JP2007185647A - Method of treating silicon powder-containing drainage - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of flocculating a fine silicon powder that can speedily sediment a flocculated precipitate and lower the turbidity of treated water obtained. <P>SOLUTION: Provided is a method of treating silicon powder-containing drainage that involves rendering an inorganic flocculant comprised of a silica sol-aqueous metal salt having the molar ratio of silica to metal being 0.05-3.0 to be contained so that the concentration of the inorganic flocculant is 15-300 (mg/L) in terms of metal, and then adding an organic polymer flocculant thereto. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、シリコン粉含有排水の新規な処理方法に関する。詳しくは、金属珪素、シリコン切削屑などの非常に粒子が細かいシリコン粉を含有する排水の処理方法に関する。   The present invention relates to a novel method for treating wastewater containing silicon powder. More specifically, the present invention relates to a method for treating waste water containing silicon powder having very fine particles such as metal silicon and silicon cutting waste.

廃棄物となるシリコン粉を含む排水、具体的には、微細な金属珪素やシリコン切削屑を含む排水は、以下のような場所から排出されている。   Wastewater containing silicon powder as waste, specifically, wastewater containing fine metal silicon and silicon cutting waste, is discharged from the following places.

例えば、金属珪素は、塩化水素と反応させてシリコンの原料となる塩化珪素等の製造に使用されているが、この塩化珪素を回収する際に、反応に使用されて微細化した金属珪素を含む排水が排出される。また、前記塩化珪素等を原料とする多結晶シリコンロッド、単結晶シリコンロッド、シリコンウェハ等は、切断、研磨工程を経て製品となるため、その際、シリコン切削屑を含んだ排水が排出される。このような金属珪素、シリコン切削屑等を含むシリコン粉含有排水は、含まれるシリコン粉が非常に細かい粒子(特に、シリコン切削屑)であるため、凝集処理が難しく、様々な処理方法が提案されている。   For example, metallic silicon is used for the production of silicon chloride or the like that is used as a raw material of silicon by reacting with hydrogen chloride, and when this silicon chloride is recovered, it contains metal silicon that has been refined by being used in the reaction. Waste water is discharged. In addition, polycrystalline silicon rods, single crystal silicon rods, silicon wafers, etc. made from silicon chloride or the like are processed through cutting and polishing processes, and at that time, waste water containing silicon cutting waste is discharged. . Silicon powder containing wastewater containing such metal silicon and silicon cutting waste is difficult to agglomerate because the silicon powder contained is very fine particles (especially silicon cutting waste), and various treatment methods have been proposed. ing.

例えば、金属シリコンの切削粉を含有する切削排水に、塩化アルミニウム等の無機凝集剤を添加し、pHを10以上に調整して、金属シリコン凝集物を浮遊せしめて処理する方法が提案されている(特許文献1参照)。上記方法は、最終的に得られる水において、切削物の残分濃度が低く、優れた処理方法であるが、pHを10以上に調整するため、金属シリコン粉と水とが反応して水素を発生するおそれがあり、操作性といった点で改善の余地があった。   For example, a method has been proposed in which an inorganic flocculant such as aluminum chloride is added to cutting wastewater containing metal silicon cutting powder, the pH is adjusted to 10 or more, and the metal silicon agglomerates are floated and processed. (See Patent Document 1). The above method is an excellent treatment method with a low residual concentration of the cut material in the finally obtained water, but in order to adjust the pH to 10 or more, the metal silicon powder reacts with water to generate hydrogen. There is room for improvement in terms of operability.

また、その他にも、シリコン粉含有排水に、無機凝集剤、浮上助剤、高分子凝集剤を加え、微細気泡を含む加圧水で処理する方法(特許文献2参照)、pHの調整または酸化剤を添加し、無機凝集剤を加えて処理する方法(特許文献3参照)等が提案されている。   In addition, a method of adding an inorganic flocculant, a flotation aid, and a polymer flocculant to silicon powder-containing wastewater, and treating with pressurized water containing fine bubbles (see Patent Document 2), adjusting pH or oxidizing agent A method of adding and treating by adding an inorganic flocculant (see Patent Document 3) has been proposed.

しかしながら、特許文献2に記載された方法では、微細気泡を含む加圧水で処理するため、工程が複雑になり、操作性といった点で改善の余地があった。また、特許文献3に記載された方法では、得られる凝集物の沈降速度が遅かったり、最終的に得られる水の濁度を十分に低減できない場合があり、改善の余地があった。   However, since the method described in Patent Document 2 is treated with pressurized water containing fine bubbles, the process becomes complicated and there is room for improvement in terms of operability. Moreover, in the method described in Patent Document 3, there is room for improvement because the sedimentation rate of the obtained aggregates is slow or the turbidity of the finally obtained water cannot be sufficiently reduced.

一方、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる水処理凝集剤についても提案されている(特許文献4)。しかしながら、特許文献4に記載された具体的な方法には、単に濁度が記載された水の処理しか行われておらず、本発明の対象となるシリコン粉含有排水を処理することについては示されていない。   On the other hand, a water treatment flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt has also been proposed (Patent Document 4). However, in the specific method described in Patent Document 4, only the treatment of water with turbidity is performed, and the treatment of wastewater containing silicon powder that is the subject of the present invention is shown. It has not been.

特開平10−323675号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-323675 特公平3−14516号公報Japanese Patent Publication No. 3-14516 特開2004−261708号公報JP 2004-261708 A 特公平4−75796号公報Japanese Examined Patent Publication No. 4-75796

従って、本発明の目的は、凝集処理が難しいシリコン粉を含む排水の処理において、操作性がよく、しかも、凝集物の沈降速度が速く、凝集物を分離した際の水の濁度を十分低くすることができる、シリコン粉含有排水の処理方法を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is to improve the operability in the treatment of wastewater containing silicon powder, which is difficult to agglomerate, and the agglomerate sedimentation rate is fast, and the turbidity of water when separating the agglomerates is sufficiently low An object of the present invention is to provide a method for treating wastewater containing silicon powder.

本発明者等は、上記課題を解決するために鋭意研究を続けてきた。その結果、シリコン粉含有排水に、特定のシリカゾル−水溶性金属塩を含ませ、次いで、有機高分子凝集剤を添加することにより、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   The present inventors have continued intensive studies to solve the above problems. As a result, it was found that the above object can be achieved by adding a specific silica sol-water-soluble metal salt to the silicon powder-containing waste water, and then adding an organic polymer flocculant, and the present invention has been completed. .

即ち、本発明は、シリコン粉を含む排水に、金属に対する珪素のモル比が0.05〜3.0のシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を、金属換算で15〜300(mg/L)の濃度となるように含有させ、次いで、有機高分子凝集剤を添加することを特徴とするシリコン粉含有排水の処理方法である。   That is, in the present invention, an inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt having a silicon to metal molar ratio of 0.05 to 3.0 is added to a waste water containing silicon powder in an amount of 15 to 300 mg / mg in terms of metal. L) is contained so as to have a concentration of L), and then an organic polymer flocculant is added.

本発明によれば、シリコン粉を含む排水の処理において、凝集性が非常に高いため、凝集物の沈降速度が速く、効率のよい沈降分離が可能となる。   According to the present invention, in the treatment of wastewater containing silicon powder, the cohesiveness is very high, so the sedimentation rate of the aggregate is fast and efficient sedimentation separation is possible.

また、凝集物を分離した排水は、濁度を10度以下とすることができるため、2次処理せずに放流可能であって、しかも、処理水中に含まれる溶解物質に応じて製造プロセスへ再利用が可能となる。更に、分離した凝集物は、アルミニウムまたは鉄、シリカ、シリコン等を含むため、セメントや煉瓦等の原料に使用でき、有価資源として再利用することができる。   Moreover, since the waste water from which the aggregates have been separated can be made to have a turbidity of 10 degrees or less, it can be discharged without being subjected to a secondary treatment, and further to the manufacturing process depending on the dissolved substances contained in the treated water. Reusable. Furthermore, since the separated agglomerates contain aluminum or iron, silica, silicon, etc., they can be used as raw materials for cement, bricks, etc., and can be reused as valuable resources.

以下、本発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明は、シリコン粉を含む排水に、特定のシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を含有させ、次いで、有機高分子凝集剤を添加するシリコン粉含有排水の処理方法である。   This invention is the processing method of the silicon powder containing waste_water | drain which makes the waste_water | drain containing silicon powder contain the inorganic flocculent which consists of a specific silica sol-water-soluble metal salt, and then adds an organic polymer flocculant.

本発明において、シリコン粉含有排水とは、微細なシリコン粉を含む排水を示すものであり、シリコン粉が排水中で懸濁物質となっているものである。具体的には、塩化珪素製造工場において排出される金属珪素を含む排水や、塩化珪素を原料としてシリコンを製造する工場において、多結晶シリコンおよび単結晶シリコン、ウェハ等を加工、切削する際に排出されるシリコン切削屑を含む排水等である。また、このシリコン粉含有排水には、シリコン粉以外の他の珪素元素を含む粉体が含有されるものではない。例えば、塩化珪素製造工場において、塩化珪素類を除害する際に副生するシリカ含有排水と、シリコン粉を含む排水をまとめて一緒にしたものは本発明の処理の対象ではない。   In the present invention, the silicon powder-containing waste water refers to waste water containing fine silicon powder, and the silicon powder is a suspended substance in the waste water. Specifically, wastewater containing metallic silicon discharged at a silicon chloride manufacturing plant or discharged when processing or cutting polycrystalline silicon, single crystal silicon, wafers, etc. in a plant that manufactures silicon using silicon chloride as a raw material. Waste water containing silicon cutting waste. Further, the silicon powder-containing waste water does not contain powder containing silicon elements other than silicon powder. For example, in a silicon chloride manufacturing plant, silica-containing wastewater produced as a by-product when detoxifying silicon chlorides and wastewater containing silicon powder are combined and not subject to the treatment of the present invention.

本発明において、シリコン粉含有排水は、特に制限されるものではないが、シリコン粉が含まれているため、pHを10未満に制御することが好ましい。シリコン粉含有排水のpHを10未満に制御することにより、シリコン粉と水との反応を抑制し、水素の発生を少なくすることができる。特に、塩化珪素製造工場において排出される金属珪素を含む排水は、酸性溶液として排出されるが、酸性では取り扱いにくいため、アルカリで処理する場合が多いので、この際、pHの制御を行なうことが好ましい。また、pHの下限は、特に制限されるものではないが、取り扱いを考慮するとpHは5以上であることが好ましい。   In the present invention, the silicon powder-containing wastewater is not particularly limited, but since silicon powder is contained, it is preferable to control the pH to less than 10. By controlling the pH of the silicon powder-containing wastewater to less than 10, the reaction between the silicon powder and water can be suppressed and the generation of hydrogen can be reduced. In particular, wastewater containing metallic silicon discharged at a silicon chloride manufacturing plant is discharged as an acidic solution. However, since it is difficult to handle it in an acidic state, it is often treated with an alkali. In this case, the pH should be controlled. preferable. The lower limit of the pH is not particularly limited, but the pH is preferably 5 or more in consideration of handling.

本発明において、前記シリコン粉含有排水に含まれる、金属珪素、シリコン切削屑等の懸濁物質(シリコン粉)の量は、後記に詳述する凝集処理を行う場合には、シリコン粉含有排水中に0.05質量%以上であることが好ましい。シリコン粉の量が0.05質量%以上であることにより、最終的に得られる処理水の量を少なくすることができ、効率良く排水の処理が可能となる。また、シリコン粉の量の上限も、特に制限されるものではないが、3質量%以下であることが好ましい。シリコン粉の量が3質量%を超える場合においても本発明の凝集処理は可能であるが、この場合、フィルタープレス等で直接、固液分離をする方が効率的となる。   In the present invention, the amount of suspended matter (silicon powder) such as metal silicon and silicon cutting waste contained in the silicon powder-containing wastewater is determined in the silicon powder-containing wastewater when the agglomeration process described in detail later is performed. It is preferable that it is 0.05 mass% or more. When the amount of silicon powder is 0.05% by mass or more, the amount of treated water finally obtained can be reduced, and wastewater can be treated efficiently. The upper limit of the amount of silicon powder is not particularly limited, but is preferably 3% by mass or less. Even when the amount of silicon powder exceeds 3% by mass, the agglomeration treatment of the present invention is possible, but in this case, it is more efficient to perform solid-liquid separation directly with a filter press or the like.

また、本発明において、前記シリコン粉含有排水に含まれるシリコン粉は、シリコン粉が懸濁物質として排水中に存在する大きさのものが凝集処理の対象となる。特に、後記に詳述する凝集処理においては、高度な処理が行えるため、平均粒径が0.01〜30μm、更には0.05〜20μmであるような、非常に微細な粒子でも処理することができる。   In the present invention, the silicon powder contained in the silicon powder-containing wastewater has a size in which the silicon powder is present in the wastewater as a suspended substance. In particular, in the agglomeration process described in detail later, since it is possible to perform a high-level process, even very fine particles having an average particle diameter of 0.01 to 30 μm, and further 0.05 to 20 μm should be processed. Can do.

本発明の処理方法においては、先ず、前記シリコン粉含有排水に、金属に対する珪素のモル比が0.05〜3.0のシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を、金属換算で15〜300(mg/L)の濃度となるように含有させる。尚、本発明において、凝集処理する際の温度は、特に制限されるものでないが、操作性を考えると、好ましくは5〜40℃、より好ましくは10〜30℃である。また、前記シリコン粉含有排水に、0.05〜3.0のシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を含有させるには、前記シリコン粉含有廃水に、前記範囲となるように該無機凝集剤を連続して添加することもできるし、該無機凝集剤を多段階に分けて添加することもできる。   In the treatment method of the present invention, first, an inorganic flocculant composed of a silica sol-water-soluble metal salt having a silicon-to-metal molar ratio of 0.05 to 3.0 is added to the silicon powder-containing wastewater in terms of metal. It is contained so as to have a concentration of 300 (mg / L). In the present invention, the temperature during the aggregation treatment is not particularly limited, but is preferably 5 to 40 ° C., more preferably 10 to 30 ° C. in view of operability. Moreover, in order to make the said silicon powder containing wastewater contain the inorganic flocculant which consists of a silica sol-water-soluble metal salt of 0.05-3.0, this inorganic agglomeration so that it may become the said range to the said silicon powder containing wastewater. The agent can be added continuously, or the inorganic flocculant can be added in multiple stages.

本発明において、前記無機凝集剤は、金属に対する珪素のモル比が0.05〜3.0のシリカゾル−水溶性金属塩よりなり、好ましくは、シリカゾル−アルミニウム塩、シリカゾル−鉄塩よりなる。シリカゾル−水溶性金属塩の水溶性金属塩としては、硫酸アルミニウム、塩化第二鉄、硫酸第一鉄、ポリ硫酸鉄等を挙げることができる。本発明においては、このようなシリカゾル−水溶性金属塩を使用することにより、有機高分子凝集剤を添加した後の凝集物の沈降速度を速めて、上澄み液の濁度を10度以下とすることができ、懸濁物質を非常に低濃度まで除去することができる。   In the present invention, the inorganic flocculant comprises a silica sol-water soluble metal salt having a molar ratio of silicon to metal of 0.05 to 3.0, preferably a silica sol-aluminum salt or a silica sol-iron salt. Examples of the water-soluble metal salt of silica sol-water-soluble metal salt include aluminum sulfate, ferric chloride, ferrous sulfate, and polyiron sulfate. In the present invention, by using such a silica sol-water-soluble metal salt, the sedimentation rate of the aggregate after adding the organic polymer flocculant is increased, and the turbidity of the supernatant liquid is set to 10 degrees or less. And suspended matter can be removed to very low concentrations.

本発明において、前記シリカゾル−鉄塩よりなる無機凝集剤とは、重合体であるシリカゾルと鉄とを含む複合体であり、シリカゾルに塩化第二鉄、硫酸第一鉄、ポリ硫酸鉄を混合することにより得ることができる。また、同じく前記シリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤とは、重合体であるシリカゾルとアルミニウムとを含む複合体であり、シリカゾルに硫酸アルミニウムを混合することにより得ることができる。   In the present invention, the inorganic flocculant made of silica sol-iron salt is a composite containing silica sol and iron as a polymer, and ferric chloride, ferrous sulfate, and polyiron sulfate are mixed in the silica sol. Can be obtained. Similarly, the inorganic flocculant made of silica sol-aluminum salt is a composite containing silica sol as a polymer and aluminum, and can be obtained by mixing aluminum sulfate with silica sol.

本発明において、前記シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤は、金属(より具体的には、鉄またはアルミニウム)に対する珪素のモル比(以下、金属が鉄の場合Si/Feモル比、金属がアルミニウムの場合Si/Alモル比と示す。)が0.05〜3.0である。金属に対する珪素のモル比が、0.05〜3.0であることにより、上澄み液の濁度をより低下させることができ、凝集物の沈降速度を速くして、分離効率を高くすることができる。金属に対する珪素のモル比が0.05未満の場合は、凝集物の沈降速度が遅くなり、上澄み液の濁度が高くなるため好ましくない。一方、金属に対する珪素のモル比が3.0を超える場合には、凝集物の沈降速度が遅くなるため好ましくない。上澄み液の濁度、凝集物の沈降速度を考慮すると金属に対する珪素のモル比は、好ましくは0.05〜1.5である。また、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤のうち、シリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤を使用した場合は、上澄み液が着色することがないため、上澄み液を再利用しやすくなる。   In the present invention, the inorganic flocculant composed of the silica sol-water-soluble metal salt contains a molar ratio of silicon to metal (more specifically, iron or aluminum) (hereinafter, Si / Fe molar ratio when the metal is iron, metal When Si is aluminum, it is expressed as Si / Al molar ratio.) Is 0.05 to 3.0. When the molar ratio of silicon to metal is 0.05 to 3.0, the turbidity of the supernatant can be further reduced, the sedimentation rate of the aggregates can be increased, and the separation efficiency can be increased. it can. When the molar ratio of silicon to metal is less than 0.05, the sedimentation rate of the aggregates is slow, and the turbidity of the supernatant is increased, which is not preferable. On the other hand, when the molar ratio of silicon to metal exceeds 3.0, the sedimentation rate of the aggregates becomes slow, which is not preferable. Considering the turbidity of the supernatant and the sedimentation rate of the aggregate, the molar ratio of silicon to metal is preferably 0.05 to 1.5. Further, among the inorganic flocculants made of silica sol-water-soluble metal salt, when the inorganic flocculant made of silica sol-aluminum salt is used, the supernatant liquid is not colored, so that the supernatant liquid can be easily reused.

以下、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤の製造方法を詳細に説明する。   Hereafter, the manufacturing method of the inorganic flocculent which consists of a silica sol-water-soluble metal salt is demonstrated in detail.

本発明において、例えば、Si/Alモル比が0.05〜3.0であるシリゾル−アルミニウ塩よりなる無機凝集剤を調整する方法としては、珪酸ソーダ水溶液とハロゲンを含まない鉱酸との反応によってシリカゾルを生成し、該シリカゾルにSi/Alモル比が0.05〜3.0となるように硫酸アルミニウム等を混合する方法が例示できる。また、同じく、Si/Feモル比が0.05〜3.0であるシリカゾル−鉄塩よりなる無機凝集剤も、珪酸ソーダ水溶液とハロゲンを含まない鉱酸との反応によってシリカゾルを生成し、該シリカゾルにSi/Feモル比が0.05〜3.0となるように塩化第二鉄等を混合して製造することができる。   In the present invention, for example, as a method of preparing an inorganic flocculant composed of a silisol-aluminum salt having a Si / Al molar ratio of 0.05 to 3.0, a reaction between a sodium silicate aqueous solution and a halogen-free mineral acid An example is a method in which silica sol is produced by mixing aluminum sulfate and the like so that the Si / Al molar ratio is 0.05 to 3.0. Similarly, an inorganic flocculant composed of a silica sol-iron salt having a Si / Fe molar ratio of 0.05 to 3.0 also produces a silica sol by a reaction between a sodium silicate aqueous solution and a halogen-free mineral acid, Ferric chloride and the like can be mixed with silica sol so that the Si / Fe molar ratio is 0.05 to 3.0.

本発明において、得られるシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤が優れた効果を示すためには、例えば、特開2003−221222号公報等に記載されているような方法でシリカゾルを生成した後、該シリカゾルに硫酸アルミニウムあるいは塩化第二鉄を混合することが好ましい。   In the present invention, in order that the obtained inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt exhibits an excellent effect, for example, silica sol was produced by a method as described in JP-A No. 2003-221222. Thereafter, it is preferable to mix aluminum sulfate or ferric chloride with the silica sol.

即ち、珪酸ソーダ水溶液と硫酸等のハロゲンを含まない鉱酸とをY字型、T字型等の反応装置を用いて、各々の液を衝突させることにより得られる混合物を熟成させ、該熟成させた混合物を希釈してシリカゾルを生成させ、そして該シリカゾルに硫酸アルミニウムあるいは塩化第二鉄を混合する方法が好ましい。尚、前記熟成とは、シリカゾルを含む混合物において、該シリカゾルの重合を進行させることを意味するものである。   That is, using a Y-shaped, T-shaped, etc. reactor such as a sodium silicate aqueous solution and a mineral acid not containing halogen such as sulfuric acid, the mixture obtained by colliding each liquid is aged, and the aged A method of diluting the resulting mixture to form a silica sol and mixing the silica sol with aluminum sulfate or ferric chloride is preferred. The aging means that the polymerization of the silica sol proceeds in a mixture containing the silica sol.

本発明において、前記シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤は、pHが1.5〜2.5であり、且つSiO濃度が5〜25g/Lの範囲のものが、pHとSiO濃度のバランスがとれているため好ましい。また、前記シリカゾル−水溶性金属塩の粘度は、1〜5mPa・Sであることが好ましい。 In the present invention, the silica sol - inorganic flocculant made of a water-soluble metal salt, pH is 1.5 to 2.5, and SiO 2 concentration is in the range of 5 to 25 g / L, pH and the SiO 2 This is preferable because the concentration is balanced. The viscosity of the silica sol-water-soluble metal salt is preferably 1 to 5 mPa · S.

前記範囲を満足するシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤は、Y字型、T字型等の反応装置を用いて、粘度が3〜6mPa・Sであるシリカゾルを製造し、このシリカゾルに硫酸アルミニウム、塩化第二鉄を混合することにより、製造することができる。また、前記の粘度のシリカゾルを使用することにより、重合度が高く、数珠状の構造が増大したシリカゾル系無機凝集剤を短時間で効率良く調整することができる。   An inorganic flocculant composed of a silica sol-water-soluble metal salt that satisfies the above range produces a silica sol having a viscosity of 3 to 6 mPa · S using a Y-shaped or T-shaped reactor, and this silica sol It can be produced by mixing aluminum sulfate and ferric chloride. Further, by using a silica sol having the above viscosity, a silica sol-based inorganic flocculant having a high degree of polymerization and an increased bead-like structure can be efficiently adjusted in a short time.

本発明において、前記シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤は、ナノ粒子からなる。そして、ナノ粒子であることから、微細なシリコン粉を含む微粒子の凝集作用を増大させることができる。更に、前記シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤は、例えば、アルミニウム塩、鉄塩を使用した場合、Al3+、Fe3+等によるシリコン粉を含む微粒子の吸着効果と、シリカゾル分による微粒子等の凝集沈殿効果とを同時に発揮するため、シリカゾルと硫酸アルミニウム、またはシリカゾルと塩化第二鉄を別々に添加する系よりも優れた効果を発揮できる。 In the present invention, the inorganic flocculant composed of the silica sol-water-soluble metal salt is composed of nanoparticles. And since it is a nanoparticle, the agglomeration effect | action of the microparticles | fine-particles containing fine silicon powder can be increased. Furthermore, the inorganic flocculant made of silica sol-water-soluble metal salt, for example, when aluminum salt or iron salt is used, the effect of adsorbing fine particles including silicon powder by Al 3+ , Fe 3+ , fine particles by silica sol, etc. Since the coagulation and precipitation effect of the silica sol and the silica sol and aluminum sulfate or the silica sol and ferric chloride are separately added, the effect can be exhibited.

次に、前記シリコン粉含有排水に含ませる無機凝集剤の量について説明する。   Next, the amount of the inorganic flocculant to be included in the silicon powder-containing waste water will be described.

本発明において、シリコン粉含有排水に含ませるシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤は、金属換算で15〜300(mg/L)の濃度、更に好適には20〜250(mg/L)の濃度となるように含有させることが重要である。具体的には、シリカゾル−水溶性金属塩(アルミニウム塩または鉄塩)よりなる無機凝集剤において、無機凝集剤に含まれる金属(アルミニウムまたは鉄)の濃度が15〜300(mg/L)となるように、シリコン粉含有排水に該無機凝集剤を混合してやればよい。シリコン粉含有排水に、無機凝集剤を含有させる量が、金属換算で15(mg/L)未満の場合には、上澄み液の濁度を十分低下させることができないため好ましくない。一方、300(mg/L)を超える場合には、過剰な無機凝集剤を使用することになり、経済的でなく、更に、凝集物の嵩容積が増大するため沈降濃縮が困難となる。上澄み液の濁度を低下させる効果、沈降濃縮性および経済性を考慮すると、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤の濃度は、金属換算で好適には20〜250(mg/L)である。   In the present invention, the inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt contained in the silicon powder-containing waste water has a concentration of 15 to 300 (mg / L), more preferably 20 to 250 (mg / L) in terms of metal. It is important to make it contain so that it may become the density | concentration of. Specifically, in an inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt (aluminum salt or iron salt), the concentration of metal (aluminum or iron) contained in the inorganic flocculant is 15 to 300 (mg / L). Thus, what is necessary is just to mix this inorganic flocculant with silicon powder containing waste_water | drain. When the amount of the inorganic flocculant contained in the silicon powder-containing wastewater is less than 15 (mg / L) in terms of metal, the turbidity of the supernatant cannot be sufficiently lowered, which is not preferable. On the other hand, when it exceeds 300 (mg / L), an excessive inorganic flocculant is used, which is not economical, and further, the bulk volume of the agglomerates increases, so that precipitation concentration becomes difficult. Considering the effect of reducing the turbidity of the supernatant liquid, sedimentation concentration and economy, the concentration of the inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt is preferably 20 to 250 (mg / L) in terms of metal. is there.

また、本発明においては、前記範囲の無機凝集剤を含有させたシリコン粉含有排水(以下「処理排水」とする場合もある)は、特に制限されるものではないが、水素の発生を抑制、無機凝集剤および有機高分子凝集剤の凝集効果、最終的に得られる処理水を放流することを考慮すると、pHを5〜10、好ましくはpHを5.5〜9に制御することが好ましい。   In the present invention, the silicon powder-containing wastewater containing the inorganic flocculant within the above range (hereinafter sometimes referred to as “treatment wastewater”) is not particularly limited, but suppresses the generation of hydrogen. In consideration of the aggregation effect of the inorganic flocculant and the organic polymer flocculant and the release of the treated water finally obtained, it is preferable to control the pH to 5 to 10, preferably 5.5 to 9.

本発明において、前記処理排水のpHを5〜10に制御する場合、その方法は、シリコン粉含有排水に、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を添加することによりpHを制御する方法、該無機凝集剤を添加した後、更に、酸またはアルカリを添加して制御する方法を採用することができる。つまり、処理排水のpHが5〜10の場合は、次いでそのまま有機高分子凝集剤を添加することができる。更に、処理排水のpHが5〜10の範囲を外れる場合には、酸またはアルカリを添加してpHを5〜10に制御した後、有機高分子凝集剤を添加することができる。また、シリコン粉含有排水に、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を添加するだけでpHを制御しようとする場合には、予め処理排水のpHが前記範囲を満足するように、シリコン粉含有排水のpHを調整しておくこともできる。   In the present invention, when the pH of the treated waste water is controlled to 5 to 10, the method is a method of controlling the pH by adding an inorganic flocculant made of silica sol-water-soluble metal salt to the silicon powder-containing waste water, After adding the inorganic flocculant, it is possible to employ a method of controlling by adding an acid or alkali. That is, when the pH of the treated waste water is 5 to 10, the organic polymer flocculant can be added as it is. Furthermore, when the pH of the treated wastewater is outside the range of 5 to 10, an organic polymer flocculant can be added after controlling the pH to 5 to 10 by adding acid or alkali. In addition, when the pH is to be controlled only by adding an inorganic flocculant made of silica sol-water-soluble metal salt to the silicon powder-containing wastewater, the silicon powder is treated in advance so that the pH of the treated wastewater satisfies the above range. The pH of the wastewater contained can also be adjusted.

本発明においては、前記処理排水に、次いで、有機高分子凝集剤が添加される。有機高分子凝集剤を更に加えることにより、凝集処理の効率を向上させることができる。尚、有機高分子凝集剤を加える際の温度は、特に制限されるものではなく、操作性を考えると、好ましくは5〜40℃、より好ましくは10〜30℃である。   In the present invention, an organic polymer flocculant is then added to the treated waste water. By further adding an organic polymer flocculant, the efficiency of the flocculation treatment can be improved. The temperature at which the organic polymer flocculant is added is not particularly limited, and is preferably 5 to 40 ° C., more preferably 10 to 30 ° C. in view of operability.

本発明に使用する有機高分子凝集剤としては、特に制限されるものではなく、公知の凝集剤を使用することができる。例えば、ポリアクリルアミドのカチオン化変性物、ポリアクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、ポリメタクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、ポリエチレンイミン、キトサンの如きカチオン性高分子凝集剤、ポリアクリルアミドの如きノニオン性高分子凝集剤、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド系のアニオン性高分子凝集剤、例えば、アクリルアミドとアクリル酸との共重合体及び/その塩、スルホン基等が導入されたポリアクリルアミドの如きアニオン性高分子凝集剤を使用することができる。中でも、ポリアクリルアミド系のアニオン性高分子凝集剤、ポリアクリルアミドの如きノニオン性高分子凝集剤を使用することが好ましい。   The organic polymer flocculant used in the present invention is not particularly limited, and a known flocculant can be used. For example, cationic modification of polyacrylamide, dimethylaminoethyl ester of polyacrylic acid, polydimethylaminoethyl ester of polymethacrylate, polyethyleneimine, cationic polymer flocculant such as chitosan, nonionic polymer flocculant such as polyacrylamide, Use polyacrylic acid, polyacrylamide-based anionic polymer flocculants, for example, copolymers of acrylamide and acrylic acid and / or salts thereof, polyacrylamides with introduced sulfone groups, etc. can do. Among them, it is preferable to use a polyacrylamide anionic polymer flocculant and a nonionic polymer flocculant such as polyacrylamide.

また、添加する有機高分子凝集剤の添加量は、シリコン粉含有排水及び有機高分子凝集剤の種類や性質に応じて、適宜調節されるが、前記処理排水量に対して、0.1〜10(mg/L)の濃度、更に好適には0.5〜5(mg/L)の濃度となる量である。有機高分子凝集剤の添加量が前記範囲を満足することにより、凝集効果を高めることができ、凝集沈殿物を分離する際の分離抵抗を上昇させず、効率良く処理することができる。   Moreover, the addition amount of the organic polymer flocculant to be added is appropriately adjusted according to the types and properties of the silicon powder-containing wastewater and the organic polymer flocculant. The concentration is (mg / L), and more preferably 0.5 to 5 (mg / L). When the addition amount of the organic polymer flocculant satisfies the above range, the agglomeration effect can be enhanced, and the separation can be efficiently performed without increasing the separation resistance when separating the aggregated precipitate.

本発明において、前記有機高分子凝集剤を添加した後、凝集させた沈殿物を分離する方法としては、公知の方法を使用することができる。具体的な方法を例示すれば、デカンテーション、フィルタープレス、遠心分離、ベルトフィルター、多重円盤脱水機、スクリュープレス等の方法が挙げられる。   In the present invention, a known method can be used as a method for separating the aggregated precipitate after adding the organic polymer flocculant. Examples of specific methods include decantation, filter press, centrifugation, belt filter, multiple disk dehydrator, screw press and the like.

本発明において、多量のシリコン粉含有排水を処理する場合には、シリコン粉含有排水中の懸濁物質の量、組成等は、それぞれの排水により異なるため、少量の排水を用いて、事前に最適処理条件、即ち、シリコン粉含有排水、処理排水の最適pH、無機凝集剤の添加量、有機高分子凝集剤の添加量等を見出した後、処理することが好ましい。   In the present invention, when treating a large amount of silicon powder-containing wastewater, the amount, composition, etc. of suspended substances in the silicon powder-containing wastewater differ depending on the respective wastewater. It is preferable to perform the treatment after finding the treatment conditions, that is, the silicon powder-containing wastewater, the optimum pH of the treatment wastewater, the addition amount of the inorganic flocculant, the addition amount of the organic polymer flocculant, and the like.

本発明において、有機高分子凝集剤を添加した後の処理水は、後記の測定方法により上澄み液の濁度を10度以下とすることができる。そのため、前記凝集物を分離した処理水は、濁度が低いため、2次処理せずに、そのまま排水として放流することが可能となるだけでなく、処理水中に含まれる溶解物質の組成に応じて製造プロセスへ再利用することが可能となる。   In the present invention, the treated water after the addition of the organic polymer flocculant can make the turbidity of the supernatant liquid 10 degrees or less by the measurement method described later. Therefore, the treated water from which the agglomerates have been separated has low turbidity, so that not only can it be discharged as wastewater without being subjected to secondary treatment, but depending on the composition of dissolved substances contained in the treated water. Can be reused in the manufacturing process.

また、本発明において、凝集させた凝集物は、シリコン、アルミニウム、鉄等を含むため、セメントの原料や煉瓦等の有価資源として再利用することができる。   In the present invention, the agglomerated aggregate contains silicon, aluminum, iron, and the like, and therefore can be reused as a valuable resource such as a raw material for cement or brick.

以下、本発明を更に具体的に説明するため実施例を示すが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, examples will be shown to describe the present invention more specifically, but the present invention is not limited to these examples.

尚、実施例及び比較例に掲載した測定値は、以下の方法によって測定したものである。   In addition, the measured value published in the Example and the comparative example was measured with the following method.

1)濁度(度:標準物質 カオリン)
JIS K0101に準じて、分光光度計(波長:660nm,セル長:10mm)により、凝集処理後の上澄み液の濁度を測定した。
1) Turbidity (degree: standard substance kaolin)
According to JIS K0101, the turbidity of the supernatant after the aggregation treatment was measured with a spectrophotometer (wavelength: 660 nm, cell length: 10 mm).

2)pH測定
TOA−HM35V(東亜デーケーケー工業株式会社製)で測定した。
2) pH measurement It measured with TOA-HM35V (made by Toa DK Industrial Co., Ltd.).

(シリカ−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤の製造方法)
シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤の製造例1〜3、比較製造例1
市販の珪酸ソーダ及び硫酸を水で希釈した、希釈珪酸ソーダ(SiO:282.8g/L,NaO:94.1g/L,MR:3.10)と希釈硫酸(HSO:199.9g/L)を大きさ40mm*40mmの大きさのY字タイプの衝突反応器を用いて、珪酸ソーダ流量6.59L/min.流速15.5m/sec(ノズル径:3.0mm)と希硫酸流量5.65L/min.流速15.3m/sec.(ノズル径:2.8mm)で反応し、排出時の流速2.6m/sec.にして、10分反応し、122.4Lのシリカゾル(SiO:151.8g/L)を得た。次にこのシリカゾルを攪拌することなく、液の粘度が10mPa・sに成るまで、熟成した後、水622.8Lで希釈して、SiO濃度25g/Lの希釈シリカゾルを製造した。この希釈シリカゾルのpHは1.92、粘度は3.8mPa・sとなった。
(Method for producing inorganic flocculant comprising silica-aluminum salt)
Production Examples 1 to 3 of an inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt, Comparative Production Example 1
Commercially available sodium silicate and sulfuric acid diluted with water, diluted sodium silicate (SiO 2 : 282.8 g / L, Na 2 O: 94.1 g / L, MR: 3.10) and diluted sulfuric acid (H 2 SO 4 : 199.9 g / L) using a Y-type collision reactor having a size of 40 mm * 40 mm and a sodium silicate flow rate of 6.59 L / min. A flow rate of 15.5 m / sec (nozzle diameter: 3.0 mm) and a dilute sulfuric acid flow rate of 5.65 L / min. The flow rate is 15.3 m / sec. (Nozzle diameter: 2.8 mm), and the flow rate during discharge is 2.6 m / sec. And reacted for 10 minutes to obtain 122.4 L of silica sol (SiO 2 : 151.8 g / L). Next, this silica sol was aged until the viscosity of the liquid reached 10 mPa · s without stirring, and then diluted with 622.8 L of water to produce a diluted silica sol having a SiO 2 concentration of 25 g / L. The diluted silica sol had a pH of 1.92 and a viscosity of 3.8 mPa · s.

この希釈シリカゾルと硫酸アルミニウムを一定の比率で混合し、シリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤としてヒュームドシリカ含有排水の凝集剤として使用した。   This diluted silica sol and aluminum sulfate were mixed at a constant ratio, and used as a flocculant for fumed silica-containing wastewater as an inorganic flocculant composed of a silica sol-aluminum salt.

シリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤の混合比率を表1に示す。また、使用した硫酸アルミニウム中のAl濃度は56.66g/Lであった。   Table 1 shows the mixing ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-aluminum salt. Moreover, the Al concentration in the used aluminum sulfate was 56.66 g / L.

Figure 2007185647
Figure 2007185647

シリカゾル−鉄塩よりなる無機凝集剤の製造例4
市販の珪酸ソーダ及び硫酸を水で希釈した、希釈珪酸ソーダ(SiO:280.0g/L,NaO:96.0g/L,MR:3.01)と希釈硫酸(HSO:200.1g/L)を大きさ40mm*40mmの大きさのY字タイプの衝突反応器を用いて、珪酸ソーダ流量6.59L/min.流速15.5m/sec(ノズル径:3.0mm)と希硫酸流量5.68L/min.流速15.4m/sec.(ノズル径:2.8mm)で反応し、排出時の流速2.6m/sec.にして、10分反応し、122.7Lのシリカゾル(SiO:150.3g/L)を得た。次にこのシリカゾルを攪拌することなく、液の粘度が10mPa・sに成るまで、熟成した後、水800Lで希釈して、SiO濃度20g/Lの希釈シリカゾルを製造した。この希釈シリカゾルのpHは1.90、粘度は3.0mPa・sと成った。
Production example 4 of inorganic flocculant composed of silica sol-iron salt
Commercially available sodium silicate and sulfuric acid diluted with water, diluted sodium silicate (SiO 2 : 280.0 g / L, Na 2 O: 96.0 g / L, MR: 3.01) and diluted sulfuric acid (H 2 SO 4 : 200.1 g / L) using a Y-type collision reactor having a size of 40 mm * 40 mm and a sodium silicate flow rate of 6.59 L / min. A flow rate of 15.5 m / sec (nozzle diameter: 3.0 mm) and a dilute sulfuric acid flow rate of 5.68 L / min. The flow rate is 15.4 m / sec. (Nozzle diameter: 2.8 mm), and the flow rate during discharge is 2.6 m / sec. Then, the reaction was carried out for 10 minutes to obtain 122.7 L of silica sol (SiO 2 : 150.3 g / L). Next, this silica sol was aged until the viscosity of the liquid reached 10 mPa · s without stirring, and then diluted with 800 L of water to produce a diluted silica sol having a SiO 2 concentration of 20 g / L. The diluted silica sol had a pH of 1.90 and a viscosity of 3.0 mPa · s.

この希釈シリカゾルと塩化第二鉄を一定の比率で混合し、シリカゾル−鉄塩よりなる無機凝集剤としてヒュームドシリカ含有排水の凝集剤として使用した。   This diluted silica sol and ferric chloride were mixed at a certain ratio and used as a flocculant for fumed silica-containing wastewater as an inorganic flocculant composed of silica sol-iron salt.

シリカゾル−鉄塩よりなる無機凝集剤の混合比率を表2に示す。また、使用した塩化第二鉄中のFe濃度は191.8g/Lであった。   Table 2 shows the mixing ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-iron salt. The Fe concentration in the ferric chloride used was 191.8 g / L.

Figure 2007185647
Figure 2007185647

実施例1
塩化珪素製造時に排出された、シリコン粉の平均粒径12μm、シリコン粉0.5質量%、pH6.9のシリコン粉含有排水を使用した。凝集処理前のこのシリコン粉含有排水の濁度は100以上であった。このシリコン粉含有排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例2に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.25(Al:2.51g/100ml)の溶液を0.4ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.8まで低下したので、1N−NaOHでpH6.5まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のポリアクリルアミド系アニオン性高分子凝集剤、クリフロックPA331(商品:栗田工業(株)製)を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は16.0%、上澄み液の濁度は1.5であった。結果を表3に示した。尚、容積変化率は次式で定義する。この容積変化率が小さい程、沈降性の効率が良好であることを示す。
5分静置後容積変化率=5分静置後の底面から沈殿物界面高さ÷全液面高さ×100
Example 1
A silicon powder-containing wastewater having an average particle diameter of 12 μm, 0.5% by mass of silicon powder, and a pH of 6.9 discharged during the production of silicon chloride was used. The turbidity of this silicon powder-containing wastewater before the agglomeration treatment was 100 or more. 500 ml of this silicon powder-containing wastewater was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant made of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 2 was 0.25 (Al: 2 0.4 g (20 mg-Al / L) of the solution (.51 g / 100 ml) was added. After the addition, the pH dropped to 4.8, so the pH was adjusted to 6.5 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of a 0.2% by mass polyacrylamide anionic polymer flocculant, Cliflock PA331 (product: Kurita Kogyo Co., Ltd.) is added, and the mixture is stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm. Let sit for a minute. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. The volume change rate at this time was 16.0%, and the turbidity of the supernatant was 1.5. The results are shown in Table 3. The volume change rate is defined by the following equation. The smaller the volume change rate, the better the sedimentation efficiency.
Volume change rate after standing for 5 minutes = precipitate interface height / total liquid level × 100 from the bottom after standing for 5 minutes

実施例2
多結晶シリコン切削時に排出された、シリコン粉の粒径5μm以下、シリコン粉0.2質量%、pH6.7のシリコン粉含有排水を使用した。凝集処理前のシリコン粉含有排水の濁度は100以上であった。このシリコン粉含有排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例1に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.05(Al:0.5g/100ml)の溶液を0.22ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.8まで低下したので、1N−NaOHでpH7.5まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、沈降速度が速く、5分後には沈降が終了しており、測定ができなかった。また、濁度は2.1であった。その結果を表3に示した。
Example 2
Silicon powder-containing wastewater having a particle size of silicon powder of 5 μm or less, silicon powder 0.2% by mass, and pH 6.7 discharged during cutting of polycrystalline silicon was used. The turbidity of the silicon powder-containing wastewater before the aggregation treatment was 100 or more. 500 ml of this silicon powder-containing wastewater was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio 0.05 (Al: 0) of the inorganic flocculant made of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 1 0.5 g / 100 ml) solution was added 0.22 ml (20 mg-Al / L). Since pH fell to 4.8 after addition, it adjusted to pH7.5 with 1N-NaOH, and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the rate of change in volume was high because the sedimentation rate was high, and sedimentation was completed after 5 minutes, and measurement was not possible. The turbidity was 2.1. The results are shown in Table 3.

実施例3
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例2に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.25(Al:2.51g/100ml)の溶液を0.4ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.6まで低下したので、1N−NaOHでpH6.9まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、沈降速度が速く、5分後には沈降が終了しており、測定ができなかった。また、濁度は1.9であった。その結果を表3に示した。
Example 3
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 2 was 0.25 (Al : 2.51 g / 100 ml) was added in an amount of 0.4 ml (20 mg-Al / L). After the addition, the pH dropped to 4.6, so the pH was adjusted to 6.9 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the rate of change in volume was high because the sedimentation rate was high, and sedimentation was completed after 5 minutes, and measurement was not possible. The turbidity was 1.9. The results are shown in Table 3.

実施例4
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例3に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比1.0(Al:0.95g/100ml)の溶液を1.06ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.5まで低下したので、1N−NaOHでpH6.7まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、沈降速度が速く、5分後には沈降が終了しており、測定ができなかった。また、濁度は2.3であった。その結果を表3に示した。
Example 4
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant made of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 3 was 1.0 (Al : 0.95 g / 100 ml) solution was added 1.06 ml (20 mg-Al / L). After the addition, the pH dropped to 4.5, so the pH was adjusted to 6.7 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the rate of change in volume was high because the sedimentation rate was high, and sedimentation was completed after 5 minutes, and measurement was not possible. The turbidity was 2.3. The results are shown in Table 3.

実施例5
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例2に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.25(Al:2.51g/100ml)の溶液を2.0ml(100mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.4まで低下したので、1N−NaOHでpH7.3まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、沈降速度が速く、5分後には沈降が終了しており、測定ができなかった。また、濁度は1.7であった。その結果を表3に示した。
Example 5
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 2 was 0.25 (Al : 2.51 g / 100 ml) was added in an amount of 2.0 ml (100 mg-Al / L). After the addition, the pH dropped to 4.4, so the pH was adjusted to 7.3 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the rate of change in volume was high because the sedimentation rate was high, and sedimentation was completed after 5 minutes, and measurement was not possible. The turbidity was 1.7. The results are shown in Table 3.

実施例6
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例4に示したシリカゾル−鉄塩よりなる無機凝集剤のSi/Feモル比0.25(Fe:5.38g/100ml)の溶液を0.2ml(20mg−Fe/L)添加した。添加後、pHが4.1まで低下したので、1N−NaOHでpH7.5まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、沈降速度が速く、5分後には沈降が終了しており、測定ができなかった。また、濁度は1.5であった。その結果を表3に示した。
Example 6
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker and stirred at a stirring speed of 150 rpm, while the Si / Fe molar ratio of the inorganic flocculant made of silica sol-iron salt shown in Production Example 4 was 0.25 (Fe : 5.38 g / 100 ml) was added in an amount of 0.2 ml (20 mg-Fe / L). After the addition, the pH dropped to 4.1, so the pH was adjusted to 7.5 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the rate of change in volume was high because the sedimentation rate was high, and sedimentation was completed after 5 minutes, and measurement was not possible. The turbidity was 1.5. The results are shown in Table 3.

実施例7
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例2に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.25(Al:2.51g/100ml)の溶液を0.4ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.5まで低下したので、1N−NaOHでpH7.6まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のポリアクリルアミド系ノニオン性高分子凝集剤、クリフロックPN161(商品:栗田工業(株)製)を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、沈降速度が速く、5分後には沈降が終了しており、測定ができなかった。また、濁度は2.0であった。その結果を表3に示した。
Example 7
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 2 was 0.25 (Al : 2.51 g / 100 ml) was added in an amount of 0.4 ml (20 mg-Al / L). After the addition, the pH dropped to 4.5, so the pH was adjusted to 7.6 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass polyacrylamide nonionic polymer flocculant, Cliflock PN161 (product: Kurita Kogyo Co., Ltd.) was added, and the mixture was stirred at a stirring speed of 40 rpm for 5 minutes. Let sit for a minute. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the rate of change in volume was high because the sedimentation rate was high, and sedimentation was completed after 5 minutes, and measurement was not possible. The turbidity was 2.0. The results are shown in Table 3.

比較例1
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、AL濃度5.65g/100mlの硫酸アルミニウムを0.18ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.3まで低下したので、1N−NaOHでpH6.8まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は、一部は凝集して沈降したが、微粒子は懸濁したままであったため沈降速度を測定できなかった。また、濁度は100以上であった。その結果を表3に示した。
Comparative Example 1
500 ml of waste water similar to Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and 0.18 ml (20 mg-Al / L) of aluminum sulfate having an AL concentration of 5.65 g / 100 ml was added while stirring at a stirring speed of 150 rpm. After the addition, the pH dropped to 4.3, so the pH was adjusted to 6.8 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. At this time, the volume change rate partially aggregated and settled, but because the fine particles remained suspended, the sedimentation rate could not be measured. Moreover, the turbidity was 100 or more. The results are shown in Table 3.

比較例2
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、比較製造例1に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比5.0(Al:0.35g/100ml)の溶液を4.5ml(20mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.1まで低下したので、1N−NaOHでpH7.6まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は83.7%、上澄み液の濁度は9.2であった。結果を表3に示した。
Comparative Example 2
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker and stirred at a stirring speed of 150 rpm, while the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant made of silica sol-aluminum salt shown in Comparative Production Example 1 was 5.0 ( 4.5 ml (20 mg-Al / L) of a solution of Al: 0.35 g / 100 ml) was added. After the addition, the pH dropped to 4.1, so the pH was adjusted to 7.6 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. The volume change rate at this time was 83.7%, and the turbidity of the supernatant was 9.2. The results are shown in Table 3.

比較例3
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例2に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.25(Al:2.51g/100ml)の溶液を10ml(500mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.4まで低下したので、1N−NaOHでpH6.8まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は78.3%、上澄み液の濁度は5.4であった。結果を表3に示した。
Comparative Example 3
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 2 was 0.25 (Al : 2.51 g / 100 ml) solution was added 10 ml (500 mg-Al / L). After the addition, the pH dropped to 4.4, so the pH was adjusted to 6.8 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. The volume change rate at this time was 78.3%, and the turbidity of the supernatant was 5.4. The results are shown in Table 3.

比較例4
実施例2と同様の排水500mlを500mlのビーカーに採取し、攪拌速度150rpmで攪拌しながら、製造例2に示したシリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のSi/Alモル比0.25(Al:2.51g/100ml)の溶液を0.2ml(10mg−Al/L)添加した。添加後、pHが4.5まで低下したので、1N−NaOHでpH6.9まで調整し、5分間攪拌した。次に、0.2質量%濃度のクリフロックPA331を0.5ml添加し、攪拌速度40rpmで5分間攪拌し、10分間静置させた。5分静置後の沈殿物質の容積変化率、および10分静値後の上澄み液をサンプリングして濁度を測定した。この時の容積変化率は46.5%、上澄み液の濁度は12.4であった。結果を表3に示した。
Comparative Example 4
500 ml of waste water similar to that in Example 2 was collected in a 500 ml beaker, and while stirring at a stirring speed of 150 rpm, the Si / Al molar ratio of the inorganic flocculant composed of silica sol-aluminum salt shown in Production Example 2 was 0.25 (Al : 2.51 g / 100 ml) was added in an amount of 0.2 ml (10 mg-Al / L). After the addition, the pH dropped to 4.5, so the pH was adjusted to 6.9 with 1N NaOH and stirred for 5 minutes. Next, 0.5 ml of 0.2% by mass cliff rock PA331 was added, stirred for 5 minutes at a stirring speed of 40 rpm, and allowed to stand for 10 minutes. The volume change rate of the precipitated substance after standing for 5 minutes and the supernatant after 10 minutes of static value were sampled to measure turbidity. The volume change rate at this time was 46.5%, and the turbidity of the supernatant was 12.4. The results are shown in Table 3.

Figure 2007185647
Figure 2007185647

Claims (3)

シリコン粉を含む排水に、金属に対する珪素のモル比が0.05〜3.0のシリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を、金属換算で15〜300(mg/L)の濃度となるように含有させ、次いで、有機高分子凝集剤を添加することを特徴とするシリコン粉含有排水の処理方法。   In the waste water containing silicon powder, an inorganic flocculant composed of silica sol-water-soluble metal salt having a molar ratio of silicon to metal of 0.05 to 3.0 has a concentration of 15 to 300 (mg / L) in terms of metal. And then adding an organic polymer flocculant to the silicon powder-containing wastewater treatment method. 前記シリコン粉を含む排水のpHが10未満であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン粉含有排水の処理方法。   The method for treating wastewater containing silicon powder according to claim 1, wherein the pH of the wastewater containing silicon powder is less than 10. 前記シリカゾル−水溶性金属塩がシリカゾル−アルミニウム塩であり、該シリカゾル−アルミニウム塩よりなる無機凝集剤のpHが1.5〜2.5、SiO濃度が5〜25g/Lであり、かつアルミニウムに対する珪素のモル比が0.05〜1.5であることを特徴とする請求項1または2に記載のシリコン粉含有排水の処理方法。
The silica sol-water-soluble metal salt is a silica sol-aluminum salt, the inorganic flocculant comprising the silica sol-aluminum salt has a pH of 1.5 to 2.5, a SiO 2 concentration of 5 to 25 g / L, and aluminum. The method for treating wastewater containing silicon powder according to claim 1 or 2, wherein the molar ratio of silicon to is 0.05 to 1.5.
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