JP2007163873A - Contaminant removing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、汚染物質の除去方法に係り、特に、液晶表示パネルなどの画像表示パネルにおいて端子が形成された端子部から、透明な唾液や汗などの視認できない物質や微細な皮膚やふけなどの視認しづらい物質など、端子の断線を引き起こす原因となる汚染物質を除去するのに好適に利用される汚染物質の除去方法に関する。 The present invention relates to a method for removing pollutants, and in particular, from a terminal portion where terminals are formed in an image display panel such as a liquid crystal display panel, such as transparent saliva and sweat, invisible substances such as fine skin and dandruff. The present invention relates to a method for removing contaminants that are preferably used to remove contaminants that cause disconnection of terminals, such as substances that are difficult to visually recognize.
一般的に、長さの異なる2枚のガラス基板に液晶を狭持してなる液晶表示パネルなどの画像表示パネルにおいては、その長いガラス基板の端子部に各種端子が形成されている。ここで、この画像表示パネルの端子に対し、埃や塵などの無機物、皮膚や人毛もしくはふけなどの人体から発生した有機物および当該有機物もしくは無機物を含んだ汗や唾液などの電解質からなる汚染物質が付着すると、通電時にその端子に接続された透明電極が容易に腐食して最終的には断線もしくは短絡に至るおそれがある。そのため、画像表示パネルは細心の注意を払って製造されていた(特許文献1を参照)。 In general, in an image display panel such as a liquid crystal display panel in which liquid crystal is sandwiched between two glass substrates having different lengths, various terminals are formed on terminal portions of the long glass substrate. Here, for the terminals of this image display panel, there are inorganic substances such as dust and dust, organic substances generated from the human body such as skin, human hair and dandruff, and pollutants composed of electrolytes such as sweat and saliva containing the organic substances or inorganic substances. If it adheres, the transparent electrode connected to the terminal during energization may easily corrode and eventually lead to disconnection or short circuit. Therefore, the image display panel has been manufactured with great care (see Patent Document 1).
しかしながら、どんなに細心の注意を払っても汚染物質が端子にわずかに付着することは避けられず、そのわずかな汚染物質の付着によってファインピッチ化された画像表示パネルの端子に悪影響を及ぼしかねないため、画像表示パネルの端子部から汚染物質を個々に取り除く必要がある。ここで、汚染物質を取り除く作業において、無機物性汚染物質は目視検出しやすいが、有機物性汚染物質となる皮膚やふけなどは微細であり、また有機物性汚染物質の溶媒となる汗や唾液などの電解質は透明であることから、光学顕微鏡を用いたとしてもその強い光源により光が汚染物質を通過してしまい、光学顕微鏡による目視確認を行なうことができなかった。そのため、画像表示パネルの端子部から汚染物質を完全に除去することが難しかった。 However, no matter how much care is taken, it is inevitable that contaminants will slightly adhere to the terminals, which may adversely affect the terminals of the fine-pitch image display panel. It is necessary to individually remove contaminants from the terminal portions of the image display panel. Here, in the work of removing contaminants, inorganic contaminants are easy to detect visually, but the skin and dandruff that are organic contaminants are fine, and the organic contaminant contaminants such as sweat and saliva Since the electrolyte is transparent, even if an optical microscope is used, light passes through the contaminants by the strong light source, and visual confirmation by the optical microscope cannot be performed. Therefore, it has been difficult to completely remove the contaminant from the terminal portion of the image display panel.
また、画像表示パネルの端子にICなどのチップを搭載してからウェット洗浄方法により画像表示パネル全体を洗浄したとしても、チップ搭載前に汚染物質が端子に付着すれば、チップ搭載直後にそのチップとともに汚染物質も液状樹脂の硬化もしくは樹脂カバーにより封じ込まれてしまうので、封じ込まれた汚染物質を洗浄することができなかった。 Even if a chip such as an IC is mounted on the terminal of the image display panel and the entire image display panel is cleaned by a wet cleaning method, if contaminants adhere to the terminal before mounting the chip, the chip is mounted immediately after mounting the chip. At the same time, since the contaminants are sealed by the curing of the liquid resin or the resin cover, the sealed contaminants cannot be washed.
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、チップ搭載前に画像表示パネルの端子部から視認不能もしくは視認困難な汚染物質を容易かつ迅速に除去することができる汚染物質の除去方法を提供することをその目的としている。 Therefore, the present invention has been made in view of these points, and removal of contaminants that can easily and quickly remove contaminants that are invisible or difficult to visually recognize from the terminal portion of the image display panel before mounting the chip. Its purpose is to provide a method.
前述した目的を達成するため、本発明の汚染物質の除去方法は、その第1の態様として、端子が形成された画像表示パネルの端子部に励起光を照射する照射工程と、有機物、無機物および有機物もしくは無機物を溶質とする電解質からなる汚染物質のうち少なくとも照射工程において励起光を受けることにより蛍光を発した有機物および有機物を溶質とする電解質を端子部から取り除く除去工程とを含むことを特徴としている。 In order to achieve the above-described object, the pollutant removal method of the present invention includes, as a first aspect, an irradiation step of irradiating a terminal portion of an image display panel on which a terminal is formed with excitation light, an organic substance, an inorganic substance, and It includes a removal step of removing an organic substance that emits fluorescence by receiving excitation light in at least an irradiation step among pollutants made of an electrolyte having an organic or inorganic substance as a solute and an electrolyte having an organic substance as a solute from a terminal portion. Yes.
本発明の第2の態様は、第1の態様の汚染物質の除去方法において、照射工程および除去工程が蛍光顕微鏡を用いて行なわれることを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, in the method for removing a contaminant according to the first aspect, the irradiation step and the removal step are performed using a fluorescence microscope.
本発明の第1の態様によって、視認不能もしくは視認困難な汚染物質が自らその存在位置を発色して知らせるので、その汚染物質を容易かつ迅速に除去することができる。これにより、画像表示パネルの端子部が断線および短絡することを防止するという効果を奏する。 According to the first aspect of the present invention, a contaminant that is invisible or difficult to visually recognize is colored and notified of its location, so that the contaminant can be easily and quickly removed. Thereby, there is an effect of preventing the terminal portion of the image display panel from being disconnected or short-circuited.
本発明の第2の態様によって、発色する有機物性汚染物質を特定することができるとともに、発色しない無機物性汚染物質を視認することができるので、有機物性汚染物質のみでなく無機物性汚染物質および無機物を溶質とする電解性汚染物質をも同作業中に確認し、容易に取り除くことができる。 According to the second aspect of the present invention, an organic physical pollutant that develops color can be specified, and an inorganic physical pollutant that does not develop color can be visually recognized. Therefore, not only an organic physical pollutant but also an inorganic physical pollutant and an inorganic substance Electrolytic pollutants that contain solutes can be identified during the same operation and easily removed.
以下、本発明の汚染物質の除去方法における一実施形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment of the pollutant removal method of the present invention will be described.
本実施形態の汚染物質の除去方法においては、励起光照射手段および汚染物質除去手段が用いられることにより、照射工程および除去工程が行なわれている。 In the contaminant removal method of this embodiment, the irradiation process and the removal process are performed by using the excitation light irradiation means and the contaminant removal means.
励起光照射手段としては、紫外線、放射線、X線などの特定波長の光(励起光)を有機物性汚染物質に照射してその汚染物質を励起状態にした後、基底状態に戻る際に放出されるエネルギーとして生じる蛍光を検出することができる装置が用いられている。本実施形態の励起光照射手段においては、励起光を照射する機能と顕微鏡としての機能を兼ね備えた蛍光顕微鏡が用いられている。この蛍光顕微鏡は、光源、ミラーユニットおよび対物レンズなどを主に備えている。 As excitation light irradiation means, after irradiating organic substance pollutants with light (excitation light) of a specific wavelength such as ultraviolet rays, radiation, and X-rays to bring the pollutants into an excited state, they are emitted when returning to the ground state. An apparatus that can detect fluorescence generated as energy is used. In the excitation light irradiation means of the present embodiment, a fluorescence microscope having both a function of irradiating excitation light and a function as a microscope is used. This fluorescent microscope mainly includes a light source, a mirror unit, an objective lens, and the like.
光源としては、低圧水銀ランプまたはハロゲンランプが用いられている。 As the light source, a low-pressure mercury lamp or a halogen lamp is used.
ミラーユニットとしては、励起フィルタ、ダイクロイックミラーおよび吸収フィルタからなるユニットが用いられている。本実施形態においては、U励起、B励起およびG励起に係る3種のミラーユニットもしくは蛍光広帯域U励起ミラーユニットが用いられている。なお、U励起とは、波長330nm〜380nmの紫外線による励起をいう。同様して、B励起とは波長420〜490nmの青線による励起をいい、G励起とは波長510〜560nmの緑線による励起をいう。 As the mirror unit, a unit including an excitation filter, a dichroic mirror, and an absorption filter is used. In the present embodiment, three types of mirror units or fluorescent broadband U excitation mirror units related to U excitation, B excitation, and G excitation are used. U excitation refers to excitation by ultraviolet rays having a wavelength of 330 nm to 380 nm. Similarly, B excitation refers to excitation by a blue line having a wavelength of 420 to 490 nm, and G excitation refers to excitation by a green line having a wavelength of 510 to 560 nm.
対物レンズとしては、有機物性汚染物質の蛍光像が暗いことから、高い集光力および紫外線透過率を有しつつ、自己蛍光やソラリゼーションを生じないレンズが用いられている。本実施形態においては、乾燥系対物レンズ(金属用対物レンズ)が用いられている。この乾燥系対物レンズは、少なくとも20〜50倍の視野範囲を有しており、さらに10〜200倍の視野範囲を有していることが好ましい。 As the objective lens, since the fluorescent image of the organic physical contaminant is dark, a lens that has high light condensing power and ultraviolet transmittance but does not cause autofluorescence or solarization is used. In the present embodiment, a dry system objective lens (metal objective lens) is used. This dry objective lens has a visual field range of at least 20 to 50 times, and preferably has a visual field range of 10 to 200 times.
また、本実施形態の汚染物質除去手段としては、塩基類を含まない綿棒にエタノールなどの電子部品用洗浄剤を塗布したものを保持するマニピュレータもしくは人間の手が用いられている。 Further, as the contaminant removal means of this embodiment, a manipulator or a human hand that holds a cotton swab that does not contain bases and a cleaning agent for electronic parts such as ethanol is used.
なお、本実施形態の蛍光顕微鏡においては、観察対象物(画像表示パネルの端子部および汚染物質)の画像表示を行なうために、デジタルカメラおよびモニタを有する画像表示手段が設けられていることが好ましい。また、汚染物質を特定するために、蛍光分光器が設けられることが好ましい。さらに、作業効率の向上のために、蛍光顕微鏡の観察対象物を載置するステージを速度調整機能付モータにより自動送りする自動送り手段が設けられていることが好ましい。 In the fluorescence microscope of the present embodiment, it is preferable that an image display means having a digital camera and a monitor is provided in order to display an image of an observation object (terminal portion of image display panel and contaminant). . In addition, a fluorescence spectrometer is preferably provided in order to identify the contaminant. Furthermore, in order to improve the working efficiency, it is preferable that an automatic feeding means for automatically feeding a stage on which the observation object of the fluorescence microscope is placed by a motor with a speed adjusting function is provided.
次に、図1を用いて、本実施形態の汚染物質の除去方法による作用を説明する。ここで、図1は、画像表示パネルの端子部に付着した皮膚、唾液、汗、人毛およびふけに対して励起光を照射して得た発光スペクトルを示している。なお、皮膚、唾液、汗、人毛およびふけは、画像表示パネルの端子部に対する主要な汚染物質である。 Next, the effect | action by the removal method of the contaminant of this embodiment is demonstrated using FIG. Here, FIG. 1 shows an emission spectrum obtained by irradiating the skin, saliva, sweat, human hair and dandruff attached to the terminal portion of the image display panel with excitation light. Note that skin, saliva, sweat, human hair, and dandruff are main contaminants for the terminal portion of the image display panel.
画像表示パネルの製造工程においてチップが搭載されていない画像表示パネルが形成されると、画像表示パネルの端子部に汚染物質が付着していないかを蛍光顕微鏡を用いて観察する。蛍光顕微鏡によって、画像表示パネルの端子部に励起光が照射されると、汚染物質の一部が有機物(皮膚、人毛もしくはふけなどの人体紛等)もしくは有機物を溶質とする液状電解質(汗もしくは唾液などの液体物等)であるため、励起状態と基底状態を往復することにより蛍光を発する。これによって、汚染物質が透明もしくは微細であったとしても、励起光照射された汚染物質が画像表示パネルの端子部に存在するかを自己発光によって知らせるので、画像表示パネルの端子部に汚染物質が付着したかを目視により容易かつ迅速に検出することができる。 When an image display panel on which no chip is mounted is formed in the manufacturing process of the image display panel, it is observed using a fluorescence microscope whether contaminants are attached to the terminal portion of the image display panel. When excitation light is irradiated to the terminal part of the image display panel by a fluorescence microscope, a part of the pollutant is an organic substance (skin, human hair, dandruff, etc.) or a liquid electrolyte (sweat or Liquid such as saliva), and emits fluorescence by reciprocating between the excited state and the ground state. As a result, even if the contaminant is transparent or fine, it is notified by self-emission whether the contaminant irradiated with the excitation light exists in the terminal portion of the image display panel. Whether it has adhered can be easily and quickly detected visually.
また、蛍光顕微鏡のミラーユニットとして、U励起、B励起およびG励起に係る3種のミラーユニットもしくは蛍光広帯域U励起ミラーユニットが用いられているので、有機物性汚染物質のピーク波長を幅広く検出することができる。例えば、図1の実験結果に示すように、皮膚、汗、人毛、ふけの発色ピーク波長は約450nmであり、唾液の発色ピーク波長は約550nmであることが明らかとなっている。また、唾液とそれ以外の主要汚染物質とにおいては検出される波長帯域が異なっている。そのため、それらのピーク波長に応じて3種のミラーユニットから選択された好適なミラーユニット、もしくは広帯域波長の蛍光を検出する単一の蛍光広帯域U励起ミラーユニットを用いることにより、有機物性汚染物質を確実に検出することができる。 In addition, since three types of mirror units for U excitation, B excitation and G excitation or a fluorescent broadband U excitation mirror unit are used as the mirror unit of the fluorescence microscope, it is possible to detect a wide range of peak wavelengths of organic pollutants. Can do. For example, as shown in the experimental results of FIG. 1, it is clear that the color peak wavelength of skin, sweat, human hair, and dandruff is about 450 nm, and the color peak wavelength of saliva is about 550 nm. In addition, the detected wavelength band is different between saliva and other major contaminants. Therefore, by using a suitable mirror unit selected from three types of mirror units according to their peak wavelength, or a single fluorescent broadband U excitation mirror unit that detects fluorescence at a broadband wavelength, It can be detected reliably.
さらに、U励起、B励起およびG励起に係る3種のミラーユニットを選択的に用いる場合、U励起によって淡青色もしくは濃青色に発光した汚染物質を検出しつつ、B励起およびG励起によって画像表示パネルの製造に用いたフォトレジストの残渣を検出することができる。 Furthermore, when three types of mirror units related to U excitation, B excitation, and G excitation are selectively used, an image is displayed by B excitation and G excitation while detecting a pollutant emitting light blue or dark blue by U excitation. Residues of the photoresist used for panel manufacture can be detected.
この蛍光顕微鏡による検出時において、対物レンズの倍率が少なくとも20〜50倍となっていれば、5〜7mm程度の端子幅を有する画像表示パネルの端子部のすべてが蛍光顕微鏡の視野範囲内となり、画像表示パネルの端子部の一端から他端(反対)までを一度に検査して汚染物質が付着したかを検出することができる。また、対物レンズの倍率が10〜200倍であれば、前述のような検査のみでなく、対物レンズの高倍率側においてその汚染物質が何かを目視によっても特定することができる。さらに、画像表示パネルの端子部を拡大観察することにより、励起光照射による発色が期待できない無機物性汚染物質が端子部に付着している場合においてもその無機物性汚染物質の存在を目視により確認することができるので、蛍光顕微鏡を用いることにより、有機物性汚染物質や有機物性汚染物質を溶質とする電解性汚染物質だけでなく、無機物性汚染物質および無機物性汚染物質を溶質とする電解性汚染物質をも容易に検出することができる。 At the time of detection by this fluorescence microscope, if the magnification of the objective lens is at least 20 to 50 times, all the terminal portions of the image display panel having a terminal width of about 5 to 7 mm are within the visual field range of the fluorescence microscope, It is possible to detect whether a contaminant has adhered by examining from one end to the other end (opposite side) of the terminal portion of the image display panel at a time. Further, if the magnification of the objective lens is 10 to 200 times, not only the inspection as described above, but also the contaminants can be identified visually on the high magnification side of the objective lens. Furthermore, by observing the terminal portion of the image display panel in an enlarged manner, even when an inorganic physical contaminant that cannot be expected to be colored by excitation light irradiation adheres to the terminal portion, the presence of the inorganic physical contaminant is visually confirmed. Therefore, by using a fluorescent microscope, not only organic pollutants and organic pollutants that use organic pollutants as solutes, but also inorganic pollutants and electrolytic pollutants that use inorganic pollutants as solutes can be used. Can be easily detected.
さらに、有機物性汚染物質は固有の発色ピーク波長を有することから、蛍光顕微鏡に蛍光分光器を併用することにより、汚染物質の特定を行なうことができる。ここで、U励起により汚染物質を発色させる場合、400〜750nmの広い波長帯域内において汚染物質による淡い発色を検出することができるので、励起光照射により得られた発色スペクトルと事前作成したデータベースより得られた汚染物質の発色波長とを自動的に比較判定させることにより、汚染物質の同定を瞬時に行なうことができる。この同定は、汚染物質の付着原因を追及し、以後の付着を防止するために好適な手段の一つといえる。 Furthermore, since organic pollutants have unique color peak wavelengths, the pollutants can be specified by using a fluorescence spectrometer in combination with a fluorescence microscope. Here, when coloring contaminants by U excitation, it is possible to detect faint coloration due to contaminants within a wide wavelength band of 400 to 750 nm. By automatically comparing and determining the coloring wavelength of the obtained contaminant, the contaminant can be identified instantly. This identification can be said to be one of the suitable means for pursuing the cause of the adhesion of the pollutant and preventing the subsequent adhesion.
そして、蛍光顕微鏡により画像表示パネルの端子部に汚染物質が付着していることが確認されると、電子部品用洗浄剤を塗布した綿棒を用いて、汚染物質を拭き取って除去することができる。 And if it is confirmed that the contaminant has adhered to the terminal part of the image display panel with a fluorescence microscope, the contaminant can be wiped off using a cotton swab coated with a cleaning agent for electronic parts.
画像表示パネルの端子部から汚染物質が除去されたら、画像表示パネルにチップを搭載する。ここで、チップ搭載後に画像表示パネルに汚染物質が付着していないかを再度確認することにより、断線および短絡の更なる防止を図ることができる。 When the contaminant is removed from the terminal portion of the image display panel, the chip is mounted on the image display panel. Here, it is possible to further prevent disconnection and short-circuit by reconfirming whether or not contaminants are attached to the image display panel after mounting the chip.
すなわち、本実施形態の汚染物質の除去方法によって、画像表示パネルの端子部に付着しやすい視認不能もしくは視認困難な汚染物質が自らその存在位置を知らせるので、その汚染物質を容易に除去することができる。これにより、画像表示パネルの端子部が断線および短絡することを防止するという効果を奏する。 That is, according to the contaminant removal method of the present embodiment, the invisible or difficult-to-view contaminant that easily adheres to the terminal portion of the image display panel informs itself of its location, so that the contaminant can be easily removed. it can. Thereby, there is an effect of preventing the terminal portion of the image display panel from being disconnected or short-circuited.
また、本実施形態の汚染物質の除去方法によって、発色しない微細な無機物性汚染物質の視認ができるので、発色する有機物性汚染物質および電解性汚染物質とともに発色しない無機物性汚染物質をも取り除くことができる。 Moreover, since the fine inorganic physical contaminant that does not develop color can be visually recognized by the contaminant removal method of the present embodiment, it is possible to remove the organic contaminant that does not develop color and the inorganic contaminant that does not develop color together with the electrolytic contaminant. it can.
なお、本発明は、前述した実施形態などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above etc., A various change is possible as needed.
Claims (2)
有機物、無機物および前記有機物もしくは前記無機物を溶質とする電解質からなる汚染物質のうち、少なくとも前記照射工程において前記励起光を受けることにより蛍光を発した前記有機物および前記有機物を溶質とする前記電解質を前記端子部から取り除く除去工程と
を含むことを特徴とする汚染物質の除去方法。 An irradiation step of irradiating the terminal portion of the image display panel on which the terminal is formed with excitation light;
Of the organic substance, the inorganic substance, and the pollutant composed of the organic substance or the electrolyte having the inorganic substance as a solute, the organic substance emitting fluorescence by receiving the excitation light at least in the irradiation step and the electrolyte having the organic substance as a solute And a removing step of removing from the terminal portion.
The contaminant removal method according to claim 1, wherein the irradiation step and the removal step are performed using a fluorescence microscope.
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