JP2007163296A - 液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】スペーサの形状にかかわらず、比較的広範囲にわたって、しかも高精度に基板間隔調整用スペーサの高さを測定することが可能な液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法及びその測定装置を提供する。
【解決手段】一対の基板間に間隔調整用のスペーサを介設すると共に、両基板間に液晶を封入した液晶パネルにおいて、一方の基板11の表面側に間隔調整用のスペーサ21を配置した状態において、計測用透明板14をスペーサ21上に載置する。計測用透明板14をスペーサ21に押圧接触させる。計測用透明板14の載置面と基板11の表面との隙間距離を光学的手段12を利用して測定することで基板11の表面上のスペーサ21の高さを求める。
【選択図】図1
【解決手段】一対の基板間に間隔調整用のスペーサを介設すると共に、両基板間に液晶を封入した液晶パネルにおいて、一方の基板11の表面側に間隔調整用のスペーサ21を配置した状態において、計測用透明板14をスペーサ21上に載置する。計測用透明板14をスペーサ21に押圧接触させる。計測用透明板14の載置面と基板11の表面との隙間距離を光学的手段12を利用して測定することで基板11の表面上のスペーサ21の高さを求める。
【選択図】図1
Description
この発明は、液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法及び装置に関するものである。
液晶パネルの製造においては、一枚のガラス基板上にTFTアレイが形成されてTFT基板となる。もう一枚のガラス基板上にはマイクロ・カラーフィルタ・アレイが形成されてカラーフィルタ基板となる。どちらの基板も最後にはラビング処理され、二枚のガラス基板を重ねて張り合わせて隙間に液晶物質を封入する。この際、液晶物質の厚さは、完成されたディスプレィパネルの光学特性に大きな影響を及ぼすため、基板間の隙間は決められた間隔でできるだけ均一にする必要がある。そのために通常は、3〜5ミクロンメートル程度の高さを有するスペーサを基板間に介設し、その間隔が均一になるように規制している(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。上記スペーサとしては、カラーフィルタ基板あるいはTFT基板上にフォトリソグラフィ技術によって樹脂製スペーサを形成する方法と、透明な樹脂製の粉体(ビーズスペーサ)を散布あるいは固着する方法とがある。
従来、スペーサのような突起形状の高さを測定する方法として、大別すると触針式測定方法と非接触式測定方法とがある。触針式としては百ミクロンメートル程度以下の極微小な範囲の凹凸情報を得るためのAFM(原子間力顕微鏡)が知られている。これは探針(カンチレバー)の先端をサンプル表面上にスキャンし、その凹凸情報を電気的信号に変換して計測する方法である。サンプルと探針(カンチレバー)の間に働く微小な力(原子間力)を検出することによりオングストロームオーダの分解能で凹凸情報を得ることができるものであり、触針式とはいっても非破壊測定を可能とする。しかしながらこの方法は探針を二次元的にスキャンするために数分の測定時間を必要とすることと、破損や摩耗による探針先端の形状変化の影響を受ける欠点がある。
また非接触方式としては、光を利用した顕微鏡型の三次元計測器が良く知られており、走査型共焦点レーザ顕微鏡、あるいは走査型白色干渉計等が挙げられる。走査型共焦点レーザ顕微鏡の基本原理は、点光源から出射した光が対物レンズでサンプルの一点に集光され、反射した光は同じ光路を戻ってビームスプリッタにより分離されてピンホールに集光される。この光強度が最大となる位置が焦点面となり、Z軸を走査してXY各点の焦点位置の読みとり値を高さデータとして三次元計測が可能になる。また、走査型白色干渉計は白色光を光源としたミラウ、マイケルソン等の等距離干渉計を利用する。対物レンズに入射した光をビームスプリッタにより、一方を光学基準面へ、他方をサンプル表面へ偏光して出射させる。すると光学基準面およびサンプル面から反射した光が結合し、干渉を発生する。対物レンズをZ軸方向に走査して干渉強度の最大値を焦点位置とし、XY各点の焦点位置読みとり値から三次元計測を可能とする。かかる測定器は数秒以内の短い測定時間でサブミクロンメートルから数百ミクロンメートルの凹凸形状が測定可能であり、測定領域もサブミクロンメートルから数ミリメートルオーダーが可能のため、スペーサの形状・高さ測定には概して適していると言える。
特開2004−245952号公報
特開2005−242310号公報
しかしながらスペーサの頂点部は、常に平坦形状であるとは限らない。例えば、ビーズスペーサのような球状の場合は、光学的な手法によると入射した光が頂点部のごく限られた狭い面積以外は斜め方向に反射してしまい、頂点の高さを測定できうる有効な部分は限りなく小さい。従って頂点部の高さデータを安定して得ることは困難になる。また実際にガラス上に形成されたスペーサは百ミクロンメートル以上離れた間隔で配置されるため、これらの測定機を用いてスペーサ形状を直接測定する場合は測定視野の限界から一度に一点の測定しか行うことができないが、無数に配置されたスペーサを全て測定するのは非現実的な時間を必要とするため、1枚のサンプル基板で数十点のスペーサを測定しているのが現状である。しかし一点の高さを測定しても、高さが異常に大きく問題となるスペーサの存在を見いだすことはできない。特に複数個のビーズを固着してスペーサを形成する方法においては、ビーズが2段以上に積み重なった場合は致命的な不良になるが、ある1点を抽出して測定しても、その周囲に存在する不良スペーサは検出できないことになる。
ところで、実際にカラーフィルタ基板とTFT基板を張り合わせて液晶物質を注入した状態においては二枚のガラス間に大気による圧力が加わる。スペーサが樹脂製である場合は、頂点部は押圧力を受けたとき、その材質は適度な弾性を持つので変形した状態になる。これにより製造技術等に起因する個々のスペーサ高さのバラツキは適切な弾性変形と相まって、面全体としてうまく補償されることになる。
しかしながら液晶製造においてスペーサの高さを測定する工程はカラーフィルタ基板あるいはTFT基板の製造過程で行うため、そのままではスペーサは張り合わせによる押圧が無い無変形状態である。従って従来の測定方法で高さを測定しても、その結果が実際に張り合わせ後のガラスの隙間と等しくならない。
しかしながら液晶製造においてスペーサの高さを測定する工程はカラーフィルタ基板あるいはTFT基板の製造過程で行うため、そのままではスペーサは張り合わせによる押圧が無い無変形状態である。従って従来の測定方法で高さを測定しても、その結果が実際に張り合わせ後のガラスの隙間と等しくならない。
この発明は、上記従来の欠点を解決するためになされたものであって、その目的は、スペーサの形状にかかわらず、比較的広範囲にわたって、しかも高精度に基板間隔調整用スペーサの高さを測定することが可能な液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法及びその測定装置を提供することにある。
さらに具体的にいうと、液晶用カラーフィルタ基板あるいはTFT基板に形成したスペーサの高さを計測するとき、従来の光学的手法では測定できない頂点形状が平坦ではない球状のスペーサを測定可能とすることを目的とする。また、従来の方法では、無数に配置されたスペーサの中で一点の高さを測定してもその周囲に存在する高さが異常に大きいスペーサの存在を見いだすことはできないが、本願では、多数のスペーサの中に存在する異常な高さを持った不良スペーサを一度の測定で検出可能にすることを目的とする。さらに、ビーズを固着してスペーサを形成するような方法を採用する場合には、無数に配置されたスペーサの中から一部のビーズが2段以上に重さなった不良の検出を可能にすることを目的とする。またさらに、スペーサが弾性を持ったものであるような場合には、スペーサが張り合わせられた後の押圧により変形したのと同じ状態で高さを測定できるようにすることを目的とする。
そこで請求項1の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法は、一対の基板間に間隔調整用のスペーサを介設すると共に、両基板間に液晶を封入した液晶パネルにおいて、一方の基板11の表面側に間隔調整用のスペーサ21を配置した状態において、計測用透明板14をスペーサ21上に載置し、計測用透明板14の載置面と基板11の表面との隙間距離を光学的手段12を利用して測定することで基板11の表面上のスペーサ21の高さを求めることを特徴としている。また、請求項3の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置は、一対の基板間に間隔調整用のスペーサを介設すると共に、両基板間に液晶を封入した液晶パネルにおいて、一方の基板11の表面側に間隔調整用のスペーサ21を配置した状態において、基板11の表面上のスペーサ21の高さを求める高さ測定装置であって、スペーサ21上に載置される計測用透明板14と、計測用透明板14の載置面と基板11の表面との隙間距離を測定する光学的手段12とを有することを特徴としている。
請求項2の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法は、上記計測用透明板14を上記スペーサ21に押圧接触させることを特徴としている。請求項4の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置は、上記計測用透明板14を上記スペーサ21に押圧接触させる押圧手段31、41を有することを特徴としている。
請求項1の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法、及び請求項3の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置は、スペーサが配列された基板上に、所定の面積を有する計測用透明板を載置すると、スペーサで規制された隙間が生じることになり、基板の表面と計測用透明板の載置面との距離を光学手段で測定することでスペーサの高さを測定する方法及び装置である。計測用透明板の載置面下には一様に分布した数十個以上のスペーサが存在し、基板間の間隔は、その中で高さが最も大きな数個のスペーサで隙間が決まることになるが、その隙間が異常値の場合は不良として判断することができる。一点のスペーサだけを測定するのに比較して、異常な高さの不良検出の確率が著しく向上する。また、スペーサの頂点が球状であって、従来の光学手段では頂点の高さを検出するのが困難な問題に対し、計測用透明板を用いた場合には、スペーサの頂点で基板と計測用透明板との隙間ができることから、スペーサのいかなる形状にもかかわらずに高さを測定することが可能になる。
請求項2の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法、及び請求項4の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置によれば、計測用透明板に、押圧手段により、重りを付加して加重したり、あるいは計測用ガラス板をバネ等で押しつけるなどしたりすると、押圧力が調整され、実際にカラーフィルタ基板とTFT基板を張り合わせて液晶物質を封入した状態のように、大気圧によってスペーサ加わる押圧力と等しくすることができる。その状態で基板と計測用透明板との隙間を測定すると、押圧力によってスペーサが変形した状態の高さを測定できることになる。特に、スペーサが弾性を持った樹脂で作られている場合は、加重を変化させながらで隙間を測定することで変形によるスペーサ高さの変化を測定することが可能になる。
この発明によれば、液晶パネルの製造工程において、カラーフィルタ基板あるいはTFT基板に形成したスペーサの高さ測定を簡易なシステム構成で行うことができる。また計測用ガラス板でスペーサに押圧を加えると、後工程で行われるカラーフィルタ基板とTFT基板を張り合わせたのと同じ形状状態でのスペーサの高さを測定することが可能になる。
次に、この発明の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法及びその装置の具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置の全体簡略図であり、このスペーサの高さ測定装置は、カラーフィルタ基板あるいはTFT基板上に形成されたスペーサの高さを測定する方法を実施するものとして、被測定基板の上に計測用ガラス板を載せ、二枚のガラス間の隙間を測定してスペーサの高さを知る方法を実施する装置である。
図1において、1は、装置本体のアームを示しており、アーム1の下部には、試料台10が配置されている。また、アーム1の先端部には、検出部(光学的検出手段)12取り付られ、この検知部12の直下の位置には、計測用ガラス板14が配置されている。計測用ガラス板14は、筒状の計測用ガラス板ホルダ13に固着されている。また、上記アーム1には、上下動機構15が設けられ、この上下動機構15によって、ガラス板支持アーム16が上下方向に駆動されるようなっている。そして、このガラス板支持アーム16に、上記計測用ガラス板ホルダ13が、支持されている。この場合、計測用ガラス板ホルダ13は、ガラス板支持アーム16に吊下げ状態で、かつ上方へは移動自在に支持されている。
一方、上記試料台10には、カラーフィルタ基板あるいはTFT基板のようなサンプル基板11が載置されている。上記検知部12は、指定された測定位置に移動可能である。そして、所定の位置において、上下動機構15によってガラス板支持アーム16を下降させていくと、計測用ガラス板14もサンプル基板11の表面に垂直に降りていく。計測用ガラス板14がサンプル基板11と接触した状態からさらにガラス板支持アーム16を下降させると、図2に示すように、計測用ガラス板ホルダ13はそれ以上は下降せず、計測用ガラス板ホルダ13は、ガラス板支持アーム16と分離される。サンプル基板11の表面には5ミクロンメートル程度の高さのスペーサ21が形成されており、これが計測用ガラス板14とサンプル基板11の隙間を規制する。計測用ガラス板14が分離され、サンプル基板11に自重で載置された状態では、計測用ガラス板ホルダ13と計測用ガラス板14の重量は軽いため、スペーサ21の一個あたりに加わる荷重は極めて小さい。このような低荷重状態においては、計測用ガラス板14の面内で最も高い数点のスペーサ21によって隙間が決まることになる。
そこで図3に示すように、計測用ガラス板14に、押圧手段として重り31を取り付けて、重りの重量でもって計測用ガラス板14を、上記スペーサ21に押圧接触させる。この場合、重り31の重量を調整することで、実際にカラーフィルタ基板とTFT基板を張り合わせて液晶物質を封入した後にスペーサ21に加わる押圧と等しくすることができる。このように押圧力を作用させることによって、スペーサ21が変形した状態での高さを測定することが可能である。重り31は、その中央部に、測定光路が通るように孔を設けた形態にしておく。
また荷重を加える別の押圧手段として、図4示すように、バネ41を設けて計測用ガラス板14を押しつける手段も考えられる。バネ押し機構42はエアーあるいはモーターなどで駆動するZ軸ステージ43であり、それを下降させてバネ41を押すとスライダー機構44に取り付けられた計測用ガラス板14がスペーサ21に押圧力を与える。そこでバネ押し機構42のストローク量を制御することで計測用ガラス板14がサンプル基板11へ与える押圧力を調整することが可能になる。
次にサンプル基板11の上面と計測用ガラス板14の下面の距離を測定するには、構造上からして必然的に非接触の測定になるため、光学的な検出方法が必要になる。測定方法として挙げられるものとして従来から知られている白色光による光干渉の原理を応用したものがあり、膜厚や形状測定に広く利用されている。あるいはレーザー光を用いるなどして焦点位置を検出する方法が利用できる。
白色光による干渉を利用した実施例としていくつかある。例えば、走査型白色干渉計は白色光を光源としたミラウ、マイケルソン等の等距離干渉計を利用する。対物レンズに入射した光をビームスプリッタにより、一方を光学基準面へ、他方をサンプル表面へ偏光して出射させる。すると光学基準面およびサンプル面から反射した光が結合し、干渉を発生する。対物レンズをZ軸方向に走査して干渉強度が最大のときに焦点位置となる。サンプル表面と参照ガラス板下面で生じた2点の干渉ピーク位置を検出することでサンプルと参照板ガラスの距離を求めることができる。
分光分析による方法は、垂直あるいは斜め方向からサンプルに白色光を入射し、サンプル基板と膜面から反射して合成された干渉スペクトラムを高速フーリエ変換等によって解析し、膜厚を求めるものである。
また、エリプソメータとして一般的に知られている測定対象物に偏光を入射し、その反射光の偏光状態の変化を測定することで膜厚を測定する方法も適用が可能である。
また、複屈折性プリズムを用いた白色干渉方式においても適用が可能である。
図5には、ウォラストンプリズム51を用いた白色干渉光による偏光干渉方式の測定原理を示す。白色光源52からの光束はビームスプリッタ53で反射し、対物レンズ54によって集光されて出射する。計測用ガラス板14の下面とサンプル基板11上面の隙間をd、その間の屈折率をnとすると、計測用ガラス板14の下面とサンプル基板11上面から2ndの光路差を持つ二つの波面が反射してくるが、隙間は空気で満たされているので屈折率n=1となる。これらの波面はウォラストンプリズム51の結晶軸に対して45度方向の偏光軸をもつ偏光板55に入射し、紙面に平行、および垂直な等強度の偏光成分に分割される。これらの波面のうち紙面に平行な成分はウォラストンプリズム51中で屈折し、+θだけティルトして出ていく。また紙面に垂直な成分はその逆になり−θだけティルトして出ていく。これらの波面が偏光板56を通過すると、波面同志が交差する場所の近傍で干渉を起こして、図6に示すような2本の白色干渉縞を生じる。この白色干渉縞を、結像レンズ57で集光してからCCDカメラ58に入射させ、画像処理装置59に画像を取り込む。白色干渉縞の生じる位置は試料の光学的厚さ2ndに比例することになり、白色干渉縞の間隔を画像処理装置59によって、例えば干渉縞波形を積分したエンベロープのピークあるいは干渉縞のパターンマッチングなどから計測用ガラス板14の下面とサンプル基板11上面との距離dを検出する。
図5には、ウォラストンプリズム51を用いた白色干渉光による偏光干渉方式の測定原理を示す。白色光源52からの光束はビームスプリッタ53で反射し、対物レンズ54によって集光されて出射する。計測用ガラス板14の下面とサンプル基板11上面の隙間をd、その間の屈折率をnとすると、計測用ガラス板14の下面とサンプル基板11上面から2ndの光路差を持つ二つの波面が反射してくるが、隙間は空気で満たされているので屈折率n=1となる。これらの波面はウォラストンプリズム51の結晶軸に対して45度方向の偏光軸をもつ偏光板55に入射し、紙面に平行、および垂直な等強度の偏光成分に分割される。これらの波面のうち紙面に平行な成分はウォラストンプリズム51中で屈折し、+θだけティルトして出ていく。また紙面に垂直な成分はその逆になり−θだけティルトして出ていく。これらの波面が偏光板56を通過すると、波面同志が交差する場所の近傍で干渉を起こして、図6に示すような2本の白色干渉縞を生じる。この白色干渉縞を、結像レンズ57で集光してからCCDカメラ58に入射させ、画像処理装置59に画像を取り込む。白色干渉縞の生じる位置は試料の光学的厚さ2ndに比例することになり、白色干渉縞の間隔を画像処理装置59によって、例えば干渉縞波形を積分したエンベロープのピークあるいは干渉縞のパターンマッチングなどから計測用ガラス板14の下面とサンプル基板11上面との距離dを検出する。
ガラスの距離を測定する別の方法として、分光光度計を用いる方法もある。また、レーザを用いた方法例として、共焦点光学系が挙げられる。レーザ光が対物レンズを通してサンプルに照射され、対物レンズの焦点距離とサンプルが一致したときにピンホールを通過する光量が最大になる。対物レンズを上下させるとサンプル表面と参照ガラス板下面にレーザ光の焦点位置があることからピンホールを通過した光量は2点にピークを生じる。各ピーク位置とレンズを上下移動させた距離からサンプルと参照板ガラスの距離を求めることができる。ピンホール光学系と同類でナイフエッジ法と呼ばれる検出方法も応用が可能である。
なお、二枚のガラスの距離を測定する方法は上述例にのみ限定されるものではないが、本発明の要旨である計測用ガラス板14を用いてスペーサ21を測定する手段を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
以上にこの発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。例えば、上記実施の形態では、計測用透明板として、ガラス板14を用いているが、合成樹脂製透明板等の他材質の透明、あるいは半透明板を使用することが可能である。また、上記においては、押圧手段(重り31、バネ41)を用いており、もちろんこのように押圧手段31、41を用いるのが好ましいが、場合によっては、押圧手段を使用せずに実施することもある。
11・・サンプル基板、12・・検出部(光学的検出手段)、14・・計測用ガラス板、21・・スペーサ、31・・重り、41・・バネ
Claims (4)
- 一対の基板間に間隔調整用のスペーサを介設すると共に、両基板間に液晶を封入した液晶パネルにおいて、一方の基板(11)の表面側に間隔調整用のスペーサ(21)を配置した状態において、計測用透明板(14)をスペーサ(21)上に載置し、計測用透明板(14)の載置面と基板(11)の表面との隙間距離を光学的手段(12)を利用して測定することで基板(11)の表面上のスペーサ(21)の高さを求めることを特徴とする液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法。
- 上記計測用透明板(14)を上記スペーサ(21)に押圧接触させることを特徴とする請求項1の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定方法。
- 一対の基板間に間隔調整用のスペーサを介設すると共に、両基板間に液晶を封入した液晶パネルにおいて、一方の基板(11)の表面側に間隔調整用のスペーサ(21)を配置した状態において、基板(11)の表面上のスペーサ(21)の高さを求める高さ測定装置であって、スペーサ(21)上に載置される計測用透明板(14)と、計測用透明板(14)の載置面と基板(11)の表面との隙間距離を測定する光学的手段(12)とを有することを特徴とする液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置。
- 上記計測用透明板(14)を上記スペーサ(21)に押圧接触させる押圧手段(31)(41)を有することを特徴とする請求項3の液晶パネルの基板間隔調整用スペーサの高さ測定装置。
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