JP2007155537A - 無接触型直線変位検出装置 - Google Patents

無接触型直線変位検出装置 Download PDF

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Tatsuro Shimoda
達郎 下田
Shoji Maruyama
正二 丸山
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Abstract

【課題】磁石と磁石による磁束を感受して電気信号に変換する磁気センサとが相対的に直線移動されるように配置されてなる無接触型直線変位検出装置において、演算器等を使うことなく簡単に直線的な出力が得られる無接触型直線変位検出装置を提供する。
【解決手段】磁気センサを、磁石と磁気センサの相対移動方向と平行な直線上に対向して配置される第1及び第2の磁気センサにより構成すると共に、磁石を第1の磁気センサと第2の磁気センサとの間において磁極面が上記直線に対して直交した状態に配置し、磁石と磁気センサの相対移動による第1の磁気センサ出力と第2の磁気センサ出力とを合成して出力する構成とする。この構成で、第1及び第2の磁気センサが感受する磁束密度は、磁気センサと磁石の距離の2乗に反比例する形となるが、その第1の磁気センサと第2の磁気センサの出力を合成するだけで、簡単に直線的な出力特性を得ることが可能となる。
【選択図】図1

Description

本発明は、磁石と磁気センサを利用して直線変位量を検出するようにした無接触型直線変位検出装置に関する。
従来、無接触型直線変位検出装置としては、例えば下記の特許文献1に開示される装置のように、直線移動される磁石と、この磁石による磁束を感受して電気信号に変換する磁気センサと、を備え、磁石の直線移動に伴う磁気センサからの出力変化によって直線変位量を検出するようにしたものが提案されている。
特開平6−207804号公報
しかしながら、このような従来の無接触型直線変位検出装置では、変位量に比例した直線的な出力特性を得ることが難しく、この直線的な出力特性を得るには演算器等を使った補正を必要としていたため、コスト高になっていた。
本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので、演算器等を使うことなく簡単に直線的な出力が得られる無接触型直線変位検出装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため本発明は、
磁石と、この磁石による磁束を感受して電気信号に変換する磁気センサと、が相対的に直線移動されるように配置されてなる無接触型直線変位検出装置であって、
ここで磁気センサは、磁石と磁気センサの相対移動方向と平行な直線上に対向して配置される第1及び第2の磁気センサにより構成されるとともに、
磁石は、第1の磁気センサと第2の磁気センサとの間において磁極面が上記直線に対して直交した状態に配置されてなり、
磁石と磁気センサの相対移動による第1の磁気センサの出力と第2の磁気センサの出力とを合成して出力する構成としたものである。
上記の如く構成される本発明の無接触型直線変位検出装置では、第1及び第2の磁気センサが感受する磁束密度は、磁気センサと磁石の距離の2乗に反比例する形となるが、その第1の磁気センサと第2の磁気センサの出力を合成するだけで、演算器等を使うことなく、簡単に直線的な出力特性を得ることが可能となる。
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施例について詳細に説明する。
図1は本発明による無接触型直線変位検出装置の構成を示す斜視図、図2は同、側面図、図3は回路構成図、図4は出力特性図である。
図1及び図2に示す如く、本発明による無接触型直線変位検出装置は、磁石1と、この磁石による磁束を感受して電気信号に変換する磁気センサ2と、が相対的に直線移動されるように配置されてなる。ここで本例においては、磁石1が可動側、磁気センサ2が固定側に配置されており、即ち磁石1は直線移動アクチュエータの可動部に取り付けられ、磁気センサ2は固定部に設置された回路基板4上に実装されている。なお、この構成において可動側と固定側を逆にした配置、つまり磁石1を固定側、磁気センサ2を可動側に配置した構成とすることも可能である。
上記構成において磁気センサ2は、磁石1と磁気センサ2の相対移動方向と平行な直線a上に対向して配置される第1及び第2の磁気センサ2(A)及び2(B)により構成されている。この第1及び第2の磁気センサ2(A)及び2(B)は、何れも感受素子としてホール素子3を内蔵したホールICが用いられ、夫々上記直線a上に感受素子3が位置するように対向して配置される。
一方、磁石1は、第1の磁気センサ2(A)と第2の磁気センサ2(B)との間において磁極(S極、N極)の面が上記の直線aに対して直交した状態で移動可能に配置される。そしてこの磁石1が直線移動されることによって第1の磁気センサ2(A)と第2の磁気センサ2(B)の夫々のホール素子3で感受される磁束密度が変化し、その変化が出力信号として取り出される。
ここで本発明による無接触型直線変位検出装置は、図3に示すように、第1の磁気センサ2(A)の出力と第2の磁気センサ2(B)の出力とを固定抵抗器5を介して合成して出力する回路構成となっている。
この場合、第1の磁気センサ2(A)と第2の磁気センサ2(B)を構成するホールICには、オフセット、ゲイン、出力反転等が自在に設定できるプログラマブルホールICを使用して、これらを共に磁石1の可動範囲(本例では10mm)において図4に示すような目的の出力特性(変位量に比例した直線的な出力特性)となるように調整設定する。
この構成において、第1の磁気センサ2(A)及び第2の磁気センサ2(B)の夫々のホール素子3が感受する磁石1の磁束密度は、ホール素子3と磁石1との間の距離の2乗に反比例する形となるが、その第1の磁気センサ2(A)と第2の磁気センサ2(B)の出力を合成するだけで、演算器等を使うことなく、簡単に図4に示すような直線的な出力特性を得ることが可能となる。
さらにこの無接触型直線変位検出装置では、図3に示す如く、第1の磁気センサ2(A)の出力と第2の磁気センサ2(B)の出力とが合成された出力を、バッファ回路6を通して出力する回路構成としてあり、これによって出力インピーダンスを下げることで、より直線に近い実用的な出力特性を得ることができる。
以上に説明した如き本発明による無接触型直線変位検出装置は、あらゆる装置における直線移動変位量の検出に幅広く適用することが可能であり、従来は難しかった直線的な出力特性を、演算器等を使うことなく、簡単かつローコストで実現するものである。
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。前述したように実施例では、磁石1を可動側、第1及びの第2の磁気センサ2(A)及び2(B)を固定側に配置してあるが、これを逆の構成、即ち磁石1を固定側、第1及びの第2の磁気センサ2(A)及び2(B)を可動側に配置した構成とした場合にも同様の作用効果が得られるものである。
本発明による無接触型直線変位検出装置の構成を示す斜視図である。 本発明による無接触型直線変位検出装置の構成を示す側面図である。 本発明による無接触型直線変位検出装置の回路構成図である。 本発明による無接触型直線変位検出装置の出力特性図である。
符号の説明
1…磁石、2…磁気センサ〔2(A)…第1の磁気センサ、2(B)…第2の磁気センサ〕、3…ホール素子(感受素子)

Claims (3)

  1. 磁石と、この磁石による磁束を感受して電気信号に変換する磁気センサと、が相対的に直線移動されるように配置されてなる無接触型直線変位検出装置であって、
    上記磁気センサは、上記磁石と上記磁気センサの相対移動方向と平行な直線上に対向して配置される第1及び第2の磁気センサにより構成されるとともに、
    上記磁石は、上記第1の磁気センサと上記第2の磁気センサとの間において磁極面が上記直線に対して直交した状態に配置されてなり、
    上記磁石と上記磁気センサの相対移動による上記第1の磁気センサの出力と上記第2の磁気センサの出力とを合成して出力する構成としたことを特徴とする無接触型直線変位検出装置。
  2. 上記磁気センサは、感受素子としてホール素子を内蔵して構成されることを特徴とする請求項1に記載の無接触型直線変位検出装置。
  3. 上記第1の磁気センサの出力と上記第2の磁気センサの出力とが合成された出力を、バッファ回路を通して出力するようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載の無接触型直線変位検出装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008180560A (ja) * 2007-01-24 2008-08-07 Olympus Corp 位置検出回路及びその応用装置
JP2017107191A (ja) * 2015-11-30 2017-06-15 リコーイメージング株式会社 ステージ装置、そのステージ装置を備えた画像投影装置及び撮像装置

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