JP2007214400A - 赤外線検出素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外線を吸収した赤外線吸収部3の温度の検出手段をそれぞれに内蔵する少なくとも3本の梁2を、基板1の少なくとも3つの冷点接続部4それぞれから、赤外線吸収部3上の少なくとも1つの温点接続部5に当接させることにより、赤外線吸収部3を基板1から離隔して支え、さらに、各冷点接続部4を基板1の一直線上に配置せずに、かつ、梁2それぞれをあらかじめ定めた傾斜角度で基板1から斜めに立設させる。また、各冷点接続部4を基板1上で正多角形の頂点に配置し、梁2それぞれの軸線が、温点接続部5の1点で、または、温点接続部5を通って延長した1点で、結んだ交点と冷点接続部4とで正多角錐の頂点を形成させるようにしても良い。さらに、冷点接続部4が配置される正多角形の頂点の重心が、基板1の重心と一致させても良い。
【選択図】図1
Description
まず、本発明による赤外線検出素子の構造について、その一例を説明する。図1は、本発明による赤外線検出素子の構造の一例を示す模式図である。図1(A)が、本発明による赤外線検出素子10を斜め上から眺めた斜視図であり、図1(B)が、本発明による赤外線検出素子10を赤外線吸収部(受光部)3の上方向から眺めた平面図であり、図1(C)が、本発明による赤外線検出素子10を図1(B)の平面のM−M’面で切断した際の断面形状を示す断面図である。
次に、本発明による赤外線検出素子の第2の実施形態について説明する。本実施形態においては、前述した第1の実施形態とは異なり、少なくとも3本の梁2によって支えられる支点となる赤外線吸収部3上の温点接続部5が、赤外線吸収部3の重心の1点に集中して、正多角錐の頂点を形成するのではなく、少なくとも2つの支点で赤外線吸収部3を支える場合であり、少なくとも2つの温点接続部5は、赤外線吸収部3の重心を中心とする同一半径の円周上に形成されている場合を例示するものである。
次に、本発明による赤外線検出素子の第3の実施形態について説明する。本実施形態においては、前述した第1、第2の実施形態とは異なり、基板1上の少なくとも3個の冷点接続部4それぞれから斜めに立設した少なくとも3本の梁2と、梁2によって支えられる赤外線吸収部3上の少なくとも1つの温点接続部5と、梁2に内蔵され、温点接続部5と冷点接続部4との温度差を検出する温度検出手段とを少なくとも備えたグループを複数個備える赤外線検出素子の場合を例示するものである。ここで、複数のグループの配置位置は、基板1や赤外線吸収部3の重心位置からの線分に対して線対称の位置になっていることが望ましいが、これに限るものではなく、一直線上に並ぶ配置にならなければ、如何なる位置に配置するようにしても構わない。
次に、本発明による赤外線検出素子の第4の実施形態について説明する。本実施形態においては、前述した第1から第3の実施形態とは異なり、基板1上の少なくとも2個の冷点接続部4それぞれから斜めに立設した少なくとも2本の梁2と、梁2によって支えられる赤外線吸収部3上の少なくとも1つの温点接続部5と、梁2に内蔵され、温点接続部5と冷点接続部4との温度差を検出する温度検出手段とを少なくとも備えたグループを複数個備える赤外線検出素子の場合を例示するものである。更に言えば、各グループについて、少なくとも1つの温点接続部5を形成するための複数の梁2の中線を考えたとき、各温点接続部5を形成するそれぞれの梁2の中線を赤外線吸収部3の面上に投影した直線は、赤外線吸収部3の重心から当該温点接続部5へ延長した直線と同一直線上にある場合を例示するものである。
Claims (13)
- 赤外線を吸収する赤外線吸収部を基板から離隔して支えるための少なくとも3本の梁と、前記赤外線吸収部と前記梁との接続部を形成する少なくとも1つの温点接続部と、前記基板と前記梁との接続部を形成する少なくとも3つの冷点接続部と、前記梁に内蔵され、前記温点接続部と前記冷点接続部との温度差を検出する温度検出手段とを少なくとも備える赤外線検出素子において、前記基板上の前記冷点接続部それぞれを一直線上に配置せずに、かつ、前記梁それぞれがあらかじめ定めた傾斜角度で前記基板上の前記冷点接続部から斜めに立設されて前記赤外線吸収部上の前記温点接続部に当接していることを特徴とする赤外線検出素子。
- 少なくとも3つの前記冷点接続部は前記基板上で正多角形の頂点の位置に配置され、前記冷点接続部それぞれから前記傾斜角度を持って立設される前記梁それぞれの軸線が、前記温点接続部の1点において、あるいは、前記温点接続部を通って延長した1点において、1つの交点を結び、該交点と前記冷点接続部とで、正多角錐の頂点を形成していることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出素子。
- 前記基板上の少なくとも3つの前記冷点接続部により形成される多角形の重心位置は、前記基板の重心位置と一致することを特徴とする請求項1または2に記載の赤外線検出素子。
- 前記赤外線吸収部上に、前記梁が当接する前記温点接続部を少なくとも2つ有し、それぞれの前記温点接続部は、前記赤外線吸収部の重心を中心とした同一半径の円の円周上に配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の赤外線検出素子。
- 赤外線を吸収する赤外線吸収部を基板から離隔して支えるための少なくとも3本の梁と、前記赤外線吸収部と前記梁との接続部を形成する少なくとも1つの温点接続部と、前記基板と前記梁との接続部を形成する少なくとも3つの冷点接続部と、前記梁に内蔵され、前記温点接続部と前記冷点接続部との温度差を検出する温度検出手段とを少なくとも備えたグループを複数個備える赤外線検出素子において、少なくとも3つの前記冷点接続部が属する各グループそれぞれの前記冷点接続部により形成される多角形の重心位置を、前記基板上の一直線上に配置せずに、かつ、各グループそれぞれについて、前記梁それぞれがあらかじめ定めた傾斜角度で前記基板上の前記冷点接続部から斜めに立設されて、当該グループに属する前記赤外線吸収部上の前記温点接続部に当接していることを特徴とする赤外線検出素子。
- 各グループそれぞれに属する少なくとも3つの前記冷点接続部は、前記基板上で、それぞれの正多角形の頂点の位置に配置され、各グループそれぞれについて、前記冷点接続部それぞれから前記傾斜角度を持って立設される前記梁それぞれの軸線が、当該グループに属する前記温点接続部の1点において、あるいは、当該グループに属する前記温点接続部を通って延長した1点において、1つの交点を結び、該交点と当該グループに属する前記冷点接続部とで、正多角錐の頂点をそれぞれ形成していることを特徴とする請求項5に記載の赤外線検出素子。
- 前記基板上の各グループそれぞれの前記冷点接続部により形成される多角形それぞれの重心位置を結んで形成した多角形の重心位置、または、前記基板上の各グループそれぞれの前記冷点接続部により形成される多角形の重心位置を結ぶ直線の中心位置が、前記基板の重心位置と一致することを特徴とする請求項5または6に記載の赤外線検出素子。
- 前記赤外線吸収部上に、各グループそれぞれに属する前記梁が前記赤外線吸収部に当接する位置を当該グループに属する前記温点接続部として少なくとも2つ有し、各グループそれぞれに属する前記温点接続部により形成される多角形の重心位置、または、各グループそれぞれに属する前記温点接続部を結ぶ直線の中心位置が、前記赤外線吸収部の重心を中心とした同一半径の円の円周上に配置されていることを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載の赤外線検出素子。
- 赤外線を吸収する赤外線吸収部を基板から離隔して支えるための少なくとも2本の梁と、前記赤外線吸収部と前記梁との接続部を形成する少なくとも1つの温点接続部と、前記基板と前記梁との接続部を形成する少なくとも2つの冷点接続部と、前記梁に内蔵され、前記温点接続部と前記冷点接続部との温度差を検出する温度検出手段とを少なくとも備えたグループを複数個備える赤外線検出素子において、少なくとも2つの前記冷点接続部が属する各グループそれぞれの前記冷点接続部により形成される多角形の重心位置、または、各グループそれぞれの前記冷点接続部を結ぶ直線の中心位置を、前記基板上の一直線上に配置せずに、かつ、各グループそれぞれについて、前記梁それぞれがあらかじめ定めた傾斜角度で前記基板上の前記冷点接続部から斜めに立設されて、当該グループに属する前記赤外線吸収部上の前記温点接続部に当接していることを特徴とする赤外線検出素子。
- 各グループそれぞれに属する複数の前記梁の軸線を前記赤外線吸収部の面上に投影した位置それぞれが、当該グループについて、複数の前記梁それぞれの軸線が1点において交わる交点に、前記赤外線吸収部の重心から向かう直線を前記赤外線吸収部の面上に投影した直線に対して、線対称となる位置に配置されていることを特徴とする請求項9に記載の赤外線検出素子。
- 前記基板上の各グループそれぞれの前記冷点接続部により形成される多角形それぞれの重心位置を結んで形成した多角形の重心位置、または、前記基板上の各グループそれぞれの前記冷点接続部により形成される多角形の重心位置を結ぶ直線の中心位置が、前記基板の重心位置と一致することを特徴とする請求項9または10に記載の赤外線検出素子。
- 前記赤外線吸収部上に、各グループそれぞれに属する前記梁が前記赤外線吸収部に当接する位置を当該グループに属する前記温点接続部として少なくとも2つ有し、各グループそれぞれに属する前記温点接続部により形成される多角形の重心位置、または、各グループそれぞれに属する前記温点接続部を結ぶ直線の中心位置が、前記赤外線吸収部の重心を中心とした同一半径の円の円周上に配置されていることを特徴とする請求項9ないし11のいずれかに記載の赤外線検出素子。
- 各グループそれぞれに属する少なくとも2つの前記冷点接続部により形成される多角形の重心位置、または、各グループそれぞれに属する前記冷点接続部を結ぶ直線の中心位置のそれぞれは、前記基板上で、正多角形の各頂点の位置に配置され、かつ、各グループについて、前記傾斜角度を持って立設される前記梁それぞれの軸線が、当該グループに属する前記温点接続部の1点において、あるいは、当該グループに属する前記温点接続部を通って延長した1点において、結んでいる交点に向かって、当該グループの前記冷点接続部の前記重心位置から延長した延長線が、すべてのグループについて、1点において交わった交点と、各グループの前記冷点接続部それぞれの前記重心位置とで、正多角錐の頂点を形成していることを特徴とする請求項9ないし12のいずれかに記載の赤外線検出素子。
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