JP2007219337A - Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus - Google Patents

Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2007219337A
JP2007219337A JP2006041917A JP2006041917A JP2007219337A JP 2007219337 A JP2007219337 A JP 2007219337A JP 2006041917 A JP2006041917 A JP 2006041917A JP 2006041917 A JP2006041917 A JP 2006041917A JP 2007219337 A JP2007219337 A JP 2007219337A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser light
optical component
light source
substrate
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006041917A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Aoshima
正佳 青島
Katsuhiro Azuma
克宏 我妻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2006041917A priority Critical patent/JP2007219337A/en
Publication of JP2007219337A publication Critical patent/JP2007219337A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of adhesion and fixing of an optical component by which the shift of an optical axis due to the contraction by hardening of an ultraviolet setting type adhesive is suppressed and an optical axis is adjusted while laser light is being emitted. <P>SOLUTION: The method of adhesion and fixing of the optical component is to bond and fix optical component (lens unit) 13 on a substrate 11 on which a laser light source (semiconductor laser) 12 is installed by using an ultraviolet-setting adhesive 19, and includes: a process in which the optical axis position of the optical component 13 is adjusted with respect to the laser light source 12; a process in which an ultraviolet-setting adhesive 19 is applied on the two different faces 14a and 14b of a transparent support body 14 which are bonded to the optical component 13 and the substrate 11, respectively, and the transparent body 14 is made to contact the optical component 13 and the substrate 11 and arranged; and a process in which the ultraviolet-setting adhesive 19 applied on the above two faces 14a and 14b is simultaneously hardened by irradiating the support body with an ultraviolet ray. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、レーザ光学系におけるレンズ、ミラー等の光学部品を紫外線硬化型接着剤を用いて基板上に接着固定する光学部品の接着固定方法およびレーザ光源装置に関する。   The present invention relates to an optical component adhesive fixing method and a laser light source device, in which optical components such as lenses and mirrors in a laser optical system are bonded and fixed on a substrate using an ultraviolet curable adhesive.

従来より、レーザ光学系における光学部品の基板への接着固定には、紫外線硬化型接着剤、熱硬化性接着剤、はんだ、溶接等が用いられている。中でも、光軸調整が必要なレンズやミラー等の接着固定には、紫外線を照射するまで硬化することがなく、光軸調整後はその状態から動かすことなく紫外線を照射することで瞬時に硬化させることができる紫外線硬化型接着剤が一般的に広く用いられている(例えば下記特許文献1参照)。   Conventionally, an ultraviolet curable adhesive, a thermosetting adhesive, solder, welding, or the like is used for bonding and fixing optical components to a substrate in a laser optical system. Above all, when fixing the lenses and mirrors that require optical axis adjustment, they are not cured until they are irradiated with ultraviolet rays, and after the optical axis adjustment, they are cured instantaneously by irradiating ultraviolet rays without moving from that state. UV curable adhesives that can be used are generally widely used (see, for example, Patent Document 1 below).

図7は、紫外線硬化型接着剤を用いた従来の接着固定方法を説明するレーザ光源装置の要部側断面図である。レーザ光源としての半導体レーザ1は、保持部材2に設けられた嵌合孔2aに固定されている。半導体レーザ1より出射される光ビームは発散光束であるため、光学部品としてのカップリングレンズ3はその焦点位置を半導体レーザ1の発光点に合わせて光ビームが略平行光束となるように配置されている。カップリングレンズ3は、保持部材2より突出しレンズの周縁に沿って円筒状の接着面が形成された突起部2bの上に、紫外線硬化型接着剤4を介して接着固定されている。   FIG. 7 is a side cross-sectional view of a main part of a laser light source device for explaining a conventional adhesive fixing method using an ultraviolet curable adhesive. A semiconductor laser 1 as a laser light source is fixed to a fitting hole 2 a provided in a holding member 2. Since the light beam emitted from the semiconductor laser 1 is a divergent light beam, the coupling lens 3 as an optical component is arranged so that the light beam becomes a substantially parallel light beam with its focal point aligned with the emission point of the semiconductor laser 1. ing. The coupling lens 3 is bonded and fixed via an ultraviolet curable adhesive 4 on a protrusion 2b that protrudes from the holding member 2 and has a cylindrical bonding surface formed along the periphery of the lens.

保持部材2に対するカップリングレンズ3の接着固定は以下の手順で行われる。
まず、半導体レーザ1を保持部材2の嵌合孔2aに固定し光軸5を決定する。次いで、保持部材2の突起部2b上に紫外線硬化型接着剤4を塗布する。次に、カップリングレンズ3をアライメントクランプ装置(図示略)で保持して、突起部2b上に配置する。そして、半導体レーザ1を点灯させた状態で、カップリングレンズ3の位置を調整し半導体レーザ1の光軸5と合わせる。最後に、紫外線硬化型接着剤4に紫外線を照射し硬化させた後、上記アライメントクランプ装置によるクランプ力を解除する。以上のようにして、突起部2b上にカップリングレンズ3が接着固定される。
The coupling and fixing of the coupling lens 3 to the holding member 2 is performed according to the following procedure.
First, the semiconductor laser 1 is fixed to the fitting hole 2a of the holding member 2, and the optical axis 5 is determined. Next, an ultraviolet curable adhesive 4 is applied on the protrusion 2 b of the holding member 2. Next, the coupling lens 3 is held by an alignment clamp device (not shown) and placed on the protrusion 2b. Then, with the semiconductor laser 1 turned on, the position of the coupling lens 3 is adjusted to match the optical axis 5 of the semiconductor laser 1. Finally, after the ultraviolet curable adhesive 4 is irradiated with ultraviolet rays and cured, the clamping force by the alignment clamp device is released. As described above, the coupling lens 3 is bonded and fixed onto the protrusion 2b.

特開2002−31773号公報JP 2002-31773 A

このような従来の接着固定方法においては、カップリングレンズ3の光軸調整範囲を考慮して、保持部材2の突起部2b上に塗布する紫外線硬化型接着剤4の層を厚くする必要がある。しかしながら、接着剤4の層厚を大きくすると、接着剤4の硬化収縮も大きくなるのでカップリングレンズ3の光軸ずれが発生しやすいという問題がある。   In such a conventional adhesive fixing method, it is necessary to thicken the layer of the ultraviolet curable adhesive 4 applied on the protrusion 2b of the holding member 2 in consideration of the optical axis adjustment range of the coupling lens 3. . However, when the layer thickness of the adhesive 4 is increased, the curing shrinkage of the adhesive 4 also increases, so that there is a problem that the optical axis shift of the coupling lens 3 is likely to occur.

また、この種のレーザ光源装置は、ディスプレイ光源に用いられる青色(波長445nm)半導体レーザや緑色(波長532nm)SHG(第2次高調波発生)固体レーザ、あるいは、データストレージ光源に用いられる青紫色(波長405nm)半導体レーザなどのレーザ光学系に適用される場合がある。この場合、レーザ光を点灯させて光学部品の光軸調整を行う際、レーザ光で紫外線硬化型接着剤の光重合開始剤が反応して硬化してしまい、光軸調整を円滑に行えなくなるという問題があった。   Also, this type of laser light source device is a blue (wavelength 445 nm) semiconductor laser or green (wavelength 532 nm) SHG (second harmonic generation) solid state laser used for a display light source, or a blue-violet color used for a data storage light source. (Wavelength 405 nm) In some cases, the present invention is applied to a laser optical system such as a semiconductor laser. In this case, when the optical axis of the optical component is adjusted by turning on the laser beam, the photopolymerization initiator of the ultraviolet curable adhesive reacts and cures with the laser beam, and the optical axis cannot be adjusted smoothly. There was a problem.

本発明は上述の問題に鑑みてなされ、紫外線硬化型接着剤の硬化収縮による光軸ずれを抑制でき、レーザ光を点灯させながら光軸調整を行うことができる光学部品の接着固定方法およびレーザ光源装置を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and can suppress optical axis shift due to curing shrinkage of an ultraviolet curable adhesive, and can perform optical axis adjustment while turning on laser light, and an optical component adhesive fixing method and laser light source It is an object to provide an apparatus.

以上の課題を解決するに当たり、本発明の光学部品の接着固定方法は、レーザ光源が設置された基板の上に、光学部品を紫外線硬化型接着剤を用いて接着する光学部品の接着固定方法であって、
レーザ光源に対して光学部品の光軸位置を調整する工程と、
光学部品および基板に各々接着される2つの異なる面に紫外線硬化型接着剤が塗布された透明な支持体を、光学部品および基板にそれぞれ接触配置させる工程と、
支持体に紫外線を照射して上記2つの面に塗布された紫外線硬化型接着剤を同時に硬化させる工程とを有する。
In solving the above problems, the optical component adhesive fixing method of the present invention is an optical component adhesive fixing method in which an optical component is bonded onto a substrate on which a laser light source is installed using an ultraviolet curable adhesive. There,
Adjusting the optical axis position of the optical component with respect to the laser light source;
Placing a transparent support having a UV curable adhesive applied to two different surfaces respectively bonded to the optical component and the substrate, in contact with the optical component and the substrate, respectively;
And irradiating the support with ultraviolet rays to simultaneously cure the ultraviolet curable adhesive applied to the two surfaces.

また、本発明のレーザ光源装置は、レーザ光源と、レーザ光源が設置された基板と、レーザ光源と光軸を合わせて基板上に設置された光学部品とを備えたレーザ光源装置において、光学部品に接着される第1接着面と、基板に接着される第2接着面とを有する透明な支持体を備え、光学部品は、基板に対し、第1,第2接着面に紫外線硬化型接着剤が塗布された上記支持体を介して接着固定されている。   According to another aspect of the present invention, there is provided a laser light source device including: a laser light source; a substrate on which the laser light source is installed; and an optical component installed on the substrate with the laser light source and the optical axis aligned. A transparent support having a first adhesive surface bonded to the substrate and a second adhesive surface bonded to the substrate, and the optical component has an ultraviolet curable adhesive on the first and second adhesive surfaces with respect to the substrate. Is bonded and fixed through the above-mentioned support to which is applied.

本発明においては、レーザ光源に対して光学部品の光軸を調整した後、光学部品および基板に各々接着される第1,第2の2つの異なる接着面に紫外線硬化型接着剤が塗布された透明な支持体を基板上に配置し、紫外線を照射して各面の紫外線硬化型接着剤を同時に硬化させる。   In the present invention, after adjusting the optical axis of the optical component with respect to the laser light source, an ultraviolet curable adhesive is applied to the first and second different bonding surfaces respectively bonded to the optical component and the substrate. A transparent support is placed on the substrate and irradiated with ultraviolet rays to simultaneously cure the ultraviolet curable adhesive on each side.

このとき、支持体の各面に塗布される紫外線硬化型接着剤は、表面張力による貼付き現象で当該支持体を光学部品および基板に対する適正な接着位置に誘導配置させる。そして、支持体の各面に塗布された紫外線硬化型接着剤を同時に硬化させることで、各面の接着剤の硬化収縮を光学部品および基板に対する支持体の相対移動で吸収し、接着剤硬化後の光学部品の光軸ずれを抑制する。   At this time, the ultraviolet curable adhesive applied to each surface of the support causes the support to be guided and disposed at an appropriate bonding position with respect to the optical component and the substrate by a sticking phenomenon due to surface tension. Then, by simultaneously curing the UV curable adhesive applied to each surface of the support, the shrinkage of the adhesive on each surface is absorbed by the relative movement of the support with respect to the optical component and the substrate, and after the adhesive is cured The optical axis shift of the optical component is suppressed.

従って、紫外線硬化型接着剤の塗布厚を大きくすることなく光学部品の光軸位置調整が可能となるので、接着剤の硬化収縮に伴う光学部品の位置ずれを効果的に抑制できるようになる。また、光学部品の光軸位置の調整を行った後に接着を行うので、レーザ光源に波長550nm以下の短波長レーザ光源を用いた場合でも、レーザ光を点灯させた状態での光学部品と基板間の接着固定が可能となる。   Therefore, it is possible to adjust the optical axis position of the optical component without increasing the coating thickness of the ultraviolet curable adhesive, so that it is possible to effectively suppress the displacement of the optical component due to the curing shrinkage of the adhesive. Further, since the bonding is performed after the optical axis position of the optical component is adjusted, even when a short wavelength laser light source having a wavelength of 550 nm or less is used as the laser light source, the optical component and the substrate in a state where the laser light is turned on. Can be fixed.

支持体は、ガラスやプラスチックなど、紫外線に対して透明な材料であればよい。紫外線硬化型接着剤が塗布される面(第1,第2の接着面)は、鏡面加工されて表面粗さが制御されているのが好ましい。これにより、紫外線硬化型接着剤による表面張力を有効に発現させることができる。   The support may be any material that is transparent to ultraviolet rays, such as glass or plastic. It is preferable that the surface (first and second adhesive surfaces) to which the ultraviolet curable adhesive is applied is mirror-finished to control the surface roughness. Thereby, the surface tension by the ultraviolet curable adhesive can be effectively expressed.

また、紫外線硬化型接着剤の粘度は低いほどよく、好適には、未硬化状態での粘度が、1600mPa・s未満のものを用いる。1600mPa・sを超える粘度では、粘度が高すぎて当該接着剤の表面張力に基づく支持体の誘導配置(移動)が起きづらくなるからである。   The viscosity of the ultraviolet curable adhesive is preferably as low as possible, and preferably, the viscosity in an uncured state is less than 1600 mPa · s. This is because, when the viscosity exceeds 1600 mPa · s, the viscosity is too high and it is difficult to induce and displace (move) the support based on the surface tension of the adhesive.

紫外線接着剤が塗布される支持体の2面(第1,第2接着面)は特に限定されないが、互いに直交する2面であることが好ましい。この構成により、レーザ光源の光軸に対して光学部品をX軸方向(光軸方向)、Y軸方向(光軸と直交する水平方向)、Z軸方向(光軸と直交する高さ方向)、ヨー軸方向(Z軸回りの方向)およびピッチ軸方向(Y軸回りの方向)の各方向に調整が可能となる。   The two surfaces (first and second adhesive surfaces) of the support to which the ultraviolet adhesive is applied are not particularly limited, but are preferably two surfaces orthogonal to each other. With this configuration, the optical component is placed in the X-axis direction (optical axis direction), the Y-axis direction (horizontal direction orthogonal to the optical axis), and the Z-axis direction (height direction orthogonal to the optical axis) with respect to the optical axis of the laser light source. It is possible to adjust in each direction of the yaw axis direction (direction around the Z axis) and the pitch axis direction (direction around the Y axis).

以上のように、本発明によれば、紫外線硬化型接着剤を用いた光学部品の接着固定において、光学部品をレーザ光源に対して高精度かつ容易に位置調整して基板上に接着固定することができる。   As described above, according to the present invention, in bonding and fixing of an optical component using an ultraviolet curable adhesive, the optical component is bonded and fixed on a substrate with high accuracy and easy position adjustment with respect to the laser light source. Can do.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1〜図3は本発明の実施形態によるレーザ光源装置10の概略構成を示している。図1はレーザ光源装置10の全体斜視図、図2は同平面図、図3は同側面図である。   1 to 3 show a schematic configuration of a laser light source apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. 1 is an overall perspective view of the laser light source device 10, FIG. 2 is a plan view thereof, and FIG. 3 is a side view thereof.

レーザ光源装置10は、基板11の上に、レーザ光源としての半導体レーザ12と、光学部品としてのレンズユニット13と、レンズユニット13を接着保持する支持体14とを備えている。レーザ光源装置10は、半導体レーザ12から出射されたレーザ光をレンズユニット13でコリメートするレーザ光学系を構成している。   The laser light source device 10 includes on a substrate 11 a semiconductor laser 12 as a laser light source, a lens unit 13 as an optical component, and a support 14 that holds the lens unit 13 by bonding. The laser light source device 10 constitutes a laser optical system in which the laser light emitted from the semiconductor laser 12 is collimated by the lens unit 13.

基板11は、放熱性の高い、例えばアルミニウムなどの金属基板で構成されているが、これに限らず、ガラス等の透明基板が用いられてもよい。   Although the board | substrate 11 is comprised with metal substrates, such as aluminum, with high heat dissipation, for example, transparent substrates, such as not only this but glass, may be used.

半導体レーザ12は、本実施形態では波長445nmの青色レーザ光を発振するレーザ素子であり、ヒートシンク15を介して基板11上に固定されている。ヒートシンク15は例えば銅などの金属ブロックで構成されている。半導体レーザ12は、ヒートシンク15の上面において光軸20を図中X方向に調整された状態で接合されている。   In the present embodiment, the semiconductor laser 12 is a laser element that oscillates blue laser light having a wavelength of 445 nm, and is fixed on the substrate 11 via a heat sink 15. The heat sink 15 is made of a metal block such as copper. The semiconductor laser 12 is bonded on the upper surface of the heat sink 15 with the optical axis 20 adjusted in the X direction in the drawing.

レンズユニット13は、半導体レーザ12から出射される発散光束を平行光束にするとともに、半導体レーザ12から出射されるレーザ光の光軸20を所定の光軸21に変換する機能を有している。レンズユニット13は、一対のコリメータレンズ16a,16bと、軸位置変換用のプリズムブロック17と、これらコリメータレンズ16a,16b及びプリズムブロック17を支持する支持プレート18とで構成されている。   The lens unit 13 has a function of converting a divergent light beam emitted from the semiconductor laser 12 into a parallel light beam and converting the optical axis 20 of the laser light emitted from the semiconductor laser 12 into a predetermined optical axis 21. The lens unit 13 includes a pair of collimator lenses 16 a and 16 b, a prism block 17 for converting the axial position, and a support plate 18 that supports the collimator lenses 16 a and 16 b and the prism block 17.

一対のコリメータレンズ16a,16bは、プリズムブロック17を挟むように互いに平行に且つ軸位置を図中Y方向に所定距離異ならせて配置されている。一方のコリメータレンズ16aの光軸は半導体レーザ12の光軸20上に整列配置されており、他方のコリメータレンズ16bは、プリズムブロック17で軸位置変換されたレーザ光を光軸21に沿って出射させる。   The pair of collimator lenses 16a and 16b are arranged in parallel with each other so that the prism block 17 is sandwiched, and the axial positions are different from each other by a predetermined distance in the Y direction in the drawing. The optical axis of one collimator lens 16 a is aligned on the optical axis 20 of the semiconductor laser 12, and the other collimator lens 16 b emits the laser light whose axial position is converted by the prism block 17 along the optical axis 21. Let

支持プレート18は、断面長方形状の矩形板材からなり、その一方の主面にコリメータレンズ16a,16b及びプリズムブロック17が接着固定されている。支持プレート18の構成材料は特に制限されず、アルミニウムなどの金属基板や、ガラス、プラスチック等の透明基板で構成することができる。   The support plate 18 is made of a rectangular plate having a rectangular cross section, and the collimator lenses 16a and 16b and the prism block 17 are bonded and fixed to one main surface thereof. The constituent material of the support plate 18 is not particularly limited, and can be composed of a metal substrate such as aluminum, or a transparent substrate such as glass or plastic.

支持体14は、基板11に対してレンズユニット13を接着固定するためのもので、紫外線に対して透明なガラスまたはプラスチック等の透明材料で構成されている。特に好適には、紫外線領域で透過率が良好なボロシリケートクラウンガラス(BK7)が用いられる。本実施形態では、支持体14は六面体構造の角柱形状とされている。   The support 14 is for bonding and fixing the lens unit 13 to the substrate 11 and is made of a transparent material such as glass or plastic that is transparent to ultraviolet rays. Particularly preferably, borosilicate crown glass (BK7) having good transmittance in the ultraviolet region is used. In the present embodiment, the support 14 has a hexagonal prism shape.

支持体14は、レンズユニット13の一構成要素である支持プレート18の一側面に接着される第1接着面14aと、基板11に接着される第2接着面14bとを備えている。第1,第2接着面14a,14bは互いに直交する2面とされ、第1接着面14aはXZ面に平行な支持体14の一側面に形成され、第2接着面14bはXY面に平行な支持体14の底面に形成されている。そして、支持体14の第1接着面14aとレンズユニット13との間、及び、支持体14の第2接着面14bと基板11との間が、それぞれ紫外線硬化型接着剤19によって接着固定されている。   The support 14 includes a first adhesive surface 14 a that is bonded to one side surface of a support plate 18 that is one component of the lens unit 13, and a second adhesive surface 14 b that is bonded to the substrate 11. The first and second bonding surfaces 14a and 14b are two surfaces orthogonal to each other, the first bonding surface 14a is formed on one side surface of the support 14 parallel to the XZ plane, and the second bonding surface 14b is parallel to the XY plane. The support 14 is formed on the bottom surface. The first adhesive surface 14a of the support 14 and the lens unit 13 and the second adhesive surface 14b of the support 14 and the substrate 11 are bonded and fixed by an ultraviolet curable adhesive 19, respectively. Yes.

支持体14の第1,第2接着面14a,14bは鏡面加工が施されている。好適には、第1,第2接着面14a,14bの表面粗さは、例えば3.2S以下とされる。第1,第2接着面14a,14bを鏡面仕上げとすることで、紫外線硬化型接着剤19の塗布量を少なくでき、硬化後の接着層の厚さを薄くすることができる。なお、これらの接着面14a,14bと接着されるレンズユニット13の支持プレート18側面および基板11上面の各領域も、同様な鏡面仕上げとすることが好ましい。   The first and second adhesive surfaces 14a and 14b of the support 14 are mirror-finished. Preferably, the surface roughness of the first and second bonding surfaces 14a and 14b is, for example, 3.2 S or less. Since the first and second adhesive surfaces 14a and 14b are mirror-finished, the application amount of the ultraviolet curable adhesive 19 can be reduced, and the thickness of the adhesive layer after curing can be reduced. In addition, it is preferable that each area | region of the support plate 18 side of the lens unit 13 adhere | attached with these adhesion surfaces 14a and 14b and the board | substrate 11 upper surface is also made into the same mirror finish.

また、第1,第2接着面14a,14bを互いに直交する2面(XY面及びXZ面)で構成することにより、レンズユニット13の位置調整をX軸方向、Y軸方向、Z軸方向、ヨー軸方向(Z軸のまわり方向)、ピッチ軸方向(Y軸のまわり方向)の5軸方向に関して行うことが可能となる。   Further, by configuring the first and second bonding surfaces 14a and 14b with two surfaces (XY surface and XZ surface) orthogonal to each other, the position adjustment of the lens unit 13 can be adjusted in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, It is possible to carry out with respect to the five axis directions of the yaw axis direction (direction around the Z axis) and the pitch axis direction (direction around the Y axis).

次に、以上のように構成されるレーザ光源装置10におけるレンズユニット13の接着固定方法について説明する。図4は、基板11に対するレンズユニット13の接着固定方法を説明する工程図である。   Next, a method for bonding and fixing the lens unit 13 in the laser light source device 10 configured as described above will be described. FIG. 4 is a process diagram illustrating a method for bonding and fixing the lens unit 13 to the substrate 11.

まず、図4Aに示すように、基板11上にヒートシンク15を介して接合された半導体レーザ12に対してレンズユニット13の光軸位置を調整する工程が行われる。   First, as shown in FIG. 4A, a step of adjusting the optical axis position of the lens unit 13 with respect to the semiconductor laser 12 bonded to the substrate 11 via the heat sink 15 is performed.

この工程において、レンズユニット13はアライメントクランプ装置22を用いて位置調整される。アライメントクランプ装置22は、支持プレート18の上面周縁の一部を真空吸着してレンズユニット13を保持する機構を有している。なお、アライメントクランプ装置22は上記の例に限定されず、他のクランプ機構で構成されていてもよい。   In this step, the position of the lens unit 13 is adjusted using the alignment clamp device 22. The alignment clamp device 22 has a mechanism for holding the lens unit 13 by vacuum-sucking a part of the upper surface periphery of the support plate 18. In addition, the alignment clamp apparatus 22 is not limited to said example, You may be comprised with the other clamp mechanism.

アライメントクランプ装置22によって保持されたレンズユニット13は、その一方のコリメータレンズ16aの光軸が半導体レーザ12の光軸20に整列配置されるように位置調整される。レンズユニット13の位置調整は、アライメントクランプ装置22を介して行われ、レンズユニット13は、X,X,Z軸の各方向に加え、Z軸まわりのヨー軸方向及びY軸まわりのピッチ軸方向(あおり方向)の計5軸方向に関して位置調整が行われた後、その状態が保持される。   The position of the lens unit 13 held by the alignment clamp device 22 is adjusted so that the optical axis of one collimator lens 16 a is aligned with the optical axis 20 of the semiconductor laser 12. The position adjustment of the lens unit 13 is performed via the alignment clamp device 22, and the lens unit 13 has a yaw axis direction around the Z axis and a pitch axis direction around the Y axis in addition to the X, X, and Z axis directions. After the position adjustment is performed in the total 5 axis directions (tilting direction), the state is maintained.

次に、図4Bに示すように、第1,第2接着面14a,14bに紫外線硬化型接着剤19を塗布した支持体14を、レンズユニット13の支持プレート18側面および基板11上面に各々接触配置させる。   Next, as shown in FIG. 4B, the support body 14 in which the ultraviolet curable adhesive 19 is applied to the first and second adhesive surfaces 14a and 14b is brought into contact with the side surface of the support plate 18 of the lens unit 13 and the upper surface of the substrate 11, respectively. Arrange.

支持体14の各接着面14a,14bは、レンズユニット13の支持プレート18側面および基板11上面の各々に対し、紫外線硬化型接着剤19の表面張力を介して接触している。紫外線硬化型接着剤は、紫外線が照射されることで硬化する光硬化型接着剤の一種で、紫外線照射前はある程度の粘性をもった液状で存在する。従って、紫外線照射前においては、支持体14の各接着面14a,14bは支持プレート18側面と基板11上面に対して紫外線硬化型接着剤のもつ表面張力で貼り付いた状態にあるとともに、当該表面張力によって支持体14が基板11上を移動して適正な接着位置に誘導配置される。   The adhesive surfaces 14 a and 14 b of the support 14 are in contact with the side surface of the support plate 18 of the lens unit 13 and the upper surface of the substrate 11 through the surface tension of the ultraviolet curable adhesive 19. The ultraviolet curable adhesive is a kind of a photocurable adhesive that is cured by being irradiated with ultraviolet rays, and exists in a liquid state having a certain degree of viscosity before the ultraviolet irradiation. Therefore, before the ultraviolet irradiation, the adhesive surfaces 14a and 14b of the support 14 are in a state of being adhered to the side surface of the support plate 18 and the upper surface of the substrate 11 with the surface tension of the ultraviolet curable adhesive. The support 14 moves on the substrate 11 due to the tension and is guided and arranged at an appropriate bonding position.

このような支持体14の誘導配置現象を発生させるためには、紫外線硬化型接着剤19の粘度が低いことが必要とされる。具体的に、紫外線硬化型接着剤19の未硬化状態での粘度は1600mPa・s未満であることが好ましい。この範囲を超えると、紫外線硬化型接着剤の粘度が高すぎて表面張力を利用した支持体14の誘導配置現象が発生しにくくなる。   In order to generate such a guiding arrangement phenomenon of the support 14, the ultraviolet curable adhesive 19 needs to have a low viscosity. Specifically, the viscosity of the ultraviolet curable adhesive 19 in an uncured state is preferably less than 1600 mPa · s. If this range is exceeded, the viscosity of the ultraviolet curable adhesive is too high, and it is difficult for the induced arrangement phenomenon of the support 14 utilizing the surface tension to occur.

また、支持体14の誘導配置現象を効果的に発生させるためには、支持体14の接着面14a,14bの表面が平滑であることが要求される。本実施形態では上述のように、これらの接着面14a,14bと、これらの面が接着される支持プレート18側面および基板11上面をそれぞれ鏡面仕上げとしているので、紫外線硬化型接着剤19の表面張力を利用した支持体14の誘導配置を効率良く行うことができる。   Further, in order to effectively generate the guiding arrangement phenomenon of the support 14, the surfaces of the bonding surfaces 14 a and 14 b of the support 14 are required to be smooth. In the present embodiment, as described above, these adhesive surfaces 14a and 14b, the side surface of the support plate 18 to which these surfaces are bonded, and the upper surface of the substrate 11 are mirror-finished. It is possible to efficiently perform the guide arrangement of the support body 14 using.

更に、紫外線硬化型接着剤19に低粘度のものを用いるとともに、支持体14の各接着面14a,14bを鏡面仕上げとすることで、紫外線硬化型接着剤19の塗布量を少なくできると同時に接着層の厚みを小さくすることができる。これにより、接着剤の硬化収縮によるレンズユニット13の位置ズレを抑制できるので、位置調整したレンズユニット13の接着固定後の光軸変化量を小さくすることができる。   Further, the UV curable adhesive 19 having a low viscosity is used, and the adhesive surfaces 14a and 14b of the support 14 are mirror-finished so that the application amount of the UV curable adhesive 19 can be reduced and bonded at the same time. The thickness of the layer can be reduced. Thereby, since the position shift of the lens unit 13 due to the curing shrinkage of the adhesive can be suppressed, it is possible to reduce the amount of change in the optical axis after the position-adjusted lens unit 13 is bonded and fixed.

続いて、支持体14を接触配置させた後、レンズユニット13に光軸ずれが生じていないことを確認した後、図4Cに示すように、支持体14に対して紫外線を照射し、各接着面14a,14bに塗布された紫外線硬化型接着剤19を同時に硬化させる。これにより、基板11に対し、レンズユニット13が支持体14を介して接着固定される。なお、レンズユニット13の接着固定後、レンズユニット13は、アライメントクランプ装置20による接着位置保持作用が解除される。   Subsequently, after placing the support 14 in contact, after confirming that there is no optical axis deviation in the lens unit 13, as shown in FIG. The ultraviolet curable adhesive 19 applied to the surfaces 14a and 14b is simultaneously cured. As a result, the lens unit 13 is bonded and fixed to the substrate 11 via the support 14. Note that after the lens unit 13 is bonded and fixed, the lens unit 13 is released from the bonding position holding action by the alignment clamp device 20.

支持体14の各接着面14a,14bに塗布された紫外線硬化型接着剤19を同時に硬化させることで、各面の接着剤の硬化収縮をレンズユニット13および基板11に対する支持体14の相対移動で吸収でき、接着剤硬化後のレンズユニット13の光軸ずれを効果的に抑えることができる。   By simultaneously curing the ultraviolet curable adhesive 19 applied to the adhesive surfaces 14 a and 14 b of the support 14, curing shrinkage of the adhesive on each surface is caused by relative movement of the support 14 with respect to the lens unit 13 and the substrate 11. It is possible to absorb the optical axis shift of the lens unit 13 after the adhesive is cured.

なお、紫外線照射の前に、レンズユニット13の光軸ずれが確認された場合には、アライメントクランプ装置22を介してレンズユニット13の光軸位置の再調整が行われる。この場合、支持体14の相直交する2面14a,14bを介してレンズユニット13が基板11上に支持されているので、上述した5軸方向にレンズユニット13の位置調整が可能である。   When the optical axis shift of the lens unit 13 is confirmed before the ultraviolet irradiation, the optical axis position of the lens unit 13 is readjusted via the alignment clamp device 22. In this case, since the lens unit 13 is supported on the substrate 11 via the two orthogonal surfaces 14a and 14b of the support 14, the position of the lens unit 13 can be adjusted in the five-axis direction described above.

以上のように、本実施形態によれば、半導体レーザ12に対してレンズユニット13の光軸を調整した後、接着面14a,14bに紫外線硬化型接着剤19が塗布された支持体14を用いて当該レンズユニット13を基板11上に接着固定するようにしているので、紫外線硬化型接着剤19の硬化収縮によるレンズユニット13の光軸ずれを効果的に抑制することができる。   As described above, according to the present embodiment, after the optical axis of the lens unit 13 is adjusted with respect to the semiconductor laser 12, the support 14 in which the ultraviolet curable adhesive 19 is applied to the bonding surfaces 14a and 14b is used. Since the lens unit 13 is bonded and fixed on the substrate 11, the optical axis shift of the lens unit 13 due to curing shrinkage of the ultraviolet curable adhesive 19 can be effectively suppressed.

特に、紫外線硬化型接着剤19として、未硬化状態での粘度を1600mPa・s未満のものを用いることにより、接着層を薄く形成することが可能となり、硬化収縮による影響を最小限に抑えることができる。また、紫外線接着剤19の表面張力を利用して支持体14とレンズユニット13及び基板11との間の貼付き性を高められると同時に、支持体14を適正な接着位置へ誘導配置させることが可能となる。   In particular, by using a UV curable adhesive 19 having an uncured viscosity of less than 1600 mPa · s, it is possible to form a thin adhesive layer and minimize the effects of curing shrinkage. it can. Further, the surface tension of the ultraviolet adhesive 19 can be used to improve the sticking property between the support 14 and the lens unit 13 and the substrate 11, and at the same time, the support 14 can be guided and arranged at an appropriate bonding position. It becomes possible.

また、支持体14の各接着面14a,14bを鏡面に仕上げることで、紫外線接着剤19の表面張力を利用して支持体14とレンズユニット13及び基板11との間の貼付き性を高められると同時に、支持体14を適正な接着位置へ誘導配置させることが可能となる。また、接着層を薄く形成することが可能となり、硬化収縮による影響を最小限に抑えることができる。   Further, by sticking each bonding surface 14a, 14b of the support 14 to a mirror surface, the sticking property between the support 14, the lens unit 13 and the substrate 11 can be enhanced by utilizing the surface tension of the ultraviolet adhesive 19. At the same time, the support 14 can be guided and arranged to an appropriate bonding position. In addition, the adhesive layer can be formed thin, and the influence of curing shrinkage can be minimized.

更に、半導体レーザ12を点灯させた状態で上述のレンズユニット接着工程を行うことで、レンズユニット13の光軸調整から基板11上への接着完了までの間、レンズユニット13の光軸変化をモニタリングすることができる。これにより、非常に高精度な接着固定作業を行うことができる。   Furthermore, by performing the above-described lens unit bonding step with the semiconductor laser 12 turned on, monitoring of the change in the optical axis of the lens unit 13 from the adjustment of the optical axis of the lens unit 13 to the completion of bonding onto the substrate 11 is performed. can do. Thereby, it is possible to perform an adhesive fixing operation with very high accuracy.

この場合、半導体レーザ12の発光ビームで紫外線硬化型接着剤19の硬化作用が開始されても、レンズユニット13の光軸位置がアライメントクランプ装置22によって保持されているので、光軸変化の発生を回避することができる。   In this case, the optical axis position of the lens unit 13 is held by the alignment clamp device 22 even when the curing action of the ultraviolet curable adhesive 19 is started by the emitted light beam of the semiconductor laser 12, so that the optical axis change occurs. It can be avoided.

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は以下の実施例に限定されない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following examples.

未硬化状態での粘度が異なる複数種の紫外線硬化型接着剤を用いて、支持体14の誘導配置現象の発生の有無を調べた。その実験結果を図5に示す。サンプル1〜4は以下のものを用いた。
サンプル1:マスターボンド(Master Bond)社製「UV15」
粘度135mPa・s
サンプル2:協立化学産業社製「88075L5」
粘度350mPa・s
サンプル3:スリーボンド社製「TB3121」
粘度1100mPa・s
サンプル4:ダイキン工業社製「UV−3000」
粘度1600mPa・s
The presence / absence of the induction arrangement phenomenon of the support 14 was examined using a plurality of types of ultraviolet curable adhesives having different viscosities in an uncured state. The experimental results are shown in FIG. Samples 1 to 4 used the following.
Sample 1: “UV15” manufactured by Master Bond
Viscosity 135mPa · s
Sample 2: “88075L5” manufactured by Kyoritsu Chemical Industry Co., Ltd.
Viscosity 350mPa · s
Sample 3: “TB3121” manufactured by ThreeBond
Viscosity 1100mPa · s
Sample 4: “UV-3000” manufactured by Daikin Industries, Ltd.
Viscosity 1600mPa · s

実験の結果、サンプル1〜3で支持体14の誘導配置現象が認められたのに対して、サンプル4では支持体14の誘導配置現象の発生は認められなかった。これは、サンプル4の粘度が1600mPa・sでは粘度が高すぎて支持体14の誘導配置現象が発生しづらいからであると考えられる。従って、紫外線硬化型接着剤としては、未硬化状態での粘度が1600mPa・s未満、望ましくは、1100mPa以下のものを用いるのが好適である。   As a result of the experiment, the induced arrangement phenomenon of the support 14 was observed in Samples 1 to 3, whereas the induction arrangement phenomenon of the support 14 was not observed in Sample 4. This is considered to be because when the viscosity of the sample 4 is 1600 mPa · s, the viscosity is too high and the induction arrangement phenomenon of the support 14 is difficult to occur. Accordingly, it is preferable to use an ultraviolet curable adhesive having an uncured viscosity of less than 1600 mPa · s, preferably 1100 mPa or less.

また、サンプル1〜3の紫外線硬化型接着剤からなる接着層の厚みは、低粘度の接着剤ほど薄く形成できることが確認された。接着剤の硬化収縮量は、硬化収縮率と接着層厚みとの積で求められる。そこで、この紫外線硬化型接着剤の硬化収縮でレンズユニット13が支持体14側に引っ張られることによって発生する光軸変化量の最大値を試算すると、サンプル1〜3についてそれぞれ0.75μm、2.88μm、3.36μmとなる(図5)。但し、実際には支持体14がレンズユニット13側に引っ張られる場合が殆どであるので、レンズユニット13の光軸変化は上記の計算値の半分以下になる。
なお、参考として、接着剤粘度が3000mPa・sの紫外線硬化型接着剤(サンプル5)の例を図5に示す。この場合の最大光軸変化量は49μmであり、サンプル1〜3の方がはるかに高精度にレンズユニット13の接着固定を行えることがわかる。
Moreover, it was confirmed that the adhesive layer which consists of the ultraviolet curable adhesive of Samples 1-3 can be formed thinner as a low viscosity adhesive. The amount of cure shrinkage of the adhesive is determined by the product of the cure shrinkage rate and the adhesive layer thickness. Therefore, when the maximum value of the change amount of the optical axis generated by the lens unit 13 being pulled toward the support 14 due to the curing shrinkage of the ultraviolet curable adhesive is estimated, 0.75 μm and 2. It becomes 88 micrometers and 3.36 micrometers (FIG. 5). However, in practice, since the support 14 is almost pulled toward the lens unit 13 side, the change in the optical axis of the lens unit 13 is less than half of the calculated value.
For reference, an example of an ultraviolet curable adhesive (sample 5) having an adhesive viscosity of 3000 mPa · s is shown in FIG. The maximum optical axis change amount in this case is 49 μm, and it can be seen that the samples 1 to 3 can bond and fix the lens unit 13 with much higher accuracy.

以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, of course, this invention is not limited to this, A various deformation | transformation is possible based on the technical idea of this invention.

例えば以上の実施形態では、レーザ光源である半導体レーザ12として波長445nmの青色レーザ光を発振するレーザ素子を例に挙げて説明したが、これに限らず、Nd−YAGのレーザ源とKTP等の非線形光学結晶素子との組み合わせからなる波長532nmの緑色レーザ光を発生させるSHG固体レーザや、波長405nmの青紫色レーザ光を発振するレーザ素子など、特に紫外線硬化型接着剤の硬化開始を誘発させる波長550nm以下のレーザ光源を用いてもよい。   For example, in the above embodiment, the laser element that oscillates blue laser light having a wavelength of 445 nm has been described as an example of the semiconductor laser 12 that is a laser light source. However, the present invention is not limited to this, and the Nd-YAG laser source and the KTP or the like A wavelength that induces the start of curing of an ultraviolet curable adhesive, such as a SHG solid-state laser that generates green laser light having a wavelength of 532 nm and a laser element that oscillates blue-violet laser light having a wavelength of 405 nm. A laser light source of 550 nm or less may be used.

また、以上の実施形態では、光学部品として、上述した構成のレンズユニット13を例に挙げて説明したが、これに代えて、単一のレンズ素子や、レンズ素子以外の光学部品、例えばミラー部品や光ファイバーなど、レーザ光源に対して光軸調整が必要な全ての光学部品に対して本発明は適用可能である。   In the above embodiment, the lens unit 13 having the above-described configuration is described as an example of the optical component. However, instead of this, a single lens element or an optical component other than the lens element, such as a mirror component, is used. The present invention is applicable to all optical components that require optical axis adjustment with respect to a laser light source, such as optical fibers and optical fibers.

更に、支持体14として四角柱形状の透明ブロック体を用いたが、支持体の形状はこれに限定されず、例えば図6に示すように三角柱形状の支持体24を用いてもよい。この場合も、レンズユニット13および基板11に接着される接着面24a,24bを互いに直交する2面で構成するのが好ましい。なお勿論、これらの接着面は互いに直交する2面でなくてもよく、例えば、支持体24の斜面24cをレンズユニット13に対する接着面としてもよい。   Furthermore, although the rectangular column-shaped transparent block body was used as the support body 14, the shape of the support body is not limited to this, and for example, a triangular prism-shaped support body 24 may be used as shown in FIG. Also in this case, it is preferable that the bonding surfaces 24a and 24b bonded to the lens unit 13 and the substrate 11 are constituted by two surfaces orthogonal to each other. Of course, these adhesion surfaces may not be two surfaces orthogonal to each other. For example, the inclined surface 24c of the support 24 may be an adhesion surface to the lens unit 13.

本発明の実施形態によるレーザ光源装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the laser light source apparatus by embodiment of this invention. 本発明の実施形態によるレーザ光源装置の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the laser light source apparatus by embodiment of this invention. 本発明の実施形態によるレーザ光源装置の概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of the laser light source apparatus by embodiment of this invention. 本発明の実施形態による光学部品の接着固定方法を説明する各工程の斜視図である。It is a perspective view of each process explaining the adhesion fixing method of the optical component by embodiment of this invention. 本発明の一実施例を説明する実験結果を示す図である。It is a figure which shows the experimental result explaining one Example of this invention. 本発明の実施の形態によるレーザ光源装置の構成の変形例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the modification of the structure of the laser light source apparatus by embodiment of this invention. 従来のレーザ光源装置の概略構成を示す要部側断面図である。It is principal part side sectional drawing which shows schematic structure of the conventional laser light source apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

10…レーザ光源装置、11…基板、12…半導体レーザ、13…レンズユニット、14…支持体、14a…第1接着面、14b…第2接着面、15…ヒートシンク、16a,16b…コリメータレンズ、17…プリズムブロック、18…支持プレート、19…紫外線硬化型接着剤、20,21…光軸、22…アライメントクランプ装置   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Laser light source device, 11 ... Board | substrate, 12 ... Semiconductor laser, 13 ... Lens unit, 14 ... Support body, 14a ... 1st adhesion surface, 14b ... 2nd adhesion surface, 15 ... Heat sink, 16a, 16b ... Collimator lens, DESCRIPTION OF SYMBOLS 17 ... Prism block, 18 ... Support plate, 19 ... Ultraviolet curable adhesive, 20, 21 ... Optical axis, 22 ... Alignment clamp apparatus

Claims (7)

レーザ光源が設置された基板の上に、光学部品を紫外線硬化型接着剤を用いて接着する光学部品の接着固定方法において、
前記レーザ光源に対して前記光学部品の光軸位置を調整する工程と、
前記光学部品および前記基板に各々接着される2つの異なる面に紫外線硬化型接着剤が塗布された透明な支持体を、前記光学部品および前記基板にそれぞれ接触配置させる工程と、
前記支持体に紫外線を照射して前記2つの面に塗布された紫外線硬化型接着剤を同時に硬化させる工程とを有する
ことを特徴とする光学部品の接着固定方法。
In the method for bonding and fixing an optical component on the substrate on which the laser light source is installed, the optical component is bonded using an ultraviolet curable adhesive.
Adjusting the optical axis position of the optical component with respect to the laser light source;
A step of placing a transparent support in which an ultraviolet curable adhesive is applied to two different surfaces respectively bonded to the optical component and the substrate in contact with the optical component and the substrate;
And a step of irradiating the support with ultraviolet rays to simultaneously cure the ultraviolet curable adhesive applied to the two surfaces.
前記第1,第2接着面を互いに直交する2面とする
ことを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着固定方法。
The method for bonding and fixing an optical component according to claim 1, wherein the first and second bonding surfaces are two surfaces orthogonal to each other.
前記紫外線硬化型接着剤として、未硬化状態での粘度が1600mPa・s未満のものを用いる
ことを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着固定方法。
The method for bonding and fixing an optical component according to claim 1, wherein the ultraviolet curable adhesive has an uncured viscosity of less than 1600 mPa · s.
前記レーザ光源を点灯させた状態で前記各工程を行う
ことを特徴とする請求項1に記載の光学部品の接着固定方法。
The method for bonding and fixing an optical component according to claim 1, wherein the steps are performed in a state where the laser light source is turned on.
レーザ光源と、
前記レーザ光源が設置された基板と、
前記レーザ光源と光軸を合わせて前記基板上に設置された光学部品とを備えたレーザ光源装置において、
前記光学部品に接着される第1接着面と、前記基板に接着される第2接着面とを有する透明な支持体を備え、
前記光学部品は、前記基板に対し、前記第1,第2接着面に紫外線硬化型接着剤が塗布された前記支持体を介して接着固定されている
ことを特徴とするレーザ光源装置。
A laser light source;
A substrate on which the laser light source is installed;
In a laser light source device comprising the laser light source and an optical component installed on the substrate with the optical axis aligned,
A transparent support having a first adhesive surface bonded to the optical component and a second adhesive surface bonded to the substrate;
The optical component is bonded and fixed to the substrate via the support body in which an ultraviolet curable adhesive is applied to the first and second bonding surfaces.
前記第1,第2接着面は鏡面加工されている
ことを特徴とする請求項5に記載のレーザ光源装置。
The laser light source device according to claim 5, wherein the first and second bonding surfaces are mirror-finished.
前記レーザ光源の光源波長は550nm以下である
ことを特徴とする請求項5に記載のレーザ光源装置。
The laser light source device according to claim 5, wherein a light source wavelength of the laser light source is 550 nm or less.
JP2006041917A 2006-02-20 2006-02-20 Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus Pending JP2007219337A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006041917A JP2007219337A (en) 2006-02-20 2006-02-20 Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006041917A JP2007219337A (en) 2006-02-20 2006-02-20 Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007219337A true JP2007219337A (en) 2007-08-30

Family

ID=38496695

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006041917A Pending JP2007219337A (en) 2006-02-20 2006-02-20 Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007219337A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009093041A (en) * 2007-10-11 2009-04-30 Sumitomo Electric Ind Ltd Optical module
WO2011040290A1 (en) * 2009-10-01 2011-04-07 アルプス電気株式会社 Light emitting device and manufacturing method for same
WO2014136709A1 (en) * 2013-03-05 2014-09-12 株式会社フジクラ Semiconductor laser module and production method for same
WO2014136708A1 (en) * 2013-03-05 2014-09-12 株式会社フジクラ Semiconductor laser module and production method for same
JP6509451B1 (en) * 2018-04-05 2019-05-08 三菱電機株式会社 Optical module
JP2021117400A (en) * 2020-01-28 2021-08-10 パナソニックIpマネジメント株式会社 Optical unit for laser machining system and laser machining system

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009093041A (en) * 2007-10-11 2009-04-30 Sumitomo Electric Ind Ltd Optical module
WO2011040290A1 (en) * 2009-10-01 2011-04-07 アルプス電気株式会社 Light emitting device and manufacturing method for same
JP5336600B2 (en) * 2009-10-01 2013-11-06 アルプス電気株式会社 Light emitting device and manufacturing method thereof
KR101432399B1 (en) 2009-10-01 2014-08-20 알프스 덴키 가부시키가이샤 Light emitting device and manufacturing method for same
US9647421B2 (en) 2013-03-05 2017-05-09 Fujikura Ltd. Semiconductor laser module and method of manufacturing the same
WO2014136708A1 (en) * 2013-03-05 2014-09-12 株式会社フジクラ Semiconductor laser module and production method for same
JP2014170887A (en) * 2013-03-05 2014-09-18 Fujikura Ltd Semiconductor laser module and method for manufacturing the same
CN105075036A (en) * 2013-03-05 2015-11-18 株式会社藤仓 Semiconductor laser module and production method for same
WO2014136709A1 (en) * 2013-03-05 2014-09-12 株式会社フジクラ Semiconductor laser module and production method for same
US9859679B2 (en) 2013-03-05 2018-01-02 Fujikura Ltd. Semiconductor laser module and method of manufacturing the same
JP6509451B1 (en) * 2018-04-05 2019-05-08 三菱電機株式会社 Optical module
CN111971602A (en) * 2018-04-05 2020-11-20 三菱电机株式会社 Optical module
CN111971602B (en) * 2018-04-05 2022-02-25 三菱电机株式会社 Optical module
US11307376B2 (en) 2018-04-05 2022-04-19 Mitsubishi Electric Corporation Optical module
JP2021117400A (en) * 2020-01-28 2021-08-10 パナソニックIpマネジメント株式会社 Optical unit for laser machining system and laser machining system
JP7373745B2 (en) 2020-01-28 2023-11-06 パナソニックIpマネジメント株式会社 Optical unit for laser processing system and laser processing system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10870243B2 (en) Method and device for producing microstructures on optical fibers
JP2007219337A (en) Method of adhesion and fixing of optical component and laser light source apparatus
WO2017119400A1 (en) Diffractive optical element, and light irradiation device
JP6866290B2 (en) Manufacture of optical optical guides
WO2010047147A1 (en) Semiconductor laser module and method for manufacturing the same
JP2015045875A (en) Weld joining method and device having weld-joined component
JP2008250002A (en) Bonding and fixing method for optical component, and optical equipment
US9859679B2 (en) Semiconductor laser module and method of manufacturing the same
JP2008161749A (en) Resin curing apparatus
JP4822386B2 (en) Part joining method
JP2010243566A (en) Adhesion fixing method and method of fixing optical element
JP4366142B2 (en) Position-controlled adhesive bonding method
JP2004323666A (en) Bonding method, boding device and part bonding apparatus using the boding device
KR20170116841A (en) System for photo fabrication using metal-patterned polarizer comprising liquid crystal display
JP2011184468A (en) Adhesion fixing method and method for fixing optical element
JP2007090760A (en) Method for splitting substrate and method for producing electro-optical device
US20130294211A1 (en) Optical pickup device and method for manufacturing the same
JP4593100B2 (en) Article having bonding structure and bonding method thereof
WO2015133285A1 (en) Light source apparatus and optical member
WO2014155846A1 (en) Machining device
JP6650396B2 (en) Optical device manufacturing method and optical device
JP2010180404A (en) Adhesive bonding method
JP5938707B2 (en) Method of adhering optical element to optical element holding apparatus, optical element holding apparatus used in the method, and exposure apparatus provided with the optical element
JP4546719B2 (en) Position control type adhesive bonding method and apparatus
JP2005298654A (en) Joining method

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20071028