JP2007159350A - 高電圧発生法及び高電圧発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高電圧発生装置、高電圧発生部を有する高電圧発生装置を使用して高電圧を発生させる際に、高真空場を絶縁体として利用する。
【効果】高電圧発生装置、及び高電圧発生部を有する機器のコンパクト化、低コスト化を実現できる。
【選択図】図1
Description
(1)高電圧発生部を有する高電圧発生装置において、高真空場を絶縁体(空間)として利用し、該高真空場に高電圧発生部の電源回路部を設置したことを特徴とする高電圧発生装置。
(2)高真空場の真空圧力が、10−4Pa以下である上記(1)に記載の高電圧発生装置。
(3)高電圧発生部の電源回路部が、多段縦続整流回路、高圧トランス、又は静電発電機で構成される上記(1)に記載の高電圧発生装置。
(4)コッククロフトウォルトン型高電圧発生回路から構成される多段縦続整流回路部を真空容器中に設置した上記(3)に記載の高電圧発生装置。
(5)高電圧を必要とする機器の高電圧発生装置である上記(1)に記載の高電圧発生装置。
(6)高電圧を必要とする機器が、荷電粒子加速器、成膜装置、電子顕微鏡、又は分析機器類である上記(5)に記載の高電圧発生装置。
(7)高電圧発生部を有する高電圧発生装置を使用して高電圧を発生させる際に、高真空場を絶縁体(空間)として利用することを特徴とする高電圧発生方法。
(8)高真空場の真空圧力が、10−4Pa以下である上記(7)に記載の高電圧発生方法。
(9)高電圧発生部の電源回路部に、多段縦続整流回路、高圧トランス、又は静電発電機を用いる上記(7)に記載の高電圧発生方法。
(10)コッククロフトウォルトン型高電圧発生回路から構成される多段縦続整流回路部を真空容器中に設置して高電圧を発生させる上記(9)に記載の高電圧発生方法。
(11)高電圧を必要とする機器の高電圧発生装置を使用して高電圧を発生させる上記(7)に記載の高電圧発生方法。
(12)高電圧を必要とする機器が、荷電粒子加速器、成膜装置、電子顕微鏡、又は分析機器類である上記(11)に記載の高電圧発生方法。
本発明は、高電圧発生部を有する高電圧発生装置において、高真空場を絶縁体(空間)として利用し、該高真空場に高電圧発生部の電源回路を設置した高電圧発生装置により高電圧を発生させる高電圧発生方法の点、高真空場を絶縁体として利用した高電圧発生装置の点、及びこの高電圧発生装置を電圧発生部に組み込んだ高電圧を必要とする機器の点、に特徴を有するものである。
C1〜Cn:コンデンサ
D1〜Dn:整流器
Rh:高電圧測定用高抵抗
Rm:電圧測定用抵抗
Vin:駆動電圧
Vh:出力電圧
A:電流計
V:電圧計
(図2の符号)
C1〜C20:コンデンサ
D1〜D20:ダイオード
Claims (12)
- 高電圧発生部を有する高電圧発生装置において、高真空場を絶縁体(空間)として利用し、該高真空場に高電圧発生部の電源回路部を設置したことを特徴とする高電圧発生装置。
- 高真空場の真空圧力が、10−4Pa以下である請求項1に記載の高電圧発生装置。
- 高電圧発生部の電源回路部が、多段縦続整流回路、高圧トランス、又は静電発電機で構成される請求項1に記載の高電圧発生装置。
- コッククロフトウォルトン型高電圧発生回路から構成される多段縦続整流回路部を真空容器中に設置した請求項3に記載の高電圧発生装置。
- 高電圧を必要とする機器の高電圧発生装置である請求項1に記載の高電圧発生装置。
- 高電圧を必要とする機器が、荷電粒子加速器、成膜装置、電子顕微鏡、又は分析機器類である請求項5に記載の高電圧発生装置。
- 高電圧発生部を有する高電圧発生装置を使用して高電圧を発生させる際に、高真空場を絶縁体(空間)として利用することを特徴とする高電圧発生方法。
- 高真空場の真空圧力が、10−4Pa以下である請求項7に記載の高電圧発生方法。
- 高電圧発生部の電源回路部に、多段縦続整流回路、高圧トランス、又は静電発電機を用いる請求項7に記載の高電圧発生方法。
- コッククロフトウォルトン型高電圧発生回路から構成される多段縦続整流回路部を真空容器中に設置して高電圧を発生させる請求項9に記載の高電圧発生方法。
- 高電圧を必要とする機器の高電圧発生装置を使用して高電圧を発生させる請求項7に記載の高電圧発生方法。
- 高電圧を必要とする機器が、荷電粒子加速器、成膜装置、電子顕微鏡、又は分析機器類である請求項11に記載の高電圧発生方法。
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JP2005354685A JP2007159350A (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | 高電圧発生法及び高電圧発生装置 |
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CN113315346A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-08-27 | 成都锐明合升科技有限责任公司 | 一种高绝缘性能的微型高压电源 |
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-
2005
- 2005-12-08 JP JP2005354685A patent/JP2007159350A/ja active Pending
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