable that the step of exposing the hole injection layer is performed in an air conditioned room where the water concentration and / or oxygen concentration can be adjusted in the range of 10% to 100%, respectively.
According to this configuration, the exposure time of the hole injection layer can be shortened by adjusting the moisture concentration and / or the oxygen concentration.

また前記正孔注入層の暴露工程の後に、前記正孔注入層の表面に前記有機膜を形成する工程と、前記有機膜を加熱処理する工程と、を有することが望ましい。
この構成によれば、正孔注入層に隣接配置された有機膜の一部にも金属元素を拡散させることが可能になり、発光寿命をさらに向上させることができる。ここで有機膜の一部とは、正孔注入層と有機膜との界面から有機膜内部20nm程度までの領域のことをいう。
Further, it is desirable that after the step of exposing the hole injection layer, a step of forming the organic film on the surface of the hole injection layer and a step of heat-treating the organic film are provided.
According to this configuration, the metal element can be diffused into a part of the organic film disposed adjacent to the hole injection layer, and the light emission lifetime can be further improved. Here, a part of the organic film refers to a region from the interface between the hole injection layer and the organic film to about 20 nm inside the organic film.

また、本発明に係る他のプリンタヘッドの製造方法は、一対の導電膜の間に有機膜が配置されてなる複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイと、前記光源アレイからの光を結像させるレンズ素子を配列してなるレンズアレイとを備えたプリンタヘッドの製造方法であって、前記導電膜の表面に、予め金属元素が分散された液状体を塗布して、正孔注入層を形成する工程を有することを特徴とする。
この構成によっても、金属元素が含まれた正孔注入層を形成することができる。
In another method of manufacturing a printer head according to the present invention, a light source array in which a plurality of organic EL elements each having an organic film disposed between a pair of conductive films is arranged and light from the light source array is coupled. A method of manufacturing a printer head including a lens array in which lens elements to be imaged are arranged, wherein a liquid material in which a metal element is dispersed in advance is applied to the surface of the conductive film, and a hole injection layer is formed. It has the process of forming, It is characterized by the above-mentioned.
Also with this configuration, a hole injection layer containing a metal element can be formed.

一方、本発明に係るプリンタは、上述したプリンタヘッドを、露光手段として備えたことを特徴とする。
この構成によれば、印刷品質および信頼性に優れたプリンタを提供することができる。
On the other hand, a printer according to the present invention includes the above-described printer head as an exposure unit.
According to this configuration, it is possible to provide a printer having excellent print quality and reliability.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下で参照する各図面においては、理解を容易にするために、各構成要素の寸法等を適宜変更して表示している。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each drawing referred to below, the dimensions and the like of each component are appropriately changed and displayed for easy understanding.

(プリンタヘッド)
最初に、プリンタヘッドについて説明する。
図1は、実施形態に係るプリンタヘッドの斜視断面図である。プリンタヘッド101は、複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイ(有機EL装置)1と、光源アレイ1からの光を正立等倍結像させるレンズ素子を整列配置してなるレンズアレイ31と、光源アレイ1およびレンズアレイ31の外周部を支持するヘッドケース52とを備えたものである。
(Printer head)
First, the printer head will be described.
FIG. 1 is a perspective sectional view of a printer head according to an embodiment. The printer head 101 includes a light source array (organic EL device) 1 in which a plurality of organic EL elements are arranged and arranged, and a lens array 31 in which lens elements that image light from the light source array 1 in an erecting equal magnification are arranged and arranged. The head case 52 that supports the outer peripheral portions of the light source array 1 and the lens array 31 is provided.

(光源アレイ)
図2は、光源アレイを模式的に示した図である。この光源アレイ1は、長細い矩形の素子基板2上に、複数の有機EL(エレクトロルミネセンス)素子3を配列してなる発光素子列3Aと、有機EL素子3を駆動させる駆動素子4からなる駆動素子群と、これら駆動素子4(駆動素子群)の駆動を制御する制御回路群4aとを一体形成したものである。なお、図2では有機EL素子3が1列に配置されているが、千鳥状に2列に配置してもよい。この場合には、光源アレイ1の長手方向における有機EL素子3のピッチを小さくすることが可能になり、プリンタの解像度を向上させることができる。
(Light source array)
FIG. 2 is a diagram schematically showing the light source array. The light source array 1 includes a light emitting element array 3A in which a plurality of organic EL (electroluminescence) elements 3 are arranged on a long and thin rectangular element substrate 2, and a driving element 4 for driving the organic EL elements 3. A drive element group and a control circuit group 4a for controlling driving of these drive elements 4 (drive element group) are integrally formed. In FIG. 2, the organic EL elements 3 are arranged in one row, but may be arranged in two rows in a staggered manner. In this case, the pitch of the organic EL elements 3 in the longitudinal direction of the light source array 1 can be reduced, and the resolution of the printer can be improved.

有機EL素子3は、一対の電極間に少なくとも有機発光層を備えたものであり、その一対の電極から発光層に電流を供給することにより発光するようになっている。その有機EL素子3における一方の電極には電源線8が接続され、他方の電極には駆動素子4を介して電源線7が接続されている。この駆動素子4は、薄膜トランジスタ(TFT)や薄膜ダイオード(TFD)等のスイッチング素子で構成されている。駆動素子4にTFTを採用した場合には、そのソース領域に電源線7が接続され、ゲート電極に制御回路群4aが接続される。そして、制御回路群4aにより駆動素子4の動作が制御され、駆動素子4により有機EL素子3への通電が制御されるようになっている。なお、有機EL素子3および駆動素子4の詳細な構造および製造方法については後述する。   The organic EL element 3 includes at least an organic light emitting layer between a pair of electrodes, and emits light by supplying a current from the pair of electrodes to the light emitting layer. A power line 8 is connected to one electrode of the organic EL element 3, and a power line 7 is connected to the other electrode via a drive element 4. The drive element 4 is composed of a switching element such as a thin film transistor (TFT) or a thin film diode (TFD). When a TFT is employed as the drive element 4, the power supply line 7 is connected to the source region, and the control circuit group 4a is connected to the gate electrode. The operation of the drive element 4 is controlled by the control circuit group 4a, and the energization to the organic EL element 3 is controlled by the drive element 4. The detailed structure and manufacturing method of the organic EL element 3 and the driving element 4 will be described later.

(レンズアレイ)
図3は、レンズアレイの斜視図である。このレンズアレイ31は、日本板硝子株式会社製のセルフォック(登録商標)レンズ素子31aを配列したものである。このレンズ素子31aは、直径0.28mm程度のファイバー状に形成されている。また、各レンズ素子31aは千鳥状に配置され、各レンズ素子31aの隙間には黒色のシリコーン樹脂32が充填されている。さらに、その周囲にフレーム34が配置されて、レンズアレイ31が形成されている。
(Lens array)
FIG. 3 is a perspective view of the lens array. The lens array 31 is an array of SELFOC (registered trademark) lens elements 31a manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd. The lens element 31a is formed in a fiber shape having a diameter of about 0.28 mm. The lens elements 31a are arranged in a staggered manner, and a black silicone resin 32 is filled in the gaps between the lens elements 31a. Further, a frame 34 is arranged around the lens array 31 to form a lens array 31.

このレンズ素子31aは、その中心から周辺にかけて放物線上の屈折率分布を有している。そのため、レンズ素子31aに入射した光は、その内部を一定周期で蛇行しながら進むようになっている。このレンズ素子31aの長さを調整すれば、画像を正立等倍結像させることができる。そして、正立等倍結像するレンズによれば、隣接するレンズの作る像を重ね合わせることが可能になり、広範囲の画像を得ることができる。したがって、図3のレンズアレイは、光源アレイ全体からの光を精度よく結像させることができるようになっている。   This lens element 31a has a parabolic refractive index distribution from the center to the periphery. Therefore, the light incident on the lens element 31a travels while meandering inside the lens element 31a at a constant period. By adjusting the length of the lens element 31a, an image can be formed in an erecting equal magnification. In addition, according to the lens for erecting equal magnification, it is possible to superimpose images formed by adjacent lenses, and a wide range of images can be obtained. Therefore, the lens array of FIG. 3 can accurately form light from the entire light source array.

(ヘッドケース)
図1に戻り、本実施形態のプリンタヘッド101は、光源アレイ1およびレンズアレイ31の外周部を支持するヘッドケース52を備えている。このヘッドケース52は、Al等の剛性材料によってスリット状に形成されている。ヘッドケース52の長手方向に垂直な断面は、上下両端部が開口した形状となっている。その上半部の側壁52a,52aは略平行に配置され、下半部の側壁52b,52bは下端中央部に向かって傾斜配置されている。
(Head case)
Returning to FIG. 1, the printer head 101 of this embodiment includes a head case 52 that supports the outer peripheral portions of the light source array 1 and the lens array 31. The head case 52 is formed in a slit shape by a rigid material such as Al. The cross section perpendicular to the longitudinal direction of the head case 52 has a shape in which both upper and lower ends are opened. The upper half side walls 52a and 52a are arranged substantially in parallel, and the lower half side walls 52b and 52b are arranged inclined toward the lower end central part.

そして、ヘッドケース52の上側に形成された開口部を塞ぐように、光源アレイ1が配置されている。光源アレイ1はボトムエミッション方式であり、後述する素子基板を下側に向けて配置されている。また、ヘッドケース52の側壁52aと光源アレイ1とによって形成される角部には、全周にわたって封止材54a,54bが配設されている。
一方、ヘッドケース52の下側に形成されたスリット状の開口部を塞ぐように、レンズアレイ31が配置されている。ヘッドケース52の側壁52bとレンズアレイ31とによって形成される角部には、全周にわたって封止材55a,55bが配設されている。
And the light source array 1 is arrange | positioned so that the opening part formed in the upper side of the head case 52 may be plugged up. The light source array 1 is a bottom emission type, and is arranged with an element substrate, which will be described later, facing downward. In addition, sealing materials 54 a and 54 b are disposed over the entire periphery at the corner formed by the side wall 52 a of the head case 52 and the light source array 1.
On the other hand, the lens array 31 is disposed so as to close the slit-shaped opening formed on the lower side of the head case 52. Sealing materials 55a and 55b are disposed at the corner formed by the side wall 52b of the head case 52 and the lens array 31 over the entire circumference.

(第1実施形態に係る有機EL装置)
次に、上述した光源アレイを構成する有機EL装置について説明する。
図4は、第1実施形態に係る有機EL装置の側面断面図である。第1実施形態に係る有機EL装置1では、正孔注入層70および発光層の一部60に金属元素が含まれている。
(Organic EL device according to the first embodiment)
Next, the organic EL device constituting the light source array described above will be described.
FIG. 4 is a side sectional view of the organic EL device according to the first embodiment. In the organic EL device 1 according to the first embodiment, a metal element is contained in the hole injection layer 70 and the part 60 of the light emitting layer.

一般に有機EL装置1は、素子基板2と、素子基板2の表面に配設された駆動回路部5と、駆動回路部5の表面に配設された複数の有機EL素子3と、有機EL素子3を封止する封止基板30とを主として構成されている。この有機EL素子3は、素子基板2に垂直な方向から見て略円形状に形成されている。本実施形態では、有機EL素子3における発光光を素子基板2側から取り出すボトムエミッション型の有機EL装置1を例にして説明する。   In general, the organic EL device 1 includes an element substrate 2, a drive circuit unit 5 disposed on the surface of the element substrate 2, a plurality of organic EL elements 3 disposed on the surface of the drive circuit unit 5, and an organic EL element. 3 is mainly composed of a sealing substrate 30 for sealing 3. The organic EL element 3 is formed in a substantially circular shape when viewed from a direction perpendicular to the element substrate 2. In the present embodiment, a bottom emission type organic EL device 1 that extracts emitted light from the organic EL element 3 from the element substrate 2 side will be described as an example.

ボトムエミッション型の有機EL装置1では、発光層60における発光を素子基板2側から取り出すので、素子基板2としては透明あるいは半透明のものが採用される。例えば、ガラスや石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等を用いることが可能であり、特にガラス基板が好適に用いられる。   In the bottom emission type organic EL device 1, light emitted from the light emitting layer 60 is taken out from the element substrate 2, so that the element substrate 2 is transparent or semitransparent. For example, glass, quartz, resin (plastic, plastic film) or the like can be used, and a glass substrate is particularly preferably used.

素子基板2上には、有機EL素子3の駆動用TFT123(駆動素子4)などを含む駆動回路部5が形成されている。なお、駆動回路を備えたICチップを素子基板2に実装して有機EL装置を構成することも可能である。   On the element substrate 2, a drive circuit unit 5 including a drive TFT 123 (drive element 4) of the organic EL element 3 is formed. Note that an organic EL device can be configured by mounting an IC chip having a drive circuit on the element substrate 2.

駆動回路部5の具体的な構成として、素子基板2の表面に絶縁材料からなる下地保護層281が形成され、その上に半導体材料であるシリコン層241が形成されている。このシリコン層241の表面には、SiO及び/又はSiNを主体とするゲート絶縁層282が形成されている。そのゲート絶縁層282の表面には、ゲート電極242が形成されている。このゲート電極242は、図示しない走査線の一部によって構成されている。なお前記シリコン層241のうち、ゲート絶縁層282を挟んでゲート電極242と対向する領域がチャネル領域241aとされている。一方、ゲート電極242およびゲート絶縁層282の表面には、SiOを主体とする第1層間絶縁層283が形成されている。 As a specific configuration of the drive circuit unit 5, a base protective layer 281 made of an insulating material is formed on the surface of the element substrate 2, and a silicon layer 241 that is a semiconductor material is formed thereon. A gate insulating layer 282 mainly composed of SiO 2 and / or SiN is formed on the surface of the silicon layer 241. A gate electrode 242 is formed on the surface of the gate insulating layer 282. The gate electrode 242 is constituted by a part of a scanning line (not shown). Of the silicon layer 241, a region facing the gate electrode 242 with the gate insulating layer 282 interposed therebetween is a channel region 241a. On the other hand, a first interlayer insulating layer 283 mainly composed of SiO 2 is formed on the surfaces of the gate electrode 242 and the gate insulating layer 282.

またシリコン層241のうち、チャネル領域241aの一方側には低濃度ソース領域241bおよび高濃度ソース領域241Sが設けられ、チャネル領域241aの他方側には低濃度ドレイン領域241cおよび高濃度ドレイン領域241Dが設けられて、いわゆるLDD(Lightly Doped Drain )構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域241Sは、ゲート絶縁層282および第1層間絶縁層283を貫通するコンタクトホール243aを介して、ソース電極243に接続されている。このソース電極243は、図示しない電源線の一部によって構成されている。一方、高濃度ドレイン領域241Dは、ゲート絶縁層282および第1層間絶縁層283を貫通するコンタクトホール244aを介して、ソース電極243と同層に配置されたドレイン電極244に接続されている。   Further, in the silicon layer 241, a low concentration source region 241b and a high concentration source region 241S are provided on one side of the channel region 241a, and a low concentration drain region 241c and a high concentration drain region 241D are provided on the other side of the channel region 241a. A so-called LDD (Lightly Doped Drain) structure is provided. Among these, the high-concentration source region 241S is connected to the source electrode 243 through a contact hole 243a penetrating the gate insulating layer 282 and the first interlayer insulating layer 283. The source electrode 243 is configured by a part of a power supply line (not shown). On the other hand, the high concentration drain region 241D is connected to a drain electrode 244 disposed in the same layer as the source electrode 243 through a contact hole 244a that penetrates the gate insulating layer 282 and the first interlayer insulating layer 283.

上述したソース電極243およびドレイン電極244、並びに第1層間絶縁層283の上層には、アクリル系やポリイミド系等の耐熱性絶縁性樹脂材料などを主体とする平坦化膜284が形成されている。この平坦化膜284は、駆動用TFT123(駆動素子4)やソース電極243、ドレイン電極244などによる表面の凹凸をなくすために形成されたものである。   Over the source electrode 243 and the drain electrode 244 and the first interlayer insulating layer 283 described above, a planarizing film 284 mainly composed of a heat-resistant insulating resin material such as acrylic or polyimide is formed. The planarizing film 284 is formed to eliminate surface irregularities due to the driving TFT 123 (driving element 4), the source electrode 243, the drain electrode 244, and the like.

そして、平坦化膜284の表面における有機EL素子3の形成領域には、複数の画素電極23が配列形成されている。この画素電極23は、該平坦化膜284に設けられたコンタクトホール23aを介して、ドレイン電極244に接続されている。すなわち画素電極23は、ドレイン電極244を介して、シリコン層241の高濃度ドレイン領域241Dに接続されている。   A plurality of pixel electrodes 23 are arranged in the formation region of the organic EL element 3 on the surface of the planarizing film 284. The pixel electrode 23 is connected to the drain electrode 244 through a contact hole 23 a provided in the planarizing film 284. That is, the pixel electrode 23 is connected to the high concentration drain region 241D of the silicon layer 241 through the drain electrode 244.

また、平坦化膜284の表面において画素電極23を囲うように、SiO等の無機絶縁材料からなる無機隔壁25が形成されている。この無機隔壁25の開口部から露出した画素電極23の表面に、複数の機能膜が積層形成されて、有機EL素子3が構成されている。本実施形態の有機EL素子3は、陽極として機能する画素電極23と、この画素電極23からの正孔を注入/輸送する正孔注入層70と、有機EL物質からなる発光層60と、陰極50として機能する共通電極とを積層して構成されている。 In addition, an inorganic partition wall 25 made of an inorganic insulating material such as SiO 2 is formed so as to surround the pixel electrode 23 on the surface of the planarizing film 284. A plurality of functional films are laminated on the surface of the pixel electrode 23 exposed from the opening of the inorganic partition wall 25 to constitute the organic EL element 3. The organic EL element 3 of the present embodiment includes a pixel electrode 23 that functions as an anode, a hole injection layer 70 that injects / transports holes from the pixel electrode 23, a light-emitting layer 60 that is made of an organic EL material, a cathode A common electrode functioning as 50 is laminated.

ボトムエミッション型の有機EL装置1の場合、陽極として機能する画素電極23は、透明導電材料によって形成されている。その透明導電性材料として、ITO(インジウム錫酸化物)や、IZO(登録商標、インジウム亜鉛酸化物)等を採用することが可能である。そのうちITOは、酸化インジウム(In)に錫(Sn)をドープした材料等で構成されている。 In the case of the bottom emission type organic EL device 1, the pixel electrode 23 that functions as an anode is formed of a transparent conductive material. As the transparent conductive material, ITO (indium tin oxide), IZO (registered trademark, indium zinc oxide), or the like can be used. Among them, ITO is composed of a material in which indium oxide (In 2 O 3 ) is doped with tin (Sn).

また正孔注入層70の形成材料として、吸湿により酸性(pH4以下が好ましい)を示す材料が採用されている。特に、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォン酸(PEDOT/PSS)の分散液が好適に用いられる。このPEDOT/PSSは、分散媒としてのポリスチレンスルフォン酸に、ポリチオフェン誘導体である3,4−ポリエチレンジオキシチオフェンを分散させ、さらにこれを水に分散させたものである。
なお、正孔注入層70の形成材料としては、前記のものに限定されることなく種々のものが使用可能である。例えば、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体などを、適宜な分散媒、例えば前記のポリスチレンスルフォン酸に分散させたものなどを使用することができる。
Further, as the material for forming the hole injection layer 70, a material that exhibits acidity (preferably pH 4 or less) by moisture absorption is employed. In particular, a dispersion of 3,4-polyethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS) is preferably used. This PEDOT / PSS is obtained by dispersing 3,4-polyethylenedioxythiophene, which is a polythiophene derivative, in polystyrene sulfonic acid as a dispersion medium and further dispersing it in water.
The material for forming the hole injection layer 70 is not limited to those described above, and various materials can be used. For example, a material obtained by dispersing polystyrene, polypyrrole, polyaniline, polyacetylene or a derivative thereof in an appropriate dispersion medium such as the above-described polystyrene sulfonic acid can be used.

なお、正孔注入層70の表面に正孔輸送層を設けてもよい。正孔輸送層は、正孔注入層70から供給された正孔を効率よく発光層に輸送する機能を有するものである。正孔輸送層65の構成材料として、TPDを主鎖や側鎖に組み込んだ高分子化合物のTFB(poly(2,7-(9,9-di-n-octylfluorene)-alt-(1,4-phenylene-((4-sec-butylphenyl)imino-1,4-phenylene))))を採用することが望ましい。TFBの分子構造を化学式1に示す。TFBは正孔注入層70と発光層60の間に形成され、正孔注入層70から発光層60へのホールに輸送を補助する役割があるので好適である。なお正孔輸送層65の厚さは、20nm以下に形成される。   A hole transport layer may be provided on the surface of the hole injection layer 70. The hole transport layer has a function of efficiently transporting holes supplied from the hole injection layer 70 to the light emitting layer. As a constituent material of the hole transport layer 65, a polymer compound TFB (poly (2,7- (9,9-di-n-octylfluorene) -alt- (1,4 It is desirable to employ -phenylene-((4-sec-butylphenyl) imino-1,4-phenylene)))). The molecular structure of TFB is shown in Chemical Formula 1. TFB is preferable because it is formed between the hole injection layer 70 and the light emitting layer 60 and has a role of assisting transport of holes from the hole injection layer 70 to the light emitting layer 60. In addition, the thickness of the hole transport layer 65 is formed to 20 nm or less.

Figure 2007234455
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また、正孔注入層70の表面に電子ブロック層を設けてもよい。電子ブロック層は、陰極から供給された電子が発光層60を通り抜けるのを防止して、発光層60における電子と正孔との再結合を促進させ、発光効率を向上させる機能を有するものである。電子ブロック層の構成材料は正孔輸送層65と同様であるが、正孔輸送層には相対的に正孔を輸送する機能が高い材料を採用し、電子ブロック層には相対的に電子の移動を抑制する機能が高い材料を採用することが望ましい。   An electron blocking layer may be provided on the surface of the hole injection layer 70. The electron blocking layer has a function of preventing light supplied from the cathode from passing through the light emitting layer 60, promoting recombination of electrons and holes in the light emitting layer 60, and improving light emission efficiency. . The constituent material of the electron block layer is the same as that of the hole transport layer 65, but a material having a relatively high function of transporting holes is adopted for the hole transport layer, and the electron block layer is relatively composed of electrons. It is desirable to use a material having a high function of suppressing movement.

一方、発光層60を形成するための材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。具体的には、(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。   On the other hand, as a material for forming the light emitting layer 60, a known light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence is used. Specifically, (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), polyvinyl carbazole (PVK), polythiophene derivative, polymethyl Polysilanes such as phenylsilane (PMPS) are preferably used. In addition, these polymer materials include polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, Nile red, coumarin 6, and quinacridone. It can also be used by doping a low molecular weight material such as.

本実施形態では、発光波長帯域が赤色に対応した発光層が採用されるが、発光波長帯域が緑色や青色に対応した発光層を採用してもよい。赤色の有機EL層60の形成材料としては例えばMEHPPV(ポリ(3−メトキシ6−(3−エチルヘキシル)パラフェニレンビニレン)を、緑色の有機EL層60の形成材料としては例えばポリジオクチルフルオレンとF8BT(ジオクチルフルオレンとベンゾチアジアゾールの交互共重合体)の混合溶液を、青色の有機EL層60の形成材料としては例えばポリジオクチルフルオレンを用いる場合がある。また、このような有機EL層60については、特にその厚さについては制限がなく、各色毎に好ましい膜厚が調整されている。   In the present embodiment, a light emitting layer whose emission wavelength band corresponds to red is adopted, but a light emission layer whose emission wavelength band corresponds to green or blue may be adopted. As a material for forming the red organic EL layer 60, for example, MEHPPV (poly (3-methoxy 6- (3-ethylhexyl) paraphenylenevinylene) is used. As a material for forming the green organic EL layer 60, for example, polydioctylfluorene and F8BT ( For example, polydioctylfluorene may be used as a material for forming the blue organic EL layer 60 in the mixed solution of dioctylfluorene and benzothiadiazole). The thickness is not limited, and a preferable film thickness is adjusted for each color.

陰極50は、主陰極および補助陰極の積層構造とすることが望ましい。その主陰極として、仕事関数が3.0eV以下のCaやMg、LiF等の材料を採用することが望ましい。これにより、主陰極に電子注入層としての機能が付与されるので、低電圧で発光層を発光させることができる。また補助陰極は、陰極50全体の導電性を高めるとともに、主陰極を酸素や水分等から保護する機能を有している。そのため補助陰極として、導電性に優れたAlやAu、Ag等の金属材料を採用することが望ましい。   The cathode 50 preferably has a laminated structure of a main cathode and an auxiliary cathode. As the main cathode, it is desirable to employ a material such as Ca, Mg, LiF having a work function of 3.0 eV or less. Thereby, since the function as an electron injection layer is provided to the main cathode, the light emitting layer can emit light at a low voltage. The auxiliary cathode has functions of enhancing the conductivity of the entire cathode 50 and protecting the main cathode from oxygen and moisture. Therefore, it is desirable to employ a metal material such as Al, Au, or Ag having excellent conductivity as the auxiliary cathode.

一方、陰極50の上方には、接着層40を介して封止基板30が貼り合わされている。なお、陰極50の全体を覆う封止キャップを素子基板2の周縁部に固着し、その封止キャップの内側に水分や酸素等を吸収するゲッター剤を配置してもよい。また、陰極50の表面にSiO等からなる無機封止膜を積層形成してもよい。 On the other hand, the sealing substrate 30 is bonded to the upper side of the cathode 50 via the adhesive layer 40. A sealing cap that covers the entire cathode 50 may be fixed to the periphery of the element substrate 2, and a getter agent that absorbs moisture, oxygen, or the like may be disposed inside the sealing cap. Further, an inorganic sealing film made of SiO 2 or the like may be laminated on the surface of the cathode 50.

上述した有機EL装置1では、駆動回路部5のソース電極243から供給された画像信号が、駆動素子4により所定のタイミングで画素電極23に印加される。そして、その画素電極23から注入された正孔と、陰極50から注入された電子とが、発光層60で再結合して所定波長の光が放出される。その発光光は、透明材料からなる画素電極23、駆動回路部5および素子基板2を透過して外部に取り出される。なお、無機隔壁25は絶縁材料で構成されているので、無機隔壁25の開口部の内側のみに電流が流れて発光層60が発光する。そのため、無機隔壁25の開口部の内側が有機EL素子3の画素領域となっている。   In the organic EL device 1 described above, the image signal supplied from the source electrode 243 of the drive circuit unit 5 is applied to the pixel electrode 23 by the drive element 4 at a predetermined timing. Then, the holes injected from the pixel electrode 23 and the electrons injected from the cathode 50 are recombined in the light emitting layer 60 and light having a predetermined wavelength is emitted. The emitted light passes through the pixel electrode 23 made of a transparent material, the drive circuit unit 5 and the element substrate 2 and is extracted outside. Since the inorganic partition wall 25 is made of an insulating material, a current flows only inside the opening of the inorganic partition wall 25 and the light emitting layer 60 emits light. Therefore, the inside of the opening of the inorganic partition wall 25 is a pixel region of the organic EL element 3.

(金属元素)
図7(a)は、本実施形態にかかる有機EL素子の断面の模式図である。有機EL素子の画素電極23は、金属元素を含む材料で構成されている。すなわち画素電極23は、ITO(インジウム錫酸化物;InにSnをドープしたもの等)で構成されているので、InやSn等の金属元素を含んでいる。
(Metal element)
FIG. 7A is a schematic cross-sectional view of the organic EL element according to this embodiment. The pixel electrode 23 of the organic EL element is made of a material containing a metal element. That is, since the pixel electrode 23 is made of ITO (indium tin oxide; In 2 O 3 doped with Sn or the like), the pixel electrode 23 contains a metal element such as In or Sn.

一方、画素電極23に隣接する正孔注入層70から発光層60までの有機膜のうち、正孔注入層70を含む複数の有機膜に金属元素が含まれている。本実施形態では、正孔注入層70および発光層60の一部に金属元素が含まれている。ここで発光層60の一部とは、正孔注入層70と発光層60との界面から発光層60の内部20nm程度までの領域のことをいう。なお正孔輸送層または電子ブロック層を形成した場合には、正孔注入層70に加えて正孔輸送層または電子ブロック層に金属元素が含まれていてもよい。この金属元素として、画素電極23に含まれる金属元素と同種の金属元素が含まれている。本実施形態では、画素電極23をITOで構成したので、正孔注入層70および発光層60には、InやSn等の金属元素がイオンの状態で存在している。   On the other hand, among the organic films from the hole injection layer 70 adjacent to the pixel electrode 23 to the light emitting layer 60, a plurality of organic films including the hole injection layer 70 contain a metal element. In the present embodiment, a metal element is contained in part of the hole injection layer 70 and the light emitting layer 60. Here, a part of the light emitting layer 60 refers to a region from the interface between the hole injection layer 70 and the light emitting layer 60 to the inside of the light emitting layer 60 of about 20 nm. When the hole transport layer or the electron block layer is formed, a metal element may be contained in the hole transport layer or the electron block layer in addition to the hole injection layer 70. As this metal element, the same kind of metal element as the metal element contained in the pixel electrode 23 is contained. In the present embodiment, since the pixel electrode 23 is made of ITO, a metal element such as In or Sn is present in an ion state in the hole injection layer 70 and the light emitting layer 60.

(有機EL装置の製造方法)
次に、本実施形態に係る有機EL装置の製造方法について説明する。
図5および図6は、第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法の工程図である。なお図5および図6では、理解を容易にするため、素子基板、駆動回路部および封止基板の記載を省略して、図6のA部の拡大図を記載している。
まず図5(a)に示すように、画素電極23の周囲に無機隔壁25を形成する。次に、超純水を用いて基板表面の超音波洗浄を行う。さらに、画素電極23の表面の親液化処理として、酸素ガス等を用いた大気圧プラズマ処理を行う。
(Method for manufacturing organic EL device)
Next, a method for manufacturing the organic EL device according to this embodiment will be described.
5 and 6 are process diagrams of the method for manufacturing the organic EL device according to the first embodiment. In FIGS. 5 and 6, for ease of understanding, the element substrate, the drive circuit unit, and the sealing substrate are not shown, and an enlarged view of part A in FIG. 6 is shown.
First, as shown in FIG. 5A, an inorganic partition wall 25 is formed around the pixel electrode 23. Next, ultrasonic cleaning of the substrate surface is performed using ultrapure water. Further, as the lyophilic process on the surface of the pixel electrode 23, an atmospheric pressure plasma process using oxygen gas or the like is performed.

次に図5(b)に示すように、画素電極23および無機隔壁25の表面全体に、液相プロセスにより正孔注入層70を形成する。具体的には、まず正孔注入層70の形成材料の液状体を、スピンコート法やスプレーコート法、ディッピング法等により基板全体に塗布する。次に、その塗布膜を加熱して乾燥させ、膜中に含まれる水分を除去する。例えば、大気中にて180℃で15分間の加熱処理を施す。   Next, as shown in FIG. 5B, a hole injection layer 70 is formed on the entire surface of the pixel electrode 23 and the inorganic partition wall 25 by a liquid phase process. Specifically, first, a liquid material for forming the hole injection layer 70 is applied to the entire substrate by spin coating, spray coating, dipping, or the like. Next, the coating film is heated and dried to remove moisture contained in the film. For example, heat treatment is performed at 180 ° C. for 15 minutes in the atmosphere.

次に図5(c)に示すように、水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に、正孔注入層70を放置する。この放置工程は、水分濃度および/または酸素濃度を調整可能な空調室10内で行う。
この空調室10は、内部に基板を配置しうるチャンバ11と、チャンバ11内への水分の供給装置12および酸素の供給装置13と、チャンバ11内の排気装置14とを備えている。この水分供給装置12および酸素供給装置13により、チャンバ11内の水分濃度および酸素濃度が、それぞれ10%以上100%以下の範囲で調整可能とされている。これにより、チャンバ11内を、水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に保持しうるようになっている。
Next, as shown in FIG. 5C, the hole injection layer 70 is left in an atmosphere in which at least one of moisture and oxygen is present. This leaving step is performed in the air conditioning room 10 in which the water concentration and / or the oxygen concentration can be adjusted.
The air conditioning room 10 includes a chamber 11 in which a substrate can be disposed, a moisture supply device 12 and an oxygen supply device 13 into the chamber 11, and an exhaust device 14 in the chamber 11. With the moisture supply device 12 and the oxygen supply device 13, the moisture concentration and the oxygen concentration in the chamber 11 can be adjusted in the range of 10% or more and 100% or less, respectively. Thereby, the inside of the chamber 11 can be maintained in an atmosphere in which at least one of moisture and oxygen is present.

この空調室10のチャンバ11内に、正孔注入層70が形成された基板を配置する。次に、チャンバ11内を大気と同じ雰囲気(水分濃度45%以下、酸素濃度約21%)に調整して、正孔注入層70をその雰囲気に暴露する。後述するように、暴露時間は6時間以上とすることが望ましい。これにより、正孔注入層70が吸湿して酸性を示すようになる。その正孔注入層70により画素電極23が溶解されて、画素電極23に含まれる金属元素が正孔注入層70に拡散する。   A substrate on which the hole injection layer 70 is formed is placed in the chamber 11 of the air conditioning room 10. Next, the inside of the chamber 11 is adjusted to the same atmosphere as the atmosphere (moisture concentration of 45% or less, oxygen concentration of about 21%), and the hole injection layer 70 is exposed to the atmosphere. As will be described later, the exposure time is desirably 6 hours or more. As a result, the hole injection layer 70 absorbs moisture and becomes acidic. The pixel electrode 23 is dissolved by the hole injection layer 70, and the metal element contained in the pixel electrode 23 diffuses into the hole injection layer 70.

なお、正孔注入層70の表面に正孔輸送層を形成する場合にも、液相プロセスを採用することが望ましい。具体的には、まず正孔輸送層であるTFBの液状体を、スピンコート法やスプレーコート法、ディッピング法等により基板全体に塗布する。次に、Nグローブボックスの内部で正孔輸送層を乾燥させる。具体的には、Nグローブボックスのチャンバ内に基板を配置し、チャンバ内をNガスで置換して、チャンバ内における水分および酸素の濃度を1ppm以下まで低下させる。次に、基板を180℃、1時間加熱して塗布膜を乾燥させ、正孔輸送層を形成する。その後、キシレン溶媒によりTFBの可溶層を除去することが望ましい。これにより、キシレン溶媒に不溶なTFB層が形成される。
また、正孔注入層70の表面に電子ブロック層を形成する場合にも、正孔輸送層と同様に行うことが可能である。例えば、Nグローブボックスのチャンバ内において、200℃で15分間の加熱処理を行うことにより、電子ブロック層を形成する。
Note that it is desirable to adopt a liquid phase process also when the hole transport layer is formed on the surface of the hole injection layer 70. Specifically, first, a TFB liquid material serving as a hole transport layer is applied to the entire substrate by a spin coating method, a spray coating method, a dipping method, or the like. Next, the hole transport layer is dried inside the N 2 glove box. Specifically, the substrate is placed in the chamber of the N 2 glove box, the inside of the chamber is replaced with N 2 gas, and the concentration of moisture and oxygen in the chamber is reduced to 1 ppm or less. Next, the substrate is heated at 180 ° C. for 1 hour to dry the coating film, thereby forming a hole transport layer. Thereafter, it is desirable to remove the soluble layer of TFB with a xylene solvent. Thereby, a TFB layer insoluble in the xylene solvent is formed.
Further, when an electron blocking layer is formed on the surface of the hole injection layer 70, it can be performed in the same manner as the hole transport layer. For example, the electron block layer is formed by performing heat treatment at 200 ° C. for 15 minutes in the chamber of the N 2 glove box.

次に図6(a)に示すように、正孔注入層70の表面に、液相プロセスにより発光層60を形成する。具体的には、発光層60の形成材料の液状体を、スピンコート法やスプレーコート法、ディッピング法等により基板全体に塗布する。
次に図6(b)に示すように、発光層60を乾燥させる。この乾燥工程は、Nグローブボックス15の内部で行う。Nグローブボックス15は、内部に基板を配置しうるチャンバ16と、チャンバ16内へのNガスの供給装置17と、チャンバ16内の排気装置18と、基板の加熱装置19とを備えている。このNガスの供給装置17により、チャンバ内の空気をNガスで置換しうるようになっている。
Next, as shown in FIG. 6A, a light emitting layer 60 is formed on the surface of the hole injection layer 70 by a liquid phase process. Specifically, the liquid material for forming the light emitting layer 60 is applied to the entire substrate by spin coating, spray coating, dipping, or the like.
Next, as shown in FIG. 6B, the light emitting layer 60 is dried. This drying step is performed inside the N 2 glove box 15. The N 2 glove box 15 includes a chamber 16 in which a substrate can be disposed, an N 2 gas supply device 17 into the chamber 16, an exhaust device 18 in the chamber 16, and a substrate heating device 19. Yes. The N 2 gas supply device 17 can replace the air in the chamber with N 2 gas.

このNグローブボックス15のチャンバ16内に、発光層の形成材料が塗布された基板を配置する。次に、チャンバ16内をNガスで置換し、チャンバ16内における水分および酸素の濃度を1ppm以下まで低下させる。次に、加熱装置19により基板を加熱して塗布膜を乾燥させる。例えば、160℃で30分間の加熱処理を行う。これにより、発光層60を形成する。
上述したように、正孔注入層70の内部には、画素電極23を構成する金属元素が拡散している。この金属元素が、発光層60の加熱処理に伴って、正孔注入層70から発光層60の一部にも拡散する。
In the chamber 16 of the N 2 glove box 15, a substrate coated with a light emitting layer forming material is disposed. Next, the inside of the chamber 16 is replaced with N 2 gas, and the concentration of moisture and oxygen in the chamber 16 is reduced to 1 ppm or less. Next, the substrate is heated by the heating device 19 to dry the coating film. For example, heat treatment is performed at 160 ° C. for 30 minutes. Thereby, the light emitting layer 60 is formed.
As described above, the metal element constituting the pixel electrode 23 is diffused inside the hole injection layer 70. The metal element diffuses from the hole injection layer 70 to a part of the light emitting layer 60 as the light emitting layer 60 is heated.

次に図6(c)に示すように、真空蒸着法等により陰極50を形成する。
以上により、第1実施形態に係る有機EL装置が形成される。
Next, as shown in FIG. 6C, the cathode 50 is formed by a vacuum deposition method or the like.
Thus, the organic EL device according to the first embodiment is formed.

第1実施形態に係る有機EL装置では、正孔注入層に金属元素が含まれていることにより、有機EL素子の画素領域の外側における発光(いわゆる発光のにじみ)を抑制できることが確認されている。これは以下の理由によるものと推定される。
図7(b)は、正孔注入層に含まれ、ドーパントとして機能するポリスチレンスルフォン酸(PSS)の化学式である。ポリスチレンスルフォン酸は、スルフォン基(−SO−)の存在によりマイナスの電荷を帯びている。図7(a)に示すように、そのPSS−を含む正孔注入層に、本実施形態ではIn+やSn+等の金属元素のプラスイオンが存在している。これにより、正孔注入層70はドーパントの機能が低下して電気抵抗が高くなると考えられる。
In the organic EL device according to the first embodiment, it has been confirmed that emission of light outside the pixel region of the organic EL element (so-called emission blur) can be suppressed by including a metal element in the hole injection layer. . This is presumed to be due to the following reason.
FIG. 7B is a chemical formula of polystyrene sulfonic acid (PSS) contained in the hole injection layer and functioning as a dopant. Polystyrene sulfonic acid is negatively charged due to the presence of a sulfonic group (—SO 3 —). As shown in FIG. 7A, positive ions of metal elements such as In + and Sn + are present in the hole injection layer containing PSS- in this embodiment. As a result, the hole injection layer 70 is considered to have a reduced dopant function and an increased electrical resistance.

図8は、正孔注入層の製造工程における大気中への暴露時間と、正孔注入層における金属イオン含有率および電流値との関係を示すグラフである。暴露時間が長くなると、正孔注入層の吸湿および画素電極の溶解が進み、正孔注入層における金属イオン含有率が高くなる。これにより、正孔注入層はドーパントの機能が低下して電気抵抗が高くなり、同じ電圧を印加した場合に正孔注入層を流れる電流が小さくなっている。   FIG. 8 is a graph showing the relationship between the exposure time to the atmosphere in the manufacturing process of the hole injection layer, the metal ion content and the current value in the hole injection layer. As the exposure time becomes longer, moisture absorption in the hole injection layer and dissolution of the pixel electrode proceed, and the metal ion content in the hole injection layer increases. Thereby, the function of the dopant in the hole injection layer is lowered and the electric resistance is increased, and the current flowing through the hole injection layer is reduced when the same voltage is applied.

図9(a)は正孔注入層における電流の軌跡を説明するための側面断面図であり、図9(b)は発光のにじみを説明するための平面図である。従来技術に係る有機EL装置では、正孔注入層70の電気抵抗が低くなっている。そのため、図9(a)に示すように、画素電極23から供給された正孔が、無機隔壁25の開口部を回りこんで正孔注入層の平面方向に広がり、発光層に注入されていた。その結果、図9(b)に示すように、無機隔壁25の開口部で規定される画素領域の外側が発光する、いわゆる発光のにじみが発生していた。   FIG. 9A is a side sectional view for explaining the current locus in the hole injection layer, and FIG. 9B is a plan view for explaining the bleeding of light emission. In the organic EL device according to the prior art, the electric resistance of the hole injection layer 70 is low. Therefore, as shown in FIG. 9A, the holes supplied from the pixel electrode 23 circulate in the plane direction of the hole injection layer through the opening of the inorganic partition wall 25 and were injected into the light emitting layer. . As a result, as shown in FIG. 9B, so-called bleeding of light emission occurred, in which the outside of the pixel region defined by the opening of the inorganic partition wall 25 emits light.

これに対して、本発明に係る有機EL装置では、正孔注入層70の電気抵抗が高くなっている。そのため、図9(a)に示すように、画素電極23から供給された正孔が、無機隔壁25の開口部を回りこむことなく、発光層に向かって直線的に進行する。その結果、図9(b)に示すように、画素領域とほぼ同じ範囲で発光させることが可能になり、発光のにじみを防止することができる。   On the other hand, in the organic EL device according to the present invention, the electric resistance of the hole injection layer 70 is high. Therefore, as shown in FIG. 9A, the holes supplied from the pixel electrode 23 linearly progress toward the light emitting layer without going around the opening of the inorganic partition wall 25. As a result, as shown in FIG. 9B, light can be emitted in almost the same range as the pixel region, and bleeding of light emission can be prevented.

一方、正孔注入層70およびその隣接層に金属元素が含まれていることにより、有機EL素子の寿命を向上しうることが確認されている。そのメカニズムは明らかでないが、以下の理由によるものと推定される。
図7(b)に示すポリスチレンスルフォン酸では、スルフォン基(−SO−)が遊離する場合がある。スルフォン基は、図7(a)に示す正孔注入層70から発光層60に侵入する(マイグレーション)。これにより、有機材料からなる発光層60の発光効率やキャリアバランス等が変化して輝度劣化が発生し、発光寿命が低下すると考えられている。これに対して、本実施形態では、発光層60の一部にもIn+やSn+等の金属元素のプラスイオンが存在している。このプラスイオンにより、発光層内部へ拡散しようとするマイナスイオン成分を、金属元素のプラスイオン成分によって捕捉することが可能となる。したがって、発光層60の輝度劣化を抑制することが可能になり、発光寿命を向上させることができる。
On the other hand, it has been confirmed that the lifetime of the organic EL element can be improved by including a metal element in the hole injection layer 70 and its adjacent layer. The mechanism is not clear, but is presumed to be due to the following reasons.
In the polystyrene sulfonic acid shown in FIG. 7B, a sulfonic group (—SO 3 —) may be liberated. The sulfone group penetrates into the light emitting layer 60 from the hole injection layer 70 shown in FIG. 7A (migration). As a result, it is considered that the luminous efficiency, carrier balance, and the like of the light emitting layer 60 made of an organic material are changed to cause luminance deterioration and the light emission lifetime is shortened. On the other hand, in this embodiment, positive ions of metal elements such as In + and Sn + are also present in a part of the light emitting layer 60. With this positive ion, it becomes possible to capture the negative ion component which is to diffuse into the light emitting layer by the positive ion component of the metal element. Therefore, it is possible to suppress the luminance deterioration of the light emitting layer 60 and to improve the light emission lifetime.

図10は、第1実施形態に係る有機EL装置(実施例1)と、その比較例1との対比説明図である。なお、図10(a)は各層における金属元素の濃度を記載した表であり、図10(b)は有機EL装置の輝度劣化を示すグラフである。   FIG. 10 is an explanatory diagram for comparison between the organic EL device (Example 1) according to the first embodiment and Comparative Example 1 thereof. FIG. 10A is a table showing the concentration of the metal element in each layer, and FIG. 10B is a graph showing the luminance deterioration of the organic EL device.

図10(a)に示すように、実施例1に係る有機EL装置では、正孔注入層における金属元素の濃度は2.4atm%であり、発光層の一部における金属元素の濃度は0.2atm%である。発光層の一部とは、正孔注入層と発光層との界面から発光層内部20nm程度までの領域のことをいう。ちなみに、水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に正孔注入層を暴露する時間(以下「暴露時間」という。)が6時間の場合には、正孔注入層における金属元素の濃度は1.0atm%以上である。また暴露時間が24時間の場合には、正孔注入層における金属元素の濃度は約2.4atm%であり、発光層と正孔注入層の界面における金属元素の濃度は約0.3atm%である。   As shown in FIG. 10A, in the organic EL device according to Example 1, the concentration of the metal element in the hole injection layer is 2.4 atm%, and the concentration of the metal element in a part of the light emitting layer is 0. 2 atm%. The part of the light emitting layer refers to a region from the interface between the hole injection layer and the light emitting layer to the inside of the light emitting layer of about 20 nm. Incidentally, when the time during which the hole injection layer is exposed to an atmosphere containing at least one of moisture and oxygen (hereinafter referred to as “exposure time”) is 6 hours, the concentration of the metal element in the hole injection layer is 1. 0 atm% or more. When the exposure time is 24 hours, the concentration of the metal element in the hole injection layer is about 2.4 atm%, and the concentration of the metal element at the interface between the light emitting layer and the hole injection layer is about 0.3 atm%. is there.

これに対して、比較例1に係る有機EL装置では、正孔注入層のみに金属元素が含まれている。すなわち、正孔注入層における金属元素の濃度は0.5atm%であるが、発光層には金属元素が含まれていない。   On the other hand, in the organic EL device according to Comparative Example 1, the metal element is contained only in the hole injection layer. That is, the concentration of the metal element in the hole injection layer is 0.5 atm%, but the light emitting layer contains no metal element.

実施例1および比較例1に係る有機EL装置につき、発光効率を測定した。発光効率は、同じ輝度を得るために必要な電流値で示される。比較例1では、実施例1と同じ輝度を得るために、実施例1の約1.17倍の電流が必要であった。これにより、実施例1の発光効率は比較例1より優れていることが確認された。   Luminous efficiency was measured for the organic EL devices according to Example 1 and Comparative Example 1. The luminous efficiency is indicated by a current value necessary for obtaining the same luminance. In Comparative Example 1, in order to obtain the same luminance as that of Example 1, a current about 1.17 times that of Example 1 was required. Thereby, it was confirmed that the luminous efficiency of Example 1 was superior to Comparative Example 1.

また実施例1および比較例1に係る有機EL装置につき、発光輝度の経時変化を測定した。その結果、図10(b)に示すように、実施例1における発光輝度の低下速度は、比較例1に比べて緩やかであることが判明した。発光輝度の10%低下を寿命と規定した場合、実施例1に係る有機EL装置の発光寿命は、比較例1の1.5倍程度に伸びることが確認された。   Further, with respect to the organic EL devices according to Example 1 and Comparative Example 1, the change in emission luminance with time was measured. As a result, as shown in FIG. 10 (b), it was found that the rate of decrease in emission luminance in Example 1 was slower than that in Comparative Example 1. It was confirmed that when the 10% decrease in emission luminance was defined as the lifetime, the emission lifetime of the organic EL device according to Example 1 was increased to about 1.5 times that of Comparative Example 1.

図11は、正孔注入層の大気放置(暴露)時間と、有機EL素子の発光寿命との関係を示すグラフである。本願の発明者は、正孔注入層の暴露時間を変化させて、さまざまな有機EL装置を試作した。なお大気中の水分濃度は45%以下、酸素濃度は約21%である。そして、各有機EL装置の発光寿命を測定した。図11では、正孔注入層を24時間暴露した場合の発光寿命を1として規格化している。図10に示すように、正孔注入層を0.5時間暴露した場合の発光寿命は約0.7と低いが、6時間以上暴露した場合の発光寿命は0.9〜1.1程度の範囲に収束している。この結果から、正孔注入層の暴露時間は6時間以上とすることが望ましいといえる。   FIG. 11 is a graph showing the relationship between the time during which the hole injection layer is left in the atmosphere (exposure) and the emission lifetime of the organic EL element. The inventor of the present application manufactured various organic EL devices by changing the exposure time of the hole injection layer. The moisture concentration in the atmosphere is 45% or less, and the oxygen concentration is about 21%. And the light emission lifetime of each organic EL apparatus was measured. In FIG. 11, the light emission lifetime when the hole injection layer is exposed for 24 hours is normalized as 1. As shown in FIG. 10, the emission lifetime when the hole injection layer is exposed for 0.5 hours is as low as about 0.7, but the emission lifetime when exposed for 6 hours or more is about 0.9 to 1.1. Converged to the range. From this result, it can be said that the exposure time of the hole injection layer is desirably 6 hours or more.

以上に詳述したように、第1実施形態に係る有機EL装置では、正孔注入層に金属元素が含まれている構成とした。この構成によれば、有機EL素子の輝度を確保するため大電流を印加した場合でも、有機EL素子の発光のにじみを抑制することができる。その結果、プリンタヘッドの印刷品質を向上させることができる。また第1実施形態に係る有機EL装置では、正孔注入層およびその隣接層に金属元素が含まれている構成とした。この構成によれば、有機EL素子の輝度を確保するため大電流を印加した場合でも、有機EL素子の発光寿命を維持することができる。そして、有機EL素子の輝度を確保することにより、プリンタヘッドの印刷スピードをアップしても、コントラストを確保した印刷が可能になる。例えば、有機EL素子の発光寿命が1.5倍になれば、プリンタヘッドの印刷速度を20%程度アップすることができる。   As described in detail above, the organic EL device according to the first embodiment has a configuration in which a metal element is included in the hole injection layer. According to this configuration, even when a large current is applied to ensure the luminance of the organic EL element, the organic EL element can be prevented from bleeding. As a result, the print quality of the printer head can be improved. In the organic EL device according to the first embodiment, a metal element is included in the hole injection layer and the adjacent layer. According to this configuration, even when a large current is applied to ensure the luminance of the organic EL element, the light emission life of the organic EL element can be maintained. By ensuring the luminance of the organic EL element, it is possible to perform printing with ensuring contrast even when the printing speed of the printer head is increased. For example, if the light emission lifetime of the organic EL element is increased by 1.5 times, the printing speed of the printer head can be increased by about 20%.

また、第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法では、金属元素を含む画素電極の表面に、吸湿により酸性を示す有機材料からなる正孔注入層を形成する工程と、水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に、正孔注入層を暴露する工程とを有する構成とした。この構成によれば、正孔注入層が吸湿して酸性を示すので、下層の画素電極が溶解されて、陽極に含まれる金属元素を正孔注入層に拡散させることができる。その際、従来技術と同じ材料を用いて、金属元素が含まれた正孔注入層を形成することが可能である。すなわち、正孔注入層の形成材料である液状体に予め金属元素を添加しておく必要がないので、正孔注入層の成膜性を向上させることができる。また正孔注入層の内部における金属元素の分散性を向上させることができる。   Further, in the method for manufacturing the organic EL device according to the first embodiment, a step of forming a hole injection layer made of an organic material that exhibits acidity by moisture absorption on the surface of the pixel electrode containing a metal element, and at least moisture or oxygen And a step of exposing the hole injection layer to an atmosphere where one exists. According to this configuration, since the hole injection layer absorbs moisture and exhibits acidity, the lower pixel electrode is dissolved, and the metal element contained in the anode can be diffused into the hole injection layer. At that time, it is possible to form a hole injection layer containing a metal element by using the same material as that of the prior art. That is, since it is not necessary to add a metal element in advance to the liquid that is a material for forming the hole injection layer, the film formability of the hole injection layer can be improved. Further, the dispersibility of the metal element in the hole injection layer can be improved.

(プリンタ)
次に、本実施形態のプリンタヘッドの使用形態について説明する。
本実施形態のプリンタヘッドは、プリンタにおける露光装置として使用される。その場合、プリンタヘッドは感光体ドラムに対向配置され、光源アレイからの光を感光体ドラム上に照射して使用する。
(Printer)
Next, the usage pattern of the printer head of this embodiment will be described.
The printer head of this embodiment is used as an exposure device in a printer. In this case, the printer head is disposed opposite to the photosensitive drum, and is used by irradiating light from the light source array onto the photosensitive drum.

(タンデム方式のプリンタ)
まず、タンデム方式のプリンタにつき、図12を用いて説明する。
図12は、タンデム方式のプリンタの概略構成図である。このプリンタ380の中央には画像転写ユニットが配置されている。画像転写ユニットは、主に、ブラック画像転写ユニットKと、シアン画像転写ユニットCと、マゼンタ画像転写ユニットMと、イエロー画像転写ユニットYと、中間転写ベルト390とを備えている。そのイエロー画像転写ユニットYは、主に、感光体ドラム(像担持体)341と、帯電手段342と、本発明のプリンタヘッド101と、現像装置344とを備えている。
(Tandem printer)
First, a tandem printer will be described with reference to FIG.
FIG. 12 is a schematic configuration diagram of a tandem printer. An image transfer unit is disposed at the center of the printer 380. The image transfer unit mainly includes a black image transfer unit K, a cyan image transfer unit C, a magenta image transfer unit M, a yellow image transfer unit Y, and an intermediate transfer belt 390. The yellow image transfer unit Y mainly includes a photosensitive drum (image carrier) 341, a charging unit 342, the printer head 101 of the present invention, and a developing device 344.

感光体ドラム341は、その外周面に像担持体としての感光層を備えて、回転可能に構成されている。感光体ドラム341の周囲には、帯電手段342、プリンタヘッド101および現像装置344が順に配置されている。帯電手段(コロナ帯電器)342は、感光体ドラム341の感光層を一様に帯電させるものである。プリンタヘッド101は、感光体ドラム341を露光して感光層に静電潜像を形成するものである。なおプリンタヘッド101の発光エネルギーピーク波長と、感光体ドラム341の感度ピーク波長とが、略一致するように設定されている。現像装置344は、感光体ドラム341の静電潜像にトナーを付着させて可視像を形成するものである。なお現像装置344の内部には、現像剤である非磁性一成分トナーと、そのトナーを感光体ドラムに付着させる現像ローラ355と、その現像ローラ355の表面にトナーを供給する供給ローラ356と、現像ローラ355の表面に付着したトナーの膜厚を規制するブレード(不図示)とを備えている。   The photosensitive drum 341 includes a photosensitive layer as an image carrier on the outer peripheral surface thereof, and is configured to be rotatable. Around the photosensitive drum 341, a charging unit 342, the printer head 101, and a developing device 344 are sequentially arranged. The charging unit (corona charger) 342 uniformly charges the photosensitive layer of the photosensitive drum 341. The printer head 101 exposes the photosensitive drum 341 to form an electrostatic latent image on the photosensitive layer. Note that the emission energy peak wavelength of the printer head 101 and the sensitivity peak wavelength of the photosensitive drum 341 are set to substantially coincide. The developing device 344 forms a visible image by attaching toner to the electrostatic latent image on the photosensitive drum 341. The developing device 344 includes a non-magnetic one-component toner as a developer, a developing roller 355 for attaching the toner to the photosensitive drum, a supply roller 356 for supplying toner to the surface of the developing roller 355, and A blade (not shown) that regulates the film thickness of the toner adhering to the surface of the developing roller 355;

また、感光体ドラム341の下方には、中間転写ベルト390が配置されている。中間転写ベルト390は、駆動ローラ391、従動ローラ392およびテンションローラ393に張架され、駆動ローラ391により循環移動可能とされている。この中間転写ベルト390を挟んで感光体ドラム341と対向するように、一次転写ローラ345が配置されている。そして、この一次転写ローラ345に一次転写バイアスを印加して、中間転写ベルト390を感光体ドラム341に押圧する。これにより、感光体ドラム341に形成されたトナー像が、中間転写ベルト390に一次転写されるようになっている。なお一次転写位置に近接して、感光体ドラム341の表面の残留トナーを除去するクリーニング手段346が設けられている。   Further, an intermediate transfer belt 390 is disposed below the photosensitive drum 341. The intermediate transfer belt 390 is stretched around a driving roller 391, a driven roller 392, and a tension roller 393, and can be circulated and moved by the driving roller 391. A primary transfer roller 345 is disposed so as to face the photosensitive drum 341 with the intermediate transfer belt 390 interposed therebetween. Then, a primary transfer bias is applied to the primary transfer roller 345 to press the intermediate transfer belt 390 against the photosensitive drum 341. As a result, the toner image formed on the photosensitive drum 341 is primarily transferred to the intermediate transfer belt 390. A cleaning unit 346 for removing residual toner on the surface of the photosensitive drum 341 is provided in the vicinity of the primary transfer position.

上述したイエロー画像転写ユニットYと同様に、マゼンタ画像転写ユニットM、シアン画像転写ユニットCおよびブラック画像転写ユニットKが構成され、中間転写ベルト390に沿って配置されている。そして、各色画像転写ユニットにおいて各色トナー像を中間転写ベルト390に一次転写することにより、各色トナー像が重ね合わされたフルカラーのトナー像が形成される。   Similar to the yellow image transfer unit Y described above, a magenta image transfer unit M, a cyan image transfer unit C, and a black image transfer unit K are configured and arranged along the intermediate transfer belt 390. Each color image transfer unit performs primary transfer of each color toner image to the intermediate transfer belt 390, thereby forming a full color toner image in which the respective color toner images are superimposed.

一方、プリンタ380の下方には、多数枚の記録媒体Pが積層保持される給紙カセット363が設けられている。その給紙カセット363の端部には、記録媒体Pを一枚ずつ給送するピックアップローラ364、および記録媒体Pの供給タイミングを規定するゲートローラ対365が設けられている。また、中間転写ベルト390の従動ローラ392に対向して、二次転写ローラ366が設けられている。そして、この二次転写ローラ366上に供給された記録媒体Pを、従動ローラ392上の中間転写ベルト390に押圧する。これにより、中間転写ベルト390上に形成されたフルカラーのトナー像が、記録媒体Pに二次転写されるようになっている。なお二次転写位置に近接して、中間転写ベルト390の表面の残留トナーを除去するクリーニング手段367が設けられている。   On the other hand, below the printer 380, a paper feed cassette 363 in which a large number of recording media P are stacked and held is provided. A pickup roller 364 that feeds the recording media P one by one and a gate roller pair 365 that defines the supply timing of the recording media P are provided at the end of the paper feed cassette 363. Further, a secondary transfer roller 366 is provided to face the driven roller 392 of the intermediate transfer belt 390. Then, the recording medium P supplied onto the secondary transfer roller 366 is pressed against the intermediate transfer belt 390 on the driven roller 392. As a result, the full-color toner image formed on the intermediate transfer belt 390 is secondarily transferred to the recording medium P. A cleaning unit 367 for removing residual toner on the surface of the intermediate transfer belt 390 is provided in the vicinity of the secondary transfer position.

さらに二次転写位置の下流側には、トナー像を記録媒体Pに定着させる定着ローラ対361が設けられている。その定着ローラ対361の下流側には、プリンタ380の上部に形成された排紙トレイ368上に記録媒体Pを排出する排紙ローラ対362が設けられている。タンデム方式のプリンタ380は、以上のように構成されている。   Further, a fixing roller pair 361 for fixing the toner image to the recording medium P is provided on the downstream side of the secondary transfer position. On the downstream side of the fixing roller pair 361, a paper discharge roller pair 362 that discharges the recording medium P onto a paper discharge tray 368 formed on the upper portion of the printer 380 is provided. The tandem printer 380 is configured as described above.

このプリンタ380は、本発明のプリンタヘッド101を備えているので、有機EL素子の輝度を確保するため大電流を印加した場合でも、有機EL素子の発光のにじみを抑制することが可能であり、また有機EL素子の発光寿命を維持することが可能である。また印刷スピードをアップしても、コントラストを確保した印刷が可能である。したがって、印刷品質および信頼性に優れたプリンタを提供することができる。   Since the printer 380 includes the printer head 101 of the present invention, even when a large current is applied in order to ensure the luminance of the organic EL element, it is possible to suppress bleeding of the organic EL element. In addition, the light emission lifetime of the organic EL element can be maintained. Even if the printing speed is increased, it is possible to perform printing while ensuring contrast. Therefore, it is possible to provide a printer having excellent print quality and reliability.

(4サイクル方式のプリンタ)
次に、4サイクル方式のプリンタについて説明する。
図13は、4サイクル方式のプリンタの概略構成図である。このプリンタ160は、感光体ドラム165の周囲に、帯電器168と、プリンタヘッド167と、ロータリ構成の現像装置161とを備えて構成されている。なお、感光体ドラム165、帯電器168およびプリンタヘッド167の構成は、上述したタンデム方式のプリンタと同様である。
(4-cycle printer)
Next, a 4-cycle printer will be described.
FIG. 13 is a schematic configuration diagram of a 4-cycle printer. The printer 160 includes a charger 168, a printer head 167, and a developing device 161 having a rotary configuration around the photosensitive drum 165. The configurations of the photosensitive drum 165, the charger 168, and the printer head 167 are the same as those of the above-described tandem printer.

ロータリ構成の現像装置161は、イエロー現像ユニットYと、シアン現像ユニットCと、マゼンタ現像ユニットMと、ブラック現像ユニットKとを備え、中心軸161bの周囲を回転可能に構成されている。そのイエロー現像ユニットYの内部には、イエロートナーと、そのトナーを感光体ドラム165に付着させる現像ローラ162と、その現像ローラ162に対してトナーを供給する供給ローラ163と、現像ローラ162のトナーを所定の厚さに規制する規制ブレード164とを備えている。そして、現像ローラ162に高電圧が印加されることにより、回転する感光体ドラム165の表面にイエロー画像が形成されるようになっている。   The rotary developing device 161 includes a yellow developing unit Y, a cyan developing unit C, a magenta developing unit M, and a black developing unit K, and is configured to be rotatable around a central shaft 161b. Inside the yellow developing unit Y, yellow toner, a developing roller 162 for attaching the toner to the photosensitive drum 165, a supply roller 163 for supplying toner to the developing roller 162, and a toner for the developing roller 162 And a regulating blade 164 for regulating the thickness to a predetermined thickness. When a high voltage is applied to the developing roller 162, a yellow image is formed on the surface of the rotating photosensitive drum 165.

その感光体ドラム165の上方に、中間転写ベルト169が配置されている。その中間転写ベルト169は、駆動ローラ170aと従動ローラ170bとの間に張架されている。その駆動ローラ170aを感光体ドラム165の駆動モータに連結すれば、感光体ドラム165と同期して中間転写ベルト169を循環移動させることができる。また駆動モータとしてステップモータを採用すれば、中間転写ベルト169の色ずれ補正を行うことができる。その中間転写ベルト169を挟んで感光体ドラム165と対向するように、一次転写ローラ166が配置されている。この一次転写ローラ166によって中間転写ベルト169を感光体ドラム165に押圧することにより、感光体ドラム165に形成されたイエロー画像が中間転写ベルト169に一次転写されるようになっている。   An intermediate transfer belt 169 is disposed above the photosensitive drum 165. The intermediate transfer belt 169 is stretched between the driving roller 170a and the driven roller 170b. If the drive roller 170 a is connected to the drive motor of the photosensitive drum 165, the intermediate transfer belt 169 can be circulated and moved in synchronization with the photosensitive drum 165. If a step motor is employed as the drive motor, color misregistration correction of the intermediate transfer belt 169 can be performed. A primary transfer roller 166 is disposed so as to face the photosensitive drum 165 with the intermediate transfer belt 169 interposed therebetween. By pressing the intermediate transfer belt 169 against the photosensitive drum 165 by the primary transfer roller 166, the yellow image formed on the photosensitive drum 165 is primarily transferred to the intermediate transfer belt 169.

一方、プリンタ160の下方には、用紙を収納する給紙トレイ178が設けられている。その給紙トレイ178の端部には、用紙を一枚ずつ供給するピックアップローラ179が設けられている。そのピックアップローラ179から伸びる用紙搬送路174には、用紙を搬送する複数の搬送ローラが設けられている。その搬送ローラは、低速のブラシレスモータ等によって駆動されるようになっている。また、用紙搬送路174を挟んで駆動ローラ170aと対向するように、二次転写ローラ171が配置されている。この二次転写ローラ171は、クラッチによって中間転写ベルト169に当接および離反しうるようになっている。そして、この二次転写ローラ171上に供給された用紙を、駆動ローラ170a上に配置された中間転写ベルト169に押圧する。これにより、中間転写ベルト169上に形成されたイエロー画像が、用紙に対して二次転写されるようになっている。   On the other hand, a paper feed tray 178 for storing paper is provided below the printer 160. A pickup roller 179 that supplies paper one by one is provided at the end of the paper feed tray 178. A paper conveyance path 174 extending from the pickup roller 179 is provided with a plurality of conveyance rollers for conveying the paper. The conveying roller is driven by a low-speed brushless motor or the like. Further, a secondary transfer roller 171 is disposed so as to face the driving roller 170a with the paper conveyance path 174 interposed therebetween. The secondary transfer roller 171 can be brought into contact with and separated from the intermediate transfer belt 169 by a clutch. The sheet supplied onto the secondary transfer roller 171 is pressed against the intermediate transfer belt 169 disposed on the drive roller 170a. As a result, the yellow image formed on the intermediate transfer belt 169 is secondarily transferred to the sheet.

その二次転写位置の下流側には、用紙に対する画像の定着処理を行う定着器が配置されている。その定着器には、加熱ローラ172および加圧ローラ173が設けられている。
定着器の下流側には、排紙ローラ対176が配置されている。定着処理後の用紙は、排紙ローラ対176に引き込まれて矢印F方向に進行する。この状態から排紙ローラ対176を逆方向に回転させると、用紙の進行方向が反転して、用紙は両面プリント用搬送路175を矢印G方向に進行する。この搬送路175で用紙を待機させている間に、裏面プリント用のイエロー画像を中間転写ベルト169に一次転写する。そして、適当なタイミングで用紙を二次転写位置に供給し、中間転写ベルト169からイエロー画像を用紙に二次転写する。
On the downstream side of the secondary transfer position, a fixing device for fixing the image on the sheet is disposed. The fixing device is provided with a heating roller 172 and a pressure roller 173.
A paper discharge roller pair 176 is disposed on the downstream side of the fixing device. The sheet after the fixing process is drawn into the discharge roller pair 176 and proceeds in the direction of arrow F. When the paper discharge roller pair 176 is rotated in the reverse direction from this state, the paper traveling direction is reversed, and the paper advances in the double-sided printing conveyance path 175 in the direction of arrow G. While the sheet is waiting on the conveyance path 175, the yellow image for back side printing is primarily transferred to the intermediate transfer belt 169. Then, the paper is supplied to the secondary transfer position at an appropriate timing, and the yellow image is secondarily transferred from the intermediate transfer belt 169 to the paper.

用紙の両面にイエロー画像が二次転写されたら、ロータリ構成の現像装置161を矢印A方向に90度回転させ、シアン画像について同様の処理を行う。さらに、マゼンタ画像およびブラック画像について同様の処理を行うことにより、各色画像を重ね合わせたフルカラー画像が用紙に形成される。4サイクル方式のプリンタ160は、以上のように構成されている。   When the yellow image is secondarily transferred onto both sides of the paper, the rotary developing device 161 is rotated 90 degrees in the direction of arrow A, and the same processing is performed on the cyan image. Further, by performing the same processing for the magenta image and the black image, a full color image in which the respective color images are superimposed is formed on the paper. The 4-cycle printer 160 is configured as described above.

このプリンタ160も、本発明のプリンタヘッド167を備えているので、有機EL素子の輝度を確保するため大電流を印加した場合でも、有機EL素子の発光のにじみを抑制することが可能であり、また有機EL素子の発光寿命を維持することが可能である。また印刷スピードをアップしても、コントラストを確保した印刷が可能である。したがって、印刷品質および信頼性に優れたプリンタを提供することができる。   Since this printer 160 also includes the printer head 167 of the present invention, even when a large current is applied in order to ensure the luminance of the organic EL element, it is possible to suppress bleeding of the organic EL element. In addition, the light emission lifetime of the organic EL element can be maintained. Even if the printing speed is increased, it is possible to perform printing while ensuring contrast. Therefore, it is possible to provide a printer having excellent print quality and reliability.

なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。   It should be noted that the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes those in which various modifications are made to the above-described embodiments without departing from the spirit of the present invention. That is, the specific materials and configurations described in the embodiments are merely examples, and can be changed as appropriate.

上記実施形態ではボトムエミッション型の有機EL装置を例にして説明したが、本発明をトップエミッション型の有機EL装置に適用することも可能である。トップエミッション型の有機EL装置の画素電極は、AlやCr等の高反射率の金属材料で構成されているが、正孔注入性を向上させるため、金属材料の表面にITOやIZO(登録商標)等の透明導電性材料が積層形成されるからである。
また上記実施形態では有機EL装置を例にして説明したが、有機物を能動的に使用する有機半導体を安定駆動させるため、有機半導体全般に本発明を適用することが可能である。
In the above embodiment, the bottom emission type organic EL device has been described as an example. However, the present invention can also be applied to a top emission type organic EL device. The pixel electrode of the top emission type organic EL device is made of a highly reflective metal material such as Al or Cr. In order to improve the hole injection property, ITO or IZO (registered trademark) is formed on the surface of the metal material. This is because a transparent conductive material such as
In the above embodiment, the organic EL device has been described as an example. However, in order to stably drive an organic semiconductor that actively uses an organic substance, the present invention can be applied to all organic semiconductors.

プリンタヘッドの断面斜視図である。It is a cross-sectional perspective view of a printer head. プリンタヘッドの模式的な平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of a printer head. レンズアレイの斜視図である。It is a perspective view of a lens array. 第1実施形態に係る有機EL装置の側面断面図である。1 is a side cross-sectional view of an organic EL device according to a first embodiment. 第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 1st Embodiment. 第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 1st Embodiment. (a)は有機EL素子の断面の模式図、(b)はポリスチレンスルフォン酸の化学式である。(A) is the schematic diagram of the cross section of an organic EL element, (b) is a chemical formula of polystyrene sulfonic acid. 正孔注入層の製造工程における大気中への暴露時間と、正孔注入層における金属イオン含有率および電流値との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the exposure time in air | atmosphere in the manufacturing process of a positive hole injection layer, the metal ion content rate in a positive hole injection layer, and an electric current value. (a)は正孔注入層における電流の軌跡を説明するための側面断面図であり、図9(b)は発光のにじみを説明するための平面図である。FIG. 9A is a side cross-sectional view for explaining a current trajectory in the hole injection layer, and FIG. 9B is a plan view for explaining light emission bleeding. 第1実施形態に係る有機EL装置(実施例1)と、その比較例1との対比説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram for comparison between the organic EL device according to the first embodiment (Example 1) and Comparative Example 1; 正孔注入層の大気放置時間と有機EL素子の寿命との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the air exposure time of a positive hole injection layer, and the lifetime of an organic EL element. タンデム方式のプリンタの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a tandem printer. 4サイクル方式のプリンタの概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a 4-cycle printer.

符号の説明Explanation of symbols

1…有機EL装置(光源アレイ) 3…有機EL素子 10…空調室 23…画素電極(陽極、導電膜) 25…無機隔壁 31…レンズアレイ 31a…レンズ素子 50…陰極 60…発光層 70…正孔注入層 101…プリンタヘッド   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Organic EL apparatus (light source array) 3 ... Organic EL element 10 ... Air-conditioning chamber 23 ... Pixel electrode (anode, electrically conductive film) 25 ... Inorganic partition wall 31 ... Lens array 31a ... Lens element 50 ... Cathode 60 ... Light emitting layer 70 ... Positive Hole injection layer 101 ... Printer head

Claims (13)

一対の導電膜の間に有機膜が配置されてなる複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイと、前記光源アレイからの光を結像させるレンズ素子を配列してなるレンズアレイとを備えたプリンタヘッドであって、
前記一対の導電膜のうち陽極の表面に、前記陽極から供給される正孔を発光層に注入する正孔注入層が形成され、
前記正孔注入層には、金属元素が含まれていることを特徴とするプリンタヘッド。
A light source array in which a plurality of organic EL elements each having an organic film disposed between a pair of conductive films are arranged in alignment, and a lens array in which lens elements for imaging light from the light source array are arranged. A printer head,
A hole injection layer for injecting holes supplied from the anode into the light emitting layer is formed on the surface of the anode of the pair of conductive films,
The printer head according to claim 1, wherein the hole injection layer contains a metal element.
前記正孔注入層には、前記金属元素が1.0atm%以上含まれていることを特徴とする請求項1に記載のプリンタヘッド。   2. The printer head according to claim 1, wherein the hole injection layer contains 1.0 atm% or more of the metal element. 前記正孔注入層は、吸湿により酸性を示す有機材料で構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプリンタヘッド。   The printer head according to claim 1, wherein the hole injection layer is made of an organic material that exhibits acidity by absorbing moisture. 前記正孔注入層は、PEDOT/PSSの塗布膜を乾燥させて形成したものであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のプリンタヘッド。   4. The printer head according to claim 1, wherein the hole injection layer is formed by drying a coating film of PEDOT / PSS. 前記正孔注入層から発光層までの前記有機膜のうち、前記正孔注入層を含む複数の前記有機膜に前記金属元素が含まれていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のプリンタヘッド。   5. The metal element is contained in a plurality of the organic films including the hole injection layer among the organic films from the hole injection layer to the light emitting layer. The printer head according to claim 1. 前記正孔注入層には、前記金属元素が1.0atm%以上含まれ、
前記正孔注入層に隣接配置された前記有機膜の一部には、前記金属元素が0.2atm%以上含まれていることを特徴とする請求項5に記載のプリンタヘッド。
The hole injection layer contains 1.0 atm% or more of the metal element,
6. The printer head according to claim 5, wherein a part of the organic film disposed adjacent to the hole injection layer contains the metal element in an amount of 0.2 atm% or more.
前記金属元素は、前記陽極に含まれる金属元素と同種の金属元素であることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のプリンタヘッド。   The printer head according to claim 1, wherein the metal element is a metal element of the same type as the metal element contained in the anode. 一対の導電膜の間に有機膜が配置されてなる複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイと、前記光源アレイからの光を結像させるレンズ素子を配列してなるレンズアレイとを備えたプリンタヘッドの製造方法であって、
金属元素を含む前記導電膜の表面に、吸湿により酸性を示す有機材料からなる正孔注入層を形成する工程と、
水分または酸素の少なくとも一方が存在する雰囲気に、前記正孔注入層を暴露する工程と、
を有することを特徴とするプリンタヘッドの製造方法。
A light source array in which a plurality of organic EL elements each having an organic film disposed between a pair of conductive films are arranged in alignment, and a lens array in which lens elements for imaging light from the light source array are arranged. A method for manufacturing a printer head, comprising:
Forming a hole injection layer made of an organic material that exhibits acidity by moisture absorption on the surface of the conductive film containing a metal element;
Exposing the hole injection layer to an atmosphere in which at least one of moisture or oxygen is present;
A method of manufacturing a printer head, comprising:
前記正孔注入層の暴露工程では、前記正孔注入層を大気中に6時間以上暴露することを特徴とする請求項8に記載のプリンタヘッドの製造方法。   9. The method of manufacturing a printer head according to claim 8, wherein in the step of exposing the hole injection layer, the hole injection layer is exposed to the atmosphere for 6 hours or more. 前記正孔注入層の暴露工程は、水分濃度および/または酸素濃度をそれぞれ10%以上100%以下の範囲で調整可能な空調室内で行うことを特徴とする請求項8または請求項9に記載のプリンタヘッドの製造方法。   The exposure process of the hole injection layer is performed in an air conditioned room in which a moisture concentration and / or an oxygen concentration can be adjusted in a range of 10% to 100%, respectively. A method for manufacturing a printer head. 前記正孔注入層の暴露工程の後に、前記正孔注入層の表面に前記有機膜を形成する工程と、
前記有機膜を加熱処理する工程と、
を有することを特徴とする請求項8ないし請求項10のいずれか1項に記載のプリンタヘッドの製造方法。
After the step of exposing the hole injection layer, forming the organic film on the surface of the hole injection layer;
Heat-treating the organic film;
11. The method of manufacturing a printer head according to claim 8, further comprising:
一対の導電膜の間に有機膜が配置されてなる複数の有機EL素子を整列配置した光源アレイと、前記光源アレイからの光を結像させるレンズ素子を配列してなるレンズアレイとを備えたプリンタヘッドの製造方法であって、
前記導電膜の表面に、予め金属元素が分散された液状体を塗布して、正孔注入層を形成する工程を有することを特徴とするプリンタヘッドの製造方法。
A light source array in which a plurality of organic EL elements each having an organic film disposed between a pair of conductive films are arranged in alignment, and a lens array in which lens elements for imaging light from the light source array are arranged. A method for manufacturing a printer head, comprising:
A method of manufacturing a printer head, comprising: applying a liquid material in which a metal element is dispersed in advance to the surface of the conductive film to form a hole injection layer.
請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のプリンタヘッドを、露光手段として備えたことを特徴とするプリンタ。   8. A printer comprising the printer head according to claim 1 as exposure means.
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