JP2007203426A - Thinning device and thinning forming method for drill - Google Patents

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Yohei Nanbu
洋平 南部
Kazuhiro Ochiai
一裕 落合
Daisuke Akiba
大輔 秋葉
Teruaki Nagakubo
輝昭 永久保
Shinichi Matsuda
信一 松田
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NIPPON NOZZLE SEIKI CO Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for readily applying accurate thinning to, in particular, a minute diameter drill without relying on a skilled worker and requiring special technique. <P>SOLUTION: This thinning device for the drill 3 is provided with: a chuck unit 20 for holding the drill 3 to which thinning working is applied; a grinding wheel unit 10 having a rotary grinding wheel 11 and installed and fixed at a specific position; a stage unit 30 for moving and positioning the chuck unit 20 in at least the axial direction Y of the drill 3 and the direction X being right-angled to the axial direction in a horizontal plane for the rotary grinding wheel 11; and a positioning unit 40 for positioning the drill 3 at a predetermined position other than a thinning working position of the drill 3 to perform thinning working by using the predetermined position as an original point and driving and controlling the stage unit 30 from the original point. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ドリルの性能を向上させるためにドリル先端に施される、シンニングに関する。   The present invention relates to thinning applied to a drill tip in order to improve the performance of the drill.

近年、産業界においては、高密度プリント基板をはじめ、ディーゼルエンジン用燃料噴射ノズルや、化繊紡糸ノズル、ベアチップの半田ボール用治具等に対する微細孔あけの要請が急速に増してきている。又、これらの微細孔あけ用途においては、例えば孔の直径0.2mmに対して深さ4mm等のように、非常に高いアスペクト比の孔あけが要求されるものもある。これらの微細深孔加工では、切削時において切削する先端の加工点が間欠的にせよ被削材である素材の中に長く留まり、先端から発生する熱の逃げ場がないという性質上、加工点(ドリル先端と孔あけ対象部材の接触点)の温度が非常に高くなるため、高温でも軟化し難い超硬合金からなるツイストドリルが主として使われている。   In recent years, there has been a rapid increase in the demand for fine drilling in high-density printed circuit boards, diesel engine fuel injection nozzles, chemical fiber spinning nozzles, bare chip solder ball jigs, and the like. In addition, in these micro-drilling applications, there are some which require a very high aspect ratio drilling, for example, a depth of 4 mm for a diameter of 0.2 mm. In these micro deep hole machining, the machining point of the tip to be cut at the time of cutting stays long in the material that is the work material intermittently, and there is no escape space for the heat generated from the tip. Since the temperature at the point of contact between the drill tip and the member to be drilled becomes very high, twist drills made of a cemented carbide that is difficult to soften even at high temperatures are mainly used.

しかしながら、超硬合金は靭性が低いため、微細径では折損を起こし易いという欠点がある。最近では、WC(タングステンカーバイト)の結晶粒の微細化により、靭性や硬さを向上させる試みもなされているが、実用性の面でまだ不十分である。   However, since the cemented carbide has low toughness, there is a drawback that breakage is likely to occur at a fine diameter. Recently, attempts have been made to improve toughness and hardness by refining crystal grains of WC (tungsten carbide), but it is still insufficient in terms of practicality.

更には、この様な微細径の深孔加工においては、切粉の排出が困難である上、加工点の温度が高いため、切粉の溶着が発生し易いという問題がある。ドリルの先端に溶着物が付着すると、ドリル本来の穿孔機能が著しく低められるが、微細径のドリルの場合、極めて小さなサイズの溶着物がドリル全体の大きさに対して相対的に非常に大きく影響するため、この溶着物による悪影響は、通常のドリルの比ではない。   Furthermore, in such a deep hole drilling with a fine diameter, it is difficult to discharge chips, and the temperature of the processing point is high, so that there is a problem that chip welding is likely to occur. When a weld deposit adheres to the tip of the drill, the drilling function inherent to the drill is significantly reduced. However, in the case of a fine-diameter drill, the extremely small size of the weld deposit has a relatively large effect on the overall drill size. Therefore, the adverse effect of this weld is not the ratio of a normal drill.

このような観点から、発明者らは、いわゆるシンニング加工に着目した。シンニング加工とは、ドリルの先端に特定形状の切り欠き部を形成することである。ドリルにおける孔あけ加工においては、ドリル先端のいわゆる「チゼル」が、素材に対して軸方向に押圧され、素材を塑性変形させることで素材の除去加工を行うため、チゼルによる素材の押圧力は大きな方が好ましい。この点、太いドリルでは十分な強度があるために、大きな軸方向押圧力を得ることができるが、微細径ドリルでは大きな軸方向押圧力はドリル自身の座屈折損を招く。よって、微細径ドリルになるほど「チゼル」自体をシンニング加工により小さくして、ドリル自身が座屈折損しない程度の軸方向の押圧力においても、チゼル部分の押圧力を稼ぐようにすることが望まれる。その目的達成のため、シンニング加工によりチゼル部分を小さくし、結果として加工点の温度を低減させると共に、切削の際に生じる切粉の排出性を良くし、この切粉がドリルに溶着することを低減させる。このシンニング加工自体は公知の技術である。   From such a viewpoint, the inventors have paid attention to so-called thinning. Thinning is to form a notch with a specific shape at the tip of a drill. In drilling with a drill, the so-called “chisel” at the tip of the drill is pressed against the material in the axial direction, and the material is removed by plastic deformation. Is preferred. In this respect, since a thick drill has sufficient strength, a large axial pressing force can be obtained, but in a fine drill, a large axial pressing force causes a seat refraction loss. Therefore, it is desirable to reduce the size of the “chisel” itself by thinning so that the drill has a smaller diameter so that the pressing force of the chisel portion can be earned even with an axial pressing force that does not cause the refraction loss of the drill itself. . In order to achieve that purpose, the chisel portion is made smaller by thinning, and as a result, the temperature at the machining point is reduced, and the discharge of chips generated during cutting is improved, so that the chips are welded to the drill. Reduce. This thinning process itself is a known technique.

この技術は、径の細いドリルになればなるほど回転対称に精度良く加工することが求められ、径が3mm以下の細い径のドリルでシンニング加工された市販品は非常に少ないのが現状である。   This technique is required to be machined with high accuracy in rotational symmetry as the diameter of the drill becomes smaller, and there are very few commercially available products that have been thinned with a drill having a diameter of 3 mm or less.

ドリルの先端にシンニング加工を施すための装置としては、従来、特許文献1に自動ドリル研磨機が、特許文献2にドリル研削装置がそれぞれ開示されている。   Conventionally, as an apparatus for performing a thinning process on the tip of a drill, Patent Document 1 discloses an automatic drill polishing machine, and Patent Document 2 discloses a drill grinding apparatus.

特許文献1に記載の自動ドリル研磨機は、回転砥石と、砥石移動手段と、チャックと、チャック回転手段と、チャック傾動手段と、チャック移動手段と、ドリル刃先検出センサーと、を備え、該制御手段からの制御信号に基づいて前記砥石移動手段、チャック回転手段、チャック傾動手段及びチャック移動手段を作動させるサーボ機構を制御するものである。   The automatic drill polishing machine described in Patent Document 1 includes a rotating grindstone, a grindstone moving means, a chuck, a chuck rotating means, a chuck tilting means, a chuck moving means, and a drill blade edge detection sensor, and the control Based on a control signal from the means, a servo mechanism for operating the grindstone moving means, chuck rotating means, chuck tilting means and chuck moving means is controlled.

一方、特許文献2に記載のドリル研削装置は、X軸テーブルと、Y軸テーブルと、Y軸テーブルに配置されたZ軸テーブルと、Z軸テーブルに水平且つX軸方向に平行に配置されてドリルをチャックする機能を有する割出主軸と、X軸テーブルに配置され、ドリルに対して直交する位置から所定の角度位置まで水平に旋回自在な砥石軸テーブルと、砥石軸テーブルに配置された砥石軸モータと、外周面とこれに連なる基端部外周面がドリルの先端角とパイロットの先端角に応じた形状をなし、砥石軸モータの回転軸に固定された回転砥石と、を備えるもので、各テーブル、割出主軸及び砥石軸モータを制御しながらドリルを移動・回転させ、一方、回転砥石を回転させてドリルの切れ刃及びパイロット切れ刃に接触させながらパイロットの付根部を中心に旋回させることにより、ドリルの切れ刃とパイロット切れ刃と逃げ面とを同時に研削するものである。   On the other hand, the drill grinding apparatus described in Patent Document 2 is arranged in parallel with the X-axis table, the Y-axis table, the Z-axis table arranged on the Y-axis table, and the Z-axis table parallel to the X-axis direction. An indexing spindle having a function of chucking a drill, a grindstone shaft table disposed on the X-axis table and horizontally rotatable from a position orthogonal to the drill to a predetermined angle position, and a grindstone disposed on the grindstone shaft table A shaft motor, and an outer peripheral surface and a base end outer peripheral surface connected to the outer peripheral surface have a shape corresponding to the tip angle of the drill and the tip angle of the pilot, and a rotating grindstone fixed to the rotating shaft of the grindstone shaft motor. The drill is moved and rotated while controlling each table, indexing spindle and grinding wheel spindle motor, while the rotating grinding wheel is rotated and brought into contact with the drill cutting edge and pilot cutting edge to attach the pilot. By pivoting around a part, it is to simultaneously grind the cutting edge and the pilot cutting edge and a flank of the drill.

いずれの装置も回転砥石によってドリルの先端部分にシンニング加工を施すことができると謳われている。   Both devices are said to be capable of thinning the tip of the drill with a rotating grindstone.

特開平10−217073号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-217073 特開2004−142057号公報JP 2004-142057 A

しかしながら、前述した特許文献1及び特許文献2に記載されるような装置は、いずれも超微細な深孔加工を施すためのドリル(例えばドリルの直径が0.5mm以下のドリル)に対するシンニング加工が想定された装置ではなく、現に、この様な微細径ドリルのシンニング加工を良好に行い得る性能は有していなかった。即ち、単に上記従来存在するドリル加工装置の各部(例えば、回転砥石の砥面やドリルチャックなど)の大きさを小さくしただけでは、こうした微細径ドリルの正確なシンニング加工を行うことはできなかった。   However, the apparatuses as described in Patent Document 1 and Patent Document 2 described above are capable of thinning a drill for performing ultrafine deep hole processing (for example, a drill having a drill diameter of 0.5 mm or less). In fact, it was not an assumed device, and at present, it did not have the ability to satisfactorily perform such a thin diameter drilling process. That is, simply thinning the size of each part of the conventional drilling device (for example, the grinding surface of a rotating grindstone, drill chuck, etc.) could not perform accurate thinning of such a fine diameter drill. .

例えば、中実軸では、その剛性を示す断面二次モーメントは径の4乗に比例する。例えば外径3mmと0.3mmの中実軸を比較すれば、10000倍の剛性の差になる。従って、中実軸に切粉排出のための溝を設けた形状の微細径のツイストドリルでは一層剛性が低くなる。微細径のドリルは、通常の太さのドリルに比べて、ドリル自体の剛性が極端に低いため、従来の装置を使ってシンニング加工をしようとすると、研磨の際に加工位置が僅かにずれることによって回転砥石から受ける負荷が大きくなると、ドリルは容易に折損した。又、シンニングの加工時には折損に至らなくても、加工精度の不適なドリルは、実際の穿孔加工時に容易に折損してしまい、「製品」として成立し得なかった。   For example, in the solid axis, the cross-sectional secondary moment indicating the rigidity is proportional to the fourth power of the diameter. For example, if the solid axes of the outer diameters of 3 mm and 0.3 mm are compared, the difference in rigidity is 10,000 times. Accordingly, the rigidity of the twist drill having a fine diameter in which a groove for discharging chips is provided on the solid shaft is further reduced. Since the drill with a small diameter is extremely low in rigidity compared to a drill with a normal thickness, if the thinning process is performed using a conventional device, the processing position will slightly shift during polishing. The drill easily broke when the load received from the rotating whetstone increased. Even if the thinning process does not cause breakage, a drill with inadequate machining accuracy is easily broken during actual drilling and cannot be established as a “product”.

結果として、現存のドリル加工装置では、こうした微細径ドリルのシンニング加工には対応できず、熟練工による手作業に頼らざるを得ないというのが実情であった。しかし、熟練工の数は限られており、加工できる本数は僅かである。加えて、シンニング加工は1本のドリルの先端に少なくとも2箇所以上に回転対称の同形状の加工を施すことが必要となるが、たとえ熟練工といえども、同品質のシンニング加工を常に処理し続けるのは困難であった。そのため、結局は、熟練工が何本か加工した中から出来の良いもののみを製品として出荷することになり、歩留まりが著しく低く、高コストとならざるを得なかった。   As a result, the existing drilling apparatus cannot cope with the thinning of such a fine diameter drill, and has to rely on manual work by skilled workers. However, the number of skilled workers is limited, and the number that can be processed is small. In addition, the thinning process requires the same shape of rotational symmetry to be applied to at least two locations on the tip of a single drill, but the thinning process of the same quality is always processed even by skilled workers. It was difficult. As a result, only a good product was shipped from among the skilled workers, and the yield was remarkably low, leading to high costs.

このような状況では、産業界の近年の要求に応じて、性能の優れた微細孔用のドリルを大量に且つ低コストに提供することは不可能である。   Under such circumstances, it is impossible to provide a large number of drills for fine holes with excellent performance at a low cost in accordance with the recent demands of the industry.

本発明は、これらの問題点を解決するべくなされたものであって、ドリル先端に正確にシンニングを形成することを目的とし、特に、微細径ドリルにおいて、熟練工に頼ることなく、特別な技術を要せずに正確なシンニング加工を施すことができる装置及びその方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve these problems, and aims to form a thinning accurately at the tip of the drill. In particular, in a fine diameter drill, a special technique can be used without relying on a skilled worker. An object of the present invention is to provide an apparatus and method capable of performing an accurate thinning process without necessity.

本発明は、シンニング加工をしようとするドリルを保持可能なチャックユニットと、回転砥石を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニットと、前記回転砥石に対して、前記チャックユニットを、少なくともドリルの軸方向であるY軸方向及び該軸方向と水平面内の直角の方向であるX軸方向に移動・位置決め可能とするステージユニットと、前記ドリルのシンニング加工位置以外の所定の位置に、前記ドリルを位置決め可能とする位置決めユニットと、を備え、前記所定の位置を原点として、該原点からの前記ステージユニットの駆動・制御により前記シンニング加工位置におけるシンニング加工を行うシンニング装置を提供することによって上記課題を解決するものである。   The present invention provides a chuck unit capable of holding a drill to be thinned, a grindstone unit having a rotating grindstone and fixed at a specific position, and at least the chuck unit for the rotating grindstone. A stage unit that can be moved and positioned in the Y-axis direction that is the axial direction of the X-axis and the X-axis direction that is a direction perpendicular to the axial direction in the horizontal plane, and the drill at a predetermined position other than the thinning position of the drill And a thinning device that performs thinning at the thinning position by driving and controlling the stage unit from the origin with the predetermined position as an origin. Is a solution.

又、本発明は、シンニング加工をしようとするドリルを保持可能なチャックユニットと、回転砥石を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニットと、該砥石に対して、前記チャックユニットを、少なくともドリルの軸方向であるY軸方向及び該軸方向と水平面内の直角の方向であるX軸方向に移動・位置決め可能とするステージユニットと、前記ドリルのシンニング加工位置以外の所定の位置に、前記ドリルを位置決め可能とする位置決めユニットとを備えたドリルのシンニング装置によるシンニング形成方法であって、前記所定の位置を原点として、該原点から前記ステージユニットを駆動・制御する工程を経るシンニング形成方法を提供することで上記課題を解決するものである。   The present invention also provides a chuck unit capable of holding a drill to be thinned, a grindstone unit having a rotating grindstone and fixed at a specific position, and the chuck unit at least for the grindstone. A stage unit capable of moving and positioning in the Y-axis direction, which is the axial direction of the drill, and the X-axis direction, which is a direction perpendicular to the axial direction in the horizontal plane, and a predetermined position other than the thinning position of the drill, A thinning forming method using a drill thinning apparatus including a positioning unit that enables positioning of a drill, the thinning forming method including a step of driving and controlling the stage unit from the predetermined position with the predetermined position as an original point By providing, the above-mentioned problems are solved.

微細径ドリルの更にその先端にシンニング加工を施すとすれば、非常に高い位置精度が求められるが、前述したように、従来提案されている装置では、微細径ドリルのシンニング加工を良好に行うことはできなかった。この理由は、必ずしも明らかではないが、推察するに、従来の装置は、いずれも、回転砥石を移動させるための砥石移動手段と、ドリルチャックを移動させるためのドリルチャック移動手段とを有し、切削の際に、回転砥石とドリルチャックが共に移動する構成とされており、管理すべき位置変動要素が多く、誤差が累積的に大きくなっていたためではないかと思われる。又、特に、回転砥石を移動させるに当たっては、回転砥石自体が加工しようとするドリルの絶対寸法に対して相対的に非常に大きな質量を有しているために、その精度には自ずと限界があったものと推察される。   If thinning is applied to the tip of a fine diameter drill, very high positional accuracy is required. However, as described above, with a conventionally proposed apparatus, thinning of a fine diameter drill should be performed satisfactorily. I couldn't. The reason for this is not necessarily clear, but it is conjectured that all the conventional devices have a grindstone moving means for moving the rotating grindstone and a drill chuck moving means for moving the drill chuck, It is considered that the rotary grindstone and the drill chuck move together during cutting, and there are many position variation factors to be managed, and the error is cumulatively increased. In particular, when moving the rotating grindstone, the rotating grindstone itself has a very large mass relative to the absolute dimensions of the drill to be processed, so its accuracy is naturally limited. Inferred.

本発明では、従来の装置の駆動・制御形態を抜本的に改め、先ず回転砥石を有する砥石ユニットを特定の位置に固定するようにした。これにより、装置全体から砥石の位置変動要素を取り除くことができる。「砥石が移動する」というのは、たとえ砥石の移動すべき軸(パラメータ)が限られていたとしても、そのガイド系の設置誤差があることを考えると、誤差の発生要素は必ず3次元的に存在することになる。しかし、本発明では、特に重量のある砥石ユニットの位置を固定し、位置変動要素から外すようにしたため、砥石に関しては位置的誤差の発生要因はなくなる。そのため、装置全体の位置精度を大きく向上させることができる。   In the present invention, the drive / control mode of the conventional apparatus is drastically changed. First, the grindstone unit having the rotating grindstone is fixed at a specific position. Thereby, the position variation element of the grindstone can be removed from the entire apparatus. “Wheel moves” means that even if the axis (parameter) to which the grinding wheel should move is limited, considering that there is an error in the installation of the guide system, the error generating element must be three-dimensional. Will exist. However, in the present invention, since the position of the grindstone unit that is particularly heavy is fixed and removed from the position variation element, the cause of the positional error is eliminated with respect to the grindstone. Therefore, the position accuracy of the entire apparatus can be greatly improved.

本発明では、更に、位置決めユニットによりシンニング加工位置とは異なるところでドリルを位置決めするようにしたため、ドリルの位置決めの際に砥石等の存在が邪魔になることがなく、障害物の全くない空間で、例えば光学的手法により、極めて正確なドリルの位置決めが可能である。そのため、ドリルの原点位置の設定に関しても、誤差は殆ど発生しない。   In the present invention, since the drill is positioned at a position different from the thinning position by the positioning unit, the presence of a grindstone or the like does not get in the way when positioning the drill, and there is no obstacle at all. For example, an extremely accurate drill positioning is possible by an optical method. Therefore, there is almost no error in setting the drill origin position.

従って、この正確に割り出すことが可能な当該所定の位置を原点としてステージユニットの駆動によりシンニング形成を行うようにしていることから、装置全体で発生する誤差の要因を、ステージユニットのX−Y平面上における駆動誤差のみに集約することができる。ドリルは非常に軽く、チャックユニットを含めても質量はそれほど大きくならない。そのため、現在のX−Yステージユニットの駆動分解能で、十分熟練工と同品質、或いはそれ以上の品質のシンニング加工を行うことが可能である。   Accordingly, since thinning is performed by driving the stage unit with the predetermined position that can be accurately determined as the origin, the cause of the error occurring in the entire apparatus is represented by the XY plane of the stage unit. Only the driving errors above can be summarized. The drill is very light and the mass is not so large even if the chuck unit is included. For this reason, it is possible to perform a thinning process having a quality equivalent to or sufficiently higher than that of a skilled worker with the current drive resolution of the XY stage unit.

なお、前記ステージユニットを、更に、X軸方向及びY軸方向の双方と垂直な方向であるZ軸方向にも前記チャックユニットを移動・位置決め可能であるように構成してもよい。   The stage unit may be further configured to be able to move and position the chuck unit also in the Z-axis direction, which is a direction perpendicular to both the X-axis direction and the Y-axis direction.

これにより、径の異なる砥石にも対応でき、又、シンニング形成の自由度を3次元的に拡張することができる。   As a result, it is possible to deal with grindstones having different diameters, and the degree of freedom of thinning can be expanded three-dimensionally.

又、更に、前記位置決めユニットに、前記所定の位置における前記ドリルの先端を、前記Y軸方向から観察するための第1のカメラユニットを備えて構成してもよい。   Furthermore, the positioning unit may be configured to include a first camera unit for observing the tip of the drill at the predetermined position from the Y-axis direction.

これにより、ドリル先端の形状をドリルの軸方向から観察することができ、シンニング形成前の位置決めのみならず、シンニング形成後の確認、特に、1本のドリルに2箇所以上施されるシンニングが回転対称となるように形成されているか否かの確認を正確に行うことも可能となる。   As a result, the shape of the drill tip can be observed from the axial direction of the drill, and not only positioning before thinning formation but also confirmation after thinning formation, especially thinning applied to two or more locations on one drill is rotated. It is also possible to accurately check whether or not it is formed so as to be symmetrical.

又、前記位置決めユニットに、更に、前記所定の位置を、前記X軸方向又は前記Z軸方向から観察可能な第2のカメラユニットを備えて構成してもよい。   The positioning unit may further include a second camera unit that can observe the predetermined position from the X-axis direction or the Z-axis direction.

これにより、当該カメラにより撮影された映像を利用して、ドリルのY軸方向の座標を決定することができる。   Thereby, the coordinate of the Y-axis direction of a drill can be determined using the image | video image | photographed with the said camera.

又、前記加工位置を、該加工位置と前記砥石の回転中心とを結ぶ線と、該砥石の回転中心を通るY軸と平行な線とで作る角度が40°±10°となる位置としてもよい。   Further, the processing position may be a position where an angle formed by a line connecting the processing position and the rotation center of the grindstone and a line parallel to the Y axis passing through the rotation center of the grindstone is 40 ° ± 10 °. Good.

これにより、適切なシンニング面を形成することが可能となる。   Thereby, it is possible to form an appropriate thinning surface.

又、更に、前記ドリルのシンニング加工状態において、該ドリルのシンニング加工部が前記砥石の切削面に対して揺動するように、前記チャックユニットを所定の位置を中心とする曲面に沿って回動させる回動機構を備えてもよい。   Further, in the thinning state of the drill, the chuck unit is rotated along a curved surface centered on a predetermined position so that the thinning portion of the drill swings with respect to the cutting surface of the grindstone. You may provide the rotation mechanism to be made.

これにより、シンニング面(シンニング加工部)の面粗度を向上させることが可能となる。   Thereby, it becomes possible to improve the surface roughness of the thinning surface (thinning process part).

本発明を適用することにより、正確なシンニング加工を施すことができ、特に、微細径ドリルにおいては、熟練工の技術を要することなく特別な技術を要せずに、シンニング加工を施すことができ、微細深孔加工が可能なドリルを量産できる。   By applying the present invention, it is possible to perform an accurate thinning process, and in particular, in a fine diameter drill, a thinning process can be performed without requiring a special technique without requiring a skill of a skilled worker, Mass production of drills capable of micro deep hole machining.

以下、添付図面を用いて本発明に係る実施形態の一例を詳細に説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

<シンニング装置の構成>
図1は、本発明に係るシンニング装置の斜視図である。図2は、本発明に係るシンニング装置の正面図である。
<Thinning device configuration>
FIG. 1 is a perspective view of a thinning apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a front view of the thinning apparatus according to the present invention.

シンニング装置1は、ベースとなる基台2の上に、回転砥石11を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニット10と、シンニング加工をしようとするドリル3を保持可能なチャックユニット20と、前記砥石ユニット10に対して前記チャックユニット20を少なくともドリル3の軸方向であるY軸方向及び該軸方向と水平面内の直角の方向であるX軸方向に移動、位置決め可能なステージユニット30と、前記ドリル3のシンニング加工位置以外の所定の位置に、該ドリル3を位置決め可能とする位置決めユニット40とを備える。   The thinning apparatus 1 includes a grindstone unit 10 having a rotating grindstone 11 installed and fixed at a specific position on a base 2 serving as a base, and a chuck unit 20 capable of holding a drill 3 to be thinned. A stage unit 30 capable of moving and positioning the chuck unit 20 relative to the grindstone unit 10 in at least the Y-axis direction which is the axial direction of the drill 3 and the X-axis direction which is a direction perpendicular to the axial direction in the horizontal plane. And a positioning unit 40 that can position the drill 3 at a predetermined position other than the thinning position of the drill 3.

砥石ユニット10は、略L字状のモータベース17上に配置固定されたモータ16と、該モータ16の回転を伝達するカップリング15と、該カップリング15によって伝達されたモータ16の回転を回転砥石11へと伝達する砥石駆動軸12と、該砥石駆動軸12が回転自在に保持されるハウジング14と、該ハウジング14内に前記砥石駆動軸12に回転自在に設けられた回転砥石11とで構成されている。モータ16の電源のON/OFF及びモータ16の回転速度は、モータ制御部18によって、自由にコントロールすることが可能である。又、回転砥石11は、自身の回転中心を通る断面が円弧とされたディスク型の回転砥石である(詳細は後述する)。   The grindstone unit 10 rotates a motor 16 disposed and fixed on a substantially L-shaped motor base 17, a coupling 15 that transmits the rotation of the motor 16, and the rotation of the motor 16 transmitted by the coupling 15. A grindstone drive shaft 12 that transmits to the grindstone 11, a housing 14 that rotatably holds the grindstone drive shaft 12, and a rotating grindstone 11 that is rotatably provided on the grindstone drive shaft 12 in the housing 14. It is configured. The power supply ON / OFF of the motor 16 and the rotation speed of the motor 16 can be freely controlled by the motor control unit 18. The rotary grindstone 11 is a disk-type rotary grindstone whose cross section passing through its rotation center is an arc (details will be described later).

ステージユニット30は、ドリル3の軸方向(以下単に「Y軸方向」という。)に前記チャックユニット(詳細は後述する。)20を移動、位置決めすることが可能なYステージ32と、Y軸方向の移動を手動で微調整可能な手動調整用つまみ32Aと、Y軸方向と直角となる方向(以下単に「X軸方向」という。)にチャックユニット20を移動、位置決め可能なXステージ31と、これらのXステージ31及びYステージ32を制御するためのステージ制御部33とから構成されている。これらのステージ31、32は、位置情報を検出するスケールを内蔵し、位置再現性が2〜3μmの高精度が十分得られている市販のものが利用できることから、軽量なチャックユニット20を移動させることとも相俟って、微細径のドリル3のシンニング加工にも十分対応可能である。なお、本実施形態においては採用されていないが、X-Y平面に垂直な方向、即ち、チャックユニット20を上下方向(以下単に「Z軸方向」という。)に移動、固定させることが可能なZステージを設けるような構成としてもよい。このような構成とすれば、径の異なる砥石にも対応でき、又、シンニング形成の自由度を向上させることができる。即ち、3次元の任意のシンニング形状を形成することが可能となる。   The stage unit 30 includes a Y stage 32 capable of moving and positioning the chuck unit (details will be described later) 20 in the axial direction of the drill 3 (hereinafter simply referred to as “Y-axis direction”), and the Y-axis direction. A manual adjustment knob 32A that can be manually fine-tuned, an X stage 31 that can move and position the chuck unit 20 in a direction perpendicular to the Y-axis direction (hereinafter simply referred to as "X-axis direction"), and The stage control unit 33 is configured to control the X stage 31 and the Y stage 32. These stages 31 and 32 have a built-in scale for detecting position information, and since a commercially available product with a sufficiently high position reproducibility of 2 to 3 μm can be used, the lightweight chuck unit 20 is moved. Combined with this, it can sufficiently cope with the thinning of the fine-diameter drill 3. Although not employed in the present embodiment, the chuck unit 20 can be moved and fixed in a direction perpendicular to the XY plane, that is, in the vertical direction (hereinafter simply referred to as “Z-axis direction”). It is good also as a structure which provides Z stage. With such a configuration, it is possible to deal with grindstones having different diameters and to improve the degree of freedom of thinning formation. That is, it becomes possible to form a three-dimensional arbitrary thinning shape.

位置決めユニット40は、Y軸方向に厚みがあるプレート状のゲージ部41と、該ゲージ部41を支持するゲージ支持部42とを備え、且つ、前記「所定の位置」をY軸方向から観察するため、搭載のぺデスタル(支持台)が調整可能であり、図8乃至図10の観察・計測が容易となるようにZ軸方向調整を可能としている。第1のカメラユニット43及び、前記第1のカメラユニット43が撮影した映像を映し出すことが可能なモニタ44を備える。ゲージ部41の表面(上面)には、Y軸方向に貫通して、溝41Aが形成されている(図8参照。詳細は後述する。)。なお、本実施形態における位置決めユニットにはモニタ44が含まれているが、モニタ自体は汎用の物を利用することも可能であり、その場合には省略可能である。第1のカメラユニット43は、前記ゲージ部41に設けられた溝41Aを、Y軸方向から観察できるように配置され、CCDカメラ45の先端に、鏡筒46を介して対物レンズ47が配置されている。このような構成により、ドリル先端の形状をドリルの軸方向から観察することができ、ゲージ部41に設けられた溝41Aの形状とドリルの形状(位置)とを対比することにより(この点の詳細は後述する。)、ドリルのX軸方向の位置及びZ軸方向の位置を特定することが可能となる。又、シンニングの状態、特に、1本のドリルに2箇所以上施されるシンニングが回転対称となるように、意図した大きさ及び深さに形成されているか否かを明確に判断することが可能となる。又、この対物レンズ47の周囲には、リング照明48が備わっており、観察位置に置かれたドリル先端の形状を明確に映し出すことを可能としている。この第1のカメラユニット43で撮影された映像は、モニタ44によってモニタリングが可能である。なお、図示していないが、当該シンニング装置1には、前述した第1のカメラユニット43とは別に、ゲージ部41をY軸と直角の方向、例えば、X軸方向又はZ軸方向から撮影することが可能な第2のカメラユニットが備わっている。このような構成によって、当該第2のカメラユニットからの映像をもとに、ドリルのY軸方向の位置を特定することが可能となる。位置決めユニット40は、加工位置Rから離れた位置に配置されているため、このように、砥石ユニット10等が存在しない広い空間を利用して、治具(ゲージ)やカメラ等の比較的大型の精密センサ手段をその構成要素として備える。なお、位置決めユニットの構成態様は上記のものに限定されるものではなく、ドリルの位置決めができるものである限りにおいて種々の構成を採用可能である。   The positioning unit 40 includes a plate-like gauge portion 41 having a thickness in the Y-axis direction, and a gauge support portion 42 that supports the gauge portion 41, and observes the “predetermined position” from the Y-axis direction. Therefore, the mounted pedestal (support base) can be adjusted, and the Z-axis direction can be adjusted so as to facilitate the observation and measurement of FIGS. A first camera unit 43 and a monitor 44 capable of projecting an image taken by the first camera unit 43 are provided. A groove 41A is formed on the surface (upper surface) of the gauge portion 41 so as to penetrate in the Y-axis direction (see FIG. 8, details will be described later). Note that the positioning unit in the present embodiment includes the monitor 44, but the monitor itself can use a general purpose, and in that case, it can be omitted. The first camera unit 43 is disposed so that the groove 41A provided in the gauge portion 41 can be observed from the Y-axis direction, and an objective lens 47 is disposed at the tip of the CCD camera 45 via a lens barrel 46. ing. With such a configuration, the shape of the drill tip can be observed from the axial direction of the drill, and by comparing the shape of the groove 41A provided in the gauge portion 41 with the shape (position) of the drill (this point Details will be described later), and the position of the drill in the X-axis direction and the position in the Z-axis direction can be specified. In addition, it is possible to clearly determine whether or not the thinning state is formed in the intended size and depth so that the thinning applied to two or more places on one drill is rotationally symmetric. It becomes. A ring illumination 48 is provided around the objective lens 47 to clearly show the shape of the drill tip placed at the observation position. The video imaged by the first camera unit 43 can be monitored by the monitor 44. Although not shown, the thinning device 1 photographs the gauge portion 41 from a direction perpendicular to the Y axis, for example, the X axis direction or the Z axis direction, separately from the first camera unit 43 described above. A second camera unit is provided that can. With such a configuration, the position of the drill in the Y-axis direction can be specified based on the video from the second camera unit. Since the positioning unit 40 is disposed at a position away from the processing position R, a relatively large size such as a jig (gauge) or a camera is used in this way using a wide space where the grindstone unit 10 or the like does not exist. A precision sensor means is provided as a component thereof. The configuration of the positioning unit is not limited to that described above, and various configurations can be employed as long as the drill can be positioned.

次に、図3及び図4を用いてチャックユニット20について詳細に説明する。図3(A)は、ドリルチャックユニット20の斜視図、(B)は、同平面図、(C)は、同正面(ドリル装着側面)図、(D)は、同右側面図、(E)は、同背面(ドリル非装着側面)図、図4は、ドリルチャックユニットの部分分解構成図である。   Next, the chuck unit 20 will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4. 3A is a perspective view of the drill chuck unit 20, FIG. 3B is the same plan view, FIG. 3C is the front view (drill mounting side view), FIG. 3D is the right side view, and FIG. ) Is a rear view (side surface where a drill is not mounted), and FIG. 4 is a partially exploded configuration diagram of the drill chuck unit.

チャックユニット20においては、ドリル3を直接保持するチャック21Bと、該チャック21Bが備わる筒状のチャック本体21Aとが、回動本体23Aに対して回転可能に保持されている。チャック本体21Aは、回動本体23Aを貫通する態様で、回転用円板24Aと連通している。チャック本体21Aと回転用円板24Aとは、回転用円板24Aに形成されたボルト孔24A´に螺合する回転用円板固定用ボルト24Eによって固定されている。又、回動本体23Aを貫通して配置されるチャック本体21Aには、回動本体23Aの正面側にリング状のチャック本体軸方向固定第1プレート25Aが配置され、同背面側にもリング状のチャック本体軸方向固定第2プレート25Bが配置されている。これらの両プレートは、自身に形成されたボルト孔25A´、25B´にそれぞれ螺合するボルト23Mによって、チャック本体21Aに固定されており、チャック本体21A軸方向の位置を規制可能とされている。この際、チャック本体21Aがその軸廻りに回転できるように、回動本体23A、チャック本体軸方向固定第1プレート25A、同第2プレート25B間の軸方向には適切な隙間が確保されている。又、上述したチャック本体軸方向固定第2プレート25Bには、ノックピン25Cが形成されている。更に、当該チャック本体軸方向固定第2プレート25Bを包むように前記回転用円板24Aと略同径の回転ベース24Bが設置されている。この回転ベース24Bには円周方向180°に渡って回転規制溝24Dが形成されており、当該溝24Dにノックピン25Cが嵌合するように配置されている。又、回転ベース24Bは、自身に形成されたボルト孔24B´に螺合する回転ベース固定用ボルト24Cによって、回動本体23A(の凸部分)に固定されている。即ち、ノックピン25Cが回転規制溝24Dの溝端部(溝端A部24D1、溝端B部24D2)に当接規制されることによって、ドリル3を簡易且つ正確に180°回転させることが可能となっている。当該回動本体23Aの上面には、自身を貫通しチャック本体21A(回転用円板24A)まで当接可能なチャック本体固定用ボルト23Eが装着されており、該ボルト23Eを緩めたり締めこむことによって、回動本体23Aに対して回転用円板24A、即ち、チャック本体21A更にはドリル3を自由に回転させたり、固定させたりすることが可能となっている。   In the chuck unit 20, a chuck 21B that directly holds the drill 3 and a cylindrical chuck body 21A provided with the chuck 21B are rotatably held with respect to the rotating body 23A. The chuck body 21 </ b> A communicates with the rotating disk 24 </ b> A so as to penetrate the rotating body 23 </ b> A. The chuck main body 21A and the rotating disk 24A are fixed by a rotating disk fixing bolt 24E that is screwed into a bolt hole 24A ′ formed in the rotating disk 24A. Further, in the chuck body 21A disposed through the rotating body 23A, a ring-shaped chuck body axially fixed first plate 25A is disposed on the front side of the rotating body 23A, and a ring shape is also formed on the back side. The chuck body axially fixed second plate 25B is disposed. These two plates are fixed to the chuck main body 21A by bolts 23M screwed into bolt holes 25A 'and 25B' respectively formed in the plates, and the position of the chuck main body 21A in the axial direction can be regulated. . At this time, an appropriate gap is secured in the axial direction between the rotating body 23A, the chuck body axially fixed first plate 25A, and the second plate 25B so that the chuck body 21A can rotate around the axis. . A knock pin 25C is formed on the chuck body axially fixed second plate 25B described above. Furthermore, a rotation base 24B having the same diameter as the rotation disk 24A is provided so as to wrap the chuck body axially fixed second plate 25B. A rotation restricting groove 24D is formed in the rotation base 24B in the circumferential direction of 180 °, and the knock pin 25C is disposed so as to fit into the groove 24D. Further, the rotation base 24B is fixed to the rotation main body 23A (convex portion thereof) by a rotation base fixing bolt 24C screwed into a bolt hole 24B ′ formed in the rotation base 24B. That is, the knock pin 25C is contacted and regulated by the groove end portions (groove end A portion 24D1 and groove end B portion 24D2) of the rotation restricting groove 24D, so that the drill 3 can be rotated 180 ° easily and accurately. . A chuck body fixing bolt 23E that passes through itself and can contact the chuck body 21A (rotating disc 24A) is mounted on the upper surface of the rotating body 23A, and the bolt 23E is loosened or tightened. Thus, the rotating disk 24A, that is, the chuck body 21A and further the drill 3 can be freely rotated or fixed with respect to the rotating body 23A.

回動本体23Aの下側には、所定の回動中心(詳細は後述する。)を中心とした円弧を描く扇状の回動ブロック23A´が備わっている。この回動ブロック23A´に対応するように、回動ベース23Bが配置されている。即ち、回動ブロック23A´に形成された曲面r´と、回動ベース23Bに設けられた曲面rとが同一の中心点を持つ円弧形状とされている。   Below the rotating body 23A, there is provided a fan-shaped rotating block 23A 'that draws an arc centered on a predetermined center of rotation (details will be described later). A rotation base 23B is arranged so as to correspond to the rotation block 23A ′. That is, the curved surface r ′ formed on the rotation block 23A ′ and the curved surface r provided on the rotation base 23B have an arc shape having the same center point.

回動ベース23Bの正面側には、第1支持板23Fが配置され、回動本体23A(回動ブロック23A´)の正面側の位置を規制している。なお、第1支持板23Fはボルト23Hによって回動ベース23Bに固定されている。同様に、回動ベース23Bの背面側には、第2支持板23Gが配置され、回動本体23Aの背面側の位置を規制している。この第2支持板23Gも、ボルト23Hによって回動ベース23Bに固定されている。又、回動ブロック23A´には正面側から背面側に貫通する態様で曲面r´に沿ったガイド溝23Kが形成されており、当該ガイド溝23K内に嵌合するフォロアーベアリング23Lが、第1支持板23F及び第2支持板23Gに固定されている。又、回動ベース23Bには、第1回動ボルト23Cを支持している第1回動ボルト支持板23Iと、第2回動ボルト23Dを支持している第2回動ボルト支持板23Jとが形成されており、これらの支持板23I、23Jを貫通螺合して各回動ボルト23C、23Dが回動本体23Aにおける回動ブロック23A´側面に当接している。即ち、各回動ボルト23C、23Dの締め込み量を調整することによって、チャック本体21Bが保持するドリル3を回動(回転砥石に対する揺動)させることが可能となっている。このように本実施形態における回動機構は、少なくともドリルの軸方向の位置を固定したまま、チャックユニット(回動本体)が回動するように構成されている。これにより、チャックユニットに複雑な動きを要求することなく揺動動作を実現でき、誤差による加工精度の低下を防止している。   A first support plate 23F is disposed on the front side of the rotation base 23B, and regulates the position of the front side of the rotation main body 23A (rotation block 23A ′). The first support plate 23F is fixed to the rotation base 23B with bolts 23H. Similarly, a second support plate 23G is disposed on the back side of the rotation base 23B, and regulates the position on the back side of the rotation body 23A. The second support plate 23G is also fixed to the rotation base 23B by a bolt 23H. Further, the rotation block 23A ′ is formed with a guide groove 23K along the curved surface r ′ so as to penetrate from the front side to the back side, and the follower bearing 23L fitted into the guide groove 23K has a first structure. It is fixed to the support plate 23F and the second support plate 23G. The rotation base 23B includes a first rotation bolt support plate 23I that supports the first rotation bolt 23C, and a second rotation bolt support plate 23J that supports the second rotation bolt 23D. These support plates 23I and 23J are threaded through and the respective rotation bolts 23C and 23D are in contact with the side surface of the rotation block 23A ′ in the rotation body 23A. That is, the drill 3 held by the chuck body 21B can be rotated (oscillated with respect to the rotating grindstone) by adjusting the tightening amounts of the respective rotating bolts 23C and 23D. As described above, the rotation mechanism in the present embodiment is configured such that the chuck unit (rotation main body) rotates while fixing at least the position of the drill in the axial direction. As a result, the swing operation can be realized without requiring a complicated movement of the chuck unit, and the processing accuracy is prevented from being lowered due to an error.

なお、前述した回転用円板24A、回転ベース24B、回転ベース固定用ボルト24C、回転規制溝24D、回転用円板固定ボルト24E、ノックピン25Cとで回転機構部24を構成している。   The rotating disk 24A, the rotating base 24B, the rotating base fixing bolt 24C, the rotation restricting groove 24D, the rotating disk fixing bolt 24E, and the knock pin 25C constitute the rotating mechanism 24.

更に、回動本体23A(回動ブロック23A´)及び回動ベース23B及び第1回動ボルト23C、第2回動ボルト23D、チャック本体固定用ボルト23E、第1支持板23F、第2支持板23G、ボルト23H、第1回動ボルト支持板23I、第2回動ボルト支持板23J、ガイド溝23K、フォロワーベアリング23Lにより回動機構部23を構成している。   Further, the rotation main body 23A (rotation block 23A ′), the rotation base 23B, the first rotation bolt 23C, the second rotation bolt 23D, the chuck body fixing bolt 23E, the first support plate 23F, and the second support plate. 23G, the bolt 23H, the first rotation bolt support plate 23I, the second rotation bolt support plate 23J, the guide groove 23K, and the follower bearing 23L constitute the rotation mechanism unit 23.

<シンニング形成手順>
次に、当該シンニング装置1を用いたシンニング形成手順について図5乃至図7を参照しつつ説明する。図5は、シンニング加工工程を示すフローチャートであり、図6は、シンニング装置の平面図であって、シンニング加工位置と観察位置との関係を表わした図であり、図7は、加工位置における回転砥石とドリル先端の関係図である。
<Thinning formation procedure>
Next, a procedure for forming a thinning using the thinning apparatus 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart showing the thinning process, FIG. 6 is a plan view of the thinning apparatus, showing the relationship between the thinning position and the observation position, and FIG. 7 shows the rotation at the processing position. It is a related figure of a grindstone and a drill tip.

最初に、シンニング装置1の各部の電源がONとされる(S1)。具体的には、ステージ制御部33の電源、映像信号処理装置(図示しない)の電源、モニタ44の電源、モータ制御部18の電源、リング照明48の電源等がONとされる。   First, the power of each part of the thinning apparatus 1 is turned on (S1). Specifically, the power source of the stage control unit 33, the power source of the video signal processing device (not shown), the power source of the monitor 44, the power source of the motor control unit 18, the power source of the ring illumination 48, etc. are turned on.

次に、チャックユニット20を、加工しようとするドリル3が取り付けし易い位置(例えば図6における加工位置と観察位置の間)に移動させた上で、ドリル3を取付ける(S2)。より具体的には、チャック部21の背面に存するチャック締付けボルト22を弛めた上で、ドリル3をチャック本体21Aへと取り付ける。その後チャック締付けボルト22を締め付けることによって、ドリル3の取り付けが完了する。   Next, the chuck unit 20 is moved to a position where the drill 3 to be processed is easily attached (for example, between the processing position and the observation position in FIG. 6), and then the drill 3 is attached (S2). More specifically, the chuck 3 is attached to the chuck body 21 </ b> A after the chuck fastening bolts 22 existing on the back surface of the chuck portion 21 are loosened. After that, by tightening the chuck tightening bolt 22, the installation of the drill 3 is completed.

次に、シンニングを形成するための各種データ、例えば、形成しようとするシンニングの幅や深さ、形状、更にはドリルの径の情報などを予め入力する(S3)。なお、ドリルの種類やシンニングの形状等が常に一定である場合には、予め装置に当該データを記憶させておくことによって、この工程を省略することも可能である。なお、これらのデータを当該シンニング装置1自体が記憶することは、本発明の必須の構成要素ではない。   Next, various data for forming the thinning, for example, information on the width, depth and shape of the thinning to be formed, and the diameter of the drill are input in advance (S3). Note that when the type of drill, the shape of the thinning, etc. are always constant, this step can be omitted by storing the data in the apparatus in advance. In addition, it is not an indispensable component of this invention that the said thinning apparatus 1 itself memorize | stores these data.

次に、ドリル3の取り付けが終ったチャックユニット20を観察位置(位置決めすべき所定の位置)へと移動させる(S4)。具体的には、ステージ制御部33を操作することによって、位置決めユニット40に備わるゲージ部41における溝41Aの位置まで移動させる。   Next, the chuck unit 20 to which the drill 3 has been attached is moved to an observation position (a predetermined position to be positioned) (S4). Specifically, by operating the stage control unit 33, the stage control unit 33 is moved to the position of the groove 41 </ b> A in the gauge unit 41 provided in the positioning unit 40.

次に、観察位置まで移動したドリル3が位置決めユニット40において予め設定された原点に位置するように調整される(S5)。   Next, the drill 3 that has moved to the observation position is adjusted so as to be positioned at the preset origin in the positioning unit 40 (S5).

次に、正しく原点に位置しているか否かが確認され(S6)、原点にない場合にはステップS5に戻り再調整され、原点にある場合はステップS7へと進む。   Next, it is confirmed whether or not it is correctly located at the origin (S6). If it is not at the origin, the process returns to step S5 to readjust, and if it is at the origin, the process proceeds to step S7.

次に、ドリルチャック22Bに保持されたドリル3の回転姿勢が適切となるように調整される(S7)。   Next, it adjusts so that the rotation attitude | position of the drill 3 hold | maintained at the drill chuck | zipper 22B may become appropriate (S7).

次に、姿勢が適切かどうかが判断され(S8)、適切な姿勢に無い場合にはステップS7へと戻り再調整され、姿勢が適切な場合にはステップS9へと進む。これらのステップS5〜S8の具体的な方法については、別途後述する。   Next, it is determined whether or not the posture is appropriate (S8). If the posture is not appropriate, the process returns to step S7 to readjust, and if the posture is appropriate, the process proceeds to step S9. Specific methods of these steps S5 to S8 will be described later separately.

次に、チャックユニット20を加工位置へと移動させる(S9)。このときの加工位置への移動は、先程調整した原点のデータに基づいて、ステージユニット30を駆動制御(フィードフォワード)することによって移動する。   Next, the chuck unit 20 is moved to the machining position (S9). The movement to the machining position at this time is performed by driving (feeding forward) the stage unit 30 based on the data of the origin adjusted earlier.

次にシンニング加工が施される(S10)。当該加工は、ステップS3で入力されたデータ、及び原点のデータを基にステージユニット30を駆動制御することで実現する。この加工は、図7に示されるように、ドリル3の加工位置と砥石11の回転中心Mとを結ぶ線L1と、砥石11の回転中心Mを通るY軸と平行な線L2とで作る角度αが、40°±10°となる位置とされている。これよりも小さな角度の場合には、後述する揺動動作を行おうとする場合に不適となる。勿論、揺動を行わないと仮定すればより小さな角度でも問題ない。又、これよりも角度が大きいと、シンニング加工自体を適切に行うことができなくなってしまう。図7に示す位置関係は、本装置の基本位置を示すものであって、ドリルの太さに応じて所望のシンニング形状を得るために、Y軸方向位置とZ軸方向位置を変更することができる。   Next, a thinning process is performed (S10). The processing is realized by driving and controlling the stage unit 30 based on the data input in step S3 and the origin data. As shown in FIG. 7, this processing is performed by an angle formed by a line L1 connecting the processing position of the drill 3 and the rotation center M of the grindstone 11 and a line L2 parallel to the Y axis passing through the rotation center M of the grindstone 11. α is a position where 40 ° ± 10 °. In the case of an angle smaller than this, it becomes unsuitable when the swing operation described later is to be performed. Of course, if it is assumed that no oscillation is performed, a smaller angle is not a problem. If the angle is larger than this, the thinning process itself cannot be performed properly. The positional relationship shown in FIG. 7 indicates the basic position of the present apparatus, and the Y-axis direction position and the Z-axis direction position can be changed in order to obtain a desired thinning shape according to the thickness of the drill. it can.

続いて揺動が行なわれる(S11)。具体的には、第1回動ボルト23C、及び第2回動ボルト23Dを順次締め込むことによって回動本体23Aを回動させることで、回転砥石11の切削面に対してドリル3のシンニング加工面を揺動させている。手順としては、例えば、最初に第1回動ボルト23Cを締め込むことによって、チャックユニット20に保持されたドリルを、ドリル先端側に向かって右方向に回動させる。次に、第1回動ボルト23Cを弛めつつ、第2回動ボルト23Dを締め込むことによって、チャックユニット20に保持されたドリルを、ドリル3のドリル先端側に向かって左方向へと回動させる。以降同様の操作を繰り返し行ってもよい。なお、揺動(回動)の詳細な動き及びその作用については別途後述する。又、本実施形態においては、第1、第2の回動ボルト23C、23Dを用いた手動調整とされているが、これに限られるものではなく、例えばモータ等と連動して回動動作を自動で制御するように構成しても良い。   Subsequently, rocking is performed (S11). Specifically, the thinning process of the drill 3 with respect to the cutting surface of the rotating grindstone 11 is performed by rotating the rotating main body 23A by sequentially tightening the first rotating bolt 23C and the second rotating bolt 23D. The surface is rocked. As a procedure, for example, by first tightening the first rotation bolt 23C, the drill held by the chuck unit 20 is rotated rightward toward the drill tip side. Next, the drill held by the chuck unit 20 is rotated leftward toward the drill tip side of the drill 3 by tightening the second rotating bolt 23D while loosening the first rotating bolt 23C. Move. Thereafter, the same operation may be repeated. The detailed movement and action of the swing (rotation) will be described later. In the present embodiment, manual adjustment using the first and second rotating bolts 23C and 23D is performed. However, the present invention is not limited to this. For example, the rotating operation is performed in conjunction with a motor or the like. You may comprise so that it may control automatically.

次に、再び観察位置(原点)へとチャックユニット20を移動させる(S12)。   Next, the chuck unit 20 is moved again to the observation position (origin) (S12).

次に、前記第1のカメラユニット43を通してモニタ44に映し出された映像によって、シンニングの状態が確認される(S13)。   Next, the thinning state is confirmed by the image projected on the monitor 44 through the first camera unit 43 (S13).

このとき、シンニングの状態が良好か否かが判断され(S14)、シンニングの状態が良好なとき、即ち、当該部分のシンニング加工が完了している場合はステップS18へと進み、シンニング状態が良好でない場合、即ち、当該部分のシンニング加工が未だ完了していない場合はステップS15へと進む。   At this time, it is determined whether or not the thinning state is good (S14). When the thinning state is good, that is, when the thinning process of the part is completed, the process proceeds to step S18, and the thinning state is good. If not, i.e., if the thinning process has not yet been completed, the process proceeds to step S15.

ステップS15へと進んだ場合には、更に再加工の余地があるか否かが判断される。このとき、シンニング形成の際の切削量が多過であったり、不良の場合には当該ドリルの加工は中止される(S16)。   If the process proceeds to step S15, it is determined whether or not there is room for further rework. At this time, if the amount of cutting at the time of thinning formation is excessive or defective, the machining of the drill is stopped (S16).

一方、再加工の余地が有る場合には、ステップS5(或いはステップS9)へと戻り、シンニングの再加工がなされる(S17)。   On the other hand, if there is room for rework, the process returns to step S5 (or step S9), and thinning is reworked (S17).

次に、行なわれたシンニングの状態が良好な場合には、当該ドリル3に対してシンニング加工が2箇所施されたかどうかが判断される(S18)。既に2箇所シンニング加工が施されている場合にはステップS19へと進み、当該ドリルに対するシンニングは終了する。   Next, when the state of the thinning performed is good, it is determined whether two thinning processes have been performed on the drill 3 (S18). If the two-point thinning has already been performed, the process proceeds to step S19, and the thinning for the drill ends.

一方、未だ2箇所のシンニングが終了していない場合にはステップS20へと進む。   On the other hand, if the thinning has not been completed in two places, the process proceeds to step S20.

次に、ドリルを180°回転させる(S20)。具体的には、チャック本体固定用ボルト23Eを緩め、回転用円板24Aを回転させることによって調整する。このとき、予め回転ベース24Bに形成された回転規制溝24Dの一方の溝端(溝端A部24D1若しくは溝端B部24D2)にノックピン25Cが当接するように調整した状態でシンニング加工が行われているため、チャック本体固定用ボルト23Eを緩めて、回転用円板24Aが回る限度まで回転させることにより、他方の溝端部にノックピン25Cが当接し、簡易且つ正確に180°の回転が実現できる。最後にチャック本体固定用ボルト23Eを締め付ければ回転作業は完了する。なお、ここでもドリル3の回転姿勢の制御は手動で行なわれる構成としているが、モータ等を利用して自動的に行なうような構成としてもよい。   Next, the drill is rotated 180 ° (S20). Specifically, the adjustment is performed by loosening the chuck body fixing bolt 23E and rotating the rotating disk 24A. At this time, since the thinning process is performed in a state in which the knock pin 25C is adjusted to come into contact with one groove end (groove end A portion 24D1 or groove end B portion 24D2) of the rotation restricting groove 24D formed in the rotation base 24B in advance. Then, by loosening the chuck body fixing bolt 23E and rotating it to the limit of rotation of the rotating disk 24A, the knock pin 25C comes into contact with the other groove end, and a simple and accurate rotation of 180 ° can be realized. Finally, if the chuck body fixing bolt 23E is tightened, the rotation operation is completed. Here, the control of the rotational posture of the drill 3 is also performed manually, but it may be configured to be performed automatically using a motor or the like.

次に、ステップS5(或いはステップS9)へと戻り、2箇所目のシンニング加工が施される(S21)。   Next, the process returns to step S5 (or step S9), and the second thinning process is performed (S21).

このように、当該装置におけるシンニング形成においては、重量のある砥石ユニットは固定されており移動することは無い。結果として、砥石の位置変動要素を取り除くことができ、加工の際の位置精度が向上する。加えて、原点からのステージユニットの駆動によりシンニング形成を行うため、熟練工でなくとも常に同品質のシンニングの形成を手軽に行うことが可能である。   Thus, in the thinning formation in the apparatus, the heavy grindstone unit is fixed and does not move. As a result, the position variation element of the grindstone can be removed, and the positional accuracy during processing is improved. In addition, since thinning is performed by driving the stage unit from the origin, it is always possible to easily form thinning of the same quality without being a skilled worker.

<位置決めユニット40を用いた原点位置決め>
次に、図8乃至図10を参照しつつ、位置決めユニット40を用いた原点への位置決めについて説明する。図8は、第1のカメラユニット43から見たドリル3の先端と位置決めユニット40の関係図であり、図9は、モニタ44の画面上に用意される位置決め用パネル56を示す図であり、図10(A)は、図8の状態を上側(Z軸側)から見た図、(B)は、(A)のR部拡大図である。なお、いずれの図面も、理解容易のために、縮尺を誇張して表現している。
<Origin positioning using positioning unit 40>
Next, positioning to the origin using the positioning unit 40 will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the tip of the drill 3 and the positioning unit 40 as viewed from the first camera unit 43, and FIG. 9 is a diagram showing a positioning panel 56 prepared on the screen of the monitor 44. 10A is a view of the state of FIG. 8 as viewed from the upper side (Z-axis side), and FIG. 10B is an enlarged view of a portion R of FIG. In each drawing, the scale is exaggerated for easy understanding.

原点Oの位置に対するドリル3のX軸方向の位置合わせ及び、Z軸方向の位置合わせは、図8に示したように、ゲージ部41に設けられた溝41Aの形状と、加工しようとするドリル3の形状とを比較することにより行われる。   As shown in FIG. 8, the alignment of the drill 3 in the X-axis direction and the alignment in the Z-axis direction with respect to the position of the origin O is the shape of the groove 41A provided in the gauge portion 41 and the drill to be processed. This is done by comparing the three shapes.

ゲージ部41の表面には、Y軸方向に貫通する態様で、半円状の溝41Aが形成されている。当該部分は、第1のカメラユニット43によって、モニタ44に映像として映し出されている(図8参照)。一方、図9に示すように、ゲージ部41における溝41Aの形状に対してX軸方向及びZ軸方向の原点Oの位置を示した位置決めパネル56が用意されている。当該位置決めパネル56は、モニタに映し出された溝41A映像(ドリルの太さに応じて50〜500倍に適宜に拡大された第1カメラユニット43の映像)を基準として、原点Oの位置が予め記載されたパネルである。なお、原点O自体の位置出しは、予め高精度の中実軸であるピンゲージ(図示略)等を用いてモニタ画面上で割り出しておく。この位置決めパネル56を用いて、ゲージ部40の表面における溝41の左右の面(A面及びE面)のラインと、ドリル3のチゼルエッジに相当するライン(B面)が同一線上となるように調整することで、原点OのZ軸方向の座標にドリル3の先端を合わせることができる。更に、ドリル3の回転姿勢を調整することもできる。ここで、ドリル3の回転姿勢の調整方法としては、チャック本体固定用ボルト23Eを弛めた後、回転用円板24Aを使い、モニタ44の画面上でドリル3(チャック本体21A)を回転し所定の回転姿勢に合致させ、適当な位置でチャック本体固定用ボルト23Eを締付けて行う。又、ドリルと溝41Aとの間に生じる左右の隙間(C及びD)の大きさが等しくなる位置に調整することで、原点OのX軸方向の座標にドリル3を合わせることができる。実際は、パネル面にドリルの大きさに対応する円が描かれていることによって、当該円に位置するように調整すれば足りる。この位置決めパネル56は、透明なアクリル板などで作成されているため、モニタ44の画面上に重ねる(溝41Aの形状が合うように重ねる)ことによって、ドリル3の原点を示すことが可能である。ユーザーは単にモニタ44を確認しながら示された位置(円)にドリルを移動させることで簡単にX軸方向及びZ軸方向の位置を特定できる。また、位置調整の容易さを増すために、市販のカーソルやパターン投影装置を併用して、モニタ44の画面上において、カメラユニット43による画像にカーソルやパターンを適宜重ねてもよい。   A semicircular groove 41A is formed on the surface of the gauge portion 41 so as to penetrate in the Y-axis direction. The portion is displayed as an image on the monitor 44 by the first camera unit 43 (see FIG. 8). On the other hand, as shown in FIG. 9, a positioning panel 56 showing the position of the origin O in the X-axis direction and the Z-axis direction with respect to the shape of the groove 41 </ b> A in the gauge portion 41 is prepared. The positioning panel 56 has the position of the origin O in advance on the basis of the image of the groove 41A projected on the monitor (the image of the first camera unit 43 appropriately enlarged by 50 to 500 times according to the thickness of the drill). It is a panel described. The position of the origin O itself is previously determined on the monitor screen using a pin gauge (not shown) which is a high-precision solid axis. Using this positioning panel 56, the lines of the left and right surfaces (A surface and E surface) of the groove 41 on the surface of the gauge portion 40 and the line (B surface) corresponding to the chisel edge of the drill 3 are on the same line. By adjusting, the tip of the drill 3 can be adjusted to the coordinate of the origin O in the Z-axis direction. Furthermore, the rotation posture of the drill 3 can be adjusted. Here, as a method of adjusting the rotation posture of the drill 3, after loosening the chuck body fixing bolt 23E, the rotation disk 24A is used to rotate the drill 3 (chuck body 21A) on the screen of the monitor 44. The chuck body fixing bolt 23E is tightened at an appropriate position in accordance with a predetermined rotational posture. Further, the drill 3 can be adjusted to the coordinate of the origin O in the X-axis direction by adjusting the positions of the left and right gaps (C and D) generated between the drill and the groove 41A to be equal. Actually, since a circle corresponding to the size of the drill is drawn on the panel surface, it is sufficient to adjust the position so that the circle is located. Since the positioning panel 56 is made of a transparent acrylic plate or the like, it is possible to indicate the origin of the drill 3 by overlapping it on the screen of the monitor 44 (overlapping so that the shape of the groove 41A matches). . The user can easily specify the position in the X-axis direction and the Z-axis direction by simply moving the drill to the indicated position (circle) while checking the monitor 44. Further, in order to increase the ease of position adjustment, a commercially available cursor or pattern projection device may be used in combination, and the cursor or pattern may be appropriately superimposed on the image by the camera unit 43 on the screen of the monitor 44.

このように、位置決めユニット40の機能により、ドリル3を何らのセンサ手段とも非接触状態を保ったままでドリル3の正確な位置決めが可能であり、位置決めの際に接触による折損が生じる恐れはない。なお、当該パネルはドリルの径に応じて複数枚用意してもよいし、1枚のパネル面上に各径に対応した位置(円)を示しておいてもよい。また、位置調整の容易さを増すために、市販のカーソルやパターン投影装置を併用して、モニタ44の画面上において、カメラユニット43による画像にカーソルやパターンを適宜重ねてもよい。又、モニタ44の画面上に直接位置決めパネル56相当の画像をレイヤ表示してもよい。モニタ44に映し出される映像は、ドリルの太さに応じて50〜500倍に適宜に拡大された映像であるため、このような簡単な調整であっても、ミクロン単位での位置精度が確保されている。   Thus, the function of the positioning unit 40 allows the drill 3 to be accurately positioned while keeping the drill 3 in a non-contact state with any sensor means, and there is no risk of breakage due to contact during positioning. In addition, the said panel may prepare several sheets according to the diameter of a drill, and may show the position (circle) corresponding to each diameter on the panel surface of 1 sheet. Further, in order to increase the ease of position adjustment, a commercially available cursor or pattern projection device may be used in combination, and the cursor or pattern may be appropriately superimposed on the image by the camera unit 43 on the screen of the monitor 44. Alternatively, an image corresponding to the positioning panel 56 may be directly displayed on the screen of the monitor 44 as a layer. Since the image displayed on the monitor 44 is an image enlarged appropriately by 50 to 500 times according to the thickness of the drill, even with such simple adjustment, the positional accuracy in micron units is ensured. ing.

一方、原点のY軸方向の座標の決定は、ゲージ部41をX軸方向又はZ軸方向から撮影することのできる第2のカメラユニット(図示していない。)の映像を利用して、図10に示すように、ゲージ部41の基準面41Bにドリル3の先端部が位置するように調整を行う。この調整によって、ドリル3の原点OへのY軸方向の位置合わせが行われる。   On the other hand, the coordinate of the origin in the Y-axis direction is determined using an image of a second camera unit (not shown) that can shoot the gauge unit 41 from the X-axis direction or the Z-axis direction. 10, adjustment is performed so that the tip of the drill 3 is positioned on the reference surface 41 </ b> B of the gauge portion 41. By this adjustment, the Y-axis direction alignment with the origin O of the drill 3 is performed.

<揺動(回動)動作及びその作用>
ステップS11における揺動(回動)の動作及びその作用について、図11乃至図13を参照しつつ説明する。図11は、チャックユニット20の回動中心を示す図であり、図12は、回転砥石に対して揺動するドリルの回動状態を示す図であり、図13は、揺動(回動)の効果を模式的に示す図であって、(A)は揺動(回動)をしない場合を示した図、(B)は揺動(回動)をした場合を示す図である。
<Oscillating (turning) operation and action>
The swinging (turning) operation and its action in step S11 will be described with reference to FIGS. FIG. 11 is a view showing the turning center of the chuck unit 20, FIG. 12 is a view showing a turning state of the drill that swings with respect to the rotating grindstone, and FIG. 13 is a swing (turning). FIG. 6A is a diagram schematically illustrating the effect of FIG. 5A, and FIG. 5B is a diagram illustrating a case where the rocking (turning) is not performed, and FIG.

チャックユニット20の回動本体23Aは、回動中心O1を中心として回動する構成とされている。即ち、回動ブロック23A´に形成された曲面r´と、回動ベース23Bに設けられた曲面rとがこの回動中心O1を中心とした半径Rの円弧で形成されている。本実施形態においては、この回動中心O1は、図12に示すように回転砥石の円弧中心となるように設定されている。即ち、本実施形態における回転砥石11の回転中心を通る断面は円弧Sとされており、該砥石断面の円弧Sと、前記曲面r及びr´とが同心円とされている。なお、念のため説明すると、本実施形態においては、チャック22Bに保持されるドリル3の軸心と回動中心O1とは一致していない。   The rotation main body 23A of the chuck unit 20 is configured to rotate about the rotation center O1. That is, the curved surface r ′ formed on the rotation block 23A ′ and the curved surface r provided on the rotation base 23B are formed by an arc having a radius R with the rotation center O1 as the center. In the present embodiment, the rotation center O1 is set to be the arc center of the rotating grindstone as shown in FIG. That is, the cross section passing through the rotation center of the rotary grindstone 11 in this embodiment is an arc S, and the arc S of the grindstone cross section and the curved surfaces r and r ′ are concentric circles. In addition, if it demonstrates just in case, in this embodiment, the axial center of the drill 3 hold | maintained at chuck | zipper 22B and the rotation center O1 do not correspond.

このような構成とすることによって、回動機構部23を操作すれば、ドリル3のシンニング面が砥石の切削面(円弧S)に沿って揺動することになる(図12参照)。即ち、揺動によるシンニング面の過大化(本来予定したシンニング面を超えてシンニング面が形成されること)を最小限に抑えつつ、シンニング面の面粗度を向上させることが可能となっている。なお、回動中心O1は上記の例に限られるものではなく、例えば、ドリル3の軸心Oと一致させるように構成してもよい。そのように構成すれば、チャックユニットにおける回動機構部の設計をより簡易に行うことが可能となる。   With this configuration, when the rotation mechanism unit 23 is operated, the thinning surface of the drill 3 swings along the cutting surface (arc S) of the grindstone (see FIG. 12). That is, it is possible to improve the surface roughness of the thinning surface while minimizing the excessive thickness of the thinning surface due to rocking (the thinning surface is formed beyond the originally intended thinning surface). . The rotation center O1 is not limited to the above example, and may be configured to coincide with the axis O of the drill 3, for example. If comprised in that way, it will become possible to design the rotation mechanism part in a chuck unit more simply.

この面粗度が向上するという作用を、図13を用いて説明する。砥石の砥面は、砥粒が密に集まって構成されているため、回転砥石によって単に切削しただけの場合(揺動しない場合)には、砥石の回転方向に沿って、略砥粒の直径程度の凹凸(加工エッジ)が生じてしまう。これは砥粒の物理的な大きさの限界から生じるものであり、砥粒の径を更に微細なものに変える以外には解決できない問題である。しかし、砥石を回転させたままで、砥石と切削部材(ドリル)とを、揺動によって回転砥石の回転方向と略直交する方向に相対移動させることによって、加工エッジの大きさは縮小される。なお、図13においては、説明の便宜上、砥石側が揺動するような図として示している。具体的な試験結果を示すと、シンニング面(加工面)の平均高さ粗さをRa、最大高さ粗さをRzとした場合に、揺動しない場合にはRa=0.0164μm、Rz=0.0914μmであったものが、揺動を行った場合には同様の条件下で、Ra=0.0115μm、Rz=0.0459μmとなっている(数値は非接触3次元測定機による2回測定の平均値)。即ち、ドリルのシンニング面を回転砥石の切削面に対して揺動させることによって、シンニング面の面粗度を向上させることが可能となる。   The effect | action that this surface roughness improves is demonstrated using FIG. Since the abrasive surface of the grindstone is composed of densely packed abrasive grains, when it is simply cut with a rotating grindstone (when it does not rock), the diameter of the abrasive grains is approximately along the rotation direction of the grindstone. A certain degree of unevenness (processed edge) occurs. This arises from the limitation of the physical size of the abrasive grains and cannot be solved except by changing the diameter of the abrasive grains to a finer one. However, the size of the machining edge is reduced by moving the grindstone and the cutting member (drill) relative to each other in a direction substantially perpendicular to the rotation direction of the rotating grindstone by swinging while the grindstone is rotated. In addition, in FIG. 13, for the sake of convenience of explanation, it is shown as a view in which the grindstone side swings. Specifically, when the average height roughness of the thinning surface (processed surface) is Ra and the maximum height roughness is Rz, Ra = 0.0164 μm, Rz = What was 0.0914 μm is Ra = 0.115 μm and Rz = 0.0459 μm under the same conditions when rocking is performed (the numerical values are measured twice by a non-contact three-dimensional measuring machine). Average value of measurement). That is, it is possible to improve the surface roughness of the thinning surface by swinging the thinning surface of the drill with respect to the cutting surface of the rotating grindstone.

更に、揺動することによって、シンニング形成により生じることのあるバリ(シンニングエッジのバリ)を落とす効果もある。   Further, by swinging, there is an effect of removing burrs (thinning edge burrs) that may be caused by thinning formation.

面粗度の向上及びバリの除去により、単に(揺動しないで)シンニングを施しただけのドリルに比べて、孔あけ加工点の温度上昇が更に抑制され、切粉の排出性が向上し、溶着を防止できる。その結果として耐久性に優れたドリルを製造することが可能となっている。   By improving the surface roughness and removing burrs, the temperature rise at the drilling point is further suppressed compared to drills that are simply thinned (without rocking), and chip discharge is improved. Welding can be prevented. As a result, it is possible to manufacture a drill having excellent durability.

なお、本実施形態では、揺動のための回動機構がチャックユニット20側に備わっていたが、例えば、回転砥石ユニット10の側に回動機構を設けることで、同様の効果を得ることも可能である。   In this embodiment, the rotation mechanism for swinging is provided on the chuck unit 20 side. However, for example, the same effect can be obtained by providing the rotation mechanism on the rotating grindstone unit 10 side. Is possible.

又、本明細書においては、シンニングのみを形成する装置として記載しているが、これに限定される趣旨のものではなく、例えば、ドリル自体を製造するドリル製造装置に組み込んで構成してもよい。   Further, in this specification, it is described as an apparatus that forms only thinning, but the present invention is not limited to this. For example, the apparatus may be incorporated in a drill manufacturing apparatus that manufactures a drill itself. .

又、実施形態の説明では、微細径のドリルであることを前提として説明しているが、本発明に係るシンニング装置やシンニング形成方法は微細径ドリルだけに限定されるものではなく、より太い径を有するドリルに対して適用しても、シンニングの形成精度を向上させることができ有用である。   Further, in the description of the embodiment, the description is made on the assumption that the drill is a fine diameter, but the thinning apparatus and the thinning forming method according to the present invention are not limited to the fine diameter drill, and the diameter is larger. Even when applied to a drill having a diameter, it is useful because it can improve the accuracy of thinning formation.

本発明に係るシンニング装置を用いてシンニング形成された微細径のドリルは、例えば、高密度プリント基板をはじめディーゼルエンジン用燃料噴射ノズルに対する孔あけや化繊紡糸ノズルに対する孔あけ、メガチップの半田ボール用治具に対する孔あけ等に対して非常に適している。   The fine-diameter drill thinned using the thinning apparatus according to the present invention includes, for example, drilling for fuel injection nozzles for diesel engines including high-density printed circuit boards, drilling for chemical fiber spinning nozzles, and treatment for solder balls of megachips. Very suitable for drilling holes in tools.

本発明に係るシンニング装置の斜視図The perspective view of the thinning apparatus which concerns on this invention 本発明に係るシンニング装置の正面図Front view of the thinning apparatus according to the present invention (A)はドリルチャックユニットの斜視図、(B)は、同平面図、(C)は、同正面図、(D)は、同右側面図、(E)は、同背面図(A) is a perspective view of the drill chuck unit, (B) is a plan view thereof, (C) is a front view thereof, (D) is a right side view thereof, and (E) is a rear view thereof. ドリルチャックユニットの部分分解構成図Partially exploded configuration diagram of the drill chuck unit シンニング加工工程を示すフローチャートFlow chart showing the thinning process シンニング装置の平面図であって、シンニング加工位置と観察位置との関係を表わした図A plan view of the thinning device, showing the relationship between the thinning processing position and the observation position 加工位置における回転砥石とドリル先端の関係図Relationship diagram between rotating wheel and drill tip at machining position 第1のカメラから見たドリル先端と位置決めユニットの関係図Relationship between drill tip and positioning unit as seen from the first camera モニタ側に用意された位置決め用パネルPositioning panel prepared on the monitor side (A)は、図8の状態を上側(X軸側)から見た図、(B)は、(A)のR部詳細拡大図(A) is the figure which looked at the state of FIG. 8 from the upper side (X-axis side), (B) is the R section detailed enlarged view of (A). チャックユニットの回動中心を示す図Diagram showing the center of rotation of the chuck unit 回転砥石に対して揺動するドリルの回動状態を示す図The figure which shows the rotation state of the drill which rocks with respect to a rotating grindstone 揺動(回動)の効果を模式的に示す図であって、(A)は、揺動(回動)をしない場合を示した図、(B)は、揺動(回動)をした場合を示す図It is a figure which shows the effect of rocking | fluctuation (rotation) typically, (A) is the figure which showed the case where rocking | fluctuation (rotation) is not carried out, (B) was rocking | fluctuating (rotation). Illustration showing the case

符号の説明Explanation of symbols

1…シンニング装置
2…基台
3…ドリル
10…砥石ユニット
11…回転砥石
12…砥石駆動軸
14…ハウジング
15…カップリング
16…モータ
17…モータベース
18…モータ制御部
20…チャックユニット
21…チャック部
21A…チャック本体
21B…チャック
22…チャック締付けボルト
23…回動機構部
23A…回動本体
23A´…回動ブロック
23B…回動ベース
23C…第1回動ボルト
23D…第2回動ボルト
23E…チャック本体固定用ボルト
23F…第1支持板
23G…第2支持板
23H…ボルト
23I…第1回動ボルト支持板
23J…第2回動ボルト支持板
23K…ガイド溝
23L…フォロワーベアリング
23M…チャック本体軸方向固定ボルト
24…回転機構部
24A…回転用円板
24B…回転ベース
24C…回転ベース固定用ボルト
24D…回転規制溝
24D1…溝端A部
24D2…溝端B部
24E…回転円板固定用ボルト
25…チャック本体軸方向固定部
25A…チャック本体軸方向固定第1プレート
25B…チャック本体軸方向固定第2プレート
25C…ノックピン
30…ステージユニット
31…Xステージ
32…Yステージ
32A…手動調整用つまみ(Yステージ)
33…ステージ制御部
40…位置決めユニット
41…ゲージ部
41A…溝
41B…基準面
42…ゲージ支持部
43…第1カメラユニット
44…モニタ
45…CCDカメラ
46…鏡筒
47…対物レンズ
48…リング照明
56…位置決めパネル
M…砥石回転中心
O…ドリル軸心
O1…回動中心
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Thinning apparatus 2 ... Base 3 ... Drill 10 ... Grinding wheel unit 11 ... Rotary grindstone 12 ... Grinding wheel drive shaft 14 ... Housing 15 ... Coupling 16 ... Motor 17 ... Motor base 18 ... Motor control part 20 ... Chuck unit 21 ... Chuck Part 21A ... Chuck body 21B ... Chuck 22 ... Chuck tightening bolt 23 ... Rotation mechanism part 23A ... Rotation body 23A '... Rotation block 23B ... Rotation base 23C ... First rotation bolt 23D ... Second rotation bolt 23E ... Bolt for fixing the chuck body 23F ... First support plate 23G ... Second support plate 23H ... Bolt 23I ... First rotation bolt support plate 23J ... Second rotation bolt support plate 23K ... Guide groove 23L ... Follower bearing 23M ... Chuck Main body axial fixing bolt 24 ... Rotation mechanism 24A ... Rotary disc 24B ... Time Base 24C ... Rotating base fixing bolt 24D ... Rotation restricting groove 24D1 ... Groove end A part 24D2 ... Groove end B part 24E ... Rotating disc fixing bolt 25 ... Chuck body axial fixing part 25A ... Chuck body axial fixing first plate 25B ... Chuck body axial fixed second plate 25C ... Knock pin 30 ... Stage unit 31 ... X stage 32 ... Y stage 32A ... Manual adjustment knob (Y stage)
33 ... Stage control unit 40 ... Positioning unit 41 ... Gauge unit 41A ... Groove 41B ... Reference plane 42 ... Gauge support unit 43 ... First camera unit 44 ... Monitor 45 ... CCD camera 46 ... Lens barrel 47 ... Objective lens 48 ... Ring illumination 56 ... Positioning panel M ... Grinding wheel rotation center O ... Drill axis O1 ... Rotation center

Claims (8)

シンニング加工をしようとするドリルを保持可能なチャックユニットと、
回転砥石を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニットと、
前記回転砥石に対して、前記チャックユニットを、少なくともドリルの軸方向であるY軸方向及び該軸方向と直角の方向であるX軸方向に移動・位置決め可能とするステージユニットと、
前記ドリルのシンニング加工位置以外の所定の位置に、前記ドリルを位置決め可能とする位置決めユニットと、を備え、
前記所定の位置を原点として、該原点からの前記ステージユニットの駆動・制御により前記シンニング加工位置におけるシンニング加工を行う
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
A chuck unit capable of holding a drill to be thinned,
A grindstone unit that has a rotating grindstone and is fixed at a specific position;
A stage unit that can move and position the chuck unit in at least the Y-axis direction that is the axial direction of the drill and the X-axis direction that is perpendicular to the axial direction with respect to the rotating grindstone;
A positioning unit capable of positioning the drill at a predetermined position other than the thinning position of the drill,
A thinning apparatus for a drill, characterized in that thinning is performed at the thinning position by using the predetermined position as an origin and driving and controlling the stage unit from the origin.
請求項1において、
前記ドリルが、直径0.5mm以下の微細径ドリルである
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
In claim 1,
The drill is a fine drill having a diameter of 0.5 mm or less.
請求項1又は2において、
前記ステージユニットが、更に、
X軸方向及びY軸方向の双方と垂直な方向であるZ軸方向にも前記チャックユニットを移動・位置決め可能である
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
In claim 1 or 2,
The stage unit further comprises:
A drill thinning apparatus characterized in that the chuck unit can also be moved and positioned in the Z-axis direction, which is a direction perpendicular to both the X-axis direction and the Y-axis direction.
請求項1乃至3のいずれかにおいて、
更に、前記位置決めユニットが、前記所定の位置における前記ドリルの先端を、前記Y軸方向から観察するための第1のカメラユニットを備える
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
In any one of Claims 1 thru | or 3,
Further, the positioning unit includes a first camera unit for observing the tip of the drill at the predetermined position from the Y-axis direction.
請求項4において、
前記位置決めユニットが、更に、前記所定の位置を、前記X軸方向又は前記Z軸方向から観察可能な第2のカメラユニットが備える
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
In claim 4,
The drilling thinning apparatus, wherein the positioning unit further includes a second camera unit capable of observing the predetermined position from the X-axis direction or the Z-axis direction.
請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記加工位置が、該加工位置と前記砥石の回転中心とを結ぶ線と、該砥石の回転中心を通るY軸と平行な線とで作る角度が40°±10°となる位置とされている
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
In any one of Claims 1 thru | or 5,
The processing position is a position where an angle formed by a line connecting the processing position and the rotation center of the grindstone and a line parallel to the Y axis passing through the rotation center of the grindstone is 40 ° ± 10 °. A drill thinning device characterized by that.
請求項1乃至6のいずれかにおいて、
更に、前記ドリルのシンニング加工状態において、該ドリルのシンニング加工部が前記砥石の切削面に対して揺動するように、前記チャックユニットを所定の位置を中心とする曲面に沿って回動させる回動機構を備える
ことを特徴とするドリルのシンニング装置。
In any one of Claims 1 thru | or 6.
Further, in the thinning state of the drill, the chuck unit is rotated along a curved surface centered on a predetermined position so that the thinning portion of the drill swings with respect to the cutting surface of the grindstone. A drill thinning device comprising a moving mechanism.
シンニング加工をしようとするドリルを保持可能なチャックユニットと、回転砥石を有し特定の位置に設置固定された砥石ユニットと、該砥石に対して、前記チャックユニットを、少なくともドリルの軸方向であるY軸方向及び該軸方向と直角の方向であるX軸方向に移動・位置決め可能とするステージユニットと、前記ドリルのシンニング加工位置以外の所定の位置に、前記ドリルを位置決め可能とする位置決めユニットとを備えたドリルのシンニング装置によるシンニング形成方法であって、
前記所定の位置を原点として、該原点から前記ステージユニットを駆動・制御することによって前記シンニング加工位置においてシンニングを形成する
ことを特徴とするドリルのシンニング形成方法。
A chuck unit capable of holding a drill to be thinned, a grindstone unit having a rotating grindstone and fixed at a specific position, and the chuck unit with respect to the grindstone is at least in the axial direction of the drill A stage unit capable of moving and positioning in the Y-axis direction and the X-axis direction perpendicular to the axial direction, and a positioning unit capable of positioning the drill at a predetermined position other than the thinning position of the drill; A thinning forming method using a drill thinning apparatus comprising:
A thinning forming method for a drill, characterized in that thinning is formed at the thinning position by driving and controlling the stage unit from the predetermined position with the predetermined position as an origin.
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