JP2007170215A - 内燃機関用部品およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による内燃機関用部品の製造方法は、金属から形成された部品本体を用意する工程と、第1のターゲットおよび第1のターゲットとは異なる角度で配置された第2のターゲットを有するチャンバ内に部品本体を配置する工程と、第1のターゲットおよび第2のターゲットをスパッタリングすることによって部品本体の外側を覆うセラミックス膜を形成する工程とを包含する。
【選択図】図1
Description
まず、本発明による排気管および特許文献1に開示されている排気管における元素の深さ方向の分布を調べた。本発明の排気管として、SUS304から形成された金属管を用意し、セラミックス膜として、スパッタ法により窒化酸化シリコン膜を形成した。窒化酸化シリコン膜を形成するために、クロムめっきが施された金属管を、マグネトロンスパッタ装置のチャンバに配置し、3×10-3Paの真空度に到達するまで排気を行った。その後、100sccmの流量でチャンバ内にアルゴンを導入し、3×10-1Paの圧力を保ちながら、800V、5A(4KW)のパワーを投入して10分間逆スパッタを行い、金属管表面の自然酸化膜を除去した。その後、シリコンをターゲットとし、チャンバに窒素および酸素を導入し、3×10-1Paの圧力を保ちながら、800V、5A(4KW)のパワーを投入して5分間スパッタを行い、金属管表面に厚さ50nmの窒化酸化シリコン膜を形成した。
2 排気管
5 金属管
6 通路
10 セラミックス膜
20 スパッタリング装置
21 チャンバ
22a メインターゲット
22b サブターゲット
23 軸
24 ホルダ
25 防着部材
100 自動二輪車
Claims (15)
- 内燃機関用部品の製造方法であって、
金属から形成された部品本体を用意する工程と、
第1のターゲットおよび前記第1のターゲットとは異なる角度で配置された第2のターゲットを有するチャンバ内に前記部品本体を配置する工程と、
前記第1のターゲットおよび前記第2のターゲットをスパッタリングすることによって前記部品本体の外側を覆うセラミックス膜を形成する工程と、
を包含する内燃機関用部品の製造方法。 - 前記セラミックス膜を形成する工程の前に、前記第2のターゲットの角度を前記部品本体の形状に応じて調整する工程をさらに包含する請求項1に記載の内燃機関用部品の製造方法。
- 前記セラミックス膜を形成する工程において、前記第2のターゲットの角度を変化させる請求項1または2に記載の内燃機関用部品の製造方法。
- 金属から形成された部品本体と、
前記部品本体の外側を覆うセラミックス膜と、を備えた内燃機関用部品であって、
前記セラミックス膜は、100nm以上500nm以下の厚さを有し、且つ、前記部品本体の表面に主として含まれる金属元素の含有率が0.5質量%以下であり、
さらに、前記セラミックス膜は、その全体にわたって色差ΔE*abが2以下である内燃機関用部品。 - 前記セラミックス膜は、その全体にわたって色差ΔE*abが1以下である請求項4に記載の内燃機関用部品。
- 前記セラミックス膜は、厚さのばらつきが10%以下である請求項4または5に記載の内燃機関用部品。
- 前記セラミックス膜は、物理蒸着法により形成された膜である請求項4から6のいずれかに記載の内燃機関用部品。
- 前記セラミックス膜は、スパッタリング法により形成された膜である請求項4から6のいずれかに記載の内燃機関用部品。
- 金属から形成された部品本体と、
物理蒸着法により形成され前記部品本体の外側を覆うセラミックス膜と、を備え、
前記セラミックス膜は、その全体にわたって色差ΔE*abが2以下である内燃機関用部品。 - 前記セラミックス膜は、スパッタリング法により形成された膜である請求項9に記載の内燃機関用部品。
- 排気管である請求項4から10のいずれかに記載の内燃機関用部品。
- 請求項4から11のいずれかに記載の内燃機関用部品を備えた内燃機関。
- 請求項12に記載の内燃機関を備えた輸送機器。
- チャンバと、
前記チャンバ内に設けられた第1のターゲットと、
前記チャンバ内に前記第1のターゲットとは異なる角度で設けられた第2のターゲットと、を有するスパッタリング装置。 - 前記第2のターゲットの角度が可変である請求項14に記載のスパッタリング装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2005
- 2005-12-20 JP JP2005365935A patent/JP2007170215A/ja active Pending
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