JP2007184649A - 露光方法、露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 複数種類のパターンを露光するときに、複数種類のパターン毎にフォーカス条件および照明条件を切り換え露光性能を向上させる露光方法および露光装置を提供する。
【解決手段】スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件および照明条件を切換えるステップと、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件および照明条件を切換えるステップと、を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、露光方法および露光装置に関し、特に微細な回路パターンを被露光基板上に露光する露光方法および露光装置に関する。このような露光方法および露光装置は、例えば、ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル等の表示素子、磁気ヘッド等の検出素子、およびCCD等の撮像素子といった各種デバイスの製造に用いられる。
ICやLSIおよび液晶パネル等のデバイスをフォトリソグラフィ技術を用いて製造する際用いられる投影露光装置は、現在、エキシマレーザを光源とするものが主流となっている。しかしながら、このエキシマレーザを光源とする投影露光装置では、線幅0.15μm以下の微細パターンを形成することは困難である。
解像度を上げるには、理論上では、投影光学系のNA(開口数)を大きくしたり、露光光の波長を小さくすれば良いのであるが、現実には、NAを大きくしたり、露光光の波長を小さくすることは容易ではない。すなわち、投影光学系の焦点深度はNAの自乗に反比例し、波長λに比例するため、特に投影光学系のNAを大きくすると焦点深度が小さくなり、焦点合わせが困難になって生産性が低下する。また、殆どの硝材の透過率は、遠紫外領域では極端に低く、例えば、λ=248nm(KrFエキシマレーザ)で用いられる熔融石英でさえ、λ=193nm以下では殆ど0まで低下する。現在、通常露光による線幅0.15μm以下の微細パターンに対応する露光波長λ=150nm以下の領域で実用可能な硝材は実現していない。
そこで、被露光基板に対して、2光束干渉露光と通常の露光との二重露光を行ない、かつその時に被露光基板に多値的な露光量分布を与えることによって、より高解像度の露光を行なう方法が本出願人により特願平9−304232号「露光方法及び露光装置」(以下、先願という)として出願されている。この方法によれば、露光波長λが248nm(KrFエキシマレーザ)、投影光学系の像側NAが0.6の投影露光装置を用いて、最小線幅0.10μmのパターンを形成することができる。
ところで、先願の実施例では2光束干渉露光は線幅0.1μmL&S(ラインアンドスペース)の位相シフトマスク(またはレチクル)を用いて所謂コヒーレント照明で露光し、その後、最小線幅0.1μmの実素子パターンを形成されたマスク(またはレチクル)を用いて通常の露光(例えば部分コヒーレント照明による露光)を行なっている。このように二重露光方式では1つのパターンを形成するために各ショットごとに露光情報の異なる2回の露光工程を必要とする。このため、スループットが遅くなってしまうという問題があった。
本発明は、複数種類のパターンを露光するときに、複数種類のパターン毎にフォーカス条件および照明条件を切り換え露光性能を向上させる露光方法および露光装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため本発明の露光方法は、スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件および照明条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光方法は、スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、前記第1のパターンを第1の照明系で照明し、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、前記第2のパターンを、照明条件が前記第1の照明系とは異なる第2の照明系で照明し、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光方法は、スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、前記第1のパターンを第1の照明系で照明し、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、前記第2のパターンを、照明条件が前記第1の照明系とは異なる第2の照明系で照明し、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版を用いて、基板上のショット領域をパターン露光する露光装置であって、前記原版をスリット状の照明領域で照明する照明手段と、前記スリット状の照明領域に対して、前記原版および前記基板を走査させる走査手段と、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版を用いて、基板上のショット領域をパターン露光する露光装置であって、前記第1のパターンを照明する第1の照明系、および、前記第1の照明系とは異なる照明条件で前記第2のパターンを照明する第2の照明系を用いて、前記原版をスリット状の照明領域で照明する照明手段と、前記スリット状の照明領域に対して、前記原版および前記基板を走査させる走査手段と、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版を用いて、基板上のショット領域をパターン露光する露光装置であって、前記第1のパターンを照明する第1の照明系、および、前記第1の照明系とは異なる照明条件で前記第2のパターンを照明する第2の照明系を用いて、前記原版をスリット状の照明領域で照明する照明手段と、前記スリット状の照明領域に対して、前記原版および前記基板を走査させる走査手段と、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光方法は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを照明し、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光方法であって、前記基板を基板ステージに搭載するステップと、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、前記第1の露光ステップで露光された前記基板を前記基板ステージに搭載したままの状態で、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件および照明条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光方法は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを照明し、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光方法であって、前記基板を基板ステージに搭載するステップと、前記第1のパターンを第1の照明系で照明し、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、
前記第1の露光ステップで露光された前記基板を前記基板ステージに搭載したままの状態で、前記第2のパターンを、照明条件が前記第1の照明系とは異なる第2の照明系で照明し、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光装置であって、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを照明する照明手段と、前記第1のパターンの露光開始から前記第2のパターンの露光終了までの間、前記基板が搭載される基板ステージと、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光装置であって、前記第1のパターンを照明する第1の照明系、および、前記第1の照明系とは異なる照明条件で前記第2のパターンを照明する第2の照明系を有する照明手段と、前記第1のパターンの露光開始から前記第2のパターンの露光終了までの間、前記基板が搭載される基板ステージと、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光方法は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを照明し、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光方法であって、前記基板を基板ステージに搭載するステップと、前記第1のパターンを第1の照明系で照明し、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、
前記第1の露光ステップで露光された前記基板を前記基板ステージに搭載したままの状態で、前記第2のパターンを、照明条件が前記第1の照明系とは異なる第2の照明系で照明し、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光装置であって、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを照明する照明手段と、前記第1のパターンの露光開始から前記第2のパターンの露光終了までの間、前記基板が搭載される基板ステージと、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光装置であって、前記第1のパターンを照明する第1の照明系、および、前記第1の照明系とは異なる照明条件で前記第2のパターンを照明する第2の照明系を有する照明手段と、前記第1のパターンの露光開始から前記第2のパターンの露光終了までの間、前記基板が搭載される基板ステージと、前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする。
本発明の露光方法および露光装置によれば、複数種類のパターンを露光するときに、複数種類のパターン毎にフォーカス条件および照明条件を切り換え露光性能を向上させる。
複数種類のパターンを被露光基板上の同一ショットに重ね焼きして1種類のパターンを形成する多重露光時にスループットを上げるためには、複数パターンの同時焼き付け手法が望ましい。そのとき、レチクルアライメント回数の少ない、前記複数パターンを1枚で持ったレチクルを使用した焼き付け技術が必要になる。
しかしながら、例えば、上記位相シフトマスクのようなパターン(以下、Fパターンという)と、実素子パターンのようなパターン(以下、Rパターンという)とを1枚のマスク(またはレチクル)に形成し露光する場合、これらのFパターンとRパターンとでは、σや露光量などの照明条件が異なる。また、位相シフトマスク(Fパターン)の露光は投影レンズの周辺部を通る光を用いて行なうため、収差の影響によりRパターンの露光とはフォーカスやチルトがずれる。
また、例えば線幅0.1μmL&S(ラインアンドスペース)のレベンソンパターン(Fパターン)と最小線幅0.1μmの実素子パターン(Rパターン)を二重露光して最小線幅が0.1μmの微細パターンをウエハに転写する場合、Fパターンの照明条件は最適なσが0.3〜0.2であり、Rパターンの照明条件は最適なσが0.6〜0.8、最適露光量がFパターンの最適露光量の2〜3倍であることが本発明者らの実験により確認されている。
このようにパターンが異なればフォーカスや露光条件も異なるため、単一レチクルにFとRパターンを持ったレチクルを使用して、フォーカス、露光量目標が1つである通常の走査露光を行なうと、パターンの違いによるフォーカス差や露光量差のため、べストの露光性能を出せない。
そこで、本発明の好ましい実施の形態では、単一光源と、単一もしくは複数の照明系とレチクル、投影レンズとからなり、一枚のレチクルにFとRのパターンが載ったレチクルを使用して、多重走査露光を行なう。FとR領域の間で、光源波長の切り換え、またはz(フォーカスおよびチルト)目標値の変更により、レチクル差によるフォーカス差の影響をなくし、さらに光源照度、照明系を切り換えて光量差をなくする。
このように一枚のレチクルでFとRの2種類のパターンを持ったレチクルを使用して多重露光をする場合に、FとRのフォーカス、露光目標値の変化を考慮することで、多重露光精度を向上することができる。
より具体的には、上記レチクルをレチクルステージに載せて走り方向の補正をした後、FとRのパターン内(もしくは、パターン近接部分)に設けられたF−R間のパターン差検出マークから、F−R間のパターン誤差、x方向、y方向、Θ成分を計測、記憶しておく。
通常の焼きにおいては、まずレチクルの共通部分に設けられたマークによりレチクルとレチクルステージの相対関係を補償した後、焼きを行なう。焼きでは、F部分とR部分を一回の走査で焼く。焼き付けの際には、F部分とR部分がちょうど重なるように、ステップしF部分とR部分を重ねて焼いてゆく。F部分とR部分ではパターンが違っており、その時の最適露光量と最適フォーカス値が違っている。そのため、F部分とR部分別々に最適露光量と最適フォーカス量を持たせ、F部分とR部分の境目で目標値を切り換える。さらに、F部分とR部分のパターンずれを目標走査条件に反映させ、F−R間のオーバーレイ精度を保証する。
フォーカス目標値は、ウエハzステージ目標値をF−R空隙部分で切り換える方法と、光源の波長を切り換える方法の2つがある。波長を切り換えた場合は、ウエハ面での倍率が変化するので、投影レンズの倍率を適切にあわせることもする必要がある。
露光量の目標値は、図5のフローを用いてそれぞれの領域での露光条件を決定しておき、F−R空隙部分で発振周波数を切り換える。2照明系使用時には空隙部分で露光光を入射する照明系を切り換える。1照明系の場合は、照明系自身を切り換える。
照明系切り換えのタイミングは、ステージがメインCPUに対してタイミングを渡し、メインCPUは、照明系駆動部、光源、ステージに対して、照明系切り換え指示、波長切り換え指示、フォーカス目標切り換え指示を与える。
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。図1は本発明の一実施例に係る走査型多重露光装置の構成を示す。同図において、1は露光光源であり、ここではKrFエキシマレーザのようなパルス光源である。2はハーフミラー、3,4は減光フィルタ、5,7はハーフミラー、6,8は光量センサ、9,10は照明光学系、11はハーフミラー、12はビームスプリッタ、13はレチクル、14は投影レンズ、15はウエハである。
図2は図1の露光装置を用いて最小線幅が0.1μmの微細パターンをウエハに転写する場合のレチクル13の構成を示す。図2において、22は所謂レベンソン型等の位相シフトパターン(回折格子)(Fパターン)、24は最小線幅が0.1μmと狭いことを除き従来のものと同様の実素子パターン(Rパターン)である。23および25はそれぞれFパターン22およびRパターン24をアライメントするためのレチクルマークであり、走査露光の際にパターン差を検出するパターン差マークでもある。Fパターン22およびRパターン24との間には空隙部26が設けられている。なお、30はスリット光束を模式的に示したものである。
図1に戻って、ハーフミラー2は、レーザ光源1から出射された光束を、2つの光束に分割する。ハーフミラーで反射された光は、減光フィルタ3およびハーフミラー5を介して照明系9に入射され、その照明系9で照明条件(σおよび露光量など)を制御された後、ビームスプリッタ12を透過してレチクル13上を照明する。一方、ハーフミラーを透過した光は減光フィルタ4およびハーフミラー7を介して照明系10に入射され、その照明系10で照明条件(σおよび露光量など)を制御された後、ビームスプリッタ12で反射されてレチクル13上を照明する。この場合、照明系9による照明領域と照明系10による照明領域とを走査方向にずらすことにより、第1パターン(例えば図2のRパターン24)と第2パターン(例えば図2のFパターン22)の間にスクライブラインより広い空隙部26を有するレチクル13を用いてウエハ15上にスクライブライン幅の隙間をおいて隣接する2つのショット領域に1走査で第1パターン24と第2パターン22を露光することができる。
照明系9には、レチクル13上の第1パターン24をスリット状に照明するためのスリット材および該第1パターン24が露光フィールドに達する前および露光フィールドを通過した後は上記スリット状の照明を遮光するためのシャッタまたは可動ブレードが設けられている。照明系10にも同様に、レチクル13上の第2パターン22をスリット状に照明するためのスリット材および該第2パターン22が露光フィールドに達する前および露光フィールドを通過した後は上記スリット状の照明を遮光するためのシャッタまたは可動ブレードが設けられている。照明系9,10には、さらに、σを設定するための絞り機構が設けられている。減光フィルタ3および5は、それぞれ第1パターン24および第2パターン22の露光量を設定するためのものであり、例えば透過率可変のNDフィルタからなる。
図3は、図1の露光装置の制御系を示す。同図において、41は図4および図5のフローチャートに示されるような動作を制御するためのメインコントローラであり、例えば、露光量センサ6,8の出力に基づき照明系駆動部44を介して減光フィルタ3,5を駆動したり光源1のレーザ発振周波数を制御して上記露光量の設定を行なう。また、上記の絞り機構を駆動して上記σの設定を行なう。さらに、ステージ駆動装置45を介してレチクルステージおよびウエハステージを駆動し、1つの露光位置から他の露光位置へのステップ移動、その露光位置でのXYθ方向への位置決めおよびチルト−フォーカス制御ならびに露光のための走査を行なわせる。図1の装置においては、レチクル13をレチクルステージに、ウエハ15をウエハステージにそれぞれ搭載し、レチクル(すなわちレチクルステージ)13とウエハ(すなわちウエハステージ)15を投影レンズ14の倍率に相当する速度比で投影レンズ14の物面と像面を互いに逆方向に同期して走査させることにより、レチクル13のパターン像がウエハ15上に露光される。
次に、図4および図5を参照しながら、図1の露光装置の動作を説明する。図1の露光装置においては、予め露光配置、露光領域、NA、σ、露光量およびレチクル透過率などの露光条件、ならびにアライメント照明モード、アライメント位置およびアライメントマークなどのアライメント条件をハードディスクなど不図示の記憶装置から読み出して、この露光装置の動作を制御するメインコントローラ41の記憶手段(例えばRAM)に記憶させておく。また、露光原版であるレチクル13をレチクルステージにセットし、レチクルの走り方向の補正をした後、第1パターン24のレチクルマーク25と第2パターン22のレチクルマーク23から、レチクルオフセット(第1パターン24−第2パターン22間のパターン誤差、x方向、y方向、Θ成分など)を計測し上記の記憶手段に記憶しておく。さらに、被露光基板であるウエハ15がロードされたとき、第1パターン24のレチクルマーク25とウエハ15上に形成された不図示のウエハマークとを用いて自動でグローバルアライメント計測を行ない、第2パターン22のレチクルマーク23と上記ウエハマークとを用いて同様に自動でグローバルアライメント計測を行なうとともに、不図示のフォーカス計測手段を用いてフォーカス計測を行なう。これらの計測結果より、フォーカスオフセット、レベリングオフセット、アライメントオフセット(ウエハシフト、ウエハローテーション、ウエハ倍率、チップシフト、チップローテーション、チップ倍率)などのオフセットを算出し、これらのオフセットも上記の制御装置の記憶手段に記憶させておく。この時点までに、σ、スリット形状および露光パターンを区画するためのブレード位置など各照明系9および10に設定すべき露光情報は設定しておく。またレチクル13上の両パターンに共通の露光情報も設定する。
そして、所望のショット領域にステップ移動してそのショット領域と隣接するショット領域に対する露光処理を開始する。図4を参照して、まずレチクル13上の第1パターン24に関するフォーカスオフセット、アライメントオフセットおよび露光量を上記記憶手段より読み出し、フォーカス変動量が所定の規定値以上であれば不図示のzステージを駆動してウエハ15を合焦させる。一方、フォーカス変動量が上記規定値未満であればウエハ15を合焦させるための露光波長を計算して光源1の波長をその計算値に設定し、さらに、波長が変わったことによる倍率を補償する。次に走査露光条件を決定する。
図5はこの走査露光条件を決定する露光条件計算処理の詳細を示す。ここでは、減光フィルタ3,4として透過率が離散的に切り換わる離散型減光手段を用いた場合について説明する。このような離散型減光手段として、ここでは、透過率が互いに異なる複数個のNDフィルタを円盤上に配置し、この円盤を回転することにより、照明光路中に位置させるNDフィルタを順次切り換えるように構成したものを用いている。また、これらの処理を実行する前に、各照明系のNDフィルタ無し(またはNDフィルタの透過率100%)、ノミナルな発振周波数FNomおよびノミナルなスキャンスピードSpeedNomの条件下での露光量(ノミナルな露光量DoseNom)を計測しておく。
パルス光源を用いた走査露光では、走査速度Speedとパルス光源のパルス1発あたりの光量が一定であると仮定すると、発振周波数と露光量は比例関係にある。さらに、減光手段(NDフィルタ等)によりパルス光源の出力を離散的に変化させると、発振周波数と露光量の関係は図6に示すようになる。図6では、横軸が露光量(Dose)、縦軸がパルス光源の発振周波数(Freq)で、比例関係にある。パルス光源の発振周波数を減少させると、それに比例して露光量が減少する。発振周波数には、発光最大周波数による上限値FMAX が光源装置の定格値として定められており、また、発光むらを考慮した発光最低周波数FMIN
が設計上定まる。そのため、露光量が変化して発振周波数を変更していくと最大周波数FMAX または最低周波数FMIN のリミットに引っかかる。その場合には、減光手段の透過率を切り換えてパルス1発あたりの光量を減少または増加させ、隣の比例直線に変更する。
が設計上定まる。そのため、露光量が変化して発振周波数を変更していくと最大周波数FMAX または最低周波数FMIN のリミットに引っかかる。その場合には、減光手段の透過率を切り換えてパルス1発あたりの光量を減少または増加させ、隣の比例直線に変更する。
そこで、図5の露光条件計算処理においては、まず第1の照明系9について、透過率Nd[i]のNDフィルタを用いて最適露光を行なうための発振周波数FTemp=(Dose×Speed×FNom)/(DoseNom×SpeedNom×Nd[i])を算出する。ここで、Doseは露光量、Speedはスキャンスピード、FNomはノミナル発振周波数、DoseNomはノミナル露光量、SpeedNomはノミナルスキャンスピード、Nd[i]はi番目のNDフィルタの透過率である。露光条件の計算は1番目のNDフィルタから順に行なう。算出されたFTempが最小発振周波数FMIN 以上かつ最大発振周波数FMAX 以下であれば、このFTempを第1の照明系の発振周波数の算出値(Freq1)として決定し、その照明系で用いるNDフィルタの番号Nd1もそのときの番号iに決定して、この露光条件計算処理を終了する。図6の白丸は、決定されたFreq1とNd1の値の一例を示す。もし、FTempが最小発振周波数FMIN より小さいか、または最大発振周波数FMAX より大きければ、iをインクリメントして次のNDフィルタで減光した場合の発振周波数FTempの算出ならびに算出値FTempとFMAX およびFMIN との比較を繰り返す。最後(i=NDMAX )のNDフィルタについても、算出値FTempが最小発振周波数FMIN 以上かつ最大発振周波数FMAX 以下の範囲に入らなければ、適切な発振周波数はないのであるから「解無し(NG)」と判定して、この露光条件計算処理を終了する。
図4を参照して、上記の露光条件計算の結果、もし、照明系9の発振周波数算出結果が「NG」であれば、警報を鳴らすなど解無しエラー処理を実行してこの露光条件設定処理を終了する。照明系9の発振周波数Freq1およびNDフィルタ番号Nd1が算出されていれば、次に照明系駆動部44を介して照明系9の減光フィルタ3を番号Nd1のNDフィルタに設定しパルス光源1の発振周波数をFreq1に設定する。さらに、ステージ45を駆動してアライメント補償を行なった後、走査露光を行なう。
この走査露光中は、レチクル13のレチクルマーク位置を監視し、レチクルマーク25がスリット30を通過すると第1パターン24の露光が終了して走査位置がパターン間の空隙部26に達したものと判断し、今度はレチクル13上の第2パターン22に関するフォーカスオフセット、アライメントオフセットおよび露光量を読み出し、上記第1パターン24の場合と同様にしてフォーカス補正、露光条件の決定および設定、アライメント補償ならびに第2パターン22の走査露光を実行する。
これにより、1回の走査で、ウエハ15上の隣接する2つのショット領域の一方に第1パターン24が、他方に第2パターン22が転写される。したがって、図7に示すように、1回走査するごとに走査方向にショット領域1つ分だけステップ移動させながら、ショット領域数と同じ回数走査することにより、ウエハ15の走査方向の両端部のショット領域を除くショット領域に第2パターン22と第1パターン24を二重に露光することができる。図7はAからBに向かって走査する場合の例を示している。
このように本実施例によれば、違うパターンを焼き付ける際に、フォーカス差および露光量差などを考慮して目標値を変えて焼き付けを行ない、その際、複数照明系を用いて同時に複数のパターンを焼き付けることにより露光性能とスループットを向上させることができる。
なお、本実施例は、第1パターン24と第2パターン22の露光条件が異なる場合に特に有効であるが、第1パターン24と第2パターン22が同一である場合、例えば同じパターンを露光する場合に適用してもスループットの向上に役立つものである。同じパターンを露光する場合には、1回走査するごとに走査方向にショット領域2つ分だけステップ移動させながら走査すれば、ショット領域数の約1/2の走査回数で全ショット領域にレチクルのパターンを露光することができる。
(デバイス生産方法の実施例)
次に上記説明した投影露光装置または方法を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。図8は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップ1(回路設計)ではデバイスのパターン設計を行なう。ステップ2(マスク製作)では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組立)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
次に上記説明した投影露光装置または方法を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。図8は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップ1(回路設計)ではデバイスのパターン設計を行なう。ステップ2(マスク製作)では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組立)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
図9は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では上記説明した露光装置または方法によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
本実施例の生産方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造することができる。
1:パルス光源、2,5,7,11:ハーフミラー、3,4:減光フィルタ、6,8:光量センサ、9,10:照明光学系、12:ビームスプリッタ、13:レチクル、14:投影レンズ、15:ウエハ、22:Rパターン、23,25:レチクルマーク、24:Fパターン、41:メインコントローラ、44:照明系駆動部、45:ステージ駆動装置。
Claims (21)
- スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、
前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、
前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、
前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件および照明条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする露光方法。 - スリット状の照明領域に対して、第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版および基板を走査させながら、前記基板上のショット領域をパターン露光する露光方法であって、
前記第1のパターンを第1の照明系で照明し、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、
前記第2のパターンを、照明条件が前記第1の照明系とは異なる第2の照明系で照明し、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、
前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする露光方法。 - 前記照明条件は、σ、露光量、周波数および減光フィルタの透過率のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の露光方法。
- 前記フォーカス条件は、フォーカスの目標値、チルトの目標値および照明光の波長のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記第1の露光ステップまたは前記第2の露光ステップでは、2光束干渉露光が行なわれることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記第1のパターンと前記第2のパターンの間に設けられた空隙部の幅は、前記基板上の隣接する前記ショット領域間に設けられるスクライブラインの幅に基づいて決められることを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記原版には、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンのそれぞれに対してパターンアライメントまたはパターン差検出を行なう際に用いられるマークが、形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記第1のパターンと前記第2のパターンは異なり、前記第1のパターンと前記第2のパターンは同一の前記ショット領域に露光されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記第1のパターンと前記第2のパターンは同一であり、前記第1のパターンと前記第2のパターンは隣接する前記ショット領域に露光されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1つに記載の露光方法。
- 第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版を用いて、基板上のショット領域をパターン露光する露光装置であって、
前記原版をスリット状の照明領域で照明する照明手段と、
前記スリット状の照明領域に対して、前記原版および前記基板を走査させる走査手段と、
前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 第1のパターンおよび第2のパターンが形成された原版を用いて、基板上のショット領域をパターン露光する露光装置であって、
前記第1のパターンを照明する第1の照明系、および、前記第1の照明系とは異なる照明条件で前記第2のパターンを照明する第2の照明系を用いて、前記原版をスリット状の照明領域で照明する照明手段と、
前記スリット状の照明領域に対して、前記原版および前記基板を走査させる走査手段と、
前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項1から9のいずれか1つに記載の露光方法、もしくは、請求項10または11に記載の露光装置を用いて、基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、を備えるデバイス製造方法。 - 第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを照明し、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光方法であって、
前記基板を基板ステージに搭載するステップと、
前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、
前記第1の露光ステップで露光された前記基板を前記基板ステージに搭載したままの状態で、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、
前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件および照明条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする露光方法。 - 第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを照明し、前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光方法であって、
前記基板を基板ステージに搭載するステップと、
前記第1のパターンを第1の照明系で照明し、前記第1のパターンを前記基板上に露光する第1の露光ステップと、
前記第1の露光ステップで露光された前記基板を前記基板ステージに搭載したままの状態で、前記第2のパターンを、照明条件が前記第1の照明系とは異なる第2の照明系で照明し、前記第2のパターンを前記基板上に露光する第2の露光ステップと、
前記第1の露光ステップと前記第2の露光ステップの間に、フォーカス条件を切換えるステップと、を備えることを特徴とする露光方法。 - スリット状の照明領域に対して、前記第1のパターンおよび前記基板を走査させながら露光し、前記第2のパターンおよび前記基板を走査させながら露光することを特徴とする請求項13または14に記載の露光方法。
- 前記照明条件は、σ、露光量、周波数および減光フィルタの透過率のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項13から15のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記フォーカス条件は、フォーカスの目標値、チルトの目標値または照明光の波長のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項13〜16のいずれか1つに記載の露光方法。
- 前記第1の露光ステップまたは前記第2の露光ステップでは、2光束干渉露光が行なわれることを特徴とする請求項13から17のいずれか1つに記載の露光方法。
- 第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光装置であって、
前記第1のパターンおよび前記第2のパターンを照明する照明手段と、
前記第1のパターンの露光開始から前記第2のパターンの露光終了までの間、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 第1のパターン、および、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンを基板上の同一のショット領域に露光する露光装置であって、
前記第1のパターンを照明する第1の照明系、および、前記第1の照明系とは異なる照明条件で前記第2のパターンを照明する第2の照明系を有する照明手段と、
前記第1のパターンの露光開始から前記第2のパターンの露光終了までの間、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記第1のパターンの露光と前記第2のパターンの露光の間に、フォーカス条件および照明条件を切換える制御手段と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項13から18のいずれか1つに記載の露光方法、もしくは、請求項19または20に記載の露光装置を用いて、基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、を備えるデバイス製造方法。
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