JP2007192835A - 濁度および微粒子の測定方法と測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザから出力される光ビームを均一な強度分布に変換する光学素子を用いること、またこの光学素子に均一な強度分布に光ビームを整形するホログラムを用いることで解決できる。
【選択図】 図1
Description
その問題とは、半導体レーザを用いた濁度計や微粒子カウンタの光ビームは強度分布を持っており、微粒子の光ビーム中を通る位置によって、散乱光パルス、あるいは光遮断パルスの波高値が異なり、同じ大きさの微粒子であっても異なる粒径としてカウントされることである。半導体分野に使用する測定器では、光ビームの強度分布が平坦な部分のみを通過するように流路を絞る工夫がされているが、上水分野に使用する測定器では、流路が目詰まりを起こす可能性があるので、1mm角程度までにしか小さくできない。そこで、通常は光ビーム強度分布をガウシァン分布などに仮定することにより、カウント値に補正をかけている。この補正は微粒子数が多いときは有効だが、数が少なくなると精度が悪くなる。特に上水分野における10μm以上の微粒子数は非常に少ないので、光ビームの強度分布補正が行なわれた微粒子個数はばらつきが大きくなる。
請求項6、7の発明は、請求項1の光学素子において、均一な強度分布に光ビームを整形するための溝を刻んだホログラムを使用することとする。
請求項1の発明は、光源に半導体レーザを用いて光ビームを試料水に向けて照射し、試料水中の微粒子による散乱光または光遮断を光電変換素子で電気信号に変換し、微粒子の散乱光パルス信号または光遮断パルス信号に基づいて、粒径区分ごとに試料水中の微粒子の個数濃度を求め、さらに、前記微粒子の個数濃度に対して粒径区分ごとに個別の係数を乗じて試料水の濁度を求める濁度および微粒子の測定方法において、強度分布が均一でない半導体レーザからの光ビームを、均一な強度分布に変換する光学素子によって半導体レーザからの照射された光ビームの強度分布を均一にする濁度および微粒子の測定方法であることを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項2記載の濁度および微粒子の測定装置において、前記光学素子は、光強度分布がガウシァン型である発散光を均一な強度分布を有する平行光に変換する光学素子を用い、半導体レーザから照射された発散光を前記光学素子により、均一強度分布を有する平行光に変換することを特徴とする。
〔実施例1〕
本発明の請求項1〜3、5に関する実施例として、光遮断方式の光学系を図1に示す。図5は従来の光遮断方式の光学系であり、これら図1、5はフローセル8の流路に対して垂直で光軸を含む断面を記載してある。以下に詳細な内容を記述する。
〔実施例2〕
本発明の請求項1、2、4、5に関する実施例として、光強度分布がガウシァン型である発散光を均一な強度分布の平行光に変換する光学素子を用いた例を図2に示す。
〔実施例3〕
本発明の請求項1、2、6に関する実施例として、光強度分布がガウシァン型である平行光を、光軸に垂直な面の断面形状が所定の位置において長方形、あるいは楕円形状となるように整形し、少なくとも光軸を中心として長辺の方向、あるいは長軸の方向の強度分布が均一である偏平光とするホログラムを用いた例を図3に示す。
尚、本実施例では光遮断方式の光学系に、光強度分布がガウシァン型である平行光を均一な強度分布の平行光に変換する光学素子を適用したが、前方散乱光方式や側方散乱光方式の光学系に対しても適用可能である。
〔実施例4〕
本発明の請求項1、2、7に関する実施例として、光強度分布がガウシァン型である発散光を、光軸に垂直な面の断面形状が所定の位置において長方形、あるいは楕円形状となるように整形し、少なくとも光軸を中心として長い辺の方向、あるいは長軸方向の強度分布が均一である偏平光とするホログラムを用いた例を図4に示す。
尚、本実施例では光遮断方式の光学系に、光強度分布がガウシァン型である平行光を均一な強度分布の平行光に変換する光学素子を適用したが、前方散乱光方式や側方散乱光方式の光学系に対しても適用可能である。
8A: 直線
11: 半導体レーザ
11A: 発散光
11B: 光ビームの光軸
12: コリメートレンズ
13: シリンドリカルレンズ
14、15: 光学素子
16、17: ホログラム
Claims (7)
- 光源に半導体レーザを用いて光ビームを試料水に向けて照射し、試料水中の微粒子による散乱光または光遮断を光電変換素子で電気信号に変換し、微粒子の散乱光パルス信号または光遮断パルス信号に基づいて、粒径区分ごとに試料水中の微粒子の個数濃度を求め、さらに、前記微粒子の個数濃度に対して粒径区分ごとに個別の係数を乗じて試料水の濁度を求める濁度および微粒子の測定方法において、
強度分布が均一でない半導体レーザからの光ビームを、均一な強度分布に変換する光学素子によって半導体レーザからの照射された光ビームの強度分布を均一にすることを特徴とする濁度および微粒子の測定方法。 - 光ビームを試料水に向けて照射する半導体レーザを用いた光源と、前記の光ビームにより試料水中の微粒子によって散乱光または光遮断を光電変換素子で電気信号に変換する光電変換手段と、微粒子の散乱光パルス信号または光遮断パルス信号に基づいて、粒径区分ごとに試料水中の微粒子の個数濃度を求める微粒子の計数手段と、さらに、前記微粒子の個数濃度に対して粒径区分ごとに個別の係数を乗じて試料水の濁度を求める手段とを備えた濁度および微粒子の測定装置において、
強度分布が均一でない半導体レーザからの光ビームを、均一な強度分布に変換する光学素子によって半導体レーザの照射された光ビームの強度分布を均一にする手段を備えたことを特徴とする濁度および微粒子の測定装置。 - 請求項2記載の濁度および微粒子の測定装置において、
前記光学素子は、光強度分布がガウシァン型である平行光を均一な強度分布を有する平行光に変換する光学素子を用い、半導体レーザから照射された発散光を、コリメートレンズで平行光とした後、前記光学素子によって均一強度分布の光ビームに変換することを特徴とする濁度および微粒子の測定装置。 - 請求項2記載の濁度および微粒子の測定装置において、
前記光学素子は、光強度分布がガウシァン型である発散光を均一な強度分布を有する平行光に変換する光学素子を用い、半導体レーザから照射された発散光を前記光学素子により、均一強度分布を有する平行光に変換することを特徴とする濁度および微粒子の測定装置。 - 請求項3、または4記載の濁度および微粒子の測定装置において、
前記均一強度分布を有する平行光をシリンドリカルレンズによって、フロ─セル内の所定の位置における光軸に垂直な断面形状が長方形、あるいは楕円形状となるように集光し、前記集光された光ビームの長辺あるいは長軸の方向が、流路に垂直となるようにシリンドリカルレンズを設置することを特徴とする濁度および微粒子の測定装置。 - 請求項2記載の濁度および微粒子の測定装置において、
前記光学素子は、光強度分布がガウシァン型である平行光を、光軸に垂直な面の断面形状が所定の位置において長方形、あるいは楕円形状となるように整形し、少なくとも光軸を中心として長い辺の方向、あるいは長軸方向の強度分布が均一である偏平光とするホログラムを用い、半導体レーザから照射された発散光を、コリメートレンズで平行光とした後、前記ホログラムによって均一強度分布の偏平光ビームに変換することを特徴とする濁度および微粒子の測定装置。 - 請求項2記載の濁度および微粒子の測定装置において、
前記光学素子は、光強度分布がガウシァン型である発散光を、光軸に垂直な面の断面形状が所定の位置において長方形、あるいは楕円形状となるように整形し、少なくとも光軸を中心として長い辺の方向、あるいは長軸方向の強度分布が均一である偏平光とするホログラムを用い、半導体レーザから照射された発散光を前記ホログラムによって均一強度分布の偏平光ビームに変換することを特徴とする濁度および微粒子の測定装置。
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