JP2007205820A - カラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】カラーフィルタ検査装置の色検査の精度を向上させる。
【解決手段】カラーフィルタ検査装置1のデータ処理部100は、三原色に着色されたカラーフィルタ3の各画素33の色度を求める色度算出部103と、色度算出部103により各画素毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した輝度情報を持つ色度画像データをRGB毎に区分して各々生成する画像データ生成部104と、画像データ生成部104によりRGB毎に生成された色度画像データを出力する画像データ出力部105とを備える。
【選択図】図7
【解決手段】カラーフィルタ検査装置1のデータ処理部100は、三原色に着色されたカラーフィルタ3の各画素33の色度を求める色度算出部103と、色度算出部103により各画素毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した輝度情報を持つ色度画像データをRGB毎に区分して各々生成する画像データ生成部104と、画像データ生成部104によりRGB毎に生成された色度画像データを出力する画像データ出力部105とを備える。
【選択図】図7
Description
本発明は、カラーフィルタの色検査を行うためのカラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法に関する。
液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどに使用されるカラーフィルタは、ガラスなどの透明な基板上にブラックマトリクス、RGB層がコーティングされた構造を有する。RGB層は、例えばスピンコート、ダイコート塗布法などによって各色を塗布した後、フォトリソグラフィによるパターニング工程を経て形成されたり、インクジェットにより塗布されて形成される。
ここで、上記の製法で製造されたカラーフィルタは、スピンコートやダイコートなどに起因する塗布ムラが生じ得る。このため、各塗布法によるインク塗布量を検査、制御し、この塗布量の均一化を図る必要がある。
そこで、上記の塗布ムラを検査する方法の一つとして顕微鏡と分光測光装置とを組み合わせた測定装置によりRGB各ラインの色を検査する顕微分光と称する方法が適用されている。また、バンドパスフィルタを介して透過させたカラーフィルタの透過光をCCDカメラなどの撮像装置により受光しカラーフィルタの色ムラを検査する検査方法なども提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2004−28833号公報
しかしながら、このような従来の検査装置では、カラーフィルタの各画素を透過させた光の透過率などに基づいて、カラーフィルタの色ムラの評価を行うため、色ムラの検査精度としては、必ずしも十分であるとはいえず、検査精度のさらなる向上が求められている。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、カラーフィルタの色検査の精度を向上させることができるカラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法の提供を目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るカラーフィルタの検査装置は、三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定する色度測定部と、前記色度測定部により各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成する画像データ生成部と、前記画像データ生成部により各原色毎に生成された前記画像データを出力する画像データ出力部と、を具備することを特徴とする。
本発明によれば、カラーフィルタ上の各画素の色を直接的に評価できる色度を測定し、この色度の座標値のいずれか一方の値に対応した例えば輝度情報などを持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成するので、画素毎の色の検査精度を向上させることができる。
また、本発明に係るカラーフィルタの検査方法は、三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定するステップと、前記カラーフィルタの各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成するステップと、前記各原色毎に生成された画像データを記憶装置に記憶させるステップと、前記記憶装置に記憶させた前記画像データを外部に出力するステップと、を有することを特徴とする。
このように本発明によれば、カラーフィルタの色検査の精度を向上させることが可能なカラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るカラーフィルタ検査装置の構成を概略的に示す図、図2は、このカラーフィルタ検査装置の光学系を詳細に示す図である。また、図3は、カラーフィルタ検査装置により測定される測定スポットを視覚的に示す図であり、さらに、図4は、このカラーフィルタ検査装置の光学系によるカラーフィルタに対しての走査の軌跡を模式的に示す図である。また、図5は、図3の測定スポットの移動軌跡を詳細に示す図である。
図1は、本発明の実施形態に係るカラーフィルタ検査装置の構成を概略的に示す図、図2は、このカラーフィルタ検査装置の光学系を詳細に示す図である。また、図3は、カラーフィルタ検査装置により測定される測定スポットを視覚的に示す図であり、さらに、図4は、このカラーフィルタ検査装置の光学系によるカラーフィルタに対しての走査の軌跡を模式的に示す図である。また、図5は、図3の測定スポットの移動軌跡を詳細に示す図である。
図1及び図2に示すように、この実施形態に係るこのカラーフィルタ検査装置1は、カラーフィルタの色検査を行うための装置であって、顕微分光測光装置2と計測制御装置5とから構成される。
顕微分光測光装置2は、カラーフィルタ(カラーフィルタ基板)3を支持するステージ15と、カラーフィルタ3に光を照射する光源7と、光源7の光の出射部に配置されたNCBフィルタ9と、光源7から出射された光がカラーフィルタ3を透過した透過光を取り込む測定部17と、光源7及び測定部17をX軸、Y軸の2軸に駆動するガントリ型の駆動機構12とを主に備える。
顕微分光測光装置2は、カラーフィルタ(カラーフィルタ基板)3を支持するステージ15と、カラーフィルタ3に光を照射する光源7と、光源7の光の出射部に配置されたNCBフィルタ9と、光源7から出射された光がカラーフィルタ3を透過した透過光を取り込む測定部17と、光源7及び測定部17をX軸、Y軸の2軸に駆動するガントリ型の駆動機構12とを主に備える。
ステージ15は、図1及び図2に示すように、コロコンベア16を有しており、このコロコンベア16を通じてカラーフィルタ3をX軸方向に搬送可能に支持する。カラーフィルタ3は、このようなステージ15が備える搬送機構によって例えば製造ライン内を搬送される。
ガントリ型の駆動機構12は、ガントリ本体部11、光源駆動部13及び測定装置駆動部14によって構成される。ガントリ本体部11は、ステージ15に支持されたカラーフィルタ3に対して、相対的に光源7及び測定部17をX軸方向に一体で移動させる。光源駆動部13及び測定装置駆動部14は、ステージ15に支持されたカラーフィルタ3に対して、相対的に光源7及び測定部17をY軸方向に移動させる。
光源7は、例えばハロゲン照明装置などによって構成されている。また、光源7としては、この他、メタルハライド照明装置、キセノン照明装置、水銀灯などを適用することもできる。NCBフィルタ9は、光源7から出射される光の短波長成分を多く透過させ、長波長成分が透過するのを抑えるために設けられている。これにより、光源7の出射光の短波長成分の相対的な不足を解消することが可能となる。
測定部17は、図2に示すように、結像部19、導光規制部材23、自動焦点装置21、エリアセンサ18などを備える顕微鏡20と、分光測光装置(分光器)25とから構成される。エリアセンサ18は、顕微鏡20により捕捉される画像領域を検出する。自動焦点装置21は、振動やカラーフィルタ3のたわみなどに起因するフォーカスずれに対して、ジャストフォーカス位置を維持するために設けられている。また、光源7の光の出射部に上記のNCBフィルタ9が取り付けられていることで、Rで±60μm、Gで±90μm、Bで±60μm程度まで、フォーカス制御範囲を広げることができ、これにより、フォーカスずれによる後述する色度の変動を抑制することができる。
導光規制部材23は、スリットまたは矩形や円形の導光規制部23aを有し、この導光規制部23aは、カラーフィルタ3側からの透過光の光束スポット径を小さくするために設けられている。すなわち、この導光規制部23aのスリット幅は、図3に示すように、カラーフィルタ3の遮光部(ブラックマトリクス)31に各々区画された画素(「絵素」とも称する)33の開口幅(RGBが着色された領域の幅)tに対し、光源スポット27内の測定スポット29の大きさが小さくなるように定められている。
これにより、カラーフィルタ3側からの透過光を測定部17側に取り込む場合において、遮光部(ブラックマトリクス)31及び測定対象の画素に隣接する画素の影響を取り除くことができる。また、この構成により、一つの画素に対する着色面の断面形状が不均一であることなどを検出することが可能である。ここで、画素33の開口幅より測定スポット29のスポット径を小さくしているものの、後に述べるように、測定されたデータの平均化を図ることで、画素の着色部分のみを選択的に測定することが可能となる。なお、このような構成に代えて、各画素33の開口幅に対し、光源スポット27内の測定スポット29の大きさが同一になるように、導光規制部23aのスリット幅を設定してもよい。この場合も前記同様、遮光部31及び測定対象の画素に隣接する画素の影響を取り除くことが可能となる。
分光測光装置25は、顕微鏡20により捕捉されたカラーフィルタ3側からの透過光を スペクトルに分解した分光データを計測制御装置5側に出力する。
計測制御装置5は、分光測光装置25側の駆動機構系の動作制御、分光測光装置25側から入力された分光データを基にした各種のデータ処理、色ムラの検査処理などを、所定の制御プログラムを通じて実行可能な例えばPC(Personal Computer)などのコンピュータ装置によって実現されている。
すなわち、計測制御装置5は、ステージ15に支持されたカラーフィルタ3に対し、図4に示すように、そのカラーフィルタ3のR画素、G画素、B画素が順次走査される方向(図4中のY方向)に測定部17を移動させる。また、計測制御装置5は、一つの画素33に対し、顕微鏡20による測定スポット29を複数設定する。ここで、計測制御装置5は、図5に示すように、一つの画素33に対しての顕微鏡20による測定スポット29a、29b、29c、29dが互いに重なり合う(ラップする)間隔で測定スポットを定める。これにより、一つの画素33が走査される方向において、未検査部分が生じることが回避される。なお、カラーフィルタ3に対して測定部17を移動させる方向を、図6に示すように、同色に着色された画素を連続的に走査する方向(図6中のX方向)に測定部17を移動させるようにしてもよい。
また、計測制御装置5は、カラーフィルタ上の各画素の色度を連続的に高速で測定できるように、実際の測定開始前に、カラーフィルタ3に対し、測定部17及び光源7を等速で一方向に動かし、分光測光装置25にて定時間間隔でサンプリング測定を行う。さらに、計測制御装置5は、分光測光装置の測定スポット29の大きさ(図3、図4参照)、上記のサンプリング時間、測定部17及び光源7(光源駆動部13及び測定装置駆動部14)の移動速度を設定する。
ここで、例えば、画素開口幅:200μm、測定範囲(測定開始から終了までの距離)100mm、測定スポット径100μm、サンプリング時間20ms、測定部17及び光源7の移動速度が1mm/sであった場合、測定時間は、測定部17及び光源7の移動速度と測定範囲より100/1=100sとなり、測定点数は、測定時間とサンプリング時間より100/0.02=5000点となる。測定ピッチは、測定点数と測定範囲より100/5000=20μmとなる。このことから、上記の条件では20μm毎に測定を行っており、この条件であれば測定スポット29が重なるように測定しているので測定抜けが生じるおそれがない。
ここで、例えば、画素開口幅:200μm、測定範囲(測定開始から終了までの距離)100mm、測定スポット径100μm、サンプリング時間20ms、測定部17及び光源7の移動速度が1mm/sであった場合、測定時間は、測定部17及び光源7の移動速度と測定範囲より100/1=100sとなり、測定点数は、測定時間とサンプリング時間より100/0.02=5000点となる。測定ピッチは、測定点数と測定範囲より100/5000=20μmとなる。このことから、上記の条件では20μm毎に測定を行っており、この条件であれば測定スポット29が重なるように測定しているので測定抜けが生じるおそれがない。
また、計測制御装置5は、そのメインメモリ上で実行される上記の制御プログラム(ソフトウェア)により、データ処理部100及び色ムラ検査部200を実現する。
ここで、データ処理部100の構成を図7〜図11に基づき説明する。前記の図7は、データ処理部100の構成を機能的に示すブロック図、図8〜図10は、各画素毎の色度データの算出方法を説明するための図、図11は、各原色(RGB)毎に区分して各々生成される色度画像データの生成方法を概念的に示す図である。
ここで、データ処理部100の構成を図7〜図11に基づき説明する。前記の図7は、データ処理部100の構成を機能的に示すブロック図、図8〜図10は、各画素毎の色度データの算出方法を説明するための図、図11は、各原色(RGB)毎に区分して各々生成される色度画像データの生成方法を概念的に示す図である。
すなわち、データ処理部100は、図7に示すように、データ受付部101と、記憶部102と、色度算出部103と、画像データ生成部104と、画像データ出力部105と、から主に構成される。データ受付部101は、計測制御装置5側からの分光データを入力する。色度算出部103は、三原色に着色されたカラーフィルタ3の各画素33の二つのパラメータ(x,yからなる座標値)で定まる色度を算出する。画像データ生成部104は、色度算出部103により各画素33毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ色度画像データを各原色毎に区分して各々生成する。画像データ出力部105は、画像データ生成部104により生成された色度画像データを色ムラ検査部200や例えば計測制御装置5の表示装置(CRT)に出力する。
詳細には、色度算出部103は、図8(a)、図8(b)、図9(a)、図9(b)、図10(a)、図10(b)に示すように、赤色の成分であるRは、xy色度図の色度座標xのピーク値を取得し、緑色の成分であるGは、xy色度図の色度座標yのピーク値を取得し、青色の成分としてのBは、xy色度図の色度座標yのボトム値を取得することにより、カラーフィルタ3上の各画素の色度データ(色度の座標値のいずれか一方の値)を求める。このようにして求められた色度データの値は、上記の図8〜図10及び図11に示すように、カラーフィルタ3上の各画素をそれぞれ特定する画素番号に対応付けられて記憶部102に記憶される。すなわち、この画素番号との対応付けにより、カラーフィルタ3の各画素の配列に対応した配列情報が色度データR11、R12、G11、G12、B11、B12……に付与される。
画像データ生成部104は、図11に示すように、記憶部102に記憶された色度データの値を所定の桁数で数値化、つまり例えば4桁で整数値化するために、色度データの例えば小数点の5桁目以下を切り捨て(又は小数点の5桁目を四捨五入し)た後、その数値を10000倍することで、有効数字4桁の整数データを作成する。すなわち、この整数データは、色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報となり、カラーフィルタ3の色ムラの評価を可能とする輝度データR21、R22、G21、G22、B21、B22……としての属性を付与される。
さらに、画像データ生成部104は、図11に示すように、各画素毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ色度画像データを各原色毎(RGB毎)に区分して各々生成する。各原色毎に生成されたR色度画像データR31、R32、G色度画像データG31、G32、B色度画像データB31、B32……は、色度データR11、R12、G11、G12、B11、B12……、及び上記した輝度データR21、R22、G21、G22、B21、B22……と、それぞれ上記画素番号を通じてそれぞれ対応付けられて記憶部102に記憶される。
すなわち、R色度画像データR31、R32…、G色度画像データG31、G32…、及びB色度画像データB31、B32……は、赤色、緑色、及び青色ごとに区分されるとともにカラーフィルタ3上の各画素の配列に対応した配列で並べられ、かつ各々が明暗の情報(輝度データ)を有する。したがって、例えば、画像データ出力部105を通じて色度画像データが計測制御装置5の表示装置(CRT)などに出力された場合、カラーフィルタ3上の色ムラを目視などでも容易に把握することが可能となる。また、このような色度画像データは、各画素の配列に対応した配列情報を有するので、カラーフィルタ3の全面に対して色ムラが生じている部位などを把握でき、これにより、色ムラの発生部位の傾向性などを得ることなども可能となる。
次に、画像データ生成部104により生成された色度画像データが画像データ出力部105を通じて色ムラ検査部200に出力される場合について説明を行う。
色ムラ検査部200は、図12に示すように、カラーフィルタ3の色ムラに関する要素の良否を自動判定する機能を有する。すなわち、同図12に示すように、色ムラ検査部200は、入力された対象画像に混入されているノイズを除去する平滑化処理を行う前処理部214と、前処理後の対象画像(被検査画像)に基づいて最小限の空間フィルタを用いて対象画像の色ムラを強調して強調画像を作成する色ムラ強調部(強調手段)216と、上側閾値と下側閾値を設定する閾値設定部218と、設定された上側閾値を用いて前記強調画像を2値化して色ムラ強分布画像を作成する色ムラ強分布抽出部220と、設定された下側閾値を用いて前記強調画像を2値化して色ムラ弱分布画像を作成する色ムラ弱分布抽出部222と、色ムラ強分布画像中の色ムラに対応する色ムラ弱分布の色ムラの領域のみをラベリングして候補領域が抽出された候補領域ラベリング画像を作成する色ムラ候補選定部224と、抽出された候補領域に関して形状データを算出する色ムラ候補形状データ解析部226と、算出された形状データから色ムラの良否を判定する形状データ判定部228と、該判定部228に判定条件を設定する形状データ判定条件設定部230とを備えている。
色ムラ検査部200は、図12に示すように、カラーフィルタ3の色ムラに関する要素の良否を自動判定する機能を有する。すなわち、同図12に示すように、色ムラ検査部200は、入力された対象画像に混入されているノイズを除去する平滑化処理を行う前処理部214と、前処理後の対象画像(被検査画像)に基づいて最小限の空間フィルタを用いて対象画像の色ムラを強調して強調画像を作成する色ムラ強調部(強調手段)216と、上側閾値と下側閾値を設定する閾値設定部218と、設定された上側閾値を用いて前記強調画像を2値化して色ムラ強分布画像を作成する色ムラ強分布抽出部220と、設定された下側閾値を用いて前記強調画像を2値化して色ムラ弱分布画像を作成する色ムラ弱分布抽出部222と、色ムラ強分布画像中の色ムラに対応する色ムラ弱分布の色ムラの領域のみをラベリングして候補領域が抽出された候補領域ラベリング画像を作成する色ムラ候補選定部224と、抽出された候補領域に関して形状データを算出する色ムラ候補形状データ解析部226と、算出された形状データから色ムラの良否を判定する形状データ判定部228と、該判定部228に判定条件を設定する形状データ判定条件設定部230とを備えている。
この色ムラ検査部200によれば、ムラの形状に応じて多数の空間フィルタを用いる強調処理を行う必要がないので、短い処理時間で検査を行うことができる。また、適切な閾値の設定が容易であり、不感帯(検査できない領域)を小さくすることができるので、未検出を少なくすることができ、また、ムラの強さと形状を使って判定することができるので、誤検出を少なくすることができる。さらに、フィルタのサイズを小さくすることができるので、被検査画像における未検査領域を小さくすることができ、また、色ムラの形状も計測することができる。
次に、このように構成されたカラーフィルタ検査装置1によるカラーフィルタ3の色検査の方法を上記した図1〜図12に加え、図13に示すフローチャートに基づきその説明を行う。
まず、測定スポット29のスポットの大きさ、サンプリング時間、測定部17の移動速度が設定される(ステップ1[S1])。次に、設定した移動速度で、カラーフィルタ3に対する測定部19の相対移動が開始され(S2)、自動焦点装置21による焦点合わせが行われる(S3)。この後、カラーフィルタ3に対して測定部17を、例えば図4及び図5に示すように相対的に移動させつつ、設定した測定スポットの大きさ及びサンプリング時間で測定を行い分光データが得られる(S4)。
まず、測定スポット29のスポットの大きさ、サンプリング時間、測定部17の移動速度が設定される(ステップ1[S1])。次に、設定した移動速度で、カラーフィルタ3に対する測定部19の相対移動が開始され(S2)、自動焦点装置21による焦点合わせが行われる(S3)。この後、カラーフィルタ3に対して測定部17を、例えば図4及び図5に示すように相対的に移動させつつ、設定した測定スポットの大きさ及びサンプリング時間で測定を行い分光データが得られる(S4)。
この分光データを基に図7〜図10に示すように色度座標x/yのピーク値/ボトム値が色度算出部103により取得され、図11に示すように、各画素33毎に色度データが算出される(S5)。この後、図11に示すように、画像データ生成部104によって色度データの整数値化及び輝度データの算出が行われ(S6)、さらに、図11に示すように、原色毎のR色度画像データ、G色度画像データ、及びB色度画像データが、それぞれ生成される(S7)。この後、これらの色度画像データが例えば色ムラ検査部200に出力されて(S8)、カラーフィルタ3の色ムラに関する要素の良否が自動判定される。
既述したように、本実施形態のカラーフィルタ検査装置1によれば、カラーフィルタ上3の各画素33の色を直接的に評価できる色度データを測定し、この色度データの値に対応した輝度データを持つ色度画像データを各原色毎に区分して各々生成するので、画素33毎の色の検査精度を向上させることができる。
また、本実施形態のカラーフィルタ検査装置1では、カラーフィルタ3全体について、微小な測定スポット29を連続的に1回走査して測定を行うだけで、カラーフィルタ3全体についてのRGB毎の色度画像データを生成することができ、これにより、カラーフィルタ3のRGB毎の色ムラ検査を行うことができる。したがって、カラーフィルタ検査装置1によれば、効率的かつ高精度に色ムラ検査を行うことができる。
以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。すなわち、顕微分光測光装置2の光検出素子部分については、得に詳細に説明を行わなかったが、この光検出素子部分には、フォトダイオードアレイ、裏面入射型CCDリニアイメージセンサ電子冷却型CCDエリアイメージセンサなどを使用することができる。これにより、顕微分光測光装置2自体の測定時間が速くなり、RGB各画素の色度をより高速に測定することができる。また、上記した自動焦点装置21の動作原理に、赤外光によるパターン投影法及び半導体個体レーザによるナイフエッジ法を使用してもよい。さらに、顕微鏡20の鏡筒部分にダブルポートを設置し、その上部出口の一方に分光測光装置25を、もう一方にCCDカメラなどを取り付けるようにしてもよい。この場合、ユーザが測定箇所を確認しながら検査を行うことができ、検査精度の信頼性を高めることができる。
1…カラーフィルタ検査装置、2…顕微分光測光装置、3…カラーフィルタ、5…計測制御装置、7…光源、17…測定部、25…分光測光装置、33…画素、100…データ処理部、102…記憶部、103…色度算出部、104…画像データ生成部、105…画像データ出力部、200…色ムラ検査部。
Claims (10)
- 三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定する色度測定部と、
前記色度測定部により各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成する画像データ生成部と、
前記画像データ生成部により各原色毎に生成された前記画像データを出力する画像データ出力部と、
を具備することを特徴とするカラーフィルタの検査装置。 - 前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報は、前記カラーフィルタの色ムラを評価するための所定の桁数で数値化された輝度データであることを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの検査装置。
- 前記カラーフィルタの各画素の透過光を分光した分光データを色度を算出するための入力データとして用い、かつ三原色R,G,Bのうち、Rはxy色度図の色度座標xのピーク値を取得し、Gは色度座標yのピーク値を取得し、Bは色度座標yのボトム値を取得することにより、前記カラーフィルタ上の各画素における前記色度の座標値のいずれか一方の値が求められることを特徴とする請求項1又は2記載のカラーフィルタの検査装置。
- 前記画像データ出力部から出力された前記画像データを入力する画像データ入力部と、
前記画像データ入力部より入力された画像データを解析して、カラーフィルタの色ムラに関する要素の良否を判定する色ムラ検査部と、
をさらに具備することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のカラーフィルタの検査装置。 - 前記画像データ生成部により生成された前記画像データは、前記カラーフィルタの各画素の配列に対応した配列情報を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のカラーフィルタの検査装置。
- 前記カラーフィルタ上に配列された各画素が前記のカラーフィルタの基板面に沿った方向に連続的に走査されつつ個々の画素の色度が測定されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のカラーフィルタの検査装置。
- 三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定するステップと、
前記カラーフィルタの各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成するステップと、
前記各原色毎に生成された画像データを記憶装置に記憶させるステップと、
前記記憶装置に記憶させた前記画像データを外部に出力するステップと、
を有することを特徴とするカラーフィルタの検査方法。 - 前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報は、前記カラーフィルタの色ムラの評価を可能とする輝度データであることを特徴とする請求項7記載のカラーフィルタの検査方法。
- 前記カラーフィルタの各画素の透過光を分光した分光データが色度を算出するための入力データとして用いられ、かつRはxy色度図の色度座標xのピーク値を取得し、Gは色度座標yのピーク値を取得し、Bは色度座標yのボトム値を取得することにより、前記カラーフィルタ上の各画素における前記色度の座標値のいずれか一方の値が求められることを特徴とする請求項7又は8記載のカラーフィルタの検査方法。
- 前記生成された画像データは、前記カラーフィルタの各画素の配列に対応した配列情報を有することを特徴とする請求項7ないし9のいずれか1項に記載のカラーフィルタの検査方法。
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JP2007205820A true JP2007205820A (ja) | 2007-08-16 |
Family
ID=38485422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006023914A Withdrawn JP2007205820A (ja) | 2006-01-31 | 2006-01-31 | カラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007205820A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013246357A (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 画像撮影装置 |
CN110220674A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-09-10 | 深圳大学 | 显示屏健康性能评估方法与装置 |
-
2006
- 2006-01-31 JP JP2006023914A patent/JP2007205820A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013246357A (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 画像撮影装置 |
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CN110220674B (zh) * | 2019-04-25 | 2021-06-01 | 深圳大学 | 显示屏健康性能评估方法与装置 |
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