JP2007173528A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- 上面に複数個の半導体粒子を載置した台板を加熱炉内に導入し、前記半導体粒子を加熱して溶融させた後に降温して、溶融した前記半導体粒子を結晶化させる結晶半導体粒子の製造方法であって、
前記半導体粒子を固化させる際に、前記台板側から上方に向けて固化させて結晶化させた後に前記結晶半導体粒子の表層に応力歪が発生する温度勾配で降温させ、その後前記結晶半導体粒子にアニール処理を施し、前記表層を除去することを特徴とする結晶半導体粒子の製造方法。 - 上面に複数個の半導体粒子を載置した台板を加熱炉内に導入し、前記半導体粒子を加熱して溶融させた後に降温して、溶融した前記半導体粒子を前記台板側から上方に向けて固化させて結晶化させた後に温度の異なる複数回のアニール処理を施す結晶半導体粒子の製造方法であって、前記各アニール処理の間に前記結晶半導体粒子の表層に応力歪が発生する温度勾配の降温工程があることを特徴とする結晶半導体粒子の製造方法。
- 前記降温工程の温度勾配が前記アニール処理の温度勾配よりも大きいことを特徴とする請求項２記載の結晶半導体粒子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005369241A JP2007173528A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 結晶半導体粒子の製造方法および光電変換装置ならびに光発電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005369241A JP2007173528A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 結晶半導体粒子の製造方法および光電変換装置ならびに光発電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2007173528A JP2007173528A (ja) | 2007-07-05 |
| JP2007173528A5 true JP2007173528A5 (ja) | 2008-05-01 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2005369241A Withdrawn JP2007173528A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 結晶半導体粒子の製造方法および光電変換装置ならびに光発電装置 |
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| JP (1) | JP2007173528A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018066016A1 (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 信越化学工業株式会社 | 高光電変換効率太陽電池の製造方法及び高光電変換効率太陽電池 |
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2005
- 2005-12-22 JP JP2005369241A patent/JP2007173528A/ja not_active Withdrawn
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