JP2007162059A - クラスター成膜装置及び成膜方法、並びにクラスター生成装置及び生成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クラスター生成容器5内において、ターゲット1にレーザビーム2を照射し、発生する材料蒸気が不活性ガスの衝撃波4を発生せしめ、該衝撃波4がクラスター生成容器5の壁に反射して進行してきた材料蒸気を特定領域に閉じ込め、材料蒸気の原子あるいは分子同士の衝突によりクラスター群を生成して流出窓7から流出せしめ、基板9上に散布してクラスター膜10を成膜する装置において、該レーザビーム2のエネルギー強度の増大に応じて該ターゲット表面での該レーザビーム2の断面積を拡大せしめて、材料蒸気の発生蒸気量増大と該不活性ガスの衝撃波の効率的発生を両立せしめ、同時に該衝撃波の反射波が材料蒸気を閉じ込める条件を満たすようにクラスター生成容器を拡大化する。
【選択図】 図1
Description
なお、ここでクラスターとは、原子あるいは分子の集合であり、ここではナノ粒子、あるいは、ナノ結晶と同義語として扱うこととする。
また、このクラスター生成量の増大の課題に対して、レーザビームの照射強度を高めて材料蒸気の蒸発量を増やす手段が考えられる。その際、蒸気量の増大に対応する効果的な衝撃波の発生が必要であり、且つ、発生した衝撃波がクラスター生成容器の壁から反射して有効な蒸気閉じ込め領域を形成することが課題となる。
本発明は、上述した事情を鑑みてなされたものであって、クラスター生産量増大のために強度を増大させたレーザビームにより効果的にクラスター群を生成させる手段を提供することで、クラスター膜の形成速度の向上を実現するクラスター成膜装置及び成膜方法、並びにクラスター生成装置及び生成方法を提供することを目的としている。
本発明はまた、材料蒸気の蒸発量を増やすためのレーザビームの強度増大に伴う諸問題を解決して、レーザビームの強度増大により材料蒸気の発生量を増大させ、大量のクラスターを形成せしめ、大量生産用途のクラスター成膜装置及び成膜方法、並びにクラスター生成装置及び生成方法を提供することを目的としている。
更に、該ターゲット表面での該ビーム断面のレーザ強度分布は、発生蒸気の密度分布に影響し、不活性ガスの衝撃波の発生に関係するので、不活性ガスの衝撃波の発生効率を最適化するように調整する必要がある。なお、衝撃波の発生は容器内不活性ガス粒子密度と材料蒸気圧との関係で最適点が存在する。
なお、このように該容器を拡大に併せて、該クラスター流出窓の寸法も大きくすることで、クラスターの流出の効率も高めることができる。
以上のごとく、該レーザビームのエネルギー強度の増大と、該ターゲット表面での蒸気発生面積の拡大による蒸気発生量の増大と、該クラスター生成容器の寸法の条件を満たして設定することによりクラスター生成量を増大せしめ、クラスター膜の形成速度の向上を図るのが、請求項1記載のクラスター成膜装置である。
なお、上記説明において、該容器の壁面形状を回転楕円体としたが、同等の反射波が形成されればよいので、壁面が部分的に回転楕円体を形成していない場合もありうる。
この構成は、該レーザビームの該ターゲット表面への照射角度を発生蒸気の進行方向、即ち蒸気の閉じ込め領域の方向からずれるように設定するものであり、クラスター成膜基板の位置とレーザビームの光路とが重ならないように設定できる。また、クラスター生成容器への該レーザビーム導入の該入射窓は光学透過性板材等で密封されていないので、レーザビームのエネルギー強度が大きくても密封材料を破壊するとか、ビームの反射波が発生するなどの問題を回避できる。且つ、該導入窓はレーザビームの収束点あるいはその近傍に設定されており、窓の寸法は極めて小さいので、該クラスター生成容器内の不活性ガスの流出量も少なくできる。
従来、装置の小型化を図るために、レーザビームを外部容器に入射窓とクラスター生成容器の入射窓の中間で鏡を用いて反射させていた。しかし、この構成によれば、該鏡を撤去し、レーザビームを外部容器の該密封窓から直線的にターゲット表面に照射できるので、光学制御系が簡易になり精密な光学制御を可能とする。
例えば円板状のターゲットを回転させることにより、その表面でパルスレーザビーム照射毎に位置をずらし、材料の蒸発による表面の材料の減耗を平均化するとともに、ターゲットを該表面方向に押し出し、表面の減耗した部分を常に補正し、同一の面位置で、レーザビームの照射を受けるようにしたものである。これにより、クラスター生成容器内のビーム照射位置とクラスター流出窓との位置関係を一定に保ち、クラスター形成の状態を一定に保つことが出来るものである。
この構成は、請求項1記載のクラスター成膜装置に限定されることなく、クラスターを生成する装置を実現するものであり、従来装置のクラスター製造能力を大きく改善し、経済的なクラスターの生成を可能とするものである。
この構成によれば、請求項1と同様に、該レーザビームのエネルギー強度の増大と、該ターゲット表面での蒸気発生面積の拡大による蒸気発生量の増大と、該クラスター生成容器の寸法の条件を満たして設定することによりクラスター生成量を増大せしめ、クラスター膜の形成速度の向上を図ることができる。
この構成によれば、請求項8と同様に、請求項1記載のクラスター成膜装置に限定されることなく、クラスターを生成する方法を実現するものであり、従来方法のクラスター製造能力を大きく改善し、経済的なクラスターの生成を可能とするものである。
[第1実施形態]
まず、図1を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係るクラスター成膜装置の全体構成を示す概略図である。
このクラスター成膜装置は、クラスター群6を生成するクラスター生成容器5と、レーザビーム2を照射するレーザビーム光源(図示せず)と、クラスター群6が散布される基板9を配置しているクラスター成膜容器14とを備える。
レーザビーム光源は、クラスター生成容器5の外部からターゲット材料1の表面にレーザビーム2を照射する。ターゲット材料1への照射面を図の18で示す。
クラスター成膜容器14は、クラスター生成容器5に連通され所定の基板9が配置され、基板9上に、クラスター生成容器5から流出されたクラスター群6が堆積され、クラスター膜10を生成する。
スキマー27を通過した不活性噴出流中心部は、クラスタービーム28となってクラスター成膜容器14に導入される。
なお、光学透過性材料12よりなる窓は、レーザビーム2の軸の角度と窓の法線とが、所定の角度をもつように設置され、レーザビーム2の反射光29がレーザビーム2の軸から外れるようになっている。
不活性ガスを満たしたクラスター生成容器5内において、クラスターの原料となるターゲット材料1にレーザビーム2を照射し、発生する材料蒸気3が不活性ガスの衝撃波4を発生せしめ、該衝撃波4がクラスター生成容器5の内壁に反射して進行してきた該材料蒸気3を特定領域Bに閉じ込め、該材料蒸気3の原子あるいは分子同士の衝突により該材料のクラスター群6を形成し、該ターゲット材料1と該特定領域Bの延長線上の該クラスター生成容器5の壁に設けた窓7から該クラスター群6を流出せしめ、該流出クラスター群6をスキマー8を通過せしめて基板9上に散布し、クラスター膜10を形成せしめるクラスター成膜装置において、クラスター膜製造量増大のために、先ずレーザビーム2の強度を高めると共に、ターゲット材料1の表面照射ビーム断面積を拡大し、その際照射断面のレーザ強度分布を調整することにより、大量の材料蒸気3とこれに基づく不活性ガスの衝撃波4とを効果的に発生せしめ、寸法を拡大した容器5の壁において反射した衝撃波がB領域において材料蒸気を閉じ込めクラスターを生成する。ここで、該表面照射ビーム断面の直径をdとした時、該容器5のターゲット材料1から流出口7までの距離xの寸法をdより10倍以上にすることにより、B領域における有効な閉じ込め状況を発生させることになり、該レーザビームエネルギー増大により発生する大量の材料蒸気から大量のクラスターを生成することができる。
図3は、該ターゲット表面照射ビーム断面積が小さく点と見なされる場合に、当該点をA点とすると、A点から発生する衝撃波は矢印aで示されるように球面状に広がり、回転楕円体形状の容器の内壁で反射して、矢印bで示されるように球面状にB点に収束することを示している。即ちB点に衝撃波による閉じ込め領域が形成されることになる。ところが、図4に示すように、該ターゲット表面照射ビーム断面積が有限値dを持つ場合は、照射面から発生する衝撃波は球面ではなくなる。即ち、該照射面から垂直方向に距離tだけ衝撃波の波面が進んだ時、該照射面に対して水平方向の波面の位置はt+d/2となる。
なお、図2に示すように、レーザビーム2のクラスター生成容器5への入射の方向は、ターゲット材料1とクラスター流出窓7とを結ぶ軸とは特定の角度をもってずらしてあり、また、レーザビーム2がクラスター生成容器5へ入射する窓は、光学透過性材料等で密封せず、開口している。
次に、図5を参照して、本発明の第2実施形態に係るクラスター成膜装置について説明する。
図5は、レーザビーム導入部の構成を説明するための模式図である。
第2実施形態は、同図に示すように、クラスター生成容器5の外部を囲む外部容器11の外から強いレーザビーム2を導入するために、外部容器11に設けられた窓の構造を提案するものである。外部容器11は真空または真空に準ずる雰囲気にしてあり、該窓は光学透過性材料12で気密を保持しているが、強いレーザビーム2を通過させるために、先ず、窓の位置はレーザビーム2の焦点に設定されたクラスター生成容器5における窓の孔13の位置から所定の間隔を置くことによって該窓を通過する該ビームのエネルギー密度を低減させた位置に設定している。そのため、この例では11´に示す円筒形状の筒で外部容器11を延長している(以下、延長部とする)。なお、レーザビーム2は、クラスター生成容器5における窓の孔13の位置で焦点を結び、ターゲット1の照射面では照射面積が拡大するようにレーザビーム系の設定がなされている。
なお、図4に示すように、レーザビーム2の光軸は外部容器の光学透過性材料12よりなる密封窓からターゲット材料1まで直線であり、外部容器11内で鏡等により光軸を曲げて外部容器の寸法を縮めることはしていない。これにより、光学系をより高精度に制御できる。
次に、図6を参照して、本発明の第3実施形態に係るクラスター成膜装置について説明する。
図6は、図5に示したレーザビーム2を導入する外部容器11の延長部11´に設けられた光学透過性材料よりなる密閉窓12の取り付け角度を説明する模式図である。
第3実施形態は、同図に示すように、クラスター生成容器5の外部を囲む外部容器11の外から強いレーザビーム2を導入するために、外部容器11を延長して形成された延長部11´の密閉窓(光学透過性材料)12の構造に関するものである。すなわち、窓を密封する密閉窓(光学透過性材料)12の取り付けに当たって密閉窓(光学透過性材料)12の表面からの垂線Mをレーザビーム2の光軸Nから所定の角度Lをもってずらすことを特徴とする。これにより、密閉窓(光学透過性材料)12の表面から反射される反射ビーム光がレーザビーム2の光軸Nの方向に戻ることはなく、第2実施形態と同様に反射ビームがレーザビーム光源の方に戻ってレーザビーム光源を破壊することを防ぐことができる。
次に、図7を参照して、本発明の第4実施形態に係るクラスター成膜装置について説明する。
図7は、レーザビームシステムの特性、即ち、ターゲット材料1表面でのレーザビーム強度分布を評価するシステムの構成を示す模式図である。
第4実施形態は、同図に示すように、クラスター生成容器5の外部を囲む外部容器11の延長部11´のさらに外で、集光レンズを用いてゆるやかに集光しつつ、外部容器5の密封窓12に入射してくるレーザビーム2の光軸上に鏡17を挿入してレーザビームのエネルギーの全部あるいは一部(1%程度)の方向を変え、ビームの特性を評価できるようにしたものである。即ち、鏡17を挿入した場所からクラスター生成容器5内のターゲット材料1の照射面18までのビームと同等の状況を方向を変えたビーム2´により実現している。クラスター生成容器5へのレーザビームの入射する孔13の位置で結ぶ焦点に対応して、方向を変えたビームでも点13´で焦点を結んだ後、ターゲット照射位置19と同等の地点19´にレーザビーム強度分布測定器20を配置し、レーザビーム2の強度分布を推測できるようにしたものである。なお、方向を変えたビーム2´の途中にはNDフィルター(Newtral Density Filter:中性濃度フィルター)21を挿入してレーザビームを弱めている。NDフィルター21は、どの波長の光も均等に吸収する。この構成により、外部容器11の外で、クラスター生成容器5内のレーザビーム2の状況を把握でき、レーザビーム光源のシステムの最適化の調整が可能となる。
次に、図8を参照して、本発明の第5実施形態に係るクラスター成膜装置について説明する。
図8は、クラスター生成容器5内のターゲット材料1にレーザビーム2がターゲット材料1における照射位置19の領域に照射し、ターゲット材料1の材料蒸気3を発生する様子を模式的に表現している。
第5実施形態は、同図に示すように、ターゲット材料1を、Rで示す矢印方向に回転することにより、レーザビーム照射位置19がターゲット材料1の表面上を移動し、蒸発によるターゲット材料表面の磨耗を平均化している。しかしながら、それだけでは、磨耗によりレーザビーム照射面18の位置がずれてくることになる。そこで、ターゲット材料1を支持する支持装置22に回転と同時にターゲット材料1の表面の蒸発に基づく減耗に相当する分だけターゲット材料1を矢印Tで示すようにターゲット材料1の表面にほぼ垂直な方向に押し出し、照射表面の位置を一定に保つ機能を持たせることがある。これにより、クラスタ生成容器5内の状況を一定に保ち、クラスター形成の状態を一定に保つことができる。
例えば、上述した実施形態においては、ターゲット材料1を支持する支持装置22は、Rで示す回転運動と、Tで示す水平移動とを例示したが、これに限定されず、斜め方向、上下垂直方向、変則移動と、あらゆる方向にターゲット材料を移動させて、レーザビームの照射面積をさらに広げることもできる。
また、上述した実施形態においては、クラスター膜10を基板上に散布する部屋をクラスター成膜容器14としたが、これに限定されず、外部容器11と同様に、真空あるいは真空に準ずる雰囲気中の真空チャンバ内でクラスター膜10を成膜することができる。
また、上述した実施形態においては、外部装置11の延長部11´のレーザが入射される側に配置される光学透過性材料よりなる密閉窓12を設けた例について説明したが、これに限定されず、レーザビームを透過して反射しない材料であれば、種々の材料を使用することができる。
Claims (10)
- クラスターの原料となるターゲット材料を所定の位置に配置して不活性ガスを導入しながらクラスター群を生成するクラスター生成容器と、該クラスター生成容器の外部から前記ターゲット材料にレーザビームを照射するレーザビーム光源と、該クラスター生成容器に連通されクラスター膜を所定の基板上に成膜するクラスター成膜容器とを備え、前記レーザビームに照射された該ターゲット材料の材料蒸気が不活性ガスの衝撃波を発生せしめ、該衝撃波が前記クラスター生成容器の内壁で反射して該材料蒸気を特定領域に閉じ込め、該材料蒸気の原子あるいは分子同士の衝突により該材料のクラスター群を生成し、該ターゲット材料と該特定領域とを結ぶ直線の延長線上の該クラスター生成容器の壁に設けた流出窓から該クラスター群を流出せしめ、該クラスター成膜容器内の該基板上に該クラスター群を堆積してクラスターを成膜するクラスター成膜装置において、
該レーザビームのエネルギー強度を300mJ以上に設定し、該エネルギーの密度を該ターゲット材料上で所定の範囲内になるように設定するエネルギー密度設定手段を備え、該ターゲット材料の照射面から該流出窓までの距離を該ターゲット材料面上でのビーム径の10倍以上に設定したことを特徴とするクラスター成膜装置。 - 請求項1記載のクラスター成膜装置において、
前記レーザビームを導入するために、該クラスター生成容器の該流出用窓とは異なる位置に設けられ、該レーザビームを通過せしめるべく開口されている入射窓を備えたことを特徴とするクラスター成膜装置。 - 請求項1記載のクラスター成膜装置において、
前記クラスター生成容器を、真空あるいは真空に準ずる雰囲気で収容する外部容器を備え、該外部容器は、該レーザビームを通過させるためにその外郭を円筒形状に延長して形成された延長部を有し、該延長部は、該レーザビームを導入する側に該レーザビームの反射を防ぐ処理を施した光学透過性板材が設けられた密閉窓を有し、かつ、該密閉窓は、該クラスター生成容器から所定の間隔を置いて設けられていることを特徴とするクラスター成膜装置。 - 請求項3記載のクラスター成膜装置において、
前記外部容器の該密閉窓を通過する該レーザビームの断面積を、該密閉窓が破損しないエネルギー密度に低減せしめる大きさにするとともに、該密閉窓は、該レーザビームの入射光軸に垂直な面に対し所定の角度を持たせ、該レーザビームの反射が該レーザビーム光源に戻らないように設けられていることを特徴とするクラスター成膜装置。 - 請求項3記載のクラスター成膜装置において、
前記外部容器の該密封窓を、該レーザビームを導入するために該クラスター生成容器に設けられた入射窓と該ターゲット材料とを結ぶ直線延長上に配置することを特徴とするクラスター成膜装置。 - 請求項1記載のクラスター成膜装置において、
前記外部容器の該密封窓と該外部容器の外部に設置され該レーザビームを集光するレーザビーム集光用レンズと、該レーザビーム集光用レンズとの間の光軸上に該レーザビームの全強度もしくは一部強度の方向を変えるための鏡とを備え、該鏡は、方向を変えられたレーザビームと、前記クラスター生成容器内の該ターゲット材料の表面上に向かうレーザビームとが、同等の特性を有するように設置されていることを特徴とするクラスター成膜装置。 - 請求項1記載のクラスター成膜装置において、
前記ターゲット材料を支持する支持装置を備え、該支持装置は、該ターゲット材料を回転させて該ターゲット材料の表面におけるレーザ照射位置を移動せしめる機能と、レーザ照射による該ターゲット材料の表面の蒸発に基づく減耗に相当する分だけ該ターゲット材料を該表面に対して垂直の方向に押し出す機能とを有し、照射表面の位置を一定に保つようにしたことを特徴とするクラスター成膜装置。 - クラスターの原料となるターゲット材料を所定の位置に配置して不活性ガスを導入しながらクラスター群を生成するクラスター生成容器と、該クラスター生成容器の外部から前記ターゲット材料にレーザビームを照射するレーザビーム光源とを備え、前記レーザビームに照射された該ターゲット材料の材料蒸気が不活性ガスの衝撃波を発生せしめ、該衝撃波が前記クラスター生成容器の内壁で反射して該材料蒸気を特定領域に閉じ込め、該材料蒸気の原子あるいは分子同士の衝突により該材料のクラスター群を生成し、該ターゲット材料と該特定領域とを結ぶ直線の延長線上の該クラスター生成容器の壁に設けた流出窓から該クラスター群を流出せしめるクラスター生成装置において、
該レーザビームのエネルギー強度を300mJ以上に設定し、該エネルギーの密度を該ターゲット材料上で所定の範囲内になるように設定するエネルギー密度設定手段を備え、該ターゲット材料の照射面から該流出窓までの距離を該ターゲット材料面上でのビーム径よりも10倍以上に設定したことを特徴とするクラスター生成装置。 - 不活性ガスを満たしたクラスター生成容器内において、クラスターの原料となるターゲット材料にレーザビームを照射し、発生する材料蒸気が不活性ガスの衝撃波を発生せしめ、該衝撃波が該クラスター生成容器の壁に反射して該材料蒸気を特定領域に閉じ込め、該材料蒸気の原子あるいは分子同士の衝突により該材料のクラスター群を生成し、該ターゲット材料と該特定領域とを結ぶ直線の延長線上の該クラスター生成容器の壁に設けた窓から該クラスター群を流出せしめ、所定の基板上に堆積してクラスター膜を成膜するクラスター成膜方法において、
該レーザビームのエネルギー強度を300mJ以上に設定し、該エネルギーの密度を該ターゲット材料上で所定の範囲内になるように設定するエネルギー密度設定手順を含み、該ターゲット材料の照射面から該流出窓までの距離を該ターゲット材料面上でのビーム径よりも10倍以上に設定したことを特徴とするクラスター成膜方法。 - 不活性ガスを満たしたクラスター生成容器内において、クラスターの原料となるターゲット材料にレーザビームを照射し、発生する材料蒸気が不活性ガスの衝撃波を発生せしめ、該衝撃波が該クラスター生成容器の壁に反射して該材料蒸気を特定領域に閉じ込め、該材料蒸気の原子あるいは分子同士の衝突により該材料のクラスター群を生成し、該ターゲット材料と該特定領域とを結ぶ直線の延長線上の該クラスター生成容器の壁に設けた窓から該クラスター群を流出せしめるクラスター生成方法において、
該レーザビームのエネルギー強度を300mJ以上に設定し、該エネルギーの密度を該ターゲット材料上で所定の範囲内になるように設定するエネルギー密度設定手順を含み、該ターゲット材料の照射面から該流出窓までの距離を該ターゲット材料面上でのビーム径よりも10倍以上に設定したことを特徴とするクラスター生成方法。
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