JP2007192245A

JP2007192245A - 基板処理装置

Info

Publication number: JP2007192245A
Application number: JP2006008476A
Authority: JP
Inventors: Naotada Maekawa; 直嗣前川
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2006-01-17
Filing date: 2006-01-17
Publication date: 2007-08-02

Abstract

【課題】視覚的な識別を可能にすることにより、配管の誤接続を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】注入管３４〜３６と、第１〜第３の注入部３１〜３３とをそれぞれ連結するナット４２に識別用の着色が施されている。例えば、硫酸用には「青色系」の着色を施し、過酸化水素水には「黄色系」の着色を施し、有機溶剤等の酸との混合で極めて危険なものには「赤色系」のようにする。したがって、ナット４２の色を見て容易に注入管３４〜３６を識別することができるので、配管の誤接続を防止することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板を、処理液や気体などの流体によって処理する基板処理装置に関する。

従来、この種の装置として、複数種類の液体を供給するための複数本のチューブを備え、各チューブを連通接続して液体を混合し、所要の処理液を生成して基板に供給したり、チューブをノズルなどの流入部に連結し、単独の液体をノズルから処理液として基板に供給したりして、基板に対して処理を行うものが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。

半導体業界では、薬液などの液体の純度に対する要求値が非常に厳しく、チューブの清浄度にも同様の要求がある。そのため、チューブは、フッ素樹脂などの材料を白色または透明の素材の色のまま加工されて装置に使用されている。
特開２００４−１１３９８７号公報（図２）

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、同様のチューブが多数存在することになるので、誤接続する可能性があるという問題がある。なお、薬液の組み合わせによっては、異常な化学反応を生じる恐れがあるので、誤接続は非常に危険である。

従来の装置は、

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、視覚的な識別を可能にすることにより、配管の誤接続を防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を流体で処理する基板処理装置において、流体により基板を処理するための処理部と、前記処理部に連通接続され、流体が流通する配管と、前記配管同士、または流体の流入・流出部と前記配管とを連通接続させ、かつ識別用の着色が施された連結機構と、を備えていることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、処理部に連通接続され、流体が流通する配管同士、または流体の流入・流出部と配管とを連通接続する連結機構に識別用の着色が施されている。したがって、連結機構の色を見て容易に配管を識別することができるので、配管の誤接続を防止することができる。

なお、ここでいう流体とは、例えば、硫酸、過酸化水素水やフォトレジスト液などの処理液、水素ガス、シランガスや窒素ガスなどの気体である。また、流入・流出部における流入部とは、例えば、ノズルの吐出口とは反対側にあたる供給部などであり、流出部とは、流体の供給源に連通されている供給口などである。また、識別とは、例えば、流体の種類や流体の濃度、または同じ流体であっても異なる供給源からのものを区別することである。

また、本発明において、前記連結機構は、前記配管の外周部を係止して連結するナットを備えていることが好ましい（請求項２）。配管を連結するナットに着色することにより、配管に応じて適宜の着色がされたナットを選択して取り付けることができる。そのため、自由度高く配管の識別設定が可能となる。

また、請求項3に記載の発明は、基板を流体で処理する基板処理装置において、流体により基板を処理するための処理部と、前記処理部に連通接続され、流体が流通する配管と、前記配管同士、または流体の流入・流出部と前記配管とを連通接続する連結機構と、識別用の着色が施され、前記配管の外周部に着脱自在の識別片と、を備えていることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項３に記載の発明によれば、処理部に連通接続され、流体が流通する配管の外周部に着脱自在の識別片に識別用の着色が施されている。したがって、識別片の色を見て容易に配管を識別することができるので、配管の誤接続を防止することができる。また、配管に応じて適宜の着色がなされた識別片を選択して取り付け、取り外しができるので、自由度を高くして配管の識別設定が可能であり、かつ変更が容易にできる。さらに、通常、ナットなどの連結機構は、一つの配管の一端側に一つしか取り付けられないが、識別片であれば一つの配管に複数個取り付けることができる。したがって、識別片を組み合わせることにより、識別可能な種類を大幅に増大させることできる。

また、本発明において、前記識別片は、前記配管の流通側にあたる両端部が異形状に形成されていることが好ましい（請求項４）。配管を流通する流体の方向を識別することができ、さらに誤接続を防止するのに役立つ。

また、本発明において、前記連結機構は、識別用の着色が施されていることが好ましく（請求項５）、前記連結機構は、前記配管の外周部に係止して連結するナットを備えていることが好ましい（請求項６）。

本発明に係る基板処理装置によれば、配管同士、または流体の流入・流出部と配管とを連通接続する連結機構に識別用の着色が施されている。したがって、連結機構の色を見て作業者が容易に配管を識別できるので、配管の誤接続を防止できる。

以下、図面を参照して本発明の実施例1を説明する。
図１は、実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。

処理槽１は、内槽３と外槽５とを備えている。内槽３は、処理液を貯留し、基板Ｗを収容して基板Ｗに対して処理液による処理を行う。外槽５は、内槽３の上部外周部に配設されており、内槽３から溢れた処理液を回収して排液する。

内槽３の上部には、リフター７が配設されている。リフター７は、背板９と、背板９の下部に３つの支持部１１を備えている。支持部１１は、図示しない多数の溝を上部に備え、基板Ｗを起立姿勢で支持する。リフター７は、図示しない昇降機構により、図１中に実線で示す「処理位置」と、内槽３の上方にあたる「待機位置」とにわたって昇降可能に構成されている（図１中の二点鎖線）。

内槽３の底部両側には、噴出管１３が配設されている。噴出管１３は、複数個の噴出孔（図示省略）が形成されており、内槽３の中央部に向けて処理液を供給する。内槽３の中央底部には、内槽３内の処理液を全て排出する際に開放される排液口１７が形成されている。噴出管１３には、供給配管１９の一端側が連通接続されている。その他端側には、純水供給源２１が連通接続されている。

供給配管１９には、純水供給源２１側から下流に向かってミキシングバルブ２３と、制御弁２５とが配設されている。制御弁２５は、供給配管１９の流路を開放・閉止するとともに、開放時における流量を調整することができる機能を備えている。

ミキシングバルブ２３は、流入部２７と流出部２９とを備える。流入部２７には、純水供給源２１が供給配管１９により連通され、流出部２９には、制御弁２５が供給配管１９を介して連通接続されている。このミキシングバルブ２３は、例えば、最大三種類の薬液を混合することができるように、第１の注入部３１と、第２の注入部３２と、第３の注入部３３とを備えている。薬液は、例えば、硫酸（Ｈ₂ＳＯ₄）、過酸化水素水（Ｈ₂Ｏ₂）などが挙げられる。

第１〜第３の注入部３１〜３３は、それぞれ注入管３４〜３６と、制御弁３７〜３９とを備えている。各注入管３４〜３６は、後述する連結機構によって各先端部が第１〜第３の注入部３１〜３３に取り付けられ、各後端部が図示しない各種の薬液供給源に連通接続されている。

なお、第１〜第３の注入部３１〜３３が本発明における流入部に相当し、注入管３４〜３６が本発明における配管に相当する。

次に、図２を参照して、連結機構について説明する。なお、図２は、実施例１の要部を示す縦断面図である。また、以下の説明においては、第１の注入部３１を例に説明するが、その他の第２、第３の注入部３２，３３であっても同様である。

注入管３４は、例えば、耐薬品性を備えたＰＦＡなどのフッ素樹脂で構成された可撓性のチューブからなる。この注入管３４の先端部の内周側には、ナット４２を挿通した状態で、スリーブ４３が挿入されている。ナット４２は、注入管３４を挿通するための挿通孔４５と、その反対側に、挿通孔４５よりも開口径が大きく、内周側にネジ溝が形成された係止開口４７とを備えている。スリーブ４３は、一端側が他端側よりも隆起した縦断面形状を呈し、隆起した側が、注入管３４の外径をナット４２の挿通孔４５の内径よりも大きく保つ役目を有する。第１の注入部３１の連通孔４９に注入管３４のスリーブ４３側を挿入する。連通孔４９の外周面には、ネジ溝が形成してあるので、ナット４２を回すことにより、ナット４２が第１の注入部３１に係止され、その結果、注入管３４が第１の注入部３１に連通接続される。

上記のナット４２は、注入管３４、スリーブ４３、第１の注入部３１と異なり、流体である薬液や純水に接液しない。そこで、このナット４２を、識別用の着色を施したものとしておく。例えば、硫酸用には「青色系」の着色を施し、過酸化水素水には「黄色系」の着色を施し、有機溶剤等の酸との混合で極めて危険なものには「赤色系」のようにする。なお、ナット４２の外周面だけに塗装着色すると、塗装が剥がれ落ちてパーティクルを発生する原因となるので、材料の樹脂自体に着色することが好ましい。上記例のように識別用の着色を施した場合は、外観上、図３に示すようになる。このように注入管３４〜３６が目視で容易に区別できるので、誤接続を防止することが可能となる。

上記の実施例１によると、注入管３４と、第１の注入部３１とを連結するナット４２に識別用の着色が施されている。したがって、ナット４２の色を見て容易に配管を識別することができるので、注入管３４〜３６の誤接続を防止することができる。

次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。
図４は、実施例２に係る基板処理装置に用いられる識別片を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は平面図である。また、図５は、識別片を取り付けた状態を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は正面図である。なお、装置の概略構成は、上述した実施例１と同様であるので装置の説明については省略する。以下においては、主に識別片について説明する。

この識別片６１は、耐薬品性を備える材料、例えば、ＰＦＡ等のフッ素樹脂で形成されている。また、識別片６１自体に識別用の染料を混合して材料自体に着色を施してある。識別片６１は、上辺６３が底辺６５よりも短く形成され、長軸側の一端部が傾斜面６７を形成して、左右非対称に構成されている。その内径は、注入管３４〜３６の外径より若干小径となるよう形成され、上辺６３には長軸側の両端に達する切れ目６９が形成されている。

上記のように構成された識別片６１は、装置の設置の際などに、作業者が識別片６１の切れ目６９を拡げつつ、例えば、図５に示すようにして注入管３４〜３６などに取り付けられる。そのとき、識別片６１の傾斜面６７を薬液の流れる方向、例えば、図５のように左側に向けて識別片６１を取り付けることにより、注入管３４〜３６を容易に識別できるだけでなく、薬液の流通方向をも識別可能となる。なお、図５では、２箇所に識別片６１を取り付けてある。

上記のように識別片６１を取り付けた基板処理装置は、識別片６１の色を見て容易に注入管３４〜３６を識別することができるので、注入管３４〜３６の誤接続を防止することができる。また、注入管３４〜３６に応じて適宜の着色がなされた識別片６１を選択して取り付け、取り外しができるので、自由度を高くして注入管３４〜３６の識別設定が可能であり、かつ実施例１におけるナット４２に比較すると変更が容易にできる。さらに、通常、実施例１のようなナット４２などの連結機構は、注入管３４〜３６の一端側に一つしか取り付けられないが、識別片６１であれば上述したように一つの注入管３４〜３６に複数個取り付けることができる。したがって、識別片６１を組み合わせることにより、識別可能な種類を大幅に増大させることできる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例１では、注入管３４〜３６（配管）をミキシングバルブ２３の第１〜第３の注入部３１〜３３（流入部）に対してナット４２で取り付けているが、例えば、配管同士の連結する箇所や、流出部と配管との接続にナット４２を用いてもよい。

（２）上述した実施例２では、識別片６１だけを取り付けて識別しているが、実施例１のナット４２を併用してもよい。これにより、識別可能な種類をさらに増やすことができる。

（３）上述した各実施例１，２では、流体として薬液（硫酸、過酸化水素水）を例示しているが、流体としては、例えば、フォトレジスト液、水素ガス、シランガスや窒素ガスなどの気体も含む。また、流体の種類だけでなく、その濃度に応じて識別するようにしてもよく、同種類かつ同濃度であっても、供給源ごとに識別するようにナット４２や識別片６１を取り付けて識別するようにしてもよい。

（４）また、上述した基板を処理槽１に浸漬して処理する基板処理装置の他に、例えば、フォトレジスト液を基板に対して供給するノズルを備えた塗布装置であっても本発明を適用することができる。このような装置では、ノズルの吐出口とは反対側にあたる供給部などが本発明における流入部にあたる。複数本のノズルを備え、各ノズルから異なる塗布液（流体）を供給する場合、ノズルごとにナット４２や識別片６１を異なる着色のものとしたり、複数個の識別片６１を取り付けたりして用いればよい。

実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。実施例１の要部を示す縦断面図である。ミキシングバルブ周りの概略構成を示す斜視図である。実施例２に係る基板処理装置に用いられる識別片を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は平面図である。識別片を取り付けた状態を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は正面図である。

符号の説明

Ｗ … 基板
１ … 処理槽
３ … 内槽
５ … 外槽
７ … リフター
２３ … ミキシングバルブ
３１〜３３ … 第１〜第３の注入部（流入部）
３４〜３６ … 注入管（配管）
４２ … ナット（連結機構）
６１ … 識別片
６７ … 傾斜面
６９ … 切れ目

Claims

基板を流体で処理する基板処理装置において、
流体により基板を処理するための処理部と、
前記処理部に連通接続され、流体が流通する配管と、
前記配管同士、または流体の流入・流出部と前記配管とを連通接続させ、かつ識別用の着色が施された連結機構と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記連結機構は、前記配管の外周部を係止して連結するナットを備えていることを特徴とする基板処理装置。
基板を流体で処理する基板処理装置において、
流体により基板を処理するための処理部と、
前記処理部に連通接続され、流体が流通する配管と、
前記配管同士、または流体の流入・流出部と前記配管とを連通接続する連結機構と、
識別用の着色が施され、前記配管の外周部に着脱自在の識別片と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
請求項３に記載の基板処理装置において、
前記識別片は、前記配管の流通側にあたる両端部が異形状に形成されていることを特徴とする基板処理装置。
請求項３または４に記載の基板処理装置において、
前記連結機構は、識別用の着色が施されていることを特徴とする基板処理装置。
請求項３から５のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記連結機構は、前記配管の外周部に係止して連結するナットを備えていることを特徴とする基板処理装置。