JP2006059772A - Organic el device, its manufacturing method, printer head, lighting system and electronic apparatus - Google Patents

Organic el device, its manufacturing method, printer head, lighting system and electronic apparatus Download PDF

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JP2006059772A JP2004243223A JP2004243223A JP2006059772A JP 2006059772 A JP2006059772 A JP 2006059772A JP 2004243223 A JP2004243223 A JP 2004243223A JP 2004243223 A JP2004243223 A JP 2004243223A JP 2006059772 A JP2006059772 A JP 2006059772A
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<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL device having an organic thin film formed by having uniform film thickness and film quality over a wide range on a substrate, and capable of uniformly and properly emitting light. <P>SOLUTION: This organic EL device is composed by forming a plurality of organic EL elements on a substrate. The organic EL device is characterized by that each organic EL element comprises a pair of electrodes and an organic functional layer sandwiched between both the electrodes; at least one layer of an organic thin film constituting the organic functional layer is partially formed on the substrate by straddling the plurality of organic EL elements; and the organic thin film is formed by selectively arranging a liquid material in a formation area on the substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、有機EL装置とその製造方法、プリンタヘッド、照明装置、及び電子機器に関するものである。   The present invention relates to an organic EL device and a manufacturing method thereof, a printer head, a lighting device, and an electronic apparatus.

従来から、ディスプレイの光源や、照明用光源、電子写真複写機、光通信処理機器等の光源として平面発光が可能な発光装置が知られている。この種の平面光源では、無機EL(エレクトロルミネッセンス)素子が一般的に用いられていたが、無機EL素子は駆動に高圧の交流電源が必要であるため、低電圧駆動が可能な有機EL素子を用いた平面光源の開発が進められている。   2. Description of the Related Art Conventionally, light emitting devices capable of planar light emission are known as light sources for displays, illumination light sources, electrophotographic copying machines, optical communication processing devices, and the like. In this type of planar light source, an inorganic EL (electroluminescence) element is generally used. However, since an inorganic EL element requires a high-voltage AC power source for driving, an organic EL element that can be driven at a low voltage is used. Development of the planar light source used is in progress.

有機EL素子は、その発光に寄与する層として有機機能材料からなる薄膜を有しており、その膜厚は通常100nm以下である。係る有機薄膜の成膜方法としては、低分子の有機機能材料の場合には蒸着が一般的であるが、蒸着法では大面積に均一に成膜するのが困難であるため、有機薄膜の材料として高分子材料を用い、液相法を用いて基体に塗布することで大面積に均一な膜厚の有機薄膜を形成することが検討されている。上述した有機薄膜を液相法で形成するに際して、例えば特許文献1にはスピンコート法を用いることが記載されており、特許文献2には、液体材料を微小液滴の形態で基体上に付着させるインクジェット法を用いることが記載されている。
特開平10−92576号公報 特開2002−252083号公報
The organic EL element has a thin film made of an organic functional material as a layer that contributes to light emission, and the film thickness is usually 100 nm or less. As a method for forming such an organic thin film, vapor deposition is generally used in the case of a low molecular organic functional material, but it is difficult to form a film uniformly over a large area by the vapor deposition method. It has been studied to form an organic thin film having a uniform film thickness over a large area by applying a polymer material to the substrate using a liquid phase method. When forming the organic thin film described above by the liquid phase method, for example, Patent Document 1 describes using a spin coating method, and Patent Document 2 describes attaching a liquid material on a substrate in the form of microdroplets. The use of an inkjet method is described.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-92576 JP 2002-252083 A

しかしながら、スピンコート法により有機薄膜を形成する場合、基体上に供給した液体材料の一部を基体の外側に飛ばして除去するため、材料の使用効率が低く、成膜コストが上昇するという問題がある。またスピンコート法では基体の全面に液体材料を塗布するため、薄膜が不要な領域については成膜後に薄膜を除去する工程が必要である。
一方、インクジェット法は、素子を分離する隔壁を用い微細領域に選択的に液体材料を配する用途には極めて有効であり、液体材料を所望の平面形状にて基材上に配することができる。しかし、平面光源等のように単色素子を大面積に形成する用途にインクジェット法を用いた場合、液滴の着弾精度による膜厚の不均一を生じやすくなるという問題がある。
However, when an organic thin film is formed by spin coating, a part of the liquid material supplied onto the substrate is removed by flying to the outside of the substrate, so that the use efficiency of the material is low and the film formation cost increases. is there. In the spin coating method, since a liquid material is applied to the entire surface of the substrate, a step of removing the thin film after film formation is necessary for a region where the thin film is unnecessary.
On the other hand, the ink jet method is extremely effective for applications in which a liquid material is selectively disposed in a fine region using a partition that separates elements, and the liquid material can be disposed on a substrate in a desired planar shape. . However, when the ink jet method is used for the purpose of forming a monochromatic element in a large area such as a flat light source, there is a problem that the film thickness is likely to be uneven due to the landing accuracy of the liquid droplets.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、基体上の広範囲に、均一な膜厚及び膜質を有して形成された有機薄膜を有し、もって均一かつ良好な発光を可能にした有機EL装置を提供することを目的としている。
また本発明は、基体上の広範囲に均一な膜厚及び膜質を有する有機薄膜を形成でき、好ましくは前記有機薄膜の非形成領域に設けられた構成部材の機能をも良好なものとすることができる有機EL装置の製造方法を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has an organic thin film formed with a uniform film thickness and film quality over a wide range on a substrate. An object of the present invention is to provide an organic EL device capable of emitting light.
Further, the present invention is capable of forming an organic thin film having a uniform film thickness and film quality over a wide range on a substrate, and preferably has a good function of a constituent member provided in a non-formation region of the organic thin film. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an organic EL device that can be used.

本発明は、上記課題を解決するために、基体上に、有機機能層を挟持して対向する一対の電極を備えた有機EL素子を形成してなる有機EL装置であって、前記有機機能層を形成する有機薄膜の少なくとも1層が、当該有機薄膜の基体上の形成領域に対して、液体材料を平面的に塗布して形成されたものであることを特徴とする有機EL装置を提供する。
係る構成の有機EL装置は、前記有機EL素子を構成する有機薄膜が、基体上の所定領域のみに対して液体材料を平面塗布することで形成されている。すなわち、その製造工程において有機薄膜を形成するための液体材料が、有機薄膜を形成しない領域に対して配されることなく形成されたものである。このような構成とすることで、スピンコート法を用いる場合のような液体材料の無駄が生じるのを防止でき、もって材料の使用効率を高め、低コストに製造可能な有機EL装置とすることができる。また、液体材料を平面塗布することで基体上に形成される液体材料の液層厚が均一なものとなり、したがって面方向で均一な膜厚及び膜質を有する有機薄膜を形成できるので、発光輝度が均一であり、また高効率に発光可能な有機EL装置を得ることができる。
In order to solve the above-described problems, the present invention provides an organic EL device in which an organic EL element including a pair of electrodes facing each other with an organic functional layer interposed therebetween is formed on a substrate, the organic functional layer The organic EL device is characterized in that at least one layer of the organic thin film forming the liquid crystal is formed by planarly applying a liquid material to a formation region on the base of the organic thin film. .
In the organic EL device having such a configuration, the organic thin film constituting the organic EL element is formed by applying a liquid material to a predetermined area on a substrate in a plane. That is, the liquid material for forming the organic thin film in the manufacturing process is formed without being disposed in the region where the organic thin film is not formed. By adopting such a configuration, it is possible to prevent the waste of the liquid material as in the case of using the spin coating method, thereby improving the use efficiency of the material and obtaining an organic EL device that can be manufactured at a low cost. it can. Further, by applying the liquid material on a flat surface, the liquid layer thickness of the liquid material formed on the substrate becomes uniform, and therefore, an organic thin film having a uniform film thickness and film quality in the surface direction can be formed. An organic EL device that is uniform and can emit light with high efficiency can be obtained.

また本発明は、基体上に複数の有機EL素子を形成してなる有機EL装置であって、前記有機EL素子が、一対の電極と、前記両電極に挟持された有機機能層とを備えており、前記有機機能層を構成する有機薄膜の少なくとも1層が、前記複数の有機EL素子に跨って前記基体上に部分的に形成されており、前記有機薄膜が、前記基体上の形成領域のみに液体材料を平面的に配置して形成されたものであることを特徴とする有機EL装置を提供する。
係る構成の有機EL装置では、基体上に複数の有機EL素子が配設された構成において、有機機能層を構成する有機薄膜の1層以上が、複数の有機EL素子に跨って形成され、かつこのように複数に跨る有機薄膜が、その形成領域のみに液体材料を平面塗布して形成されている。この構成によれば、上述した有機EL装置と同様、高効率に材料を使用できることから低コストに製造可能であり、また有機薄膜の膜厚及び膜質の均一性にも優れた有機EL装置を提供することができる。
The present invention is also an organic EL device in which a plurality of organic EL elements are formed on a substrate, wherein the organic EL element includes a pair of electrodes and an organic functional layer sandwiched between the electrodes. And at least one layer of the organic thin film constituting the organic functional layer is partially formed on the substrate across the plurality of organic EL elements, and the organic thin film is formed only in a formation region on the substrate. The organic EL device is characterized by being formed by arranging a liquid material in a plane.
In the organic EL device having such a configuration, in the configuration in which a plurality of organic EL elements are disposed on the substrate, one or more organic thin films constituting the organic functional layer are formed across the plurality of organic EL elements, and In this way, a plurality of organic thin films are formed by applying a liquid material on a plane only in the formation region. According to this configuration, like the organic EL device described above, an organic EL device that can be manufactured at low cost because it can be used with high efficiency, and that has excellent film thickness and film quality uniformity is provided. can do.

本発明の有機EL装置では、前記有機EL素子の有機機能層が、水系溶媒を含む液体材料を用いてパターン形成された有機薄膜を含む構成とすることもできる。前記水系溶媒を含む液体材料が、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)を含む有機機能材料を水に溶解させたものであることが好ましい。
このように有機機能層を構成する有機薄膜に、水系溶媒を含む液体材料を用いて形成した有機薄膜が含まれていれば、有機機能層に含まれる複数層を液相法により形成する場合に、有機機能層の相溶解を防止しやすくなる。また、上記有機機能層を構成する有機薄膜のうち、水系溶媒を含む液体材料を用いて形成された有機薄膜については、基体上の全面に形成した後でパターニングしたものであっても、その除去領域に残渣が残り難いため、その形成領域のみに液体材料を平面塗布して形成したものでなくとも構わない。換言すれば、本発明においては、前記有機機能層を構成する有機薄膜のうち、非水系溶媒を含む液体材料を用いて形成される有機薄膜については、その形成領域のみに液体材料を平面塗布して形成したものとすることが好ましい。
In the organic EL device of the present invention, the organic functional layer of the organic EL element may include an organic thin film patterned using a liquid material containing an aqueous solvent. It is preferable that the liquid material containing the aqueous solvent is obtained by dissolving an organic functional material containing 3,4-polyethylenedioxythiophene (PEDOT) in water.
When the organic thin film formed using the liquid material containing the aqueous solvent is included in the organic thin film constituting the organic functional layer in this way, when forming a plurality of layers included in the organic functional layer by the liquid phase method It becomes easy to prevent phase dissolution of the organic functional layer. In addition, among organic thin films constituting the organic functional layer, organic thin films formed using a liquid material containing an aqueous solvent are removed even if they are patterned after being formed on the entire surface of the substrate. Since it is difficult for residues to remain in the region, the liquid material may not be formed by applying the liquid material on the surface only in the formation region. In other words, in the present invention, among the organic thin films constituting the organic functional layer, the organic thin film formed using a liquid material containing a non-aqueous solvent is applied by applying a liquid material to only the formation region. It is preferable to form it.

本発明の有機EL装置では、前記有機機能層を構成する有機薄膜が、2層以上の積層膜である構成とすることもでき、複数の有機EL素子に跨って形成された有機薄膜が2層以上の積層膜である構成とすることもできる。   In the organic EL device of the present invention, the organic thin film constituting the organic functional layer may be a laminated film of two or more layers, and the organic thin film formed over a plurality of organic EL elements is two layers. It can also be set as the structure which is the above laminated film.

本発明の有機EL装置では、前記有機薄膜の非形成領域に、前記有機EL素子と電気的に接続された端子部が設けられている構成とすることができる。本発明では、前記有機薄膜はその形成領域のみに液体材料を平面塗布して形成されたものであるので、当該有機薄膜の非形成領域は有機薄膜の液体材料が接触しない部分となる。このように液体材料ないし有機薄膜の一部が付着した履歴を有さない領域に端子部が形成されていれば、端子部に有機薄膜の残渣等が付着したり、有機薄膜の除去に用いるレーザ光などにより端子部が損傷されたりすることがなく、電気的物理的信頼性に優れた端子部を備えた有機EL装置とすることができる。   In the organic EL device of the present invention, a terminal portion electrically connected to the organic EL element may be provided in a non-formation region of the organic thin film. In the present invention, since the organic thin film is formed by applying a liquid material on only the formation region, the non-formation region of the organic thin film is a portion where the liquid material of the organic thin film is not in contact. If the terminal part is formed in a region where there is no history of the liquid material or part of the organic thin film adhering in this way, the organic thin film residue adheres to the terminal part or the laser used for removing the organic thin film The terminal portion is not damaged by light or the like, and an organic EL device having a terminal portion with excellent electrical and physical reliability can be obtained.

本発明の有機EL装置では、前記端子部が、当該有機EL装置の外部接続端子、又は前記有機EL素子の電極と接続された電極端子であってもよい。   In the organic EL device of the present invention, the terminal portion may be an external connection terminal of the organic EL device or an electrode terminal connected to an electrode of the organic EL element.

本発明の有機EL装置では、複数の有機EL素子の発光が、単一色であることが好ましい。複数のEL素子の発光色が単一であれば、前記有機機能層を構成する液体材料は当然同一となり、これらを広い領域に渡って均一に平面塗布することができるので、EL素子の発光スペクトルおよび発光輝度の均一化が図れる。   In the organic EL device of the present invention, it is preferable that the light emission of the plurality of organic EL elements is a single color. If the light emission colors of a plurality of EL elements are single, the liquid materials constituting the organic functional layer are naturally the same, and these can be uniformly applied over a wide area. In addition, the light emission luminance can be made uniform.

本発明の有機EL装置の製造方法は、基体上に有機EL素子を形成してなる有機EL装置の製造方法であって、前記基体上に、前記有機EL素子と、該有機EL素子に対し電気的に接続される端子部とを形成する工程を含み、前記有機EL素子を形成するに際して、前記端子部を除く前記基体上の領域に液体材料を平面的に塗布することで、当該有機EL素子を構成する有機薄膜を形成する。
この製造方法によれば、有機EL素子に含まれる有機薄膜を平面塗布により一括に成膜でき、スピンコート法のような材料の無駄も生じないので、材料の使用効率を高めることができ、もって低コストに有機EL装置を製造可能になる。また、基体上に形成された端子部を除く領域に対して上記有機薄膜の液体材料を平面塗布するので、端子部と液体材料とが接触せず、端子部の電気的信頼性を良好に保持することができる。
The manufacturing method of the organic EL device of the present invention is a manufacturing method of an organic EL device in which an organic EL element is formed on a substrate, and the organic EL device is electrically connected to the organic EL device on the substrate. A step of forming a terminal portion to be connected to the organic EL device, and when forming the organic EL device, a liquid material is applied in a planar manner to a region on the substrate excluding the terminal portion, thereby forming the organic EL device. The organic thin film which comprises is formed.
According to this manufacturing method, the organic thin film contained in the organic EL element can be formed in a lump by flat coating, and the material is not wasted as in the spin coating method, so that the use efficiency of the material can be improved. An organic EL device can be manufactured at low cost. Also, since the liquid material of the organic thin film is applied to the area excluding the terminal part formed on the substrate, the terminal part and the liquid material do not come into contact with each other, and the electrical reliability of the terminal part is maintained well. can do.

本発明の有機EL装置の製造方法は、基体上に複数の有機EL素子を形成してなる有機EL装置の製造方法であって、前記基体上に前記有機EL素子を構成する一側の電極を複数形成する工程と、前記複数の電極の形成領域に跨る基体上の領域に液体材料を平面的に塗布することにより前記有機EL素子を構成する有機薄膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
この製造方法によれば、複数の有機EL素子を具備した有機EL装置の製造に際しても上記と同様の効果を得ることができる。
The manufacturing method of the organic EL device of the present invention is a manufacturing method of an organic EL device in which a plurality of organic EL elements are formed on a base, and one electrode constituting the organic EL element is formed on the base. A step of forming a plurality of electrodes, and a step of forming an organic thin film constituting the organic EL element by planarly applying a liquid material to a region on a substrate straddling a region where the plurality of electrodes are formed. And
According to this manufacturing method, the same effect as described above can be obtained in manufacturing an organic EL device including a plurality of organic EL elements.

本発明の有機EL装置の製造方法では、前記基体上に液体材料を選択配置するに際して、スリットコート法、ロールコート法、又は印刷法を用いることが好ましい。これらの塗布方法を用いることで、選択した領域に対する液体材料の平面塗布を容易かつ高い精度を持って行えるようになる。   In the method for producing an organic EL device of the present invention, it is preferable to use a slit coating method, a roll coating method, or a printing method when a liquid material is selectively disposed on the substrate. By using these coating methods, it becomes possible to easily and highly accurately apply a liquid material to a selected region.

本発明の有機EL装置の製造方法は、前記液体材料の粘度が5cP以下であり、その溶質濃度が1重量%以下であることが好ましい。
また本発明の有機EL装置の製造方法は、前記液体材料の粘度が2cP以下であることがより好ましい。
また本発明の有機EL装置の製造方法は、前記液体材料の溶質濃度が0.1重量%以下であることがより好ましい。
粘度及び濃度を上記範囲に設定することで、均一な液層厚にて基体上に塗布できる液体材料を得ることができ、基体上に均一な膜質及び膜厚の有機薄膜を容易に形成できるようになる。
In the method for manufacturing an organic EL device of the present invention, it is preferable that the liquid material has a viscosity of 5 cP or less and a solute concentration of 1 wt% or less.
In the method for producing an organic EL device of the present invention, the liquid material preferably has a viscosity of 2 cP or less.
In the method for producing an organic EL device of the present invention, the solute concentration of the liquid material is more preferably 0.1% by weight or less.
By setting the viscosity and concentration within the above ranges, it is possible to obtain a liquid material that can be applied on the substrate with a uniform liquid layer thickness, and to easily form an organic thin film having a uniform film quality and thickness on the substrate. become.

本発明の有機EL装置の製造方法は、前記液体材料を加温しつつ前記基体上に塗布することもできる。液体材料を基体上で良好に濡れ広がらせ、均一な液層厚を得るには液体材料の粘度は低い方が好ましいが、材料の種類による制約で粘度を下げられない場合もある。そこでこの製造方法のように液体材料を加温しつつ塗布するようにすれば、液体材料の粘度を低下させることができ、基体上で良好に濡れ広がらせることができる。   In the method for producing an organic EL device of the present invention, the liquid material can be applied onto the substrate while heating. In order to achieve good wetting and spreading of the liquid material on the substrate and to obtain a uniform liquid layer thickness, it is preferable that the viscosity of the liquid material is low, but there are cases where the viscosity cannot be lowered due to restrictions depending on the type of material. Therefore, if the liquid material is applied while being heated as in this manufacturing method, the viscosity of the liquid material can be reduced, and the liquid material can be satisfactorily wetted and spread on the substrate.

本発明のプリンタヘッドは、先に記載の本発明の有機EL装置を含むことを特徴としている。本発明によれば単一色の輝度の均一性に優れたプリンタヘッドを提供できる。
本発明の照明装置は、先に記載の本発明の有機EL装置を含むことを特徴としている。本発明によれば白色あるいは単一色の輝度の均一性に優れた照明装置を提供できる。
The printer head of the present invention is characterized by including the organic EL device of the present invention described above. According to the present invention, it is possible to provide a printer head excellent in uniformity of luminance of a single color.
The illumination device of the present invention includes the organic EL device of the present invention described above. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the illuminating device excellent in the uniformity of the brightness | luminance of white or a single color can be provided.

本発明の表示装置は、上記本発明に係る照明装置を備えたことを特徴としている。この構成によれば、均一な面発光が得られる照明装置を具備し、表示輝度の均一性に優れた表示装置を提供できる。   A display device according to the present invention includes the above-described illumination device according to the present invention. According to this configuration, it is possible to provide a display device that includes the illumination device capable of obtaining uniform surface light emission and has excellent display luminance uniformity.

本発明の電子機器は、上記本発明に係るプリンタヘッドを備えたことを特徴としている。
本発明の電子機器は、上記本発明に係る照明装置を備えたことを特徴としている。
本発明の電子機器は、上記本発明に係る表示装置を備えたことを特徴としている。
本発明の電子機器は、先に記載の有機EL装置を備えたことを特徴とする。
An electronic apparatus according to the present invention includes the printer head according to the present invention.
An electronic apparatus according to the present invention includes the illumination device according to the present invention.
An electronic apparatus according to the present invention includes the display device according to the present invention.
An electronic apparatus according to the present invention includes the organic EL device described above.

(有機EL装置の製造方法)
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図1は本発明に係る有機EL装置の基本構成を示す断面構成図であり、図2ないし図4は、本実施形態に係る製造方法に適用できる塗布装置の要部断面図であり、図2は、ダイコータにより構成した例を示し、図3及び図4は、フレキソ印刷装置により構成した例を示している。
(Method for manufacturing organic EL device)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram showing a basic configuration of an organic EL device according to the present invention, and FIGS. 2 to 4 are cross-sectional views of main parts of a coating apparatus applicable to the manufacturing method according to the present embodiment. Shows an example constituted by a die coater, and FIGS. 3 and 4 show examples constituted by a flexographic printing apparatus.

図1に示す本実施形態の有機EL装置10は、基板(基体)11上に有機EL素子19を配設した構成を具備しており、有機EL素子19は、基板11の一面側に、陽極(第1の電極)12と、有機EL層(有機機能層)13と、陰極(第2の電極)14とを順に積層した構成を備えている。有機EL層13は陽極12側から順に正孔注入層15、正孔輸送層16、発光層17、電子輸送層18を積層した構成を備えている。
本実施形態の有機EL装置10は、その駆動方式として、アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型のいずれも適用可能であり、電極12,14を介して有機EL層13に電流を供給することで発光層17を発光させ、基板11の外面側に光を放射できるようになっている。
An organic EL device 10 according to this embodiment shown in FIG. 1 has a configuration in which an organic EL element 19 is disposed on a substrate (base body) 11, and the organic EL element 19 has an anode on one surface side of the substrate 11. (First electrode) 12, an organic EL layer (organic functional layer) 13, and a cathode (second electrode) 14 are sequentially laminated. The organic EL layer 13 has a configuration in which a hole injection layer 15, a hole transport layer 16, a light emitting layer 17, and an electron transport layer 18 are stacked in this order from the anode 12 side.
The organic EL device 10 of the present embodiment can be applied to either an active matrix type or a passive matrix type as its driving method, and by supplying current to the organic EL layer 13 through the electrodes 12 and 14, the light emitting layer 17 is caused to emit light, and light can be emitted to the outer surface side of the substrate 11.

本実施形態の有機EL装置10は、例えば発光層17からの出力光を基板11側から取り出す形態とすることができ、この場合基板11は、光を透過可能な透明あるいは半透明材料からなるものとされ、係る基板11上に光を透過可能な透明あるいは半透明の陽極12が形成される。また本実施形態では図示を省略しているが、基板11上には、配線や薄膜トランジスタ等の素子を形成することができる。
上記基板11の構成材料とされる光を透過可能な透明あるいは半透明材料には、例えば、透明なガラス、石英、サファイア、あるいはポリエステル、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリエーテルケトンなどの透明な合成樹脂などが挙げられる。特に、基板11の形成材料としては、安価なソーダガラスが好適に用いられる。陽極12は、インジウム錫酸化物(Indium Tin Oxide:ITO)等からなる透明電極とされる。
For example, the organic EL device 10 of the present embodiment can be configured to extract output light from the light emitting layer 17 from the substrate 11 side. In this case, the substrate 11 is made of a transparent or translucent material capable of transmitting light. A transparent or translucent anode 12 capable of transmitting light is formed on the substrate 11. Although not shown in the present embodiment, elements such as wirings and thin film transistors can be formed on the substrate 11.
Examples of the transparent or translucent material that can transmit light as the constituent material of the substrate 11 include transparent glass, quartz, sapphire, or transparent synthetic resin such as polyester, polyacrylate, polycarbonate, and polyetherketone. Is mentioned. In particular, as a material for forming the substrate 11, inexpensive soda glass is preferably used. The anode 12 is a transparent electrode made of indium tin oxide (ITO) or the like.

一方、基板11と反対側の陰極14側から光を取り出す形態の場合には、基板11を構成する材料は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミック、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。この場合、陽極12についても遮光性や光反射性の材料で形成することができる。   On the other hand, in the case where light is extracted from the cathode 14 side opposite to the substrate 11, the material constituting the substrate 11 may be opaque, and in this case, the surface is placed on a ceramic sheet such as alumina or a metal sheet such as stainless steel. An insulating treatment such as oxidation, a thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like can be used. In this case, the anode 12 can also be formed of a light shielding or light reflecting material.

正孔注入層15は、陽極12から有機EL層13への正孔の注入口率を高める機能を奏し、有機EL層における発光効率、寿命などの素子特性を向上させる機能を提供する。正孔注入/輸送層を形成するための材料(形成材料)としては、例えば、チオフェン系化合物(ポリチオフェン(PEDOT)等)、ピロール系化合物(ポリピロール等)、アニリン系化合物(ポリアニリン等)、アセチレン系化合物(ポリアセチレン等)や、それらの誘導体などを用いることができる。   The hole injection layer 15 has a function of increasing a hole injection rate from the anode 12 to the organic EL layer 13, and provides a function of improving element characteristics such as light emission efficiency and lifetime in the organic EL layer. As a material (formation material) for forming the hole injection / transport layer, for example, a thiophene compound (polythiophene (PEDOT) or the like), a pyrrole compound (polypyrrole or the like), an aniline compound (polyaniline or the like), an acetylene type, for example. A compound (such as polyacetylene) or a derivative thereof can be used.

また本実施形態では、正孔注入層15上にさらに正孔輸送層16が設けられており、正孔注入層15を介して注入される電荷を高効率に発光層17へ輸送するとともに、発光層17内を移動する電子をブロックするようになっている。この正孔輸送層16は必要に応じて設けられるものである。
上記正孔輸送層16としては、例えば、アミン系、ヒドラゾン系、スチルベン系、スターバスト系などに分類される有機材料が種々知られている。例えば、トリフェニルアミン誘導体(TPD)、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等を用いることができる。
Further, in this embodiment, a hole transport layer 16 is further provided on the hole injection layer 15, and charges injected through the hole injection layer 15 are transported to the light emitting layer 17 with high efficiency, and light emission is performed. The electrons moving in the layer 17 are blocked. The hole transport layer 16 is provided as necessary.
As the hole transport layer 16, for example, various organic materials classified into amine, hydrazone, stilbene, and starbust are known. For example, a triphenylamine derivative (TPD), a pyrazoline derivative, an arylamine derivative, a stilbene derivative, a triphenyldiamine derivative, or the like can be used.

発光層17の形成材料としては、低分子の有機発光色素や高分子発光体、即ち、各種の蛍光物質や燐光物質などの発光性を具備した有機エレクトロルミネッセンス材料が使用可能である。
高分子発光物質としては、ポリアリールビニレン系やポリフルオレン系などの共役系高分子や、クマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系などの蛍光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾールなどの高分子中に溶解させたものを用いることができる。またこれらの高分子蛍光体は、トルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水などの単独又は混合溶媒に高分子発光物質を溶解させて発光層形成用の液体材料とすることができる。また係る液体材料には、酸化防止剤、界面活性剤、粘度調整剤などを添加することもできる。
As a material for forming the light emitting layer 17, low molecular organic light emitting dyes and polymer light emitters, that is, organic electroluminescent materials having light emitting properties such as various fluorescent materials and phosphorescent materials can be used.
Polymer light-emitting substances include conjugated polymers such as polyaryl vinylenes and polyfluorenes, coumarins, perylenes, pyrans, anthrones, porphyrenes, quinacridones, N, N'-dialkyl-substituted quinacridones , Naphthalimide-based, N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole-based fluorescent dyes dissolved in a polymer such as polystyrene, polymethyl methacrylate, and polyvinyl carbazole can be used. In addition, these polymeric fluorescent substances dissolve polymeric light-emitting substances in single or mixed solvents such as toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, and water. Thus, a liquid material for forming a light emitting layer can be obtained. In addition, an antioxidant, a surfactant, a viscosity modifier and the like can be added to the liquid material.

電子輸送層18の形成材料としては、例えばオキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタンおよびその誘導体、ベンゾキノンおよびその誘導体、ナフトキノンおよびその誘導体、アントラキノンおよびその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタンおよびその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレンおよびその誘導体、ジフェノキノン誘導体、8−ヒドロキシキノリンおよびその誘導体の金属錯体等が例示される。具体的には、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス(8−キノリノール)アルミニウム等を好適なものとして例示できる。   Examples of the material for forming the electron transport layer 18 include oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane and its derivatives, benzoquinone and its derivatives, naphthoquinone and its derivatives, anthraquinone and its derivatives, tetracyanoanthraquinodimethane and its derivatives, fluorenone Examples include derivatives, diphenyldicyanoethylene and derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, metal complexes of 8-hydroxyquinoline and derivatives thereof, and the like. Specifically, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-t-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, benzoquinone, anthraquinone, tris (8-quinolinol) aluminum and the like are suitable. It can be illustrated as

陰極14は、アルミニウム(Al)やマグネシウム(Mg)、金(Au)、銀(Ag)等からなる金属電極である。また陰極14は、その電子輸送層18側に、金属のハロゲン化物あるいは酸化物からなる層を設けた積層構造とすることもできる。その金属として、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属又は遷移金属等の金属元素を採用することが可能である。また金属ハロゲン化物は、金属フッ化物であることが望ましいが、これ以外の金属塩化物や金属臭化物等であってもよい。そして、具体的な金属ハロゲン化物として、フッ化リチウム(LiF)を使用することが望ましい。またフッ化リチウム等の無機リチウム化合物に限らず、安息香酸リチウムや酢酸リチウム等の有機リチウム化合物を採用することも可能である。   The cathode 14 is a metal electrode made of aluminum (Al), magnesium (Mg), gold (Au), silver (Ag), or the like. The cathode 14 may have a laminated structure in which a layer made of a metal halide or oxide is provided on the electron transport layer 18 side. As the metal, a metal element such as an alkali metal, an alkaline earth metal, a rare earth metal, or a transition metal can be used. The metal halide is preferably a metal fluoride, but may be other metal chlorides or metal bromides. And it is desirable to use lithium fluoride (LiF) as a specific metal halide. In addition to inorganic lithium compounds such as lithium fluoride, organic lithium compounds such as lithium benzoate and lithium acetate can also be employed.

また実際の有機EL装置10では、陰極14を覆う封止部材を設けることが好ましく、さらには、陽極12と基板11との間に、基板12側から陽極12、陰極14と有機EL層13とに対して大気が侵入するのを遮断するための封止層を設けることが好ましい。光取り出し側に設ける封止層は、例えばセラミックや窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化珪素などの透明な材料により形成し、この中でも酸化窒化珪素が透明性、ガスバリア性の観点から好ましい。なお、封止層の厚さは発光層17から射出される光の波長より小さくすることが好ましい(例えば0.1μm)。   In the actual organic EL device 10, it is preferable to provide a sealing member that covers the cathode 14, and further, between the anode 12 and the substrate 11, the anode 12, the cathode 14, the organic EL layer 13, and the like from the substrate 12 side. It is preferable to provide a sealing layer for blocking air from entering. The sealing layer provided on the light extraction side is formed of a transparent material such as ceramic, silicon nitride, silicon oxynitride, or silicon oxide. Among these, silicon oxynitride is preferable from the viewpoint of transparency and gas barrier properties. The thickness of the sealing layer is preferably smaller than the wavelength of light emitted from the light emitting layer 17 (for example, 0.1 μm).

そして、本発明では、上記構成を具備した有機EL素子19を構成する有機EL層13のうち、少なくとも1層が液体材料を基板11上の一部領域に塗布することによって形成されたものとなっており、係る液体材料の塗布に際して、図2ないし図4に示す塗布装置を好適に用いることができる。   In the present invention, at least one layer of the organic EL layers 13 constituting the organic EL element 19 having the above-described configuration is formed by applying a liquid material to a partial region on the substrate 11. In applying the liquid material, the application apparatus shown in FIGS. 2 to 4 can be preferably used.

図2に示すダイコータ(塗布装置)50は、ダイ51と、液体材料供給部52とを主体として構成されている。液体材料供給部52は、例えば液体材料を貯留する材料容器と、この材料容器から液体材料をダイ51に搬送するポンプとを具備した構成とすることができ、これらの他に、液体材料の流量調整を行うバルブや、液体材料の供給圧力を一定に保持するためのバッファを備えていてもよい。このような構成のもと、ダイコータ50は、ダイ51の先端部を基板11に近接させて配置され、基板11を図示矢印方向に移動させながら液体材料供給部52からダイ51の内部に設けられたノズル部51aに液体材料を供給することで、一定量の液体材料13aを基板11上に塗布することができるようになっている。そして、基板11の搬送動作とダイ51からの液体材料の供給/停止動作を組み合わせることで、基板11上に所定平面パターンにて液体材料13aを塗布できるようになっている。   A die coater (coating apparatus) 50 shown in FIG. 2 is mainly composed of a die 51 and a liquid material supply unit 52. The liquid material supply unit 52 may include, for example, a material container that stores the liquid material and a pump that conveys the liquid material from the material container to the die 51. In addition to these, the flow rate of the liquid material You may provide the valve | bulb which adjusts, and the buffer for hold | maintaining the supply pressure of liquid material uniformly. With such a configuration, the die coater 50 is disposed with the tip of the die 51 close to the substrate 11 and is provided from the liquid material supply unit 52 to the inside of the die 51 while moving the substrate 11 in the direction of the arrow in the figure. By supplying the liquid material to the nozzle portion 51a, a certain amount of the liquid material 13a can be applied onto the substrate 11. The liquid material 13a can be applied on the substrate 11 in a predetermined plane pattern by combining the transport operation of the substrate 11 and the supply / stop operation of the liquid material from the die 51.

図3に示すフレキソ印刷装置60Aは、いわゆるドクターロール方式のフレキソ印刷装置であり、フレキソ刷版61aを周面に支持した刷版ロール61と、フレキソ刷版61aに対して液体材料の塗布を行うアニロックスロール62と、アニロックスロール62の周面に液体材料を塗布するドクターロール63とそ備えて構成されている。
上記構成を具備したフレキソ印刷装置60Aにより基板11への液体材料の塗布を行うには、まず、上記3つのロール61〜63を回転させつつドクターロール63とアニロックスロール62との間に液体材料13aを供給する。すると、ドクターロール63とアニロックスロール62との間隙から少量ずつの液体材料13aがアニロックスロール62周面に供給され、このアニロックスロール62からフレキソ刷版61aに対して液体材料13aが塗布される。そして、このような運転状態で刷版ロール61の周面に近接する位置に基板11を通過させると、フレキソ刷版61aの表面に保持されている液体材料13aが基板11上に転写される。この印刷装置60Aによれば、フレキソ刷版61aの平面形状に応じた平面パターンにて基板11上に液体材料13aを塗布することができる。
A flexographic printing apparatus 60A shown in FIG. 3 is a so-called doctor roll type flexographic printing apparatus, and applies a liquid material to the printing plate roll 61 that supports the flexographic printing plate 61a on the peripheral surface and the flexographic printing plate 61a. An anilox roll 62 and a doctor roll 63 for applying a liquid material to the peripheral surface of the anilox roll 62 are provided.
In order to apply the liquid material to the substrate 11 by the flexographic printing apparatus 60A having the above-described configuration, first, the liquid material 13a is interposed between the doctor roll 63 and the anilox roll 62 while rotating the three rolls 61 to 63. Supply. Then, a small amount of the liquid material 13a is supplied to the peripheral surface of the anilox roll 62 from the gap between the doctor roll 63 and the anilox roll 62, and the liquid material 13a is applied from the anilox roll 62 to the flexographic printing plate 61a. When the substrate 11 is passed through a position close to the peripheral surface of the printing plate roll 61 in such an operating state, the liquid material 13a held on the surface of the flexographic printing plate 61a is transferred onto the substrate 11. According to this printing apparatus 60A, the liquid material 13a can be applied onto the substrate 11 in a planar pattern corresponding to the planar shape of the flexographic printing plate 61a.

図4に示すフレキソ印刷装置60Bは、いわゆるドクターブレード方式のフレキソ印刷装置であり、図3に示したフレキソ印刷装置60Aのドクターロール63に代えて、ドクターブレード64を具備したものである。係るフレキソ印刷装置60Bでは、アニロックスロール62の周面への液体材料13aの供給に際して、先端部をアニロックスロール62の周面に近接させて配置したドクターブレード64を用いる以外はフレキソ印刷装置60Aと同様であり、係る印刷装置60Bを用いた場合にも、基板11上に所定平面パターンにて液体材料13aを塗布することが可能である。   A flexographic printing apparatus 60B shown in FIG. 4 is a so-called doctor blade type flexographic printing apparatus, and includes a doctor blade 64 instead of the doctor roll 63 of the flexographic printing apparatus 60A shown in FIG. The flexographic printing apparatus 60B is similar to the flexographic printing apparatus 60A except that a doctor blade 64 having a tip portion disposed close to the peripheral surface of the anilox roll 62 is used when supplying the liquid material 13a to the peripheral surface of the anilox roll 62. Even when such a printing apparatus 60B is used, it is possible to apply the liquid material 13a on the substrate 11 in a predetermined plane pattern.

本実施形態に係る有機EL装置の製造方法では、図2から図4に示した塗布装置を用いて、液体材料を13aを基板11上に種々の平面パターンにて塗布し、有機EL層13を構成する有機薄膜を基板11上に形成する。図2から図4に示す塗布装置にて基板11上への塗布に供される液体材料13aは、例えば有機EL層13のうち正孔注入層14を液相法を用いて形成する場合には、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の混合物を水に溶解した液体材料である。また例えば、青色の発光層17を形成する場合には、発光材料としてポリジアルキルフルオレンおよびその誘導体、ジスチリルビフェニルおよびその誘導体、テトラフェニルブタジエンおよびその誘導体などを用い、これらの発光材料を、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の溶媒に溶解して調製した液体材料である。
なお、緑色の発光層17を形成する発光材料としては、先の青色の発光材料に代えて、例えばポリパラフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリフルオレン誘導体F8BTなどを用いればよく、赤色の発光層17を形成する場合には、例えばローダミンなどの色素をポリパラフェニレンビニレンに添加したもの、あるいはポリフルオレン誘導体などの発光材料を用いればよい。
In the manufacturing method of the organic EL device according to the present embodiment, the liquid material 13a is applied on the substrate 11 in various plane patterns using the coating apparatus shown in FIGS. The organic thin film to be formed is formed on the substrate 11. The liquid material 13a used for coating on the substrate 11 by the coating apparatus shown in FIGS. 2 to 4 is, for example, when the hole injection layer 14 of the organic EL layer 13 is formed using a liquid phase method. , A liquid material in which a mixture of polythiophene derivatives such as polyethylenedioxythiophene (PEDOT) and polystyrene sulfonic acid (PSS) is dissolved in water. For example, when the blue light emitting layer 17 is formed, polydialkylfluorene and a derivative thereof, distyrylbiphenyl and a derivative thereof, tetraphenylbutadiene and a derivative thereof, and the like are used as a light emitting material. It is a liquid material prepared by dissolving in a solvent such as cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, and tetramethylbenzene.
As the light emitting material for forming the green light emitting layer 17, for example, polyparaphenylene vinylene and its derivatives, polyfluorene derivative F8BT or the like may be used instead of the blue light emitting material. In the case of forming, for example, a light emitting material such as a material obtained by adding a dye such as rhodamine to polyparaphenylene vinylene or a polyfluorene derivative may be used.

本発明において、基板11上への塗布に供される液体材料13aは、その粘度が5cP以下であることが好ましく、2cP以下であることがより好ましい。粘度が5cPを超えると、図2から図4に示した塗布装置を用いた塗布に際して図2に示したノズル51aからの供給やアニロックスロール62への液体材料の供給が円滑に行われない場合がある。粘度を2cP以下とすれば、極めて円滑に塗布装置による塗布を行うことができる。さらに液体材料13aの粘度を低下させるために、液体材料13aを加温しつつ塗布するようにしてもよい。例えば図2に示すダイ51や図3及び図4に示す刷版ロール61ないしアニロックスロール62を加温しつつ液体材料13aの塗布を行うことができる。この場合の加温は液体材料13aが変質しない程度とされ、例えば20〜80℃程度である。   In the present invention, the liquid material 13a to be applied to the substrate 11 has a viscosity of preferably 5 cP or less, and more preferably 2 cP or less. When the viscosity exceeds 5 cP, the supply from the nozzle 51 a shown in FIG. 2 or the supply of the liquid material to the anilox roll 62 may not be smoothly performed during application using the application apparatus shown in FIGS. is there. If the viscosity is 2 cP or less, coating by a coating apparatus can be performed very smoothly. Furthermore, in order to lower the viscosity of the liquid material 13a, the liquid material 13a may be applied while heating. For example, the liquid material 13a can be applied while heating the die 51 shown in FIG. 2 or the printing plate roll 61 or the anilox roll 62 shown in FIGS. In this case, the heating is performed so that the liquid material 13a does not change in quality, for example, about 20 to 80 ° C.

また、液体材料13aにおける溶質濃度は、1重量%以下とすることが好ましく、0.1重量%以下とすることがより好ましい。有機EL層13を構成する有機薄膜は10〜100nm程度の極めて薄い膜であるが、上記溶質濃度が1重量%を超えると、乾燥時に局所的な濃度分布を生じやすくなり、有機薄膜を均一な膜厚及び膜質にて形成することが困難になる。   The solute concentration in the liquid material 13a is preferably 1% by weight or less, and more preferably 0.1% by weight or less. The organic thin film constituting the organic EL layer 13 is a very thin film of about 10 to 100 nm. However, if the solute concentration exceeds 1% by weight, a local concentration distribution tends to occur during drying, and the organic thin film becomes uniform. It becomes difficult to form with film thickness and film quality.

図5は、基板11に対する液体材料13aの塗布形態例を示す平面構成図である。図5(a)に示す基板11には、有機EL素子を構成する陽極12が平面視矩形状に形成されており、この陽極12を覆うように液体材料13aが塗布されている。また、基板11上には、液体材料13aが塗布されていない領域(非塗布領域)13x、13yが存在しており、これらの非塗布領域は、例えば有機EL素子の陰極14と電気的に接続される端子部や、有機EL素子と外部回路とを接続する端子部等が形成される領域とされる。そして、これらの端子部が配される非形成領域13x、13yには、有機EL装置を形成する全工程に渡って、液体材料13aが塗布されないようになっている。
すなわち、本実施形態の有機EL装置の製造方法では、有機EL層13を構成する有機薄膜を形成するに際して、先のダイコータ50やフレキソ印刷装置60A、60Bを用いて液体材料13aを基板11上の所定領域(図5(a)では非形成領域13x、13yを除く領域)に対して一括に又は連続に形成し、基板11上の非形成領域13x、13yには液体材料13aが触れないようにして有機薄膜の形成を行う。
FIG. 5 is a plan configuration diagram showing an example of an application form of the liquid material 13 a to the substrate 11. On the substrate 11 shown in FIG. 5A, an anode 12 constituting an organic EL element is formed in a rectangular shape in plan view, and a liquid material 13a is applied so as to cover the anode 12. Further, on the substrate 11, there are areas (non-application areas) 13x and 13y where the liquid material 13a is not applied, and these non-application areas are electrically connected to, for example, the cathode 14 of the organic EL element. And a terminal part for connecting the organic EL element and an external circuit, and the like. The liquid material 13a is not applied to the non-formation regions 13x and 13y where these terminal portions are arranged over the entire process of forming the organic EL device.
That is, in the manufacturing method of the organic EL device of the present embodiment, when forming the organic thin film constituting the organic EL layer 13, the liquid material 13a is applied to the substrate 11 by using the previous die coater 50 and the flexographic printing devices 60A and 60B. The liquid material 13a is not touched to the non-formation regions 13x and 13y on the substrate 11 by forming them in a lump or continuous with respect to the predetermined regions (regions excluding the non-formation regions 13x and 13y in FIG. 5A). An organic thin film is formed.

また、図5(b)に示すように複数の有機EL素子を形成するべく基板11上に複数の陽極12が配列形成されている場合にも、これら複数の陽極12を覆うように一括に液体材料13aを塗布し、塗布領域のy方向両側の非塗布領域13x1、13x2には液体材料13aが触れないようにして有機薄膜の形成を行う。   Also, as shown in FIG. 5B, when a plurality of anodes 12 are arranged on the substrate 11 so as to form a plurality of organic EL elements, the liquid is collectively covered so as to cover the plurality of anodes 12. The material 13a is applied, and an organic thin film is formed so that the liquid material 13a does not touch the non-application areas 13x1 and 13x2 on both sides in the y direction of the application area.

このようにして上記有機薄膜を形成することで、液体材料13aを高効率に使用しつつ有機薄膜を迅速にかつ均一に形成することができ、さらには、形成される有機薄膜の性状や端子部の信頼性にも優れた有機EL装置とすることができる。   By forming the organic thin film in this way, the organic thin film can be formed quickly and uniformly while using the liquid material 13a with high efficiency. Furthermore, the properties and terminal portions of the formed organic thin film It is possible to obtain an organic EL device having excellent reliability.

ここで、図6を参照してより具体的に説明する。
図6(a)は、図2に示したダイコータ50を用いて基板11上に液体材料13aを塗布し、乾燥固化させて形成した有機薄膜13bの端部断面形状を示す図である。図6(b)は、上述した液体材料13aを基板11上の全面に塗布して有機薄膜13bを形成した後、溶剤により有機薄膜13bを部分的に溶解除去して有機薄膜13bのパターニングを行った場合における有機薄膜13bの端部断面形状を示す図である。また図6(c)は、液体材料13aを基板11上に全面塗布して有機薄膜13bを形成した後、レーザ照射によって有機薄膜13bを部分的に除去することにより有機薄膜13bをパターニングした場合における有機薄膜13bの端部断面形状を示す図である。
Here, it demonstrates more concretely with reference to FIG.
FIG. 6A is a diagram showing an end cross-sectional shape of the organic thin film 13b formed by applying the liquid material 13a on the substrate 11 using the die coater 50 shown in FIG. In FIG. 6B, after the liquid material 13a described above is applied to the entire surface of the substrate 11 to form the organic thin film 13b, the organic thin film 13b is partially dissolved and removed by a solvent to pattern the organic thin film 13b. It is a figure which shows the edge part cross-sectional shape of the organic thin film 13b in a case. FIG. 6C shows the case where the organic thin film 13b is patterned by coating the entire surface of the liquid material 13a on the substrate 11 to form the organic thin film 13b and then partially removing the organic thin film 13b by laser irradiation. It is a figure which shows the edge part cross-sectional shape of the organic thin film 13b.

図6(a)と図6(b)、(c)とを比較すると明らかなように、本実施形態に係る製造方法を適用して形成した有機薄膜13b(図6(a))では、その端部13eに一部盛り上がった部分が形成されるものの、基板11表面との段差が形成された部位は滑らかな断面形状を有して形成されている。また、有機薄膜13bと隣接する部分の基板11上には液体材料13aは塗布されないため、有機薄膜13bが形成されない基板11の表面は清浄なままであり、当該領域(非塗布領域)に先の端子部等が形成されている場合にも、その接続信頼性を損なうことがない。   As is clear from comparison between FIG. 6A and FIGS. 6B and 6C, the organic thin film 13b (FIG. 6A) formed by applying the manufacturing method according to the present embodiment Although a part of the end portion 13e that is raised is formed, the portion where the step with the surface of the substrate 11 is formed has a smooth cross-sectional shape. In addition, since the liquid material 13a is not applied on the substrate 11 adjacent to the organic thin film 13b, the surface of the substrate 11 on which the organic thin film 13b is not formed remains clean. Even when the terminal portion or the like is formed, the connection reliability is not impaired.

これに対して、図6(b)に示す溶剤を用いてパターニングした有機薄膜13bでは、その端部13eにおける膜厚が先端部に向かって薄くなっており、さらにその膜厚の変化も不規則なものとなっている。また、溶剤によって除去しきれなかった有機薄膜の残渣13dが基板11上に残りやすい。そして、このような残渣13dがあると、当該領域に先の端子部等が形成されている場合にはその接続信頼性を低下させる可能性があり、製造歩留まりの低下に繋がるおそれがあり好ましくない。   On the other hand, in the organic thin film 13b patterned using the solvent shown in FIG. 6B, the film thickness at the end 13e becomes thinner toward the tip, and the change in the film thickness is also irregular. It has become a thing. Further, the organic thin film residue 13d that could not be removed by the solvent tends to remain on the substrate 11. If such a residue 13d is present, the connection reliability may be lowered when the terminal portion or the like is formed in the region, which may lead to a decrease in manufacturing yield. .

また図6(c)に示すレーザ照射によりパターニングした有機薄膜13bでは、その端部13eの形状が、溶剤を用いてパターニングした場合よりもさらに歪んだ形状となり、レーザ照射により飛散したパーティクル13pが有機薄膜13b上に付着する場合もあるため、有機薄膜13b自体の特性(電荷輸送効率や発光効率)に悪影響を与える可能性がある。さらに、図6(c)に示すようにレーザ照射によって基板11の一部が除去されて凹凸部11dが基板面上に形成される場合もあるため、同領域の基板11上に先の端子部等が形成されている場合には、端子部自体を損傷する可能性があり好ましくない。   Further, in the organic thin film 13b patterned by laser irradiation shown in FIG. 6C, the shape of the end 13e is more distorted than when patterned using a solvent, and the particles 13p scattered by the laser irradiation are organic. Since it may adhere on the thin film 13b, it may adversely affect the characteristics (charge transport efficiency and light emission efficiency) of the organic thin film 13b itself. Further, as shown in FIG. 6C, since a part of the substrate 11 may be removed by laser irradiation and the uneven portion 11d may be formed on the substrate surface, the previous terminal portion is formed on the substrate 11 in the same region. And the like are not preferable because the terminal portion itself may be damaged.

このように本実施形態の製造方法では、基板11上に有機EL素子を形成するに際して、有機EL層13を構成する有機薄膜の液体材料13aを、基板11上の領域のうち、当該有機薄膜が形成されるべき領域にのみ選択的に塗布して前記有機薄膜を形成するので、基板上の全面に有機薄膜を形成した後パターニングを行う場合のように、余分の有機薄膜を除去して捨ててしまうことがなく、高効率に材料を使用して有機EL装置を製造することができる。また、最終的に有機薄膜が形成されない基板上の領域に対しては、予め液体材料を塗布しないようになっているので、同領域に端子部等が形成されていても、それらの接続信頼性を損なったり、端子部等自体が損傷したりすることがなく、高歩留まりに高信頼性を有する有機EL装置を製造できる。   As described above, in the manufacturing method of the present embodiment, when the organic EL element is formed on the substrate 11, the organic thin film liquid material 13 a constituting the organic EL layer 13 is used as the organic thin film in the region on the substrate 11. Since the organic thin film is formed by selectively applying only to the region to be formed, the organic thin film is formed on the entire surface of the substrate, and then the excess organic thin film is removed and discarded as in the case of patterning. The organic EL device can be manufactured using the material with high efficiency. In addition, since the liquid material is not applied in advance to the area on the substrate where the organic thin film is not finally formed, even if the terminal portion or the like is formed in the same area, the connection reliability thereof The organic EL device having a high yield and high reliability can be manufactured without damaging the device or damaging the terminal portion itself.

また本発明では、図2から図4に示すような市販の塗布装置を用いて液体材料の塗布を行うので、大面積の基板上にも良好な均一性を持って液体材料を塗布することができる。そして、均一な膜厚の有機薄膜を形成できることで、有機EL素子の発光効率向上にも寄与し得る。   In the present invention, since the liquid material is applied using a commercially available coating apparatus as shown in FIGS. 2 to 4, it is possible to apply the liquid material with good uniformity on a large area substrate. it can. And since the organic thin film of a uniform film thickness can be formed, it can also contribute to the luminous efficiency improvement of an organic EL element.

なお、上記実施形態では、基板11上への液体材料の塗布形態について図5(a)、(b)の2種類を示して説明したが、図2ないし図4に示した塗布装置を用いて形成可能な平面形状であれば、液体材料13aの平面パターンに限定はなく、例えば図7(a)〜(c)に示すように種々のパターンにて液体材料13aの塗布を行うことができる。図7(a)は、図示x方向に間欠的に液体材料13aが塗布され、それらの間又は外側に非塗布領域13y1、13y2が形成されている場合を示している。(b)は、図示x方向に延びる帯状に液体材料13aを塗布し、同塗布領域に隣接して非塗布領域13xが形成されている場合を示している。また(c)は、基板11の2の辺端部に沿ってL型に非塗布領域13x1、13y1が形成されるとともに、基板11の中央部側に十字状に配された非形成領域13x2、13y2が形成され、その他の領域に液体材料13aが塗布されている形態を示している。   In the above embodiment, the liquid material application form on the substrate 11 has been described with reference to the two types of FIGS. 5A and 5B. However, the application apparatus shown in FIGS. The planar pattern of the liquid material 13a is not limited as long as it can be formed. For example, the liquid material 13a can be applied in various patterns as shown in FIGS. FIG. 7A shows a case where the liquid material 13a is intermittently applied in the x direction shown in the figure, and the non-application areas 13y1 and 13y2 are formed between or outside them. (B) has shown the case where the liquid material 13a is apply | coated to the strip | belt shape extended in illustration x direction, and the non-application | coating area | region 13x is formed adjacent to the application | coating area | region. Further, (c) shows L-shaped non-application areas 13x1 and 13y1 formed along the two side edges of the substrate 11, and a non-formation area 13x2 arranged in a cross shape on the center side of the substrate 11. 13y2 is formed, and the liquid material 13a is applied to other regions.

(プリンタヘッド)
次に、上記実施形態の有機EL装置10及びその製造方法を好適に利用できるプリンタヘッドについて図8から図11を参照して説明する。
(Printer head)
Next, a printer head that can suitably use the organic EL device 10 of the above embodiment and the manufacturing method thereof will be described with reference to FIGS.

図8は、本発明に係る有機EL装置を適用したプリンタヘッドを模式的に示す図であって、(a)は底面図であり、(b)は側面図である。本実施形態のプリンタヘッド1は、後述する画像形成装置の露光手段として用いられるものであって、図8(a)に示す通り、長細い矩形形状の素子基板2上に、複数の有機EL素子3を配列してなる単一色の発光素子列3aと、有機EL素子3を駆動する駆動素子4からなる駆動素子群と、これら駆動素子4(駆動素子群)の駆動を制御する制御回路群5とを一体形成したものである。   FIG. 8 is a diagram schematically showing a printer head to which the organic EL device according to the present invention is applied, in which (a) is a bottom view and (b) is a side view. The printer head 1 according to the present embodiment is used as an exposure unit of an image forming apparatus to be described later. As shown in FIG. 8A, a plurality of organic EL elements are formed on a long and thin element substrate 2. 3, a single color light emitting element array 3 a, a driving element group including a driving element 4 that drives the organic EL element 3, and a control circuit group 5 that controls driving of these driving elements 4 (driving element group). Are integrally formed.

また、図8(b)に示す通り、素子基板2上には、その表面側に、有機EL素子3を封止した状態で、透明性の接着剤によって封止基板6が貼着されている。ここで、本実施形態のプリンタヘッド1は、有機EL素子3で発光した光を素子基板2側から射出するボトムエミッション型ではなく、封止基板6側から出射する、トップエミッション型のものとなっている。従って、後述する通り、封止基板6はガラス等の透明性基板からなっている。本実施形態のプリンタヘッド1は、素子基板2の裏面側に、例えばアルミニウム等の金属からなる放熱板7を備える。この放熱板7は、有機EL素子3の周辺温度の上昇を抑えることにより、有機EL素子3の発光効率及び寿命の低下を防止するものである。   Moreover, as shown in FIG.8 (b), the sealing substrate 6 is stuck on the element substrate 2 by the transparent adhesive in the state which sealed the organic EL element 3 on the surface side. . Here, the printer head 1 according to the present embodiment is not a bottom emission type that emits light emitted from the organic EL element 3 from the element substrate 2 side, but a top emission type that emits light from the sealing substrate 6 side. ing. Therefore, as described later, the sealing substrate 6 is made of a transparent substrate such as glass. The printer head 1 according to the present embodiment includes a heat radiating plate 7 made of a metal such as aluminum on the back side of the element substrate 2. The heat radiating plate 7 prevents a decrease in luminous efficiency and life of the organic EL element 3 by suppressing an increase in the ambient temperature of the organic EL element 3.

図8(a)に示す通り、素子基板2上に形成された駆動素子4には、電源線8,9が接続されており、これら電源線8,9を介して電源(図示せず)から駆動素子4に電圧が印加されるようになっている。そして、このような構成のもとで有機EL素子3は、制御回路群5によって制御される駆動素子4により、その発光動作が制御されるようになっている。また、プリンタヘッド1上には、発光素子列3a又はその近傍の温度を測定するための温度測定部を備えていてもよい。   As shown in FIG. 8A, power source lines 8 and 9 are connected to the drive element 4 formed on the element substrate 2, and a power source (not shown) is connected via these power source lines 8 and 9. A voltage is applied to the drive element 4. In such a configuration, the light emitting operation of the organic EL element 3 is controlled by the drive element 4 controlled by the control circuit group 5. Further, a temperature measuring unit for measuring the temperature of the light emitting element array 3a or the vicinity thereof may be provided on the printer head 1.

ここで、プリンタヘッド1における有機EL素子3や駆動素子4等の構成について説明する。図9はプリンタヘッド1の要部構成を示す側断面であり、図10はプリンタヘッド1の要部構成を示す底面図である。なお、図9には、プリンタヘッド1に採用できる2種類((a)、(b))の断面構成を示している。   Here, the configuration of the organic EL element 3 and the driving element 4 in the printer head 1 will be described. FIG. 9 is a side cross-sectional view illustrating the main configuration of the printer head 1, and FIG. 10 is a bottom view illustrating the main configuration of the printer head 1. FIG. 9 shows two types of cross-sectional configurations ((a) and (b)) that can be employed in the printer head 1.

前述した通り、本実施形態のプリンタヘッド1はトップエミッション型であり、素子基板2の対向側である封止基板6側から発光光を取り出す構成であるため、素子基板2としては透明基板及び不透明基板の何れも用いることができる。素子基板2として不透明基板を用いる場合には、例えばアルミナ等のセラミック、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化等の絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いることができる。但し、本実施形態では、封止基板6として透明なガラス基板を用いることから、熱膨張係数の差による反り等の不具合を防止するため、素子基板2についてもガラス基板を用いるものとする。   As described above, the printer head 1 according to the present embodiment is a top emission type and has a configuration in which emitted light is extracted from the sealing substrate 6 side, which is the opposite side of the element substrate 2. Any of the substrates can be used. When an opaque substrate is used as the element substrate 2, for example, a thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used in addition to a ceramic sheet such as alumina or a metal sheet such as stainless steel that has been subjected to an insulation treatment such as surface oxidation. Can do. However, in this embodiment, since a transparent glass substrate is used as the sealing substrate 6, a glass substrate is also used as the element substrate 2 in order to prevent problems such as warpage due to a difference in thermal expansion coefficient.

図9(a)に示すように、素子基板2上には、画素電極20に接続する駆動用TFT21(駆動素子4)等を含む回路部35が形成されており、その上に有機EL素子3が設けられている。有機EL素子3は、陽極として機能する画素電極20上に、複数の画素電極20に跨って成膜された正孔注入層32を積層した構成を備えている。すなわち本実施形態に係る素子基板2は、先の図5(b)に示した有機EL装置と同様に、基板上に複数の陽極(電極)を配列形成するとともに、これら複数の電極に跨って有機薄膜が成膜された形態を具備したものとなっている。
なお、図9(a)では正孔注入層32のみを図示しているが、実際には正孔注入層32上に発光層と陰極とが積層された構成である。
As shown in FIG. 9A, a circuit portion 35 including a driving TFT 21 (driving element 4) connected to the pixel electrode 20 is formed on the element substrate 2, and the organic EL element 3 is formed thereon. Is provided. The organic EL element 3 has a configuration in which a hole injection layer 32 formed over a plurality of pixel electrodes 20 is stacked on the pixel electrode 20 functioning as an anode. That is, the element substrate 2 according to the present embodiment has a plurality of anodes (electrodes) arranged on the substrate and straddling the plurality of electrodes, similarly to the organic EL device shown in FIG. It has a form in which an organic thin film is formed.
Although only the hole injection layer 32 is illustrated in FIG. 9A, the light emitting layer and the cathode are actually stacked on the hole injection layer 32.

ここで、有機EL素子3及び駆動用TFT21(駆動素子4)を図8に対応させた模式図を図10に示す。図10において、電源線8は駆動素子4のソース/ドレイン電極に接続されており、電源線9は有機EL素子3の陰極30に接続されている。図10に示す通り、有機EL素子3は、正孔輸送層32から注入された正孔と陰極30からの電子とが、これらに挟持された発光層で結合することにより発光する。   Here, FIG. 10 shows a schematic diagram in which the organic EL element 3 and the driving TFT 21 (driving element 4) correspond to FIG. In FIG. 10, the power supply line 8 is connected to the source / drain electrode of the drive element 4, and the power supply line 9 is connected to the cathode 30 of the organic EL element 3. As shown in FIG. 10, the organic EL element 3 emits light by combining holes injected from the hole transport layer 32 and electrons from the cathode 30 in the light emitting layer sandwiched between them.

陽極として機能する画素電極20は、通常はITO(Indium Tin Oxide:インジウムスズ酸化物)によって形成される。また、特にトップエミッション型の場合で、高コントラストを得たい場合には、チタンやタングステン、チタン−タングステン合金等を形成して反射層とし、この反射層上にITOを積層して干渉層とし、これら反射層と干渉層とからなる積層構造によって画素電極20を形成してもよい。   The pixel electrode 20 functioning as an anode is usually formed of ITO (Indium Tin Oxide). In addition, particularly in the case of the top emission type, when it is desired to obtain high contrast, titanium, tungsten, titanium-tungsten alloy or the like is formed as a reflective layer, and ITO is laminated on the reflective layer as an interference layer. The pixel electrode 20 may be formed by a laminated structure including these reflective layers and interference layers.

正孔注入層32の形成材料としては、特に3,4−ポリエチレンジオシチオフェン/ポリスチレンスルフォン酸(PEDOT/PSS)の分散液、即ち、分散媒としてのポリスチレンスルフォン酸に3,4−ポリエチレンジオキシチオフェンを分散させ、更にこれを水に分散させた分散液が好適に用いられる。尚、正孔注入層32の形成材料としては、上記のものに限定されることなく種々のものが使用可能である。例えば、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体等を、適宜な分散媒、例えば上記のポリスチレンスルフォン酸に分散させたもの等が使用可能である。   As a material for forming the hole injection layer 32, in particular, a dispersion of 3,4-polyethylenediosithiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS), that is, 3,4-polyethylenedioxy in polystyrene sulfonic acid as a dispersion medium. A dispersion in which thiophene is dispersed and further dispersed in water is preferably used. The material for forming the hole injection layer 32 is not limited to the above, and various materials can be used. For example, those obtained by dispersing polystyrene, polypyrrole, polyaniline, polyacetylene or a derivative thereof in an appropriate dispersion medium such as the above-described polystyrene sulfonic acid can be used.

正孔注入層32上に形成する発光層の形成材料としては、先の実施形態に係る発光層17と同様、蛍光或いは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。尚、本実施形態のようなプリンタヘッド用途では、発光波長帯域が赤色に対応した単一色の発光層が好適に採用されるが、勿論、発光波長帯域が緑色や青色に対応した発光層を採用するようにしてもよい。要は、後述する画像形成装置の感光体の最良感度波長域に適合させた発光色にすればよい。   As a material for forming the light emitting layer formed on the hole injection layer 32, a known light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence is used as in the light emitting layer 17 according to the previous embodiment. In the printer head application as in this embodiment, a single color light emitting layer corresponding to the red light emission wavelength band is preferably used. Of course, a light emitting layer corresponding to the light emission wavelength band corresponding to green or blue is used. You may make it do. In short, the emission color may be adapted to the best sensitivity wavelength region of the photoreceptor of the image forming apparatus described later.

発光層の形成材料として具体的には、(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)等のポリシラン系等が好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等の高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。   Specific examples of the material for forming the light emitting layer include (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), and polyvinylcarbazole (PVK). Polysilanes such as polythiophene derivatives and polymethylphenylsilane (PMPS) are preferably used. In addition, these polymer materials include polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, nile red, coumarin 6, and quinacridone. It can also be used by doping a low molecular weight material such as.

発光層を覆って形成される陰極30は、特にトップエミッション型である本実施形態の場合には、透明導電材料によって形成される。透明導電材料としては、バソクプロインとセシウムの共蒸着膜を用い、更に導電性を付与するためにITOを積層するといった構造が好適に採用される。尚、バソクプロインとセシウムの共蒸着膜の代わりに、Caを5nm程度に形成して用いてもよい。また、この陰極上には透明接着層を介して図8に示した封止基板6(図9では図示省略)が貼着されている。   The cathode 30 formed so as to cover the light emitting layer is formed of a transparent conductive material, particularly in the case of this embodiment which is a top emission type. As the transparent conductive material, a structure in which a co-deposited film of bathocuproine and cesium is used and ITO is laminated to impart conductivity is preferably employed. Instead of the co-deposited film of bathocuproine and cesium, Ca may be formed to a thickness of about 5 nm. Further, the sealing substrate 6 shown in FIG. 8 (not shown in FIG. 9) is stuck on the cathode via a transparent adhesive layer.

また、有機EL素子3の下方には、前述した通り、回路部35が設けられている。この回路部35は素子基板2上に形成されたものである。即ち、素子基板2の表面にはSiOを主体とする下地保護層36が下地として形成され、その上にはシリコン層41が形成されている。このシリコン層41の表面には、SiO及び/又はSiNを主体とするゲート絶縁層37が形成されている。また、上記のシリコン層41のうち、ゲート絶縁層37を挟んでゲート電極42と重なる領域がチャネル領域41aとされている。尚、このゲート電極42は、図示しない走査線の一部である。一方、シリコン層41を覆い、ゲート電極42を形成したゲート絶縁層37の表面には、SiOを主体とする第1層間絶縁層38が形成されている。 Further, as described above, the circuit unit 35 is provided below the organic EL element 3. The circuit portion 35 is formed on the element substrate 2. That is, a base protective layer 36 mainly composed of SiO 2 is formed on the surface of the element substrate 2 as a base, and a silicon layer 41 is formed thereon. A gate insulating layer 37 mainly composed of SiO 2 and / or SiN is formed on the surface of the silicon layer 41. In the silicon layer 41, a region overlapping with the gate electrode 42 with the gate insulating layer 37 interposed therebetween is a channel region 41a. The gate electrode 42 is a part of a scanning line (not shown). On the other hand, a first interlayer insulating layer 38 mainly composed of SiO 2 is formed on the surface of the gate insulating layer 37 covering the silicon layer 41 and forming the gate electrode 42.

また、シリコン層41のうち、チャネル領域41aのソース側にソース領域41Sが設けられる一方、チャネル領域41aのドレイン側にはドレイン領域41Dが設けられている。これらのうち、ソース領域41Sは、ゲート絶縁層37と第1層間絶縁層38とに亘って開孔するコンタクトホール43aを介してソース電極43に接続されている。このソース電極43は、電源線(図示省略)の一部として構成されている。一方、ドレイン領域41Dは、ゲート絶縁層37と第1層間絶縁層38とに亘って開孔するコンタクトホール44aを介して、ソース電極43と同一層からなるドレイン電極44に接続されている。   In the silicon layer 41, a source region 41S is provided on the source side of the channel region 41a, while a drain region 41D is provided on the drain side of the channel region 41a. Among these, the source region 41 </ b> S is connected to the source electrode 43 through a contact hole 43 a that is opened across the gate insulating layer 37 and the first interlayer insulating layer 38. The source electrode 43 is configured as a part of a power supply line (not shown). On the other hand, the drain region 41 </ b> D is connected to the drain electrode 44 made of the same layer as the source electrode 43 through a contact hole 44 a that opens between the gate insulating layer 37 and the first interlayer insulating layer 38.

ソース電極43及びドレイン電極44が形成された第1層間絶縁層38の上層には、例えばアクリル系の樹脂成分を主体とする第2層間絶縁層39が形成されている。この第2層間絶縁層39は、窒化珪素や酸化珪素、酸窒化珪素もしくはアクリル系やポリイミド系等の耐熱性絶縁性樹脂等によって形成されたもので、駆動用TFT21(駆動素子4)やソース電極43、ドレイン電極44等と、その上に形成される画素電極20との短絡を防止するべく形成される。   On the first interlayer insulating layer 38 on which the source electrode 43 and the drain electrode 44 are formed, for example, a second interlayer insulating layer 39 mainly composed of an acrylic resin component is formed. The second interlayer insulating layer 39 is formed of silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride, heat-resistant insulating resin such as acrylic or polyimide, and the like. The driving TFT 21 (driving element 4) and the source electrode 43, the drain electrode 44, etc., and the pixel electrode 20 formed thereon are formed to prevent a short circuit.

この第2層間絶縁層39の表面には、前述したITO等からなる画素電極20が形成されるとともに、第2層間絶縁層39に貫設されたコンタクトホール23aを介してドレイン電極44に接続されている。即ち、画素電極20は、ドレイン電極44を介して、シリコン層41のドレイン領域41Dに接続されている。   On the surface of the second interlayer insulating layer 39, the pixel electrode 20 made of ITO or the like is formed and connected to the drain electrode 44 through a contact hole 23a penetrating the second interlayer insulating layer 39. ing. That is, the pixel electrode 20 is connected to the drain region 41 </ b> D of the silicon layer 41 through the drain electrode 44.

画素電極20が形成された第2層間絶縁層39の表面には、複数の画素電極20を含む領域に正孔注入層32が形成されている。ここで、図11は、図8(a)と対応する図であって、正孔注入層32の形成領域を説明するための平面構成図である。図11に示すように、素子基板2上には複数のTFT21、及び有機EL素子3が配列形成されているが、正孔注入層32は、図示のように、この素子基板2上の一部を覆う帯状に形成されている。そしてこの平面視帯状の正孔注入層32は、図2から図4に示した塗布装置を用い、液体材料を図示の位置に一括に塗布することで形成されたものとなっている。すなわち、本実施形態に係る素子基板2においても、正孔注入層32の形成領域以外の基板上の領域は、正孔注入層を形成するための液体材料と接触しない領域となっており、本実施形態のプリンタヘッドでは、この非塗布領域に陰極と接続された電源線9や、電源線8,9等に接続される端子部29が設けられている。このように、本実施形態に係るプリンタヘッドでは、正孔注入層32の形成に際して高効率に材料を使用した成膜が可能であるとともに、電源線9や端子部29と有機EL層を形成するための液体材料とが接触しないので、有機薄膜の残渣やレーザ等の除去手段による電源線や端子部の信頼低下、ないし損傷を生じることがない。したがって本発明によれば、信頼性に優れたプリンタヘッドを低コストに提供することができる。   A hole injection layer 32 is formed in a region including the plurality of pixel electrodes 20 on the surface of the second interlayer insulating layer 39 on which the pixel electrodes 20 are formed. Here, FIG. 11 is a diagram corresponding to FIG. 8A and is a plan configuration diagram for explaining a formation region of the hole injection layer 32. As shown in FIG. 11, a plurality of TFTs 21 and organic EL elements 3 are arrayed on the element substrate 2, but the hole injection layer 32 is a part of the element substrate 2 as shown in the figure. It is formed in a band shape that covers Then, the hole injection layer 32 having a band shape in plan view is formed by applying the liquid material to the illustrated position all at once using the coating apparatus shown in FIGS. That is, also in the element substrate 2 according to the present embodiment, the region on the substrate other than the formation region of the hole injection layer 32 is a region that does not contact the liquid material for forming the hole injection layer. In the printer head of the embodiment, the power supply line 9 connected to the cathode and the terminal portion 29 connected to the power supply lines 8 and 9 are provided in the non-application area. As described above, in the printer head according to the present embodiment, the hole injection layer 32 can be formed using a material with high efficiency, and the power line 9 and the terminal portion 29 and the organic EL layer are formed. Therefore, the reliability of the power supply line and the terminal portion due to the organic thin film residue and the removing means such as a laser is not lowered or damaged. Therefore, according to the present invention, a highly reliable printer head can be provided at low cost.

上記実施形態では、素子基板2の断面構造として図9(a)を参照して説明したが、素子基板2の断面構造は図9(b)に示すようなものであっても構わない。図9(b)に示す例では、第2層間絶縁層39及び画素電極20上にSiO等の無機絶縁材料からなる無機バンク25が設けられている。この無機バンク25は、画素電極20と平面的に重なる領域に開口部25aを有しており、無機バンク25及び画素電極20を覆うように形成された正孔注入層32と、画素電極20とが前記開口部25a内で当接することにより、当該開口部25aに相当する平面領域を具備した有機EL素子3が形成されるようになっているものである。このように無機バンク25を設けた構成とするならば、開口部25aの開口径により有機EL素子3の平面領域を自在に変更することができ、プリンタヘッドの解像度に合わせた素子配置が可能になる。 In the above embodiment, the cross-sectional structure of the element substrate 2 has been described with reference to FIG. 9A. However, the cross-sectional structure of the element substrate 2 may be as shown in FIG. 9B. In the example shown in FIG. 9B, an inorganic bank 25 made of an inorganic insulating material such as SiO 2 is provided on the second interlayer insulating layer 39 and the pixel electrode 20. The inorganic bank 25 has an opening 25a in a region overlapping the pixel electrode 20 in a plane, and a hole injection layer 32 formed so as to cover the inorganic bank 25 and the pixel electrode 20; Is brought into contact with the opening 25a, whereby the organic EL element 3 having a planar region corresponding to the opening 25a is formed. If the inorganic bank 25 is provided in this way, the planar area of the organic EL element 3 can be freely changed by the opening diameter of the opening 25a, and the element can be arranged in accordance with the resolution of the printer head. Become.

(画像形成装置)
次に、本発明のプリンタヘッド1が設けられる画像形成装置について説明する。図12は、本発明に係る電子機器の一実施形態である画像形成装置の構成を示す図である。図12に示す画像形成装置80は、上記実施形態のプリンタヘッドの一例となる有機ELアレイプリンタヘッド81K、81C、81M、81Yを、対応する同様な構成である4個の感光体ドラム(像担持体)82K、82C、82M、82Yの露光装置にそれぞれ配置したもので、タンデム方式のものとして構成されたものである。
(Image forming device)
Next, an image forming apparatus provided with the printer head 1 of the present invention will be described. FIG. 12 is a diagram showing a configuration of an image forming apparatus which is an embodiment of the electronic apparatus according to the invention. An image forming apparatus 80 shown in FIG. 12 includes four photosensitive drums (image bearing members) having the same configuration corresponding to organic EL array printer heads 81K, 81C, 81M, and 81Y, which are examples of the printer head of the above-described embodiment. Body) are arranged in 82K, 82C, 82M, and 82Y exposure apparatuses, respectively, and are configured as a tandem system.

この画像形成装置80は、駆動ローラ83と従動ローラ84とテンションローラ85とを備え、これら各ローラに中間転写ベルト86を、図12中矢印方向(反時計方向)に循環駆動するよう張架したものである。この中間転写ベルト86に対して、感光体82K、82C、82M、82Yが所定間隔で配置されている。これら感光体82K、82C、82M、82Yは、その外周面が像担持体としての感光層となっている。   The image forming apparatus 80 includes a driving roller 83, a driven roller 84, and a tension roller 85, and an intermediate transfer belt 86 is stretched around each of the rollers so as to be circulated in an arrow direction (counterclockwise direction) in FIG. Is. Photoconductors 82K, 82C, 82M, and 82Y are arranged at predetermined intervals with respect to the intermediate transfer belt 86. These photoreceptors 82K, 82C, 82M, and 82Y have a photosensitive layer as an image carrier on their outer peripheral surfaces.

ここで、上記符号中のK、C、M、Yは、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示している。尚、これら符号(K、C、M、Y)の意味は、他の部材についても同様である。感光体82K、82C、82M、82Yは、中間転写ベルト86の駆動と同期して、図12中矢印方向(時計方向)に回転駆動するようになっている。   Here, K, C, M, and Y in the above symbols mean black, cyan, magenta, and yellow, respectively, and indicate that the photoconductors are for black, cyan, magenta, and yellow, respectively. The meanings of these symbols (K, C, M, Y) are the same for the other members. The photoreceptors 82K, 82C, 82M, and 82Y are driven to rotate in the arrow direction (clockwise) in FIG. 12 in synchronization with the driving of the intermediate transfer belt 86.

各感光体82(K、C、M、Y)の周囲には、それぞれ感光体82(K、C、M、Y)の外周面を一様に帯電させる帯電手段(コロナ帯電器)87(K、C、M、Y)と、この帯電手段87(K、C、M、Y)によって一様に帯電させられた外周面を感光体82(K、C、M、Y)の回転に同期して順次ライン走査する本発明の有機ELアレイプリンタヘッド81(K、C、M、Y)とが設けられている。   Around each photosensitive member 82 (K, C, M, Y), charging means (corona charger) 87 (K) for uniformly charging the outer peripheral surface of the photosensitive member 82 (K, C, M, Y), respectively. , C, M, Y) and the outer peripheral surface uniformly charged by the charging means 87 (K, C, M, Y) are synchronized with the rotation of the photosensitive member 82 (K, C, M, Y). And an organic EL array printer head 81 (K, C, M, Y) of the present invention that sequentially performs line scanning.

また、この有機ELアレイプリンタヘッド81(K、C、M、Y)で形成された静電潜像に現像剤であるトナーを付与して可視像(トナー像)とする現像装置88(K、C、M、Y)と、この現像装置88(K、C、M、Y)で現像されたトナー像を一次転写対象である中間転写ベルト86に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ89(K、C、M、Y)と、転写された後に感光体82(K、C、M、Y)の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置90(K、C、M、Y)とが設けられている。   Further, a developing device 88 (K) that applies toner as a developer to the electrostatic latent image formed by the organic EL array printer head 81 (K, C, M, Y) to form a visible image (toner image). , C, M, Y) and a primary transfer roller 89 as transfer means for sequentially transferring the toner image developed by the developing device 88 (K, C, M, Y) to the intermediate transfer belt 86 as a primary transfer target. (K, C, M, Y) and a cleaning device 90 (K, C, Y) as a cleaning unit for removing toner remaining on the surface of the photosensitive member 82 (K, C, M, Y) after being transferred. M, Y).

各有機ELアレイプリンタヘッド81(K、C、M、Y)は、それぞれのアレイ方向が感光体ドラム82(K、C、M、Y)の母線に沿うように設置されている。そして、各有機ELアレイプリンタヘッド81(K、C、M、Y)の発光エネルギーピーク波長と、感光体82(K、C、M、Y)の感度ピーク波長とが略一致するように設定されている。尚、上記の各有機ELアレイプリンタヘッド81(K、C、M、Y)は、画像形成装置80に対し、支持部材によって支持され、取り付けられている。   Each organic EL array printer head 81 (K, C, M, Y) is installed such that each array direction is along the bus line of the photosensitive drum 82 (K, C, M, Y). The emission energy peak wavelength of each organic EL array printer head 81 (K, C, M, Y) and the sensitivity peak wavelength of the photoconductor 82 (K, C, M, Y) are set to substantially coincide. ing. Each organic EL array printer head 81 (K, C, M, Y) is supported and attached to the image forming apparatus 80 by a support member.

現像装置88(K、C、M、Y)は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体82(K、C、M、Y)に接触させあるいは押圧せしめることにより、感光体82(K、C、M、Y)の電位レベルに応じて現像剤を付着させ、トナー像として現像するものである。   The developing device 88 (K, C, M, Y) uses, for example, a non-magnetic one-component toner as a developer. The one-component developer is transported to the developing roller by a supply roller, for example, and adhered to the developing roller surface. The film thickness of the developed developer is regulated by a regulating blade, and the developing roller is brought into contact with or pressed against the photoreceptor 82 (K, C, M, Y), thereby the photoreceptor 82 (K, C, M, Y). In accordance with the potential level, a developer is attached and developed as a toner image.

このような4色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ89(K、C、M、Y)に印加される一次転写バイアスによって中間転写ベルト86上に順次一次転写される。そして、中間転写ベルト86上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ91において用紙等の記録媒体Pに二次転写され、さらに定着部である定着ローラ対92を通ることで記録媒体P上に定着され、その後、排紙ローラ対93によって装置上部に形成された排紙トレイ94上に排出される。   The black, cyan, magenta, and yellow toner images formed by the four-color single-color toner image forming station are intermediated by the primary transfer bias applied to the primary transfer roller 89 (K, C, M, Y). Primary transfer is sequentially performed on the transfer belt 86. The toner images, which are sequentially superimposed on the intermediate transfer belt 86 and become full color, are secondarily transferred to the recording medium P such as paper by the secondary transfer roller 91 and further pass through the fixing roller pair 92 as a fixing unit. Then, the toner image is fixed on the recording medium P and then discharged onto a paper discharge tray 94 formed on the upper part of the apparatus by a pair of paper discharge rollers 93.

尚、図12中の符号95は多数枚の記録媒体Pが積層保持されている給紙カセット、96は給紙カセット95から記録媒体Pを一枚ずつ給送するピックアップローラ、97は二次転写ローラ91の二次転写部への記録媒体Pの供給タイミングを規定するゲートローラ対、91は中間転写ベルト86との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ローラ、98は二次転写後に中間転写ベルト86の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニングブレードである。以上の通り、図12の画像形成装置は、露光手段(書き込み手段)として有機ELアレイプリンタヘッド81(K、C、M、Y)を用いているので、例えばレーザ走査光学系を用いた場合に比べ、装置の小型化を図ることができる。   In FIG. 12, reference numeral 95 is a paper feed cassette in which a large number of recording media P are stacked and held, 96 is a pickup roller for feeding the recording media P one by one from the paper feed cassette 95, and 97 is a secondary transfer. A pair of gate rollers for defining the supply timing of the recording medium P to the secondary transfer portion of the roller 91; a secondary transfer roller 91 as a secondary transfer means for forming a secondary transfer portion with the intermediate transfer belt 86; A cleaning blade 98 serves as a cleaning unit that removes toner remaining on the surface of the intermediate transfer belt 86 after the secondary transfer. As described above, since the image forming apparatus of FIG. 12 uses the organic EL array printer head 81 (K, C, M, Y) as the exposure means (writing means), for example, when a laser scanning optical system is used. In comparison, the size of the apparatus can be reduced.

次に、本発明に係る他の実施形態である画像形成装置について説明する。図13は、画像形成装置の他の実施形態を示す縦断側面図である。図13において、画像形成装置100には主要構成部材として、ロータリ構成の現像装置101、像担持体として機能する感光体ドラム105、上記プリンタヘッド(有機ELアレイヘッド)が設けられてなる像書込手段(露光手段)107、中間転写ベルト109、用紙搬送路114、定着器の加熱ローラ112、給紙トレイ118が設けられている。   Next, an image forming apparatus according to another embodiment of the present invention will be described. FIG. 13 is a longitudinal side view showing another embodiment of the image forming apparatus. In FIG. 13, the image forming apparatus 100 is provided with a rotary developing device 101, a photosensitive drum 105 functioning as an image carrier, and the printer head (organic EL array head) as main components. Means (exposure means) 107, intermediate transfer belt 109, paper conveyance path 114, fixing unit heating roller 112, and paper feed tray 118 are provided.

現像装置101は、現像ロータリ101aが軸101bを中心として矢印A方向に回転するよう構成されたものである。現像ロータリ101aの内部は4分割されており、それぞれイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の4色の像形成ユニットが設けられている。102a〜102dは、上記4色の各像形成ユニットに配置されており、矢印B方向に回転する現像ローラ、103a〜103dは、矢印C方向に回転するトナー供給ローラである。また、104a〜104dはトナーを所定の厚さに規制する規制ブレードである。   The developing device 101 is configured such that the developing rotary 101a rotates in the direction of arrow A about a shaft 101b. The interior of the development rotary 101a is divided into four, and image forming units for four colors of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K) are provided. Reference numerals 102a to 102d are arranged in the image forming units for the four colors, and developing rollers that rotate in the direction of arrow B, and 103a to 103d are toner supply rollers that rotate in the direction of arrow C. 104a to 104d are regulating blades that regulate the toner to a predetermined thickness.

図13中符号105は、上記のように像担持体として機能する感光体ドラム、106は一次転写部材、108は帯電器である。また、107は本発明における露光手段となる像書込手段であり、本発明の有機ELプリンタヘッドを備えてなるものである。感光体ドラム105は、図示を省略した駆動モータ、例えばステップモータにより、現像ローラ102aとは逆の方向となる矢印D方向に回転駆動されるようになっている。尚、像書込手段107を構成する有機ELプリンタヘッドは、これと結像レンズ(図示せず)や感光ドラム105との間で位置合わせ(光軸合わせ)がなされた状態に配設されている。   In FIG. 13, reference numeral 105 denotes a photosensitive drum that functions as an image carrier as described above, 106 denotes a primary transfer member, and 108 denotes a charger. Reference numeral 107 denotes an image writing means as an exposure means in the present invention, which comprises the organic EL printer head of the present invention. The photosensitive drum 105 is rotationally driven in the direction of arrow D, which is the opposite direction to the developing roller 102a, by a drive motor (not shown), for example, a step motor. The organic EL printer head constituting the image writing means 107 is disposed in a state where the alignment (optical axis alignment) is performed between this and the imaging lens (not shown) and the photosensitive drum 105. Yes.

中間転写ベルト109は、駆動ローラ110aと従動ローラ110bとの間に張架されたものである。駆動ローラ110aは、上記感光体ドラム105の駆動モータに連結されたもので、中間転写ベルト109に動力を伝達するようになっている。すなわち、該駆動モータの駆動により、中間転写ベルト109の駆動ローラ110aは感光体ドラム105とは逆の方向となる矢印E方向に回動するようになっている。   The intermediate transfer belt 109 is stretched between the driving roller 110a and the driven roller 110b. The drive roller 110 a is connected to the drive motor of the photosensitive drum 105 and transmits power to the intermediate transfer belt 109. That is, by driving the drive motor, the drive roller 110a of the intermediate transfer belt 109 is rotated in the direction of arrow E, which is the opposite direction to the photosensitive drum 105.

用紙搬送路114には、複数の搬送ローラと排紙ローラ対116等が設けられており、用紙が搬送されるようになっている。中間転写ベルト109に担持されている片面の画像(トナー像)が、二次転写ローラ111の位置で用紙の片面に転写されるようになっている。二次転写ローラ111は、クラッチによって中間転写ベルト109に離当接されるようになっており、クラッチオンで中間転写ベルト109に当接され、用紙に画像が転写されるようになっている。   The paper transport path 114 is provided with a plurality of transport rollers, paper discharge roller pairs 116, and the like, so that the paper is transported. An image (toner image) on one side carried on the intermediate transfer belt 109 is transferred to one side of the paper at the position of the secondary transfer roller 111. The secondary transfer roller 111 is brought into contact with and separated from the intermediate transfer belt 109 by a clutch. When the clutch is turned on, the secondary transfer roller 111 is brought into contact with the intermediate transfer belt 109 so that an image is transferred onto a sheet.

上記のようにして画像が転写された用紙は、次に、定着ヒータHを有する定着器で定着処理がなされる。定着器には、加熱ローラ112、加圧ローラ113が設けられている。定着処理後の用紙は、排紙ローラ対116に引き込まれて矢印F方向に進行する。この状態から排紙ローラ対116が逆方向に回転すると、用紙は方向を反転して両面プリント用搬送路115を矢印G方向に進行する。117は電装品ボックス、118は用紙を収納する給紙トレイ、119は給紙トレイ118の出口に設けられているピックアップローラである。   The sheet on which the image has been transferred as described above is then subjected to a fixing process by a fixing device having a fixing heater H. The fixing device is provided with a heating roller 112 and a pressure roller 113. The sheet after the fixing process is drawn into the discharge roller pair 116 and proceeds in the direction of arrow F. When the paper discharge roller pair 116 rotates in the opposite direction from this state, the paper reverses its direction and advances on the duplex printing conveyance path 115 in the direction of arrow G. 117 is an electrical component box, 118 is a paper feed tray for storing paper, and 119 is a pickup roller provided at the outlet of the paper feed tray 118.

用紙搬送路において、搬送ローラを駆動する駆動モータとしては、例えば低速のブラシレスモータが用いられている。また、中間転写ベルト109については、色ずれ補正等が必要となるためステップモータが用いられている。これらの各モータは、図示を省略した制御手段からの信号によって制御されるようになっている。   For example, a low-speed brushless motor is used as a drive motor for driving the transport roller in the paper transport path. Further, a step motor is used for the intermediate transfer belt 109 because color misregistration correction or the like is necessary. Each of these motors is controlled by a signal from a control means (not shown).

図13に示した状態で、イエロー(Y)の静電潜像が感光体ドラム105に形成され、現像ローラ102aに高電圧が印加されることにより、感光体ドラム105にはイエローの画像が形成される。イエローの裏側及び表側の画像がすべて中間転写ベルト109に担持されると、現像ロータリ101aが矢印A方向に90度回転する。   In the state shown in FIG. 13, a yellow (Y) electrostatic latent image is formed on the photosensitive drum 105, and a high voltage is applied to the developing roller 102a, whereby a yellow image is formed on the photosensitive drum 105. Is done. When all of the yellow back side and front side images are carried on the intermediate transfer belt 109, the development rotary 101a rotates 90 degrees in the direction of arrow A.

中間転写ベルト109は1回転して感光体ドラム105の位置に戻る。次に、シアン(C)の2面の画像が感光体ドラム105に形成され、この画像が中間転写ベルト109に担持されているイエローの画像に重ねて担持される。以下、同様にして現像ロータリ101の90度回転、中間転写ベルト109への画像担持後の1回転処理が繰り返される。   The intermediate transfer belt 109 rotates once and returns to the position of the photosensitive drum 105. Next, two images of cyan (C) are formed on the photosensitive drum 105, and this image is carried on the yellow image carried on the intermediate transfer belt 109. Thereafter, the 90-degree rotation of the development rotary 101 and the one-rotation process after the image is carried on the intermediate transfer belt 109 are repeated in the same manner.

4色のカラー画像担持には中間転写ベルト109は4回転して、その後さらに回転位置が制御されて二次転写ローラ111の位置で用紙に画像を転写する。給紙トレー118から給紙された用紙を搬送路114で搬送し、二次転写ローラ111の位置で用紙の片面に上記のカラー画像を転写する。片面に画像が転写された用紙は上記のように排紙ローラ対116で反転されて、搬送径路で待機している。その後、用紙は適宜のタイミングで二次転写ローラ111の位置に搬送されて、他面に上記のカラー画像が転写される。ハウジング120には、排気ファン121が設けられている。   For carrying four color images, the intermediate transfer belt 109 rotates four times, and then the rotation position is further controlled to transfer the image onto the sheet at the position of the secondary transfer roller 111. The paper fed from the paper feed tray 118 is transported by the transport path 114, and the above color image is transferred to one side of the paper at the position of the secondary transfer roller 111. The sheet on which the image is transferred on one side is reversed by the pair of discharge rollers 116 as described above, and waits on the conveyance path. Thereafter, the sheet is conveyed to the position of the secondary transfer roller 111 at an appropriate timing, and the above color image is transferred to the other side. The housing 120 is provided with an exhaust fan 121.

以上、本発明の電子機器の実施形態として有機ELプリンタヘッドを具備した画像形成装置について説明したが、本発明のプリンタヘッドを備えた画像形成装置は上述した実施形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。   As described above, the image forming apparatus including the organic EL printer head has been described as an embodiment of the electronic apparatus of the present invention. However, the image forming apparatus including the printer head of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various Can be modified.

(照明装置)
上記実施形態では、本発明に係る有機EL装置をプリンタヘッドに適用した形態について説明したが、本発明に係る有機EL装置は、白色光源や室内照明、液晶ディスプレイ用のバックライト光源等の面発光型照明装置として構成することもできる。以下、照明装置としての形態を、図14を参照しつつ説明する。なお、図14に示す液晶装置の断面構造は、図示した場合に各層が見やすいように各層の厚さを実際の液晶装置とは異なる厚さに変更して示してある。
(Lighting device)
In the above embodiment, the form in which the organic EL device according to the present invention is applied to a printer head has been described. However, the organic EL device according to the present invention is a surface light emitting device such as a white light source, indoor lighting, and a backlight light source for a liquid crystal display. It can also be configured as a mold illumination device. Hereinafter, the form as an illuminating device is demonstrated, referring FIG. Note that the cross-sectional structure of the liquid crystal device shown in FIG. 14 is shown by changing the thickness of each layer to a thickness different from that of an actual liquid crystal device so that each layer can be easily seen in the drawing.

図14は、本発明に係る液晶表示装置の構成の一例を示した断面図である。図14に示す実施形態の液晶装置200は、互いに対向して配置された一対の基板213,214と、これらの基板の間に挟持されるとともに環状のシール材212により封止された液晶層215と、を主体として構成された液晶パネル211と、その背面側(図示下面側)に配設されたプリズムシート222と、バックライト(照明装置)230とを備えて構成されている。   FIG. 14 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the liquid crystal display device according to the present invention. A liquid crystal device 200 according to the embodiment shown in FIG. 14 includes a pair of substrates 213 and 214 arranged to face each other, and a liquid crystal layer 215 sandwiched between these substrates and sealed by an annular sealing material 212. The liquid crystal panel 211 is configured to include the prism sheet 222 disposed on the back surface side (the lower surface side in the drawing), and the backlight (illuminating device) 230.

前面側(図示上側)に配置された基板213は、例えばガラス等の透明材料からなる透光性の基板本体217の外面側(図示上面側)に位相差板219と偏光板216とを配設するとともに、内面側(液晶層215側)にカラーフィルタ層224と、オーバーコート層221と、平面視ストライプ状の透明導電膜からなる電極層223とが形成された構成を備えている。上記各電極層223は本実施形態ではITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)等からなる透明導電膜を平面視ストライプ状にパターン形成したもので、液晶パネル211の表示領域と画素数に合わせて必要本数形成されている。   The substrate 213 arranged on the front side (the upper side in the figure) is provided with a retardation plate 219 and a polarizing plate 216 on the outer side (the upper side in the figure) of a translucent substrate body 217 made of a transparent material such as glass. In addition, a color filter layer 224, an overcoat layer 221 and an electrode layer 223 made of a transparent conductive film having a stripe shape in plan view are formed on the inner surface side (the liquid crystal layer 215 side). In the present embodiment, each of the electrode layers 223 is formed by patterning a transparent conductive film made of ITO (Indium Tin Oxide) or the like in a stripe shape in plan view, and matches the display area of the liquid crystal panel 211 and the number of pixels. The required number is formed.

なお、実際の液晶装置においては、電極層223の液晶層215側と、後述する下基板側のストライプ状の電極層235の液晶層215側に、各々配向膜が形成されるが、図14ではこれら配向膜の図示を省略している。液晶層215は、例えば所定のツイスト角にて配向制御されたTN液晶からなる。   In the actual liquid crystal device, alignment films are formed on the liquid crystal layer 215 side of the electrode layer 223 and on the liquid crystal layer 215 side of the striped electrode layer 235 on the lower substrate side described later. Illustration of these alignment films is omitted. The liquid crystal layer 215 is made of, for example, a TN liquid crystal whose orientation is controlled at a predetermined twist angle.

上記カラーフィルタ層224は、カラー表示用のRGBの各パターンを遮光手段たるブラックマトリクス(図示略)により区画してなるものであり、このカラーフィルタ層224上に、前記RGBパターンを保護するとともに、前記RGBパターンに起因する凹凸を平坦化するための透明な保護平坦化膜としてオーバーコート層221が被覆されている。上記ブラックマトリクスとしては例えばスパッタリング法、真空蒸着法等により厚さ100〜200nm程度のクロム等の金属薄膜をパターン形成してなるものを用いることができる。上記のRGBパターンは、赤色パターン(R)、緑色パターン(G)、青色パターン(B)が、所望のパターン形状で配列され、例えば、所定の着色材を含有する感光性樹脂を使用した顔料分散法、各種印刷法、電着法、転写法、染色法等の種々の方法で形成されている。   The color filter layer 224 is formed by partitioning each RGB pattern for color display by a black matrix (not shown) serving as a light-shielding means. On the color filter layer 224, the RGB pattern is protected, An overcoat layer 221 is coated as a transparent protective flattening film for flattening the unevenness caused by the RGB pattern. As the black matrix, for example, a pattern obtained by patterning a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 100 to 200 nm by a sputtering method, a vacuum deposition method or the like can be used. In the above RGB pattern, a red pattern (R), a green pattern (G), and a blue pattern (B) are arranged in a desired pattern shape. For example, pigment dispersion using a photosensitive resin containing a predetermined colorant And various printing methods, electrodeposition methods, transfer methods, dyeing methods, and the like.

一方、背面側に配置された基板214は、ガラスなどの透明材料からなる光透過性の基板本体228の内面側(液晶層215側)に、半透過反射層231と、オーバーコート層233と、平面視ストライプ状の透明導電膜からなる電極層235とを順次形成し、基板本体228の外面側(図示下面側)に位相差板26と、偏光板27とを配設してなる構成を備えている。前記電極層235は、液晶層215を挟んで対向する前記電極層223の電極と互いに交差する向きに延びて配置されている。   On the other hand, the substrate 214 disposed on the back side is provided with a transflective layer 231, an overcoat layer 233 on the inner surface side (liquid crystal layer 215 side) of the light-transmitting substrate body 228 made of a transparent material such as glass, An electrode layer 235 made of a transparent conductive film having a stripe shape in plan view is sequentially formed, and a retardation plate 26 and a polarizing plate 27 are provided on the outer surface side (lower surface side in the drawing) of the substrate body 228. ing. The electrode layer 235 is arranged to extend in a direction intersecting with the electrodes of the electrode layer 223 facing each other with the liquid crystal layer 215 interposed therebetween.

プリズムシート222は、透明なアクリル樹脂などからなる平板状の板材の一面側にプリズム面222aを備えたものであり、このプリズム面222aには断面三角波状の周期的な凹凸が形成されて構成されている。本実施形態の液晶装置200では、このような形状を具備したプリズムシート222を2枚重ねて配設しており、両プリズムシートのプリズム面に形成された凸条の延在方向が互いに直交するように配置されている。これらのプリズムシート222を設けることで、バックライト230からの照明光を効率よく液晶パネル211に入射させることができるようになっている。   The prism sheet 222 is provided with a prism surface 222a on one surface side of a flat plate material made of a transparent acrylic resin or the like, and the prism surface 222a is formed by forming periodic irregularities having a triangular wave cross section. ing. In the liquid crystal device 200 of the present embodiment, two prism sheets 222 having such a shape are arranged so as to overlap each other, and the extending directions of the ridges formed on the prism surfaces of both prism sheets are orthogonal to each other. Are arranged as follows. By providing these prism sheets 222, illumination light from the backlight 230 can be efficiently incident on the liquid crystal panel 211.

バックライト230は、図14に示すように、透光性基板241の外面側(図示下面側)に、陽極242と、正孔注入層243と、発光層244と、陰極245とを順に積層形成してなる有機EL素子250を設けた構成を備えている。そして、有機EL素子250を流れる電流量に応じて発光層244で生じた光を、基板241側から取り出し、照明光として出力するようになっている。   As shown in FIG. 14, the backlight 230 has an anode 242, a hole injection layer 243, a light emitting layer 244, and a cathode 245 formed in this order on the outer surface side (lower surface side in the drawing) of the translucent substrate 241. The organic EL element 250 is provided. The light generated in the light emitting layer 244 according to the amount of current flowing through the organic EL element 250 is extracted from the substrate 241 side and output as illumination light.

正孔注入層243、及び発光層244の構成材料としては、先の図1に示した正孔注入層15及び発光層17の構成材料と同様のものを用いることができる。また先の実施形態と同様、必要に応じて正孔輸送層や電子輸送層を設けることができるのは勿論である。
本実施形態のように照明装置として構成する場合、発光層244には、白色発光が得られる材料からなるものを用いるのが好ましい。なお、白色は厳密には単一の色から構成されるものではないが、本発明では単色と定義する。
また陰極245は、発光層244から射出される光を反射させ、基板241側へ放射するべく、例えば、アルミニウム、銀、銀合金など、光反射性を具備した金属材料により形成するのがよい。
As the constituent material of the hole injection layer 243 and the light emitting layer 244, the same material as the constituent material of the hole injection layer 15 and the light emitting layer 17 shown in FIG. 1 can be used. In addition, as in the previous embodiment, it is needless to say that a hole transport layer or an electron transport layer can be provided as necessary.
When configured as a lighting device as in this embodiment, it is preferable to use a material made of a material capable of obtaining white light emission for the light emitting layer 244. White is not strictly composed of a single color, but is defined as a single color in the present invention.
The cathode 245 is preferably formed of a metal material having light reflectivity such as aluminum, silver, or a silver alloy so as to reflect light emitted from the light emitting layer 244 and emit the light toward the substrate 241 side.

上記構成を備えた液晶装置200では、バックライト230が本発明に係る有機EL装置を含んで構成されている。すなわち、有機EL素子250を構成する正孔注入層243、発光層244が、基板241上に図2から図4に示した塗布装置を用いて液体材料を選択的に塗布することで形成された有機薄膜からなるものとされている。したがって、本実施形態に係る正孔注入層243、発光層244は、液相法を用いて一括に塗布形成されたものであるから、膜厚及び膜質の均一性に優れており、発光効率が高く、また輝度の均一性、単色性にも優れたものとなっている。   In the liquid crystal device 200 having the above configuration, the backlight 230 includes the organic EL device according to the present invention. That is, the hole injection layer 243 and the light emitting layer 244 constituting the organic EL element 250 were formed by selectively applying a liquid material on the substrate 241 using the application apparatus shown in FIGS. It consists of an organic thin film. Therefore, since the hole injection layer 243 and the light emitting layer 244 according to the present embodiment are formed by batch application using a liquid phase method, the film thickness and the film quality are excellent in uniformity, and the light emission efficiency is high. It is also high in brightness uniformity and monochromaticity.

また、基板241上に液体材料を必要量だけ塗布して形成されるので、有機EL素子250を形成するに際しての材料使用効率を高め、低コストに製造可能なバックライト230となっている。またさらに、塗布装置を用いた液体材料の塗布に際しては、基板241上の所定領域(発光領域)にのみ液体材料を配するので、例えば発光領域の外側に駆動回路等の外部回路との接続端子等が設けられている場合に、当該接続端子と液体材料とが接触することが無く、接続端子の信頼性低下等を生じ難くなっている。したがって本実施形態のバックライト230は、外部接続端子等の電気的信頼性にも優れたものとなっている。   In addition, since a necessary amount of liquid material is applied on the substrate 241, the backlight 230 can be manufactured at low cost by increasing the material use efficiency when forming the organic EL element 250. Furthermore, since the liquid material is disposed only in a predetermined region (light emitting region) on the substrate 241 when applying the liquid material using the coating apparatus, for example, a connection terminal for an external circuit such as a drive circuit outside the light emitting region. Etc., the connection terminal and the liquid material do not come into contact with each other, and the reliability of the connection terminal is hardly lowered. Therefore, the backlight 230 of the present embodiment is excellent in electrical reliability such as external connection terminals.

なお、本実施形態の液晶装置は半透過反射型であるので、バックライト230は常に点灯するのではなく、周囲光(外光)が殆どないような場合だけ、使用者あるいはセンサの指示によって点灯するものとすることができる。すなわち、十分な周囲光が得られる場合には、バックライトを消灯し、液晶パネル211を反射型の液晶パネルとして動作させることになる。このような半透過反射型の液晶パネル211には、半透過反射層231と呼ばれる層が形成されているが、この半透過反射層231は、Ag又はAlなどからなる反射層が画素領域内に部分的に形成された構成を具備しており、例えば図14に示す基板本体228上に蒸着法あるいはスパッタ法などにより形成することができる。また、この半透過反射層231としては、液晶パネル211の下側に設けられたバックライト230から出射された光を一部透過可能な厚さの反射層により構成してもよく、半透過反射型の液晶装置に広く用いられているものを適宜採用することができる。また、半透過反射層が光反射性と導電性を兼ね備えた材料から構成されている場合には、半透過反射層が駆動用電極を兼ねる構成とすることができる。   Since the liquid crystal device of the present embodiment is a transflective type, the backlight 230 is not always lit, but only when there is little ambient light (external light), and is lit by a user or sensor instruction. Can be. That is, when sufficient ambient light is obtained, the backlight is turned off and the liquid crystal panel 211 is operated as a reflective liquid crystal panel. In such a transflective liquid crystal panel 211, a layer called a transflective layer 231 is formed. The transflective layer 231 has a reflective layer made of Ag or Al in the pixel region. For example, it can be formed on a substrate body 228 shown in FIG. 14 by vapor deposition or sputtering. The transflective layer 231 may be formed of a reflective layer having a thickness capable of partially transmitting light emitted from the backlight 230 provided below the liquid crystal panel 211. What is widely used for liquid crystal type liquid crystal devices can be appropriately employed. Further, when the transflective layer is made of a material having both light reflectivity and conductivity, the transflective layer can also serve as a driving electrode.

また、本実施形態の液晶装置においては、単純マトリックス型の半透過反射型液晶パネルに照明装置を備えた場合について説明したが、係る液晶パネルを、2端子型スイッチング素子あるいは3端子型スイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型の半透過反射型液晶パネルに備えるようにしても良いのは勿論である。   In the liquid crystal device of the present embodiment, the case where the simple matrix type transflective liquid crystal panel is provided with the illumination device has been described. However, the liquid crystal panel is not provided with a two-terminal switching element or a three-terminal switching element. Needless to say, the active matrix transflective liquid crystal panel may be provided.

(電子機器)
図15は、上記実施形態の液晶装置を表示部に備えた電子機器である携帯電話機を示す斜視構成図である。携帯電話機1300は、表示部1301と、操作部1302と、受話部1303と、送話部1304とを主体として構成されており、表示部1301に実施形態に係る液晶装置を具備したものである。この携帯電話機は、本発明に係る照明装置を具備した液晶表示部において明るい表示が得られ、また同表示部の信頼性にも優れた携帯電話機となっている。
(Electronics)
FIG. 15 is a perspective configuration diagram illustrating a mobile phone that is an electronic device including the liquid crystal device according to the embodiment in a display unit. A cellular phone 1300 is mainly configured by a display unit 1301, an operation unit 1302, a reception unit 1303, and a transmission unit 1304, and the display unit 1301 includes the liquid crystal device according to the embodiment. This mobile phone is a mobile phone which can obtain a bright display on the liquid crystal display unit equipped with the lighting device according to the present invention and is excellent in the reliability of the display unit.

実施形態に係る有機EL装置の断面構成図である。It is a section lineblock diagram of an organic EL device concerning an embodiment. 同、スリットコータによる成膜工程を示す断面構成図。The cross-sectional block diagram which shows the film-forming process by a slit coater. 同、フレキソ印刷装置を用いた成膜工程を示す断面工程図。Sectional process drawing which shows the film-forming process using the flexographic printing apparatus. 同、フレキソ印刷装置を用いた成膜工程を示す断面工程図。Sectional process drawing which shows the film-forming process using the flexographic printing apparatus. 実施形態に係る製造方法による成膜形態を示す平面構成図。The plane block diagram which shows the film-forming form by the manufacturing method which concerns on embodiment. 同、有機薄膜の端部形状を説明するための断面構成図。The cross-sectional block diagram for demonstrating the edge part shape of an organic thin film equally. 実施形態に係る製造方法による成膜形態を示す平面構成図。The plane block diagram which shows the film-forming form by the manufacturing method which concerns on embodiment. 実施形態に係るプリンタヘッドの平面構成及び側面構成を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating a planar configuration and a side configuration of the printer head according to the embodiment. 同、部分断面構成を示す図。The figure which shows a partial cross section structure similarly. 同、有機EL素子の平面構成を示す図。The figure which shows the planar structure of an organic EL element. 同、正孔注入層の形成領域を説明するための平面構成図。The plane block diagram for demonstrating the formation area of a positive hole injection layer similarly. 実施形態に係る画像形成装置の構成を示す図。1 is a diagram illustrating a configuration of an image forming apparatus according to an embodiment. 実施形態に係る画像形成装置の構成を示す図。1 is a diagram illustrating a configuration of an image forming apparatus according to an embodiment. 実施形態に係る液晶装置(照明装置)の構成を示す図。The figure which shows the structure of the liquid crystal device (illumination device) which concerns on embodiment. 電子機器の一例を示す斜視構成図。FIG. 11 is a perspective configuration diagram illustrating an example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

1 プリンタヘッド、2 素子基板(基体)、3 有機EL素子、10 有機EL装置、11 基板(基体)、12 陽極、13 有機EL層、14 陰極、15 正孔注入層、16 正孔輸送層、17 発光層、18 電子輸送層、19 有機EL素子、29 端子部、200 液晶装置、230 バックライト(照明装置;有機EL装置)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printer head, 2 element board | substrate (base | substrate), 3 organic EL element, 10 organic EL apparatus, 11 board | substrate (base | substrate), 12 anode, 13 organic EL layer, 14 cathode, 15 hole injection layer, 16 hole transport layer, 17 light emitting layer, 18 electron transport layer, 19 organic EL element, 29 terminal, 200 liquid crystal device, 230 backlight (illumination device; organic EL device)

Claims (17)

基体上に、有機機能層を挟持して対向する一対の電極を備えた有機EL素子を形成してなる有機EL装置であって、
前記有機機能層を形成する有機薄膜の少なくとも1層が、当該有機薄膜の基体上の形成領域のみに、液体材料を平面的に塗布して形成されたものであることを特徴とする有機EL装置。
An organic EL device in which an organic EL element including a pair of electrodes facing each other with an organic functional layer interposed therebetween is formed on a substrate,
An organic EL device characterized in that at least one layer of the organic thin film forming the organic functional layer is formed by planarly applying a liquid material only to a formation region on the base of the organic thin film. .
基体上に複数の有機EL素子を形成してなる有機EL装置であって、
前記有機EL素子が、一対の電極と、前記両電極に挟持された有機機能層とを備えており、
前記有機機能層を構成する有機薄膜の少なくとも1層が、前記複数の有機EL素子に跨って前記基体上に部分的に形成されており、
前記有機薄膜が、前記基体上の形成領域のみに液体材料を平面的に塗布して形成されたものであることを特徴とする有機EL装置。
An organic EL device in which a plurality of organic EL elements are formed on a substrate,
The organic EL element includes a pair of electrodes and an organic functional layer sandwiched between the electrodes,
At least one layer of the organic thin film constituting the organic functional layer is partially formed on the substrate across the plurality of organic EL elements,
An organic EL device, wherein the organic thin film is formed by applying a liquid material in a planar manner only to a formation region on the substrate.
前記有機EL素子の有機機能層が、水系溶媒を含む液体材料を用いてパターン形成された有機薄膜を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL装置。   The organic EL device according to claim 1, wherein the organic functional layer of the organic EL element includes an organic thin film patterned using a liquid material containing an aqueous solvent. 前記水系溶媒を含む液体材料が、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)を含む有機機能材料を水に溶解させたものであることを特徴とする請求項3に記載の有機EL装置。   The organic EL device according to claim 3, wherein the liquid material containing the aqueous solvent is obtained by dissolving an organic functional material containing 3,4-polyethylenedioxythiophene (PEDOT) in water. 前記有機薄膜の非形成領域に、前記有機EL素子と電気的に接続された端子部が設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の有機EL装置。   5. The organic EL device according to claim 1, wherein a terminal portion electrically connected to the organic EL element is provided in a non-formation region of the organic thin film. 前記端子部が、当該有機EL装置の外部接続端子、又は前記有機EL素子の電極と接続された電極端子であることを特徴とする請求項5に記載の有機EL装置。   The organic EL device according to claim 5, wherein the terminal portion is an external connection terminal of the organic EL device or an electrode terminal connected to an electrode of the organic EL element. 前記複数の有機EL素子の発光が、単一色であることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の有機EL装置。   7. The organic EL device according to claim 1, wherein light emission of the plurality of organic EL elements is a single color. 基体上に有機EL素子を形成してなる有機EL装置の製造方法であって、
前記基体上に、前記有機EL素子と、該有機EL素子に対し電気的に接続される端子部とを形成する工程を含み、
前記有機EL素子を形成するに際して、前記端子部を除く前記基体上の領域に液体材料を平面的に塗布することで、当該有機EL素子を構成する有機薄膜を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。
A method for producing an organic EL device comprising an organic EL element formed on a substrate,
Forming the organic EL element and a terminal portion electrically connected to the organic EL element on the substrate;
When forming the organic EL element, an organic thin film constituting the organic EL element is formed by planarly applying a liquid material to a region on the substrate excluding the terminal portion. Device manufacturing method.
基体上に複数の有機EL素子を形成してなる有機EL装置の製造方法であって、
前記基体上に前記有機EL素子を構成する一側の電極を複数形成する工程と、
前記複数の電極の形成領域に跨る基体上の領域に液体材料を平面的に塗布することにより前記有機EL素子を構成する有機薄膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機EL装置の製造方法。
A method for producing an organic EL device comprising a plurality of organic EL elements formed on a substrate,
Forming a plurality of electrodes on one side constituting the organic EL element on the substrate;
Forming an organic thin film that constitutes the organic EL element by planarly applying a liquid material to a region on a substrate straddling a region where the plurality of electrodes are formed;
The manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus characterized by the above-mentioned.
前記基体上に液体材料を選択配置するに際して、スリットコート法、ロールコート法、又は印刷法を用いることを特徴とする請求項8又は9に記載の有機EL装置の製造方法。   The method for manufacturing an organic EL device according to claim 8 or 9, wherein a slit coating method, a roll coating method, or a printing method is used when the liquid material is selectively disposed on the substrate. 前記液体材料の粘度が5cP以下であり、その溶質濃度が1重量%以下であることを特徴とする請求項8から10のいずれか1項に記載の有機EL装置の製造方法。   11. The method of manufacturing an organic EL device according to claim 8, wherein a viscosity of the liquid material is 5 cP or less and a solute concentration thereof is 1 wt% or less. 前記液体材料の粘度が2cP以下であることを特徴とする請求項11に記載の有機EL装置の製造方法。   12. The method of manufacturing an organic EL device according to claim 11, wherein the liquid material has a viscosity of 2 cP or less. 前記液体材料の溶質濃度が0.1重量%以下であることを特徴とする請求項11又は12に記載の有機EL装置の製造方法。   13. The method of manufacturing an organic EL device according to claim 11, wherein a solute concentration of the liquid material is 0.1 wt% or less. 前記液体材料を加温しつつ前記基体上に塗布することを特徴とする請求項8から13のいずれか1項に記載の有機EL装置の製造方法。   14. The method of manufacturing an organic EL device according to claim 8, wherein the liquid material is applied onto the substrate while being heated. 請求項1から7のいずれか1項に記載の有機EL装置を含むことを特徴とするプリンタヘッド。   A printer head comprising the organic EL device according to claim 1. 請求項1から7のいずれか1項に記載の有機EL装置を含むことを特徴とする照明装置。   An illuminating device comprising the organic EL device according to claim 1. 請求項1から7のいずれか1項に記載の有機EL装置、請求項15に記載のプリンタヘッド、請求項16に記載の照明装置のいずれかを備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising any one of the organic EL device according to claim 1, the printer head according to claim 15, and the illumination device according to claim 16.
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