JP2007161952A - Radiation image conversion panel and method for producing the same - Google Patents

Radiation image conversion panel and method for producing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2007161952A
JP2007161952A JP2005363140A JP2005363140A JP2007161952A JP 2007161952 A JP2007161952 A JP 2007161952A JP 2005363140 A JP2005363140 A JP 2005363140A JP 2005363140 A JP2005363140 A JP 2005363140A JP 2007161952 A JP2007161952 A JP 2007161952A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
image conversion
conversion panel
europium
radiation image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005363140A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akihiro Maezawa
明弘 前澤
Sanki Imai
三貴 今井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Medical and Graphic Inc
Original Assignee
Konica Minolta Medical and Graphic Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Medical and Graphic Inc filed Critical Konica Minolta Medical and Graphic Inc
Priority to JP2005363140A priority Critical patent/JP2007161952A/en
Publication of JP2007161952A publication Critical patent/JP2007161952A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a radiation image conversion panel that contains an activator (europium) in a phosphor layer, especially uniformly distributed in the layer thickness direction, has a phosphor layer with a uniform amount of emission and provides a high-quality radiation image and to provide a method for producing the same. <P>SOLUTION: In the radiation image conversion panel having a stimulable phosphor layer on a substrate, the stimulable phosphor layer has a europium-activated alkali halide phosphor deposition layer formed by a vapor growth method in which at least a europium oxide halide represented by general formula Eu<SB>x</SB>O<SB>y</SB>Br<SB>z</SB>(1<x≤4, 1≤y≤4 and 1<z≤6) and an alkali halide as vapor deposition sources are deposited from separate evaporators (crucibles), respectively, on a substrate and the amount of Eu in europium (II) oxide halide powder as the Eu deposition source is ≥50 mass%. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、放射線画像変換パネルとその製造方法に関する。   The present invention relates to a radiation image conversion panel and a manufacturing method thereof.

X線画像のような放射線画像は、病気診断用などの分野で多く用いられている。このX線画像を得る方法としては、被写体を通過したX線を蛍光体層(蛍光スクリーン)に照射し、これにより可視光を生じさせた後、この可視光を通常の写真を撮るときと同様にして、ハロゲン化銀写真感光材料(以下、単に感光材料ともいう。)に照射し、次いで現像処理を施して可視銀画像を得る、いわゆる放射線写真方式が広く利用されている。   Radiation images such as X-ray images are often used in fields such as disease diagnosis. The X-ray image is obtained by irradiating the phosphor layer (phosphor screen) with X-rays that have passed through the subject, thereby generating visible light, and then using this visible light as when taking a normal photograph. Thus, a so-called radiographic method in which a silver halide photographic light-sensitive material (hereinafter also simply referred to as a light-sensitive material) is irradiated and then developed to obtain a visible silver image is widely used.

しかしながら、近年では、ハロゲン化銀塩を有する感光材料による画像形成方法に代わり、蛍光体層から直接画像を取り出す新たな方法が進展している。   However, in recent years, a new method for taking out an image directly from a phosphor layer has been developed instead of an image forming method using a photosensitive material having a silver halide salt.

この方法は、被写体を透過した放射線を蛍光体に吸収せしめ、しかる後、この蛍光体を例えば光または熱エネルギーで励起することにより、この蛍光体が上記吸収により蓄積している放射線エネルギーを蛍光として放射せしめ、この蛍光を検出し画像化する方法がある。   In this method, the radiation transmitted through the subject is absorbed by the phosphor, and then the phosphor is excited by light or thermal energy, for example, so that the radiation energy accumulated by the phosphor is absorbed as fluorescence. There is a method of emitting and detecting this fluorescence and imaging.

具体的には、例えば、米国特許第3,859,527号及び特開昭55−12144号公報等に記載されているような輝尽性蛍光体を用いる放射線画像変換方法が知られている。この方法は、輝尽性蛍光体を含有する輝尽性蛍光体層を用いる放射線像変換パネルを使用するもので、この放射線像変換パネルの輝尽性蛍光体層に被写体を透過した放射線を当てて、被写体各部の放射線透過密度に対応する放射線エネルギーを蓄積させて、その後、輝尽性蛍光体を可視光線、赤外線などの電磁波(励起光)で時系列的に励起することにより、輝尽性蛍光体中に蓄積されている放射線エネルギーを輝尽発光として放出させ、この光の強弱による信号を、例えば、光電変換して、電気信号を得て、この信号を感光材料等の記録材料、CRT等の表示装置上に可視像として再生するものである。   Specifically, for example, a radiation image conversion method using a photostimulable phosphor as described in US Pat. No. 3,859,527 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-12144 is known. This method uses a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor layer containing a stimulable phosphor, and the radiation transmitted through the subject is applied to the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel. The radiation energy corresponding to the radiation transmission density of each part of the subject is accumulated, and then the stimulable phosphor is excited in time series with electromagnetic waves (excitation light) such as visible light and infrared light. Radiation energy accumulated in the phosphor is emitted as stimulated emission, and a signal based on the intensity of this light is photoelectrically converted, for example, to obtain an electrical signal, which is then used as a recording material such as a photosensitive material, CRT The image is reproduced as a visible image on a display device.

上記の放射線画像の再生方法によれば、従来の放射線写真フィルムと増感紙との組合せによる放射線写真法と比較して、はるかに少ない被曝線量で、情報量の豊富な放射線画像を得ることができるという利点を有している。   According to the above radiographic image reproduction method, it is possible to obtain a radiographic image with a large amount of information with a much smaller exposure dose as compared with a radiographic method using a combination of a conventional radiographic film and an intensifying screen. It has the advantage of being able to.

これらの輝尽性蛍光体を使用した放射線画像変換パネルは、放射線画像情報を蓄積した後、励起光の走査によって蓄積エネルギーを放出するので、走査後に再度放射線画像の蓄積を行うことができ、繰返し使用が可能である。つまり、従来の放射線写真法では、一回の撮影ごとに放射線写真フィルムを消費するのに対して、この放射線画像変換方法では放射線画像変換パネルを繰り返し使用するので、資源保護、経済効率の面からも有利である。   Radiation image conversion panels using these photostimulable phosphors, after accumulating radiation image information, release accumulated energy by scanning excitation light, so that radiation images can be accumulated again after scanning, and repeated Can be used. In other words, the conventional radiographic method consumes a radiographic film for each imaging, whereas this radiographic image conversion method repeatedly uses a radiographic image conversion panel, so from the viewpoint of resource protection and economic efficiency. Is also advantageous.

更に、近年、診断画像の解析においてより高鮮鋭性の放射線画像変換パネルが要求されている。鮮鋭性改善の為の手段として、例えば、形成される輝尽性蛍光体の形状そのものをコントロールし、感度及び鮮鋭性の改良を図る試みがされている。   Furthermore, in recent years, a radiographic image conversion panel with higher sharpness has been required for analysis of diagnostic images. As means for improving the sharpness, for example, an attempt has been made to improve the sensitivity and sharpness by controlling the shape of the photostimulable phosphor itself.

これらの試みの1つとして、例えば、特開昭61−142497号公報に記載されている微細な凹凸パターンを有する支持体上に輝尽性蛍光体を堆積させ形成した微細な擬柱状ブロックからなる輝尽性蛍光体層を用いる方法がある。   As one of these attempts, for example, it is composed of a fine pseudo-columnar block formed by depositing a photostimulable phosphor on a support having a fine concavo-convex pattern described in JP-A No. 61-142497. There is a method using a stimulable phosphor layer.

また、特開昭61−142500号公報に記載のように微細なパターンを有する支持体上に、輝尽性蛍光体を堆積させて得た柱状ブロック間のクラックをショック処理を施して、更に発達させた輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルを用いる方法、更には支持体の面に形成された輝尽性蛍光体層にその表面側から亀裂を生じさせ擬柱状とした放射線画像変換パネルを用いる方法(特許文献1参照)、更には支持体の上面に蒸着により空洞を有する輝尽性蛍光体層を形成した後、加熱処理によって空洞を成長させ亀裂を設ける方法等も提案されている(特許文献2参照)。   Further, as described in JP-A-61-142500, a crack between columnar blocks obtained by depositing a photostimulable phosphor on a support having a fine pattern is subjected to shock treatment for further development. Method using a radiation image conversion panel having a photostimulable phosphor layer formed, and further, radiation image conversion in which a photostimulable phosphor layer formed on the surface of a support is cracked from the surface side to form a pseudo columnar shape A method using a panel (see Patent Document 1), a method of forming a stimulable phosphor layer having a cavity by vapor deposition on the upper surface of a support, and then growing a cavity by heat treatment to provide a crack are proposed. (See Patent Document 2).

更に、気相成長法によって支持体上に、支持体の法線方向に対し一定の傾きをもった細長い柱状結晶を形成した輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルが提案されている(特許文献3参照)。   Furthermore, a radiation image conversion panel having a photostimulable phosphor layer in which elongated columnar crystals having a certain inclination with respect to the normal direction of the support are formed on the support by vapor phase epitaxy has been proposed ( (See Patent Document 3).

最近では、CsBrなどのハロゲン化アルカリを母体にEuを賦活した輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルが提案され、特にEuを賦活剤とすることで従来得られていなかった高いX線変換効率を導き出すことが可能となった。   Recently, a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor activated with Eu based on an alkali halide such as CsBr has been proposed, and in particular, high X-rays that have not been obtained by using Eu as an activator. It became possible to derive the conversion efficiency.

ハロゲン化ユーロピウムは、ユーロピウムで賦活した蛍光体の原料として知られている。例えば、WO第01/0356 A1号公報には、ユーロピウム賦活ハロゲン化セシウム輝尽性蛍光体からなる蛍光体スクリーンを製造する方法として、ハロゲン化セシウムとハロゲン化ユーロピウム等のユーロピウム化合物とからなる二つの蒸発源を用いて基板上に二元蒸着させる方法が開示されている。この方法によれば、蛍光体の母体成分であるハロゲン化セシウムと賦活剤成分であるユーロピウム化合物は同時に加熱されて蒸発、飛散し、そして反応を生じて蛍光体を形成するとともに基板表面に堆積して蛍光体の蒸着膜が形成される。   Europium halide is known as a raw material of a phosphor activated with europium. For example, WO 01/0356 A1 discloses two methods comprising a europium compound such as cesium halide and europium halide as a method for producing a phosphor screen comprising a europium activated cesium halide stimulable phosphor. A method of binary deposition on a substrate using an evaporation source is disclosed. According to this method, the cesium halide, which is the host component of the phosphor, and the europium compound, which is the activator component, are heated at the same time to evaporate and scatter, and react to form the phosphor and deposit on the substrate surface. Thus, a deposited film of phosphor is formed.

一般に、ハロゲン化ユーロピウムは市販品を含めて粉末状であり、このままで蒸着に使用すると、吸湿性が強いために、含有されている水分や加熱により遊離したハロゲンなどによって突沸が生じやすく、蛍光体の組成が均一で形状の良好な蒸着膜が形成されにくい。また、ハロゲン化ユーロピウムには臭酸化物などの酸化ハロゲン化物も混入している。   In general, europium halides are in powder form, including commercial products, and when used for vapor deposition as they are, they are highly hygroscopic, so bumping is likely to occur due to contained moisture and halogens released by heating. It is difficult to form a vapor deposition film having a uniform composition and a good shape. Europium halide is also mixed with oxide halides such as odor oxides.

ハロゲン化ユーロピウムは水や酸素の存在下で加熱すると、酸化ハロゲン化ユーロピウムが容易に生成するために、純粋なハロゲン化ユーロピウムを得難いことが知られている。すなわち、ハロゲン化ユーロピウムを単に加熱溶融して冷却しただけでは、純粋なハロゲン化ユーロピウム溶融凝固体を得ることが困難である。   It is known that when europium halide is heated in the presence of water or oxygen, it is difficult to obtain pure europium halide because europium oxide halide is easily formed. That is, it is difficult to obtain a pure europium halide melt solidified body simply by heating and melting and cooling the europium halide.

放射線像変換パネルの蛍光体層を蒸着法により形成する際に、蒸発源として、酸化物を多く含むハロゲン化ユーロピウムを用いると、蒸着レート(蒸発流の速度)が安定せず、結果として所望のユーロピウム濃度を有し、蛍光体組成の均一な蒸着膜を形成できないことが知られている。また、不純物の混入により均質な蒸着膜を形成することができない。さらには、このような蛍光体層を有する放射線像変換パネルは、画質の低下した放射線画像を与えがちである。   When the phosphor layer of the radiation image conversion panel is formed by the vapor deposition method, if the europium halide containing a large amount of oxide is used as the evaporation source, the vapor deposition rate (evaporation flow rate) is not stable, and as a result It is known that a deposited film having a europium concentration and a uniform phosphor composition cannot be formed. In addition, a homogeneous vapor deposition film cannot be formed due to the mixing of impurities. Furthermore, a radiation image conversion panel having such a phosphor layer tends to give a radiation image with a lowered image quality.

また、蒸発源であるハロゲン化ユーロピウムの水分含量が一定値以上であると、蒸着時に蒸発源の突沸などのトラブルが発生しやすくなり、そして蒸着雰囲気中の水分圧が高くなって不安定になる。その結果、得られた蒸着膜の柱状結晶の形状が損なわれたり、蛍光体層全面を励起したときに発光量が局所的に不均一になるいわゆる「発光ムラ」が生じることになる(例えば、特許文献4参照。)。   Also, if the moisture content of the evaporation source, europium halide, exceeds a certain value, troubles such as bumping of the evaporation source are likely to occur during deposition, and the moisture pressure in the deposition atmosphere increases and becomes unstable. . As a result, the shape of the columnar crystals of the obtained deposited film is impaired, or so-called “light emission unevenness” is generated in which the amount of emitted light is locally non-uniform when the entire phosphor layer is excited (for example, (See Patent Document 4).

要するに、放射線像変換パネルの蛍光体層を蒸着法により形成する際、蒸着源が吸湿性または酸化物を多く含むユーロピウム化合物を用いると蒸着レートが安定せず、結果として不均一な蛍光体層が形成されるという問題を生ずる。
特開昭62−39737号公報 特開昭62−110200号公報 特開平2−58000号公報 特開2003−201119号公報
In short, when forming the phosphor layer of the radiation image conversion panel by vapor deposition, if the vapor deposition source uses a hygroscopic or europium compound containing a large amount of oxide, the vapor deposition rate will not be stable, resulting in a non-uniform phosphor layer. This causes the problem of being formed.
JP 62-39737 A JP-A-62-110200 JP-A-2-58000 JP 2003-201119 A

従って、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、賦活剤(ユーロピウム)が、蛍光体層中、特に層厚の方向に均一に分布して含有され、発光量の均一な蛍光体層を有し、高画質の放射線画像を与える放射線像変換パネル及びその製造方法を提供することにある。   Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and the purpose thereof is to contain an activator (europium) uniformly distributed in the phosphor layer, particularly in the direction of the layer thickness. An object of the present invention is to provide a radiation image conversion panel that has a uniform phosphor layer and gives a high-quality radiation image, and a method for manufacturing the same.

本発明の上記課題は、以下の構成により達成される。   The above object of the present invention is achieved by the following configurations.

1.支持体上に輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルにおいて、当該輝尽性蛍光体層が、少なくとも一般式:EuxyBrz(1<x≦4、1≦y≦4、1<z≦6)で表される酸化ユウロピウムハロゲン化物とアルカリハロゲン化物を蒸着源として、それぞれを別々の蒸発器(ルツボ)から支持体上に蒸着させる気相成長法により形成されたユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着層を含有し、かつ、Eu蒸着源としての酸化ユウロピウム(II)ハロゲン化物粉体中のEu量が50質量%以上であることを特徴とする放射線画像変換パネル。 1. In the radiation image conversion panel having the photostimulable phosphor layer on the support, the photostimulable phosphor layer has at least a general formula: Eu x O y Br z (1 <x ≦ 4, 1 ≦ y ≦ 4, Europium-activated alkali formed by vapor deposition using a europium oxide halide and an alkali halide represented by 1 <z ≦ 6) as vapor deposition sources, and vapor-deposited on a support from separate evaporators (crucibles). A radiation image conversion panel comprising a halogenated phosphor vapor-deposited layer and having an Eu content in a europium (II) oxide halide powder as an Eu vapor deposition source of 50% by mass or more.

2.前記Eu蒸着源としての酸化ユウロピウムハロゲン化物がEu4OBr6粉体であり、かつ、該粉体中のEu量が50%〜60質量%であることを特徴とする前記1に記載の放射線画像変換パネル。 2. The radiographic image according to 1 above, wherein the europium oxide halide as the Eu deposition source is Eu 4 OBr 6 powder, and the amount of Eu in the powder is 50% to 60% by mass. Conversion panel.

3.前記ユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着層の層厚が50μm〜500μmであることを特徴とする前記1又は2に記載の放射線画像変換パネル。   3. 3. The radiation image conversion panel as described in 1 or 2 above, wherein the europium activated alkali halogenated phosphor vapor deposition layer has a layer thickness of 50 μm to 500 μm.

4.前記ユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着層の層厚方向の任意の2点においてEu濃度の比率が0.9〜1.1であることを特徴とする前記1〜3の何れか一項に記載の放射線画像変換パネル。   4). The ratio of Eu concentration at any two points in the layer thickness direction of the europium-activated alkali halide phosphor vapor-deposited layer is 0.9 to 1.1. Radiation image conversion panel.

5.前記1〜4のいずれか1項に記載の放射線画像変換パネルを製造することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。   5. 5. A method for manufacturing a radiation image conversion panel, wherein the radiation image conversion panel according to any one of 1 to 4 is manufactured.

本発明により、賦活剤(ユーロピウム)が、蛍光体層中、特に層厚の方向に均一に分布して含有され、発光量の均一な蛍光体層を有し、高画質の放射線画像を与える放射線像変換パネル及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, the activator (europium) is contained in the phosphor layer in a uniform distribution, particularly in the direction of the layer thickness, and has a phosphor layer with a uniform amount of light emission and gives a high-quality radiation image. An image conversion panel and a manufacturing method thereof can be provided.

以下、本発明及び構成要素等について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention, components, and the like will be described in detail.

(蛍光体とその蒸着源)
本発明に係る輝尽性蛍光体層は、少なくともユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体を含有することを特徴とする。更に、当該蛍光体は、一般式:EuxyBrz(1<x≦4、1≦y≦4、1<z≦6)で表される酸化ユウロピウムハロゲン化物とアルカリハロゲン化物を蒸着源として、それぞれを別々の蒸発器(抵抗加熱ルツボ)から支持体上に蒸着させる気相成長法により形成されたユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着膜を含有し、かつ、Eu蒸着源としての酸化ユウロピウムハロゲン化物粉体中のEu量が50質量%以上であることを特徴とする。
(Phosphor and its deposition source)
The photostimulable phosphor layer according to the present invention is characterized by containing at least a europium activated alkali halogenated phosphor. Further, the phosphor is a deposition source of europium oxide halide and alkali halide represented by the general formula: Eu x O y Br z (1 <x ≦ 4, 1 ≦ y ≦ 4, 1 <z ≦ 6). A europium-activated alkali-halogenated phosphor film formed by vapor deposition method in which each is deposited on a support from a separate evaporator (resistance heating crucible), and europium oxide as an Eu deposition source The amount of Eu in the halide powder is 50% by mass or more.

本発明に係るEu蒸着源としての酸化ユウロピウムハロゲン化物は、種々の組成の粉体を使用することができる。好ましいEu蒸着源は、Eu4OBr6粉体であり、かつ、該粉体中のEu量が50%〜60質量%であることである。 As the europium oxide halide as the Eu evaporation source according to the present invention, powders having various compositions can be used. A preferable Eu vapor deposition source is Eu 4 OBr 6 powder, and the amount of Eu in the powder is 50% to 60% by mass.

本発明に係るアルカリハロゲン化物蒸着源としては、種々の公知のアルカリハロゲン化物を使用することができる。例えば、NaF、NaCl、NaBr、NaI、KF、KCl、KBr、KI、RbF、RbCl、RbBr、RbI、CsF、CsCl、CsBr及びCsIから選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の化合物が用いられる。特に、好ましい蒸着源は、臭化セシウム(CsBr)である。   Various known alkali halides can be used as the alkali halide vapor deposition source according to the present invention. For example, at least one compound selected from NaF, NaCl, NaBr, NaI, KF, KCl, KBr, KI, RbF, RbCl, RbBr, RbI, CsF, CsCl, CsBr and CsI is used. In particular, a preferred vapor deposition source is cesium bromide (CsBr).

更に、前記ユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着膜の膜厚は50μm〜500μmであることが好ましい。より好ましくは200μm〜500μmである。   Furthermore, the thickness of the europium-activated alkali halide phosphor deposited film is preferably 50 μm to 500 μm. More preferably, it is 200 micrometers-500 micrometers.

本発明において、上記条件を満たす場合には、賦活剤(ユーロピウム)が、蛍光体層中、特に厚さ方向に均一に分布して含有され、発光量の均一な蛍光体層を得ることができる。   In the present invention, when the above conditions are satisfied, the activator (europium) is contained uniformly in the phosphor layer, particularly in the thickness direction, and a phosphor layer having a uniform light emission amount can be obtained. .

なお、好ましいEu蒸着源は、Eu4OBr6粉体は、下記方法に準拠して作製することができる。 As a preferable Eu vapor deposition source, Eu 4 OBr 6 powder can be produced in accordance with the following method.

酸化ユーロピウムを臭化水素酸に加えて溶解させる。撹拌しながら蒸発乾固し、臭化ユーロピウムの粉体を作製する。臭化ユーロピウムはEuBr2含水塩とEuBr3含水塩の混合物である。臭化ユーロピウムの粉体は嵩密度1.0×106g/m3〜2.0×106g/m3が好ましい。1.0×106g/m3以下では表面積が広いので次の工程の酸素導入でEu23に酸化されてしまう。2.0×106g/m3以上では酸素均一導入が出来ず、Eu4OBr6の均一化が難しい。 Europium oxide is dissolved in hydrobromic acid. Evaporate to dryness with stirring to produce europium bromide powder. Europium bromide is a mixture of EuBr 2 hydrate and EuBr 3 hydrate. Europium bromide powder preferably has a bulk density of 1.0 × 10 6 g / m 3 to 2.0 × 10 6 g / m 3 . If the surface area is 1.0 × 10 6 g / m 3 or less, the surface area is large, so that it is oxidized to Eu 2 O 3 by introducing oxygen in the next step. If it is 2.0 × 10 6 g / m 3 or more, oxygen cannot be uniformly introduced, and it is difficult to make Eu 4 OBr 6 uniform.

これをボートにとり酸素雰囲気下で焼成し、Eu4OBr6を作製する。焼成は大気下でも酸素含有雰囲気でもよく、100℃〜700℃、好ましくは100℃〜300℃で行う。焼成温度は高いと酸素導入が加速してEu23となる。温度が低いと酸素導入できず、潮解性が増しハンドリングできない。 This is taken in a boat and fired in an oxygen atmosphere to produce Eu 4 OBr 6 . Firing may be performed in the air or in an oxygen-containing atmosphere, and is performed at 100 ° C to 700 ° C, preferably 100 ° C to 300 ° C. When the firing temperature is high, oxygen introduction is accelerated to Eu 2 O 3 . If the temperature is low, oxygen cannot be introduced, deliquescence increases, and handling is impossible.

また、本発明においては、蒸着条件として、CsBrの蒸気量とEuの蒸気量よりEuモル比が5/10000となるように、ボートの上部にメッシュフィルターを入れることで、CsBr蒸気量を調整することが好ましい。   Further, in the present invention, as a vapor deposition condition, the CsBr vapor amount is adjusted by inserting a mesh filter in the upper part of the boat so that the Eu molar ratio is 5/10000 from the vapor amount of CsBr and the vapor amount of Eu. It is preferable.

なお、本発明においては、上記のユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体の他に、従来公知の種々の輝尽性蛍光体を併用することが出来る。   In addition, in this invention, conventionally well-known various photostimulable fluorescent substances can be used together with said europium activated alkali halogenated fluorescent substance.

(放射線画像変換パネルの製造方法)
以下、本発明の放射線画像変換パネルの典型的製造方法について説明する。
(Method for manufacturing radiation image conversion panel)
Hereinafter, a typical manufacturing method of the radiation image conversion panel of the present invention will be described.

図1は放射線画像変換パネル1の断面図である。図1に示す通り、放射線画像変換パネル1は、所定の支持体(基板)2上に輝尽性蛍光体層3が形成された蛍光体プレート4を有している。   FIG. 1 is a cross-sectional view of the radiation image conversion panel 1. As shown in FIG. 1, the radiation image conversion panel 1 includes a phosphor plate 4 having a photostimulable phosphor layer 3 formed on a predetermined support (substrate) 2.

また、基板2の表面2a(図1中上面)は滑面であってもよいし、マット面であってもよい。基板2の表面2a(図1中上面)は輝尽性蛍光体層3との接着性を向上させる目的でマット面であってもよく、その表面2a上には輝尽性蛍光体層3との接着性を向上させる目的で下引層を設けてもよいし、その表面2a上には基板2を透過して輝尽性蛍光体層3に励起光が入射するのを防止する目的で光反射層が設けられていてもよい。   Further, the surface 2a (upper surface in FIG. 1) of the substrate 2 may be a smooth surface or a mat surface. The surface 2a (upper surface in FIG. 1) of the substrate 2 may be a matte surface for the purpose of improving the adhesion with the stimulable phosphor layer 3, and on the surface 2a, the stimulable phosphor layer 3 and An undercoat layer may be provided for the purpose of improving the adhesion of the light source, and light may be provided on the surface 2a for the purpose of preventing excitation light from entering the photostimulable phosphor layer 3 through the substrate 2. A reflective layer may be provided.

輝尽性蛍光体層3は、少なくとも1層以上からなる層状構造であり、その層厚は、上述のように、50μm以上、好ましくは200〜500μmに形成されている。また、輝尽性蛍光体層3は、輝尽性蛍光体から構成された多数の柱状結晶3が互いに間隔をあけて並んだ柱状構造を有している。   The photostimulable phosphor layer 3 has a layered structure composed of at least one layer, and the layer thickness is 50 μm or more, preferably 200 to 500 μm, as described above. Further, the photostimulable phosphor layer 3 has a columnar structure in which a large number of columnar crystals 3 composed of the photostimulable phosphor are arranged at intervals.

〔支持体:基板〕
本発明に係る放射線画像変換パネルに用いられる支持体(基板)としては、各種のガラス、高分子材料、金属等が用いられるが、例えば、石英、ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラスなどの板ガラス、又、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム等のプラスチックフィルム、アルミニウムシート、鉄シート、銅シート等の金属シート或いは該金属酸化物の被覆層を有する金属シートが好ましい。
[Support: Substrate]
As the support (substrate) used in the radiation image conversion panel according to the present invention, various glasses, polymer materials, metals, and the like are used. For example, plate glass such as quartz, borosilicate glass, chemically tempered glass, In addition, a plastic film such as cellulose acetate film, polyester film, polyethylene terephthalate film, polyamide film, polyimide film, triacetate film, polycarbonate film, metal sheet such as aluminum sheet, iron sheet, copper sheet, or coating layer of the metal oxide The metal sheet which has is preferable.

〔基板支持部〕
本発明においては、基板支持部(基板ホルダ)が金属ブロックで、基板と金属ブロックが密着されていることにより、蒸着時に基板変形が抑制され、基板支持部から基板への熱伝導が基板面内に均一にすることが可能となる。さらに、基板支持部から基板への熱伝導性を制御するために、上記粘着材と基板間に断熱効果を有する部材を挟んでもよい。
[Substrate support section]
In the present invention, since the substrate support part (substrate holder) is a metal block and the substrate and the metal block are in close contact with each other, deformation of the substrate is suppressed during vapor deposition, and heat conduction from the substrate support part to the substrate is within the substrate surface. Can be made uniform. Furthermore, in order to control the thermal conductivity from the substrate support portion to the substrate, a member having a heat insulation effect may be sandwiched between the adhesive material and the substrate.

本発明に係る金属ブロックとしては、熱伝導率が高く、重力で部分的に変形を生じない程度に厚みを有していれば特に制限ない。コスト、強度の両立性の観点からアルミが好ましい。   The metal block according to the present invention is not particularly limited as long as it has a high thermal conductivity and has a thickness that does not cause partial deformation due to gravity. Aluminum is preferable from the viewpoint of compatibility between cost and strength.

〔粘着材〕
本発明に係る粘着材は基板を金属ブロックに密着させる際、基板面内が均一に金属ブロックに密着させるために有効である。粘着材としては、作業性、環境性の観点から、粘着性シートが好ましい。
[Adhesive]
The pressure-sensitive adhesive material according to the present invention is effective in uniformly bringing the substrate surface into close contact with the metal block when the substrate is in close contact with the metal block. As the adhesive material, an adhesive sheet is preferable from the viewpoint of workability and environmental performance.

粘着シートを金属ブロックに貼り付けた後、その上に基板を貼り付ける手段として、手で直接基板に触れて押し付けると、基板面内に凹凸が生じたり、基板表面に異物を付着させ、その結果蒸着により得られた画像変換パネルに画像欠陥が生じることがある。従って、異物付着を抑制する手段として、粘着シート上に基板を乗せた後、基板表面上にシート状のものを乗せ、その上から押し付ける手段が好ましい。さらに、基板上の画像領域に接触させずに基板を金属ブロックに密着させる手段を用いるとより好ましい。この方法を用いると、貼付け時に生じる基板表面の凹凸をも抑制することが可能となる。そのほかに貼付け時に生じる基板表面の凹凸抑制手段として、基板上の画像領域外、即ち基板周辺部を押し付ける方法がある。基板上の画像領域に接触させずに基板を金属ブロックに密着させる手段として、より好ましくは基板と粘着材との接触部の領域を減圧することが挙げられる。   After attaching the adhesive sheet to the metal block, as a means of attaching the substrate on it, touching and pressing the substrate directly by hand will cause irregularities in the substrate surface or cause foreign matter to adhere to the substrate surface, and as a result An image defect may occur in an image conversion panel obtained by vapor deposition. Therefore, as a means for suppressing adhesion of foreign matter, a means for placing a substrate on the adhesive sheet, placing a sheet-like material on the surface of the substrate, and pressing from above is preferable. Furthermore, it is more preferable to use means for bringing the substrate into close contact with the metal block without contacting the image area on the substrate. When this method is used, it is possible to suppress unevenness of the substrate surface that occurs during pasting. In addition, there is a method of pressing the outside of the image area on the substrate, that is, the peripheral portion of the substrate, as means for suppressing unevenness of the substrate surface that occurs during pasting. As a means for bringing the substrate into close contact with the metal block without being brought into contact with the image region on the substrate, it is more preferable to depressurize the region of the contact portion between the substrate and the adhesive material.

〔輝尽性蛍光体層〕
本発明に係る輝尽性蛍光体層は、上記のように、本発明に係るユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体の他に、従来公知の種々の輝尽性蛍光体を併用することが出来る。以下において、先ず、併用することが出来る輝尽性蛍光体について詳しく述べる。
[Stimulable phosphor layer]
As described above, the photostimulable phosphor layer according to the present invention can be used in combination with various conventionally known photostimulable phosphors in addition to the europium activated alkali halogenated phosphor according to the present invention. In the following, first, a stimulable phosphor that can be used in combination will be described in detail.

輝尽性蛍光体としては、下記一般式(1)で表されるものを使用することができる。   As the stimulable phosphor, those represented by the following general formula (1) can be used.

1X・aM2X’2・bM3X’’3:eA … (1)
ここで、M1はLi、Na、K、Rb及びCsから選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属原子であり、特にK、Rb及びCsから選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属原子であることが好ましい。
M 1 X · aM 2 X ′ 2 · bM 3 X ″ 3 : eA (1)
Here, M 1 is at least one alkali metal atom selected from Li, Na, K, Rb and Cs, and preferably at least one alkali metal atom selected from K, Rb and Cs.

2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiから選ばれる少なくとも一種の二価の金属原子であり、特に、Be、Mg、Ca、Sr、及びBaから選ばれる少なくとも一種の二価の金属原子であることが好ましい。 M 2 is at least one divalent metal atom selected from Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Cu and Ni, and in particular, at least selected from Be, Mg, Ca, Sr and Ba It is preferably a kind of divalent metal atom.

3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInから選ばれる少なくとも一種の三価の金属原子であり、特に、Y、La、Ce、Sm、Eu、Gd、Lu、Al、Ga及びInから選ばれる少なくとも一種の三価の金属原子であることが好ましい。 M 3 is at least one trivalent selected from Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Al, Ga, and In. In particular, at least one trivalent metal atom selected from Y, La, Ce, Sm, Eu, Gd, Lu, Al, Ga and In is preferable.

X、X’及びX’’はF、Cl、Br及びIから選ばれる少なくとも一種のハロゲン原子であり、特にXはBr及びIから選ばれる少なくとも一種のハロゲン原子であることが好ましい。   X, X ′ and X ″ are at least one halogen atom selected from F, Cl, Br and I, and X is preferably at least one halogen atom selected from Br and I.

AはEu、Tb、In、Ga、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgから選ばれる少なくとも一種の金属原子であり、特にEu、Cs、Sm、Tl及びNaから選ばれる少なくとも一種の金属原子であることが好ましい。   A is at least one selected from Eu, Tb, In, Ga, Cs, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu, and Mg. In particular, at least one metal atom selected from Eu, Cs, Sm, Tl and Na is preferable.

a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を示し、特にbは0≦b≦10-2の範囲の数値を示すことが好ましい。 a, b, and e are numerical values in the range of 0 ≦ a <0.5, 0 ≦ b <0.5, and 0 <e ≦ 0.2, respectively. In particular, b is in the range of 0 ≦ b ≦ 10 −2 . It is preferable to show a numerical value.

この中でも特に、下記一般式(2)で表される輝尽性蛍光体を有することが好ましい。   Among these, it is particularly preferable to have a stimulable phosphor represented by the following general formula (2).

CsX:A … (2)
ここで、XはF、Cl、BrまたはIを表し、AはEu、In、GaまたはCeを表す。特にEuを賦活材とするとX線変換効率が向上することが期待でき好ましい。
CsX: A (2)
Here, X represents F, Cl, Br or I, and A represents Eu, In, Ga or Ce. In particular, it is preferable to use Eu as an activator because X-ray conversion efficiency can be expected to improve.

上記の輝尽性蛍光体は、例えば下記(a)〜(d)の蛍光体原料を用いて以下に述べる製造方法により製造される。
(a)LiF、LiCl、LiBr、LiI、NaF、NaCl、NaBr、NaI、KF、KCl、KBr、KI、RbF、RbCl、RbBr、RbI、CsF、CsCl、CsBr及びCsIから選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の化合物。
(b)BeF2、BeCl2、BeBr2、BeI2、MgF2、MgCl2、MgBr2、MgI2、CaF2、CaCl2、CaBr2、CaI2、SrF2、SrCl2、SrBr2、SrI2、BaF2、BaCl2、BaBr2、BaI2、ZnF2、ZnCl2、ZnBr2、ZnI2、CdF2、CdCl2、CdBr2、CdI2、CuF2、CuCl2、CuBr2、CuI2、NiF2、NiCl2、NiBr2及びNiI2から選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の化合物。
(c)ScF3、ScCl3、ScBr3、ScI3、YF3、YCl3、YBr3、YI3、LaF3、LaCl3、LaBr3、LaI3、CeF3、CeCl3、CeBr3、CeI3、PrF3、PrCl3、PrBr3、PrI3、NdF3、NdCl3、NdBr3、NdI3、PmF3、PmCl3、PmBr3、PmI3、SmF3、SmCl3、SmBr3、SmI3、EuF3、EuCl3、EuBr3、EuI3、GdF3、GdCl3、GdBr3、GdI3、TbF3、TbCl3、TbBr3、TbI3、DyF3、DyCl3、DyBr3、DyI3、HoF3、HoCl3、HoBr3、HoI3、ErF3、ErCl3、ErBr3、ErI3、TmF3、TmCl3、TmBr3、TmI3、YbF3、YbCl3、YbBr3、YbI3、LuF3、LuCl3、LuBr3、LuI3、AlF3、AlCl3、AlBr3、AlI3、GaF3、GaCl3、GaBr3、GaI3、InF3、InCl3、InBr3及びInI3から選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の化合物。
(d)Eu、Tb、In、Ga、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgから選ばれる少なくとも1種もしくは2種以上の金属原子。
The photostimulable phosphor is manufactured by the following manufacturing method using, for example, the following phosphor materials (a) to (d).
(A) At least one or two selected from LiF, LiCl, LiBr, LiI, NaF, NaCl, NaBr, NaI, KF, KCl, KBr, KI, RbF, RbCl, RbBr, RbI, CsF, CsCl, CsBr and CsI More than one compound.
(B) BeF 2, BeCl 2 , BeBr 2, BeI 2, MgF 2, MgCl 2, MgBr 2, MgI 2, CaF 2, CaCl 2, CaBr 2, CaI 2, SrF 2, SrCl 2, SrBr 2, SrI 2 , BaF 2 , BaCl 2 , BaBr 2 , BaI 2 , ZnF 2 , ZnCl 2 , ZnBr 2 , ZnI 2 , CdF 2 , CdCl 2 , CdBr 2 , CdI 2 , CuF 2 , CuCl 2 , CuBr 2 , CuI 2 , NiF 2 , at least one compound selected from NiCl 2 , NiBr 2 and NiI 2 or two or more compounds.
(C) ScF 3, ScCl 3 , ScBr 3, ScI 3, YF 3, YCl 3, YBr 3, YI 3, LaF 3, LaCl 3, LaBr 3, LaI 3, CeF 3, CeCl 3, CeBr 3, CeI 3 , PrF 3, PrCl 3, PrBr 3, PrI 3, NdF 3, NdCl 3, NdBr 3, NdI 3, PmF 3, PmCl 3, PmBr 3, PmI 3, SmF 3, SmCl 3, SmBr 3, SmI 3, EuF 3, EuCl 3, EuBr 3, EuI 3, GdF 3, GdCl 3, GdBr 3, GdI 3, TbF 3, TbCl 3, TbBr 3, TbI 3, DyF 3, DyCl 3, DyBr 3, DyI 3, HoF 3, HoCl 3, HoBr 3, HoI 3 , ErF 3, ErCl 3, ErBr 3, ErI 3, TmF 3, TmCl 3, TmBr 3, TmI 3, YbF 3 YbCl 3, YbBr 3, YbI 3 , LuF 3, LuCl 3, LuBr 3, LuI 3, AlF 3, AlCl 3, AlBr 3, AlI 3, GaF 3, GaCl 3, GaBr 3, GaI 3, InF 3, InCl 3 At least one compound selected from InBr 3 and InI 3, or two or more compounds.
(D) at least selected from Eu, Tb, In, Ga, Cs, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, Tl, Na, Ag, Cu and Mg One or more metal atoms.

上記(a)〜(d)の蛍光体原料を一般式(1)のa、b、eの範囲を満たすように秤量し、純水にて混合する。この際、乳鉢、ボールミル、ミキサーミル等を用いて充分に混合してもよい。   The phosphor materials of the above (a) to (d) are weighed so as to satisfy the ranges of a, b and e in the general formula (1) and mixed with pure water. At this time, the mixture may be sufficiently mixed using a mortar, ball mill, mixer mill or the like.

次に、得られた混合液のpH値Cを0<C<7に調整するように所定の酸を加えた後、水分を蒸発気化させる。   Next, a predetermined acid is added so that the pH value C of the obtained mixed solution is adjusted to 0 <C <7, and then water is evaporated.

次に、得られた原料混合物を蒸発器(ルツボ)、例えば、石英ルツボあるいはアルミナルツボ等の耐熱性容器に充填して電気炉内で焼成を行う。焼成温度は500〜1000℃が好ましい。焼成時間は原料混合物の充填量、焼成温度等によって異なるが、0.5〜6時間が好ましい。   Next, the obtained raw material mixture is filled in an evaporator (crucible), for example, a heat-resistant container such as a quartz crucible or an alumina crucible, and fired in an electric furnace. The firing temperature is preferably 500 to 1000 ° C. The firing time varies depending on the filling amount of the raw material mixture, the firing temperature and the like, but is preferably 0.5 to 6 hours.

なお、本発明に係るユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体は、酸化ユウロピウム(II)ハロゲン化物とアルカリハロゲン化物を蒸着源として、それぞれを別々の蒸発器(ルツボ)から支持体上に蒸着させる気相成長法により形成することを特徴とする。   The europium-activated alkali halide phosphor according to the present invention is vapor phase growth in which europium oxide (II) halide and alkali halide are used as vapor deposition sources, and vapor deposition is performed on a support from separate evaporators (crucibles). It is formed by the method.

焼成雰囲気としては少量の水素ガスを含む窒素ガス雰囲気、少量の一酸化炭素を含む炭酸ガス雰囲気等の弱還元性雰囲気、窒素ガス雰囲気、アルゴンガス雰囲気等の中性雰囲気あるいは少量の酸素ガスを含む弱酸化性雰囲気が好ましい。   The firing atmosphere includes a nitrogen gas atmosphere containing a small amount of hydrogen gas, a weak reducing atmosphere such as a carbon dioxide gas atmosphere containing a small amount of carbon monoxide, a neutral atmosphere such as a nitrogen gas atmosphere and an argon gas atmosphere, or a small amount of oxygen gas. A weak oxidizing atmosphere is preferred.

なお、前記の焼成条件で一度焼成した後、焼成物を電気炉から取り出して粉砕し、しかる後、焼成物粉末を再び耐熱性容器に充填して電気炉に入れ、前記と同じ焼成条件で再焼成を行なえば輝尽性蛍光体の発光輝度を更に高めることができ、また、焼成物を焼成温度より室温に冷却する際、焼成物を電気炉から取り出して空気中で放冷することによっても所望の輝尽性蛍光体を得ることができるが、焼成時と同じ、弱還元性雰囲気、中性雰囲気あるいは弱酸化性雰囲気のままで冷却してもよい。   After firing once under the aforementioned firing conditions, the fired product is taken out from the electric furnace and pulverized, and then the fired product powder is again filled in a heat-resistant container and placed in the electric furnace, and again under the same firing conditions as described above. If the firing is performed, the luminous brightness of the photostimulable phosphor can be further increased, and when the fired product is cooled to the room temperature from the firing temperature, the fired product is taken out of the electric furnace and allowed to cool in the air. Although a desired photostimulable phosphor can be obtained, it may be cooled in the same weakly reducing atmosphere, neutral atmosphere or weakly oxidizing atmosphere as at the time of firing.

また、焼成物を電気炉内で加熱部より冷却部へ移動させて、弱還元性雰囲気、中性雰囲気あるいは弱酸化性雰囲気で急冷することにより、得られた輝尽性蛍光体の輝尽による発光輝度をより一層高めることができる。   In addition, by moving the fired product from the heating part to the cooling part in an electric furnace and quenching in a weakly reducing atmosphere, neutral atmosphere or weakly oxidizing atmosphere, the resulting stimulable phosphor is excited. The light emission luminance can be further increased.

以上のように、輝尽性蛍光体から輝尽性蛍光体層3が形成され、輝尽性蛍光体層3及び基板2は蛍光体プレート4を構成する。   As described above, the photostimulable phosphor layer 3 is formed from the photostimulable phosphor, and the photostimulable phosphor layer 3 and the substrate 2 constitute the phosphor plate 4.

なお、放射線画像変換パネル1では、蛍光体プレート4を保護する保護層が設けられている。保護層として2枚の防湿性の保護フィルム10,20を有しており、蛍光体プレート4は、図1に示すように輝尽性蛍光体層3の上側に配置された第1の防湿性保護フィルム10と、基板2の下側に配置された第2の防湿性保護フィルム20との間に介在されるようになっている。   In the radiation image conversion panel 1, a protective layer for protecting the phosphor plate 4 is provided. As a protective layer, two moisture-proof protective films 10 and 20 are provided, and the phosphor plate 4 has a first moisture-proof property arranged on the upper side of the stimulable phosphor layer 3 as shown in FIG. The protective film 10 is interposed between the second moisture-proof protective film 20 disposed on the lower side of the substrate 2.

第1の防湿性保護フィルム10は蛍光体プレート4よりやや大きな面積を有しており、蛍光体プレート4の輝尽性蛍光体層3と実質的に接着していない状態でその周縁部が蛍光体プレート4の周縁部より外側に延出している。「第1の防湿性保護フィルム10が輝尽性蛍光体層3と実質的に接着していない状態」とは、第1の防湿性保護フィルム10と輝尽性蛍光体層3とが光学的に一体化していない状態をいい、具体的には、第1の防湿性保護フィルム10と輝尽性蛍光体層3との接触面積が輝尽性蛍光体層3の表面(第1の防湿性保護フィルム10に対向する面)の面積の10%以下である状態をいう。   The first moisture-proof protective film 10 has a slightly larger area than the phosphor plate 4, and the peripheral portion of the first moisture-proof protective film 10 is fluorescent in a state where it is not substantially adhered to the photostimulable phosphor layer 3 of the phosphor plate 4. It extends outward from the peripheral edge of the body plate 4. “The state in which the first moisture-proof protective film 10 is not substantially bonded to the photostimulable phosphor layer 3” means that the first moisture-proof protective film 10 and the photostimulable phosphor layer 3 are optical. Specifically, the contact area between the first moisture-proof protective film 10 and the photostimulable phosphor layer 3 is the surface of the photostimulable phosphor layer 3 (first moisture-proof property). The state which is 10% or less of the area of the surface facing the protective film 10).

他方、第2の防湿性保護フィルム20も蛍光体プレート4よりやや大きな面積を有しており、その周縁部が蛍光体プレート4の周縁部より外側に延出している。   On the other hand, the second moisture-proof protective film 20 also has a slightly larger area than the phosphor plate 4, and its peripheral edge extends outward from the peripheral edge of the phosphor plate 4.

放射線画像変換パネル1では、第1,第2の防湿性保護フィルム10,20の各周縁部同士が全周にわたって融着されており、第1,第2の防湿性保護フィルム10,20で蛍光体プレート4を完全に封止した構成を有している。第1,第2の各防湿性保護フィルム10,20は、蛍光体プレート4を封止することにより、蛍光体プレート4への水分の浸入を確実に防止して当該蛍光体プレート4を保護するようになっている。   In the radiation image conversion panel 1, the peripheral portions of the first and second moisture-proof protective films 10 and 20 are fused over the entire circumference, and the first and second moisture-proof protective films 10 and 20 are fluorescent. The body plate 4 is completely sealed. Each of the first and second moisture-proof protective films 10 and 20 protects the phosphor plate 4 by sealing the phosphor plate 4 to reliably prevent moisture from entering the phosphor plate 4. It is like that.

図1中上部の拡大図に示す通り、第1の防湿性保護フィルム10は、第1の層11、第2の層12、第3の層13の3層を積層した積層構造を有している。   As shown in the enlarged view at the top in FIG. 1, the first moisture-proof protective film 10 has a laminated structure in which three layers of a first layer 11, a second layer 12, and a third layer 13 are laminated. Yes.

第1の層11は、空気層14を介して蛍光体プレート4の輝尽性蛍光体層3と対向する層であり、熱融着性を有する樹脂で構成されている。「熱融着性を有する樹脂」としては、エチレン酢酸ビニルコポリマー(EVA),キャスティングポリプロピレン(CPP),ポリエチレン(PE)等が挙げられる。   The first layer 11 is a layer facing the photostimulable phosphor layer 3 of the phosphor plate 4 with the air layer 14 interposed therebetween, and is made of a resin having a heat-fusibility. Examples of the “resin having heat-fusibility” include ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), casting polypropylene (CPP), polyethylene (PE) and the like.

第2の層12はアルミナ,シリカ等の金属酸化物で構成された層であり、周知の蒸着法により第3の層13下に蒸着されている。第2の層12は、第1の防湿性保護フィルム10の防湿性能を強化するものであるが、なくてもよい。   The second layer 12 is a layer made of a metal oxide such as alumina or silica, and is deposited under the third layer 13 by a known vapor deposition method. Although the 2nd layer 12 strengthens the moisture-proof performance of the 1st moisture-proof protective film 10, it does not need to be.

第3の層13は第2の層12上に積層されており、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の樹脂で構成されている。   The third layer 13 is laminated on the second layer 12 and is made of a resin such as polyethylene terephthalate (PET).

このように、金属酸化物で構成された第2の層12を有する第1の防湿性保護フィルム10は、加工性や透明性に優れており、防湿性及び酸素透過性の性質の面で温度や湿度の影響を受けにくい。そのため、当該第1の防湿性保護フィルム10は、環境によらずに安定した画像品質が要求される輝尽性蛍光体利用型の医療用放射線画像変換パネル1に好適である。   Thus, the 1st moisture-proof protective film 10 which has the 2nd layer 12 comprised with the metal oxide is excellent in workability and transparency, and is temperature in terms of a moisture-proof and oxygen-permeable property. Insensitive to humidity and humidity. Therefore, the first moisture-proof protective film 10 is suitable for the stimulable phosphor-based medical radiation image conversion panel 1 that requires stable image quality regardless of the environment.

なお、第3の層13上には、第1の層11と同様の層、第2の層12と同様の層、第3の層13と同様の層又は第1の層11、第3の層13とは異なる樹脂で構成された層が1層又は2層以上積層されてもよい。   Note that on the third layer 13, a layer similar to the first layer 11, a layer similar to the second layer 12, a layer similar to the third layer 13, or the first layer 11, the third layer One layer or two or more layers made of a resin different from the layer 13 may be laminated.

特に、第3の層13上に、アルミナ,シリカ等の金属酸化物で構成された第2の層12と同様の層を積層すると、第1の防湿性保護フィルム11は、その第2の層12に相当する層の積層数に応じた最適な防湿性を発揮するようになっている。第2の層12又はこれと同様の層の積層方法としては、周知の方法であればどのような方法でも適用可能であるが、ドライラミネート方式に従う方法を適用するのが作業性の面で好ましい。   In particular, when a layer similar to the second layer 12 made of a metal oxide such as alumina or silica is laminated on the third layer 13, the first moisture-proof protective film 11 becomes the second layer. The optimum moisture-proof property according to the number of layers corresponding to 12 is exhibited. As a method for laminating the second layer 12 or a similar layer, any known method can be applied, but a method according to the dry laminating method is preferably used in terms of workability. .

図1中下部の拡大図に示す通り、第2の防湿性保護フィルム20は、第1の層21、第2の層22、第3の層23の3層を積層した積層構造を有している。   As shown in the enlarged view at the bottom in FIG. 1, the second moisture-proof protective film 20 has a laminated structure in which three layers of a first layer 21, a second layer 22, and a third layer 23 are laminated. Yes.

第1の層21は空気層24を介して蛍光体プレート4の基板2と対向している。第1の層21は上記第1の防湿性保護フィルム10の第1の層11と同様の樹脂で構成され、その周縁部において上記第1の防湿性保護フィルム10の第1の層11と融着している。   The first layer 21 faces the substrate 2 of the phosphor plate 4 through the air layer 24. The first layer 21 is made of the same resin as the first layer 11 of the first moisture-proof protective film 10, and melts with the first layer 11 of the first moisture-proof protective film 10 at the peripheral portion thereof. I wear it.

第2の層22は第1の層21下にラミネートされた層であり、アルミニウムで構成されている。第2の層22は、第2の防湿性保護フィルム20における防湿性能を向上させるものであるが、なくてもよい。   The second layer 22 is a layer laminated under the first layer 21 and is made of aluminum. Although the 2nd layer 22 improves the moisture-proof performance in the 2nd moisture-proof protective film 20, it does not need to be.

第3の層23は第2の層22下に積層されており、PET等の樹脂で構成されている。   The third layer 23 is laminated under the second layer 22 and is made of a resin such as PET.

なお、第3の層23下には、第1の層21と同様の層、第2の層22と同様の層、第3の層23と同様の層又は第1の層11、第3の層13とは異なる樹脂で構成された層が1層又は2層以上積層されてもよい。   Note that, under the third layer 23, a layer similar to the first layer 21, a layer similar to the second layer 22, a layer similar to the third layer 23, or the first layer 11, the third layer One layer or two or more layers made of a resin different from the layer 13 may be laminated.

〔保護層〕
また、本発明に係る輝尽性蛍光体層は、上述のように保護層を有していても良い。保護層は、保護層用塗布液を輝尽性蛍光体層上に直接塗布して形成してもよいし、あらかじめ別途形成した保護層を輝尽性蛍光体層上に接着してもよい。あるいは別途形成した保護層上に輝尽性蛍光体層を形成する手順を取ってもよい。保護層の材料としては酢酸セルロース、ニトロセルロース、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ナイロン、ポリ四フッ化エチレン、ポリ三フッ化−塩化エチレン、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、塩化ビニリデン−塩化ビニル共重合体、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体等の通常の保護層用材料が用いられる。他に透明なガラス基板を保護層としてもちいることもできる。また、この保護層は蒸着法、スパッタリング法等により、SiC、SiO2、SiN、Al23などの無機物質を積層して形成してもよい。これらの保護層の層厚は一般的には0.1〜2000μm程度が好ましい。
[Protective layer]
Moreover, the stimulable phosphor layer according to the present invention may have a protective layer as described above. The protective layer may be formed by directly applying a coating solution for the protective layer on the photostimulable phosphor layer, or a protective layer separately formed in advance may be adhered on the photostimulable phosphor layer. Or you may take the procedure of forming a photostimulable phosphor layer on the protective layer formed separately. Materials for the protective layer include cellulose acetate, nitrocellulose, polymethyl methacrylate, polyvinyl butyral, polyvinyl formal, polycarbonate, polyester, polyethylene terephthalate, polyethylene, polyvinylidene chloride, nylon, polytetrafluoroethylene, polytrifluoride-ethylene chloride Ordinary protective layer materials such as tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, vinylidene chloride-vinyl chloride copolymer, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer are used. In addition, a transparent glass substrate can be used as a protective layer. The protective layer may be formed by laminating inorganic materials such as SiC, SiO 2 , SiN, Al 2 O 3 by vapor deposition, sputtering, or the like. The thickness of these protective layers is generally preferably about 0.1 to 2000 μm.

(放射線画像変換パネル及び放射線画像読み取り装置)
図2は、本発明の放射線画像変換パネル及び放射線画像読み取り装置の構成の1例を示す概略図である。
(Radiation image conversion panel and radiation image reading device)
FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of the configuration of the radiation image conversion panel and the radiation image reading apparatus of the present invention.

図2において21は放射線発生装置、22は被写体、23は輝尽性蛍光体を含有する可視光ないし赤外光輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネル、24は放射線画像変換パネル23の放射線潜像を輝尽発光として放出させるための輝尽励起光源、25は放射線画像変換パネル23より放出された輝尽発光を検出する光電変換装置、26は光電変換装置25で検出された光電変換信号を画像として再生する画像再生装置、27は再生された画像を表示する画像表示装置、28は輝尽励起光源24からの反射光をカットし、放射線画像変換パネル23より放出された光のみを透過させるためのフィルタである。尚、図3は被写体の放射線透過像を得る場合の例であるが、被写体22自体が放射線を放射する場合には、前記放射線発生装置21は特に必要ない。   In FIG. 2, 21 is a radiation generator, 22 is a subject, 23 is a radiation image conversion panel having a visible or infrared photostimulable phosphor layer containing a stimulable phosphor, and 24 is a radiation of the radiation image conversion panel 23. A stimulated excitation light source for emitting a latent image as stimulated emission, 25 is a photoelectric conversion device that detects the stimulated emission emitted from the radiation image conversion panel 23, and 26 is a photoelectric conversion signal detected by the photoelectric conversion device 25. 27 is an image display device that displays the reconstructed image, and 28 is a device that cuts off the reflected light from the stimulating excitation light source 24 and transmits only the light emitted from the radiation image conversion panel 23. It is a filter to make it. FIG. 3 shows an example of obtaining a radiation transmission image of a subject. However, when the subject 22 itself emits radiation, the radiation generator 21 is not particularly necessary.

また、光電変換装置25以降は放射線画像変換パネル23からの光情報を何らかの形で画像として再生できるものであればよく、前記に限定されない。   The photoelectric conversion device 25 and the subsequent devices are not limited to the above as long as they can reproduce optical information from the radiation image conversion panel 23 as an image in some form.

図3に示されるように、被写体22を放射線発生装置21と放射線画像変換パネル23の間に配置し放射線Rを照射すると、放射線Rは被写体22の各部の放射線透過率の変化に従って透過し、その透過像RI(すなわち放射線の強弱の像)が放射線画像変換パネル23に入射する。この入射した透過像RIは放射線画像変換パネル23の輝尽性蛍光体層に吸収され、これによって輝尽性蛍光体層中に吸収された放射線量に比例した数の電子及び/又は正孔が発生し、これが輝尽性蛍光体のトラップレベルに蓄積される。すなわち放射線透過像のエネルギーを蓄積した潜像が形成される。次にこの潜像を光エネルギーで励起して顕在化する。すなわち可視あるいは赤外領域の光を照射する輝尽励起光源24によって輝尽性蛍光体層に照射してトラップレベルに蓄積された電子及び/又は正孔を追い出し、蓄積されたエネルギーを輝尽発光として放出せしめる。この放出された輝尽発光の強弱は蓄積された電子及び/又は正孔の数、すなわち放射線画像変換パネル23の輝尽性蛍光体層に吸収された放射線エネルギーの強弱に比例しており、この光信号を例えば光電子増倍管等の光電変換装置25で電気信号に変換し、画像再生装置26によって画像として再生し、画像表示装置27によってこの画像を表示する。画像再生装置26は単に電気信号を画像信号として再生するのみでなく、いわゆる画像処理や画像の演算、画像の記憶、保存等が出来るものを使用するとより有効である。   As shown in FIG. 3, when the subject 22 is placed between the radiation generator 21 and the radiation image conversion panel 23 and irradiated with the radiation R, the radiation R is transmitted according to the change in the radiation transmittance of each part of the subject 22, A transmission image RI (that is, an image of the intensity of radiation) enters the radiation image conversion panel 23. The incident transmitted image RI is absorbed by the photostimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel 23, so that a number of electrons and / or holes proportional to the amount of radiation absorbed in the photostimulable phosphor layer are generated. Occurs and accumulates at the trap level of the photostimulable phosphor. That is, a latent image in which the energy of the radiation transmission image is accumulated is formed. Next, this latent image is made visible by being excited with light energy. That is, the photostimulable phosphor layer is irradiated with light in the visible or infrared region and the photostimulable phosphor layer is irradiated to expel electrons and / or holes accumulated at the trap level, and the accumulated energy is stimulated to emit light. Let it be released as. The intensity of the emitted stimulated emission is proportional to the number of accumulated electrons and / or holes, that is, the intensity of the radiation energy absorbed in the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel 23. The optical signal is converted into an electric signal by a photoelectric conversion device 25 such as a photomultiplier tube, and reproduced as an image by an image reproduction device 26, and this image is displayed by an image display device 27. The image reproducing device 26 is more effective not only for reproducing an electrical signal as an image signal but also using what can perform so-called image processing, image calculation, image storage, storage, and the like.

また、光エネルギーで励起する際、輝尽励起光の反射光と輝尽性蛍光体層から放出される輝尽発光とを分離する必要があることと、輝尽性蛍光体層から放出される発光を受光する光電変換器は一般に600nm以下の短波長の光エネルギーに対して感度が高くなるという理由から、輝尽性蛍光体層から放射される輝尽発光はできるだけ短波長領域にスペクトル分布を持ったものが望ましい。本発明の輝尽性蛍光体の発光波長域は300〜500nmであり、一方輝尽励起波長域は500〜900nmであるので前記の条件を同時に満たすが、最近、診断装置のダウンサイジング化が進み、放射画像変換パネルの画像読み取りに用いられる励起波長は高出力で且つ、コンパクト化が容易な半導体レーザーが好まれ、そのレーザー光の波長は680nmであり、本発明の放射線画像変換パネルに組み込まれた輝尽性蛍光体は、680nmの励起波長を用いた時に、極めて良好な鮮鋭性を示すものである。   In addition, when excited by light energy, it is necessary to separate the reflected light of the stimulated excitation light from the stimulated emission emitted from the stimulable phosphor layer, and it is emitted from the stimulable phosphor layer. Photoelectric converters that receive light emission generally have high sensitivity to light energy with a short wavelength of 600 nm or less, so that the stimulated emission emitted from the stimulable phosphor layer has a spectral distribution in the short wavelength region as much as possible. What you have is desirable. The emission wavelength range of the photostimulable phosphor of the present invention is 300 to 500 nm, while the photostimulable excitation wavelength range is 500 to 900 nm, which satisfies the above-mentioned conditions at the same time. Recently, downsizing of diagnostic devices has progressed. A semiconductor laser that has a high output power and is easy to make compact is preferred for the image reading of the radiation image conversion panel, and the wavelength of the laser light is 680 nm, and is incorporated in the radiation image conversion panel of the present invention. The photostimulable phosphor exhibits extremely good sharpness when an excitation wavelength of 680 nm is used.

すなわち、本発明の輝尽性蛍光体はいずれも500nm以下に主ピークを有する発光を示し、輝尽励起光の分離が容易でしかも受光器の分光感度とよく一致するため、効率よく受光できる結果、受像系の感度を固めることができる。   That is, all of the photostimulable phosphors of the present invention emit light having a main peak at 500 nm or less, and the excitation excitation light can be easily separated and coincides well with the spectral sensitivity of the light receiver. The sensitivity of the image receiving system can be solidified.

輝尽励起光源24としては、放射線画像変換パネル23に使用される輝尽性蛍光体の輝尽励起波長を含む光源が使用される。特にレーザー光を用いると光学系が簡単になり、又、輝尽励起光強度を大きくすることができるために輝尽発光効率をあげることができ、より好ましい結果が得られる。   As the excitation light source 24, a light source including the excitation wavelength of the stimulable phosphor used in the radiation image conversion panel 23 is used. In particular, when laser light is used, the optical system is simplified, and the excitation light intensity can be increased, so that the photostimulative emission efficiency can be increased, and a more preferable result can be obtained.

本発明においては、輝尽性蛍光体層に照射されるレーザー径が100μm以下であることが好ましく、より好ましくは80μm以下である。   In the present invention, the laser diameter irradiated to the photostimulable phosphor layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less.

レーザーとしては、He−Neレーザー、He−Cdレーザー、Arイオンレーザー、Krイオンレーザー、N2レーザー、YAGレーザー及びその第2高調波、ルビーレーザー、半導体レーザー、各種の色素レーザー、銅蒸気レーザー等の金属蒸気レーザー等がある。通常はHe−NeレーザーやArイオンレーザーのような連続発振のレーザーが望ましいが、パネル1画素の走査時間とパルスを同期させればパルス発振のレーザーを用いることもできる。又、フィルタ28を用いずに特開昭59−22046号公報に示されるような、発光の遅延を利用して分離する方法によるときは、連続発振レーザーを用いて変調するよりもパルス発振のレーザーを用いる方が好ましい。 As the laser, the He-Ne laser, the He-Cd laser, Ar ion laser, Kr ion laser, N 2 laser, YAG laser and its second harmonic, ruby laser, semiconductor lasers, various dye lasers, copper vapor laser, etc. There are metal vapor lasers. Normally, a continuous wave laser such as a He—Ne laser or an Ar ion laser is desirable, but a pulsed laser can also be used if the scanning time and pulse of one pixel of the panel are synchronized. Further, when using a method of separating light emission using a delay of light emission as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 59-22046 without using the filter 28, a pulse oscillation laser is used rather than modulation using a continuous wave laser. Is preferred.

上記の各種レーザー光源の中でも、半導体レーザーは小型で安価であり、しかも変調器が不要であるので特に好ましく用いられる。   Among the various laser light sources described above, the semiconductor laser is particularly preferably used because it is small and inexpensive and does not require a modulator.

フィルタ28としては放射線画像変換パネル23から放射される輝尽発光を透過し、輝尽励起光をカットするものであるから、これは放射線画像変換パネル23に含有する輝尽性蛍光体の輝尽発光波長と輝尽励起光源24の波長の組合わせによって決定される。   Since the filter 28 transmits the stimulated luminescence emitted from the radiation image conversion panel 23 and cuts the stimulated excitation light, this is the stimulation of the stimulable phosphor contained in the radiation image conversion panel 23. It is determined by the combination of the emission wavelength and the wavelength of the stimulated excitation light source 24.

例えば、輝尽励起波長が500〜900nmで輝尽発光波長が300〜500nmにあるような実用上好ましい組合わせの場合、フィルタとしては、例えば、東芝社製C−39、C−40、V−40、V−42、V−44、コーニング社製7−54、7−59、スペクトロフィルム社製BG−1、BG−3、BG−25、BG−37、BG−38等の紫〜青色ガラスフィルタを用いることができる。又、干渉フィルタを用いると、ある程度、任意の特性のフィルタを選択して使用できる。光電変換装置25としては、光電管、光電子倍増管、フォトダイオード、フォトトランジスタ、太陽電池、光導電素子等光量の変化を電子信号の変化に変換し得るものなら何れでもよい。   For example, in the case of a practically preferable combination in which the excitation wavelength is 500 to 900 nm and the emission wavelength is 300 to 500 nm, examples of the filter include C-39, C-40, and V- 40, V-42, V-44, Corning 7-54, 7-59, Spectrofilm BG-1, BG-3, BG-25, BG-37, BG-38, etc. A filter can be used. If an interference filter is used, a filter having an arbitrary characteristic can be selected and used to some extent. The photoelectric conversion device 25 may be any device capable of converting a change in light quantity into a change in electronic signal, such as a photoelectric tube, a photomultiplier tube, a photodiode, a phototransistor, a solar cell, or a photoconductive element.

以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these.

(放射線画像変換パネルの作製)
43cm×43cm(17インチ×17インチ)サイズのアルミ基板からなる支持体を図3に示す蒸着装置の真空槽に設置し、以下の実施例に示す方法で各アルミ基板上に輝尽性蛍光体(CsBr:0.0002Eu)を有する輝尽性蛍光体層を形成した。
(Production of radiation image conversion panel)
A support made of an aluminum substrate having a size of 43 cm × 43 cm (17 inches × 17 inches) is placed in the vacuum chamber of the vapor deposition apparatus shown in FIG. 3, and a stimulable phosphor is formed on each aluminum substrate by the method described in the following examples. A photostimulable phosphor layer having (CsBr: 0.0002Eu) was formed.

〔蛍光体層の作製〕
実施例1
Eu2340gを48%HBr溶液40gに溶解させ、NaOH水溶液でpH5に調整した。撹拌しながら蒸発乾固し、臭化ユーロピウムの粉体を作製した。そして、大気雰囲気下で100℃1時間焼成してEu4OBr6を作製した。Eu4OBr6粉末の嵩密度は1.5×106g/m3であった。
[Preparation of phosphor layer]
Example 1
Eu 2 O 3 ( 40 g) was dissolved in a 48% HBr solution (40 g), and the pH was adjusted to 5 with an aqueous NaOH solution. The mixture was evaporated to dryness with stirring to prepare europium bromide powder. Then, it was fired at 100 ° C. for 1 hour in an air atmosphere to produce Eu 4 OBr 6 . The bulk density of the Eu 4 OBr 6 powder was 1.5 × 10 6 g / m 3 .

CsBrとEu4OBr6を別々のルツボに入れ、減圧した。抵抗加熱でCsBrのルツボ内温度は850℃、Eu4OBr6のルツボ内温度は750℃にし真空蒸着を行った。一定の抵抗電流加熱により蒸気圧は一定となった。 CsBr and Eu 4 OBr 6 were put in separate crucibles and decompressed. By vacuum heating, the temperature inside the crucible of CsBr was 850 ° C. and the temperature inside the crucible of Eu 4 OBr 6 was 750 ° C. by resistance heating. The vapor pressure became constant by constant resistance current heating.

目標膜厚(300μm)とその1/3、2/3の膜厚になるように蒸着をシャッターを閉じて蒸着を止めて3段階の厚さの蛍光体層(蒸着膜)を作製した。   The deposition was stopped by closing the shutter so that the target film thickness (300 μm) and 1/3 and 2/3 of the target film thickness were obtained, and a phosphor layer (deposition film) having three levels of thickness was produced.

実施例2
実施例1の方法において、NaOHによるpH調整は行わず、pH1で作製した以外、実施例1と同様にした。
Example 2
In the method of Example 1, pH adjustment with NaOH was not performed, and the same procedure as in Example 1 was performed except that the pH was adjusted to 1.

実施例3
実施例2の方法において、200℃で焼成した以外、実施例2と同様にした。
Example 3
In the method of Example 2, it was carried out similarly to Example 2 except having baked at 200 degreeC.

実施例4
実施例3の方法において、300℃で焼成した以外、実施例3と同様にした。
Example 4
In the method of Example 3, it was carried out similarly to Example 3 except having baked at 300 degreeC.

比較例a
実施例2の方法において、焼成は行わなかった以外、実施例2と同様にした。
Comparative example a
In the method of Example 2, it was made to be the same as that of Example 2 except that baking was not performed.

なお、蒸着ではEuBr3がメレンゲ状に発砲し蒸気圧特性が安定しなかった。 In the vapor deposition, EuBr 3 was fired like a meringue and the vapor pressure characteristics were not stable.

比較例b
Eu2340gとNH4Br22.5gを800℃2時間白金ルツボ中で溶融した。
Comparative Example b
40 g of Eu 2 O 3 and 22.5 g of NH 4 Br were melted in a platinum crucible at 800 ° C. for 2 hours.

蒸着ではEu源がかさぶた状になり、反応生成物で真空度が変動した。   In the vapor deposition, the Eu source became scabbed, and the degree of vacuum varied depending on the reaction product.

(Eu量の測定)
試料50g採取し、水で溶解し容量を200mlに調整した後、アスコルビン酸0.1gを加えヘキサミンでpH4.0〜6.0の範囲になるよう添加しながらpHメーターで調整し測定溶液とした。XOを指示薬0.05gを添加し、0.01M−EDTAにて滴定しEDTA濃度と添加量よりEu量を算出した。
(Eu measurement)
50 g of a sample was taken and dissolved in water to adjust the volume to 200 ml. Then, 0.1 g of ascorbic acid was added and adjusted with a pH meter while adding hexamine to a pH of 4.0 to 6.0 to obtain a measurement solution. . 0.05 g of XO indicator was added and titrated with 0.01M-EDTA, and the Eu amount was calculated from the EDTA concentration and the added amount.

上記の各実施例における蒸着時間と蒸気圧の関係(概念図)を図4に示す。また、ユウロピウム(Eu)蒸発源のEu含有量と密度を表1にまとめて示す。   FIG. 4 shows the relationship (conceptual diagram) between the vapor deposition time and the vapor pressure in each of the above examples. Table 1 summarizes the Eu content and density of the europium (Eu) evaporation source.

次に、上記のようにして作製した各種蛍光体プレートの輝尽性蛍光体層に第1の防湿性保護フィルムのCPP層を対向させ、かつ蛍光体プレートの基板に第2の防湿性保護フィルムのCPP層を対向させ、その状態で第1、第2の防湿性保護フィルムを互いに重ね合わせた。その後第1、第2の防湿性保護フィルムで囲まれた空間を減圧しながら第1、第2の防湿性保護フィルムの周縁部をインパルスシーラーで融着し、第1、第2の防湿性保護フィルム中に蛍光体プレートを封止し放射線画像変換パネルを製造した。   Next, the CPP layer of the first moisture-proof protective film is opposed to the stimulable phosphor layer of the various phosphor plates produced as described above, and the second moisture-proof protective film is placed on the substrate of the phosphor plate. The first and second moisture-proof protective films were superposed on each other in this state. Then, while decompressing the space surrounded by the first and second moisture-proof protective films, the peripheral portions of the first and second moisture-proof protective films are fused with an impulse sealer, and the first and second moisture-proof protections are obtained. The phosphor plate was sealed in the film to produce a radiation image conversion panel.

(蛍光体層の層厚の測定)
試料の断面を作製し、校正された走査電子顕微鏡写真より層厚(膜厚)を求めることができる。市販の膜厚計、たとえばダイヤルゲージ、渦電流式膜厚計により測定する場合は、前記走査電子顕微鏡写真にて校正した値を使用する必要がある。
(Measurement of phosphor layer thickness)
A cross section of the sample is prepared, and the layer thickness (film thickness) can be obtained from a calibrated scanning electron micrograph. When measuring with a commercially available film thickness meter, such as a dial gauge or an eddy current film thickness meter, it is necessary to use a value calibrated with the scanning electron micrograph.

(発光輝度の評価)
発光輝度については、以下に示す方法に従って評価した。
(Evaluation of luminous brightness)
The light emission luminance was evaluated according to the following method.

各試料に対して管電圧80kVのX線を各試料の裏面(輝尽性蛍光体が形成されていない面)から照射した。その後半導体レーザーを各試料の表面(輝尽性蛍光体が形成された面)上で走査して当該輝尽性蛍光体層を励起させ、当該輝尽性蛍光体層から放射される輝尽発光の光量(光強度)を試料ごとに受光器(分光感度S−5の光電子像増倍管)で測定してその測定値を「感度(発光輝度)」とした。測定結果を表2に示す。ただし、比較例aの目標膜厚の輝度を1とした時の相対輝度を表に示す。   Each sample was irradiated with X-rays having a tube voltage of 80 kV from the back surface (surface on which the photostimulable phosphor was not formed) of each sample. Thereafter, a semiconductor laser is scanned on the surface of each sample (the surface on which the photostimulable phosphor is formed) to excite the photostimulable phosphor layer, and stimulated emission emitted from the photostimulable phosphor layer. Was measured with a light receiver (photoelectron image intensifier tube with spectral sensitivity S-5) for each sample, and the measured value was defined as “sensitivity (light emission luminance)”. The measurement results are shown in Table 2. However, the relative luminance when the luminance of the target film thickness of Comparative Example a is 1 is shown in the table.

表2から明らかなように、本発明に係る実施例の輝度は、比較例に対して、各種層厚(膜厚)において高いことが分かる。   As is apparent from Table 2, the brightness of the example according to the present invention is higher in various layer thicknesses (film thicknesses) than the comparative example.

放射線画像変換パネルの断面図Cross section of the radiation image conversion panel 放射線画像変換パネル及び放射線画像読み取り装置の構成の一例を示す概略図Schematic which shows an example of a structure of a radiographic image conversion panel and a radiographic image reading apparatus. 蒸着装置の一例の概略構成を示す断面図Sectional drawing which shows schematic structure of an example of vapor deposition apparatus 蒸着時間と蒸気圧の関係を示す概念図Conceptual diagram showing the relationship between deposition time and vapor pressure

符号の説明Explanation of symbols

1 放射線画像変換パネル
2 基板
3 輝尽性蛍光体層
4 輝尽性蛍光体プレート
10、20 防湿性保護フィルム
21 放射線発生装置
22 被写体
23 放射線画像変換パネル
24 輝尽励起光源
25 光電変換装置
26 画像再生装置
27 画像表示装置
28 フィルタ
30 蒸着装置
31 真空容器
32a、32b 蒸発源
33 支持体ホルダ
34 支持体回転軸
34a 支持体回転機構
35 真空ポンプ
36 支持体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Radiation image conversion panel 2 Substrate 3 Stimulable phosphor layer 4 Stimulable phosphor plate 10, 20 Moisture-proof protective film 21 Radiation generation device 22 Subject 23 Radiation image conversion panel 24 Stimulation excitation light source 25 Photoelectric conversion device 26 Image Reproduction device 27 Image display device 28 Filter 30 Vapor deposition device 31 Vacuum vessel 32a, 32b Evaporation source 33 Support body holder 34 Support body rotation shaft 34a Support body rotation mechanism 35 Vacuum pump 36 Support body

Claims (5)

支持体上に輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルにおいて、当該輝尽性蛍光体層が、少なくとも一般式:EuxyBrz(1<x≦4、1≦y≦4、1<z≦6)で表される酸化ユウロピウムハロゲン化物とアルカリハロゲン化物を蒸着源として、それぞれを別々の蒸発器(ルツボ)から支持体上に蒸着させる気相成長法により形成されたユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着層を含有し、かつ、Eu蒸着源としての酸化ユウロピウム(II)ハロゲン化物粉体中のEu量が50質量%以上であることを特徴とする放射線画像変換パネル。 In the radiation image conversion panel having the photostimulable phosphor layer on the support, the photostimulable phosphor layer has at least a general formula: Eu x O y Br z (1 <x ≦ 4, 1 ≦ y ≦ 4, Europium-activated alkali formed by vapor deposition using a europium oxide halide and an alkali halide represented by 1 <z ≦ 6) as vapor deposition sources, and vapor-deposited on a support from separate evaporators (crucibles). A radiation image conversion panel comprising a halogenated phosphor vapor-deposited layer and having an Eu content in a europium (II) oxide halide powder as an Eu vapor deposition source of 50% by mass or more. 前記Eu蒸着源としての酸化ユウロピウムハロゲン化物がEu4OBr6粉体であり、かつ、該粉体中のEu量が50%〜60質量%であることを特徴とする請求項1に記載の放射線画像変換パネル。 2. The radiation according to claim 1, wherein the europium oxide halide as the Eu deposition source is Eu 4 OBr 6 powder, and the amount of Eu in the powder is 50% to 60% by mass. Image conversion panel. 前記ユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着層の層厚が50μm〜500μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線画像変換パネル。 3. The radiation image conversion panel according to claim 1, wherein a layer thickness of the europium-activated alkali halide phosphor vapor deposition layer is 50 μm to 500 μm. 前記ユーロピウム賦活アルカリハロゲン化蛍光体蒸着層の層厚方向の任意の2点においてEu濃度の比率が0.9〜1.1であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の放射線画像変換パネル。 The ratio of Eu concentration is 0.9 to 1.1 at any two points in the layer thickness direction of the europium activated alkali halogenated phosphor vapor-deposited layer, according to any one of claims 1 to 3. The radiation image conversion panel described. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の放射線画像変換パネルを製造することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。 The manufacturing method of the radiographic image conversion panel characterized by manufacturing the radiographic image conversion panel of any one of Claims 1-4.
JP2005363140A 2005-12-16 2005-12-16 Radiation image conversion panel and method for producing the same Pending JP2007161952A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005363140A JP2007161952A (en) 2005-12-16 2005-12-16 Radiation image conversion panel and method for producing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005363140A JP2007161952A (en) 2005-12-16 2005-12-16 Radiation image conversion panel and method for producing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007161952A true JP2007161952A (en) 2007-06-28

Family

ID=38245223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005363140A Pending JP2007161952A (en) 2005-12-16 2005-12-16 Radiation image conversion panel and method for producing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007161952A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7390708B2 (en) * 2006-10-23 2008-06-24 Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) Vzw Patterning of doped poly-silicon gates
CN105427915A (en) * 2014-09-17 2016-03-23 柯尼卡美能达株式会社 Radiation image conversion panel

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7390708B2 (en) * 2006-10-23 2008-06-24 Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) Vzw Patterning of doped poly-silicon gates
CN105427915A (en) * 2014-09-17 2016-03-23 柯尼卡美能达株式会社 Radiation image conversion panel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5476991B2 (en) Radiation image conversion panel, manufacturing method therefor, and X-ray imaging system
JP4665968B2 (en) Radiation image conversion panel
US7053385B2 (en) Radiographic image conversion panel and method for manufacturing the same
EP1635358A2 (en) Method for producing radiation image conversion panel
JP2005106682A (en) Radiation image conversion panel and its manufacturing method
JP2007161952A (en) Radiation image conversion panel and method for producing the same
JP4304998B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP4378959B2 (en) Manufacturing method of radiation image conversion panel
JP2005083792A (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing it
JP3915593B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP4259035B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP4475106B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP4079073B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP2008298577A (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing it
EP1526554A2 (en) Radiation image conversion panel
JP3228527B2 (en) Manufacturing method of radiation image conversion panel
JP3807347B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP4492288B2 (en) Radiation image conversion panel
JP2004205354A (en) Manufacturing method of radiation image conversion panel and radiation image conversion panel
JP2006125932A (en) Manufacturing method of radiation image conversion panel
JP3879629B2 (en) Radiation image conversion panel and method for manufacturing radiation image conversion panel
JP2007024817A (en) Radiological image conversion panel and its manufacturing method
JP3307407B2 (en) Manufacturing method of radiation image conversion panel
JP2006084213A (en) Manufacturing method for radiation image conversion panel
JP2006125854A (en) Radiation image conversion panel, and manufacturing method therefor