JP2007220908A - Manufacturing method of multilayer printed wiring board - Google Patents

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健 金井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a multilayer printed wiring board whereby its outer connecting terminal can be exposed to the external (be formed) by using no mechanical peeling. <P>SOLUTION: On both the surfaces of an inner-layer wiring base material 10, there are formed respectively in a laminar way an outer-layer wiring base material 20 having an outer-layer insulating layer 22, and an outer-layer conductor layer 24; and an outer-layer wiring base material 21 having an outer-layer insulating layer 23, and outer-layer conductor layer 25 to constitute a multilayer printed wiring board having four conductor layers. The outer-layer insulating layers 22, 23 are opposed to a hard portion As and are not opposed to a flexible portion Af. The outer-layer insulating layers 22, 23 are not laminated on outer connecting terminal 12t and on an outer-terminal coating layer 18. When so exposing to the external finally the outer connecting terminal 12t that the outer connecting terminal 12t and the outer-terminal coating layer 18 are not affected by the outer insulating layers 22, 23; the mechanical peeling of the outer insulating layer 22 becomes unnecessary and the outer insulating layer 22 can be exposed to the external easily and accurately. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の実装に使用される電子機器向けのプリント配線基板、特に2層以上の導体層パターンを有する多層プリント配線基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a printed wiring board for electronic equipment used for mounting electronic components, and more particularly to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board having two or more conductor layer patterns.

可撓部および硬質部を有する多層プリント配線基板は、通称「フレックスリジッド配線基板」或いは「複合多層フレキシブル配線基板」と呼ばれ、電子機器の小型化、精密化、複合化に伴い多く用いられるようになっている。また、それに伴い、可撓部および硬質部の境界付近での段差の問題、可撓部の露出部に対する表面処理での問題、工程簡略化の必要性など種々の問題が顕在化してきている。   A multilayer printed wiring board having a flexible part and a hard part is commonly called "flex rigid wiring board" or "composite multilayer flexible wiring board", and is likely to be used in many cases as electronic devices become smaller, more precise, and more complex. It has become. Along with this, various problems such as a step difference in the vicinity of the boundary between the flexible part and the hard part, a problem in the surface treatment of the exposed part of the flexible part, and the necessity of simplification of the process have become apparent.

また、多層プリント配線基板として、可撓性の内層配線基材により外部接続端子を形成したものが提案されている。上述したように可撓部および硬質部を有する多層プリント配線基板は、製造工程が複雑であり、また外部接続端子の形成の困難性および可撓部および硬質部の境界での処理の困難性など多くの問題が指摘されている。   A multilayer printed wiring board in which external connection terminals are formed of a flexible inner layer wiring base material has been proposed. As described above, the multilayer printed wiring board having the flexible portion and the hard portion has a complicated manufacturing process, difficulty in forming the external connection terminals, and difficulty in processing at the boundary between the flexible portion and the hard portion. Many problems have been pointed out.

図10ないし図17に基づいて従来の多層プリント配線基板の製造方法を説明する。なお、図10ないし図17は全て断面図であるが、図面の見易さを考慮してハッチングは全て省略してある。   A conventional method for manufacturing a multilayer printed wiring board will be described with reference to FIGS. 10 to 17 are all cross-sectional views, but all hatchings are omitted for easy viewing of the drawings.

図10は、従来の多層プリント配線基板の内層配線基材の断面を示す断面図である。   FIG. 10 is a cross-sectional view showing a cross section of an inner layer wiring substrate of a conventional multilayer printed wiring board.

内層配線基材110を可撓性配線基材で構成し、外層配線基材120、121(図14参照)を硬質性配線基材で構成することにより、硬質部Asおよび可撓部Afを構成するフレックスリジッド(複合多層プリント配線基板)構成とした多層プリント配線基板101を従来例として説明する。多層プリント配線基板101は、可撓部Afに外部接続端子112t(図11参照)を備える構成としてある。   By configuring the inner wiring substrate 110 with a flexible wiring substrate and configuring the outer wiring substrates 120 and 121 (see FIG. 14) with a hard wiring substrate, the hard portion As and the flexible portion Af are formed. A multilayer printed wiring board 101 having a flex-rigid (composite multilayer printed wiring board) configuration will be described as a conventional example. The multilayer printed wiring board 101 is configured to include an external connection terminal 112t (see FIG. 11) in the flexible portion Af.

なお、内層配線基材110に加え、外層配線基材120、121も可撓性配線基材で構成した場合には、可撓性多層プリント配線基板とすることができる。   In addition, in addition to the inner layer wiring substrate 110, when the outer layer wiring substrates 120 and 121 are also formed of a flexible wiring substrate, a flexible multilayer printed wiring board can be obtained.

多層プリント配線基板101の内層を構成する内層配線基材110は、内層絶縁層111とその両面に積層された内層導体層112、113を備える。なお、以下において、工程途中のものであっても多層プリント配線基板101とする。   An inner wiring substrate 110 constituting the inner layer of the multilayer printed wiring board 101 includes an inner insulating layer 111 and inner conductor layers 112 and 113 laminated on both surfaces thereof. In the following description, the multilayer printed wiring board 101 is used even during the process.

内層配線基材110としては、一般に市販されている両面フレキシブル配線基板材料が利用される。内層絶縁層111は、可撓性を有する絶縁樹脂フィルムで構成され、一般的には、ポリイミド、ポリエーテルケトン、その他の液晶ポリマーなどの絶縁樹脂フィルム(FPC材)で構成される。   As the inner layer wiring substrate 110, a commercially available double-sided flexible wiring board material is used. The inner insulating layer 111 is made of a flexible insulating resin film, and is generally made of an insulating resin film (FPC material) such as polyimide, polyetherketone, or other liquid crystal polymer.

内層導体層112、113は、内層絶縁層111の両側に接着剤を介して、あるいは接着剤なしで積層形成される。内層導体層112、113は、銅箔で構成されるが、その他の金属箔で構成されることもある。   The inner conductor layers 112 and 113 are laminated on both sides of the inner insulating layer 111 via an adhesive or without an adhesive. The inner conductor layers 112 and 113 are made of copper foil, but may be made of other metal foil.

多層プリント配線基板101は、完成した状態(図17参照)で、剛性を有する硬質部Asおよび硬質部Asから導出して形成され可撓性を有する可撓部Afを備える。したがって、内層配線基材110も同様に、完成したときの硬質部Asおよび可撓部Afに対応する領域としての硬質対応部Asおよび可撓対応部Afを有する(以下完成時の硬質部Asおよび可撓部Afと、工程中での硬質対応部Asおよび可撓対応部Afは区別しないで単に硬質部Asおよび可撓部Afとする。)。   The multilayer printed wiring board 101 includes, in a completed state (see FIG. 17), a rigid hard part As and a flexible flexible part Af formed by being derived from the hard part As. Accordingly, the inner wiring substrate 110 similarly has a hard corresponding portion As and a flexible corresponding portion Af as regions corresponding to the hard portion As and the flexible portion Af when completed (hereinafter, the hard portion As and the completed hard portion As and The flexible portion Af, the hard corresponding portion As and the flexible corresponding portion Af in the process are simply referred to as the hard portion As and the flexible portion Af without distinction.)

なお、多層プリント配線基板101の製造工程で、硬質部Asおよび可撓部Afを保持する役割を果たす補助的な配線基材が周囲に配置される場合があるが省略する。   In addition, in the manufacturing process of the multilayer printed wiring board 101, an auxiliary wiring base material that plays a role of holding the hard portion As and the flexible portion Af may be disposed around, but is omitted.

図11は、従来の多層プリント配線基板の内層回路パターンを形成した内層配線基材の断面を示す断面図である。   FIG. 11 is a cross-sectional view showing a cross section of an inner layer wiring base material on which an inner layer circuit pattern of a conventional multilayer printed wiring board is formed.

内層導体層112、113に対してパターニングを施すことにより、内層回路パターン112p、113pを形成する。つまり、内層導体層112、113にエッチングレジスト(不図示)を塗布し、内層導体層112、113のパターニング(エッチング)を周知の技術であるフォトリソグラフィ技術により行なうことにより、内層回路パターン112p、113p、外部接続端子112tを形成する。   By patterning the inner conductor layers 112 and 113, inner circuit patterns 112p and 113p are formed. That is, by applying an etching resist (not shown) to the inner conductor layers 112 and 113 and patterning (etching) the inner conductor layers 112 and 113 by a well-known photolithography technique, the inner circuit patterns 112p and 113p are formed. The external connection terminal 112t is formed.

内層回路パターン112p、113pは、硬質部Asに対応して形成され、外部接続端子112tは、内層回路パターン112pと同様に内層導体層112により可撓部Afに対応して形成される。外部接続端子112tは、完成した多層プリント配線基板101では、可撓部Afでの回路パターンを構成し、先端部は外部接続端子112tとして構成される(図17参照)。   The inner layer circuit patterns 112p and 113p are formed corresponding to the hard portion As, and the external connection terminal 112t is formed corresponding to the flexible portion Af by the inner layer conductor layer 112 similarly to the inner layer circuit pattern 112p. In the completed multilayer printed wiring board 101, the external connection terminal 112t forms a circuit pattern at the flexible portion Af, and the tip portion is configured as the external connection terminal 112t (see FIG. 17).

内層回路パターン112p、113pおよび外部接続端子112tを形成した後、レーザまたはNCドリルなどを用いて適宜の穴加工を施すことにより、内層回路パターン112p、113p相互間を貫通するスルーホールまたはビアホール(不図示)を形成し、その後、パネルメッキ手法を用いてスルーホールまたはビアホールにメッキ(例えば金メッキ、銅メッキなど)を施すことによりインナースルーホール導体(不図示)またはビアホール導体(不図示)を適宜形成する。なお、メッキ層は図面の見易さを考慮して図示していない。   After forming the inner layer circuit patterns 112p and 113p and the external connection terminal 112t, through holes or via holes penetrating between the inner layer circuit patterns 112p and 113p are formed by performing appropriate drilling using a laser or NC drill or the like. After that, an inner through-hole conductor (not shown) or a via-hole conductor (not shown) is appropriately formed by applying plating (for example, gold plating, copper plating, etc.) to the through hole or via hole using a panel plating method. To do. Note that the plating layer is not shown in consideration of the visibility of the drawing.

図12は、従来の多層プリント配線基板の内層配線基材を被覆する被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 12 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state in which a coating layer that covers an inner layer wiring substrate of a conventional multilayer printed wiring board is formed.

内層回路パターン112p、113p、外部接続端子112tを形成した後、金型などで予め窓抜き加工して外部接続端子112tに対応する開口112wを形成した接着剤層115および被覆層116を内層導体層112(内層回路パターン112p)に積層形成する。なお、接着剤層115の厚さ、被覆層116の厚さは適宜の厚さになるように予め薄く調整しておく。また、被覆層116に接着剤層115がコートされているカバーレイ材を使用することもある。   After forming the inner layer circuit patterns 112p and 113p and the external connection terminal 112t, the adhesive layer 115 and the covering layer 116 in which the opening 112w corresponding to the external connection terminal 112t is formed in advance by windowing with a mold or the like are used as the inner layer conductor layer. 112 (inner layer circuit pattern 112p) is laminated. Note that the thickness of the adhesive layer 115 and the thickness of the coating layer 116 are adjusted to be thin in advance so as to have appropriate thicknesses. Further, a coverlay material in which the coating layer 116 is coated with the adhesive layer 115 may be used.

図13は、従来の多層プリント配線基板の外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を位置合わせした状態の断面を示す断面図である。   FIG. 13 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state where an external terminal covering layer covering external connection terminals of a conventional multilayer printed wiring board is aligned.

開口112wにより露出している外部接続端子112tを被覆する外部端子被覆材117および外部端子被覆材117を保持、補強する被覆材保持導体119が外部端子被覆層として位置合わせして積層される。   The external terminal covering material 117 covering the external connection terminal 112t exposed through the opening 112w and the covering material holding conductor 119 for holding and reinforcing the external terminal covering material 117 are aligned and laminated as the external terminal covering layer.

なお、外部端子被覆材117および被覆材保持導体119は、予め金型で成形したものを外部接続端子112tに適宜位置合わせした後、仮止め(貼付)される。成形したものを機械的に位置合わせすることから、±0.2mm程度の貼りズレ公差が必要である。   The external terminal covering material 117 and the covering material holding conductor 119 are temporarily fixed (applied) after properly aligning the external terminal covering material 117 with the external connection terminal 112t. Since the molded product is mechanically aligned, a tolerance of misalignment of about ± 0.2 mm is required.

図14は、従来の多層プリント配線基板の内層配線基材に外層配線基材を積層した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 14 is a cross-sectional view showing a cross section in a state where an outer layer wiring base material is laminated on an inner layer wiring base material of a conventional multilayer printed wiring board.

内層配線基材110の両面に外層配線基材120と外層配線基材121が積層形成される。外層配線基材120は、外層絶縁層122および外層導体層124を有し、外層配線基材121は、外層絶縁層123および外層導体層125を有する。なお、外層配線基材120および外層配線基材121は、硬質性配線基材として構成される。   The outer layer wiring substrate 120 and the outer layer wiring substrate 121 are laminated on both surfaces of the inner layer wiring substrate 110. The outer wiring substrate 120 has an outer insulating layer 122 and an outer conductor layer 124, and the outer wiring substrate 121 has an outer insulating layer 123 and an outer conductor layer 125. The outer wiring substrate 120 and the outer wiring substrate 121 are configured as hard wiring substrates.

つまり、外層導体層124は接着剤としての外層絶縁層122に積層されて外層配線基材120を構成し、外層導体層125は接着剤としての外層絶縁層123に積層されて外層配線基材121を構成する。したがって、この段階で、4層の導体層を有する多層プリント配線基板を構成することとなる。   That is, the outer conductor layer 124 is laminated on the outer insulating layer 122 as an adhesive to constitute the outer wiring substrate 120, and the outer conductor layer 125 is laminated on the outer insulating layer 123 as an adhesive to form the outer wiring substrate 121. Configure. Therefore, at this stage, a multilayer printed wiring board having four conductor layers is formed.

外層絶縁層122および外層導体層124は、内層配線基材110全面を被覆するように配置され、被覆層116および被覆材保持導体119(外部端子被覆材117)を被覆する構成とされる。   The outer insulating layer 122 and the outer conductor layer 124 are arranged so as to cover the entire surface of the inner wiring substrate 110 and cover the covering layer 116 and the covering material holding conductor 119 (external terminal covering material 117).

また、外層絶縁層123および外層導体層125は、金型などで予め窓抜き加工して硬質部Asに対向し、可撓部Afには対向しないように形成してある。これにより、硬質部Asおよび可撓部Afの特性を確実に保持することが可能となる。   In addition, the outer insulating layer 123 and the outer conductor layer 125 are formed in advance so as to face the hard part As and not to the flexible part Af by performing window cutting with a mold or the like. Thereby, the characteristics of the hard part As and the flexible part Af can be reliably maintained.

上述したとおり、接着剤としての外層絶縁層122は、外部接続端子112tに対応して形成された被覆材保持導体119(および外部端子被覆材117)に接着され積層されることとなる。   As described above, the outer insulating layer 122 as an adhesive is bonded and laminated to the covering material holding conductor 119 (and the external terminal covering material 117) formed corresponding to the external connection terminal 112t.

外層配線基材120(外層絶縁層122および外層導体層124)および外層配線基材121(外層絶縁層123および外層導体層125)を形成した後、レーザまたはNCドリルなどを用いて適宜の穴加工を施すことにより、外層導体層124と内層回路パターン112pの間、あるいは外層導体層125と内層回路パターン113pの間を貫通するスルーホールまたはビアホール(不図示)などを形成し、その後、パネルメッキ手法を用いてスルーホールまたはビアホールにメッキ(例えば金メッキ、銅メッキなど)を施すことによりスルーホール導体またはビアホール導体(不図示)を適宜形成する。なお、メッキ層は図面の見易さを考慮して図示していない。   After forming outer layer wiring substrate 120 (outer layer insulating layer 122 and outer layer conductor layer 124) and outer layer wiring substrate 121 (outer layer insulating layer 123 and outer layer conductor layer 125), appropriate drilling is performed using a laser or NC drill or the like. To form a through hole or a via hole (not shown) penetrating between the outer layer conductor layer 124 and the inner layer circuit pattern 112p or between the outer layer conductor layer 125 and the inner layer circuit pattern 113p, and thereafter panel plating method A through-hole conductor or a via-hole conductor (not shown) is appropriately formed by plating the through-hole or the via hole using, for example, gold plating or copper plating. Note that the plating layer is not shown in consideration of the visibility of the drawing.

図15は、従来の多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成するための外層マスクパターンを形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 15 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state where an outer layer mask pattern for forming an outer layer circuit pattern is formed on an outer layer wiring substrate of a conventional multilayer printed wiring board.

外層導体層124、125の表面に周知のフォトリソグラフィ技術を用いてそれぞれエッチングレジストとなる外層マスクパターン124m、125mを形成する。   Outer layer mask patterns 124m and 125m serving as etching resists are formed on the surfaces of the outer conductor layers 124 and 125, respectively, using a well-known photolithography technique.

なお、被覆材保持導体119(および外部端子被覆材117)を被覆している領域の外層絶縁層122および外層導体層124は、次のエッチング工程で外層導体層124がエッチングされないように外部端子被覆材117に対応する領域に外層マスクパターン124mtを形成しておく。   The outer insulating layer 122 and the outer conductive layer 124 in the region covering the covering material holding conductor 119 (and the external terminal covering material 117) are coated with the external terminal so that the outer conductive layer 124 is not etched in the next etching step. An outer layer mask pattern 124mt is formed in a region corresponding to the material 117.

図16は、従来の多層プリント配線基板の外層配線基材に外層マスクパターンを用いて外層回路パターンを形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 16 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state where an outer layer circuit pattern is formed on an outer layer wiring substrate of a conventional multilayer printed wiring board using an outer layer mask pattern.

外層マスクパターン124m、124mt、125mをマスクとして周知のエッチング技術により、外層導体層124、125をエッチング(パターニング)することにより外層回路パターン124p、125pを形成する。   The outer layer circuit patterns 124p and 125p are formed by etching (patterning) the outer layer conductor layers 124 and 125 by a known etching technique using the outer layer mask patterns 124m, 124mt, and 125m as a mask.

なお、外層回路パターン124p、125pの形成と同時に外部端子被覆材117(外部接続端子112t)に対応する領域にも外層マスクパターン124mtにより外層絶縁層122、外層導体層124が残されることから、外部端子被覆材117に対応して外層絶縁層122t、外層導体パターン124tが残存する状態となる。   Since the outer layer insulating layer 122 and the outer layer conductor layer 124 are left by the outer layer mask pattern 124mt in the region corresponding to the external terminal covering material 117 (external connection terminal 112t) simultaneously with the formation of the outer layer circuit patterns 124p and 125p, The outer insulating layer 122t and the outer conductor pattern 124t remain corresponding to the terminal covering material 117.

図17は、従来の多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成した後、外部端子被覆材117を除去した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 17 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state in which the external terminal covering material 117 is removed after the outer layer circuit pattern is formed on the outer layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board.

外部接続端子112tに対応して配置(残存)する外部端子被覆材117、被覆材保持導体119、外層絶縁層122t、および外層導体パターン124tを開口112wに形成された隙間をきっかけとして引き剥がす(引きちぎる)ことにより、外部接続端子112tを露出させる。   The external terminal covering material 117, the covering material holding conductor 119, the outer layer insulating layer 122t, and the outer layer conductor pattern 124t arranged (remaining) corresponding to the external connection terminal 112t are peeled off (trimmed) using the gap formed in the opening 112w as a trigger. Thus, the external connection terminal 112t is exposed.

このようにして、外部接続端子112tを露出することが可能となるが、上述したとおり外部端子被覆材117を積層(貼付)するときの位置精度を確保することが困難であること、また、外部接続端子112tを露出させるために外部接続端子112tの領域に対応して配置された外部端子被覆材117が被覆材保持導体119、外層絶縁層122t、および外層導体パターン124tと一体となって接着され積層された状態での引き剥がし作業では、設計した位置で絶縁材料(積層材料)を引き剥がすことが困難であることなどの問題がある。   In this way, it is possible to expose the external connection terminal 112t. However, as described above, it is difficult to ensure the positional accuracy when laminating (attaching) the external terminal covering material 117. In order to expose the connection terminal 112t, the external terminal covering material 117 arranged corresponding to the region of the external connection terminal 112t is integrally bonded to the covering material holding conductor 119, the outer layer insulating layer 122t, and the outer layer conductor pattern 124t. In the peeling operation in the laminated state, there is a problem that it is difficult to peel off the insulating material (laminated material) at the designed position.

つまり、外部端子被覆材117と共に外層絶縁層122t、外層導体パターン124tを引き剥がすときに、硬質部Asに配置されて実際に利用される外層回路パターン124pまで応力が及び、外層回路パターン124pが剥がれて不良品となる場合がある。   That is, when the outer insulating layer 122t and the outer conductor pattern 124t are peeled off together with the external terminal covering material 117, the stress is applied to the outer layer circuit pattern 124p that is disposed in the hard portion As and actually used, and the outer layer circuit pattern 124p is peeled off. May be defective.

また、不必要に剥がし残りが発生し、外部接続端子112t(あるいは所定の内層露出領域)が十分に露出されない不具合を生じる場合がある。また、外部接続端子112tが複数存在する場合、それぞれの外部接続端子112t毎に外部端子被覆材117の貼付、及び引き剥がし作業を行なうことが必要となることから、外部接続端子112tが増えるほど、作業効率が悪く、不良比率が高くなるという製造上の難しさがある。   In addition, there is a case where an unremoved part is unnecessarily generated and the external connection terminal 112t (or a predetermined inner layer exposed region) is not sufficiently exposed. In addition, when there are a plurality of external connection terminals 112t, it is necessary to perform affixing and peeling work of the external terminal covering material 117 for each external connection terminal 112t. Therefore, as the number of external connection terminals 112t increases, There is a manufacturing difficulty that the working efficiency is poor and the defect ratio becomes high.

なお、図10ないし図17に示したような従来の多層プリント配線基板は、例えば特許文献1に開示してある。
特許3354474号公報
A conventional multilayer printed wiring board as shown in FIGS. 10 to 17 is disclosed in, for example, Patent Document 1.
Japanese Patent No. 3354474

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、内層配線基材および外層配線基材を積層し、内層配線基材により構成される外部接続端子を備える多層プリント配線基板の製造方法であって、外部接続端子を外部端子被覆層および外層導体層により被覆しておくことにより、外層絶縁層を介さずに外部接続端子を被覆する形態として、外部接続端子を機械的な引き剥がしによらず露出(形成)することが可能な多層プリント配線基板の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and is a method for producing a multilayer printed wiring board having an external connection terminal formed by laminating an inner layer wiring base material and an outer layer wiring base material and comprising the inner layer wiring base material. The external connection terminal is covered with the external terminal covering layer and the outer conductor layer, so that the external connection terminal is covered without mechanically peeling the external connection terminal by means of mechanical peeling. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer printed wiring board that can be exposed (formed).

本発明に係る多層プリント配線基板は、内層絶縁層および内層導体層を有する内層配線基材と、該内層配線基材に積層され外層絶縁層および外層導体層を有する外層配線基材と、前記内層導体層により構成される外部接続端子とを備える多層プリント配線基板の製造方法であって、前記外層導体層をメッキするときに、前記外部接続端子は外部端子被覆層および該外部端子被覆層を被覆する前記外層導体層で被覆してあることを特徴とする。   The multilayer printed wiring board according to the present invention includes an inner layer wiring substrate having an inner layer insulating layer and an inner layer conductor layer, an outer layer wiring substrate having an outer layer insulating layer and an outer layer conductor layer laminated on the inner layer wiring substrate, and the inner layer. A method of manufacturing a multilayer printed wiring board comprising an external connection terminal constituted by a conductor layer, wherein the external connection terminal covers the external terminal coating layer and the external terminal coating layer when plating the external conductor layer The outer conductor layer is covered with the outer conductor layer.

この構成により、外層絶縁層を介さずに外部接続端子を外部端子被覆層と外層導体層で被覆することが可能となり、外部接続端子を露出するときに外層絶縁層を除去する必要がなく機械的な引き剥がし作業が不要になり、引き剥がしに伴う不良の発生を防止することができる。また、外部端子被覆層を外層導体層で被覆することから、外部端子被覆層に適用する材料の選択自由度を向上することが可能となる。   With this configuration, it is possible to cover the external connection terminal with the external terminal coating layer and the external conductor layer without going through the external insulation layer, and there is no need to remove the external insulation layer when the external connection terminal is exposed. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of defects due to peeling. In addition, since the external terminal covering layer is covered with the outer conductor layer, it is possible to improve the degree of freedom in selecting a material to be applied to the external terminal covering layer.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記内層配線基材は、可撓性配線基材であることを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the inner layer wiring base material is a flexible wiring base material.

この構成により、外層配線基材を硬質性配線基材で構成した場合には、複合多層プリント配線基板(フレックスリジッド多層プリント配線基板)とすることができ、外層配線基材を可撓性配線基材で構成した場合には、可撓性多層プリント配線基板とすることができる。   With this configuration, when the outer layer wiring substrate is composed of a hard wiring substrate, a composite multilayer printed wiring board (flex-rigid multilayer printed wiring board) can be obtained. When it is made of a material, a flexible multilayer printed wiring board can be obtained.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外部端子被覆層は、アルカリ現像特性を有することを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the external terminal coating layer has an alkali developing property.

この構成により、外部端子被覆層を剥離するときの作業性を向上でき、外部接続端子の酸化を防止して導電性の良い外部接続端子とすることができる。   With this configuration, workability when the external terminal covering layer is peeled can be improved, and the external connection terminal can be prevented from being oxidized to be a highly conductive external connection terminal.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外部端子被覆層は、感光特性を有することを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the external terminal coating layer has photosensitive characteristics.

この構成により、フォトリソグラフィ技術を適用して外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を容易に形成することができる。   With this configuration, it is possible to easily form an external terminal coating layer that covers the external connection terminals by applying a photolithography technique.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外部端子被覆層は、感光性ドライフィルムであることを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the external terminal coating layer is a photosensitive dry film.

この構成により、フォトリソグラフィ技術を適用して外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を精度良く、極めて容易に形成することができる。   With this configuration, it is possible to form the external terminal coating layer that coats the external connection terminals with high accuracy and very easily by applying the photolithography technique.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外部端子被覆層は、前記感光性ドライフィルムを露光、現像することにより形成することを特徴とする。   In the method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the external terminal coating layer is formed by exposing and developing the photosensitive dry film.

この構成により、フォトリソグラフィ技術を適用して外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を精度良く、極めて容易に形成することができる。   With this configuration, it is possible to form the external terminal coating layer that coats the external connection terminals with high accuracy and very easily by applying the photolithography technique.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外層絶縁層は、前記内層配線基材に積層するときに前記外部接続端子に対応する領域では除去してあることを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the outer insulating layer is removed in a region corresponding to the external connection terminal when being laminated on the inner wiring substrate.

この構成により、外層絶縁層が外部接続端子に積層されることはなくなるので、外部接続端子を容易かつ精度良く露出させることが可能となる。   With this configuration, since the outer insulating layer is not stacked on the external connection terminal, the external connection terminal can be easily and accurately exposed.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外層導体層をパターニングするときに、前記外部接続端子を被覆している前記外層導体層を除去することを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the outer conductor layer covering the external connection terminals is removed when the outer conductor layer is patterned.

この構成により、外部接続端子を被覆している外層導体層を特別な工程を用いずに除去することができることから、工程を簡略化することが可能となる。また、従来必要であった外層導体層の引き剥がし作業を回避することが可能となり、引き剥がしによる不良発生を防止することが可能となる。   With this configuration, since the outer conductor layer covering the external connection terminal can be removed without using a special process, the process can be simplified. Further, it is possible to avoid the work of peeling off the outer conductor layer, which has been necessary in the past, and it is possible to prevent the occurrence of defects due to the peeling.

また、本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法では、前記外層導体層をパターニングした後に、前記外部端子被覆層を除去することを特徴とする。   The multilayer printed wiring board manufacturing method according to the present invention is characterized in that the external terminal covering layer is removed after patterning the outer conductor layer.

この構成により、外部接続端子を外層導体層のパターニング終了まで被覆した状態を維持することから、接続性の良い外部接続端子とすることが可能となる。また、外層導体層をパターニングするときに用いた外層マスクパターンの剥離と同時に外部端子被覆層を剥離することが可能となり、工程を簡略化することができ、引き剥がしによる不良が生じることが無いので清浄で導電性の良い外部接続端子を形成することができる。   With this configuration, since the external connection terminal is kept covered until the patterning of the outer conductor layer is completed, the external connection terminal with good connectivity can be obtained. In addition, the external terminal covering layer can be peeled off simultaneously with the peeling of the outer layer mask pattern used when patterning the outer conductor layer, and the process can be simplified, and there is no defect due to peeling. A clean and highly conductive external connection terminal can be formed.

本発明に係る多層プリント配線基板の製造方法によれば、外部接続端子を外部端子被覆層および外層導体層により被覆しておくことにより、外層絶縁層を介さずに外部接続端子を被覆して保護することから、外部接続端子を機械的な引き剥がしによらず露出(形成)することが可能となり、引き剥がしに伴う不良の発生がなく、導電性の良い外部接続端子を有する多層プリント配線基板を作業性良く製造することができるという効果を奏する。   According to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention, the external connection terminals are covered with the external terminal covering layer and the outer conductor layer, thereby covering and protecting the external connection terminals without going through the outer insulating layer. Therefore, it is possible to expose (form) the external connection terminals without mechanical peeling, and there is no occurrence of defects due to peeling, and a multilayer printed wiring board having a highly conductive external connection terminal is provided. There exists an effect that it can manufacture with sufficient workability.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<実施の形態1>
図1ないし図8に基づいて本発明の実施の形態1に係る多層プリント配線基板の製造方法(以下、単に製造方法ということがある。)を説明する。なお、図1ないし図8は全て断面図であるが、図面の見易さを考慮してハッチングは全て省略してある。
<Embodiment 1>
A method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to Embodiment 1 of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as a manufacturing method) will be described with reference to FIGS. 1 to 8 are all cross-sectional views, but all hatching is omitted for the sake of easy viewing.

図1は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の内層配線基材の断面を示す断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a cross section of an inner layer wiring base material of a multilayer printed wiring board in the manufacturing method according to Embodiment 1 of the present invention.

なお、本実施の形態では、内層配線基材10を可撓性配線基材で構成し、外層配線基材20、21(図5参照)を硬質性配線基材で構成することにより、硬質部Asおよび可撓部Afを構成するフレックスリジッド構成(複合多層プリント配線基板)とした多層プリント配線基板1を実施例として説明する。多層プリント配線基板1は、可撓部Afに外部接続端子12t(図2参照)を備える構成としてある。   In the present embodiment, the inner layer wiring base material 10 is formed of a flexible wiring base material, and the outer layer wiring base materials 20 and 21 (see FIG. 5) are formed of a hard wiring base material. A multilayer printed wiring board 1 having a flex-rigid structure (composite multilayer printed wiring board) constituting the As and the flexible portion Af will be described as an example. The multilayer printed wiring board 1 is configured to include an external connection terminal 12t (see FIG. 2) in the flexible portion Af.

また、内層配線基材10に加え、外層配線基材20、21も可撓性配線基材で構成した場合には、可撓性多層プリント配線基板とすることができる。   Further, in addition to the inner layer wiring substrate 10, when the outer layer wiring substrates 20 and 21 are also composed of flexible wiring substrates, a flexible multilayer printed wiring board can be obtained.

多層プリント配線基板1の内層を構成する内層配線基材10は、内層絶縁層11とその両面に積層された内層導体層12、13を備える。なお、以下において、工程途中のものであっても多層プリント配線基板1とする。   The inner wiring substrate 10 constituting the inner layer of the multilayer printed wiring board 1 includes an inner insulating layer 11 and inner conductor layers 12 and 13 laminated on both surfaces thereof. In the following description, the multilayer printed wiring board 1 is used even in the middle of the process.

内層配線基材10としては、一般に市販されている両面フレキシブル配線基板材料が利用できる。内層絶縁層11は、可撓性を有する絶縁樹脂フィルムで構成され、ポリイミド、ポリエーテルケトン、その他の液晶ポリマーなどの絶縁樹脂フィルム(FPC材)で構成される。   As the inner layer wiring substrate 10, a commercially available double-sided flexible wiring board material can be used. The inner insulating layer 11 is made of an insulating resin film having flexibility, and is made of an insulating resin film (FPC material) such as polyimide, polyetherketone, or other liquid crystal polymer.

内層導体層12、13は、内層絶縁層11の両側に接着剤を介して、あるいは接着剤なしで積層形成されている。内層導体層12、13は、銅箔で構成されるが、その他の金属箔で構成することも可能である。   The inner conductor layers 12 and 13 are laminated on both sides of the inner insulating layer 11 via an adhesive or without an adhesive. The inner conductor layers 12 and 13 are made of copper foil, but may be made of other metal foils.

本実施の形態では、内層配線基材10は、例えば25μm厚ポリイミドフィルムの両面に12ないし18μmの銅箔を積層接着した両面フレキシブル配線基板材料を用いた。   In the present embodiment, the inner-layer wiring substrate 10 is a double-sided flexible wiring board material in which, for example, a 12 to 18 μm copper foil is laminated and bonded to both surfaces of a 25 μm thick polyimide film.

多層プリント配線基板1は、完成した状態(図8参照)で、剛性を有する硬質部Asおよび硬質部Asから導出して形成され可撓性を有する可撓部Afを備える。したがって、内層配線基材10も同様に、完成したときの硬質部Asおよび可撓部Afに対応する領域としての硬質対応部Asおよび可撓対応部Afを有する(以下完成時の硬質部Asおよび可撓部Afと、工程中での硬質対応部Asおよび可撓対応部Afは区別しないで単に硬質部Asおよび可撓部Afとする。)。   The multilayer printed wiring board 1 includes, in a completed state (see FIG. 8), a hard portion As having rigidity and a flexible portion Af formed by being derived from the hard portion As and having flexibility. Accordingly, the inner wiring substrate 10 similarly has a hard corresponding portion As and a flexible corresponding portion Af as regions corresponding to the hard portion As and the flexible portion Af when completed (hereinafter, the hard portion As and the completed hard portion As and The flexible portion Af, the hard corresponding portion As and the flexible corresponding portion Af in the process are simply referred to as the hard portion As and the flexible portion Af without distinction.)

なお、多層プリント配線基板1の製造工程で、硬質部Asおよび可撓部Afを保持する役割を果たす補助的な配線基材が周囲に配置される場合があるが図では省略する。   In addition, in the manufacturing process of the multilayer printed wiring board 1, an auxiliary wiring base material that plays a role of holding the hard portion As and the flexible portion Af may be disposed around, but is not shown in the drawing.

図2は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の内層回路パターンを形成した内層配線基材の断面を示す断面図である。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section of the inner layer wiring base material on which the inner layer circuit pattern of the multilayer printed wiring board is formed in the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

内層導体層12、13に対してパターニングを施すことにより、内層回路パターン12p、13pを形成する。つまり、内層導体層12、13にエッチングレジスト(不図示)を塗布し、内層導体層12、13のパターニング(エッチング)を周知の技術であるフォトリソグラフィ技術により行なうことにより、内層回路パターン12p、13p、外部接続端子12tを形成する。   By patterning the inner conductor layers 12 and 13, inner circuit patterns 12p and 13p are formed. That is, by applying an etching resist (not shown) to the inner conductor layers 12 and 13, and patterning (etching) the inner conductor layers 12 and 13 by a well-known photolithography technique, the inner circuit patterns 12p and 13p are formed. The external connection terminal 12t is formed.

内層回路パターン12p、13pは、硬質部Asに対応して形成され、外部接続端子12tは、内層回路パターン12pと同様に内層導体層12により可撓部Afに対応して形成される。外部接続端子12tは、完成した多層プリント配線基板1では、可撓部Afでの回路パターンを構成し、先端部は外部接続端子12tとして構成される(図8参照)。   The inner layer circuit patterns 12p and 13p are formed corresponding to the hard portion As, and the external connection terminal 12t is formed corresponding to the flexible portion Af by the inner layer conductor layer 12 similarly to the inner layer circuit pattern 12p. In the completed multilayer printed wiring board 1, the external connection terminal 12t forms a circuit pattern in the flexible portion Af, and the tip portion is configured as the external connection terminal 12t (see FIG. 8).

内層回路パターン12p、13pおよび外部接続端子12tを形成した後、レーザまたはNCドリルなどを用いて適宜の穴加工を施すことにより、内層回路パターン12p、13p相互間を貫通するスルーホールまたはビアホール(不図示)を形成し、その後、パネルメッキ手法を用いてスルーホールまたはビアホールにメッキ(例えば金メッキ、銅メッキなど)を施すことによりインナースルーホール導体(不図示)またはビアホール導体を適宜形成する。なお、メッキ層は図面の見易さを考慮して図示していない。   After forming the inner layer circuit patterns 12p and 13p and the external connection terminal 12t, through holes or via holes (not-through) penetrating between the inner layer circuit patterns 12p and 13p are performed by using a laser or an NC drill or the like. After that, an inner through-hole conductor (not shown) or a via-hole conductor is appropriately formed by plating the through-hole or via hole (for example, gold plating or copper plating) using a panel plating method. Note that the plating layer is not shown in consideration of the visibility of the drawing.

図3は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の内層配線基材を被覆する被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state in which a coating layer that covers the inner wiring substrate of the multilayer printed wiring board is formed by the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

内層回路パターン12p、13p、外部接続端子12tを形成した後、金型などで予め窓抜き加工して外部接続端子12tに対応する開口12wを形成した接着剤層15および被覆層16を内層導体層12(内層回路パターン12p)に積層形成する。なお、接着剤層15の厚さ、被覆層16の厚さは適宜の厚さになるように予め薄く調整しておく。また、被覆層16に接着剤層15がコートされているカバーレイ材を使用しても良い。   After forming the inner layer circuit patterns 12p and 13p and the external connection terminal 12t, the adhesive layer 15 and the covering layer 16 in which the opening 12w corresponding to the external connection terminal 12t is formed by pre-windowing with a mold or the like are formed as the inner layer conductor layer. 12 (inner layer circuit pattern 12p). Note that the thickness of the adhesive layer 15 and the thickness of the coating layer 16 are previously adjusted to be thin so as to have appropriate thicknesses. Further, a coverlay material in which the coating layer 16 is coated with the adhesive layer 15 may be used.

図4は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cross section in a state in which an external terminal coating layer that covers the external connection terminals of the multilayer printed wiring board is formed in the manufacturing method according to Embodiment 1 of the present invention.

外部接続端子12tは、接着剤層15および被覆層16に形成された開口12wにより露出する状態となる。露出した外部接続端子12tを被覆する外部端子被覆層18を一般的なフォトリソグラフィ技術を適用して形成する。   The external connection terminal 12t is exposed through the opening 12w formed in the adhesive layer 15 and the coating layer 16. The external terminal coating layer 18 that covers the exposed external connection terminals 12t is formed by applying a general photolithography technique.

つまり、内層導体層12(内層回路パターン12p、13p、外部接続端子12t)が形成された内層配線基材10または被覆層16の全面に、例えば、感光性ドライフィルムを積層(ラミネート)した後、露光マスクフィルムを用いて感光性ドライフィルムの露光および現像を行なうことにより所定のパターン形状を有する外部端子被覆層18を形成することができる。   That is, after laminating, for example, a photosensitive dry film on the entire surface of the inner layer wiring substrate 10 or the covering layer 16 on which the inner layer conductor layer 12 (inner layer circuit patterns 12p, 13p, external connection terminals 12t) is formed, By exposing and developing the photosensitive dry film using the exposure mask film, the external terminal coating layer 18 having a predetermined pattern shape can be formed.

外部端子被覆層18は、アルカリ現像特性を有することが好ましい。この構成により、取り扱いが極めて容易で外部端子被覆層18を容易に形成でき、また高感度の現像が可能となる。また、外部端子被覆層18を剥離するときの外部接続端子12tの酸化を防止することができ、導電性の良い外部接続端子12tを形成することが可能となる。   The external terminal coating layer 18 preferably has alkali development characteristics. With this configuration, handling is extremely easy, the external terminal coating layer 18 can be easily formed, and high-sensitivity development is possible. Further, it is possible to prevent the external connection terminal 12t from being oxidized when the external terminal coating layer 18 is peeled off, and it is possible to form the external connection terminal 12t having good conductivity.

感光性ドライフィルムで構成することにより、外部端子被覆層18は一般的なフォトリソグラフィ技術を適用して極めて容易に、精度良く形成することが可能となる。   By comprising a photosensitive dry film, the external terminal coating layer 18 can be formed very easily and accurately by applying a general photolithography technique.

なお、感光性ドライフィルムをラミネートする代わりに感光性インクを印刷することも可能である。感光性インクの印刷によっても感光性ドライフィルムのラミネートと同様の効果が得られる。   It is also possible to print a photosensitive ink instead of laminating a photosensitive dry film. The effect similar to the lamination of the photosensitive dry film can be obtained by printing the photosensitive ink.

また、外部端子被覆層18は、感光特性を有することから、フォトリソグラフィ技術を適用して極めて容易に、精度良く形成することが可能となる。   Further, since the external terminal coating layer 18 has photosensitive characteristics, it can be formed very easily and accurately by applying a photolithography technique.

外部端子被覆層18は、フォトリソグラフィ技術を適用して形成されることから、被覆される領域の位置精度を確保することが可能となっている。例えば、従来の被覆材料を貼付する場合では、±0.2mm程度の貼りズレ公差が必要であったが、フォトリソグラフィ技術では±0.1mm以下の位置精度を十分確保することが可能となる。   Since the external terminal coating layer 18 is formed by applying a photolithography technique, it is possible to ensure the positional accuracy of the region to be coated. For example, in the case of pasting a conventional coating material, a tolerance of misalignment of about ± 0.2 mm is necessary, but the photolithography technique can sufficiently secure a positional accuracy of ± 0.1 mm or less.

図5は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材を内層配線基材に積層した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 5 is a cross-sectional view showing a cross section in a state in which the outer layer wiring base material of the multilayer printed wiring board is laminated on the inner layer wiring base material in the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

内層配線基材10の両面に外層配線基材20、外層配線基材21がそれぞれ積層形成される。外層配線基材20は、外層絶縁層22および外層導体層24を有し、外層配線基材21は、外層絶縁層23および外層導体層25を有する。   An outer layer wiring substrate 20 and an outer layer wiring substrate 21 are laminated on both surfaces of the inner layer wiring substrate 10, respectively. The outer wiring substrate 20 includes an outer insulating layer 22 and an outer conductor layer 24, and the outer wiring substrate 21 includes an outer insulating layer 23 and an outer conductor layer 25.

つまり、外層導体層24は接着剤としての外層絶縁層22に積層されて外層配線基材20を構成し、外層導体層25は接着剤としての外層絶縁層23に積層されて外層配線基材21を構成する。したがって、この段階で、4層の導体層を有する多層プリント配線基板を構成することとなる。   That is, the outer conductor layer 24 is laminated on the outer insulating layer 22 as an adhesive to constitute the outer wiring substrate 20, and the outer conductor layer 25 is laminated on the outer insulating layer 23 as an adhesive. Configure. Therefore, at this stage, a multilayer printed wiring board having four conductor layers is formed.

なお、内層の外部接続端子12tと対向しない外層配線基材21に使用する硬質性配線基材としては、絶縁層と導体層を積層した片面配線基板材料、例えば片面FPC材、片面硬質板材料などを適用することが可能である。また、外層導体層24および外層導体層25は、例えば銅箔で構成してある。   In addition, as a hard wiring base material used for the outer layer wiring base material 21 which does not oppose the external connection terminal 12t of an inner layer, the single-sided wiring board material which laminated | stacked the insulating layer and the conductor layer, for example, single-sided FPC material, single-sided hard board material, etc. It is possible to apply. The outer conductor layer 24 and the outer conductor layer 25 are made of, for example, copper foil.

本実施の形態では、外層配線基材20および外層配線基材21は、硬質性配線基材として構成されるが、これに限るものではない。他の実施の形態として可撓性配線基材とすることも可能であり、この場合は可撓性多層プリント配線基板となる。   In the present embodiment, the outer layer wiring substrate 20 and the outer layer wiring substrate 21 are configured as hard wiring substrates, but are not limited thereto. As another embodiment, a flexible wiring substrate can be used. In this case, a flexible multilayer printed wiring board is obtained.

また、外層絶縁層22および外層絶縁層23は、金型などで予め窓抜き加工して硬質部Asに対向し、可撓部Afには対向しないように形成してある。つまり、外層絶縁層22および外層絶縁層23は、外部接続端子12tおよび外部端子被覆層18に積層されることがない。したがって、外部接続端子12tおよび外部端子被覆層18が外層絶縁層22および外層絶縁層23により影響を受けることはなく、外部接続端子12tを最終的に露出させるときに、外層絶縁層22の機械的引き剥がしが不要となり、容易かつ精度良く露出させることが可能となる。   Further, the outer insulating layer 22 and the outer insulating layer 23 are formed in advance so as to face the hard part As and not to the flexible part Af by performing a window cutting process in advance with a mold or the like. That is, the outer insulating layer 22 and the outer insulating layer 23 are not stacked on the external connection terminal 12 t and the external terminal covering layer 18. Therefore, the external connection terminal 12t and the external terminal coating layer 18 are not affected by the outer layer insulation layer 22 and the outer layer insulation layer 23, and the mechanical properties of the outer layer insulation layer 22 are finally exposed when the external connection terminal 12t is finally exposed. Peeling is not required, and exposure can be performed easily and accurately.

また、外層導体層24および外層導体層25は、内層配線基材10に対向するように形成してあることから、外層導体層24は、外部接続端子12tおよび外部端子被覆層18を被覆する構成となる。つまり、外部接続端子12tは、外部端子被覆層18および外層導体層24によって二重に被覆される形態となる。   Further, since the outer layer conductor layer 24 and the outer layer conductor layer 25 are formed so as to face the inner layer wiring substrate 10, the outer layer conductor layer 24 covers the external connection terminal 12t and the external terminal coating layer 18. It becomes. That is, the external connection terminals 12t are double-covered by the external terminal covering layer 18 and the outer conductor layer 24.

なお、同図では、理解を容易にするために、外部端子被覆層18と外層導体層24の間に空間を示しているが、実際には、外層配線基材20(外層絶縁層22および外層導体層24)と外層配線基材21(外層絶縁層23および外層導体層25)は、内層配線基材10に対して加圧加熱して熱圧着されることから、外部端子被覆層18と外層導体層24とはほぼ密接した状態となる。   In this figure, for the sake of easy understanding, a space is shown between the external terminal covering layer 18 and the outer conductor layer 24, but actually, the outer wiring substrate 20 (the outer insulating layer 22 and the outer layer). The conductor layer 24) and the outer layer wiring substrate 21 (the outer layer insulating layer 23 and the outer layer conductor layer 25) are pressure-heated and thermocompression bonded to the inner layer wiring substrate 10, so that the external terminal covering layer 18 and the outer layer The conductor layer 24 is in close contact with each other.

したがって、上述したとおり、外部端子被覆層18は、外層絶縁層22を介さずに外層導体層24に被覆されることから、外部端子被覆層18を露出するとき(図7、図8参照)に、外層絶縁層22を機械的に引き剥がす必要がなくなるので、従来技術で問題となった引き剥がしによる不良の発生は全くなくなる。   Therefore, as described above, since the external terminal covering layer 18 is covered with the outer conductor layer 24 without the outer insulating layer 22, the external terminal covering layer 18 is exposed (see FIGS. 7 and 8). Since the outer insulating layer 22 does not need to be mechanically peeled off, the occurrence of defects due to peeling, which is a problem in the prior art, is completely eliminated.

外層配線基材20(外層絶縁層22および外層導体層24)および外層配線基材21(外層絶縁層23および外層導体層25)を形成した後、レーザまたはNCドリルなどを用いて適宜の穴加工を施すことにより、外層導体層24と内層回路パターン12pの間、あるいは外層導体層25と内層回路パターン13pの間を貫通するスルーホールまたはビアホール(不図示)などを形成し、その後、パネルメッキ手法を用いてスルーホールまたはビアホールにメッキ(例えば金メッキ、銅メッキなど)を施すことによりスルーホール導体またはビアホール導体(不図示)を適宜形成する。なお、メッキ層は図面の見易さを考慮して図示していない。   After forming outer layer wiring substrate 20 (outer layer insulating layer 22 and outer layer conductor layer 24) and outer layer wiring substrate 21 (outer layer insulating layer 23 and outer layer conductor layer 25), appropriate drilling is performed using a laser or an NC drill or the like. To form a through hole or via hole (not shown) penetrating between the outer layer conductor layer 24 and the inner layer circuit pattern 12p or between the outer layer conductor layer 25 and the inner layer circuit pattern 13p, and then panel plating method. A through-hole conductor or a via-hole conductor (not shown) is appropriately formed by plating the through-hole or the via hole using, for example, gold plating or copper plating. Note that the plating layer is not shown in consideration of the visibility of the drawing.

したがって、外部接続端子12tを外部端子被覆層18と外層導体層24の2重層で被覆した状態で外層導体層24および外層導体層25をメッキすることとなるので、外部接続端子12tを確実に保護することが可能となる。   Therefore, since the outer conductor layer 24 and the outer conductor layer 25 are plated with the external connection terminal 12t covered with the double layer of the outer terminal covering layer 18 and the outer conductor layer 24, the external connection terminal 12t is reliably protected. It becomes possible to do.

また、外部接続端子12tを直接的に被覆している外部端子被覆層18は、上述したとおり、表面に外層導体層24(銅箔)がほぼ密着した状態(直接的に接触して被覆する状態)としてあることから、メッキ工程で使用される薬液の影響を防止することが可能となっている。   Further, as described above, the external terminal covering layer 18 that directly covers the external connection terminal 12t is in a state in which the outer conductor layer 24 (copper foil) is substantially in close contact with the surface (a state in which it is directly in contact with and covered). Therefore, it is possible to prevent the influence of the chemical used in the plating process.

例えば、スルーホール開口時に形成されたスミアを除去するデスミア処理を行なうための過マンガン酸溶液や化学銅メッキ工程で使用されるアルカリ溶液の影響などを排除することが可能となる。   For example, it is possible to eliminate the influence of a permanganic acid solution for performing a desmear process for removing smear formed at the time of opening a through hole or an alkaline solution used in a chemical copper plating process.

したがって、外部端子被覆層18は外層導体層24によって直接的に被覆、保護されていることから、メッキ工程で使用される化学薬品への耐性によって制限されていた材料選定の自由度を向上することが可能となる。   Therefore, since the external terminal covering layer 18 is directly covered and protected by the outer conductor layer 24, the degree of freedom of material selection limited by the resistance to chemicals used in the plating process is improved. Is possible.

図6は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成するための外層マスクパターンを形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing a cross section in a state in which an outer layer mask pattern for forming an outer layer circuit pattern is formed on the outer layer wiring substrate of the multilayer printed wiring board in the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. .

外層導体層24、25の表面に周知のフォトリソグラフィ技術を用いてそれぞれエッチングレジストとなる外層マスクパターン24m、25mを形成する。   Outer mask patterns 24m and 25m, which are etching resists, are formed on the surfaces of the outer conductor layers 24 and 25, respectively, using a well-known photolithography technique.

なお、外部端子被覆層18を被覆している領域の外層導体層24は、次のエッチング工程でエッチングされるように外部端子被覆層18に対応する領域では外層マスクパターン24mは存在しないようにパターニングされる。   The outer layer conductor layer 24 in the region covering the external terminal coating layer 18 is patterned so that the outer layer mask pattern 24m does not exist in the region corresponding to the external terminal coating layer 18 so as to be etched in the next etching step. Is done.

図7は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材に外層マスクパターンを用いて外層回路パターンを形成した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 7 is a cross-sectional view showing a cross-section in a state in which an outer layer circuit pattern is formed on the outer layer wiring substrate of the multilayer printed wiring board using the outer layer mask pattern in the manufacturing method according to Embodiment 1 of the present invention.

外層マスクパターン24m、25mをマスクとして周知のエッチング技術により、外層導体層24、25をエッチング(パターニング)することにより外層回路パターン24p、25pを形成する。   The outer layer circuit patterns 24p and 25p are formed by etching (patterning) the outer layer conductor layers 24 and 25 by a known etching technique using the outer layer mask patterns 24m and 25m as a mask.

外層回路パターン24p、25pの形成と同時に外部端子被覆層18(外部接続端子12t)に対応する領域の外層導体層24はエッチング(パターニング)により除去されることから、外部端子被覆層18は露出した状態となる。なお、外部接続端子12tは外部端子被覆層18で被覆してあることから、外層導体層24をパターニングするときに外部接続端子12tが影響を受けることはない。   Since the outer layer conductor layer 24 in the region corresponding to the external terminal covering layer 18 (external connection terminal 12t) is removed by etching (patterning) simultaneously with the formation of the outer layer circuit patterns 24p and 25p, the external terminal covering layer 18 is exposed. It becomes a state. Since the external connection terminal 12t is covered with the external terminal coating layer 18, the external connection terminal 12t is not affected when the outer conductor layer 24 is patterned.

つまり、外部接続端子12tを被覆している外層導体層24、25は、特別な工程を用いずに通常の外層回路パターン24p、25pの形成工程で同時に除去することができることから、工程を簡略化することが可能となる。また、機械的に引き剥がす必要も生じないことから、外部接続端子12tおよび外部端子被覆層18に対する影響を除去することが可能となる。   That is, the outer layer conductor layers 24 and 25 covering the external connection terminal 12t can be simultaneously removed in the normal outer layer circuit pattern 24p and 25p forming process without using a special process, thereby simplifying the process. It becomes possible to do. Further, since it is not necessary to mechanically peel off, the influence on the external connection terminal 12t and the external terminal coating layer 18 can be removed.

図8は、本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成した後、外層マスクパターンを除去した状態の断面を示す断面図である。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing a cross section in a state where the outer layer mask pattern is removed after the outer layer circuit pattern is formed on the outer layer wiring base material of the multilayer printed wiring board in the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. .

外層マスクパターン24m、25mを周知のエッチングレジスト剥離技術を用いて除去する。このとき、外層マスクパターン24m、25mと同様な構成を有する外部端子被覆層18も同時に剥離される。したがって、外層回路パターン24p、25pの形成工程で同時に外部接続端子12tを露出することができるので、極めて清浄で導電性、接続性の良い外部接続端子12tを形成することが可能となる。   The outer layer mask patterns 24m and 25m are removed using a known etching resist stripping technique. At this time, the external terminal covering layer 18 having the same configuration as the outer layer mask patterns 24m and 25m is also peeled off at the same time. Accordingly, since the external connection terminals 12t can be exposed simultaneously in the process of forming the outer layer circuit patterns 24p and 25p, it is possible to form the external connection terminals 12t that are extremely clean and have good conductivity and connectivity.

つまり、外部接続端子12tの露出(形成)は、外層回路パターン24p、25pを形成するときに用いる外層マスクパターン24m、25mを剥離するときに外部端子被覆層18を同時に剥離する剥離工程でなされる。   That is, the external connection terminal 12t is exposed (formed) in a peeling process in which the external terminal covering layer 18 is peeled off simultaneously when the outer layer mask patterns 24m and 25m used for forming the outer layer circuit patterns 24p and 25p are peeled off. .

したがって、従来技術での引き剥がし作業で必要とされたような機械的に強い応力が加わることがないことから、極めて容易にかつ精度良く、また歩留まり良く外部接続端子12tを形成することが可能となる。また、外部端子被覆層18を剥離するための特別な工程も不要であることから、生産工程を簡略化して生産効率、作業性を向上させることが可能となる。   Therefore, since the mechanically strong stress required for the peeling work in the prior art is not applied, it is possible to form the external connection terminal 12t very easily and accurately and with a high yield. Become. In addition, since a special process for peeling the external terminal coating layer 18 is not required, it is possible to simplify the production process and improve the production efficiency and workability.

なお、従来技術での外層配線基材の引き剥がし作業では、多層プリント配線基板を1台ずつ処理していたが、本実施の形態によれば、多層プリント配線基板1を多数連結した生産ワーク単位で処理(フォトリソグラフィ処理)することが可能となり、作業を大幅に効率化することが可能となる。   In the prior art, the outer layer wiring base material is peeled off, and each multilayer printed wiring board is processed one by one. However, according to the present embodiment, a production work unit in which a number of multilayer printed wiring boards 1 are connected. Therefore, it is possible to perform processing (photolithographic processing), and it is possible to greatly improve the work efficiency.

また、従来技術での外層配線基材の引き剥がし作業では、多層プリント配線基板を1台ずつ処理していたことから、貼りズレ精度±0.2mmであったが、フォトリソグラフィ技術を適用することにより、位置精度を±0.1mm以下のレベルへ向上することが可能となり、設計自由度を広げ、歩留まりを向上することができるという効果を奏する。   Also, in the conventional technique of peeling off the outer layer wiring substrate, the multilayer printed wiring boards were processed one by one, so the pasting deviation accuracy was ± 0.2 mm, but photolithography technology should be applied. As a result, the positional accuracy can be improved to a level of ± 0.1 mm or less, and the design freedom can be expanded and the yield can be improved.

<実施の形態2>
図9に基づいて本発明の実施の形態2に係る多層プリント配線基板の製造方法(以下、単に製造方法ということがある。)を説明する。本実施の形態では、導体層をさらに増やして、導体層を6層とした多層プリント配線基板の構成を説明する。なお、本実施の形態でも、硬質部と可撓部を設けた複合(フレックスリジッド)多層プリント配線基板としてある。
<Embodiment 2>
A method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to Embodiment 2 of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as a manufacturing method) will be described with reference to FIG. In the present embodiment, a configuration of a multilayer printed wiring board in which the number of conductor layers is further increased and the number of conductor layers is six will be described. In this embodiment as well, a composite (flex rigid) multilayer printed wiring board provided with a hard part and a flexible part is provided.

図9は、本発明の実施の形態2に係る製造方法での多層プリント配線基板の断面を示す断面図である。なお、図9は断面図であるが、図面の見易さを考慮してハッチングは全て省略してある。   FIG. 9 is a cross-sectional view showing a cross section of a multilayer printed wiring board in the manufacturing method according to Embodiment 2 of the present invention. Although FIG. 9 is a cross-sectional view, all hatching is omitted in consideration of easy viewing of the drawing.

本実施の形態に係る多層プリント配線基板2は、内層配線基材10を2枚用いて、それぞれを内層配線基材10s、10rとしてある。内層配線基材10s、10rは、実施の形態1で示した内層配線基材10と同様に形成することが可能であるので、詳細な説明は省略する。なお、内層配線基材10s、10rは、内層接着層10bにより相互に接着してある。また、内層配線基材10s、10rにはそれぞれ外部接続端子12ts、12trが形成してあり、実施の形態1で示した外部接続端子12tと同様に形成することが可能である。   In the multilayer printed wiring board 2 according to the present embodiment, two inner layer wiring base materials 10 are used, and the inner layer wiring base materials 10s and 10r are respectively used. Since the inner layer wiring base materials 10s and 10r can be formed in the same manner as the inner layer wiring base material 10 shown in the first embodiment, detailed description thereof is omitted. The inner layer wiring substrates 10s and 10r are bonded to each other by the inner layer adhesive layer 10b. In addition, external connection terminals 12ts and 12tr are formed on the inner wiring bases 10s and 10r, respectively, and can be formed in the same manner as the external connection terminals 12t shown in the first embodiment.

内層配線基材10s、10rには、接着剤層15s、15rを介して被覆層16s、16rがそれぞれ積層してあり、実施の形態1で示した接着剤層15、被覆層16と同様に形成することが可能である。例えば、被覆層16sに接着剤層15sがコートされているカバーレイ材を使用しても良い。   Covering layers 16s and 16r are laminated on the inner layer wiring bases 10s and 10r via adhesive layers 15s and 15r, respectively, and are formed in the same manner as the adhesive layer 15 and covering layer 16 described in the first embodiment. Is possible. For example, a coverlay material in which the coating layer 16s is coated with the adhesive layer 15s may be used.

また、被覆層16sには、実施の形態1に示したのと同様に外層絶縁層22、外層回路パターン24pを有する外層配線基材20が積層、形成され、被覆層16rには、実施の形態1に示したのと同様に外層絶縁層23、外層回路パターン25pを有する外層配線基材21が積層、形成してある。   Further, the outer layer wiring substrate 20 having the outer layer insulating layer 22 and the outer layer circuit pattern 24p is laminated and formed on the covering layer 16s as in the first embodiment, and the covering layer 16r is formed on the covering layer 16r. As shown in FIG. 1, an outer wiring substrate 21 having an outer insulating layer 23 and an outer circuit pattern 25p is laminated and formed.

上述したとおり、実施の形態1で示した工程と同様な工程により、導体層が6層以上の多層プリント配線基板2を形成することが可能である。本実施の形態によっても実施の形態1で示した作用効果を同様に奏することが可能となる。   As described above, the multilayer printed wiring board 2 having six or more conductor layers can be formed by a process similar to the process shown in the first embodiment. Also according to the present embodiment, it is possible to achieve the same effects as those of the first embodiment.

本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の内層配線基材の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the inner-layer wiring base material of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の内層回路パターンを形成した内層配線基材の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the inner-layer wiring base material in which the inner-layer circuit pattern of the multilayer printed wiring board in the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention was formed. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の内層配線基材を被覆する被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state in which the coating layer which coat | covers the inner-layer wiring base material of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention was formed. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state in which the external terminal coating layer which coat | covers the external connection terminal of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention was formed. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材を内層配線基材に積層した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which laminated | stacked the outer layer wiring base material of the multilayer printed wiring board on the inner layer wiring base material with the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成するための外層マスクパターンを形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which formed the outer layer mask pattern for forming an outer layer circuit pattern in the outer layer wiring base material of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材に外層マスクパターンを用いて外層回路パターンを形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which formed the outer layer circuit pattern in the outer layer wiring base material of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention using the outer layer mask pattern. 本発明の実施の形態1に係る製造方法での多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成した後、外層マスクパターンを除去した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which removed the outer layer mask pattern, after forming an outer layer circuit pattern in the outer layer wiring base material of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る製造方法での多層プリント配線基板の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the multilayer printed wiring board by the manufacturing method which concerns on Embodiment 2 of this invention. 従来の多層プリント配線基板の内層配線基材の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the inner-layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board. 従来の多層プリント配線基板の内層回路パターンを形成した内層配線基材の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the inner-layer wiring base material in which the inner-layer circuit pattern of the conventional multilayer printed wiring board was formed. 従来の多層プリント配線基板の内層配線基材を被覆する被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state in which the coating layer which coat | covers the inner-layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board was formed. 従来の多層プリント配線基板の外部接続端子を被覆する外部端子被覆層を形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state in which the external terminal coating layer which coat | covers the external connection terminal of the conventional multilayer printed wiring board was formed. 従来の多層プリント配線基板の内層配線基材に外層配線基材を積層した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which laminated | stacked the outer layer wiring base material on the inner layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board. 従来の多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成するための外層マスクパターンを形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which formed the outer layer mask pattern for forming an outer layer circuit pattern in the outer layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board. 従来の多層プリント配線基板の外層配線基材に外層マスクパターンを用いて外層回路パターンを形成した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which formed the outer layer circuit pattern using the outer layer mask pattern in the outer layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board. 従来の多層プリント配線基板の外層配線基材に外層回路パターンを形成した後、外部端子被覆材117を除去した状態の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the state which removed the external terminal coating | covering material 117, after forming an outer layer circuit pattern in the outer layer wiring base material of the conventional multilayer printed wiring board.

符号の説明Explanation of symbols

1、2 多層プリント配線基板
10、10s、10r 内層配線基材
10b 内層接着剤層
11 内層絶縁層
12、13 内層導体層
12p、13p 内層回路パターン
12t、12ts、12tr 外部接続端子
12w 開口
15、15s、15r 接着剤層
16、16s、16r 被覆層
18 外部端子被覆層
20、21 外層配線基材
22、23 外層絶縁層
24、25 外層導体層
24p、25p 外層回路パターン
24m、25m 外層マスクパターン
As 硬質部
Af 可撓部
1, 2 Multilayer printed wiring board 10, 10s, 10r Inner layer wiring substrate 10b Inner layer adhesive layer 11 Inner layer insulating layer 12, 13 Inner layer conductor layer 12p, 13p Inner layer circuit pattern 12t, 12ts, 12tr External connection terminal 12w Opening 15, 15s , 15r Adhesive layer 16, 16s, 16r Coating layer 18 External terminal coating layer 20, 21 Outer wiring substrate 22, 23 Outer insulating layer 24, 25 Outer conductor layer 24p, 25p Outer circuit pattern 24m, 25m Outer mask pattern As Hard Part Af Flexible part

Claims (9)

内層絶縁層および内層導体層を有する内層配線基材と、該内層配線基材に積層され外層絶縁層および外層導体層を有する外層配線基材と、前記内層導体層により構成される外部接続端子とを備える多層プリント配線基板の製造方法であって、
前記外層導体層をメッキするときに、前記外部接続端子は外部端子被覆層および該外部端子被覆層を被覆する前記外層導体層で被覆してあることを特徴とする多層プリント配線基板の製造方法。
An inner-layer wiring substrate having an inner-layer insulating layer and an inner-layer conductor layer, an outer-layer wiring substrate laminated on the inner-layer wiring substrate and having an outer-layer insulating layer and an outer-layer conductor layer, and an external connection terminal constituted by the inner-layer conductor layer; A method for producing a multilayer printed wiring board comprising:
The method for producing a multilayer printed wiring board, wherein when the outer conductor layer is plated, the external connection terminals are covered with an outer terminal covering layer and the outer conductor layer covering the outer terminal covering layer.
前記内層配線基材は、可撓性配線基材であることを特徴とする請求項1に記載の多層プリント配線基板の製造方法。   The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the inner wiring substrate is a flexible wiring substrate. 前記外部端子被覆層は、アルカリ現像特性を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多層プリント配線基板の製造方法。   The method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the external terminal coating layer has alkali development characteristics. 前記外部端子被覆層は、感光特性を有することを特徴とする請求項3に記載の多層プリント配線基板の製造方法。   The method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 3, wherein the external terminal coating layer has photosensitive characteristics. 前記外部端子被覆層は、感光性ドライフィルムであることを特徴とする請求項4に記載の多層プリント配線基板の製造方法。   The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 4, wherein the external terminal coating layer is a photosensitive dry film. 前記外部端子被覆層は、前記感光性ドライフィルムを露光、現像することにより形成することを特徴とする請求項5に記載の多層プリント配線基板の製造方法。   6. The method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 5, wherein the external terminal coating layer is formed by exposing and developing the photosensitive dry film. 前記外層絶縁層は、前記内層配線基材に積層するときに前記外部接続端子に対応する領域では除去してあることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板の製造方法。   7. The multilayer according to claim 1, wherein the outer insulating layer is removed in a region corresponding to the external connection terminal when the outer insulating layer is laminated on the inner wiring substrate. A method for manufacturing a printed wiring board. 前記外層導体層をパターニングするときに、前記外部接続端子を被覆している前記外層導体層を除去することを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板の製造方法。   8. The multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein when patterning the outer layer conductor layer, the outer layer conductor layer covering the external connection terminal is removed. Manufacturing method. 前記外層導体層をパターニングした後に、前記外部端子被覆層を除去することを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板の製造方法。   9. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the external terminal covering layer is removed after patterning the outer conductor layer.
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