JP2007158302A - Connection structure and method of manufacturing same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、太陽電池セルの表面電極と配線部材との接続方法、導電性接着フィルム及び太陽電池モジュールに関するものである。 The present invention relates to a method for connecting a surface electrode of a solar battery cell and a wiring member, a conductive adhesive film, and a solar battery module.
太陽電池モジュールは、複数の太陽電池セルがその表面電極に電気的に接続された配線部材を介して直列及び/又は並列に接続された構造を有している。この太陽電池モジュールを作製する際に、太陽電池セルの表面電極と配線部材との接続には、従来、はんだが用いられてきた(例えば、特許文献1及び2参照)。はんだは、導通性、固着強度等の接続信頼性に優れ、安価で汎用性があることから広く用いられている。
The solar cell module has a structure in which a plurality of solar cells are connected in series and / or in parallel via a wiring member electrically connected to the surface electrode. In producing this solar cell module, solder has been conventionally used to connect the surface electrode of the solar cell and the wiring member (see, for example,
一方、環境保護の観点等から、太陽電池において、はんだを使用しない配線の接続方法が提案されている。例えば、特許文献3〜6には、導電性ペースト等の導電性接着剤により配線間を接続する手法が開示されている。
しかしながら、特許文献1、2に記載されたはんだを用いた接続方法では、太陽電池の特性劣化が生じやすくなる。これは、融点が230〜260℃程度であるはんだを溶融する際に、太陽電池における半導体構造等の部材が加熱されること、及び/又は、はんだの体積収縮による影響が半導体構造等に及ぶことに起因する。また、はんだによる配線の接続では、電極及び配線間の距離を制御することが困難であるため、パッケージングの際の寸法精度を十分に得ることが難しい。寸法精度が低くなると、パッケージングに起因する製品の歩留低下にも繋がる。
However, in the connection method using the solder described in
さらに、特許文献3〜5に記載のように、導電性接着剤を用いて太陽電池セルの表面電極と配線部材との接続を行う場合、配線間の接続は、高温高湿条件下において、接続信頼性が時間の経過に伴い大幅に低下することが本発明者らの検討により明らかになった。
Furthermore, as described in
また、特許文献6に記載のように、導電性フィルムを用いて太陽電池セルの表面電極と配線部材との接続を行う場合では、低温で接着可能であることから、はんだを用いた場合に生じる太陽電池セルへの悪影響を抑制することができる。しかしながら、特許文献6に記載の接続方法では、被着体の表面状態の影響が考慮されておらず、接続信頼性が必ずしも十分ではなかった。
In addition, as described in
そこで、本発明は上記事情にかんがみてなされたものであり、はんだの代替となる接続部材を用い、かつ、十分に優れた接続信頼性を有する太陽電池セルの表面電極と配線部材との接続方法、導電性接着フィルム及び太陽電池モジュールを提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and uses a connection member as a substitute for solder, and a method of connecting a surface electrode of a solar battery cell and a wiring member having sufficiently excellent connection reliability. An object is to provide a conductive adhesive film and a solar cell module.
本発明は、上記課題を解決するために、太陽電池セルの表面電極と配線部材とを、導電性接着フィルムを介して電気的に接続する方法であって、導電性接着フィルムは絶縁性接着剤と導電性粒子とを含有し、表面電極の導電性接着フィルムと接する面の十点平均粗さをRz(μm)、最大高さをRy(μm)として、導電性粒子は、その平均粒子径r(μm)が十点平均粗さRz以上であり、かつ、導電性接着フィルムの厚さt(μm)は最大高さRy以上である接続方法を提供する。
を提供する。
In order to solve the above problems, the present invention is a method of electrically connecting a surface electrode of a solar battery cell and a wiring member via a conductive adhesive film, and the conductive adhesive film is an insulating adhesive. And conductive particles, the surface roughness of the surface electrode in contact with the conductive adhesive film is Rz (μm), and the maximum height is Ry (μm). Provided is a connection method in which r (μm) is 10-point average roughness Rz or more and the thickness t (μm) of the conductive adhesive film is greater than or equal to the maximum height Ry.
I will provide a.
また、本発明は、太陽電池セルの表面電極と配線部材とを電気的に接続するために用いられる導電性接着フィルムであって、絶縁性接着剤と導電性粒子とを含有し、表面電極の導電性接着フィルムと接する面の十点平均粗さをRz(μm)、最大高さをRy(μm)として、導電性粒子は、その平均粒子径r(μm)が十点平均粗さRz以上であり、かつ、導電性接着フィルムの厚さt(μm)は最大高さRy以上である導電性接着フィルムを提供する。 The present invention also relates to a conductive adhesive film used for electrically connecting a surface electrode of a solar battery cell and a wiring member, comprising an insulating adhesive and conductive particles, The average particle diameter r (μm) of the conductive particles is equal to or greater than the ten-point average roughness Rz, where the ten-point average roughness of the surface in contact with the conductive adhesive film is Rz (μm) and the maximum height is Ry (μm). The conductive adhesive film has a thickness t (μm) equal to or greater than the maximum height Ry.
上述の本発明の接続方法は、導電性接着フィルムに含まれる導電性粒子の平均粒子径rが、太陽電池セルの表面電極の導電性接着フィルムと接する面における十点平均粗さRz以上であることを特徴の一つとしている。これにより、導電性接着フィルムに含まれる導電性粒子は、十分確実に、太陽電池セルの表面電極と配線部材とを電気的に接続することができる。 In the connection method of the present invention described above, the average particle diameter r of the conductive particles contained in the conductive adhesive film is equal to or greater than the ten-point average roughness Rz on the surface in contact with the conductive adhesive film of the surface electrode of the solar battery cell. This is one of the characteristics. Thereby, the electroconductive particle contained in an electroconductive adhesive film can electrically connect the surface electrode and wiring member of a photovoltaic cell sufficiently reliably.
また、本発明の接続方法は、導電性接着フィルムの厚さtが、太陽電池セルの表面電極の導電性接着フィルムと接する面における最大高さRy以上であることを別の特徴の一つとしている。これにより、導電性接着フィルムが太陽電池セルの表面電極と第配線部材とを十分強力に接着することができる。 Further, the connection method of the present invention has another feature that the thickness t of the conductive adhesive film is equal to or greater than the maximum height Ry on the surface of the surface electrode of the solar battery cell in contact with the conductive adhesive film. Yes. Thereby, a conductive adhesive film can adhere | attach the surface electrode of a photovoltaic cell and a 1st wiring member sufficiently powerfully.
そして、これらの電気的接続性及び接着性の効果が複合的に作用して、本発明の接続方法は、その接続信頼性を十分に高めることが可能となる。 And the effect of these electrical connectivity and adhesiveness acts in a complex manner, and the connection method of the present invention can sufficiently enhance the connection reliability.
また、本発明の接続方法は、はんだを用いて太陽電池の表面電極と配線部材とを接続する必要がないため、部材の加熱及び導電性接着フィルムの体積収縮に基づく影響を十分に低減することができる。 In addition, since the connection method of the present invention does not require the use of solder to connect the surface electrode of the solar cell and the wiring member, the effect of heating the member and volume shrinkage of the conductive adhesive film should be sufficiently reduced. Can do.
ここで、十点平均粗さRz及び最大高さRyは、JIS−B0604−1994に準拠して導出される値であり、超深度形状測定顕微鏡による観察と、画像計測・解析ソフトによる算出とにより導出される。また、導電性粒子の平均粒子径rは、走査型電子顕微鏡(SEM)により導電性粒子を観察し、20個を無作為に抽出して、それらの粒子の粒子径を測定した後、それらの粒子径の相加平均として算出した値である。また、導電性接着フィルムの厚さtは、マイクロメータにより測定される値である。 Here, the ten-point average roughness Rz and the maximum height Ry are values derived in accordance with JIS-B0604-1994, and are obtained by observation with an ultradeep shape measurement microscope and calculation with image measurement / analysis software. Derived. The average particle diameter r of the conductive particles is determined by observing the conductive particles with a scanning electron microscope (SEM), randomly extracting 20 particles, measuring the particle diameters of these particles, It is a value calculated as an arithmetic average of particle diameters. Further, the thickness t of the conductive adhesive film is a value measured by a micrometer.
また、導電性接着フィルムの弾性率は、下記のようにして測定される値である。まず、剥離性の基材フィルム上に絶縁性接着剤を塗布してその塗膜を形成する。次いで、その塗膜をオーブンにより170℃で20分間加熱する。その後、基材フィルムを剥離して塗膜の加熱生成物からなるフィルムを得る。そのフィルムを幅5mm、長さ35mmの短冊状に切り出して試験片を得る。その試験片について、動的粘弾性測定装置を用いて25℃における貯蔵弾性率を測定し、その値を導電性接着フィルムの弾性率とする。 The elastic modulus of the conductive adhesive film is a value measured as follows. First, an insulating adhesive is applied on a peelable substrate film to form a coating film. The coating is then heated in an oven at 170 ° C. for 20 minutes. Then, a base film is peeled and the film which consists of a heating product of a coating film is obtained. The film is cut into strips having a width of 5 mm and a length of 35 mm to obtain test pieces. About the test piece, the storage elastic modulus in 25 degreeC is measured using a dynamic viscoelasticity measuring apparatus, and let the value be an elastic modulus of a conductive adhesive film.
本発明において、太陽電池セルの配線部材がフィルム状の導電部材であると好ましい。これにより、接続時の太陽電池セルの表面電極と配線部材との間の距離が制御しやすくなるため、パッケージングの際の寸法精度が更に向上する。 In the present invention, the wiring member of the solar battery cell is preferably a film-like conductive member. Thereby, since the distance between the surface electrode of the solar battery cell and the wiring member at the time of connection can be easily controlled, the dimensional accuracy at the time of packaging is further improved.
本発明において、フィルム状の導電部材が、Cu、Ag、Au、Fe、Ni、Pb、Zn、Co、Ti及びMgからなる群より選ばれる1種以上の金属を主成分として含むことが好ましい。これらの金属を含むことにより配線部材の導電性が一層向上するため、接続信頼性の更なる向上に繋がる。 In the present invention, the film-like conductive member preferably contains one or more metals selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Fe, Ni, Pb, Zn, Co, Ti, and Mg as a main component. By including these metals, the conductivity of the wiring member is further improved, which leads to further improvement in connection reliability.
本発明において、太陽電池セルの表面電極が、単結晶シリコンウエハ、多結晶シリコンウエハ、非結晶シリコンウエハ及び化合物半導体ウエハからなる群より選ばれる1種以上のウエハの表面上に設けられた電極であってもよい。表面電極としてこのような部材を用いることで、本発明の上記作用効果が一層有効に発揮される。 In the present invention, the surface electrode of the solar battery cell is an electrode provided on the surface of one or more wafers selected from the group consisting of a single crystal silicon wafer, a polycrystalline silicon wafer, an amorphous silicon wafer, and a compound semiconductor wafer. There may be. By using such a member as the surface electrode, the above-described effects of the present invention are more effectively exhibited.
また、従来の太陽電池セルは電極の表面が他の電子デバイス部材と比較して粗い傾向にあるため、本発明によると、接続信頼性を更に有意に向上させることができ、その結果、長期に亘ってフィルファクタ(Fill factor;以下、「F.F.」と表記する。)の高い数値を維持することができる。 In addition, since the surface of the conventional solar battery cell tends to be rough compared to other electronic device members, according to the present invention, the connection reliability can be further improved significantly, and as a result, for a long time. A high numerical value of the fill factor (hereinafter referred to as “FF”) can be maintained.
本発明によれば、はんだの代替となる接続部材を用い、かつ、十分に優れた接続信頼性を有する太陽電池セルの表面電極と配線部材との接続方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the connection method of the surface electrode of a photovoltaic cell and wiring member which has the connection reliability used as a substitute of solder and has the sufficiently excellent connection reliability can be provided.
以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the positional relationship such as up, down, left and right is based on the positional relationship shown in the drawings unless otherwise specified. Further, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios.
図1は、本発明の導電性接着フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。図1に示すように、本実施形態の導電性接着フィルム10は、導電性粒子1と接着剤成分2とを少なくとも含有してなるものである。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the conductive adhesive film of the present invention. As shown in FIG. 1, the conductive
また、図2は、本発明の導電性接着フィルムを用いて太陽電池セルの表面電極と配線部材とを接続する接続方法により得られた接続構造の一部を示す模式断面図である。この接続構造200は、太陽電池セルの表面電極3と、導電性接着フィルム10と、配線部材4とが、この順に積層されてなるものである。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a part of a connection structure obtained by a connection method for connecting a surface electrode of a solar battery cell and a wiring member using the conductive adhesive film of the present invention. This
本実施形態の導電性接着フィルム10は、太陽電池セルの表面電極3と太陽電池セルを直列及び/又は並列に繋ぐための配線部材(配線ワイヤー)4とを接続するためのものである。太陽電池セルには、その表面及び裏面に電気を取り出す為の電極(表面電極)が形成されている。
The conductive
ここで表面電極3としては、電気的導通を得ることができる公知の材質のものが挙げられる。その具体例としては、例えば、一般的な銀を含有したガラスペーストや接着剤樹脂に各種の導電性粒子を分散した銀ペースト、金ペースト、カーボンペースト、ニッケルペースト、アルミニウムペースト、並びに、焼成や蒸着によって形成されるITOなどが挙げられる。これらの中では、耐熱性、導電性及び安定性に優れている点、及び低コストの観点から、銀を含有したガラスペースト電極が好適に用いられる。
Here, as the
太陽電池セルの場合、Siの単結晶、多結晶及び非結晶うちの少なくとも一つ以上からなる基板上に、スクリーン印刷などによって銀ペースト及びアルミニウムペーストを塗布し、それらを必要に応じて乾燥及び焼成することによって、Ag電極とAl電極とが表面電極3としてそれぞれ設けられることが主である。
In the case of a solar battery cell, a silver paste and an aluminum paste are applied to a substrate made of at least one of Si single crystal, polycrystal and amorphous by screen printing or the like, and dried and fired as necessary. By doing so, an Ag electrode and an Al electrode are mainly provided as the
導電性接着フィルム10は、接着剤成分2と、その中に分散した導電性粒子1とを少なくとも備えている。接着剤成分2は接着性を示すものであれば特に限定されない。ただし、接続信頼性を一層高める観点から、接着剤成分2が熱硬化性樹脂を含有する組成物であることが好ましい。
The conductive
熱硬化性樹脂としては、公知のものであってもよく、例えば、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂が挙げられる。これらの熱硬化性樹脂は1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。これらの中では、接続信頼性を更に向上させる観点から、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂及びアクリル樹脂からなる群より選ばれる1種以上の熱硬化性樹脂が好ましい。 The thermosetting resin may be a known one, and examples thereof include an epoxy resin, a phenoxy resin, an acrylic resin, a polyimide resin, a polyamide resin, and a polycarbonate resin. These thermosetting resins are used singly or in combination of two or more. Among these, from the viewpoint of further improving the connection reliability, one or more thermosetting resins selected from the group consisting of epoxy resins, phenoxy resins, and acrylic resins are preferable.
本実施形態に係る接着剤成分2は、熱硬化性樹脂以外に任意成分として、公知の硬化剤及び硬化促進剤を含有する組成物であってもよい。また、この接着剤成分2は、表面電極3や配線部材4との接着性及び濡れ性を改善するために、シラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤等の改質材料を含有してもよく、導電性粒子1の均一分散性を向上させるために、リン酸カルシウムや、炭酸カルシウム等の分散剤を含有してもよい。さらにこの接着剤成分2は、弾性率やタック性を制御するために、アクリルゴム、シリコンゴム、ウレタン等のゴム成分を含有してもよく、表面電極3、配線部材4、導電性粒子1に含まれる銀や銅のマイグレーションを抑制するために、キレート材料等を含有してもよい。
The
導電性接着フィルム10の弾性率は、接着後の表面電極3の反りや接着時の圧縮応力を緩和する観点から、0.5GPa〜4.0GPaが好ましく、0.9GPa〜3.5GPaがより好ましい。導電性接着フィルム10の弾性率が0.5GPa以上であれば、その膜強度が劣ることによる接着強度の低下を一層防止することができ、4.0GPa以下であれば、応力緩和性に優れ、表面電極3の反りや破損の発生を更に抑制できる。
The elastic modulus of the conductive
なお、導電性接着フィルム10の弾性率は下記のようにして測定される。まず、シリコーン処理したポリエチレンテレフタレートフィルムの表面上に、導電性接着フィルム10の前駆体となる接着剤成分をマニュピレータ(YOSHIMISU社製)により塗布して塗膜を形成する。次いで、オーブンを用いて170℃で20分間、塗膜を乾燥する。その後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、膜厚25μm又は35μmの導電性接着フィルム10を得る。得られた導電性接着フィルム10を幅5mm、長さ35mmの短冊状に切り出し、動的粘弾性測定装置(Rheometric Scientific社製、商品名「SOLIDS ANALYZER」、チャック間距離:2cm)により、25℃での貯蔵弾性率を測定し、導電性接着フィルム10の弾性率とする。
The elastic modulus of the conductive
導電性粒子1は、導電性を有し、接続構造200の製造環境及び使用環境において固体状のものであれば、その材料は特に限定されない。導電性粒子1としては、例えば、金粒子、銀粒子、銅粒子及びニッケル粒子などの金属粒子、あるいは、金めっき粒子、銅めっき粒子及びニッケルめっき粒子などの、導電性又は絶縁性の核粒子の表面を金属層などの導電層で被覆してなる導電性粒子が挙げられる。
The
これらの中では、接続時の導電性粒子の圧縮応力を緩和し、接続信頼性を向上させる観点から、核粒子の表面が導電層に被覆されてなる粒子が好ましく、核粒子がプラスチック粒子であり、導電層が金属めっきであるものがより好ましい。すなわち、プラスチック粒子の表面を金属層が被覆してなる導電性粒子は、接続後の振動や膨張などの変動に対して粒子自体の追随性が高いため好適である。 Among these, from the viewpoint of relaxing the compressive stress of the conductive particles at the time of connection and improving the connection reliability, particles in which the surface of the core particles is coated with a conductive layer are preferable, and the core particles are plastic particles. More preferably, the conductive layer is metal plating. That is, conductive particles formed by coating the surface of plastic particles with a metal layer are preferable because the particles themselves have high followability to fluctuations such as vibration and expansion after connection.
導電性接着フィルム10中に分散された導電性粒子1の配合量は、接着剤成分2が硬化した後の接続信頼性の観点から、導電性接着フィルム10の全体積に対して、0.5〜20体積%であると好ましく、2.0〜12体積%であるとより好ましい。導電性粒子1の配合量が0.5体積%を下回ると、表面電極3との物理的な接点が減少する傾向にあり、しかも、信頼性試験雰囲気下(85℃85%RH)における接続構造200の接続抵抗が低下する傾向にある。また、導電性粒子1の配合量が20体積%を超えると、接着剤成分2の相対量が低減するため、信頼性試験雰囲気(85℃85%RH)において、接続構造200の接着強度が低下する傾向にある。
From the viewpoint of connection reliability after the
次に、表面電極3と導電性接着フィルム10との関係について詳細に説明する。導電性粒子1の平均粒子径をr(μm)とすると、その平均粒子径rは、表面電極3の表面Seの十点平均粗さRz(μm)以上である。また、導電性接着フィルム10の膜厚をt(μm、図1参照。)とすると、その膜厚tは、表面電極3の表面Seの最大高さRy(μm)以上である。
Next, the relationship between the
表面電極3の表面Seは、その用途によって、一般的に高低差3〜30μmの凹凸を有している場合がある。特に太陽電池セルに設けられる場合の表面電極3は、上記凹凸の高低差が8〜18μmと粗くなる傾向にある。本発明者らは、鋭意検討の結果、この凹凸に起因して従来の太陽電池では接続信頼性が十分ではないことを見出した。
The surface Se of the
本発明者らは更に検討した結果、表面電極3と配線部材4とを接続する層として、接着剤成分2中に導電性粒子1を分散させた導電性接着フィルム10を採用すると、接続信頼性の向上が可能となることを明らかにした。そして、表面電極3の表面Seの表面粗さと導電性粒子1の平均粒子径及び導電性接着フィルム10の膜厚との関係が、接続信頼性に影響を与えることを突き止めた。具体的には、導電性粒子1の平均粒子径rと表面電極3の表面Seの十点平均粗さRzとの相関性、並びに、導電性接着フィルム10の膜厚tと表面電極3の表面Seの最大高さRyとの相関性が、接続信頼性に影響を与えることを見出した。接続信頼性を向上させるためには、表面電極3の表面Seにおける高低差の大きな部分の平均粗さが導電性粒子1の平均粒子径rを決める要因となり、表面電極3の表面Seにおける高低差の最も大きな部分の粗さが導電性接着フィルム10の膜厚tを決める要因になると考えられる。
As a result of further study, the present inventors have found that when a conductive
すなわち、導電性粒子1の平均粒子径rが表面電極3の表面Seの十点平均粗さRzよりも小さくなると、導電性粒子1が表面Seにおける凹部に埋もれてしまい、表面電極3及び後に詳述する配線部材4間の電気的接続に寄与し難くなる。その結果、接続構造200における接続信頼性が十分ではなくなる。また、導電性接着フィルム10の膜厚tが表面電極3の表面Seの最大高さRyよりも薄くなると、導電性接着フィルム10が、表面電極3及び配線部材4間に隙間なく充填されることが困難となり、表面電極3及び配線部材4間の接着性が十分でなくなる。その結果、接続構造200における接続信頼性が十分ではなくなる。
That is, when the average particle diameter r of the
導電性粒子1の平均粒子径rは、表面電極3の表面Seの十点平均粗さRzよりも、1μm以上大きいことが好ましく、3μm以上大きいことがより好ましく、5μm以上大きいことが更に好ましい。これにより、表面電極3及び配線部材4間の接続不良をより十分に抑制することができる。また、上記平均粒子径rと上記十点平均粗さRzとの差の上限は、Rzμmであることが好ましく、2/3Rzμmであることがより好ましい。これらの差がRzμm以下、特に2/3Rzμm以下であると、導電性粒子1が物理的に凹部に安定配置するため、接続抵抗を低下させるという利点が得られる。
The average particle diameter r of the
導電性粒子1の平均粒子径rは、接着剤成分2への均一分散性の向上の観点から、3〜30μmであることが好ましく、8〜25μmであることがより好ましい。
The average particle diameter r of the
導電性接着フィルム10の膜厚tは、表面電極3の表面Seの最大高さRyよりも、1μm以上大きいことが好ましく、3μm以上大きいことがより好ましく、5μm以上大きいことが特に好ましい。これにより、導電性接着フィルム10の充填が更に十分となり、接続不良をより十分に抑制することができる。また、上記膜厚tと上記最大高さRyとの差の上限は、20μmであることが好ましく、10μmであることがより好ましい。これらの差が20μm以下、特に10μm以下であると、加熱圧着時における接着剤成分2中の樹脂の流動性及び樹脂の硬化性が更に向上し、接続強度が増大するという利点が得られる。
The film thickness t of the conductive
配線部材4はフィルム状、すなわち、その断面が長方形であると好ましい。これにより、表面電極3との距離を容易に制御可能となるので、パッケージングの際の寸法精度が向上する。
The
配線部材4は、金属を主成分として含むものであれば特に限定されない。配線部材4の材料である金属としては、例えば、金、銀、銅、鉄、ステンレス綱、42アロイ及びはんだめっき銅が挙げられる。導電性を更に向上させる観点から、配線部材4は、Cu、Ag、Au、Fe、Ni、Pb、Zn、Co、Ti及びMgからなる群より選ばれる1種以上の金属を含むことがより好ましい。また、可とう性を更に向上させて上記寸法精度を高める観点から、配線部材4は、絶縁フィルム(図示せず)の表面上に設けられた金属めっき層又は金属電着層であると好ましい。ただし、その用途によっては金属箔であってもよい。
The
上記絶縁フィルムの材料は絶縁性を示すものであれば特に限定されないが、可とう性をより向上させて上記寸法精度を高める観点から、樹脂を主成分とするものであることが好ましい。この樹脂としては、例えば、ポリイミド樹脂、ガラスエポキシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリエステル樹脂が挙げられる。 The material of the insulating film is not particularly limited as long as it exhibits insulating properties. However, from the viewpoint of improving flexibility and improving the dimensional accuracy, it is preferable that the material of the insulating film is a resin as a main component. Examples of this resin include polyimide resin, glass epoxy resin, bismaleimide triazine resin, and polyester resin.
次に、好適な実施形態に係る接続方法、すなわち接続構造200の製造方法について説明する。この接続方法は以下の第1工程、第2工程、第3工程及び第4工程を有するものである。
Next, a connection method according to a preferred embodiment, that is, a method for manufacturing the
第1工程では、シリコンウエハ等の基材上に表面電極3を形成してなる第1積層体を準備する。
In the first step, a first laminate formed by forming the
第2工程では、絶縁フィルム上に形成された配線部材4の表面上に、導電性接着フィルム10を形成して第2積層体を得る。導電性接着フィルム10は、導電性粒子1を分散させたペースト状の接着剤成分(以下、導電性粒子とペースト状の接着剤成分との配合物を「ペースト状導電性接着剤」ともいう。)を、配線部材2の表面上に塗布した後に溶剤等を揮発してフィルム状にする工程を経て得られてもよい。あるいは、導電性接着フィルム10は、ペースト状導電性接着剤から予め溶剤等を揮発させてフィルム状に成形した後に、配線部材4の表面上に載置される工程を経て得られてもよい。
In the second step, a conductive
これらのうち、導電性接着フィルム10の膜厚寸法精度、及び/又は、後述する第4工程において、導電性接着フィルム10を圧着する際の圧力配分の観点から、後者であることが好ましい。この場合、導電性接着フィルム10を配線部材4の表面上に載置した後、それらを積層方向に加圧して仮圧着することが好ましい。
Among these, the latter is preferable from the viewpoint of the film thickness dimensional accuracy of the conductive
ペースト状の接着剤成分は、上述の熱硬化性樹脂及びその他の任意成分を含む組成物から得られるものであり、常温(25℃)で液状である場合にはそのままで使用することができる。上記組成物が室温で固体である場合には、加熱してペースト化する他、溶剤を使用してペースト化してもよい。使用できる溶剤としては、上述の組成物と反応せず、かつ十分な溶解性を示すものであれば、特に制限は受けない。 The paste-like adhesive component is obtained from a composition containing the above-mentioned thermosetting resin and other optional components, and can be used as it is when it is liquid at room temperature (25 ° C.). When the composition is a solid at room temperature, it may be pasted by using a solvent in addition to heating to make a paste. The solvent that can be used is not particularly limited as long as it does not react with the above-described composition and exhibits sufficient solubility.
また、ペースト状導電性接着剤を予めフィルム状に成形する場合、そのペースト状導電性接着剤を、フッ素樹脂フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、離型紙等の剥離性基材上に塗布し、又は不織布等の基材に上記接着剤を含浸させて剥離性基材上に載置し、溶剤等を除去することによって得ることができる。このようにペースト状導電性接着剤を予めフィルム状に成形すると、取扱性に優れ一層便利である。また、この場合、導電性接着フィルム10を配線部材4の表面上に載置する直前又は載置した後、剥製基材を剥離除去する。
Also, when the paste-like conductive adhesive is previously formed into a film shape, the paste-like conductive adhesive is applied on a peelable substrate such as a fluororesin film, a polyethylene terephthalate film, a release paper, or a nonwoven fabric. It can be obtained by impregnating the above-mentioned base material with the adhesive and placing it on a peelable base material and removing the solvent and the like. Thus, when the paste-like conductive adhesive is previously formed into a film shape, it is excellent in handleability and more convenient. In this case, the detachable substrate is peeled and removed immediately before or after the conductive
ペースト状導電性接着剤は、アプリケータ、ロールコータ、コンマコータ、ナイフコータ、ドクタープレードフローコータ、密閉コータ、ダイコータ、リップコータ等を用いて塗布される。この際、導電性接着フィルム10の膜厚tは、アプリケータやリップコータのギャップ調整によって制御することができる。また、導電性接着フィルム10の膜厚tは、ペースト状導電性接着剤に含まれる熱硬化性樹脂等の不揮発分の量を調整することによっても制御することができる。
The paste-like conductive adhesive is applied using an applicator, roll coater, comma coater, knife coater, doctor blade flow coater, hermetic coater, die coater, lip coater, or the like. At this time, the film thickness t of the conductive
第3工程では、第1積層体における表面電極3の表面Seと第2積層体における導電性接着フィルム10の表面とを接触させるようにして、第1積層体と第2積層体とを更に積層した第3積層体を得る。この際、第1積層体と第2積層体とを位置合わせして積層した後、その位置を固定するために、積層方向に加圧して仮圧着してもよい。
In the third step, the first laminate and the second laminate are further laminated such that the surface Se of the
第4工程では、第3積層体を積層方向に加熱及び加圧して、少なくとも表面電極3、導電性接着フィルム10及び配線部材4がこの順に積層されてなる接続構造200を得る。この第4工程により、表面電極3及び配線部材4が導電性接着フィルム10により接着されると共に、それらの間の電気的接続が導電性接着フィルム10を介して確保される。
In the fourth step, the third laminated body is heated and pressed in the laminating direction to obtain a
加熱温度及び加圧圧力の条件は、上記電気的接続が確保でき、表面電極3及び配線部材4が導電性接着フィルム10により接着される範囲であれば、特に制限されない。なお、この加圧及び加熱の諸条件は、使用する用途、接着剤成分中の各成分、接続構造200の材料によって適宜選択される。例えば、加熱温度は、熱硬化性樹脂が硬化する温度であればよい。また、加圧圧力は、表面電極3及び導電性接着フィルム10間が十分に密着され、かつ表面電極3や配線部材4等が損傷しない範囲であればよい。さらに、加熱・加圧時間は、表面電極3や配線部材4等に過剰に熱が伝搬して、それらの材料が損傷したり変質したりしないような時間であればよい。具体的には、導電性接着フィルム10の到達温度が、1MPa〜3MPaの加圧条件下で、15秒〜20秒の間に150℃〜180℃に到達する条件が、電気的接続及び接着力の向上の観点から好ましい。
The conditions of the heating temperature and the pressurizing pressure are not particularly limited as long as the electrical connection can be ensured and the
こうして得られる接続構造200は、導電性接着フィルム10中に分散した導電性粒子1が表面電極3及び配線部材4間の電気的接続を十分なものとする。更に、導電性接着フィルム10が表面電極3と配線部材4とを十分な接着強度で接着する。これらの結果、接続構造200は、接続信頼性に十分優れたものとなる。また、電気的接続を確保するためにはんだを用いなくてもよいため、接続構造200の特性劣化が十分に抑制され、パッケージングに起因する製品の歩留低下も防止できる。
In the
本実施形態の導電性接着フィルム10は、上述のとおり太陽電池セルに最も好適に用いることができる。太陽電池は、太陽電池セルを複数個、直列及び/又は並列に接続し、耐環境性のために強化ガラスなどで挟み込み、間隙を透明性のある樹脂によって埋められた外部端子を備えた太陽電池モジュールとして用いられる。本実施形態の導電性接着フィルム10は、複数の太陽電池セルを直列及び/又は並列に接続するための配線部材と、太陽電池セルの表面電極とを接続する用途に好適に用いられる。
As described above, the conductive
本実施形態の太陽電池モジュールは、上記のように表面電極を有する複数の太陽電池セルが、表面電極に電気的に接続された配線部材を介して接続された構造を有してなるものであり、表面電極と配線部材とが、本実施形態の導電性接着フィルムにより接続されてなるものである。 The solar cell module of the present embodiment has a structure in which a plurality of solar cells having a surface electrode are connected via a wiring member electrically connected to the surface electrode as described above. The surface electrode and the wiring member are connected by the conductive adhesive film of this embodiment.
ここで、図3は、本実施形態の太陽電池モジュールの要部を示す模式図であり、複数の太陽電池セルが相互に配線接続された構造の概略を示している。図3(a)は太陽電池モジュールの表面側を示し、図3(b)は裏面側を示し、図3(c)は側面側を示す。 Here, FIG. 3 is a schematic diagram showing a main part of the solar cell module of the present embodiment, and shows an outline of a structure in which a plurality of solar cells are connected to each other by wiring. 3A shows the front side of the solar cell module, FIG. 3B shows the back side, and FIG. 3C shows the side.
図3(a)〜(c)に示すように、太陽電池モジュール100は、半導体ウエハ6の表面側にグリッド電極7及びバス電極(表面電極)3aが、裏面側に裏面電極8及びバス電極(表面電極)3bがそれぞれ形成された太陽電池セルが、配線部材4により複数相互に接続されている。そして、配線部材4は、その一端が表面電極としてのバス電極3aと、他端が表面電極としてのバス電極3bと、それぞれ本発明の導電性接着フィルム10を介して接続されている。
As shown in FIGS. 3A to 3C, the
かかる構成を有する太陽電池モジュール100は、上述した本実施形態の導電性接着フィルムにより表面電極と配線部材とが接続されているため、太陽電池セルへの悪影響がなく、且つ、十分な接続信頼性を得ることができる。これにより、太陽電池モジュール100は、その優れた接続信頼性に起因して、高いF.F.を長時間確保することができる。
In the
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。 The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
本発明の接続方法は、上述の太陽電池を作製する際のみでなく、例えば、タンタルコンデンサ、アルミ電解コンデンサ、セラミックコンデンサ、パワートランジスタ、各種センサ、MEMS関連材料、ディスプレイ材料の引き出し配線部材等を作製する際にも好適に使用することができる。 The connection method of the present invention is not only used for manufacturing the above-described solar cell, but also, for example, a tantalum capacitor, an aluminum electrolytic capacitor, a ceramic capacitor, a power transistor, various sensors, a MEMS-related material, a display wiring member for a display material, and the like. In this case, it can be suitably used.
以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.
(実施例1)
まず、多結晶性シリコンウエハの表面上に、銀ガラスペーストから形成される表面電極(幅2mm×長さ15cm、Rz:10μm、Ry:14μm)を設けてなる太陽電池セル(MOTECH社製、商品名「125角セル多結晶MOT T1」、厚さ:250μm×幅12.5cm×長さ12.5cm)を準備した。
Example 1
First, a solar battery cell (manufactured by MOTECH, manufactured by a surface electrode (
次に、ブチルアクリレート40質量部、エチルアクリレート30質量部、アクリロニトリル30質量部、及びグリシジルメタクリレート3質量部を共重合してなるアクリルゴム(日立化成工業社製、商品名「KS8200H」、分子量:85万)を準備した。 Next, an acrylic rubber obtained by copolymerizing 40 parts by mass of butyl acrylate, 30 parts by mass of ethyl acrylate, 30 parts by mass of acrylonitrile, and 3 parts by mass of glycidyl methacrylate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “KS8200H”, molecular weight: 85 Prepared).
フェノキシ樹脂(ユニオンカーバイド社製、商品名「PKHC」、重量平均分子量:45000)50g、及び上記アクリルゴム125gを酢酸エチル400gに溶解し、固形分30質量%の溶液を得た。次いで、マイクロカプセル型潜在性硬化剤を含有する液状のエポキシ樹脂(旭化成ケミカルズ社製、商品名「ノバキュアHX−3941HP」、エポキシ当量:185g/eq)325gを上記溶液に添加し、更に溶液を撹拌して、ペースト状の接着剤成分を得た。 50 g of phenoxy resin (trade name “PKHC” manufactured by Union Carbide Corporation, weight average molecular weight: 45000) and 125 g of the acrylic rubber were dissolved in 400 g of ethyl acetate to obtain a solution having a solid content of 30% by mass. Next, 325 g of a liquid epoxy resin containing a microcapsule type latent curing agent (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, trade name “Novacure HX-3941HP”, epoxy equivalent: 185 g / eq) is added to the above solution, and the solution is further stirred. Thus, a paste-like adhesive component was obtained.
次に、上述の接着剤成分に対して平均粒子径が12μmの導電性粒子であるニッケル粒子(見掛け密度:3.36g/cm3)を添加して分散させた。こうして接着剤成分及び導電性粒子の合計体積に対して5体積%の導電性粒子を配合するペースト状導電性接着剤を得た。なお、導電性粒子の平均粒子径は走査型電子顕微鏡(SEM、日立製作所社製、商品名「S−510」)での観察を経て、上述の方法により導出された。また、導電性粒子の配合量は、導電性粒子の形状を平均粒子径が直径である球状とみなして算出した粒子体積、及び、導電性粒子の見掛け密度から算出した。 Next, nickel particles (apparent density: 3.36 g / cm 3 ), which are conductive particles having an average particle diameter of 12 μm, were added to the adhesive component described above and dispersed. Thus, a paste-like conductive adhesive containing 5% by volume of conductive particles with respect to the total volume of the adhesive component and the conductive particles was obtained. The average particle diameter of the conductive particles was derived by the method described above through observation with a scanning electron microscope (SEM, manufactured by Hitachi, Ltd., trade name “S-510”). The blending amount of the conductive particles was calculated from the particle volume calculated by regarding the shape of the conductive particles as a sphere having an average particle diameter of the diameter, and the apparent density of the conductive particles.
上記ペースト状導電性接着剤を、ロールコータ(テスター産業社製、商品名「PI−1210」)を用いて、配線部材である幅20cm×長さ30cm×厚さ175μmの電解銅箔の光沢面に塗布して塗膜を得た。ロールコータのギャップは、塗膜から溶媒等を揮発させた後の厚さ、すなわち導電性接着フィルムの厚さが25μmとなるよう調整した。この調整は、予めギャップを変更して、溶媒等を除去した後の膜厚が異なる3種のフィルムを作製し、ギャップと膜厚との関係式を導出して、その関係式に基づいて行った。 Glossy surface of electrolytic copper foil having a width of 20 cm, a length of 30 cm, and a thickness of 175 μm, which is a wiring member, using a roll coater (trade name “PI-1210” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) Was applied to obtain a coating film. The gap of the roll coater was adjusted so that the thickness after the solvent was volatilized from the coating film, that is, the thickness of the conductive adhesive film was 25 μm. This adjustment is performed in advance by changing the gap to produce three types of films having different film thicknesses after removing the solvent, etc., and deriving a relational expression between the gap and the film thickness. It was.
次に、塗膜をホットプレート上に載置して、70℃で3分間加熱することにより、溶媒等を揮発させた。その後、スリッター(東洋刃物社製、商品名「高精度ギャングユニット」)により2mm幅に裁断して、導電性粒子を分散し厚さ25μmである導電性接着フィルムを電解銅箔の光沢面上に設けた積層体を得た。この積層体を20cm長さに裁断して、幅2mm×長さ20cmの矩形にした。 Next, the solvent was volatilized by placing the coating film on a hot plate and heating at 70 ° C. for 3 minutes. After that, the conductive adhesive film having a thickness of 25 μm is dispersed on the glossy surface of the electrolytic copper foil by cutting into a width of 2 mm by a slitter (trade name “High Precision Gang Unit” manufactured by Toyo Knife Co., Ltd.). The provided laminate was obtained. This laminate was cut to a length of 20 cm to form a rectangle with a width of 2 mm and a length of 20 cm.
次いで、導電性接着フィルムの電解銅箔側とは反対側の表面と、上記太陽電池セルの表面電極の表面とが接するように、それらを積層して積層体を得た。続いて、その積層体に対して、圧着ツール(日化設備エンジニアリング社製、商品名「AC−S300」)を用いて、加熱温度170℃、加圧圧力2MPa、加熱・加圧時間20秒間の条件で、積層方向に加熱及び加圧を施した。こうして、太陽電池セルの表面電極に電解銅箔による配線部材が導電性接着フィルムを介して接続した接続構造を得た。 Subsequently, they were laminated so that the surface opposite to the electrolytic copper foil side of the conductive adhesive film and the surface of the surface electrode of the solar battery cell were in contact with each other to obtain a laminate. Subsequently, using a crimping tool (trade name “AC-S300”, manufactured by Nikka Equipment Engineering Co., Ltd.), a heating temperature of 170 ° C., a pressing pressure of 2 MPa, and a heating and pressing time of 20 seconds are applied to the laminate. Under the conditions, heating and pressurization were performed in the stacking direction. Thus, a connection structure was obtained in which the wiring member made of electrolytic copper foil was connected to the surface electrode of the solar battery cell via the conductive adhesive film.
(実施例2)
電解銅箔に代えて、絶縁フィルムである樹脂フィルムの主面上に銅めっきを施した銅めっきフィルム(銅めっき厚さ:40μm)を用いた以外は実施例1と同様にして、接続構造を得た。
(Example 2)
The connection structure was made in the same manner as in Example 1 except that instead of the electrolytic copper foil, a copper plating film (copper plating thickness: 40 μm) obtained by performing copper plating on the main surface of the resin film as an insulating film was used. Obtained.
(実施例3)
ニッケル粒子に代えて、プラスチック粒子の表面を金めっきで被覆してなる金めっきプラスチック粒子(平均粒子径:20μm、金めっき厚さ:平均200Å、見掛け密度:2.8g/cm3)を用い、Rz:10μm、Ry:14μmの表面粗さを有する銀ガラスペーストから形成される表面電極を設けてなる太陽電池セルに代えて、Rz:15μm、Ry:18μmの表面粗さを有する銀ガラスペーストから形成される表面電極を設けてなる太陽電池セル(MOTECH社製、商品名「125角セル多結晶MOT T1」、厚さ:250μm×幅12.5cm×長さ12.5cm)を用いた以外は実施例1と同様にして、接続構造を得た。
(Example 3)
Instead of nickel particles, gold-plated plastic particles (average particle diameter: 20 μm, gold plating thickness: average 200 mm, apparent density: 2.8 g / cm 3 ) formed by coating the surface of plastic particles with gold plating, Rz: 10 μm, Ry: instead of a solar cell provided with a surface electrode formed from a silver glass paste having a surface roughness of 14 μm, Rz: 15 μm, Ry: from a silver glass paste having a surface roughness of 18 μm Except for using a solar cell provided with a surface electrode to be formed (manufactured by MOTECH, trade name “125 square cell polycrystalline MOT T1”, thickness: 250 μm × width 12.5 cm × length 12.5 cm) A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1.
(比較例1)
まず、実施例1と同様の太陽電池セルを準備した。次に、はんだめっき銅線(幅2mm×厚さ250μm)を準備し、上記太陽電池セルの電極とはんだめっき銅線とをはんだ接続した。こうして接続構造を得た。
(Comparative Example 1)
First, the same photovoltaic cell as in Example 1 was prepared. Next, a solder-plated copper wire (
(比較例2、3)
導電性粒子の平均粒子径を表4に記載のとおりに代えた以外は実施例1と同様にして、接続構造を得た。
(Comparative Examples 2 and 3)
A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the average particle diameter of the conductive particles was changed as shown in Table 4.
(比較例4)
導電性接着フィルムの厚さを表6に記載のとおりに代えた以外は実施例1と同様にして、接続構造を得た。
(Comparative Example 4)
A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the conductive adhesive film was changed as shown in Table 6.
以上、各実施例及び比較例に係る接着剤成分における各物質の配合を表1、2に、導電性粒子及び配線部材の種類を表3、4に、表面電極の表面粗さ及び導電性接着フィルムの種類を表5、6にそれぞれ示す。なお、導電性接着フィルムの厚さ、表面電極の表面粗さについては、下記のようにして測定した。また、導電性接着フィルムの弾性率(貯蔵弾性率)は上述のようにして測定した。 Tables 1 and 2 show the composition of each substance in the adhesive components according to each Example and Comparative Example, Tables 3 and 4 show the types of conductive particles and wiring members, and surface roughness and conductive adhesion of the surface electrodes. The types of film are shown in Tables 5 and 6, respectively. The thickness of the conductive adhesive film and the surface roughness of the surface electrode were measured as follows. The elastic modulus (storage elastic modulus) of the conductive adhesive film was measured as described above.
[導電性接着フィルムの厚さ測定]
導電性接着フィルムの厚さについては、マイクロメータ(Mitutoyo Corp.社製、商品名「ID−C112C」)により測定した。
[Measurement of thickness of conductive adhesive film]
The thickness of the conductive adhesive film was measured with a micrometer (trade name “ID-C112C” manufactured by Mitutoyo Corp.).
[表面電極の表面粗さ測定]
表面電極の十点平均粗さRz及び最大高さRyについては、JIS−B0604−1994に準拠して導出した。電極表面は、超深度形状測定顕微鏡(KEYENCE社製、商品名「VK−8510」)により観察し、画像計測・解析ソフト(KEYENCE社製、商品名「VK−H1A7」によりRz及びRyを導出した。
[Measurement of surface roughness of surface electrode]
The 10-point average roughness Rz and the maximum height Ry of the surface electrode were derived based on JIS-B0604-1994. The electrode surface was observed with an ultra-deep shape measuring microscope (trade name “VK-8510” manufactured by KEYENCE, Inc.), and Rz and Ry were derived using image measurement / analysis software (trade name “VK-H1A7” manufactured by KEYENCE). .
<各特性の評価>
上記実施例1〜3及び比較例1〜4の接続構造について、ピール強度、ウエハ(基材)の反り、F.F.(1000h)/F.F.(0h)、太陽電池セルの歩留を下記のようにして測定した。結果を表7、8に示す。
<Evaluation of each characteristic>
Regarding the connection structures of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4, peel strength, warpage of the wafer (base material), F.R. F. (1000h) / F. F. (0h) The yield of solar cells was measured as follows. The results are shown in Tables 7 and 8.
[ピール強度測定]
得られた接続構造におけるタブ電極(電解銅箔又は銅めっきフィルム)の端部を垂直に折り曲げ、ピール強度測定装置(ORIENTEC社製、商品名「STA−1150」)のチャックに固定した。その後、引っ張り速度2cm/秒でタブ電極を引き上げて、ピール強度を測定した。なお、表中「ウエハ割れ」とは、ピール強度が高いために、タブ電極を完全にピール(剥離)する前にウエハが割れてしまい、ピール強度が測定できなかったことを意味する。
[Peel strength measurement]
The edge part of the tab electrode (electrolytic copper foil or copper plating film) in the obtained connection structure was bent vertically, and fixed to a chuck of a peel strength measuring device (trade name “STA-1150” manufactured by ORIENTEC). Thereafter, the tab electrode was pulled up at a pulling speed of 2 cm / second, and the peel strength was measured. In the table, “wafer cracking” means that the peel strength was not measured because the peel strength was high, and the wafer was cracked before completely peeling (peeling) the tab electrode.
[ウエハの反り測定]
得られた接続構造を、そのウエハを下側にして平滑面上に載置し、矩形のウエハの一端(一辺)を平滑面に固定した。ウエハは電極側とは反対側の面が凸状になっているため、矩形のウエハの一端を平滑面に固定すると、それと対向する一端が浮き上がった状態になった。その浮き上がった一端の平滑面からの距離を、焦点深度計を用いて5点測定し、相加平均値を算出した。ウエハの一辺長さに対する上記相加平均値の割合(%)を反り量として導出した。なお、測定限界下限値が0.3%であるため、それよりも小さい場合は表中「<0.3」と示した。
[Wafer warpage measurement]
The obtained connection structure was placed on a smooth surface with the wafer facing down, and one end (one side) of the rectangular wafer was fixed to the smooth surface. Since the wafer has a convex surface on the side opposite to the electrode side, when one end of a rectangular wafer is fixed to a smooth surface, one end facing the surface is raised. The distance from the smooth surface of the one end which floated up was measured 5 points | pieces using the focal depth meter, and the arithmetic mean value was computed. The ratio (%) of the above arithmetic average value to the length of one side of the wafer was derived as the amount of warpage. In addition, since the measurement limit lower limit is 0.3%, when it is smaller than that, it is indicated as “<0.3” in the table.
[F.F.(1000h)/F.F.(0h)の測定]
得られた接続構造のIV曲線を、ソーラシミュレータ(ワコム電創社製、商品名「WXS−155S−10」、AM:1.5G)を用いて測定した。また、接続構造を85℃、85%RHの高温高湿雰囲気下で1000時間静置した後、同様にIV曲線を測定した。それぞれのIV曲線からF.Fを各々導出し、高温高湿雰囲気下に静置した後のF.Fを、高温高湿条件下に静置する前のF.F.で割った値であるF.F.(1000h)/F.F.(0h)を評価指標として用いた。なお、一般にF.F.(1000h)/F.F.(0h)の値が0.95以下となると接続信頼性が低いと判断される。
[F. F. (1000h) / F. F. (Measurement of (0h)]
The IV curve of the obtained connection structure was measured using a solar simulator (trade name “WXS-155S-10”, AM: 1.5G, manufactured by Wacom Denso Co., Ltd.). In addition, after the connection structure was allowed to stand for 1000 hours in a high-temperature and high-humidity atmosphere at 85 ° C. and 85% RH, an IV curve was similarly measured. From each IV curve F after each was derived and left in a high temperature and high humidity atmosphere. F. F. before standing under high temperature and high humidity conditions. F. F. divided by. F. (1000h) / F. F. (0h) was used as an evaluation index. In general, F.I. F. (1000h) / F. F. When the value of (0h) is 0.95 or less, it is determined that the connection reliability is low.
[太陽電池セルの歩留測定]
まず、接続構造を10個作製した。それぞれの接続構造の状態を観察し、10個のうち、割れや剥離が認められるものを除いた個数を歩留(%)として評価した。
[Solar cell yield measurement]
First, 10 connection structures were produced. The state of each connection structure was observed, and the number of ten pieces excluding those in which cracking or peeling was observed was evaluated as a yield (%).
1…導電性粒子、2…接着剤成分、3…表面電極、3a…バス電極(表面電極)、3b…バス電極(表面電極)、4…配線部材、6…半導体ウエハ、7…グリッド電極、8…裏面電極、10…導電性接着フィルム、100…太陽電池モジュール、200…接続構造。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記導電性接着フィルムは絶縁性接着剤と導電性粒子とを含有し、
前記表面電極の前記導電性接着フィルムと接する面の十点平均粗さをRz(μm)、最大高さをRy(μm)として、
前記導電性粒子は、その平均粒子径r(μm)が前記十点平均粗さRz以上であり、かつ、前記導電性接着フィルムの厚さt(μm)は前記最大高さRy以上である、接続方法。 A method of electrically connecting a surface electrode of a solar battery cell and a wiring member via a conductive adhesive film,
The conductive adhesive film contains an insulating adhesive and conductive particles,
The ten-point average roughness of the surface of the surface electrode in contact with the conductive adhesive film is Rz (μm), and the maximum height is Ry (μm).
The conductive particles have an average particle diameter r (μm) equal to or greater than the ten-point average roughness Rz, and a thickness t (μm) of the conductive adhesive film is equal to or greater than the maximum height Ry. Connection method.
絶縁性接着剤と導電性粒子とを含有し、
前記表面電極の前記導電性接着フィルムと接する面の十点平均粗さをRz(μm)、最大高さをRy(μm)として、
前記導電性粒子は、その平均粒子径r(μm)が前記十点平均粗さRz以上であり、かつ、前記導電性接着フィルムの厚さt(μm)は前記最大高さRy以上である、導電性接着フィルム。 A conductive adhesive film used to electrically connect the surface electrode of the solar battery cell and the wiring member,
Containing an insulating adhesive and conductive particles;
The ten-point average roughness of the surface of the surface electrode in contact with the conductive adhesive film is Rz (μm), and the maximum height is Ry (μm).
The conductive particles have an average particle diameter r (μm) equal to or greater than the ten-point average roughness Rz, and a thickness t (μm) of the conductive adhesive film is equal to or greater than the maximum height Ry. Conductive adhesive film.
前記表面電極と前記配線部材とが、請求項5〜8のいずれか一項に記載の導電性接着フィルムにより接続されている、太陽電池モジュール。 A solar cell module having a structure in which a plurality of solar cells having a surface electrode are connected via a wiring member electrically connected to the surface electrode,
The solar cell module in which the said surface electrode and the said wiring member are connected by the electroconductive adhesive film as described in any one of Claims 5-8.
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