JP2007163711A - 配向層形成装置および配向層形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 配向層形成装置10は、イオンビーム28を生成するイオンソース12と、基板24とイオンソース12との間に設けられる1つまたは複数のマスク20と、を含み、マスク20は基板側に反射面34を有する。配向層となる基板上の薄膜26とマスク20の反射面34との間でイオンビーム28を反射させ、最終的に薄膜26に照射されたイオンビームにより配向層を形成する。マスクの反射面の形状、配置により、液晶の配向方向を均一にすることができる。したがって、明度むらや色むらのない液晶表示装置を製造することができる。
【選択図】 図4
Description
液晶の配向方向は、液晶分子を基板24に投影したときのX−Y平面での液晶分子の長軸のそろう方向である。液晶の配向方向は、図2における角度φ、言い換えると図1におけるX−Y平面(基板24やマスク20と平行な平面)にイオンビーム28を投影し、その投影されたイオンビーム28とY軸と(実際にはY軸と平行な直線)との角度φ(方位角)及びイオンビーム28の密度分布で決定される。なお、図2において角度α(仰角)はX−Y平面に対するイオンビーム28の入射角度を表す。
11:グリッド
12:イオンソース
14:ガス導入口
16:プラズマ生成室
18:加速電極
20:マスク
22:スリット
24:基板
26:薄膜
28:イオンビーム
32a,32b:エッジ
34:反射面
40:マスクあおり制御部
42:コントローラ
60:一体型マスク
Claims (19)
- 基板上の薄膜に配向層を形成する装置であって、
イオンビームを生成するイオンソースと、
前記基板と前記イオンソースとの間に設けられ、前記イオンビームを前記基板上の薄膜に向けて所定の方向に反射させるための反射面を有するマスクと、
を備える、配向層形成装置。 - 前記マスクはスリットを有し、前記イオンビームは前記スリットを通して基板表面に照射される、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記基板を搬送する該基板の進行方向と前記イオンビームを照射する方向は同じ方向である、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記所定の方向は液晶の配向方向である、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記所定の方向が液晶の配向方向であり、所定のプレチルト角に対応させて前記薄膜への入射角を変える反射面を有するマスクを備える、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記所定の方向は前記基板の進行方向に平行である、請求項4及び請求項5に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面は平面であって、前記基板の表面に対して傾斜している、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面は平面であって、前記基板の表面及び基板の進行方向に対して傾斜している、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面は前記基板を搬送する該基板の進行方向に対して傾斜し、その傾斜の角度は前記イオンビームの前記所定の方向からのずれ角度に対応している、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面の前記基板に対するあおり角を変えるためのマスクあおり制御部を備える、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面は平面であって、前記基板の進行方向に対する傾斜角度を前記イオンビームが照射される領域に対応する前記マスクの端部に設けることを特徴とする、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面は平面であって、前記基板の進行方向に対する傾斜角度を前記イオンビームが照射される領域に対応する前記マスクの中央部から端部に向かって段階的に大きくすることを特徴とする、請求項1に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクはのこぎり刃形状を有し、前記マスクの反射面は前記のこぎり刃形状の表面に設けられ、平面もしくは曲面形状を有する、請求項1乃至5に記載の配向層形成装置。
- 前記マスクの反射面は前記基板上の薄膜と同じ材料から構成される、請求項1乃至5に記載の配向層形成装置。
- 基板上の薄膜に液晶配向層を形成する方法であって、
液晶配向層となる薄膜が形成された基板を準備するステップと、
基板側に反射面を有するマスクを、前記基板とイオンソースとの間に設けるステップと、
前記基板を搬送させるとともに前記イオンソースから出射されるイオンビームを基板上の薄膜に照射し、前記薄膜と前記マスクの反射面との間で前記イオンビームを反射させて、前記マスクの反射面により前記イオンビームを配向方向に反射させるステップと
を含む液晶配向層の形成方法。 - 前記マスクの反射面の前記基板に対するあおり角を調整するステップを含む、請求項15に記載の液晶配向層の形成方法。
- 前記基板を搬送させる該基板の進行方向と前記イオンビームを照射する方向が同じ方向であることを含む、請求項15に記載の液晶配向層の形成方法。
- 前記マスクの反射面による前記イオンビームの反射により、前記配向層に所定のプレチルト角を形成するように前記薄膜への入射角度を変えることを含む、請求項15に記載の液晶配向層の形成方法。
- 前記マスクの反射面は前記イオンビームの広がり角度を補正するように形成される、請求項15に記載の液晶配向層の形成方法。
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